JPH09239978A

JPH09239978A - インクジェットヘッド

Info

Publication number: JPH09239978A
Application number: JP4995196A
Authority: JP
Inventors: Masanori Horiie; 正紀堀家; Yoichiro Miyaguchi; 耀一郎宮口
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1996-03-07
Filing date: 1996-03-07
Publication date: 1997-09-16

Abstract

(57)【要約】【課題】インク吐出特性がばらつき、部品点数が多か
った。【解決手段】加圧液室５及び共通インク流路７を形成
する液室プレート１と、オリフィス１７及び共通インク
流路７から各加圧液室５へインクを供給するインク供給
路１８を形成するノズルプレート２とを接合した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッドに関し、特に複数のノズルを有するマルチノズルイ
ンクジェットヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット記録装置は、記録時の振
動、騒音が殆どなく、カラー化が容易なことから、コン
ピュータ等のデジタル処理装置のデータを出力するプリ
ンタの他、ファクシミリやコピー等にも用いられるよう
になっている。このようなインクジェット記録装置に用
いるインクジェットヘッドは、高密度、高品質記録に対
応するために高集積化、高精度化が要求されている。

【０００３】インクジェットヘッドとしては、ヘッド構
成部材の積層の端面側よりインク滴を吐出するエッジシ
ュータ方式のものと、ノズル形成部材に円形のノズルを
形成するサイドシュータ方式のものとに大別することが
できる。

【０００４】前者のエッジシューター方式のインクジェ
ットヘッドとしては、特開平４−１５２１４４号公報
に記載されているように、基板上にレジストパターンを
形成し、金属メッキによりノズル、液室、インク供給
路、インク供給室を形成したものがある。

【０００５】後者のサイドシューター方式のインクジェ
ットヘッドとしては、特開昭６３−２５２７４９号公
報及び特公平２−２３３５１号公報に記載されている
ように、基板上にオリフィス、加圧室、インク供給路、
共通インク流路のすべてを形成したもの、特開平６−
２３４２１８号公報に記載されているように、ノズルを
形成したノズルプレート、液室を形成するスペーサ部
材、インク供給路を形成するインク供給部材を積層した
ものがある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記
のようなエッジシュータ方式のインクジェットヘッドに
あっては、オリフィス（ノズル）端面、つまり、インク
吐出口のエッジ部等の加工が難しく、噴射特性、特に噴
射方向の高精度化が困難であり、特にマルチノズルイン
クジェットヘッドに適用したときに各ノズルの噴射特性
のばらつきが大きくなる。

【０００７】他方、サイドシュータ方式のインクジェッ
トヘッドのうち、上記、のようなノズルを形成する
部材に液室を形成するようにしたものにあっては、ノズ
ル、液室、インク供給路等を高精度に仕上げることが困
難であり、特にマルチノズルインクジェットヘッドに適
用したときに各ノズルの噴射特性のばらつきが大きくな
る。さらに、上記のようなノズルプレート、液室を形
成するスペーサ部材、インク供給路を形成するインク供
給部材を積層したものにあっては、部品点数が多くな
り、工程が複雑になる。

【０００８】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、マルチノズルインクジェットヘッドにおけるイン
ク吐出特性のばらつきの低減を図ると共に、部品点数を
削減することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項１のインクジェットヘッドは、複数のノズル
と、この複数のノズルが臨む複数の加圧液室と、この複
数の加圧液室にインクを供給する共通インク流路と、前
記複数の加圧液室のインクを加圧するアクチュエータ素
子とを備え、このアクチュエータ素子で前記加圧液室を
加圧することで前記ノズルからインク滴を吐出するイン
クジェットヘッドにおいて、前記加圧液室及び共通イン
ク流路を形成する液室形成部材と、前記ノズル及び前記
共通インク流路から各加圧液室へインクを供給するイン
ク供給路を形成するノズル形成部材とを接合した。

【００１０】請求項２のインクジェットヘッドは、上記
請求項１のインクジェットヘッドにおいて、前記インク
供給路は、前記加圧液室と共通インク流路にそれぞれ臨
む開口部と、各開口部にそれぞれ連通して、前記加圧液
室を加圧したときに発生するインクの流れに対して流体
抵抗を生じる流体抵抗部とからなる構成とした。

【００１１】請求項３のインクジェットヘッドは、上記
請求項１又は２のインクジェットヘッドにおいて、前記
ノズル形成部材が多層構造のニッケル電鋳工法で形成さ
れている構成とした。

【００１２】請求項４のインクジェットヘッドは、上記
請求項１又は２のインクジェットヘッドにおいて、前記
ノズル形成部材がエッチング工法で形成されている構成
とした。

【００１３】請求項５のインクジェットヘッドは、上記
請求項１のインクジェットヘッドにおいて、前記インク
供給路を一体的に形成したノズル形成部材と、セラミッ
クス部材からなる液室形成部材とを接合した。

【００１４】請求項６のインクジェットヘッドは、上記
請求項１のインクジェットヘッドにおいて、前記ノズル
形成部材が、前記ノズルを形成した部材上に感光性樹脂
層で前記インク供給路を形成してなり、このノズル形成
部材とセラミックス部材からなる液室形成部材とを接合
した。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。図１は本発明の第１実施例に
係るインクジェットヘッドの外観斜視図、図２は図１の
要部拡大断面図、図３はノズルプレートの斜視図であ
る。

【００１６】このインクジェットヘッドは、１又は複数
の共通インク流路及び複数の加圧液室を形成する液室形
成部材である液室プレート１と、加圧液室に臨むノズル
（オリフィス）、共通インク流路と加圧液室とを連通す
るインク供給路を形成するノズル形成部材であるノズル
プレート２と、液室プレート１の各加圧液室に対応して
接合又は液室プレート１と一体焼成したアクチュエータ
素子である複数の圧電素子３とを備えている。

【００１７】液室プレート１は、図２に示すように、複
数の各加圧液室５をなす複数の凹部１ａと、これら複数
の各加圧液室５と隔壁部６で隔てられ、各加圧液室６に
インクを供給するための共通インク流路７を形成する凹
部１ｂとを有している。加圧液室５の上面隔壁は、材質
によって異なるが、数μｍから数１０μｍの薄板状で変
形可能なダイアフラム部８として、このダイアフラム部
８の外面に圧電素子３を接着又は一体焼成している。ま
た、共通インク流路７には外部からのインクが流入する
ためのインク供給穴９を形成している。

【００１８】ここで、液室プレート１の材質としては、
樹脂、セラミックス、金属等を用いることができる。樹
脂材としては、ポリフェニレンサルファイド、ポリエー
テルサルフォン、ポリイミド等のエンジニアリングプラ
スチック系の樹脂、或いは、これらの樹脂にチタン、ア
ルミナ、ガラスフィラー等の粒子材を混入し、熱膨張係
数を低減した樹脂を用いるのが好ましい。また、セラミ
ックス材料としては、アルミナ、チタニア系セラミック
ス、窒化珪素、窒化アルミ、ジルコニア等の材料を用い
ることもできる。

【００１９】この場合、圧電素子の焼成温度は一般に約
１１００〜１２００℃程度であるが、液室プレート１で
使用するセラミックス材として焼成温度がより高温の材
料、例えば焼成温度が１４００℃以上あるアルミナ、ジ
ルコニア等を用いれば、液室プレート１を成型、積層等
で形状を作って焼成後、ダイアフラム部８上に圧電素子
３を一体的に焼成できる。

【００２０】このように、液室プレートをセラミックス
部材で形成し、インク供給路やノズルなどの寸法精度が
問題になる部分をノズルプレート側に形成して、両者を
接合するようにすることで、液室プレートに圧電素子を
一体的に構成することができ、セラミックス焼成時の収
縮で発生する寸法精度が問題にならず、後で接着剤を用
いた接着工法により圧電素子を接合する場合に比べて、
振動伝達効率の低下を低減することができ、信頼性の高
い液室ユニットを得ることができる。

【００２１】また、液室プレート１は、スレンレス、ニ
ッケル等の厚みの異なる金属板で、各部の形状に応じて
孔加工したものを積層して構成し、圧電素子３を接着接
合して液室ユニットとすることもできる。

【００２２】この液室プレート１の外面には、図１に示
すように、各列のすべての圧電素子３の一方の電極１１
に接続した共通電極パターン１２を形成すると共に、圧
電素子３の他方の電極１３に個別的に接続した個別電極
パターン１４とを形成している。ここで、個別電極パタ
ーン１４と圧電素子３の他方の電極１３とは、ワイヤー
ボンディング、導電接着、またはＦＰＣ等によって接続
する。この圧電素子３に接続した共通電極パターン１２
にはＧＮＤを接続し又は数１０Ｖの電圧を印加し、個別
電極パターン１４には選択的に数１０Ｖの電圧を印加す
る。更に、液室プレート１の共通インク流路７にインク
供給穴９を介して外部からインクを供給するためのイン
ク供給パイプ１５を取付けている。

【００２３】ノズルプレート２には、図２及び図３に示
すように、加圧液室５に臨むノズル（オリフィス）１７
及びこのオリフィス１７の導入口１７ａを形成すると共
に、液室プレート１の隔壁部６に対応して、共通インク
流路７から加圧液室５にインクを供給するインク供給路
１８をなす細溝状の凹部２ａを形成している。

【００２４】ここで、このノズルプレート２のインク供
給路１８について説明する。圧電素子３にパルス状の電
圧を印加することでダイアフラム部８とのユニモルフ構
造によって厚み方向が拡張し、面方向が収縮してダイア
フラム部８の加圧液室５方向への変形が発生し、加圧液
室５内のインクをパルス状に加圧してオリフィス１７か
らインク滴を吐出させるが、このときにインク供給路１
８側にもパルス状のインクの流れが発生する。

【００２５】したがって、このインク供給路１８がパル
ス状のインクの流れに対して、流体抵抗が小さい場合に
は共通インク流路７側への逆流が多くなって吐出効率が
低下し、流体抵抗が大きい場合にはインク滴吐出後の加
圧液室５へのインクの充填効率が低下することになる。
つまり、圧電素子３による電圧印加変形によるインク滴
吐出後、電圧オフでダイアフラム部８が元の形状に復帰
することで加圧液室５内が一時的に負圧になって共通イ
ンク流路７から加圧液室５へのインク充填が行われる
が、充填効率が低い場合、吐出の繰り返し周波数が高く
なると、充分な充填が行われないうちに次の吐出動作に
入ってしまい、オリフィス１７からの１回当りのインク
吐出量が減少して画像濃度が低下することになる。

【００２６】例えば、円管流路の流体抵抗Ｒは、一般
に、Ｒ＝１２８μＬ／πｄ⁴で表わされる。ここで、μ
は流体抵抗の粘度、Ｌは管路の長さ、ｄは管路の直径で
ある。円管路でなく、断面がａ×ｂの長方形の場合、前
記円管路の場合の式中のｄが、ｄ＝２ａｂ／（ａ＋ｂ）
に置き変わることになる。つまり、管路の流体抵抗は、
管路の長さと流体の粘度に比例し、断面積の２乗に反比
例する。

【００２７】そこで、前記の吐出吐出特性を満足させる
ためには、オリフィス１７の流体抵抗Ｒｏとインク供給
路１８の流体抵抗Ｒｉとの関係を、約Ｒｉ＝２Ｒｏ〜
０．２Ｒｏの範囲に設定する。この範囲は、実際には液
室形状、その液室に対するＲｉ、Ｒｏの取付け位置、材
質等によって左右されるので、実験等によって最適な関
係を選択する。

【００２８】この実施例では、ノズルプレート２のイン
ク供給路１８は、幅、深さ共に２０〜８０μｍで、長さ
０．５〜１ｍｍ程度にしている。この実施例において、
インク供給路１８の長さを決定しているのは、図２に示
すように液室プレート１側の隔壁部６の先端フラット部
の長さＬであり、ここでは、０．０５〜０．５ｍｍ程度
に設定している。

【００２９】これらの液室プレート１とノズルプレート
２とは図２に示すように接合剤１９で位置合せをして接
合している。この液室プレート１とノズルプレート２と
の接合は材料に応じて各種の方法を選択することがで
き、接合剤１９を用いなければならないものではない。

【００３０】例えば、ノズルプレート２をポリフェニレ
ンサルファイド、ポリエーテルサルフォン、ポリサルフ
ォン、ポリイミド等の樹脂で形成する場合、ノズルプレ
ート２の形成方法としては、射出成型にてプレートと同
時にインク供給路１８を形成し、エキシマレーザー加工
にてマスクを用いてオリフィス１７を孔加工することが
できる。エキシマレーザーによる加工は、液室側から吐
出側へ加工することで適度のテーパー形状となってイン
ク吐出には問題のない形状が得られる。また、成型は単
に数１０〜数１００μｍの薄板の成型と、その薄板に部
分的にインク供給路１８を作るという単純な形状である
ので、高精度化を容易に図ることができる。

【００３１】このようにノズルプレート２を樹脂で形成
した場合に、液室プレート１も同様な樹脂成型によると
きには、ＭＥＫ等溶剤で接合するのが好ましい。このよ
うにすれば、接着剤の流れ込み等がなく、接合後は溶剤
が蒸発し、相互に溶融した接号となって母材と同じ強度
が得られ、信頼性が向上する。なお、この場合には、そ
の後、ダイヤフラム部８に対応して圧電素子３を接着接
合することになる。

【００３２】また、ノズルプレート２をニッケル（Ｎ
ｉ）電鋳、ＳＵＳのエッチング等、金属材料で形成し、
液室プレート１を樹脂成型で形成した場合には、スクリ
ーン印刷による接着剤塗布接合ができる。接着剤として
は、エポキシ樹脂系、フェノール樹脂系、ウレタン樹脂
系、シリコーン樹脂系等、一般の接着剤を用いることが
できる。また、その他、感光性樹脂フィルムを使用した
接合も可能である。例えば、ノズルプレート２の内側に
３０μｍ以下の感光性樹脂フィルムをラミネートし、オ
リフィス１７及びインク供給路１８に対応したフォトマ
スクを使用して、露光、現像後、液室プレート１を位置
決めして加熱、加圧接合を行えばよい。

【００３３】さらに、ノズルプレート２をニッケル（Ｎ
ｉ）電鋳、ＳＵＳのエッチング等、金属材料で形成し、
液室プレート１をセラミックで形成した場合には、上述
したスクリーン印刷による接着剤塗布接合もできるが、
その他、次のような接合も可能である。すなわち、ガラ
スフリットとＮｉ、白金等の金属粒子を混ぜてスラリー
状とした後、ノズルプレート２又は液室プレート１の少
なくともいずれかスクリーン印刷をして接合し、４００
〜８００℃で加熱するサーメット法を用いることができ
る。

【００３４】また、ノズルプレート２と液室プレート１
の両接合面にＮｉ、クロム、Ｐｔ、Ａｕ、Ａｌ等の金属
を真空蒸着、スパッタ、ＣＶＤ等の方法で付けて熱融着
し、或いは高周波加熱等で拡散接合する。更に、別の方
法として、アルゴンガスを用いてＮｉ、スズ等を液室プ
レート１であるセラミック表面に吹きつけた後、両者を
位置出しして圧接熱融着、或いは拡散接合するメタル溶
射法によることもできる。

【００３５】このように、加圧液室及び共通インク流路
を形成する液室形成部材と、ノズル及び共通インク流路
から各加圧液室へインクを供給するインク供給路を形成
するノズル形成部材とを接合することで、インクジェッ
トヘッド構成において微細形状で精度が要求されるノズ
ル及びインク供給路を一体的に形成することができ、そ
の工法で精度を最優先した工程条件を選択して製造する
ことが可能になり、マルチノズルの噴射特性のバラツキ
が低減して高密度記録の画像品質が向上し、一層の高集
積化を図ることができる。それと共に、部品点数も少な
くなって小型、低コスト化を図ることできる。

【００３６】次に、図４は本発明の第２実施例に係るイ
ンクジェットヘッドの要部断面図、図５は図４のノズル
プレートの斜視図である。この実施例においては、ノズ
ルプレート２に形成するインク供給路１８の形状を上記
第１実施例と異ならしめている。つまり、ノズルプレー
ト２に形成した凹部２ａは、幅（長さ）Ｌの細溝状をな
す流体抵抗部１９と、この流体抵抗部１９に連通して共
通インク流路７側に充分広く開口した開口部であるイン
ク流入口２０と、流体抵抗部１９に連通して加圧液室５
側に充分広く開口した開口部であるインク流出口２１と
を有するインク供給路１８を形成している。また、液室
プレート１の隔壁部６は、これらのインク流入口２０及
びインク流出口２１の一部に臨む幅に形成している。

【００３７】このように構成したので、インク流入口２
０及びインク流出口２１は深さ方向に対して幅方向の寸
法が大きく、これらのインク流入口２０及びインク流出
口２１の流体抵抗は小さくなり、実質的にインク供給路
１８の流体抵抗は幅方向が狭くなっている図４の幅Ｌの
部分である流体抵抗部１９で決まることなる。このこと
は、インク供給路１８の流体抵抗がすべてノズルプレー
ト２側の形状で決定されることになり、共通インク流路
７と加圧液室５の間にある液室プレート１の厚さのばら
つきに対しても、また液室プレート１とノズルプレート
２との接合位置等が多少ずれても、インク供給路１８の
流体抵抗には影響が及ばないことになる。

【００３８】このように、インク供給路の両側に開口部
を有することによって、インク供給路の流体抵抗が、流
体抵抗部の幅Ｌとその断面積で決定される、つまり、ノ
ズルプレートの部品精度のみで決定されるため、吐出特
性のバラツキが一層小さくなる。また、流体抵抗部１９
に対してインク流入口２０及びインク流出口２１の深さ
を深くすることで、インク供給路１８への流入、流出を
容易にし、組立精度に対する流体抵抗のバラツキを更に
小さくすることも可能である。

【００３９】次に、図６は本発明の第３実施例に係るイ
ンクジェットヘッドのノズルプレートの斜視図である。
このノズルプレート２２は、インクを吐出するオリフィ
ス１７を形成したプレート２３と、インク供給路１８を
形成した感光性樹脂層２４とからなる。プレート２３
は、上述したように樹脂プレートであればエキシマレー
ザー加工で、金属プレートであれば周知のＮｉ電鋳工法
で、又はＳＵＳプレートにプレス加工等で孔加工して、
オリフィス１７を形成したものである。

【００４０】そして、このプレート２３の液室側に感光
性樹脂フィルムをラミネートする。この感光性樹脂フィ
ルムの厚さはインク供給路１８の深さに相当する厚みの
ものを使用し、２０〜８０μｍ程度である。この感光性
樹脂フィルムをオリフィス部及びインク供給路に対応し
たフォトマスクを使用して、露光、現像の後、液室プレ
ートに位置決めして加熱、加圧接合を行なう。このと
き、オリフィス部は、オリフィス１７の内側径よりも十
分大きい径の開口にしておけばよい。

【００４１】このように、ノズルを形成した部材上に感
光性樹脂層でインク供給路を形成したノズル形成部材と
セラミックス部材からなる液室形成部材とを接合するこ
とにより、高精度にインク供給路を形成することができ
ると共に、インク供給路の形成と同時に接合を行うこと
ができて、組立工程が簡単になる。

【００４２】次に、図７を参照してＮｉ電鋳工法による
ノズルプレートの製造工程について説明する。先ず、同
図（ａ）に示すように電鋳基板としてＳＵＳプレート又
は絶縁基板である場合には薄膜の金属等で導電処理を行
ったものを用いて、基板３１上にスピンコートによって
数μｍの感光性レジストをコーティングし、オリフィス
に対応したフォトマスクにより露光、その後現像して、
オリフィス部レジスト３２を形成する。そして、オリフ
ィス部レジスト３２以外のレジストを除去した部分に、
Ｎｉ一次電鋳３３を行い、通常３０〜１００μｍのＮｉ
電鋳プレートを形成する。

【００４３】次いで、同図（ｂ）に示すように二次電鋳
以上の厚みを有する感光性樹脂フィルムをラミネート
し、オリフィス及びイン供給路に対応したマスクにより
露光、現像を行って、オリフィス部（導入口部）及びイ
ンク供給部に対応する感光性樹脂層３４，３５を残し、
同図（ｃ）に示すように一次電鋳３３上に二次電鋳３６
を行って所要厚さの電鋳プレートを得る。その後、同図
（ｄ）に示すように感光性樹脂層３４，３５を除去し
て、二次電鋳３６の厚みで決まる深さのインク供給路１
８を得る。

【００４４】このように、インク供給路を有するノズル
プレートを多層Ｎｉ電鋳工法によって多層構造に形成す
ることにより、幅寸法はフォトマスクで、厚みは主とし
て電鋳時間で管理して、一体的に形成することができる
ので、高精度にインク供給路を有するノズルプレートを
得ることができると共に、量産性も向上する。

【００４５】また、このようにインク供給路を一体的に
形成したノズルプレートは、例えばエッチングによって
インク供給路を形成することでも得ることができる。例
えばＳＵＳプレートの両面に感光性液状レジストをスピ
ンコートし、インク供給路形成側の面にフォトマスクに
よりパターン露光を行い、現像によってインク供給路に
相当する領域のレジストを除去する。これを使用する材
料に応じたエッチング液よって凹部を形成、その後パン
チングの機械加工によりオリフィスを形成する。或い
は、ノズルプレートが樹脂の場合であっても、同様にフ
ォトリソとエッチング技術によってインク供給路を形成
した後、エキシマレーザー加工によりオリフィスの孔加
工を行う。なお、これらの場合、インク供給路の形成と
オリフィスの孔加工の順序は入れ替わっても何ら不都合
はない。

【００４６】このように、インク供給路を有するノズル
プレートをエッチング工法によって形成することによ
り、幅寸法はフォトマスクで、厚みは主としてエッチン
グ時間で管理して、一体的に形成することができるの
で、高精度にインク供給路を有するノズルプレートを得
ることができると共に、量産性も向上する。

【００４７】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１のインク
ジェットヘッドによれば、加圧液室及び共通インク流路
を形成する液室形成部材と、ノズル及び共通インク流路
から各加圧液室へインクを供給するインク供給路を形成
するノズル形成部材とを接合したので、ノズル及びイン
ク供給路の高精度化を図ることができ、高密度、高画質
化が容易になって画像品質が向上すると共に、部品点数
が少なくなって小型化、低コスト化を図ることができ
る。

【００４８】請求項２のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１のインクジェットヘッドにおいて、イ
ンク供給路は、加圧液室と共通インク流路にそれぞれ臨
む開口部と、各開口部にそれぞれ連通して、加圧液室を
加圧したときに発生するインクの流れに対して流体抵抗
を生じる流体抵抗部とからなる構成としたので、ノズル
形成部材と液室形成部材との組立精度のバラツキによる
インク吐出速度やインク吐出量などの吐出特性のバラツ
キが防止できると共に、要求組立精度が低くなること
で、一層の小型化、低コスト化を図ることができる。

【００４９】請求項３のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１又は２のインクジェットヘッドにおい
て、ノズル形成部材が多層構造のニッケル電鋳工法で形
成されている構成としたので、インク供給路の高精度化
を図れ、量産性も向上する。

【００５０】請求項４のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１又は２のインクジェットヘッドにおい
て、ノズル形成部材がエッチング工法で形成されている
構成としたので、インク供給路の高精度化を図れ、量産
性も向上する。

【００５１】請求項５のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１のインクジェットヘッドにおいて、イ
ンク供給路を一体的に形成したノズル形成部材と、セラ
ミックス部材からなる液室形成部材とを接合したので、
アクチュエータ素子としての圧電素子を液室形成部材と
一体的に構成することができて、振動伝達効率の低下の
少ない、小型、低コストのマルチノズルヘッドを得るこ
とができる。

【００５２】請求項６のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１のインクジェットヘッドにおいて、ノ
ズル形成部材が、ノズルを形成した部材上に感光性樹脂
層でインク供給路を形成してなり、このノズル形成部材
とセラミックス部材からなる液室形成部材とを接合した
ので、インク供給路の高精度化を図れると共に、工程が
簡単になり、小型、低コストのマルチノズルヘッドを得
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係るインクジェットヘッ
ドの斜視図

【図２】図１の要部断面図

【図３】図１のノズルプレートの斜視図

【図４】本発明の第２実施例に係るインクジェットヘッ
ドの要部断面図

【図５】図４のノズルプレートの斜視図

【図６】本発明の第３実施例に係るインクジェットヘッ
ドのノズルプレートの斜視図

【図７】本発明に係るインクジェットヘッドのノズルプ
レートの製造工程の一例を説明する説明図

【符号の説明】

１…液室プレート、２，２２…ノズルプレート、３…圧
電素子、５…加圧液室、６…隔壁部、７…共通インク流
路、８…ダイアフラム部、９…インク供給孔、１７…ノ
ズル（オリフィス）、１８…インク供給路、１９…流体
抵抗部、２０…インク流入口、２１…インク流出口、２
４…感光性樹脂層。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数のノズルと、この複数のノズルが臨
む複数の加圧液室と、この複数の加圧液室にインクを供
給する共通インク流路と、前記複数の加圧液室のインク
を加圧するアクチュエータ素子とを備え、このアクチュ
エータ素子で前記加圧液室を加圧することで前記ノズル
からインク滴を吐出するインクジェットヘッドにおい
て、前記加圧液室及び共通インク流路を形成する液室形
成部材と、前記ノズル及び前記共通インク流路から各加
圧液室へインクを供給するインク供給路を形成するノズ
ル形成部材とを接合したことを特徴とするインクジェッ
トヘッド。
【請求項２】請求項１に記載のインクジェットヘッド
において、前記インク供給路は、前記加圧液室と共通イ
ンク流路にそれぞれ臨む開口部と、各開口部にそれぞれ
連通して、前記加圧液室を加圧したときに発生するイン
クの流れに対して流体抵抗を生じる流体抵抗部とからな
ることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項３】請求項１又は２に記載のインクジェット
ヘッドにおいて、前記ノズル形成部材が多層構造のニッ
ケル電鋳工法で形成されていることを特徴とするインク
ジェットヘッド。
【請求項４】請求項１又は２に記載のインクジェット
ヘッドにおいて、前記ノズル形成部材がエッチング工法
で形成されていることを特徴とするインクジェットヘッ
ド。
【請求項５】請求項１に記載のインクジェットヘッド
において、前記インク供給路を一体的に形成したノズル
形成部材と、セラミックス部材からなる液室形成部材と
を接合したことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項６】請求項１に記載のインクジェットヘッド
において、前記ノズル形成部材が、前記ノズルを形成し
た部材上に感光性樹脂層で前記インク供給路を形成して
なり、このノズル形成部材とセラミックス部材からなる
液室形成部材とを接合したことを特徴とするインクジェ
ットヘッド。