JP2007088227A - デバイス実装構造、デバイス実装方法、電子装置、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 複数の部材10,20を接合して形成される基体5に対してデバイス200を搭載すると共に、基体とデバイス200とをフレキシブル基板501を介して電気接続してなるデバイス実装構造であって、フレキシブル基板501と基体5との接続部及び/又はフレキシブル基板501とデバイス200との接続部には、部材同士10,20を接合するための樹脂520と略同一硬化条件を有すると共に導電性粒子516が混練された接合樹脂515が配置される。
【選択図】 図4
Description
第1の発明は、複数の部材を接合して形成される基体に対してデバイスを搭載すると共に、前記基体と前記デバイスとをフレキシブル基板を介して電気接続してなるデバイス実装構造であって、前記フレキシブル基板と前記基体との接続部及び/又は前記フレキシブル基板と前記デバイスとの接続部には、前記部材同士を接合するための樹脂と略同一硬化条件を有すると共に導電性粒子が混練された接合樹脂が配置されるようにした。
この発明によれば、複数の部材を接着剤で固化するのと同時に、フレキシブル基板と基体及び/又はフレキシブル基板とデバイスとの電気的接続を行うことが可能となり、製造効率の向上が図られる。
また、前記フレキシブル基板と前記基体との接続部は、前記部材同士の接合部と一体に形成されるものでは、部材同士の接合と同時に、フレキシブル基板と基体とを電気的に接続することができる。また、デバイス実装構造のコンパクト化が図られる。
また、前記接合部を構成する前記部材の一方は、前記フレキシブル基板の厚みと略同一深さを有して前記フレキシブル基板を収容する堀込部を備えるものでは、フレキシブル基板と基体との接続部と、部材同士の接合部とを良好に一体化させることが可能となる。
この発明によれば、複数の部材を接着剤で固化するのと同時に、フレキシブル基板と基体及び/又はフレキシブル基板とデバイスとの電気的接続を行うことが可能となり、製造効率の向上が図られる。
また、前記部材同士を接合するに先立って、前記フレキシブル基板を前記部材に接合するものでは、その後に前記部材同士を接合することで、同時にフレキシブル基板と基体等の電気的接続が行われるようになる。
この発明によれば、効率よく電子機器を製造することができ、電子機器の低コスト化が図られる。
この発明によれば、効率よく液滴吐出ヘッドを製造することができ、液滴吐出ヘッドの低コスト化が図られる。
この発明によれば、液滴吐出装置の低コスト化が図られる。
以下、本発明のデバイス実装構造、デバイス実装方法、電子装置、液滴吐出ヘッドの第1実施形態について図を参照して説明する。
なお、以下の説明においては、XYZ直交座標系を設定し、このXYZ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。そして、水平面内における所定方向をX軸方向、水平面内においてX軸方向と直交する方向をY軸方向、X軸方向及びY軸方向のそれぞれに直交する方向(すなわち鉛直方向)をZ軸方向とする。
図1は液滴吐出ヘッドの一実施形態を示す外観斜視図、図2は液滴吐出ヘッドをノズル開口部側から見た斜視図の一部破断図、図3は図1のA−A線断面矢視図である。
更に、可撓性を有すると共に駆動回路部200と圧電素子300とを電気的に接続する配線パターン(不図示)を備えるフレキシブル基板500(501〜504)と、各フレキシブル基板500に搭載されて圧電素子300を駆動するための駆動回路部(ICドライバ)200と、を備えている。
また、リザーバ形成基板20と流路形成基板10とで囲まれた空間によって、圧力発生室12に供給される前の機能液を予備的に保持するリザーバ100(図3参照)が形成される。
流路形成基板10とノズル基板16とは、例えば熱硬化性接着剤等の樹脂520を介して固定されている。
そのノズル基板16には、液滴を吐出するノズル開口部15が設けられている。ノズル開口部15はノズル基板16に複数設けられている。具体的には、ノズル基板16には、Y軸方向に複数並んで設けられたノズル開口部15によって構成された、第1ノズル開口群15A、第2ノズル開口群15B、第3ノズル開口群15C、及び第4ノズル開口群15Dのそれぞれが設けられている。
第1ノズル開口群15Aと第2ノズル開口群15BとはX軸方向に関して互いに対向するように配置されている。第3ノズル開口群15Cは第1ノズル開口群15Aの+Y側に設けられており、第4ノズル開口群15Dは第2ノズル開口群15Bの+Y側に設けられている。これら第3ノズル開口群15Cと第4ノズル開口群15DとはX軸方向に関して互いに対向するように配置されている。
なお、図2では、各ノズル開口群15A〜15Dのそれぞれは6個のノズル開口部15によって構成されて示されているが、実際には、例えば720個程度のノズル開口部15によって構成されている。
そして、複数の隔壁11を有する流路形成基板10と、ノズル基板16と、振動板400とで囲まれた空間として、複数の圧力発生室12が形成される。圧力発生室12は、複数のノズル開口部15に対応するように複数形成されている。すなわち、圧力発生室12は、第1〜第4ノズル開口群15A〜15Dのそれぞれを構成する複数のノズル開口部15に対応するように、Y軸方向に複数並んで設けられている。
そして、第1ノズル開口群15Aに対応して複数形成された圧力発生室12によって第1圧力発生室群12Aが構成されている。第2ノズル開口群15Bに対応して複数形成された圧力発生室12によって第2圧力発生室群12Bが構成されている。第3ノズル開口群15Cに対応して複数形成された圧力発生室12によって第3圧力発生室群12Cが構成されている。第4ノズル開口群15Dに対応して複数形成された圧力発生室12によって第4圧力発生室群12Dが構成されている。
第1圧力発生室群12Aと第2圧力発生室群12BとはX軸方向に関して互いに対向するように配置されており、それらの間には隔壁10Kが形成されている。同様に、第3圧力発生室群12Cと第4圧力発生室群12Dとは、X軸方向に関して互いに対向するように配置されており、それらの間には隔壁10Kが形成されている。
これにより、機能液導入口25より導入された機能液は、導入路26を経てリザーバ100に流れ込み、その後、供給路14を経て、第1圧力発生室群12Aを構成する複数の圧力発生室12のそれぞれに供給されるようになっている。
また、第2、第3、第4圧力発生室群12B、12C、12Dのそれぞれを構成する圧力発生室12のそれぞれにも、上述と同様のリザーバ100が接続されている。
弾性膜50は、例えば厚み1〜2μm程度の二酸化シリコンによって形成されている。下電極膜60は、例えば厚み0.2μm程度の金属によって構成されている。本実施形態において、下電極膜60は、複数の圧電素子300の共通電極となっている。
なお、流路形成基板10とリザーバ形成基板20は、例えば例えば熱硬化性接着剤等の樹脂520を介して固定されている。
圧電体膜70は例えば厚み1μm程度であり、上電極膜80は例えば厚み0.1μm程度である。なお、圧電素子300の概念としては、圧電体膜70及び上電極膜80に加えて、下電極膜60を含むものであってもよい。すなわち、本実施形態における下電極膜60は、圧電素子300としての機能と、振動板400としての機能とを兼ね備えている。
また、本実施形態では、弾性膜50及び下電極膜60が振動板400として機能するが、弾性膜50を省略した構造とし、下電極膜60が弾性膜(50)を兼ねるようにしてもよい。
封止膜31は、剛性が低く可撓性を有する材料(例えば、厚み6μm程度のポリフェニレンスルフィドフィルム)からなる。この封止膜31によってリザーバ部21が封止されている。また、固定板32は、金属等の硬質の材料(例えば、厚み30μm程度のステンレス鋼)で形成される。
この固定板32のうち、リザーバ100に対応する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部33となっている。そのため、リザーバ100の上部は、可撓性を有する封止膜31のみで封止され、内部圧力の変化によって変形可能な可撓部22となっている。
同様に、開口部700によって、第3圧電素子群300Cを封止する第3封止部20Cと、第4圧電素子群300Dを封止する第4封止部20Dとに分けられる(なお、第3、第4封止部20C、20Dは不図示)。
また、本実施形態では、溝部24の内部を密封状態にしただけであるが、例えば、溝部24内の空間を真空にしたり、あるいは窒素又はアルゴン雰囲気等とすることにより、溝部24内を低湿度に保持し、圧電素子300の劣化をさらに確実に防止することができる。
なお、圧電素子300の上電極膜80からは流路形成基板10上に引き出し配線90(図4参照)が接続されており、の引き出し配線90は、リザーバ形成基板20の開口部700まで延設されている。そして、この引き出し配線90とフレキシブル基板501とを電気的に接続することで、圧電素子300を駆動することが可能となる。
フレキシブル基板501〜504はそれぞれ可撓性を有しており、例えばポリイミド等の絶縁性フィルムによって構成されている。前述したように、フレキシブル基板501〜504には、銅などの導電性材料からなる配線パターンが形成されている。
駆動回路部200Aは、例えば熱硬化性接着剤等の接着樹脂515を介してリザーバ形成基板20に電気的に接続される。なお、リザーバ形成基板20上には、必要に応じて配線パターンが形成されるとともに、この配線パターンが駆動回路部200Aの端子に電気的に接続される。この駆動回路部200Aは、外部信号入力部580(図1参照)を介して外部コントローラCT(図1参照)に電気的に接続される。
また、フレキシブル基板501の両端に形成された端子部(不図示)は、例えば熱硬化性接着剤等の接着樹脂515を介して、流路形成基板10上に形成された引き出し配線90(圧電素子300の上電極膜80に接続する配線)に電気的に接続される。
同様に、フレキシブル基板501を流路形成基板10上の引き出し配線90に押圧することにより、接着樹脂515に含まれる金属粒子516を介して、引き出し配線90とフレキシブル基板501とが電気的に接続される。
金属粒子516が混錬される接着樹脂515は、流路形成基板10とノズル基板16とを固定する樹脂、流路形成基板10とリザーバ形成基板20とを固定する樹脂、リザーバ形成基板20とコンプライアンス基板30とを固定する樹脂と同一の樹脂、または硬化条件が略同一の樹脂である。
このように、流路形成基板10、ノズル基板16、リザーバ形成基板20等の固定と同一の硬化条件を有する樹脂を用いることで、流路形成基板10、ノズル基板16、リザーバ形成基板20等の接合工程と同一の工程において、リザーバ形成基板20と駆動回路部200Aとの電気接続、流路形成基板10上の引き出し配線90とフレキシブル基板501との電気接続を行うことが可能となる。
液滴吐出ヘッド1より機能液の液滴を吐出するために、外部コントローラCTは、機能液導入口25に接続された不図示の外部機能液供給装置を駆動する。外部機能液供給装置から送出された機能液は、機能液導入口25を介してリザーバ100に供給された後、ノズル開口部15に至るまでの液滴吐出ヘッド1の内部流路を満たす。
また、外部コントローラCTは、フレキシブル基板501〜504に設けられた外部信号入力部580を介して、駆動回路部200等に駆動電力や指令信号を送る。駆動回路部200は、外部コントローラCTからの指令に基づいて、フレキシブル基板501〜504を介して、圧力発生室12に対応するそれぞれの下電極膜60と上電極膜80との間に電圧を印加し、弾性膜50、下電極膜60及び圧電体膜70を変位させる。
このようにして各圧力発生室12内の圧力を高めて、ノズル開口部15より液滴を吐出する。
なお、流路形成基板10やリザーバ形成基板20等を膜形成プロセスやエッチングプロセスを経ることで個別に形成する工程については、従来と異ならないので、その説明を省略する。
同様に、図5(b)に示すように、流路形成基板10のリザーバ形成基板20とは反対側の面にノズル基板16を樹脂520を介して仮接合する。また、リザーバ形成基板20上にコンプライアンス基板30を樹脂520を介して仮接合する。
以下、本発明のデバイス実装構造、デバイス実装方法、電子装置、液滴吐出ヘッドの第2実施形態について図を参照して説明する。
なお、以下の説明においては、第1実施形態と同一の部材については、同一の符号を付して、その説明を省略する。
フレキシブル基板501は、リザーバ形成基板20の上面及び下面に対して固定されている。
リザーバ形成基板20の上面に固定されたフレキシブル基板501上には、更に駆動回路部200Aが固定される。
リザーバ形成基板20の下面に固定されたフレキシブル基板501は、リザーバ形成基板20の下面に形成された堀込部28に収容された状態で固定されている。堀込部28の深さは、フレキシブル基板501の厚みと略同一である。このため、リザーバ形成基板20の下面と堀込部28に収容されたフレキシブル基板501の表面とは、同一の面を形成するようになっている。
したがって、リザーバ形成基板20とフレキシブル基板501とが一体となって、圧電素子300を封止できるようになっている。それと同時に、フレキシブル基板501が流路形成基板10上に形成された引き出し配線90(圧電素子300の上電極膜80に接続する配線)に電気的にも接続されるようになっている。
このため、リザーバ形成基板20に形成される溝部24や圧電素子300をより近接配置することが可能となる。更には、流路形成基板10の圧力発生室12やノズル開口部15をより近接配置することが可能となる。したがって、高いノズル配置密度を有する液滴吐出ヘッド2を形成することが可能となる。
まず、図7(a)に示すように、リザーバ形成基板20に対して、フレキシブル基板501を、樹脂520又は樹脂515を介して固定する。
次に、図7(b)に示すように、リザーバ形成基板20と流路形成基板10とを樹脂520を介して仮接合する。なお、リザーバ形成基板20に固定されたフレキシブル基板501が流路形成基板10に接合する部分ついては、樹脂515を用いる。これにより、フレキシブル基板501と流路形成基板10上の引き出し配線90とが電気的に接続される。
更に、図7(d)に示すように、リザーバ形成基板20の上面側のフレキシブル基板501上に、圧電素子300を駆動させる駆動回路部200を樹脂515を介してそれぞれ仮実装(電気的にも仮接続)する。
次に、上述した液滴吐出ヘッド1,2を備えた液滴吐出装置IJの一例について、図8を参照しながら説明する。
図8は、液滴吐出装置IJの概略構成を示す斜視図である。
液滴吐出ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載されている。
図8示すように、液滴吐出ヘッドを有する記録ヘッドユニット801A及び801Bには、インク供給手段を構成するカートリッジ802A及び802Bが着脱可能に設けられている。この記録ヘッドユニット801A及び801Bを搭載したキャリッジ803が、装置本体804に取り付けられたキャリッジ軸805に軸方向移動自在に取り付けられている。
図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートSがプラテン808上に搬送される。
上記構成を具備したインクジェット式記録装置は、前述の液滴吐出ヘッド1,2を備えているので、小型で信頼性が高く、更に低コストである。
Claims (12)
- 複数の部材を接合して形成される基体に対してデバイスを搭載すると共に、前記基体と前記デバイスとをフレキシブル基板を介して電気接続してなるデバイス実装構造であって、
前記フレキシブル基板と前記基体との接続部及び/又は前記フレキシブル基板と前記デバイスとの接続部には、前記部材同士を接合するための樹脂と略同一硬化条件を有すると共に導電性粒子が混練された接合樹脂が配置されることを特徴とするデバイス実装構造。 - 前記部材のうちの少なくとも1つは、他の部材とは異なる材質からなることを特徴とする請求項1に記載のデバイス実装構造。
- 前記フレキシブル基板と前記基体との接続部は、前記部材同士の接合部と一体に形成されることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のデバイス実装構造。
- 前記接合部を構成する前記部材の一方は、前記フレキシブル基板の厚みと略同一深さを有して前記フレキシブル基板を収容する堀込部を備えることを特徴とする請求項3に記載のデバイス実装構造。
- 複数の部材を接合して形成される基体に対してデバイスを搭載すると共に、前記基体と前記デバイスとをフレキシブル基板を介して電気接続してなるデバイス実装方法であって、
前記部材同士を接合すると同時に、前記フレキシブル基板と前記基体との電気接続及び/又は前記デバイスとの電気接続を行うことを特徴とするデバイス実装方法。 - 前記部材のうちの少なくとも1つは他の部材とは異なる材質からなると共に、
前記部材同士を接合する工程において、熱処理を行うことを特徴とする請求項5に記載のデバイス実装構造。 - 前記部材同士を接合するに先立って、
前記フレキシブル基板を前記部材に接合することを特徴とする請求項5又は請求項6に記載のデバイス実装方法。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載のデバイス実装構造を用いて基体上に実装された電子デバイスを備えたことを特徴とする電子装置。
- 請求項5から請求項7のいずれかに記載のデバイス実装方法を用いて基体上に実装された電子デバイスを備えることを特徴とする電子装置。
- 請求項1から請求項4のいずれかに記載のデバイス実装構造を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項5から請求項7のいずれかに記載のデバイス実装方法を用いて製造されたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項10または請求項11に記載の液滴吐出ヘッドを備えることを特徴とする液滴吐出装置。
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