JP2001018392A - 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 接着樹脂がオリフィス内部に侵入するのを防
止しつつも、オリフィスプレートとヘッド本体とのクロ
ストークを防止する。 【解決手段】 インクを吐出させるための熱エネルギー
を発生させる発熱素子５が形成された基板１と天板３と
で構成されたヘッド本体３の端面には、流路６に対応す
るオリフィス１２が形成されたオリフィスプレート４が
接合されている。オリフィスプレート１２のヘッド本体
３との接合面には、ゴム変性レジストからなる接合補助
部材１３が、少なくとも流路６を取り囲んで設けられ、
接合補助部材１３上に接着剤１４が設けられている。接
合補助部材１３は、ヘッド本体３とオリフィスプレート
１２との接合時の加圧及び加熱により変形し、ヘッド本
体３の段差ｄを吸収する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液体を噴射し飛翔
液滴を形成して記録を行う液体吐出ヘッド及びその製造
方法に関し、特に、液体を噴射する吐出口（以下、オリ
フィスともいう）の形成に関するものである。

【０００２】また本発明は、紙、糸、繊維、布帛、皮
革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス
等の被記録媒体に対し記録を行う、プリンタ、複写機、
通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有す
るワードプロセッサ等の装置、さらには各種処理装置と
複合的に組み合わせた産業記録装置に適用できる発明で
ある。

【０００３】なお、本発明における『記録』とは、文字
や図形等の意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与す
ることだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を
付与することも意味する。

【０００４】

【従来の技術】従来、液体吐出ヘッドのオリフィスから
記録液（インク）を吐出することにより記録を行うイン
クジェット記録装置が、低騒音、高速記録などの点で優
れた記録装置として知られている。

【０００５】このインクジェット記録法については、こ
れまでにもさまざまな方式が提案され改良が加えられて
商品化されたものもあれば現在実用化への努力が続けら
れているものもある。

【０００６】この種の液体吐出ヘッドは、例えば図８に
示すように、インクを吐出するためのオリフィス１０１
２が形成されたオリフィスプレート１００４と、各オリ
フィス１０１２に連通した流路１００６を形成するため
の天板１００２と、流路１００６の一部を構成し、かつ
吐出のための熱エネルギーを発生する発熱素子１００５
が形成された基板１００１とによって構成されている。

【０００７】オリフィスプレート１００４は、インクを
吐出するための微細なオリフィス１０１２を有し、この
オリフィス１０１２が液体吐出ヘッドの吐出性能を左右
する重要な要素となっている。すなわち液体吐出ヘッド
のオリフィスプレート１００４は、微細なオリフィスプ
レート１０１２を設けるため、加工性がよく、また、イ
ンクに直接接触するため耐インク性がよいなどの性能が
必要とされる。

【０００８】従来、上記の性能を満たす材料として、Ｓ
ＵＳ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ａｌなどの金属プレートや、所望の
厚み、材料を簡易にしかも安価に得られるポリイミド、
ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニ
レンオキサイド、ポリフェニレンサルファイド、ポリプ
ロピレンなどの樹脂フィルム材などが用いられていた。

【０００９】一方、近年の記録技術の進歩に伴って、高
速、高精細な記録が要求されるようになりつつあり、こ
のため、オリフィス１０１２はその大きさ（オリフィス
径）が微小で、かつ高密度に形成されるようになってき
た。この結果、オリフィス１０１２の加工法も様々な工
夫がなされており、樹脂フィルムを用いた場合、レーザ
光は微細加工に適しているため、樹脂フィルムのオリフ
ィス加工にレーザ光を用いている。また、金属プレート
を用いる場合は、電鋳やプレスなどの方法によりオリフ
ィス１０１２を形成している。

【００１０】ところが、天板１００２と基板１００１と
を接合したヘッド本体に、微小なオリフィス１０１２を
形成したオリフィスプレート１００４を接合する際、接
着剤がオリフィス１０１２あるいは流路１００６に入り
込んでしまうことが懸念される。

【００１１】一方、インクの吐出方向を安定させるため
に、液体吐出ヘッドのオリフィスの形状は、インクの吐
出方向に向かうほど径が小さくなる、いわゆるテーパ形
状が望ましい。しかしながら、テーパ形状のオリフィス
をオリフィスプレートに形成した後に、接着樹脂を転写
法などで塗布し、貼り合わせて硬化させると、接着樹脂
がオリフィス内部に進入しオリフィス内部の形状がテー
パ形状から変わってしまい、吐出方向にばらつきが生じ
るなどの不具合がある。また、密着不良による気泡の進
入は、隣接するオリフィスとの間の接着が不十分とな
り、吐出不良を起こしてしまう。

【００１２】このため、特開平５−３３００６１号公報
などに記載されているように、流路およびオリフィス内
部に接着樹脂が入り込まないように、オリフィス近傍に
接着樹脂の段差加工を施す方法が取られている。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たように、接着樹脂がオリフィス内部に侵入するのを防
ぐためにオリフィス近傍に接着樹脂の段差加工を施す
と、オリフィスの周辺部には、接着樹脂の存在しない領
域が生じてしまうことになる。これにより、流路間にク
ロストークが発生し、設計どおりの吐出特性を満足でき
なくなってしまう。

【００１４】そこで本発明は、接着樹脂がオリフィス内
部に侵入するのを防止しつつも、流路間のクロストーク
を防止し、所望の吐出特性を満足させる液体吐出ヘッド
及びその製造方法を提供することを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出させるために利
用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備
えた液流路が端面に開口したヘッド本体と、前記ヘッド
本体の端面に接合され、前記液流路に対応する部位にオ
リフィスが形成されたオリフィスプレートとを有する液
体吐出ヘッドにおいて、前記オリフィスプレートと前記
ヘッド本体の端面との間に、前記オリフィスプレートと
前記ヘッド本体との接合によって変形し前記液流路の周
囲をシールする接合補助部材を有することを特徴とす
る。

【００１６】上記の本発明の液体吐出ヘッドによれば、
オリフィスプレートとヘッド本体の端面との間に接合補
助部材を有するので、ヘッド本体のオリフィスプレート
が接合される端面に凹凸や段差が生じていても、これら
凹凸や段差はオリフィスプレート接合時の接合補助部材
の変形によって吸収され、液流路の周囲がシールされ
る。これにより、液流路間のクロストークが防止され
る。また、オリフィスプレートとヘッド本体とを接合す
る接着剤の液流路への侵入が防止されるため、接着剤
を、オリフィスプレートとヘッド本体とを接合するため
に必要な位置に必要な量だけ用いることができる。

【００１７】接合補助部材は、オリフィスプレートのヘ
ッド本体との接合面に設けることができる。また、接合
補助部材は、ヘッド本体とオリフィスプレートとの加圧
及び加熱により変形可能な材料からなるものであっても
よい。この場合、接合補助部材としてはゴム変性のレジ
ストで形成すると、接合補助部材を所望のパターンで容
易に形成することができる。

【００１８】接合補助部材をゴム変性のレジストのパタ
ーニングによって形成した場合、接着剤は、接合補助部
材上に設けてもよいし、オリフィスプレートとヘッド本
体との間の接合補助部材がパターニングされていない領
域に設けてもよい。さらに、オリフィスプレートは、樹
脂、無機材料、セラミック、金属材料あるいはこれらの
複合材料から作ることができる。

【００１９】本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、液
体を吐出させるために利用されるエネルギーを発生する
エネルギー発生素子を備えた液流路が端面に開口したヘ
ッド本体と、前記ヘッド本体の端面に接着剤を介して接
合され、前記液流路に対応する部位にオリフィスが形成
されたオリフィスプレートとを有する液体吐出ヘッドの
製造方法において、前記オリフィスプレートの前記ヘッ
ド本体との接合面に、前記オリフィスプレートと前記ヘ
ッド本体との接合によって変形して前記液流路の周囲を
シールするための接合補助部材を形成する工程と、前記
接合補助部材が形成されたオリフィスプレートの前記ヘ
ッド本体との接合面に前記接着剤を塗布する工程と、前
記接着剤が塗布されたオリフィスプレートと前記ヘッド
本体とを接合する工程とを有することを特徴とする。

【００２０】上記の本発明の液体吐出ヘッドの製造方法
によれば、上記本発明の液体吐出ヘッドが容易に製造さ
れる。

【００２１】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態について
図面を参照して説明する。

【００２２】（第１の実施形態）図１は、本発明の第１
の実施形態である液体吐出ヘッドの、流路部における模
式的断面図、図２は、本発明の第１の実施形態である液
体吐出ヘッドの、オリフィスプレートのヘッド本体との
接合面側から見た、一部を破断した模式的斜視図であ
る。

【００２３】本実施形態の液体吐出ヘッドは、インクに
与える吐出エネルギーを発生させるためのエネルギー発
生素子である複数の発熱素子５、及び発熱素子５に対応
した複数の流路６を備えるヘッド本体３と、このヘッド
本体３に接合されたオリフィスプレート４とを有する。
ヘッド本体３は、その端面であるヘッド本体接合面３ａ
において流路６が開口しており、オリフィスプレート４
は、このヘッド本体接合面３ａに接合される。また、オ
リフィスプレート４には、各流路６とそれぞれ連通する
複数のオリフィス１２が形成されている。

【００２４】ヘッド本体３は、シリコンからなる基板１
と、同じくシリコンで形成され基板１の上面に接合され
た天板２とで構成される。基板１には、上記の発熱素子
５及び発熱素子５に電気信号を供給するためのＡｌ配線
が成膜技術によって形成されている。天板２には、流路
壁９で仕切られた流路６及び流路６に供給するインクを
一時的に保持する液室７を形成するための凹部が一体に
形成され、基板１に天板２を接合することで、これら流
路６及び液室７が構成される。また、天板２には、外部
から液室７にインクを供給するためのインク供給口（不
図示）が開口している。

【００２５】液室７に供給されたインクは、オリフィス
１２でメニスカスを形成して流路６を満たす。この状態
で発熱素子５を駆動すると、発熱素子５上のインクが急
激に加熱されて流路６内に膜沸騰に伴う気泡が発生し、
この気泡の成長による圧力でオリフィス１２から吐出さ
れる。

【００２６】なお、オリフィスプレート４としては、Ｓ
ｉ、ＳｉＮ、ＳｉＯ等の無機材料、ＳＵＳ、Ｎｉ等、或
は、それらの合金である金属材料、または耐インク性の
優れたプラスチックフィルム、例えば、ポリイミド、ポ
リサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレ
ンオキサイド、ポリフェニレンサルファイド、ポリプロ
ピレン、アラミド等の樹脂材料、更に金属と樹脂が部分
的に混在しているもの等が挙げられる。本実施形態で
は、オリフィスプレート４として、厚さ５０μｍのＳｉ
を用いた。

【００２７】上記の液体吐出ヘッドを製造するには、は
じめに基板１と天板２とを接合してヘッド本体３を構成
しておき、このヘッド本体３のヘッド本体接合面３ａ
に、予めオリフィス１２を形成しておいたオリフィスプ
レート４を接合する。この際、ヘッド本体接合面３ａに
は、基板１と天板２との接合時の位置合わせ誤差や両者
の加工精度等によって、基板１と天板２との間に断差ｄ
が生じている場合がある。このような断差ｄが生じてい
てもヘッド本体接合面３ａにオリフィスプレートを良好
に接合できるようにするために、オリフィスプレート４
のヘッド本体３との接合面には、ゴム変性レジスト（例
えば、ＺＰＮ２０７Ｄ（日本ゼオン株式会社））によっ
て形成された接合補助部材１３が設けられている。接合
補助部材１３は、ヘッド本体３との接合面全域にわたっ
て設けられているのではなく、図２及び図３に示すよう
に、流路６の周囲を取り囲む領域、及びその領域よりも
上方の領域（天板３側の領域）、下方の領域（基板１側
の領域）に部分的に、パターニングされて設けられてい
る。

【００２８】接合補助部材１３は、ヘッド本体３とオリ
フィスプレート４との接合前の接合補助部材１３の高さ
をＬ、接合補助部材１３が変形可能な最小高さをｌとし
たとき、Ｌ≧ｌ＋ｄの関係を満たしている。

【００２９】さらに、接合補助部材１３が設けられたオ
リフィスプレート４とヘッド本体３との接合のために、
接着剤１４が、転写により接合補助部材１３上に設けら
れている。本実施形態では、接着剤１４としては、紫外
線照射あるいは加熱によって硬化するエポキシ系の接着
剤を用いた。

【００３０】このようなオリフィスプレート４とヘッド
本体３との接合時には、まず、オリフィス１２と流路６
とを画像認識することによってオリフィスプレート４と
ヘッド本体３との位置合わせを行い、次いで、オリフィ
スプレート４の接合補助部材１３が設けられた面とヘッ
ド本体接合面３をセンサ（不図示）によって平行出しを
行った後、両者を加圧しながら、ヒートツール（不図
示）によってオリフィスプレート４を加熱する。これに
より、接合補助部材１３はヘッド本体接合面３ａの形状
に応じて熱変形し、さらに、接着剤１４が硬化する。そ
の結果、ヘッド本体接合面３ａの断差ｄが吸収され、オ
リフィスプレート４は天板２及び基板１の両方に密着す
る。

【００３１】また、接合補助部材１３は流路６を取り囲
む領域に設けられ、その上に接着剤１４が設けられてい
るので、液路６の周囲ではヘッド本体３とオリフィスプ
レート４との間に隙間が生じることはない。さらに、接
着剤１４は、接合補助部材１３上のみに設けられている
ので、接着剤１４の設けられる位置及び使用量の管理も
容易に管理できるので、少ない量の接着剤１４で確実に
ヘッド本体３とオリフィスプレート４とを接着すること
ができ、結果的に、接着剤１４が流路６やオリフィス１
２に入り込むことも容易に防止できるので、液体吐出ヘ
ッドの安定した生産が可能となる。

【００３２】ヘッド本体３とオリフィスプレート４との
接合後、両者間の隙間には充填剤１５が充填される。こ
れにより、ヘッド本体接合面３ａに断差ｄが生じていて
も、ヘッド本体３とオリフィスプレート４とを隙間なく
接合することができる。このため、充填剤１５がない場
合に懸念される、ヘッド本体３とオリフィスプレート４
との間の空間部のエアーが、接合の際にかかる断熱を防
止することができる。また、接合補助部材１３は、液路
６を取り囲む領域に設けられているので、充填剤１５を
充填しても、充填剤１５が流路６及びオリフィス１２内
に侵入することはない。また、充填剤１５の量が多少多
くなった場合でも、余った充填剤１５は、オリフィスプ
レート４の側端部の、接合補助部材１３が形成されてい
ない領域である逃げ領域４ａに逃げることができるた
め、不具合は発生しない。

【００３３】図３に示した例では、接合補助部材１３
を、オリフィス１２の周囲の領域には梯子状のパターン
で設けるとともに、その領域の上方及び下方にはオリフ
ィス１２の配列方向に沿ったストライプ状のパターンで
設けた例を示したが、接合補助部材１３は、少なくとも
オリフィス１２、正確には流路６（図２参照）を取り囲
む部分に相当する領域に形成されていれば、図３に示し
たパターンに限定されるものではない。図４に、接合補
助部材の形成パターンの例を示す。図４（ａ）に示す例
では、接合補助部材１３’は、オリフィス１２を取り囲
む領域では複数のオリフィス１２を個別に取り囲み、そ
の上方及び下方では図３に示したようなオリフィス１２
の配列方向に沿うパターンで形成されている。図４
（ｂ）に示す例では、接合補助部材１３”は、オリフィ
ス１２を取り囲む領域では図３に示したような梯子状の
パターンで形成され、その上方及び下方ではオリフィス
１２の配列方向に千鳥状のパターンで形成されている。

【００３４】図３及び図４に示したように、接合補助部
材をオリフィスの周囲だけでなく、その他の領域にも適
宜パターニングすることで、オリフィスプレートとヘッ
ド本体との接合時に両者を加圧しても、オリフィスプレ
ートの平面性を良好に維持することができる。オリフィ
スプレートの平面性は、オリフィスの軸線方向を一定に
保ち吐出方向を安定させる意味からも重要である。

【００３５】（第２の実施形態）図５は、本発明の第２
の実施形態である液体吐出ヘッドの、流路部における模
式的断面図である。

【００３６】本実施形態の液体吐出ヘッドも、発熱素子
２５を備えた基板２１と流路２６を構成するための天板
２２とを接合して構成されるヘッド本体２３のヘッド本
体接合面２３ａに、オリフィス３２が形されたオリフィ
スプレート２４を接合したものである。基板２１及び天
板２２の構成や材料は第１の実施形態に示したものと同
様である。

【００３７】オリフィスプレート２４も、第１の実施形
態に示したものと同様の材料で構成され、また、ヘッド
本体２３との接合面には、図３や図４に示したパターン
と同様のパターンで、ゴム変性レジストによって形成さ
れた接合補助部材３３が設けられている。

【００３８】第１の実施形態においては、接合補助部材
上に接着剤を設けた形態を示したが、本実施形態では、
接着剤３４は、オリフィスプレート２４のヘッド本体２
３との接合面の、接合補助部材３３が設けられていない
領域のうち、オリフィス３２を囲む領域を除く領域に塗
布されている。すなわち、第１の実施形態において充填
剤が存在した領域に接着剤３４を塗布している。そのた
め、接合補助部材３３の常温での変形に伴う内部応力は
接着剤３４でブロックされるので、接合補助部材３３を
熱により変形させなくてもオリフィスプレート２４の平
面性が保たれる。

【００３９】ヘッド本体２３とオリフィスプレート２４
との接合は、第１の実施形態と同様に、オリフィスプレ
ート２４の接合補助部材３３が設けられた面をヘッド本
体接合面３３ａに加圧しながら、ヒートツール（不図
示）によってオリフィスプレート２４を加熱することに
よって行う。

【００４０】このように、接合補助部材３３上ではなく
接合補助部材３３が設けられていない領域に接着剤３４
を塗布しても、第１の実施形態と同様に、接合補助部材
３３がヘッド本体２３の天板２２と基板２１との断差ｄ
を吸収して変形し、オリフィスプレート２４を天板２２
及び基板２１の両方に密着させることができる。そし
て、さらに加熱を続けることによって、接着剤３４が硬
化し、ヘッド本体２３とオリフィスプレート２４とが接
合される。しかも、接合補助部材３３が設けられていな
い領域に接着剤３４が塗布されているので、第１の実施
形態のような封止樹脂を用いなくてもヘッド本体２３と
オリフィスプレート２４とを隙間なく接合することがで
きる。また、流路２６の周囲は接合補助部材３３で取り
囲まれているので、接着剤３４が流路２６やオリフィス
３２に侵入することもない。

【００４１】（第３の実施形態）図６は、本発明の第３
の実施形態である液体吐出ヘッドの、流路部における模
式的断面図である。

【００４２】上述した実施形態では、接合補助部材の高
さはすべて同じ高さであったが、本実施形態では、図６
に示すように、オリフィスの周囲では高さが最も高く、
オリフィスに対して上方及び下方（オリフィスの配列方
向と略直角な方向）に離れるにつれて高さが低くなるよ
うに接合補助部材５３をパターニングしている。このよ
うにオリフィスに対する位置に応じて接合補助部材５３
の高さを変えることで、ヘッド本体４３とオリフィスプ
レート４２との接合時に、接合補助部材５３は、上下方
向においてオリフィスに近い位置のものから順にヘッド
本体４３と密着していく。その結果、充填剤５５が側方
向だけでなく上下方向にも逃げることが可能であるた
め、製造上のタクトアップが図られる。

【００４３】以上、本発明について３つの代表的な実施
形態を示して説明した。上述した２つの実施形態はいず
れも、発熱素子の発熱面がインクの吐出方向と直角に配
された、いわゆるエッジシュータータイプの液体吐出ヘ
ッドであるが、本発明はエッジシュータータイプの液体
吐出ヘッドに限られるものではなく、オリフィスが発熱
素子に対面して配された、いわゆるサイドシュータータ
イプの液体吐出ヘッドにも適用可能である。

【００４４】図７は、本発明が適用可能なサイドシュー
タータイプの液体吐出ヘッドの一例の分解斜視図であ
る。

【００４５】図７に示すように、この液体吐出ヘッド
は、ヘッド本体６３と、ヘッド本体６３のヘッド本体接
合面６３ａに接合されるオリフィスプレート６４とを有
する。ヘッド本体６３のヘッド本体接合面６３ａには、
オリフィスプレート６４が接合されることで液室６６を
構成するための、それぞれ底壁に発熱素子６５が形成さ
れた複数の凹部が形成されている。オリフィスプレート
６４には、これら凹部に対応する位置に、オリフィス７
２が形成されている。液室６６は不図示のインク供給路
と連通しており、インク供給路を介して外部から液室６
６にインクが供給される。この状態で発熱素子６５を駆
動し、液室６６内のインクを加熱することで、オリフィ
ス７２からインクが吐出される。

【００４６】このようなサイドシュータータイプの液体
吐出ヘッドにおいても、ヘッド本体６３に対してオリフ
ィスプレート６４が接合される構成の場合には、上述し
た実施形態で述べたように、オリフィスプレート６４の
ヘッド本体６３との接合面に接合補助部材を設けること
で、オリフィス７２や液室６６への接着樹脂の侵入を防
止しつつ、ヘッド本体６３とオリフィスプレート６４と
を確実に接合することができる。なお、図７に示したよ
うなサイドシュータータイプの液体吐出ヘッドでは、図
１等に示したエッジシュータータイプの液体吐出ヘッド
のような段差は生じないが、接合補助部材は、ヘッド本
体接合面６３ａのうねりや凹凸を吸収するのに効果があ
る。

【００４７】さらに、上述した各例では接合補助部材を
オリフィスプレートに設けた例を示したが、接合補助部
材はヘッド本体のヘッド本体接合面に設けてもよい。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、オ
リフィスプレートとヘッド本体の端面との間に、両者の
接合によって変形し液流路の周囲をシールする接合補助
部材を設けることにより、ヘッド本体の端面に凹凸や段
差があっても液流路の周囲をシールすることができ、液
流路間のクロストークを防止することができるととも
に、接着剤の液流路への接着剤の侵入を防止することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態である液体吐出ヘッド
の、流路部における模式的断面図である。

【図２】本発明の第１の実施形態である液体吐出ヘッド
の、オリフィスプレートのヘッド本体との接合面側から
見た、一部を破断した模式的斜視図である。

【図３】図２に示す液体吐出ヘッドの、オリフィスプレ
ートへの接合補助部材の形成パターンを示す図である。

【図４】オリフィスプレートへの接合補助部材の形成パ
ターンの変更例を示す図である。

【図５】本発明の第２の実施形態である液体吐出ヘッド
の、流路部における模式的断面図である。

【図６】本発明の第３の実施形態である液体吐出ヘッド
の、流路部における模式的断面図である。

【図７】本発明が適用可能なサイドシュータータイプの
液体吐出ヘッドの一例の分解斜視図である。

【図８】従来の液体吐出ヘッドの一例の分解斜視図であ
る。

【符号の説明】

１，２１ 基板 ２，２２ 天板 ３，２３，４３，６３ ヘッド本体 ３ａ，６３ａ ヘッド本体接合面 ４，２４，４４，６４ オリフィスプレート ５，２５，６５ 発熱素子 ６，２６ 流路 ７，６６ 液室 ９ 流路壁 １２，３２，７２ オリフィス １３，１３’，１３”，３３，５３ 接合補助部材 １４，３４ 接着剤 １５，５５ 充填剤

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 杉谷 博志 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 池田 雅実 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 鈴木 良明 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 宮川 昌士 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 樫野 俊雄 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 Ｆターム(参考） 2C057 AF24 AF40 AF93 AG12 AP02 AP13 AP25 BA03 BA04 BA13

Claims (18)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液体を吐出させるために利用されるエネ
   ルギーを発生するエネルギー発生素子を備えた液流路が
   端面に開口したヘッド本体と、前記ヘッド本体の端面に
   接合され、前記液流路に対応する部位にオリフィスが形
   成されたオリフィスプレートとを有する液体吐出ヘッド
   において、 前記オリフィスプレートと前記ヘッド本体の端面との間
   に、前記オリフィスプレートと前記ヘッド本体との接合
   によって変形し前記液流路の周囲をシールする接合補助
   部材を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 【請求項２】 前記ヘッド本体は、前記エネルギー発生
   素子を備えた基板と、前記液流路に液体を供給するため
   の液室を備えた天板部材との接合体からなる請求項１に
   記載の液体吐出ヘッド。
3. 【請求項３】 前記接合補助部材は前記オリフィスプレ
   ートの前記ヘッド本体との接合面に設けられている、請
   求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 【請求項４】 前記接合補助部材は、前記ヘッド本体と
   前記オリフィスプレートとの加圧及び加熱により変形可
   能な材料からなる、請求項１ないし３のいずれか１項に
   記載の液体吐出ヘッド。
5. 【請求項５】 前記接合補助部材はゴム変性のレジスト
   からなる、請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
6. 【請求項６】 前記接合補助部材は、前記レジストのパ
   ターニングによって少なくとも前記液流路の周囲を取り
   囲んで形成されている、請求項５に記載の液体吐出ヘッ
   ド。
7. 【請求項７】 前記接合補助部材の高さが前記ヘッド本
   体の端面の凹凸の高さよりも大きい、請求項６に記載の
   液体吐出ヘッド。
8. 【請求項８】 前記オリフィスプレートと前記ヘッド本
   体との間の前記接合補助部材がパターニングされていな
   い領域に充填剤が充填されている、請求項６に記載の液
   体吐出ヘッド。
9. 【請求項９】 前記充填剤は接着剤である、請求項８に
   記載の液体吐出ヘッド。
10. 【請求項１０】 前記接合補助部材上に接着剤が設けら
    れている、請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
11. 【請求項１１】 前記オリフィスプレートと前記ヘッド
    本体とを接合させる際に流れ出す前記充填剤を逃がすた
    めの逃げ領域を有する、請求項８に記載の液体吐出ヘッ
    ド。
12. 【請求項１２】 前記オリフィスプレートは、樹脂、無
    機材料、セラミック、金属材料、またはこれらの複合材
    料からなる、請求項１ないし１１のいずれか１項に記載
    の液体吐出ヘッド。
13. 【請求項１３】 液体を吐出させるために利用されるエ
    ネルギーを発生するエネルギー発生素子を備えた液流路
    が端面に開口したヘッド本体と、前記ヘッド本体の端面
    に接着剤を介して接合され、前記液流路に対応する部位
    にオリフィスが形成されたオリフィスプレートとを有す
    る液体吐出ヘッドの製造方法において、 前記オリフィスプレートの前記ヘッド本体との接合面
    に、前記オリフィスプレートと前記ヘッド本体との接合
    によって変形して前記液流路の周囲をシールするための
    接合補助部材を形成する工程と、 前記接合補助部材が形成されたオリフィスプレートの前
    記ヘッド本体との接合面に前記接着剤を塗布する工程
    と、 前記接着剤が塗布されたオリフィスプレートと前記ヘッ
    ド本体とを接合する工程とを有することを特徴とする、
    液体吐出ヘッドの製造方法。
14. 【請求項１４】 前記接合補助部材を形成する工程は、
    レジストのパターニングによって少なくとも前記液流路
    の周囲を取り囲む領域に形成することを含む、請求項１
    ３に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
15. 【請求項１５】 前記接合補助部材としてゴム変性のレ
    ジストを用い、前記オリフィスプレートと前記ヘッド本
    体とを接合する工程は、前記オリフィスプレートと前記
    ヘッド本体とを加圧及び加熱することを含む、請求項１
    ４に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
16. 【請求項１６】 前記接合補助部材がパターニングされ
    ていない領域に充填剤を充填する工程を含む、請求項１
    ５に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
17. 【請求項１７】 前記充填剤が前記接着剤であり、前記
    接着剤を前記接合補助部材がパターニングされていない
    領域に塗布する、請求項１６に記載の液体吐出ヘッドの
    製造方法。
18. 【請求項１８】 前記接着剤を塗布する工程では、前記
    接着剤を前記接合補助部材上に塗布する、請求項１６に
    記載の液体吐出ヘッドの製造方法。