JP3177100B2 - インクジェットヘッドおよびインクジェット装置ならびに前記ヘッドの製造方法および前記ヘッドの製造装置 - Google Patents

インクジェットヘッドおよびインクジェット装置ならびに前記ヘッドの製造方法および前記ヘッドの製造装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットヘッド
およびこのヘッドを備えたインクジェット記録装置に関
する。
【0002】ならびに本発明はインクジェットヘッドの
製造方法およびインクジェットヘッドの製造装置に関
し、詳しくは、ヘッド製造における、吐出に用いられる
エネルギー発生素子の位置合わせに関するものである。
【0003】
【背景技術】従来のインクジェットヘッドの一構成例を
図1および図2に示す。図1は、ヘッドをその吐出口列
に沿った線で水平に切断した面を部分的に示す縦断面図
であり、図2は、図1におけるA−Aでヘッドを切断し
た断面図である。
【0004】図1に示すように、従来のインクジェット
ヘッドには、複数の吐出口1101が設けられ、また、
これらからそれぞれ液体(以下、インクともいう)を吐
出するために利用される熱エネルギーを発生する電気熱
変換素子1103が各インク流路1108毎に設けられ
ている。各電気熱変換素子1103は、主に発熱抵抗体
1102およびこれに電力を供給するための電極配線1
110によって構成されるものである。
【0005】すなわち、図2に示されるように、シリコ
ン等からなる基板103上には、絶縁膜1111,層間
膜1112が形成され、これら形成された膜上には、図
1に示されるようなパターンの発熱抵抗体層1102が
形成され、また、この層上に一部を除いてAl等よりな
る電極配線1110が同様パターンで形成される。発熱
抵抗体1102の上記電極配線の除かれた部分は発熱部
1116を構成する。
【0006】さらに、発熱抵抗体層1102および電極
配線1110のパターンを覆うように第1保護膜111
3および第2保護膜1114が被覆される。以上示した
基板103およびその上に形成される電気熱変換素子等
によりヒータボード104(図2参照)が構成される。
【0007】図1において、各インク流路1108は、
流路壁1109によって仕切られ、その吐出口1101
と反対側の端部は共通液室1106と連通している。こ
の共通液室1106にはインクタンク(不図示)から供
給されるインクが貯留される。共通液室1106に供給
されたインクは、ここから各インク流路1108に導か
れ、吐出口1101近傍でメニスカスを形成して保持さ
れる。このとき電気熱変換素子1103を選択的に駆動
させることにより、その発生する熱エネルギーによりイ
ンクに膜沸騰を生じさせて気泡を発生させる。この気泡
の成長によってインクが吐出口1101から吐出され
る。
【0008】インクジェットヘッドのヒータボード10
4上には樹脂等よりなる天板105が接合される。
【0009】すなわち、吐出口が形成されるオリフィス
プレート1101および流路壁1109が一体に形成さ
れた天板105は、図2に示されるように、その吐出口
形成部等とヒータボード103上の電気熱変換素子等と
の相対位置を画像処理等の手段により位置合わせしなが
ら接合し、接着剤等で天板105の後部(吐出口形成部
と反対側)を仮止めした後、板ばね等の弾性部材(図示
せず)で流路壁上部を加圧する。これにより、ヒータボ
ード104上の各電気熱変換素子1103間は、流路壁
1109で分離され各インク流路1108毎に電気熱変
換素子1103が配設される。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のインクジェットのヒータボード構成では、図2
に示されるように、天板105の流路壁1109の下端
はヒータボード104上の凸部を形成する流路壁接合面
1115と当接するために、流路壁1109と上記接合
面1115との間にわずかな隙間が生じた場合には、発
泡によるインク圧力波がこの隙間を介して隣接インク流
路へ伝わることを防止できず、この発泡エネルギーの隣
接インク流路への逃げによって吐出が安定しないという
問題点がある。この問題は、特に、インクジェットヘッ
ドの高密度化により電気熱変換素子1103と流路壁1
109とが接近して設けられる場合には顕著となる。
【0011】また、前述のように、ヒータボード104
と天板105とを接着剤を用いず板ばね等の弾性部材で
密着,固定させる構成では、固定力の作用方向のずれが
生じたり、位置精度が悪い場合があり、天板105とヒ
ータボード103との間に位置ずれを生じることがあ
る。このような場合、流路壁1109が上述のようにヒ
ータボード104上の凸部上に当接される構成にあって
は、上述のずれがわずかな場合であっても流路壁110
9の一部が凸部に乗り上げる状態になったり流路壁11
09が電気熱変換素子1103上にのり上げるような状
態なることがある。この場合にも、不安定な発泡,隣接
インク流路への発泡エネルギーのロスあるいはクロスト
ークなどを起こし、ドット径が不均一になる等、記録品
位の低下を発生させてしまうことがある。
【0012】本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは隣接インク流
路への消失による吐出エネルギーのロスが少なく良好な
吐出を行うことが可能なインクジェットヘッドおよびイ
ンクジェット装置を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明者らは鋭意研究の末、新規なインクジェトヘ
ッドおよびインクジェット装置の構成を発見するに至っ
た。すなわち、ンクを吐出するために利用されるエネル
ギーを発生する複数のエネルギー発生素子が設けられた
基板と、該基板に接合し、前記エネルギー発生素子が発
生するエネルギーを当該インクに作用させて吐出させる
ための流路を形成する流路壁の複数を一体的に有する壁
部材と、を具備し、前記基板と前記壁部材とが、接着剤
を介さずに押圧部材により押圧されることによって相互
に固定されて接合させ前記流路が形成されているインク
ジェットヘッドと、該インクジェットヘッドの前記エネ
ルギー発生素子を駆動するための信号を発生する駆動信
号発生手段とを具備するインクジェット装置であって、
前記インクジェットヘッドは、前記基板おいて、前記エ
ネルギー発生素子が絶縁層を介して前記基板に設けら
れ、該絶縁層は前記熱エネルギー発生素子間に掘り込み
部を有し、該掘り込み部を基礎として前記エネルギー素
子間に設けられる凹部であって、該凹部はインクに熱を
伝える熱作用面より下部に位置する底面を備え、前記流
路壁が該底面で前記基板に当接することを特徴とするイ
ンクジェット装置である。
【0014】以上説明したように、本発明によれば、天
板のインク流路壁等の壁部材が基板と当接する部位は、
基板に設けられた凹部の底面で熱作用面より低部である
ため、基板上のエネルギー発生素子によってインクに発
生する圧力波の影響は、上記凹部の底面までは及び難い
ため、この凹部を介して他の流路に圧力波が逃げてしま
うおそれがない。また、何らかの原因で壁部材の当接位
置がずれようとしても壁部材は凹部の一部と干渉しずれ
がそれ以上大きくなることが防止される。
【0015】この結果、天板等の位置ずれが低減でき、
また、隣接流路への吐出エネルギーのロスが低減され、
隣接流路間のクロストークのほとんどない状態で吐出を
行うことができるので、安定吐出が可能となる。これに
よりドット径が一定になる等良好な記録結果を得ること
ができるという効果がある。
【0016】また、上記した基本的な発明に加えてイン
クジェトヘッドの製造方法として、インクを吐出するた
めに利用されるエネルギーを発生する複数のエネルギー
発生素子が設けられた基板と、該基板に接合し、前記エ
ネルギー発生素子が発生するエネルギーを当該インクに
作用させて吐出させるための流路を形成する流路壁の複
数を一体的に有する壁部材と、を具備し、前基板と前記
壁部材とが、接着剤を介さずに押圧部材により押圧され
ることによって相互に固定されて接合することにより前
記流路が形成されるインクジェットヘッドの製造方法で
あって、前記基板において、前記エネルギー発生素子が
絶縁層を介して前記基板に設けられ、該絶縁層は前記熱
エネルギー発生素子間に掘り込み部を有し、該掘り込み
部を基礎として前記エネルギー素子間に設けられる凹部
であって、前記流路壁に接合する凹部を設け、前記壁部
材に前記複数のエネルギー発生素子の配列方向の分力を
少なくとも有する力を作用させた状態で前記基板を振動
させることにより前記凹部と前記流路壁とを嵌合させて
前記流路と前記エネルギー発生素子との位置合わせを行
うことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法を
提案する。
【0017】さらにこれらの製造方法に用いられるイン
クジェットヘッド製造装置として、インクを吐出するた
めに利用されるエネルギーを発生する複数のエネルギー
発生素子が設けられた基板と、該基板に、接着剤を介さ
ずに押圧部材により押圧されることによって相互に固定
されて接合し、前記エネルギー発生素子が発生するエネ
ルギーを当該インクに作用させて吐出させるための流路
を形成する流路壁の複数を一体的に有する壁部材と、を
具備し、前記基板において、前記エネルギー発生素子が
絶縁層を介して前記基板に設けられ、該絶縁層は前記熱
エネルギー発生素子間に掘り込み部を有し、該掘り込み
部を基礎として前記エネルギー素子間に設けられる凹部
であって、前記流路壁に嵌合する凹部が設けられてお
り、該凹部に前記流路壁が嵌合されることにより前記流
路が形成されているインクジェットヘッドを製造するた
めのインクジェットヘッド製造装置であって、前記凹部
が設けられた基板を保持する保持手段と、該保持手段に
よって保持される基板上に、前記凹部と前記流路壁を対
向させるよう前記壁部材を載置する載置手段と、該載置
手段によって載置される壁部材に、前記基板と前記壁部
材を重ね合わせた状態で前記複数のエネルギー発生素子
の配列方向の分力を少なくとも有する力を作用させる押
圧手段と、該押圧手段により前記配列方向の分力を作用
させた状態で、前記基板を振動させる信号手段とを備え
たことを特徴とするインクジェットヘッドの製造装置を
提案する。
【0018】これらの構成によれば、あまり正確な位置
合わせを行わなくても天板にはエネルギー発生素子の配
列方向の力を作用させることで天板と基板との接合にお
いて、天板の流路壁は最終的に基板上に設けられた凹部
に入り込み、これによりインク吐出口とエネルギー発生
素子との正確な位置合わせが可能となる。
【0019】この結果、簡易な構成で容易に位置合わせ
を行うことができ、インクジェットヘッドの製造に要す
るコストや時間を低減できる。
【0020】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。
【0021】図3は本発明を適用したインクジェットヘ
ッドの第1実施例の概略斜視図、図4は図3に示したイ
ンクジェットヘッドのB−B線断面図、図5は図3に示
したインクジェットヘッドのD−D線断面図、図6は図
5に示したE−E線断面図、図7は図3に示したインク
ジェットヘッドを組み込んだインクジェットカートリッ
ジの斜視図、図8は図7に示したインクジェットカート
リッジの構成を示す分解斜視図、図9は図7に示したイ
ンクジェットカートリッジ11において、インクタンク
14のインクジェットユニット13を取り付ける部分の
説明図である。
【0022】インクジェットカートリッジ11は、多数
の吐出口1101が一体的に形成されたインクジェット
ヘッド12と、インクジェットヘッド12を含み、これ
への電気配線やインクの配管がまとめられたインクジェ
ットユニット13と、インクを収納するインク収納部で
あるインクタンク14とが一体的に設けられたもので
る。このインクジェットカートリッジ11は、インクの
収納割合が従来のものより大きくなっており、インクタ
ンク14の前面よりもわずかにインクジェットユニット
13の先端部が突出している。そして、インクジェット
カートリッジ11は、後述されるように、インクジェッ
ト記録装置本体に載置されているキャリッジに設けられ
た位置決め機構および電気的接点によって、固定支持さ
れるとともに、キャリッジに対して着脱可能なディスポ
ーザブルタイプのものである(図10,図11参照)。
【0023】まず、図3〜図5を参照してインクジェッ
トヘッド12の構成について説明する。なお、図1,図
2に示した要素と同様の要素には、同一の符号を付す。
【0024】図3ないし図5に示すように、インクジェ
ットヘッド12には、前述のように、列状に設けられた
複数個の吐出口1101からインクを吐出させるために
利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子と
しての電気熱変換素子1103が各インク流路1108
ごとに配設されている。そして駆動信号を印加すること
によって、電気熱変換素子1103は熱エネルギーが発
生し、インクに膜沸騰が生じてインク流路1108内に
気泡が形成される。そしてこの気泡の成長によって、吐
出口1101からインク滴が吐出される。各電気熱変換
素子1103を構成しハフニュウムの硼化物やタンタル
のチッ化物等からなる発熱抵抗体1102はシリコンか
らなる基板103上に設けられ、各発熱抵抗体1102
に電気信号を供給するアルミニウム等の電極配線ととも
に成膜技術により一体的に形成される。複数のインク流
路1108をそれぞれ区分するための流路壁1109や
各インク1108へ供給されるインクを一時的に収納す
る共通液室1106などを形成するための溝が設けられ
た天板105には、インクタンク(不図示)からのイン
クを共通液室1106に導入するためのインク受け口1
07および各インク流路1108に対応した吐出口11
01を複数個有するオリフィスプレート1104が一体
に成型され、これらの材料としてはポリサルホンが好ま
しく用いられる。なお、天板105の材料としてはポリ
エーテルスルホン,ポリフェニレンオキシド,ポリプロ
ピレンなどの他の成型用樹脂材料を用いることができ
る。
【0025】このような本例のインクジェットヘッドの
ヒータボード104は、後述されるように、天板105
の流路壁1109と接合する部分が掘り込まれ凹部を形
成し、天板の流路壁が嵌め込まれる構造となっている。
その詳細な構成は後述する。
【0026】次に、図7〜図9を参照してインクジェッ
トユニット13の構成について説明する。
【0027】図8に示すように、配線基板121の一端
はインクジェットヘッド12のヒータボード103の配
線部分と相互に接続され、さらに配線基板121の他端
部には、装置本体からの電気信号を受けるため、各電気
熱変換素子1103(図5参照)に対応した複数個のパ
ッド122が設けられている。このことにより装置本体
からの電気信号が各電気熱変換素子1103に供給され
る。
【0028】配線基板121の裏面を支持する平板状の
金属製の支持体123は、インクジェットユニット13
の底板となる。押えばね126はM字形状であり、その
M字の中央で共通液室1106(図5参照)を押圧する
とともに、その前だれ部127でインク流路1108の
一部、好ましくは吐出口1101近傍の領域を線圧で集
中押圧する。ヒータボード104と天板105とは、押
えばね126の足部が支持体123の穴139を通って
支持体123の裏面側に係合することによって、挟み込
んだ状態で係合され、押えばね126とその前だれ部1
27の集中付勢力によって相互に圧着固定される。支持
体123は、インクタンク14の2つの位置決め用の突
起152および位置決めかつ熱融着保持用の突起16
1,162にそれぞれ係合する穴124,134,13
6を有するほか、キャリッジ16に対する位置決め用の
突起137,138を裏面側に有している。また、支持
体123には、インクタンク14からのインク供給管1
67(後述)を貫通可能にする穴125が設けられてい
る。支持体123に対する配線基板121の取付けは、
接着剤などによる貼着で行われる。
【0029】支持体123の2つの凹部171は、それ
ぞれ突起137,138の近傍に設けられており、図7
に示すように、組立てられたインクジェットカートリッ
ジ11において、その周囲の3辺が平行溝173,17
4で形成されたヘッドの先端領域の延長点にあって、ゴ
ミやインクなどの不要物が突起137,138に至らな
いようにしている。平行溝173の形成されている蓋部
材151は、図7に示すように、インクジェットカート
リッジ11の外壁を形成するとともに、インクタンク1
4との間にインクジェットユニット13を収納する空間
を形成する。また平行溝174が形成されているインク
供給部材128は、前述のインク供給管167に連続す
るインク導管158をインク供給管167側が固定され
た片持ちばりとするよう形成され、さらにインク導管1
58の固定側とインク供給管167との間の毛細管現象
を確保するための封止ピン130が挿入されている。な
お、インクタンク14とインク供給管167とのシール
結合を行うパッキン129が設けられ、インク供給管1
67のインクタンク14側の端部にはフィルタ133が
設けられている。
【0030】このインク供給部材128は、モールド成
型されるので、安価で位置精度が高く、製造上の精度低
下がなく、さらに片持ちばり構造のインク導管158に
よって、大量生産を行った場合でもインク導管158の
インク受け口107に対する圧接状態を安定させること
ができる。この圧接状態下において封止用の接着剤をイ
ンク供給部材128側から流し込むだけで、より完全な
連通状態を確実に得ることができる。インク供給部材1
28の支持体123に対する固定は、インク供給部材1
28の裏面側の2本のピン(不図示)を支持体123の
穴135,163にそれぞれ貫通突出させ、これを熱融
着することにより簡単に行われる。この熱融着された裏
面部のわずかな突出領域は、インクタンク14のインク
ジェットユニット13取付け側の側面のくぼみ(不図
示)内に収められるので、インクジェットユニット13
の位置決め面を正確に得ることができる。
【0031】次に、インクタンク14の構成について説
明する。
【0032】インクタンク14は、カートリッジ本体2
0とインク吸収体150と蓋部材153とからなり、イ
ンク吸収体150をインクジェットユニット13とは反
対側からカートリッジ本体20に挿入後、蓋部材153
でこれを封止することによって形成される。
【0033】インク吸収体150は、多孔質体からなっ
てインクを含浸し吸収、保持するためのものであり、カ
ートリッジ本体20内に配置される。その詳細について
は後述する。インク供給口154は、インクジェットユ
ニット13にインクを供給するためのものであるととも
に、インクジェットカートリッジ11の組立て工程にお
いて、インクをインク吸収体150に含浸させるための
供給口ともなるインクタンク14には、大気を内部に連
通するための大気連通口156が設けられ、大気連通口
156からのインクのもれを防ぐため、その内方に撥液
材155が配置されている。
【0034】本実施例では、インク吸収体150からの
インク供給を良好に行うためにカートリッジ本体20の
リブ168と蓋部材153の部分リブ169,170に
よって形成されたインクタンク14内の空気の存在領域
が、大気連通口156から連続し、インク供給口154
から最も遠い角部の領域にわたって形成されるように構
成してある。このため、インク吸収体150への相対的
に良好かつ均一なインク供給がこのインク供給口154
側から行われることが重要であり、この方法は実用上極
めて有効である。このリブ168は、カートリッジ本体
20の後方の面において、キャリッジ16(図11参
照)の移動方向に平行に4本設けられ、インク吸収体1
50がインクタンク14の後方の面に密着することを防
止している。また、部分リブ169,170は、リブ1
68のそれぞれに対応してその延長上にあたる蓋部材1
53の内面に設けられているが、リブ168とは異なり
分割された状態となっていて、空気の存在空間を前者よ
り増加させている。なお、部分リブ169,170は蓋
部材153の全面積の半分以下の面に分散された形とな
っている。これらのリブによって、インク吸収体150
のインク供給口154から最も遠い角部の領域のインク
をより安定させかつ確実に、インク供給口154側へ毛
細管力で導くことができる。
【0035】このインクタンク14は、インクを収容す
る空間が直方体形状であって、その長辺を側面にもつ場
合であるので、上述したリブの配置構成は特に有効であ
る。インクタンクが、キャリッジ16(図11参照)の
移動方向に長辺を持つ場合や立方体形状の場合には、蓋
部材153の全体にリブを設けることで、インク吸収体
150からのインク供給を安定化できる。限られた空間
内にインクをできるだけ収納するためには直方体形状が
適しているが、この収納されたインクを無駄なく記録に
使用するためには、上述したように、角部の領域に対し
て近接する2面領域に上記作用を行えるリブを設けるこ
とが重要である。さらに、インクタンク14の内面のリ
ブは、直方体形状のインク吸収体150の厚み方向に対
してほぼ均一な分布で配置されている。この構成は、イ
ンク吸収体150全体のインク消費に対して、大気圧分
布を均一化しつつインクを実質上最大限使用することが
できる構成である。さらに、このリブの配置の技術思想
を詳述すれば、直方体の4角形上面において、インクタ
ンク14のインク供給口154を投影した位置を中心と
して長辺を半径とする円弧を描いたときに、インク吸収
体150のその円弧よりも外側に位置する部分に対して
大気圧状態が早期に与えられるように、その円弧よりも
外側の面に上記リブを配設することが重要となる。この
場合、インクタンク14の大気連通口156は、このリ
ブの配設領域に大気を導入できる位置であれば、本実施
例に限られることではない。
【0036】加えて本実施例は、インクジェットカート
リッジ11のインクジェットヘッド12に対する後方の
面を平面化して、装置に組み込まれたときの必要スペー
スを最小化するとともに、インクの収容量を最大化する
構成をとっているため、装置の小型化を達成できるだけ
ではなく、インクジェットカートリッジ11の交換頻度
を減少できる。そして、インクジェットユニット13を
一体化するための空間の後方部を利用して、そこに大気
連通口156用の突出部分を形成し、この突出部分の内
部を空洞化して、ここに前述したインク吸収体150の
厚み全体に対する大気圧供給空間157を形成してあ
る。このように構成することで、従来には見られないイ
ンクジェットカートリッジを提供できる。なお、この大
気圧供給空間157は、従来のものよりもはるかに大き
い空間であり、上記大気連通口156が上方に位置して
いるので、何らかの異常でインクがインク吸収体150
から離脱しても、この大気圧供給空間157がそのイン
クを一時的に保持するので、確実にインク吸収体150
に回収させることができる。
【0037】インクタンク14のインクジェットユニッ
ト13の取付け面の構成が、図9に示される。オリフィ
スプレート104に設けられた多数の吐出口1101の
ほぼ中心を通って、インクタンク14の底面もしくはキ
ャリッジ16の表面の載置基準面に平行な直線をL1
すると、支持体123の穴124に係合する2つの位置
決め用の突起152はこの直線L1 上にある。この突起
152の高さは支持体123の厚みよりわずかに低く、
これによって支持体123の位置決めを行うようになっ
ている。直線L1 の延長上には、キャリッジ16の位置
決め用のフック202(図11参照)の90°角のフッ
ク面203が係合する爪165が位置しており、キャリ
ッジ16に対する位置決めの作用力がこの直線L1 を含
む上記基準面に平行な面領域で作用するように構成され
ている。後述するように、これらの関係は、インクタン
ク14のみの位置決めの精度がインクジェットヘッド1
2の吐出口101の位置決め精度と同等となるので、有
効な構成となる。また、支持体123に設けられた固定
用の穴134,136にそれぞれ対応するインクタンク
14の突起161,162は、前述の突起152よりも
長く、支持体123を貫通し、突出した部分を熱融着す
ることにより、支持体123をその側面に固定するため
のものである。上述の直線L1 に垂直でこの突起161
を通る直線L 3 、直線L2 ,直線L3 は一致せず、また
インクジェットヘッド12の吐出口1101側の突起1
52周辺に突起161,162が存在しているので、イ
ンクジェットヘッド12のインクタンク14に対する位
置決めの補強効果をさらに生んでいる。なお曲線L4
は、インク供給部材128の装着時の外壁位置である。
突起161,162はその曲線L4 に沿っているので、
インクジェットヘッド12の先端側の重量に対しても充
分な強度と位置精度を与えている。インクタンク14の
先端ツバ172は、キャリッジ16の前板201(図
7)の穴に挿入され、インクタンク14の変位が極端に
大きくなるような異変時に対して設けられている。キャ
リッジ16に対する抜け止め166は、キャリッジ16
の不図示のバーに対して設けられ、後述するインクジェ
ットカートリッジ11の旋回装着された位置においてこ
のバーの下方に侵入し、位置決め位置から離脱させる上
方への力が不意に作用してもインクジェットカートリッ
ジ11の装着状態を維持できるための保護用部材であ
る。
【0038】インクタンク14にインクジェットユニッ
ト13を装着したのち蓋部材151で覆うことで、イン
クジェットユニット13は下方開口を除いて包囲された
形状となるが、インクジェットカートリッジ11がキャ
リッジ16に載置されるためにこの下方開口はキャリッ
ジ16と近接し、実質的な4方包囲空間が形成される。
したがって、この包囲空間内にあるインクジェットヘッ
ド12からの発熱は、この空間内の保温のためには有効
となるものの、長期にわたる連続使用のときのわずかな
昇温の原因となる。このため支持体123による自然放
熱を助けるために、インクジェットカートリッジ11の
上方の面に、この空間よりは小さい幅のスリット状の開
口部159が設けられている。このようにすることによ
り、昇温を防止しつつ、インクジェットユニット13全
体の温度分布を外部環境に左右されずに均一化すること
ができる。
【0039】インクジェットカートリッジ11として組
立てられると、インクは、カートリッジ本体20の内部
よりインク供給管167を介して、インク供給口15
4,支持体123に設けた穴125,インク供給部材1
28の中裏面側に設けられた導入口を通過し、インク供
給部材128内に供給され、その内部を通った後、導出
口よりインク導通158および天板105のインク受け
口107を介して共通液室106内への流入する。以上
におけるインク連通用の接続部には、例えばシリコンゴ
ムやブチルゴムなどからなるパッキンが配置され、これ
によって封止が行われてインク供給路が確保される。
【0040】上述のように、インク供給部材128,天
板105およびオリフィスプレート104,カートリッ
ジ本体20をそれぞれ一体成型部品としたので、組立て
精度が高水準になるばかりでなく、大量生産時の品質向
上に極めて有効である。また、部品点数は、従来品に比
べ減少しているので、所望の優れた特性を確実に発揮で
きる。
【0041】また本実施例では図7に示すように、イン
クジェットカートリッジ11において、インク供給部材
128の上面部131と、インクタンク14の開口部1
59を備えた屋根部の端部210との間に、隙間160
が存在するようになっている。同様に、インク供給部材
128の下面部132と、インクタンク14の下方の蓋
部材151が接着される薄板部材のインクジェットヘッ
ド12側の端部213との間に、隙間(不図示)が形成
されている。これらの隙間は、開口部159の放熱作用
を一層促進するとともに、インクタンク14に加わる不
要な力があったとしても、インク供給部材128ひいて
はインクジェットユニット13にこの力が直接加わるこ
とを防止している。
【0042】いずれにしても、本実施例の上述した構成
は従来にはないものであり、それぞれが単独で有効な効
果をもたらすとともに、それらの組み合わせによっても
格別の効果を奏するものである。
【0043】次に、図10を参照しキャリッジ16に対
するインクジェットカートリッジ11の取付けについて
説明する。
【0044】図10において、プラテンローラ251
は、記録媒体272(例えば記録紙など)を同図面の裏
側から表側へ向かう方向へ案内する。キャリッジ16は
プラテンローラ251の長手方向に沿って移動するもの
で、キャリッジ16の前方すなわちプラテンローラ25
1側にあってインクジェットカートリッジ11の前面側
に位置する前板201(例えば厚さ2mm)と、後述す
る電気接続部用の支持板205と、インクジェットカー
トリッジ11を所定の記録位置に固定するための位置決
め用のフック202とが設けられている。前板201
は、インクジェットカートリッジ11の支持体123の
突起137,138に対応する2個の位置決め用の突出
用212を有し、インクジェットカートリッジ11の接
着後はこの突出面212に向かう垂直な力を受ける。こ
のため、前板201のプラテンローラ251側には、そ
の垂直な力の方向に向かう補強用のリブ(不図示)が複
数設けられている。このリブは、インクジェットカート
リッジ11装着時の前面位置L5 よりもわずかに(約
0.1mm程度)プラテンローラ251側に突出してい
る、ヘッド保護用の突出部をも形成している。支持板2
05は、図の紙面に垂直方向に伸びる複数の補強用リブ
206を有し、それらの側方への突出割合は、プラテン
ローラ251側からフック202側に向かうにつれて減
少し、このことによってインクジェットカートリッジ1
1が、図示されるように傾斜して装着される。また、支
持板205は、インクジェットカートリッジ11の配線
基板121のパッド122に対応するパッド164を具
備したフレキシブルシート207と、これを裏面側から
各パッド164に対して押圧する弾性力を発生する、ボ
ッチの付いたゴムパッドシート209とを保持する。支
持板205は、パッド122とパッド164間の電気的
接触状態を安定化するため、上記の突出面212の作用
方向とは逆方向にインクジェットカートリッジ11への
作用力を及ぼすためのフック202側の位置決め面20
8を突出面212に対応して有し、これらの間にパッド
接触域を形成するとともに、パッド164に対応するゴ
ムパッドシート209のボッチの変形量を一義的に規定
する。位置決め面208は、インクジェットカートリッ
ジ11が記録可能な位置に固定されると、配線基板12
1の表面に当接した状態となる。パッド122を前述の
直線L1 に対して対称になるよう分布させてあるので、
ゴムパッドシート209の各ボッチの変形量は均一にな
り、パッド164とパッド122間の当接圧はより安定
化する。本実施例では、パッド122の分布は、上方,
下方2列、縦2列である。
【0045】フック202は、固定軸211に係合する
長穴を有し、この長穴の移動空間を利用して図の位置か
ら反時計方向に回動した後、プラテンローラ251の長
手方向に向かって左方側へ移動することでキャリッジ1
6に対するインクジェットカートリッジ11の位置決め
を行う。フック202の移動形式はどのようなものでも
よいが、レバーなどにより行える構成が好ましい。いず
れにしてもフック202の回動時に、インクジェットカ
ートリッジ11は、プラテンローラ251側へ移動しつ
つ、位置決め用の突起137,138が前板201の突
出面212に当接可能な位置へと移動する。フック20
2の左方側への移動によって、90°角のフック面20
3がインクジェットカートリッジ11の爪165の90
°面に密着しつつ、インクジェットカートリッジ11が
突起137と突出面212との接触域を中心に水平面内
で旋回し、最終的にパッド122とパッド164相互の
接触が始まる。そしてフック202が所定位置、すなわ
ち固定位置に保持されると、パッド122とパッド16
4との完全接触状態と、突起137,138と突出面2
12との完全面接触と、フック面203と爪165の9
0°面の2面接触と、配線基板121と位置決め面20
8との面接触が同時に形成されて、キャリッジ16に対
するインクジェットカートリッジ11の保持が完了す
る。
【0046】次に、図11を参照してインクジェット記
録装置15の概略について説明する。
【0047】本発明が適用されるインクジェット記録装
置の概観は、図11に示されている。ら線溝255の刻
まれたリードスクリュー256は、駆動モータ264の
正逆回転に連動し、駆動力伝達ギア262,260を介
して回転駆動される。キャリッジ16は、取付け部25
2(図10参照)に設けられたピン(不図示)によって
ら線溝255に対して係合し、さらに案内レール254
に摺動自在に案内されていることにより、図示矢印a,
b方向に往復移動できるようになっている。紙押え板2
53は、キャリッジ16の移動方向にわたって、記録媒
体272をプラテンローラ251に対して押圧する。フ
ォトカプラ258,259は、キャリッジ16のレバー
257のこの域での存在を確認して駆動モータ264の
回転方向の逆転等を行うためのホームポジション検知手
段を構成する。インクジェットヘッド12の前面をキャ
ップするキャップ部材270は、支持部材265によっ
て支持され、さらに吸引手段273を備え、キャップ内
開口271を介してインクジェットヘッド12の吸引回
復を行う。本体支持板267には支持板268が取付け
られており、この支持板268に摺動自在に支持された
クリーニングブレード266は、図示しない駆動手段に
よって前後方向に移動される。クリーニングブレード2
66の形態は図示するものに限られず、公知のものが本
例に適用できることは言うまでもない。レバー263
は、吸引回復操作を開始するためのもので、キャリッジ
16と当接するカム269の移動に伴なって移動し、駆
動モータ264からの駆動力がギア261やクラッチ切
換え等の公知の伝達手段によって移動制御される。
【0048】これらのキャッピング,クリーニング,吸
引回復の各処理は、キャリッジ16がホームポジション
側領域にきたときリードスクリュー256の作用によっ
て、それぞれの対応位置で行われるようになっている。
周知のタイミングで所望の作動を行うようにすれば、本
例にはいずれも適用できる。
【0049】以下、本発明の主要部について説明する。
【0050】(第1実施例)以下、図5および図6を参
照して本発明の第1実施例に係るインクジェットヘッド
のヒータボードについて説明する。
【0051】基板103上に無機材料(例えばSiO,
SiO2 ,SiN等)からなる絶縁層1111(本実施
態様例ではSiO2 )を公知の成膜技術によって成膜
(本実施態様例ではスパッタリングにより成膜)し、そ
の後、天板105の流路壁1109が当接する部分であ
る凹部形状1117を形成するためにフッ化アンチン等
の溶剤を用いたエッチングにより図6のように前記絶縁
層1111の一部を除去する。ここで凹部形状1117
の端部にテーパーがつけられているのは絶縁層1111
の段差部上に積層される薄膜の膜質の劣化を防止するた
めである。その後、前記絶縁層1111が設けられた基
板103上に2層配線の1層目の配線(図示せず)を成
膜パターニングし、さらに層間絶縁層1112(SiO
2 )、抵抗層1102(HfB2 )、電極配線層111
0(Al)、第1保護層1113(SiO2 )、第2保
護層1114(Ta)等の層を成膜、パターニング法を
用いて形成し、本例ヒータボードが完成する。
【0052】本例では、天板105の流路壁1109の
下端部が当接する、ヒータボード上の当接面1119
は、凹部領域1117内に形成される。これにより、ヒ
ータボードと天板105との位置合わせ後、板ばね等の
弾性部材を用いて密着,固定した場合、この凹部111
7により流路壁1109がずれることなく接続され、ま
た、ヒータボードと流路壁1109の当接部が、電気熱
変換素子1103からインクに熱を与える表面部である
熱作用面1116より低いところに(本発明では便宜上
基板103に近い方向を低いと表現するが、実際の上限
方向を差し示すものではない。)位置するので、ヒータ
ボードの当接面1119と天板流路壁1109の下端部
との間にわずかな隙間が生じていたとしても発泡による
圧力波は隣接インク流路へ伝わり難く、発泡エネルギー
のロスが大幅に低減される。
【0053】また、連続吐出によりヘッド温度が上昇し
た場合基板と流路壁との接着を行わない従来のヘッドに
おいては樹脂で構成される天板と、シリコン等で構成さ
れる基板との熱膨張率の違いによって、基板に対して天
板が相対的に膨張してしまい、初期の天板と基板との位
置合わせ精度が悪い場合には、流路壁1109がヒータ
ボードの熱作用面上に乗り上げてしまうことがあるが、
本例の構造によれば、このような天板の膨張が起っても
図6の破線で示すように流路壁1109のエッジは凹部
1117の斜面に当接して流路壁1109の乗り上げが
防止される。
【0054】なお、本実施例で形成した凹部領域は、流
路壁と基板との当接が生じる全領域で設けられていても
よいが、特に発熱抵抗体上部の熱作用部近傍において、
上述のような凹部領域が形成されており、この凹部に流
路壁が嵌合していればよい。
【0055】(第2実施例)図12(A)および(B)
は本発明の第2実施例にかかるヒータボードのそれぞれ
平面図およびそのF−F線断面図であり、上記図5,図
6に示した要素と同様の要素には同一の符号を付してそ
の説明は省略する。
【0056】上記第1実施例と同様、公知の成膜、エッ
チング技術でパターンを形成する。本実施例では、1つ
のインク流路内で2つの発熱抵抗体1102による発熱
部が直列に接続するようにしたことで電極配線1110
を流路壁の接合部に配置することなくヒータボードが形
成できる。これにより、ヒータボード上の凹部をより深
く形成することができ、この凹部を上記接合部とするこ
とにより、さらに隣接インク流路への発泡エネルギーの
ロスが抑えられる。この結果、安定した吐出を行うこと
ができ、ドット径の一定な良好な記録が可能となる。
【0057】ところで、前述のように作成したヒータボ
ード(基板)に天板を接合する場合、この天板と基板と
の位置合せにくるいが生じてしまうと、エネルギー発生
素子と液路との位置関係にくるいを生じインクの吐出精
度が低下してしまうため、上記基板上のエネルギー発生
素子の位置をTVカメラ等によって得られた画像上で計
測するとともに、所定の移動ステージに装着される天板
を移動させながらその位置を同様に画像上で計測し、こ
れにより、エネルギー発生素子と吐出口とを位置合わせ
するという方法が採られている。
【0058】しかしながら、上記方法では、エネルギー
発生素子の位置を、画像上で計測するための構成および
吐出口位置を計測するための構成を必要とし、その分製
造装置のコストが増大するということ、また、例えば吐
出口位置を計測した後、その目標位置まで天板を移動さ
せ、再度吐出口位置を計測するという一連のシーケンス
を、目標位置に対するずれ量が所定許容範囲内に入るま
で続けねばならないため、位置合せに比較的時間を要
し、結果として、生産量に相対的な製造コストの上昇を
招くことという問題点を有していた。
【0059】そこで、本発明者達は、本発明のインクジ
ェットヘッドの構成をいかしつつ、基板と天板との位置
合わせを大がかりな装置を必要とせずに、容易に行うこ
とのできるインクジェットヘッドの製造方法およびこの
製造方法のための製造装置を鋭意研究の末に見つけ出し
た。
【0060】すなわち、インクを吐出するために利用さ
れるエネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子が
設けられた基板と、該基板に接合し、前記エネルギー発
生素子が発生するエネルギーを当該インクに作用させて
吐出させるための流路を形成する流路壁の複数を一体的
に有する壁部材と、を具備し、前記基板と前記壁部材と
を接合することにより前記流路が形成されるインクジェ
ットヘッドの製造方法であって、前記基板に前記流路壁
に嵌合する凹部を設け、前記壁部材に前記複数のエネル
ギー発生素子の配列方向の力を作用させることにより前
記凹部と前記流路壁とを嵌合させて前記流路と前記エネ
ルギー発生素子との位置合わせを行うことを特徴とす
る。
【0061】また、インクを吐出するために利用される
エネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子が設け
られた基板と、該基板に接合し、前記エネルギー発生素
子が発生するエネルギーを当該インクに作用させて吐出
させるための流路を形成する流路壁の複数を一体的に有
する壁部材と、を具備し、前基板と前記壁部材とを接合
することにより前記流路が形成されるインクジェットヘ
ッドの製造方法であって、前記基板に前記流路壁に接合
する凹部を設け、前記壁部材に前記複数のエネルギー発
生素子の配列方向の分力を少なくとも有する力を作用さ
せた状態で前記基板を振動させることにより前記凹部と
前記流路壁とを嵌合させて前記流路と前記エネルギー発
生素子との位置合わせを行うことを特徴とする。
【0062】さらに、インクを吐出するために利用され
るエネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子が設
けられた基板と、該基板に接合し、前記エネルギー発生
素子が発生するエネルギーを当該インクに作用させて吐
出させるための流路を形成する流路壁の複数を一体的に
有する壁部材と、を具備し、前記基板には前記流路壁に
嵌合する凹部が設けられており、該凹部に前記流路壁が
嵌合されることにより前記流路が形成されているインク
ジェットヘッドを製造するためのインクジェットヘッド
製造装置であって、前記凹部が設けられた基板を保持す
る保持手段と、該保持手段によって保持される基板上
に、前記凹部と前記流路壁を対向させるよう前記壁部材
を載置する載置手段と、該載置手段によって載置される
壁部材に、前記基板と前記壁部材を重ね合わせた状態で
前記複数のエネルギー発生素子の配列方向の分力を少な
くとも有する力を作用させる押圧手段と、該押圧手段に
より前記配列方向の分力を作用させた状態で、前記基板
を振動させる信号手段とを備えたことを特徴とする。
【0063】以上の構成によれば、あまり正確な位置合
せを行わなくても天板にはエネルギー発生素子の配列方
向の力を作用させることで天板と基板との接合におい
て、天板の流路壁は最終的に基板上に設けられた凹部に
入り込み、これによりインク吐出口とエネルギー発生素
子との正確な位置合せが可能となる。
【0064】以下、図面を参照してこの製造方法および
製造装置についてさらに詳細に説明する。
【0065】図13は、本発明のインクジェットヘッド
を製造するためのインクジェットヘッド製造装置を説明
するための説明図である。
【0066】同図において、符号2010はインクジェ
ットヘッドの構造材をなすベースプレートを示し、この
プレート上には、複数のエネルギー発生素子(不図示)
が設けられた基板2011および、電気配線のための回
路基板2013が接着剤によって接合されている。基板
2011上の配線と回路基板2013上の配線とはワイ
ヤボンディング2014により電気的に接続される。
【0067】符号2012は、天板を示し、この天板2
012はモールド成形により、インク供給口,共通液室
およびインク流路を形成する溝およびオリフィスプレー
ト2121を一体成形したものであり、オリフィスプレ
ート2121には、レーザーによって吐出口2120が
形成される。
【0068】以上のような構成のインクジェットヘッド
を製造する際の上記製造装置における天板2012と基
板2011との位置合わせ手順について以下に説明す
る。
【0069】まず、ベースプレート2010に、エネル
ギー発生素子としての熱エネルギー発生素子を有する基
板2011と回路基板2013を接着剤で貼り付け、次
に、これら基板2011および回路基板2013の配線
同士をワイヤボンディング等の手段で、電気的に接続
し、インクジェットヘッドの基板側を用意する。
【0070】次に、このベースプレート2010を、製
造装置の受け治具2101上に載せる。この際、ベース
プレート2010の前方の一部(基板2011が接合す
る部分側)は、圧電素子2105上に載置される。
【0071】治具2101および圧電素子2105上に
載置されたベースプレート2010は、不図示の押圧機
構により図中、XおよびY方向に押圧され、その一部
が、それぞれ治具2101上の突当てピン2102A,
2102Bおよび2102Cに突当てられる。
【0072】次に、ベースプレート2010は、不図示
の押圧機構によってZ方向に押圧され、治具2101上
に固定される。これにより、ベースプレート2010の
前方は圧電素子2105上に、後方は受け治具2101
上にそれぞれ押圧された状態で固定される。
【0073】次に、ベースプレート2010上の基板2
011の上に天板2012を供給する。この供給は、不
図示のトレイ等に配列された天板2012を、オートハ
ンド(不図示)が保持し、これを基板2011上に移動
させることによって行われる。
【0074】次に、ばね2103にて天板2012の上
部(本実施例ではインク供給口の頂部)を押圧する。こ
の際、ばね2103はインク供給口の頂部を真上から押
すのではなく、図14(c)に示す如く頂部を形成する
円周の外縁に接するように押圧する。このようにするこ
とにより、ばね2103による押圧力は、基板2011
に対し垂直方向(Z方向)の力F′1と、基板2011
上のエネルギー発生素子の配列方向(X方向)の力F′
2とに分けられる。
【0075】次に、インクジェットヘッドの前方に位置
する2本の板ばね2104にて、天板のオリフィスプレ
ート2121の前面を押圧し、これを基板2011の前
端面に押しつける。これによって天板2012の基板2
011に対する吐出方向の位置が定められる。
【0076】この時の吐出口2120とエネルギー発生
素子との位置関係は、次の2とおりになる。すなわち、
図14(a)に示すように、それぞれの吐出口2120
に対応したインク流路を形成する壁2012aが、エネ
ルギー素子2011aの上の作用面(熱作用面)201
3に乗っているか、あるいは、図14(b)に示すよう
に壁2012aがエネルギー素子間の凹部2011dに
あるかのいずれかである。
【0077】図14(b)に示すように、壁2012a
がエネルギー発生素子間の凹部1011dにある時は、
エネルギー発生素子2011aと吐出口2120との位
置が合っている状態である。すなわち、図14(a)に
示すように、壁2012aがエネルギー発生素子の上に
ある場合には、これを何らかの方法で天板2012をず
らし、図14(b)に示すように壁2012aをエネル
ギー発生素子間の凹部2011dに落とし込むことによ
り位置合せを行う。
【0078】そこで、本実施例においては、ベースプレ
ート2010の前部底面が当接している圧電素子210
5に信号を与えることにより基板2011に振動を与え
る。この信号は、発振器2107によって発生する信号
(本実施例では約5KHzの矩形波)を増幅器2106
で増幅およびバイアス電圧を加え、圧電素子に与えられ
るものである。これにより圧電素子は、振幅約1μmで
振動する。
【0079】基板2011上の天板には、図14(c)
に示す如くばね2103により、エネルギー発生素子の
配列方向(X方向)に分力F′2が作用しているが、振
動を与えない場合は、垂直方向(Z方向)の分力F′1
による天板と基板の静止摩擦力によって天板2012が
動くことはない。しかし、上述のように天板2012と
基20板11に振動を与えることにより、分力F′1に
よる摩擦力が変化し、分力F′2によって、天板201
2は基板2011に対してX方向、すなわち図14
(c)に示す矢印方向に移動する。
【0080】これにより、天板2012の壁2012a
がエネルギー発生素子間の凹部2011dに入り込む。
この移動の際、天板2012は、凹部と壁2012aの
すきま分はなおも移動しようとするが、壁2012aが
次のエネルギー発生素子上に乗り上げることはない。こ
れは、振動の振幅を凹部の深さよりも小さく設定するた
めである。
【0081】壁2012aが凹部2011dに入り込む
までに要する時間は、上記振動の振幅,周波数,ばね2
103の位置,弾性力等の条件で異なるが、入り込んだ
後振動を与え続けても天板と基板とがずれることはない
ため、少し長めに振動を与えれば問題ない。本実施例に
おいては、振動を与える時間は約1秒である。
【0082】以上のようにしてエネルギー発生素子と吐
出口(インク流路)との位置合せが完了したところで振
動を停止し、天板2012と基板2011とを接着剤あ
るいは押えばね等で相互に固定する。
【0083】ところで、上述した実施例1において、ト
レイに配列された天板をオートハンドでピックアップ
し、基板上に載せるものとしたが、ノズルが高密度に配
列されるインクジェットヘッドにおいては、天板の外形
の精度やトレイ上の配列位置のずれ等により、天板を基
板上に載置したときのX方向のズレは、吐出口1ピッチ
分程度(50〜100μm)ずれることがある。このよ
うな場合、本来、対応して位置合せされるべきそれぞれ
のエネルギー発生素子と吐出口(インク流路)との組合
わせが±1吐出口ピッチ程度ずれることがある。
【0084】そこで、例えば天板をオートハンドで供給
した後に天板の側面を不図示の機構によって押圧し、図
14(a)に示すように、天板2012の内側の壁20
12bを基板2011の側面2011cに突当てる。天
板2012の内側の壁2012bと天板に形成される吐
出口との間の位置精度は、金型において同一のコマを使
用しているため数μm以下とすることができる。このと
き、基板2011の側面2011cとエネルギー発生素
子との位置精度は、基板をウェーハから切り出すときの
切断精度で決まり、約10μm程度である。すなわち、
天板の内側の壁2012bを基板の側面2011cに突
当てることにより、20〜30μmの精度で、天板を基
板に載置することができ、エネルギー発生素子と吐出口
(インク流路)との間の所定の対応を保って位置合せす
ることが可能になる。
【0085】さらに別の方法としては、基板の複数のエ
ネルギー発生素子端部に凸部を設け、天板に形成したダ
ミーノズル壁部を該凸部に突き当てることによって、簡
便にエネルギー発生素子とノズルの位置合わせを行う方
法を挙げることもできる。この場合、基板に形成する凸
部パターンを基本的には天板のノズル列の端に形成され
るダミーノズル壁に突き当てるように形成することが好
ましい。該パターンは基板に形成する保護膜、エネルギ
ー発生素子、配線、保護膜および耐キャビテーション膜
をそれぞれ積層してパターン形成することによって作成
しても構わないし、また別途別工程にて作成しても構わ
ないが、パターンの段差は望ましくは1μm、さらに望
ましくは5μm以上あることが好ましい。またパターン
形成方法としてはスクリーン印刷等の手段を用いても構
わないが、最も好ましくはフォトリソグラフィーによっ
て形成することが、高い精度と良好な矩形断面形状が得
られることから望ましい。
【0086】一方、天板においては、ダミーノズル部
は、ノズルのピッチ寸法と同一の高い精度にて形成する
ことが可能であるため、該ノズル壁と基板に形成した凸
部パターンとを突き当てることによって高い精度にてエ
ネルギー発生素子とインク吐出孔とを位置合わせするこ
とが可能となる。図15に本発明による凸状突き当てパ
ターンと天板ダミーノズル壁の位置関係を示す。図15
(a)は基板上に天板を乗せた状態での基板と天板の位
置関係を示す。該状態にて基板に形成したエネルギー発
生素子2011と天板に形成したインク吐出孔2120
は位置合わせされていない状態である。図15(b)に
おいて、天板を横方向に移動せしめることにより、基板
に形成した凸状パターン2122の側壁と天板ダミーノ
ズルの側壁2134が突き当たり、エネルギー発生素子
とインク吐出孔の位置合わせを行うことができる。なお
突き当てに使用しないダミーノズル2133のノズル壁
は、凸状パターンに突き当たらないように形成されてい
る。
【0087】基板に凸状突き当てパターンを形成する方
法としては、基板に形成する蓄熱層、エネルギー発生素
子層、配線層、保護膜層および耐キャビテーション層の
何れかの層、あるいは複数の層のパターン形成時に該凸
状パターンを形成しておけばコストアップせずに該パタ
ーンを形成できる。本凸状パターンの形成においては、
各層のアライメント精度および断面形状のテーパーを低
減するためのプロセス条件の適正化が必要となる。
【0088】また別途別工程にて該凸状パターンを形成
しても構わない。パターン形成方法としては、スクリー
ン印刷等のパターン塗布方法によっても構わないし、ま
た耐キャビテーション層上に別途金属被膜を形成して、
フォトリソグラフィーにてパターン形成しても構わな
い。最も好ましくは、感光性樹脂によって該パターンを
形成する方法を挙げることができる。該感光性樹脂とし
ては、ノボラック樹脂とナフトキノンジアジド誘導体と
の混合系から構成されるポジ型フォトレジスト、不飽和
二重結合を有するアクリル系樹脂と感光剤から構成され
るネガ型フォトレジスト、ゴム系樹脂とアジド化合物か
ら構成されるネガ型レジスト、エポキシ樹脂とオニウム
塩との混合系から構成されるネガ型レジストおよびシリ
コン系レジストを挙げることができる。
【0089】上記樹脂の中でも、エポキシ樹脂とオニウ
ム塩との混合系レジストおよびシリコン系レジストはア
ルカリ性インクに対する耐性が高く、最も好ましい材料
と言える。
【0090】さらに好ましくは、耐インク性の高いポリ
サルフォンやポリエーテルサルフォン等の樹脂層を形成
し、該樹脂層上にシリコン系レジストをパターニングせ
しめ、該レジストをマスクとして酸素プラズマにてパタ
ーン形成する方法を挙げることができる。該方法におい
ては、耐インク性の高い材料にて、テーパーのない良好
なパターン形成を行うことができる。
【0091】(その他)なお、本発明は、特にインクジ
ェット記録方式の中でも、インク吐出を行わせるために
利用されるエネルギとして熱エネルギを発生する手段
(例えば電気熱変換体やレーザ光等)を備え、前記熱エ
ネルギによりインクの状態変化を生起させる方式の記録
ヘッド、記録装置において優れた効果をもたらすもので
ある。かかる方式によれば記録の高密度化,高精細化が
達成できるからである。
【0092】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第4723129号明細書,同第4740
796号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式は所謂オンデマンド型,
コンティニュアス型のいずれにも適用可能であるが、特
に、オンデマンド型の場合には、液体(インク)が保持
されているシートや液路に対応して配置されている電気
熱変換体に、記録情報に対応していて核沸騰を越える急
速な温度上昇を与える少なくとも1つの駆動信号を印加
することによって、電気熱変換体に熱エネルギを発生せ
しめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせて、結
果的にこの駆動信号に一対一で対応した液体(インク)
内の気泡を形成できるので有効である。この気泡の成
長,収縮により吐出用開口を介して液体(インク)を吐
出させて、少なくとも1つの滴を形成する。この駆動信
号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が
行われるので、特に応答性に優れた液体(インク)の吐
出が達成でき、より好ましい。このパルス形状の駆動信
号としては、米国特許第4463359号明細書,同第
4345262号明細書に記載されているようなものが
適している。なお、上記熱作用面の温度上昇率に関する
発明の米国特許第4313124号明細書に記載されて
いる条件を採用すると、さらに優れた記録を行うことが
できる。
【0093】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口,液路,電気熱変換体
の組合せ構成(直線状液流路または直角液流路)の他に
熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を開示す
る米国特許第4558333号明細書,米国特許第44
59600号明細書を用いた構成も本発明に含まれるも
のである。
【0094】特に、記録装置が記録できる記録媒体の最
大幅に対応した長さに吐出口が配列したフルラインタイ
プの記録ヘッドに対しては、前述のような熱膨張による
影響を低減させることができるので本発明は特に有効に
適用できる。そのような記録ヘッドとしては、複数記録
ヘッドの組合せによってその長さを満たす構成や、一体
的に形成された1個の記録ヘッドとしての構成のいずれ
でもよい。
【0095】加えて、先に説明したシリアルタイプのも
のでも、装置本体に固定された記録ヘッド、あるいは装
置本体に装着されることで装置本体との電気的な接続や
装置本体からのインクの供給が可能になる交換自在のチ
ップタイプの記録ヘッド、あるいは記録ヘッド自体に一
体的にインクタンクが設けられたカートリッジタイプの
記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効である。
【0096】また、本発明の記録装置の構成として、記
録ヘッドの吐出回復手段、予備的な補助手段等を付加す
ることは本発明の効果を一層安定できるので、好ましい
ものである。これらを具体的に挙げれば、記録ヘッドに
対してのキャッピング手段、クリーニング手段、加圧或
は吸引手段、電気熱変換体或はこれとは別の加熱素子或
はこれらの組み合わせを用いて加熱を行う予備加熱手
段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出手段を挙げるこ
とができる。
【0097】また、搭載される記録ヘッドの種類ないし
個数についても、例えば単色のインクに対応して1個の
みが設けられたものの他、記録色や濃度を異にする複数
のインクに対応して複数個数設けられるものであっても
よい。すなわち、例えば記録装置の記録モードとしては
黒色等の主流色のみの記録モードだけではなく、記録ヘ
ッドを一体的に構成するか複数個の組み合わせによるか
いずれでもよいが、異なる色の複色カラー、または混色
によるフルカラーの各記録モードの少なくとも一つを備
えた装置にも本発明は極めて有効である。
【0098】さらに加えて、以上説明した本発明実施例
においては、インクを液体として説明しているが、室温
やそれ以下で固化するインクであって、室温で軟化もし
くは液化するものを用いてもよく、あるいはインクジェ
ット方式ではインク自体を30℃以上70℃以下の範囲
内で温度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあ
るように温度制御するものが一般的であるから、使用記
録信号付与時にインクが液状をなすものを用いてもよ
い。加えて、熱エネルギによる昇温を、インクの固形状
態から液体状態への状態変化のエネルギとして使用せし
めることで積極的に防止するため、またはインクの蒸発
を防止するため、放置状態で固化し加熱によって液化す
るインクを用いてもよい。いずれにしても熱エネルギの
記録信号に応じた付与によってインクが液化し、液状イ
ンクが吐出されるものや、記録媒体に到達する時点では
すでに固化し始めるもの等のような、熱エネルギの付与
によって初めて液化する性質のインクを使用する場合も
本発明は適用可能である。
【0099】さらに加えて、本発明インクジェット記録
装置の形態としては、コンピュータ等の情報処理機器の
画像出力端末として用いられるものの他、リーダ等と組
合せた複写装置、さらには送受信機能を有するファクシ
ミリ装置の形態を採るもの等であってもよい。
【0100】また、本発明のインクジェットヘッドを用
い、布へインクを吐出して記録(プリント)を行う捺染
装置に適用することも望ましい。
【0101】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
天板のインク流路壁等の壁部材が基板と当接する部位
は、基板に設けられた凹部の底面で熱作用面より低部で
あるため、基板上のエネルギー発生素子によってインク
に発生する圧力波の影響は、上記凹部の底面までは及び
難いため、この凹部を介して他の流路に圧力波が逃げて
しまうおそれがない。また、何らかの原因で壁部材の当
接位置がずれようとしても壁部材は凹部の一部と干渉し
ずれがそれ以上大きくなることが防止される。
【0102】この結果、天板等の位置ずれが低減でき、
また、隣接流路への吐出エネルギーのロスが低減され、
隣接流路間のクロストークのほとんどない状態で吐出を
行うことができるので、安定吐出が可能となる。これに
よりドット径が一定になる等良好な記録結果を得ること
ができるという効果がある。
【0103】また、あまり正確な位置合わせを行わなく
ても天板にはエネルギー発生素子の配列方向の力を作用
させることで天板と基板との接合において、天板の流路
壁は最終的に基板上に設けられた凹部に入り込み、これ
によりインク吐出口とエネルギー発生素子との正確な位
置合わせが可能となる。
【0104】この結果、簡易な構成で容易に位置合わせ
を行うことができ、インクジェットヘッドの製造に要す
るコストや時間を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】インクジェットヘッドのヒータボード構成の一
従来例を示す概略平面図である。
【図2】図1のA−A線断面を示す断面図である。
【図3】本発明の一実施例にかかるインクジェットヘッ
ドを示す概略斜視図である。
【図4】図3に示したインクジェットヘッドのB−B線
断面図である。
【図5】図3に示したインクジェットヘッドのD−D線
断面図である。
【図6】図5のE−E線断面を示す断面図である。
【図7】図3に示したインクジェットヘッドを組み込ん
だインクジェットカートリッジの斜視図である。
【図8】図7に示したインクジェットカートリッジの構
成を示す斜視図である。
【図9】図7に示したインクジェットカートリッジにお
いて、インクタンクのインクジェットユニットを取付け
る部分の説明図である。
【図10】図7に示したインクジェットカートリッジの
キャリッジへの装着状態を示す説明図である。
【図11】図7に示したインクジェットカートリッジを
搭載したインクジェット記録装置の一実施例を示す概略
斜視図である。
【図12】本発明の第2の実施例に係るヒータボードを
示す概略平面図である。
【図13】本発明のインクジェットヘッドを製造するた
めのインクジェット製造装置を示す概略斜視図である。
【図14】(a)および(b)は天板が基板上に載置さ
れた状態の2例を模式的に示す断面図であり、(c)は
ばねと天板と頂部との係合関係を模式的に示す説明図で
ある。
【図15】本発明のインクジェットヘッドに凸状突き当
てパターンと天板ダミーノズル壁を設けたときの位置関
係を示す図である。
【符号の説明】
11 インクジェットカートリッジ 12 インクジェットヘッド 13 インクジェットユニット 14 インクタンク 15 インクジェット記録装置 16 キャリッジ 20 カートリッジ本体 103 ヒータボード 105 天板 1101 吐出口 1102 発熱抵抗体 1103 電気熱変換素子 1104 オリフィスプレート 1111 絶縁層 1112 層間膜 1113 保護膜1 1114 保護膜2 1116 発熱部 1117 凹部 1119 当接面 2010 ベースプレート 2011 エネルギー素子を有する基板 2011a エネルギー素子 2011b 保護層 2011c 基板の側面 2011d 凹部 2012 天板 2012a インク流路壁 2012b 天板内側の壁 2013 回路基板 2101 受け治具 2102a〜2102c 突当てピン 2103 天板に加重を与えるばね 2104 天板前面押えばね 2105 圧電素子 2106 増幅器 2107 発振器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宮川 昌士 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キ ヤノン株式会社内 (72)発明者 荒島 輝雄 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キ ヤノン株式会社内 (72)発明者 泉田 昌明 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キ ヤノン株式会社内 (72)発明者 河合 潤 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キ ヤノン株式会社内 (56)参考文献 特開 平3−234634(JP,A) 特開 平4−163051(JP,A) 特開 平1−128840(JP,A) 特開 昭63−202455(JP,A) 特開 平6−166181(JP,A) 実開 平4−79641(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B41J 2/05 B41J 2/16

Claims (18)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 インクを吐出するために利用されるエネ
    ルギーを発生する複数のエネルギー発生素子が設けられ
    た基板と、 該基板に接合し、前記エネルギー発生素子が発生するエ
    ネルギーを当該インクに作用させて吐出させるための流
    路を形成する流路壁の複数を一体的に有する壁部材と、
    を具備し、前記基板と前記壁部材とが、接着剤を介さず
    に押圧部材により押圧されることによって相互に固定さ
    れて前記流路が形成されているインクジェットヘッドで
    あって、 前記基板は、前記エネルギー発生素子が絶縁層を介して
    前記基板に設けられ、該絶縁層は前記熱エネルギー発生
    素子間に掘り込み部を有し、該掘り込み部を基礎として
    前記エネルギー素子間に凹部を有し、該凹部はインクに
    熱を伝える熱作用面より下部に位置する底面を備え、前
    記流路壁が該底面で前記基板に当接することを特徴とす
    るインクジェットヘッド。
  2. 【請求項2】 前記インクジェットヘッドは、インクを
    吐出するための吐出口が被記録媒体の記録可能領域の全
    幅に配されているフルラインタイプであることを特徴と
    する請求項1に記載のインクジェットヘッド。
  3. 【請求項3】 前記エネルギー発生素子は電気熱変換素
    子であり、当該熱エネルギーをインクに作用させて気泡
    を発生させ、該気泡の生成に伴ってインクを吐出するこ
    とを特徴とする請求項1または2に記載のインクジェッ
    トヘッド。
  4. 【請求項4】 前記基板の表面には、凸部パターンが前
    記複数のエネルギー発生素子の配列方向端部において設
    けられているとともに、前記壁部材には該凸部パターン
    に対応する凹部が設けられていることを特徴とする請求
    項1に記載のインクジェットヘッド。
  5. 【請求項5】 前記壁部材の凹部はダミーノズル部に設
    けられていることを特徴とする請求項4に記載のインク
    ジェットヘッド。
  6. 【請求項6】 前記凸部パターンがエポキシ、シリコン
    系の感光性材料で形成されていることを特徴とする請求
    項4に記載のインクジェットヘッド。
  7. 【請求項7】 インクを吐出するために利用されるエネ
    ルギーを発生する複数のエネルギー発生素子が設けられ
    た基板と、 該基板に接合し、前記エネルギー発生素子が発生するエ
    ネルギーを当該インクに作用させて吐出させるための流
    路を形成する流路壁の複数を一体的に有する壁部材と、
    を具備し、前記基板と前記壁部材とが、接着剤を介さず
    に押圧部材により押圧されることによって相互に固定さ
    れて接合することにより前記流路が形成されるインクジ
    ェットヘッドの製造方法であって、 前記基板において、前記エネルギー発生素子が絶縁層を
    介して前記基板に設けられ、該絶縁層は前記熱エネルギ
    ー発生素子間に掘り込み部を有し、該掘り込み部を基礎
    として前記エネルギー素子間に設けられる凹部であっ
    、前記流路壁に嵌合する凹部を設け、前記壁部材に前
    記複数のエネルギー発生素子の配列方向の力を作用させ
    ることにより前記凹部と前記流路壁とを嵌合させて前記
    流路と前記エネルギー発生素子との位置合わせを行うこ
    とを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
  8. 【請求項8】 前記基板の表面には、凸部パターンが前
    記複数のエネルギー発生素子の配列方向端部において設
    けられるとともに、前記壁部材には該凸部パターンに対
    応する凹部が設けられることを特徴とする請求項7に記
    載のインクジェットヘッドの製造方法。
  9. 【請求項9】 前記壁部材の凹部はダミーノズル部に設
    けられることを特徴とする請求項8に記載のインクジェ
    ットヘッドの製造方法。
  10. 【請求項10】 前記凸部パターンがエポキシ、シリコ
    ン系の感光性材料で形成されることを特徴とする請求項
    7に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
  11. 【請求項11】 インクを吐出するために利用されるエ
    ネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子が設けら
    れた基板と、 該基板に接合し、前記エネルギー発生素子が発生するエ
    ネルギーを当該インクに作用させて吐出させるための流
    路を形成する流路壁の複数を一体的に有する壁部材と、
    を具備し、前基板と前記壁部材とが、接着剤を介さずに
    押圧部材により押圧されることによって相互に固定され
    接合することにより前記流路が形成されるインクジェ
    ットヘッドの製造方法であって、 前記基板において、前記エネルギー発生素子が絶縁層を
    介して前記基板に設け られ、該絶縁層は前記熱エネルギ
    ー発生素子間に掘り込み部を有し、該掘り込み部を基礎
    として前記エネルギー素子間に設けられる凹部であっ
    て、前記流路壁に接合する凹部を設け、前記壁部材に前
    記複数のエネルギー発生素子の配列方向の分力を少なく
    とも有する力を作用させた状態で前記基板を振動させる
    ことにより前記凹部と前記流路壁とを嵌合させて前記流
    路と前記エネルギー発生素子との位置合わせを行うこと
    を特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
  12. 【請求項12】 前記基板の表面には、凸部パターンが
    前記複数のエネルギー発生素子の配列方向端部において
    設けられるとともに、前記壁部材には該凸部パターンに
    対応する凹部が設けられることを特徴とする請求項11
    に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
  13. 【請求項13】 前記壁部材の凹部はダミーノズル部に
    設けられることを特徴とする請求項12に記載のインク
    ジェットヘッドの製造方法。
  14. 【請求項14】 前記凸部パターンがエポキシ、シリコ
    ン系の感光性材料で形成されることを特徴とする請求項
    11に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
  15. 【請求項15】 前記振動の振幅が前記基板に形成され
    る凹部の幅より小さいことを特徴とする請求項11に記
    載のインクジェットヘッドの製造方法。
  16. 【請求項16】 インクを吐出するために利用されるエ
    ネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子が設けら
    れた基板と、 該基板に、接着剤を介さずに押圧部材により押圧される
    ことによって相互に固定されて接合し、前記エネルギー
    発生素子が発生するエネルギーを当該インクに作用させ
    て吐出させるための流路を形成する流路壁の複数を一体
    的に有する壁部材と、を具備し、前記基板において、前
    記エネルギー発生素子が絶縁層を介して前記基板に設け
    られ、該絶縁層は前記熱エネルギー発生素子間に掘り込
    み部を有し、該掘り込み部を基礎として前記エネルギー
    素子間に設けられる凹部であって、前記流路壁に嵌合す
    る凹部が設けられており、該凹部に前記流路壁が嵌合さ
    れることにより前記流路が形成されているインクジェッ
    トヘッドを製造するためのインクジェットヘッド製造装
    置であって、 前記凹部が設けられた基板を保持する保持手段と、 該保持手段によって保持される基板上に、前記凹部と前
    記流路壁を対向させるよう前記壁部材を載置する載置手
    段と、 該載置手段によって載置される壁部材に、前記基板と前
    記壁部材を重ね合わせた状態で前記複数のエネルギー発
    生素子の配列方向の分力を少なくとも有する力を作用さ
    せる押圧手段と、 該押圧手段により前記配列方向の分力を作用させた状態
    で、前記基板を振動させる信号手段とを備えたことを特
    徴とするインクジェットヘッドの製造装置。
  17. 【請求項17】 前記振動の振幅が前記基板に形成され
    る凹部の幅より小さいことを特徴とする請求項16に記
    載のインクジェットヘッドの製造装置。
  18. 【請求項18】 インクを吐出するために利用されるエ
    ネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子が設けら
    れた基板と、該基板に接合し、前記エネルギー発生素子
    が発生するエネルギーを当該インクに作用させて吐出さ
    せるための流路を形成する流路壁の複数を一体的に有す
    る壁部材と、を具備し、前記基板と前記壁部材とが、接
    着剤を介さずに押圧部材により押圧されることによって
    相互に固定されて接合させ前記流路が形成されているイ
    ンクジェットヘッドと、 該インクジェットヘッドの前記エネルギー発生素子を駆
    動するための信号を発生する駆動信号発生手段とを具備
    するインクジェット装置であって、 前記インクジェットヘッドは前記基板おいて、前記エ
    ネルギー発生素子が絶縁層を介して前記基板に設けら
    れ、該絶縁層は前記熱エネルギー発生素子間に掘り込み
    部を有し、該掘り込み部を基礎として前記エネルギー素
    子間に設けられる凹部であって、該凹部はインクに熱を
    伝える熱作用面より下部に位置する底面を備え、前記流
    路壁が該底面で前記基板に当接することを特徴とするイ
    ンクジェット装置。
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