JP3437425B2 - インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置 - Google Patents

インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置

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稔明 広沢
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はインクジェット記録
ヘッド及びそれを具備させたインクジェット記録装置に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】インクジェット記録装置は、いわゆるノ
ンインパクト記録方式の記録装置である。高速な記録
と、様々な記録メディアに対し記録することが可能であ
り、記録時における騒音がほとんど生じないといった特
徴を持つ。このようなことから、プリンタ、ワードプロ
セッサ、ファクシミリ、複写機等の記録機構を担う装置
として広く採用されている。
【0003】このインクジェット記録とは、代表的な方
法として電気熱変換素子を用いた方法があり、微小な吐
出口から微小な液的を吐出させ、記録紙に対し記録を行
うものである。一般に、液滴を形成するためのインクジ
ェット記録ノズルヘッドと、このヘッドに対してインク
を供給する供給系から構成される。電気熱変換素子を用
いたインクジェット記録ヘッドは、電気熱変換素子を加
圧室内に設け、これに記録信号となる電気パルスを与え
ることにより記録液に熱エネルギーを与え、その時の記
録液の相変化より生じる記録液の発泡時(沸騰時)の気
泡圧力を記録液滴の吐出に利用したものである。
【0004】さらに電気熱変換方式を用いたインクジェ
ット記録ヘッドの場合、電気熱変換素子が配列された基
板に対して平行に記録液を吐出させる方式(エッジシュ
ーター)と電気熱変換素子が配列された基板に対して、
垂直に記録液を吐出させる方式(サイドシューター)が
ある。
【0005】従来サイドシューターのインクジェット記
録ヘッドの場合、図6(c)に示すように、記録素子が
配列された記録素子基板1のほぼ中央には、インクを吐
出口に供給するためのインク流路5が吐出口列の長さと
ほぼ等しい長さで開口している。この穴は一般的にサン
ドブラスト異方性エッチングレーザー加工等で開口され
る。そして図6(d)に示すように記録素子基板1にイ
ンクを吐出するための電気信号を与えるための配線基板
7と記録素子基板1はTAB(Tape Automa
ted Bonding)方式で接続され、さらに記録
素子基板1は図6(a)(b)に示すように第1の支持
部材2の上に接着固定されている。そして、記録素子基
板1は通常Si基板が用いられ、第1の支持部材2には
コスト加工性などの点から成形された樹脂が用いられる
のが一般的である。また、近年パーソナルコンピュータ
ーの大幅な低価格化・高性能化に伴い、プリンター等の
カラー化が進み普及してきている。この様なカラープリ
ンターの記録ヘッドは、多色インクを印字するため、複
数個例えばイエロー(Y)、マゼンダ(M)、シアン
(C)、ブラック(Bk)の4個設けられており、それ
ぞれの印字位置を精度良く合わせて並べることが必要に
なっている。さらに600dpiあるいは1200dp
iといった高精細のものは、印字精度を20μm程度に
押さえる必要があり、吐出口の位置のみではなく吐出す
る角度も考慮して位置合わせを行なうか、実際に印字し
てそれに従って合わせる必要があった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例では、記録素子基板1は図6(b)に示すように記
録素子基板1と第1の支持部材2の間の接着剤9の厚み
は一定になるとはかぎらず第1の支持部材2の上に接着
剤層9を介して接着固定されているため、図6(c)に
示すように接着剤層9の厚みのばらつき等が生じ第1の
支持部材の基準面に対して記録素子1が傾いて接着固定
されてしまいインク滴の吐出方向が傾き着弾ズレを生じ
る場合があった。
【0007】本発明の目的は記録素子基板1を第1の支
持部材2の基準面に対して精度よく貼り合わせ、吐出口
面の傾きのばらつきを最小限に抑え、簡単な構造で、着
弾精度の高いインクジェット記録ヘッドを提供すること
にある。
【0008】
【課題を解決するための手段】前記の目的は以下の手段
によって達成される。
【0009】すなわち、本発明のインクジェット記録ヘ
ッドは、インクを吐出させるための複数の記録素子が配
された記録素子基板と該記録素子基板を支持する支持部
材とを有するインクジェット記録ヘッドにおいて、前記
支持部材は、その部材内部を通って上面に開口したイン
ク流路と、前記上面であって前記インク流路の開口の周
囲に複数突設された凸部と、を具備し、前記記録素子基
板は、その裏面側から前記支持部材の前記インク流路と
連通するインク供給口を具備し、前記支持部材は、当該
支持部材と前記記録素子基板とを接着剤で接着固定する
に際し、複数の前記凸部と前記記録素子基板の裏面とを
当接させ、当該支持部材の前記上面と前記記録素子基板
の裏面との間に溢れた前記接着剤を保持する溝を前記凸
部と前記インク流路の開口との間に配することを特徴と
する。 前記支持部材の上面に設けられた前記凸部の高さ
が10〜200μmであってもよい。 前記支持部材に設
けられたインク供給口の全周面が前記凸部と同じ高さも
しくは若干低い壁で囲まれていてもよい。
【0010】また、本発明の他のインクジェット記録ヘ
ッドは、第1の支持部材と、インクを吐出させるための
複数の記録素子が配された記録素子基板と、前記第1の
支持部材に支持されるとともに前記記録素子基板を支持
する第2の支持部材と、を有するインクジェット記録ヘ
ッドにおいて、前記第1の支持部材は、その部材内部を
通って上面に開口したインク流路と、前記上面であって
前記インク流路の開口の周囲に複数突設された凸部と、
を具備し、前記記録素子基板は、その裏面側から前記第
2の支持部材を介して前記第1の支持部材の前記インク
流路と連通するインク供給口を具備し、前記第1の支持
部材は、当該第1の支持部材と前記記録素子基板とを前
記第2の支持部材を介して接着剤で接着固定するに際
し、複数の前記凸部と前記第2の支持部材の裏面とを当
接させ、当該第1の支持部材の前記上面と前記第2の支
持部材の裏面との間に溢れた前記接着剤を保持する溝を
前記凸部と前記インク流路の開口との間に配することを
特徴とする。 前記第1の支持部材の上面に設けられた前
記凸部の高さが10〜200μmであってもよい。 前記
第1の支持部材に設けられたインク供給口の全周面が前
記凸部と同じ高さのもしくは若干低い高さの壁で囲まれ
ていてもよい。更に本発明は、前記のインクジェット記
録ヘッドを具備させたことを特徴とするインクジェット
記録装置を提案するものである。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、実施例によって本発明を更
に具体的に説明する。
【0012】
【実施例】(実施例1)図1(a)は本発明の第1の実
施例のインクジェット記録ヘッドの斜視図、図1(b)
は図1(a)の分解斜視図、図2(c)は図1(a)の
A−A断面図、図2(d)は図1(a)のB−B断面図
である。図1及び図2において1は記録素子が複数配列
された記録素子基板、2は記録素子基板1にインクを供
給するためのインク供給路5を有し、さらに記録素子基
板を接着固定するための支持部材である。3は、支持部
材2に設けられた、記録素子基板1にインクを供給する
ためのインク供給口である。4は、記録素子基板1に記
録信号を与えるための信号線を配線した配線基板、7は
記録素子基板1に設けられたインク供給口である。
【0013】まず、記録素子基板1は、通常Siウェハ
ー上に発熱抵抗層及び配線等がフォトリソ技術によって
パターニングされ、ノズル壁、吐出口を感光性樹脂で作
成し異方性エッチング等によってインク供給路を形成
し、切断によって外形が形成される。そして記録素子基
板1は、電気的信号を受けとるための配線基板4とTA
B実装技術によって接続される。
【0014】次に、記録素子基板1は、支持部材2に正
確に位置決めされ接着固定される。この時使用される接
着剤9としては、粘度が高く、インク供給口7、インク
供給口3等に流れ込まないものが望ましい。
【0015】ここで本発明においては、記録素子基板1
を接着固定する支持部材2の接着固定面8において複数
個(本例では4つ)の凸平面部6を有しておりこの凸平
面部6を記録素子基板1の裏面とつぎ当てて接着固定す
る構成とした。従って、支持部材2は通常コスト、加工
性等の点からモールド成形品であるため接着固定面8の
全領域の平面性を良くすることは非常に困難であるが接
着固定面8に設けられた4つの凸平面部の平面性を良く
することによって接着された記録素子基板1の平面性も
良くすることができる。
【0016】そして、記録素子基板1と支持部材2の接
着固定面8までの間隔をほぼ一定に保つことができるた
め、すなわち、接着剤層9の厚みを均一とすることが可
能となり接着の信頼性が著しくアップする。
【0017】また図3に示すように記録素子基板1が、
放熱特性アップ・アライメント精度アップ等のために、
第2の支持基板10に接着固定され、さらに第2の支持
基板10と支持部材2が接着固定されるインクジェット
記録ヘッドの場合においても、同様に支持部材2の第2
の支持基板を接着固定する接着面に凸平面部6を複数個
設け、この凸平面部が第2の支持基板につき当たるよう
に接着固定することによって、第2の支持基板の接着後
の平面性が良く保たれる。
【0018】この時凸平面部6の接着固定面8からの出
っ張り量は10〜200μm位が望ましい。よって簡単
な構造で記録素子基板1の平面性が非常によい、つまり
吐出着弾精度の非常によいインクジェット記録ヘッドが
提供できる。
【0019】(実施例2)図4(a)、(b)、(c)
は、第2の実施例を示すインクジェット記録ヘッドの断
面図である。図4(a)、(b)、(c)において各符
号は図1と同一なので説明は省略する。本実施例におい
ては、支持部材2の接着固定面8に接着剤塗布用の溝1
1を設けたものである。この溝11を設けることによ
り、接着剤塗布時の接着剤の流れ出し等を防止でき、さ
らに、記録素子基板1もしくは、第2の支持基板10と
支持部材2との接着剤層幅を管理でき接着剤層も厚くな
るため接着信頼性がさらにアップする。
【0020】また、この接着剤塗布用の溝11の面は通
常モールド面で金型の面粗さが転写されているが、金型
を放電加工面またはサンドブラスト面等にすることによ
ってこの溝の面を荒らすことができる。従ってモールド
面への接着剤のくいつきが良くなりなお一層接着信頼性
が増す。
【0021】(実施例3)図5(a)は、第3の実施例
を示すインクジェット記録ヘッドの分解斜視図である。
(b)は(a)図のヘッドの組み立て完成後のA−A断
面図である。図5(a)、(b)において各符号は図1
と同一なので説明は省略する。本実施例においては、支
持部材2の第2の支持基板を接着固定する面に設けられ
たインク供給口3の全周囲部を凸平面部と同じ高さもし
くは同じ高さよりやや低い壁12で囲ったものである。
【0022】支持部材2に設けられたインク供給口3
は、第2の支持基板10を接着固定することで封止され
インク供給路として形成される。
【0023】通常、インク供給口3の周囲に接着剤を塗
布し、第2の支持部材10を接着固定するが、この接着
剤の量がばらつくと接着剤がインク流路内にはみ出して
つまりを生じさせたり、接着剤が少なくてリークが生じ
るという恐れがあった。そこで本実施例によって、支持
部材2の接着固定面8に設けられた凸平面部6と同じ高
さのもしくは同じ高さよりやや低い壁12をインク供給
口の外側全周に形成することにより接着剤のインク流路
内へのはみ出し、つまりを防止できる。
【0024】また、壁12の外側の接着剤塗布部に接着
剤塗布用の溝を設けてもよい。
【0025】[他の実施例]以下に本発明を用いたイン
クジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置につ
いて説明する。
【0026】図7はこの様なインクジェット記録ヘッド
の概略構成図であり、エッチング・蒸着・スパッタリン
グ等の半導体製造プロセス工程を経て、基板1102上
に成膜形成された電気熱変換体1103、配線110
4、液路壁1105、天板1106から構成されている
インクジェット記録ヘッドが示されている。記録用液体
1112は図示していない液体貯蔵室から液体供給管1
107を通して記録ヘッド1101の共通液室1108
内に供給される。図中1109は液体供給管用コネクタ
である。共通液室1108内に供給された液体1112
は所謂毛管現象により液路1110内に供給され、液路
先端の吐出口面(オリフイス面)でメニスカスを形成す
ることにより安定に保持される。ここで電気熱変換体1
103に通電することにより、電気熱変換体面上の液体
が急峻に加熱され、液路中に気泡が生起され、その気泡
の膨張・収縮により吐出口1111から液体を吐出し液
滴が形成される。
【0027】図8は本発明が適用されるインクジェット
装置の概観図で、駆動モータ5013の正逆回転に連動
して駆動力伝達ギア5011、5009を介して回転す
るリードスクリュー5005のら線溝5004に対して
係合するキャリッジHCはピン(不図示)を有し、矢印
a、b方向に往復移動される。5002は紙押え板であ
り、キャリッジ移動方向にわたって紙をプラテン500
0に対して押圧する。5007、5008はフォトカプ
ラでキャリッジのレバー5006のこの域での存在を確
認してモータ5013の回転方向切換等を行うためのホ
ームポジション検知手段である。5016は記録ヘッド
の前面をキャップするキャップ部材5022を支持する
部材で、5015はこのキャップ内を吸引する吸引手段
でキャップ内開口5023を介して記録ヘッドの吸引回
復を行う。5017はクリーニングブレードで、501
9はこのブレードを前後方向に移動可能にする部材であ
り、本体支持板5018にこれらは支持されている。ブ
レードは、この形態でなく周知のクリーニングブレード
が本例に適用できることはいうまでもない。又、501
2は、吸引回復の吸引を開始するためのレバーで、キャ
リッジと係合するカム5020の移動に伴って移動し、
駆動モータからの駆動力がクラッチ切換等の公知の伝達
手段で移動制御される。
【0028】これらのキャッピング、クリーニング、吸
引回復は、キャリッジがホームポジション側領域にきた
ときにリードスクリュー5005の作用によってそれら
の対応位置で所望の処理が行えるように構成されている
が、周知のタイミングで所望の作動を行うようにすれ
ば、本例には何れも適用できる。上述における各構成は
単独でも複合的に見ても優れた発明であり、本発明にと
って好ましい構成例を示している。
【0029】尚、本装置にはインク吐出圧発生素子を駆
動するための駆動信号供給手段を有している。
【0030】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
記録素子基板の吐出口面を記録ヘッドの基準面に対して
精度よく平行に接着固定することが可能となり、印字品
位が高く、信頼性の高い記録ヘッドを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1(a)、(b)は本発明の実施例1を示す
斜視図及び分解斜視図である。
【図2】図2(c)、(d)は本発明の実施例1を示す
断面図である。
【図3】本発明の実施例1を示す断面図である。
【図4】図4(a)〜(c)は本発明の実施例2を示す
断面図である。
【図5】図5(a)、(b)は本発明の実施例3を示す
分解斜視図で及び断面図である。
【図6】図6(a)は従来の記録ヘッドを示す斜視図で
あり、図6(b)、(c)、(d)は従来の記録ヘッド
の断面図である。
【図7】インクジェット記録ヘッドの概略構成図であ
る。
【図8】本発明が適用されるインクジェット記録装置の
概観図である。
【符号の説明】
1 記録素子基板 2 支持部材 3 インク供給口 4 配線基板 5 インク流路 6 凸平面部 7 インク供給口 8 接着固定面 9 接着剤 10 第2の支持部材 11 接着剤塗布溝 12 壁 13 第3の支持部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平7−276643(JP,A) 特開 平8−127127(JP,A) 特開 平3−182359(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B41J 2/05 B41J 2/16

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 インクを吐出させるための複数の記録素
    子が配された記録素子基板と該記録素子基板を支持する
    支持部材とを有するインクジェット記録ヘッドにおい
    て、 前記支持部材は、その部材内部を通って上面に開口した
    インク流路と、前記上面であって前記インク流路の開口
    の周囲に複数突設された凸部と、を具備し、 前記記録素子基板は、その裏面側から前記支持部材の前
    記インク流路と連通するインク供給口を具備し、 前記支持部材は、当該支持部材と前記記録素子基板とを
    接着剤で接着固定するに際し、複数の前記凸部と前記記
    録素子基板の裏面とを当接させ、当該支持部材の前記上
    面と前記記録素子基板の裏面との間に溢れた前記接着剤
    を保持する溝を前記凸部と前記インク流路の開口との間
    に配することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
  2. 【請求項2】 前記支持部材の上面に設けられた前記凸
    の高さが10〜200μmである請求項1に記載のイ
    ンクジェット記録ヘッド。
  3. 【請求項3】 前記支持部材に設けられたインク供給口
    の全周面が前記凸部と同じ高さもしくは若干低い壁で囲
    まれている請求項1または2に記載のインクジェット記
    録ヘッド。
  4. 【請求項4】 第1の支持部材と、インクを吐出させる
    ための複数の記録素子が配された記録素子基板と、前記
    第1の支持部材に支持されるとともに前記記録素子基板
    を支持する第2の支持部材と、を有するインクジェット
    記録ヘッドにおいて、 前記第1の支持部材は、その部材内部を通って上面に開
    口したインク流路と、前記上面であって前記インク流路
    の開口の周囲に複数突設された凸部と、を具備し、 前記記録素子基板は、その裏面側から前記第2の支持部
    材を介して前記第1の支持部材の前記インク流路と連通
    するインク供給口を具備し、 前記第1の支持部材は、当該第1の支持部材と前記記録
    素子基板とを前記第2の支持部材を介して接着剤で接着
    固定するに際し、複数の前記凸部と前記第2の 支持部材
    の裏面とを当接させ、当該第1の支持部材の前記上面と
    前記第2の支持部材の裏面との間に溢れた前記接着剤を
    保持する溝を前記凸部と前記インク流路の開口との間に
    配することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
  5. 【請求項5】 前記第1の支持部材上面に設けられた
    前記凸部の高さが10〜200μmである請求項4に記
    載のインクジェット記録ヘッド。
  6. 【請求項6】 前記第1の支持部材に設けられたインク
    供給口の全周面が前記凸部と同じ高さのもしくは若干低
    い高さの壁で囲まれている請求項4または5に記載のイ
    ンクジェット記録ヘッド。
  7. 【請求項7】 請求項1から6のいずれか1項に記載の
    インクジェット記録ヘッドを具備させたことを特徴とす
    るインクジェット記録装置。
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