JPH11147314A - インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置 - Google Patents
インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置Info
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- JPH11147314A JPH11147314A JP31546897A JP31546897A JPH11147314A JP H11147314 A JPH11147314 A JP H11147314A JP 31546897 A JP31546897 A JP 31546897A JP 31546897 A JP31546897 A JP 31546897A JP H11147314 A JPH11147314 A JP H11147314A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 記録素子基板の吐出面を記録ヘッドの基準面
に対して精度よく平行に接着固定が可能で印字品位が高
く信頼性の高い記録ヘッド及び記録装置を提供する。 【解決手段】 インクジェット記録ヘッドにおいて、支
持部材２の記録素子基板１の接着固定面８に複数個の凸
平面部６を設け、該凸表面部６と前記記録素子基板１の
裏面とを接触させ接着固定されていることを特徴とす
る。
に対して精度よく平行に接着固定が可能で印字品位が高
く信頼性の高い記録ヘッド及び記録装置を提供する。 【解決手段】 インクジェット記録ヘッドにおいて、支
持部材２の記録素子基板１の接着固定面８に複数個の凸
平面部６を設け、該凸表面部６と前記記録素子基板１の
裏面とを接触させ接着固定されていることを特徴とす
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はインクジェット記録
ヘッド及びそれを具備させたインクジェット記録装置に
関するものである。
ヘッド及びそれを具備させたインクジェット記録装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】インクジェット記録装置は、いわゆるノ
ンインパクト記録方式の記録装置である。高速な記録
と、様々な記録メディアに対し記録することが可能であ
り、記録時における騒音がほとんど生じないといった特
徴を持つ。このようなことから、プリンタ、ワードプロ
セッサ、ファクシミリ、複写機等の記録機構を担う装置
として広く採用されている。
ンインパクト記録方式の記録装置である。高速な記録
と、様々な記録メディアに対し記録することが可能であ
り、記録時における騒音がほとんど生じないといった特
徴を持つ。このようなことから、プリンタ、ワードプロ
セッサ、ファクシミリ、複写機等の記録機構を担う装置
として広く採用されている。
【０００３】このインクジェット記録とは、代表的な方
法として電気熱変換素子を用いた方法があり、微小な吐
出口から微小な液的を吐出させ、記録紙に対し記録を行
うものである。一般に、液滴を形成するためのインクジ
ェット記録ノズルヘッドと、このヘッドに対してインク
を供給する供給系から構成される。電気熱変換素子を用
いたインクジェット記録ヘッドは、電気熱変換素子を加
圧室内に設け、これに記録信号となる電気パルスを与え
ることにより記録液に熱エネルギーを与え、その時の記
録液の相変化より生じる記録液の発泡時（沸騰時）の気
泡圧力を記録液滴の吐出に利用したものである。
法として電気熱変換素子を用いた方法があり、微小な吐
出口から微小な液的を吐出させ、記録紙に対し記録を行
うものである。一般に、液滴を形成するためのインクジ
ェット記録ノズルヘッドと、このヘッドに対してインク
を供給する供給系から構成される。電気熱変換素子を用
いたインクジェット記録ヘッドは、電気熱変換素子を加
圧室内に設け、これに記録信号となる電気パルスを与え
ることにより記録液に熱エネルギーを与え、その時の記
録液の相変化より生じる記録液の発泡時（沸騰時）の気
泡圧力を記録液滴の吐出に利用したものである。
【０００４】さらに電気熱変換方式を用いたインクジェ
ット記録ヘッドの場合、電気熱変換素子が配列された基
板に対して平行に記録液を吐出させる方式（エッジシュ
ーター）と電気熱変換素子が配列された基板に対して、
垂直に記録液を吐出させる方式（サイドシューター）が
ある。
ット記録ヘッドの場合、電気熱変換素子が配列された基
板に対して平行に記録液を吐出させる方式（エッジシュ
ーター）と電気熱変換素子が配列された基板に対して、
垂直に記録液を吐出させる方式（サイドシューター）が
ある。
【０００５】従来サイドシューターのインクジェット記
録ヘッドの場合、図６（ｃ）に示すように、記録素子が
配列された記録素子基板１のほぼ中央には、インクを吐
出口に供給するためのインク流路５が吐出口列の長さと
ほぼ等しい長さで開口している。この穴は一般的にサン
ドブラスト異方性エッチングレーザー加工等で開口され
る。そして図６（ｄ）に示すように記録素子基板１にイ
ンクを吐出するための電気信号を与えるための配線基板
７と記録素子基板１はＴＡＢ（Ｔａｐｅ Ａｕｔｏｍａ
ｔｅｄ Ｂｏｎｄｉｎｇ）方式で接続され、さらに記録
素子基板１は図６（ａ）（ｂ）に示すように第１の支持
部材２の上に接着固定されている。そして、記録素子基
板１は通常Ｓｉ基板が用いられ、第１の支持部材２には
コスト加工性などの点から成形された樹脂が用いられる
のが一般的である。また、近年パーソナルコンピュータ
ーの大幅な低価格化・高性能化に伴い、プリンター等の
カラー化が進み普及してきている。この様なカラープリ
ンターの記録ヘッドは、多色インクを印字するため、複
数個例えばイエロー（Ｙ）、マゼンダ（Ｍ）、シアン
（Ｃ）、ブラック（Ｂｋ）の４個設けられており、それ
ぞれの印字位置を精度良く合わせて並べることが必要に
なっている。さらに６００ｄｐｉあるいは１２００ｄｐ
ｉといった高精細のものは、印字精度を２０μｍ程度に
押さえる必要があり、吐出口の位置のみではなく吐出す
る角度も考慮して位置合わせを行なうか、実際に印字し
てそれに従って合わせる必要があった。
録ヘッドの場合、図６（ｃ）に示すように、記録素子が
配列された記録素子基板１のほぼ中央には、インクを吐
出口に供給するためのインク流路５が吐出口列の長さと
ほぼ等しい長さで開口している。この穴は一般的にサン
ドブラスト異方性エッチングレーザー加工等で開口され
る。そして図６（ｄ）に示すように記録素子基板１にイ
ンクを吐出するための電気信号を与えるための配線基板
７と記録素子基板１はＴＡＢ（Ｔａｐｅ Ａｕｔｏｍａ
ｔｅｄ Ｂｏｎｄｉｎｇ）方式で接続され、さらに記録
素子基板１は図６（ａ）（ｂ）に示すように第１の支持
部材２の上に接着固定されている。そして、記録素子基
板１は通常Ｓｉ基板が用いられ、第１の支持部材２には
コスト加工性などの点から成形された樹脂が用いられる
のが一般的である。また、近年パーソナルコンピュータ
ーの大幅な低価格化・高性能化に伴い、プリンター等の
カラー化が進み普及してきている。この様なカラープリ
ンターの記録ヘッドは、多色インクを印字するため、複
数個例えばイエロー（Ｙ）、マゼンダ（Ｍ）、シアン
（Ｃ）、ブラック（Ｂｋ）の４個設けられており、それ
ぞれの印字位置を精度良く合わせて並べることが必要に
なっている。さらに６００ｄｐｉあるいは１２００ｄｐ
ｉといった高精細のものは、印字精度を２０μｍ程度に
押さえる必要があり、吐出口の位置のみではなく吐出す
る角度も考慮して位置合わせを行なうか、実際に印字し
てそれに従って合わせる必要があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例では、記録素子基板１は図６（ｂ）に示すように記
録素子基板１と第１の支持部材２の間の接着剤９の厚み
は一定になるとはかぎらず第１の支持部材２の上に接着
剤層９を介して接着固定されているため、図６（ｃ）に
示すように接着剤層９の厚みのばらつき等が生じ第１の
支持部材の基準面に対して記録素子１が傾いて接着固定
されてしまいインク滴の吐出方向が傾き着弾ズレを生じ
る場合があった。
来例では、記録素子基板１は図６（ｂ）に示すように記
録素子基板１と第１の支持部材２の間の接着剤９の厚み
は一定になるとはかぎらず第１の支持部材２の上に接着
剤層９を介して接着固定されているため、図６（ｃ）に
示すように接着剤層９の厚みのばらつき等が生じ第１の
支持部材の基準面に対して記録素子１が傾いて接着固定
されてしまいインク滴の吐出方向が傾き着弾ズレを生じ
る場合があった。
【０００７】本発明の目的は記録素子基板１を第１の支
持部材２の基準面に対して精度よく貼り合わせ、吐出口
面の傾きのばらつきを最小限に抑え、簡単な構造で、着
弾精度の高いインクジェット記録ヘッドを提供すること
にある。
持部材２の基準面に対して精度よく貼り合わせ、吐出口
面の傾きのばらつきを最小限に抑え、簡単な構造で、着
弾精度の高いインクジェット記録ヘッドを提供すること
にある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記の目的は以下の手段
によって達成される。
によって達成される。
【０００９】すなわち、本発明は、基板上に記録液を吐
出させるための複数の記録素子が互いに対向して平行に
配列され、かつ基板の背面からインクを供給するために
記録素子列と列の間にインク供給口を設けた記録素子基
板とその記録素子基板にインクを供給するための供給路
と前記記録素子基板を、保持固定するための支持部材と
を備え前記記録素子基板と前記支持部材とを接着固定し
てなるインクジェット記録ヘッドにおいて、前記支持部
材の前記記録素子基板の接着固定面に複数個の凸平面部
を設け、該凸平面部と記録素子基板の裏面とを接触させ
接着固定されていることを特徴とするインクジェット記
録ヘッドを提案するものであり、支持部材の記録素子基
板接着固定面に設けられた凸平面部の高さが１０〜２０
０μｍでであること、支持部材に接着剤専有用の溝が設
けてあり接着剤塗布用の溝の加工面が放電加工面程度の
粗さかもしくはそれ以上粗いこと、支持部材に設けられ
たインク供給口の全周面が凸平面部と同じ高さもしくは
若干低い壁で囲まれていることを含む。
出させるための複数の記録素子が互いに対向して平行に
配列され、かつ基板の背面からインクを供給するために
記録素子列と列の間にインク供給口を設けた記録素子基
板とその記録素子基板にインクを供給するための供給路
と前記記録素子基板を、保持固定するための支持部材と
を備え前記記録素子基板と前記支持部材とを接着固定し
てなるインクジェット記録ヘッドにおいて、前記支持部
材の前記記録素子基板の接着固定面に複数個の凸平面部
を設け、該凸平面部と記録素子基板の裏面とを接触させ
接着固定されていることを特徴とするインクジェット記
録ヘッドを提案するものであり、支持部材の記録素子基
板接着固定面に設けられた凸平面部の高さが１０〜２０
０μｍでであること、支持部材に接着剤専有用の溝が設
けてあり接着剤塗布用の溝の加工面が放電加工面程度の
粗さかもしくはそれ以上粗いこと、支持部材に設けられ
たインク供給口の全周面が凸平面部と同じ高さもしくは
若干低い壁で囲まれていることを含む。
【００１０】また本発明は、基板上に記録液を吐出させ
るための複数の記録素子が互いに対向して平行に配列さ
れ、かつ基板の背面からインクを供給するために記録素
子列と列の間にインク供給口を設けた記録素子基板とそ
の記録素子基板にインクを供給するための供給路を備え
た支持部材と、記録素子基板を、保持固定するための第
２の支持部材とを有し、前記支持部材と第２の支持基板
とを接着することにより、インク供給路を形成するイン
クジェット記録ヘッドにおいて、前記支持部材の前記第
２の支持基板を接着固定する接着固定面に複数個の凸平
面部を設け、凸平面部と第２の支持基板の裏面とを接触
させ接着固定されていることを特徴とするインクジェッ
ト記録ヘッドを提案するものであり、前記支持部材の第
２の支持基板接着固定面に設けられた凸平面部の高さが
１０〜２００μｍであること、前記支持部材に接着剤塗
布用の溝が設けてあり接着剤塗布用の溝の加工面が放電
加工面と同程度の粗さかもしくはそれ以上の粗さである
こと、前記支持部材に設けられたインク供給口の全周面
が凸平面と同じ高さのもしくは若干低い高さの壁で囲ま
れていることを含む。更に本発明は前記のインクジェッ
ト記録ヘッドを具備させたことを特徴とするインクジェ
ット記録装置を提案するものである。
るための複数の記録素子が互いに対向して平行に配列さ
れ、かつ基板の背面からインクを供給するために記録素
子列と列の間にインク供給口を設けた記録素子基板とそ
の記録素子基板にインクを供給するための供給路を備え
た支持部材と、記録素子基板を、保持固定するための第
２の支持部材とを有し、前記支持部材と第２の支持基板
とを接着することにより、インク供給路を形成するイン
クジェット記録ヘッドにおいて、前記支持部材の前記第
２の支持基板を接着固定する接着固定面に複数個の凸平
面部を設け、凸平面部と第２の支持基板の裏面とを接触
させ接着固定されていることを特徴とするインクジェッ
ト記録ヘッドを提案するものであり、前記支持部材の第
２の支持基板接着固定面に設けられた凸平面部の高さが
１０〜２００μｍであること、前記支持部材に接着剤塗
布用の溝が設けてあり接着剤塗布用の溝の加工面が放電
加工面と同程度の粗さかもしくはそれ以上の粗さである
こと、前記支持部材に設けられたインク供給口の全周面
が凸平面と同じ高さのもしくは若干低い高さの壁で囲ま
れていることを含む。更に本発明は前記のインクジェッ
ト記録ヘッドを具備させたことを特徴とするインクジェ
ット記録装置を提案するものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、実施例によって本発明を更
に具体的に説明する。
に具体的に説明する。
【００１２】
【実施例】（実施例１）図１（ａ）は本発明の第１の実
施例のインクジェット記録ヘッドの斜視図、図１（ｂ）
は図１（ａ）の分解斜視図、図２（ｃ）は図１（ａ）の
Ａ−Ａ断面図、図２（ｄ）は図１（ａ）のＢ−Ｂ断面図
である。図１及び図２において１は記録素子が複数配列
された記録素子基板、２は記録素子基板１にインクを供
給するためのインク供給路５を有し、さらに記録素子基
板を接着固定するための支持部材である。３は、支持部
材２に設けられた、記録素子基板１にインクを供給する
ためのインク供給口である。４は、記録素子基板１に記
録信号を与えるための信号線を配線した配線基板、７は
記録素子基板１に設けられたインク供給口である。
施例のインクジェット記録ヘッドの斜視図、図１（ｂ）
は図１（ａ）の分解斜視図、図２（ｃ）は図１（ａ）の
Ａ−Ａ断面図、図２（ｄ）は図１（ａ）のＢ−Ｂ断面図
である。図１及び図２において１は記録素子が複数配列
された記録素子基板、２は記録素子基板１にインクを供
給するためのインク供給路５を有し、さらに記録素子基
板を接着固定するための支持部材である。３は、支持部
材２に設けられた、記録素子基板１にインクを供給する
ためのインク供給口である。４は、記録素子基板１に記
録信号を与えるための信号線を配線した配線基板、７は
記録素子基板１に設けられたインク供給口である。
【００１３】まず、記録素子基板１は、通常Ｓｉウェハ
ー上に発熱抵抗層及び配線等がフォトリソ技術によって
パターニングされ、ノズル壁、吐出口を感光性樹脂で作
成し異方性エッチング等によってインク供給路を形成
し、切断によって外形が形成される。そして記録素子基
板１は、電気的信号を受けとるための配線基板４とＴＡ
Ｂ実装技術によって接続される。
ー上に発熱抵抗層及び配線等がフォトリソ技術によって
パターニングされ、ノズル壁、吐出口を感光性樹脂で作
成し異方性エッチング等によってインク供給路を形成
し、切断によって外形が形成される。そして記録素子基
板１は、電気的信号を受けとるための配線基板４とＴＡ
Ｂ実装技術によって接続される。
【００１４】次に、記録素子基板１は、支持部材２に正
確に位置決めされ接着固定される。この時使用される接
着剤９としては、粘度が高く、インク供給口７、インク
供給口３等に流れ込まないものが望ましい。
確に位置決めされ接着固定される。この時使用される接
着剤９としては、粘度が高く、インク供給口７、インク
供給口３等に流れ込まないものが望ましい。
【００１５】ここで本発明においては、記録素子基板１
を接着固定する支持部材２の接着固定面８において複数
個（本例では４つ）の凸平面部６を有しておりこの凸平
面部６を記録素子基板１の裏面とつぎ当てて接着固定す
る構成とした。従って、支持部材２は通常コスト、加工
性等の点からモールド成形品であるため接着固定面８の
全領域の平面性を良くすることは非常に困難であるが接
着固定面８に設けられた４つの凸平面部の平面性を良く
することによって接着された記録素子基板１の平面性も
良くすることができる。
を接着固定する支持部材２の接着固定面８において複数
個（本例では４つ）の凸平面部６を有しておりこの凸平
面部６を記録素子基板１の裏面とつぎ当てて接着固定す
る構成とした。従って、支持部材２は通常コスト、加工
性等の点からモールド成形品であるため接着固定面８の
全領域の平面性を良くすることは非常に困難であるが接
着固定面８に設けられた４つの凸平面部の平面性を良く
することによって接着された記録素子基板１の平面性も
良くすることができる。
【００１６】そして、記録素子基板１と支持部材２の接
着固定面８までの間隔をほぼ一定に保つことができるた
め、すなわち、接着剤層９の厚みを均一とすることが可
能となり接着の信頼性が著しくアップする。
着固定面８までの間隔をほぼ一定に保つことができるた
め、すなわち、接着剤層９の厚みを均一とすることが可
能となり接着の信頼性が著しくアップする。
【００１７】また図３に示すように記録素子基板１が、
放熱特性アップ・アライメント精度アップ等のために、
第２の支持基板１０に接着固定され、さらに第２の支持
基板１０と支持部材２が接着固定されるインクジェット
記録ヘッドの場合においても、同様に支持部材２の第２
の支持基板を接着固定する接着面に凸平面部６を複数個
設け、この凸平面部が第２の支持基板につき当たるよう
に接着固定することによって、第２の支持基板の接着後
の平面性が良く保たれる。
放熱特性アップ・アライメント精度アップ等のために、
第２の支持基板１０に接着固定され、さらに第２の支持
基板１０と支持部材２が接着固定されるインクジェット
記録ヘッドの場合においても、同様に支持部材２の第２
の支持基板を接着固定する接着面に凸平面部６を複数個
設け、この凸平面部が第２の支持基板につき当たるよう
に接着固定することによって、第２の支持基板の接着後
の平面性が良く保たれる。
【００１８】この時凸平面部６の接着固定面８からの出
っ張り量は１０〜２００μｍ位が望ましい。よって簡単
な構造で記録素子基板１の平面性が非常によい、つまり
吐出着弾精度の非常によいインクジェット記録ヘッドが
提供できる。
っ張り量は１０〜２００μｍ位が望ましい。よって簡単
な構造で記録素子基板１の平面性が非常によい、つまり
吐出着弾精度の非常によいインクジェット記録ヘッドが
提供できる。
【００１９】（実施例２）図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）
は、第２の実施例を示すインクジェット記録ヘッドの断
面図である。図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）において各符
号は図１と同一なので説明は省略する。本実施例におい
ては、支持部材２の接着固定面８に接着剤塗布用の溝１
１を設けたものである。この溝１１を設けることによ
り、接着剤塗布時の接着剤の流れ出し等を防止でき、さ
らに、記録素子基板１もしくは、第２の支持基板１０と
支持部材２との接着剤層幅を管理でき接着剤層も厚くな
るため接着信頼性がさらにアップする。
は、第２の実施例を示すインクジェット記録ヘッドの断
面図である。図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）において各符
号は図１と同一なので説明は省略する。本実施例におい
ては、支持部材２の接着固定面８に接着剤塗布用の溝１
１を設けたものである。この溝１１を設けることによ
り、接着剤塗布時の接着剤の流れ出し等を防止でき、さ
らに、記録素子基板１もしくは、第２の支持基板１０と
支持部材２との接着剤層幅を管理でき接着剤層も厚くな
るため接着信頼性がさらにアップする。
【００２０】また、この接着剤塗布用の溝１１の面は通
常モールド面で金型の面粗さが転写されているが、金型
を放電加工面またはサンドブラスト面等にすることによ
ってこの溝の面を荒らすことができる。従ってモールド
面への接着剤のくいつきが良くなりなお一層接着信頼性
が増す。
常モールド面で金型の面粗さが転写されているが、金型
を放電加工面またはサンドブラスト面等にすることによ
ってこの溝の面を荒らすことができる。従ってモールド
面への接着剤のくいつきが良くなりなお一層接着信頼性
が増す。
【００２１】（実施例３）図５（ａ）は、第３の実施例
を示すインクジェット記録ヘッドの分解斜視図である。
（ｂ）は（ａ）図のヘッドの組み立て完成後のＡ−Ａ断
面図である。図５（ａ）、（ｂ）において各符号は図１
と同一なので説明は省略する。本実施例においては、支
持部材２の第２の支持基板を接着固定する面に設けられ
たインク供給口３の全周囲部を凸平面部と同じ高さもし
くは同じ高さよりやや低い壁１２で囲ったものである。
を示すインクジェット記録ヘッドの分解斜視図である。
（ｂ）は（ａ）図のヘッドの組み立て完成後のＡ−Ａ断
面図である。図５（ａ）、（ｂ）において各符号は図１
と同一なので説明は省略する。本実施例においては、支
持部材２の第２の支持基板を接着固定する面に設けられ
たインク供給口３の全周囲部を凸平面部と同じ高さもし
くは同じ高さよりやや低い壁１２で囲ったものである。
【００２２】支持部材２に設けられたインク供給口３
は、第２の支持基板１０を接着固定することで封止され
インク供給路として形成される。
は、第２の支持基板１０を接着固定することで封止され
インク供給路として形成される。
【００２３】通常、インク供給口３の周囲に接着剤を塗
布し、第２の支持部材１０を接着固定するが、この接着
剤の量がばらつくと接着剤がインク流路内にはみ出して
つまりを生じさせたり、接着剤が少なくてリークが生じ
るという恐れがあった。そこで本実施例によって、支持
部材２の接着固定面８に設けられた凸平面部６と同じ高
さのもしくは同じ高さよりやや低い壁１２をインク供給
口の外側全周に形成することにより接着剤のインク流路
内へのはみ出し、つまりを防止できる。
布し、第２の支持部材１０を接着固定するが、この接着
剤の量がばらつくと接着剤がインク流路内にはみ出して
つまりを生じさせたり、接着剤が少なくてリークが生じ
るという恐れがあった。そこで本実施例によって、支持
部材２の接着固定面８に設けられた凸平面部６と同じ高
さのもしくは同じ高さよりやや低い壁１２をインク供給
口の外側全周に形成することにより接着剤のインク流路
内へのはみ出し、つまりを防止できる。
【００２４】また、壁１２の外側の接着剤塗布部に接着
剤塗布用の溝を設けてもよい。
剤塗布用の溝を設けてもよい。
【００２５】［他の実施例］以下に本発明を用いたイン
クジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置につ
いて説明する。
クジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置につ
いて説明する。
【００２６】図７はこの様なインクジェット記録ヘッド
の概略構成図であり、エッチング・蒸着・スパッタリン
グ等の半導体製造プロセス工程を経て、基板１１０２上
に成膜形成された電気熱変換体１１０３、配線１１０
４、液路壁１１０５、天板１１０６から構成されている
インクジェット記録ヘッドが示されている。記録用液体
１１１２は図示していない液体貯蔵室から液体供給管１
１０７を通して記録ヘッド１１０１の共通液室１１０８
内に供給される。図中１１０９は液体供給管用コネクタ
である。共通液室１１０８内に供給された液体１１１２
は所謂毛管現象により液路１１１０内に供給され、液路
先端の吐出口面（オリフイス面）でメニスカスを形成す
ることにより安定に保持される。ここで電気熱変換体１
１０３に通電することにより、電気熱変換体面上の液体
が急峻に加熱され、液路中に気泡が生起され、その気泡
の膨張・収縮により吐出口１１１１から液体を吐出し液
滴が形成される。
の概略構成図であり、エッチング・蒸着・スパッタリン
グ等の半導体製造プロセス工程を経て、基板１１０２上
に成膜形成された電気熱変換体１１０３、配線１１０
４、液路壁１１０５、天板１１０６から構成されている
インクジェット記録ヘッドが示されている。記録用液体
１１１２は図示していない液体貯蔵室から液体供給管１
１０７を通して記録ヘッド１１０１の共通液室１１０８
内に供給される。図中１１０９は液体供給管用コネクタ
である。共通液室１１０８内に供給された液体１１１２
は所謂毛管現象により液路１１１０内に供給され、液路
先端の吐出口面（オリフイス面）でメニスカスを形成す
ることにより安定に保持される。ここで電気熱変換体１
１０３に通電することにより、電気熱変換体面上の液体
が急峻に加熱され、液路中に気泡が生起され、その気泡
の膨張・収縮により吐出口１１１１から液体を吐出し液
滴が形成される。
【００２７】図８は本発明が適用されるインクジェット
装置の概観図で、駆動モータ５０１３の正逆回転に連動
して駆動力伝達ギア５０１１、５００９を介して回転す
るリードスクリュー５００５のら線溝５００４に対して
係合するキャリッジＨＣはピン（不図示）を有し、矢印
ａ、ｂ方向に往復移動される。５００２は紙押え板であ
り、キャリッジ移動方向にわたって紙をプラテン５００
０に対して押圧する。５００７、５００８はフォトカプ
ラでキャリッジのレバー５００６のこの域での存在を確
認してモータ５０１３の回転方向切換等を行うためのホ
ームポジション検知手段である。５０１６は記録ヘッド
の前面をキャップするキャップ部材５０２２を支持する
部材で、５０１５はこのキャップ内を吸引する吸引手段
でキャップ内開口５０２３を介して記録ヘッドの吸引回
復を行う。５０１７はクリーニングブレードで、５０１
９はこのブレードを前後方向に移動可能にする部材であ
り、本体支持板５０１８にこれらは支持されている。ブ
レードは、この形態でなく周知のクリーニングブレード
が本例に適用できることはいうまでもない。又、５０１
２は、吸引回復の吸引を開始するためのレバーで、キャ
リッジと係合するカム５０２０の移動に伴って移動し、
駆動モータからの駆動力がクラッチ切換等の公知の伝達
手段で移動制御される。
装置の概観図で、駆動モータ５０１３の正逆回転に連動
して駆動力伝達ギア５０１１、５００９を介して回転す
るリードスクリュー５００５のら線溝５００４に対して
係合するキャリッジＨＣはピン（不図示）を有し、矢印
ａ、ｂ方向に往復移動される。５００２は紙押え板であ
り、キャリッジ移動方向にわたって紙をプラテン５００
０に対して押圧する。５００７、５００８はフォトカプ
ラでキャリッジのレバー５００６のこの域での存在を確
認してモータ５０１３の回転方向切換等を行うためのホ
ームポジション検知手段である。５０１６は記録ヘッド
の前面をキャップするキャップ部材５０２２を支持する
部材で、５０１５はこのキャップ内を吸引する吸引手段
でキャップ内開口５０２３を介して記録ヘッドの吸引回
復を行う。５０１７はクリーニングブレードで、５０１
９はこのブレードを前後方向に移動可能にする部材であ
り、本体支持板５０１８にこれらは支持されている。ブ
レードは、この形態でなく周知のクリーニングブレード
が本例に適用できることはいうまでもない。又、５０１
２は、吸引回復の吸引を開始するためのレバーで、キャ
リッジと係合するカム５０２０の移動に伴って移動し、
駆動モータからの駆動力がクラッチ切換等の公知の伝達
手段で移動制御される。
【００２８】これらのキャッピング、クリーニング、吸
引回復は、キャリッジがホームポジション側領域にきた
ときにリードスクリュー５００５の作用によってそれら
の対応位置で所望の処理が行えるように構成されている
が、周知のタイミングで所望の作動を行うようにすれ
ば、本例には何れも適用できる。上述における各構成は
単独でも複合的に見ても優れた発明であり、本発明にと
って好ましい構成例を示している。
引回復は、キャリッジがホームポジション側領域にきた
ときにリードスクリュー５００５の作用によってそれら
の対応位置で所望の処理が行えるように構成されている
が、周知のタイミングで所望の作動を行うようにすれ
ば、本例には何れも適用できる。上述における各構成は
単独でも複合的に見ても優れた発明であり、本発明にと
って好ましい構成例を示している。
【００２９】尚、本装置にはインク吐出圧発生素子を駆
動するための駆動信号供給手段を有している。
動するための駆動信号供給手段を有している。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
記録素子基板の吐出口面を記録ヘッドの基準面に対して
精度よく平行に接着固定することが可能となり、印字品
位が高く、信頼性の高い記録ヘッドを提供できる。
記録素子基板の吐出口面を記録ヘッドの基準面に対して
精度よく平行に接着固定することが可能となり、印字品
位が高く、信頼性の高い記録ヘッドを提供できる。
【図１】図１（ａ）、（ｂ）は本発明の実施例１を示す
斜視図及び分解斜視図である。
斜視図及び分解斜視図である。
【図２】図２（ｃ）、（ｄ）は本発明の実施例１を示す
断面図である。
断面図である。
【図３】本発明の実施例１を示す断面図である。
【図４】図４（ａ）〜（ｃ）は本発明の実施例２を示す
断面図である。
断面図である。
【図５】図５（ａ）、（ｂ）は本発明の実施例３を示す
分解斜視図で及び断面図である。
分解斜視図で及び断面図である。
【図６】図６（ａ）は従来の記録ヘッドを示す斜視図で
あり、図６（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は従来の記録ヘッド
の断面図である。
あり、図６（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は従来の記録ヘッド
の断面図である。
【図７】インクジェット記録ヘッドの概略構成図であ
る。
る。
【図８】本発明が適用されるインクジェット記録装置の
概観図である。
概観図である。
１ 記録素子基板 ２ 支持部材 ３ インク供給口 ４ 配線基板 ５ インク流路 ６ 凸平面部 ７ インク供給口 ８ 接着固定面 ９ 接着剤 １０ 第２の支持部材 １１ 接着剤塗布溝 １２ 壁 １３ 第３の支持部材
Claims (9)
- 【請求項１】 基板上に記録液を吐出させるための複数
の記録素子が互いに対向して平行に配列され、かつ基板
の背面からインクを供給するために記録素子列と列の間
にインク供給口を設けた記録素子基板とその記録素子基
板にインクを供給するための供給路と前記記録素子基板
を、保持固定するための支持部材とを備え前記記録素子
基板と前記支持部材とを接着固定してなるインクジェッ
ト記録ヘッドにおいて、前記支持部材の前記記録素子基
板の接着固定面に複数個の凸平面部を設け、該凸平面部
と記録素子基板の裏面とを接触させ接着固定されている
ことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項２】 支持部材の記録素子基板接着固定面に設
けられた凸平面部の高さが１０〜２００μｍである請求
項１に記載のインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項３】 支持部材に接着剤塗布用の溝が設けてあ
り接着剤塗布用の溝の加工面が放電加工面程度の粗さか
もしくはそれ以上粗い請求項２に記載のインクジェット
記録ヘッド。 - 【請求項４】 支持部材に設けられたインク供給口の全
周面が凸平面部と同じ高さもしくは若干低い壁で囲まれ
ている請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載のイン
クジェット記録ヘッド。 - 【請求項５】 基板上に記録液を吐出させるための複数
の記録素子が互いに対向して平行に配列され、かつ基板
の背面からインクを供給するために記録素子列と列の間
にインク供給口を設けた記録素子基板とその記録素子基
板にインクを供給するための供給路を備えた支持部材
と、記録素子基板を、保持固定するための第２の支持部
材とを有し、前記支持部材と第２の支持基板とを接着す
ることにより、インク供給路を形成するインクジェット
記録ヘッドにおいて、前記支持部材の前記第２の支持基
板を接着固定する接着固定面に複数個の凸平面部を設
け、凸平面部と第２の支持基板の裏面とを接触させ接着
固定されていることを特徴とするインクジェット記録ヘ
ッド。 - 【請求項６】 前記支持部材の第２の支持基板接着固定
面に設けられた凸平面部の高さが１０〜２００μｍであ
る請求項５に記載のインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項７】 前記支持部材に接着剤塗布用の溝が設け
てあり接着剤塗布用の溝の加工面が放電加工面と同程度
の粗さかもしくはそれ以上の粗さである請求項６に記載
のインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項８】 前記支持部材に設けられたインク供給口
の全周面が凸平面と同じ高さのもしくは若干低い高さの
壁で囲まれている請求項５乃至７のうち、いずれか１項
に記載のインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項９】 請求項１乃至８のうち、いずれか１項に
記載のインクジェット記録ヘッドを具備させたことを特
徴とするインクジェット記録装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31546897A JP3437425B2 (ja) | 1997-11-17 | 1997-11-17 | インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31546897A JP3437425B2 (ja) | 1997-11-17 | 1997-11-17 | インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11147314A true JPH11147314A (ja) | 1999-06-02 |
| JP3437425B2 JP3437425B2 (ja) | 2003-08-18 |
Family
ID=18065728
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31546897A Expired - Fee Related JP3437425B2 (ja) | 1997-11-17 | 1997-11-17 | インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3437425B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002254610A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-11 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッド及び該記録ヘッドを備える記録装置 |
| JP2010018030A (ja) * | 2009-09-14 | 2010-01-28 | Canon Inc | 液体吐出記録ヘッドの製造方法 |
| US8272130B2 (en) | 2008-06-06 | 2012-09-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing an ink jet print head |
| JP2014208426A (ja) * | 2013-03-27 | 2014-11-06 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
| JP2015120292A (ja) * | 2013-12-24 | 2015-07-02 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置および液体噴射ヘッドの製造方法 |
| US9956773B2 (en) | 2013-03-27 | 2018-05-01 | Seiko Epson Corporation | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus |
-
1997
- 1997-11-17 JP JP31546897A patent/JP3437425B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002254610A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-11 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッド及び該記録ヘッドを備える記録装置 |
| US8272130B2 (en) | 2008-06-06 | 2012-09-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing an ink jet print head |
| US9802410B2 (en) | 2008-06-06 | 2017-10-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet print head |
| JP2010018030A (ja) * | 2009-09-14 | 2010-01-28 | Canon Inc | 液体吐出記録ヘッドの製造方法 |
| JP2014208426A (ja) * | 2013-03-27 | 2014-11-06 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
| US9956773B2 (en) | 2013-03-27 | 2018-05-01 | Seiko Epson Corporation | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus |
| JP2015120292A (ja) * | 2013-12-24 | 2015-07-02 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置および液体噴射ヘッドの製造方法 |
| US10059107B2 (en) | 2013-12-24 | 2018-08-28 | Seiko Epson Corporation | Liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, and manufacturing method of liquid ejecting head |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3437425B2 (ja) | 2003-08-18 |
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