JPS63202455A - インクジエツトヘツドおよびその製造方法 - Google Patents
インクジエツトヘツドおよびその製造方法Info
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- JPS63202455A JPS63202455A JP3252187A JP3252187A JPS63202455A JP S63202455 A JPS63202455 A JP S63202455A JP 3252187 A JP3252187 A JP 3252187A JP 3252187 A JP3252187 A JP 3252187A JP S63202455 A JPS63202455 A JP S63202455A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 13
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims abstract description 35
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 33
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 30
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 14
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 14
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 claims abstract description 13
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 claims abstract 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 abstract 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 235000017166 Bambusa arundinacea Nutrition 0.000 description 1
- 235000017491 Bambusa tulda Nutrition 0.000 description 1
- 241001330002 Bambuseae Species 0.000 description 1
- 235000015334 Phyllostachys viridis Nutrition 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011425 bamboo Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
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- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
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- B41J2/135—Nozzles
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Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、記録媒体たるインクの微小液滴を所定のパル
ス信号により飛翔させて記録紙上にインクの微小ドツト
の集合体としての画像情報を記録するインクジェットヘ
ッドおよびその製造方法に係り、特に、インクの吐出エ
ネルギとして電気・熱変換体から生じた熱エネルギを利
用したサーマル式のインクジェットヘッドおよびその製
造方法に関する。
ス信号により飛翔させて記録紙上にインクの微小ドツト
の集合体としての画像情報を記録するインクジェットヘ
ッドおよびその製造方法に係り、特に、インクの吐出エ
ネルギとして電気・熱変換体から生じた熱エネルギを利
用したサーマル式のインクジェットヘッドおよびその製
造方法に関する。
まず、この種のインクジェットヘッドの従来のものを第
４図により説明する。
４図により説明する。
ガラス、セラミックのような絶縁材料からなる基板１上
には、二酸化シリコン（Ｓ１０□）等からなる絶縁層２
が積層されており、この絶縁層２上には発熱抵抗体３お
よび導体４が間隔を設けて形成されている。各発熱抵抗
体３には図示しない共通電極および個別電極から給電さ
れるようになっている。また、これらの発熱抵抗体３お
よび導体４を含む絶縁層２上には、窒化シリコン（ＳＮ
）等からなる絶縁層５がＶ４層され、発熱抵抗体３や電
極をインクの化学的、物理的損傷から保護するようにな
っている。
には、二酸化シリコン（Ｓ１０□）等からなる絶縁層２
が積層されており、この絶縁層２上には発熱抵抗体３お
よび導体４が間隔を設けて形成されている。各発熱抵抗
体３には図示しない共通電極および個別電極から給電さ
れるようになっている。また、これらの発熱抵抗体３お
よび導体４を含む絶縁層２上には、窒化シリコン（ＳＮ
）等からなる絶縁層５がＶ４層され、発熱抵抗体３や電
極をインクの化学的、物理的損傷から保護するようにな
っている。
一方、前記絶＄２層５上には、この絶Ｒｍ５と間隔を隔
ててノズル板６が配設されている。このノズル板６には
、それぞれの発熱抵抗体３と対向する部位にノズル７が
形成されており、また、このノズル板５には、隣位のノ
ズル７．７を区画して複数のインク室８，８・・・を形
成する複数の隔壁９゜９・・・がＩ設されている。
ててノズル板６が配設されている。このノズル板６には
、それぞれの発熱抵抗体３と対向する部位にノズル７が
形成されており、また、このノズル板５には、隣位のノ
ズル７．７を区画して複数のインク室８，８・・・を形
成する複数の隔壁９゜９・・・がＩ設されている。
ところで、前記ノズル板６の厚さは薄く剛性が弱いため
、ノズル板６の外周部においてノズル板６を基板１に接
着した状態においては各隔壁９を基板１の絶縁層５に接
合せしめる力が得られず、したがって、各隔壁９の下端
と絶縁層５との間には微小間隙が形成され易いことにな
る。このため、隣接するインク室８．８間が完全に区画
されないことにより、ノズル７からのインクの吐出に必
要な圧力が隣接するインク室８に逃げるという圧力損失
が生じ、安定的な吐出圧力が得られないおそれがあるし
、また、各隔壁９が基板１側に固定されていないため、
ノズル板６の吐出圧力に対する耐久性が弱く、ノズル板
６が撓むなどして安定的なインクの吐出を行なえないと
いう問題点があった。
、ノズル板６の外周部においてノズル板６を基板１に接
着した状態においては各隔壁９を基板１の絶縁層５に接
合せしめる力が得られず、したがって、各隔壁９の下端
と絶縁層５との間には微小間隙が形成され易いことにな
る。このため、隣接するインク室８．８間が完全に区画
されないことにより、ノズル７からのインクの吐出に必
要な圧力が隣接するインク室８に逃げるという圧力損失
が生じ、安定的な吐出圧力が得られないおそれがあるし
、また、各隔壁９が基板１側に固定されていないため、
ノズル板６の吐出圧力に対する耐久性が弱く、ノズル板
６が撓むなどして安定的なインクの吐出を行なえないと
いう問題点があった。
本発明は、このような従来のものにおける問題点を克服
し、各インク室を隣接するインク室から完全に区画する
とともに、ノズル板の耐久性を向上するようにしたイン
クジェットヘッドおよびその製造方法を提供することを
目的とする。
し、各インク室を隣接するインク室から完全に区画する
とともに、ノズル板の耐久性を向上するようにしたイン
クジェットヘッドおよびその製造方法を提供することを
目的とする。
前述した問題点を解決するため、本発明に係るインクジ
ェットヘッドは、複数個の発熱抵抗体が形成された基板
と、この基板と所定間隔を隔てて配設され前記発熱抵抗
体と対向する部位に複数個のノズルが形成されたノズル
板と、このノズル板に突設され隣位のノズル間を区画し
て複数のインク室を形成する複数の隔壁とを有してなる
インフジエラ］・ヘッドにおいて、前記各隔壁および基
板間に、各インク室を前記隔壁とともに完全に区画する
接着剤層を形成したことを特徴としている。
ェットヘッドは、複数個の発熱抵抗体が形成された基板
と、この基板と所定間隔を隔てて配設され前記発熱抵抗
体と対向する部位に複数個のノズルが形成されたノズル
板と、このノズル板に突設され隣位のノズル間を区画し
て複数のインク室を形成する複数の隔壁とを有してなる
インフジエラ］・ヘッドにおいて、前記各隔壁および基
板間に、各インク室を前記隔壁とともに完全に区画する
接着剤層を形成したことを特徴としている。
また、本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法は
、複数個の発熱抵抗体が形成された基板と、この基板と
所定間隔を隔てて配設され前記発熱抵抗体と対向する部
位に複数個のノズルが形成されたノズル板と、このノズ
ル板に突設され隣位のノズル間を区画して複数のインク
室を形成する複数の隔壁とを有してなるインクジェット
ヘッドのｆｆＪ造方法において、前記隔壁に対向する部
位以外の基板を遮光性材料からなるマスキング層により
被覆し、各インク室内に光硬化性接着剤を混入し、基板
側からインク室内に光を照射して隔壁に対向する部位の
接着剤を硬化し、硬化していない接着剤を除去するよう
にしたことを特徴としている。
、複数個の発熱抵抗体が形成された基板と、この基板と
所定間隔を隔てて配設され前記発熱抵抗体と対向する部
位に複数個のノズルが形成されたノズル板と、このノズ
ル板に突設され隣位のノズル間を区画して複数のインク
室を形成する複数の隔壁とを有してなるインクジェット
ヘッドのｆｆＪ造方法において、前記隔壁に対向する部
位以外の基板を遮光性材料からなるマスキング層により
被覆し、各インク室内に光硬化性接着剤を混入し、基板
側からインク室内に光を照射して隔壁に対向する部位の
接着剤を硬化し、硬化していない接着剤を除去するよう
にしたことを特徴としている。
本発明に係るインクジェットヘッドによれば、接着剤層
により各インク室が完全に区画されるので、吐出圧力の
圧力損失が生じないし、：Ｌだ、各隔壁が接着剤層によ
り基板側に接続されているので、ノズル板の耐久性が強
くなる。また、本発明に係るインクジェットヘッドの’
Ｋ ３Ｔｈ方法によれば、光硬化性接着剤を各インク室
に封入して隔壁に迎なる接着剤層を形成するので、寸法
ｍ Ｉｆｆよく接着剤層を形成することができる。
により各インク室が完全に区画されるので、吐出圧力の
圧力損失が生じないし、：Ｌだ、各隔壁が接着剤層によ
り基板側に接続されているので、ノズル板の耐久性が強
くなる。また、本発明に係るインクジェットヘッドの’
Ｋ ３Ｔｈ方法によれば、光硬化性接着剤を各インク室
に封入して隔壁に迎なる接着剤層を形成するので、寸法
ｍ Ｉｆｆよく接着剤層を形成することができる。
以下、本発明を図面に示す実施例により説明する。なお
、前述した従来のものと同一の構成については、図面中
に同一の符号を付し、その説明は省略する。
、前述した従来のものと同一の構成については、図面中
に同一の符号を付し、その説明は省略する。
第１図および第２図は本発明の第１実施例を示すもので
あり、基板１は、ガラスのような光透過性材ｒ１により
形成されている。この基板１の絶縁層２を積層する上面
１ａには、ノズル板６の隔壁９に対向する部位以外の部
位に、あらかじめタンタルオキサイド（Ｔ８２０５）の
ような遮光竹材料からなるマスキング層１０がｖ４層さ
れており、この上にｉ７Ｑ述したと同様にして絶Ｉ！１
ｌｆｆ１２．発熱抵抗体３．導体４および絶縁層５が積
層されている。
あり、基板１は、ガラスのような光透過性材ｒ１により
形成されている。この基板１の絶縁層２を積層する上面
１ａには、ノズル板６の隔壁９に対向する部位以外の部
位に、あらかじめタンタルオキサイド（Ｔ８２０５）の
ような遮光竹材料からなるマスキング層１０がｖ４層さ
れており、この上にｉ７Ｑ述したと同様にして絶Ｉ！１
ｌｆｆ１２．発熱抵抗体３．導体４および絶縁層５が積
層されている。
このように構成した基板１にノズル板６を、その隔壁９
がマスキング層１０の積層されていない部位に正確に対
応するようにして接着する。すると、前述した従来のも
のと同様、第１図に示すように、隔壁９の下端と絶縁層
５との間には微小間隙が形成されることになる。
がマスキング層１０の積層されていない部位に正確に対
応するようにして接着する。すると、前述した従来のも
のと同様、第１図に示すように、隔壁９の下端と絶縁層
５との間には微小間隙が形成されることになる。
そこで、本発明に係るインクジェットヘッドの！ＦＪ
漬方法により、まず、基板１に形成されている図示しな
いインク供給孔から各インク室８内に光硬化性接着剤を
注入して充填する。そしてその後、基板１の下方からイ
ンク室８に向けて矢印に示すような鉛直方向の光を照射
すると、マスキング層１０の形成されていない部位を通
過した光は、両絶縁層２．５を通過してインク室８内に
達し、隔壁９の下の接着剤を硬化させる。そこで、マス
キング！！！１０の上方に位置し、マスキング層１０に
より遮光させて光が到達しなかった部位の光硬化性接着
剤を洗い流すと、第２図に示すように、各隔壁９の直下
に隔壁９および球根１間の微小間隙を埋める接着剤層１
１が形成され、この接着剤層１１により各隔壁９が基板
１の絶縁層５と接続されることになる。
漬方法により、まず、基板１に形成されている図示しな
いインク供給孔から各インク室８内に光硬化性接着剤を
注入して充填する。そしてその後、基板１の下方からイ
ンク室８に向けて矢印に示すような鉛直方向の光を照射
すると、マスキング層１０の形成されていない部位を通
過した光は、両絶縁層２．５を通過してインク室８内に
達し、隔壁９の下の接着剤を硬化させる。そこで、マス
キング！！！１０の上方に位置し、マスキング層１０に
より遮光させて光が到達しなかった部位の光硬化性接着
剤を洗い流すと、第２図に示すように、各隔壁９の直下
に隔壁９および球根１間の微小間隙を埋める接着剤層１
１が形成され、この接着剤層１１により各隔壁９が基板
１の絶縁層５と接続されることになる。
このように構成されている本発明のインクジェットヘッ
ドによれば、隣接するインク室８．８問が隔壁９および
接着剤層１１により完全に区画されているので、吐出圧
力が隣接するインク室８に伝達されてしまうという圧力
損失がなくなる。また、ノズル板６は各隔壁９および接
着剤Ｆｉ１１を介して基板１に支持されることになるた
め、吐出圧力に対するノズル板６の耐久性が従来の−ｂ
のより増大し、安定的なインクの吐出を行なうことがで
きる。
ドによれば、隣接するインク室８．８問が隔壁９および
接着剤層１１により完全に区画されているので、吐出圧
力が隣接するインク室８に伝達されてしまうという圧力
損失がなくなる。また、ノズル板６は各隔壁９および接
着剤Ｆｉ１１を介して基板１に支持されることになるた
め、吐出圧力に対するノズル板６の耐久性が従来の−ｂ
のより増大し、安定的なインクの吐出を行なうことがで
きる。
なお、前述した実施例においては、マス：１゛ング層１
０を基板１の上面１ａ上に８１Ｉ層したが、第３図に示
すようにマスキング層１０を絶縁層５上に積層しても前
述した実施例と同様の作用効果を奏することができる。
０を基板１の上面１ａ上に８１Ｉ層したが、第３図に示
すようにマスキング層１０を絶縁層５上に積層しても前
述した実施例と同様の作用効果を奏することができる。
また、本発明に係るインクジェットヘッドおよびその製
造方法は、前述した実施例に限定されるものではなく、
必要に応じて種々の変更が可能である。
造方法は、前述した実施例に限定されるものではなく、
必要に応じて種々の変更が可能である。
以上説明したように本発明に係るインクジェットヘッド
によれば、吐出圧力の圧力損失が生じないし、またノズ
ル板の耐久性が向上し安定したインクの吐出を行なうこ
とができる。さらに、本発明に係るインクジェットヘッ
ドの製造方法によれば、寸法精度よく接着剤層を形成で
きる。
によれば、吐出圧力の圧力損失が生じないし、またノズ
ル板の耐久性が向上し安定したインクの吐出を行なうこ
とができる。さらに、本発明に係るインクジェットヘッ
ドの製造方法によれば、寸法精度よく接着剤層を形成で
きる。
第１図および第２回は本発明に係るインクジェットヘッ
ドおよびその製造方法の実施例を示す縦断面図、第３図
は第１図の変形例を示す縦断面図、第４図は従来のイン
フジエラ］・ヘッドを示す縦断面図である。 １・・・基板、２・・・絶縁層、３・・・発熱抵抗体、
４・・・導体、５・・・絶縁層、６・・・ノズル板、７
・・・ノズル、８・・・インク室、９・・・隔壁、１０
・・・マスキング層、１１・・・接着剤層。 出願人代理人 中 尾 俊 輔第１ 図 第２図 第３図 第４ｒＡ
ドおよびその製造方法の実施例を示す縦断面図、第３図
は第１図の変形例を示す縦断面図、第４図は従来のイン
フジエラ］・ヘッドを示す縦断面図である。 １・・・基板、２・・・絶縁層、３・・・発熱抵抗体、
４・・・導体、５・・・絶縁層、６・・・ノズル板、７
・・・ノズル、８・・・インク室、９・・・隔壁、１０
・・・マスキング層、１１・・・接着剤層。 出願人代理人 中 尾 俊 輔第１ 図 第２図 第３図 第４ｒＡ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）複数個の発熱抵抗体が形成された基板と、この基板
と所定間隔を隔てて配設され前記発熱抵抗体と対向する
部位に複数個のノズルが形成されたノズル板と、このノ
ズル板に突設され隣位のノズル間を区画して複数のイン
ク室を形成する複数の隔壁とを有してなるインクジェッ
トヘッドにおいて、前記各隔壁および基板間に、各イン
ク室を前記隔壁とともに完全に区画する接着剤層を形成
したことを特徴とするインクジェットヘッド。 ２）前記接着剤層は光硬化性のものとされている特許請
求の範囲第１項記載のインクジェットヘッド。 ３）複数個の発熱抵抗体が形成された基板と、この基板
と所定間隔を隔てて配設され前記発熱抵抗体と対向する
部位に複数個のノズルが形成されたノズル板と、このノ
ズル板に突設され隣位のノズル間を区画して複数のイン
ク室を形成する複数の隔壁とを有してなるインクジェッ
トヘッドの製造方法において、前記隔壁に対向する部位
以外の基板を遮光性材料からなるマスキング層により被
覆し、各インク室内に光硬化性接着剤を注入し、基板側
からインク室内に光を照射して隔壁に対向する部位の接
着剤を硬化し、硬化していない接着剤を除去するように
したことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法
。 ４）前記マスキング層はタンタルオキサイドにより形成
されている特許請求の範囲第３項記載インクジェットヘ
ッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3252187A JPS63202455A (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 | インクジエツトヘツドおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3252187A JPS63202455A (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 | インクジエツトヘツドおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63202455A true JPS63202455A (ja) | 1988-08-22 |
Family
ID=12361264
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3252187A Pending JPS63202455A (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 | インクジエツトヘツドおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63202455A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5375326A (en) * | 1992-02-06 | 1994-12-27 | Seiko Epson Corporation | Method of manufacturing ink jet head |
| EP0636478A2 (en) * | 1993-07-29 | 1995-02-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet head, ink jet cartridge, and ink jet recording apparatus |
| EP0636480A2 (en) * | 1993-07-29 | 1995-02-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording head, ink jet apparatus, and manufacturing method thereof and apparatus for manufacturing the head |
| EP0800921A2 (en) * | 1996-04-12 | 1997-10-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet printing head, manufacturing method therefor, and ink jet printing apparatus |
| US5930895A (en) * | 1991-10-22 | 1999-08-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Process for producing an ink jet recording head |
| EP1000745A3 (en) * | 1998-10-27 | 2001-01-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Electro-thermal conversion device board, ink-jet recording head provided with the electro-thermal conversion device board, ink-jet recording apparatus using the same, and production method of ink-jet recording head |
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