JPH0698755B2 - 液体噴射記録ヘツドの製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、インクジェット記録方式に用いる記録液小滴
を発生するための液体噴射記録ヘッドの製造方法に関す
る。

［従来の技術］ インクジェット記録方式（液体噴射記録方式）に適用さ
れる液体噴射記録ヘッドは、一般に微細な記録液吐出口
（以下、オリフィスと呼ぶ）、液流路及び該液流路の一
部に設けられる液体吐出エネルギー発生部とを備えてい
る。従来、このような液体噴射記録ヘッドを作成する方
法として、例えば、ガラスや金属等の板を用い、該板に
切削やエッチング等の加工手段によって微細な溝を形成
した後、該溝を形成した板を他の適当な板と接合して液
流路の形成を行なう方法が知られている。

しかしながら、斯かる従来法によって作成される液体噴
射記録ヘッドでは、切削加工される液流路内壁面の荒れ
が大きすぎたり、エッチング率の差から液流路に歪が生
じたりして、流路抵抗の一定した液流路が得難く、製作
後の液体噴射記録ヘッドの記録液吐出特性にバラツキが
出易いと言った問題があった。また、切削加工の際に板
の欠けや割れが生じ易く、製造歩留りが悪いと言う欠点
もあった。また、エッチング加工を行なう場合には、製
造工程が多く、製造コストの上昇を招くと言う不利もあ
った。更には、上記従来法に共通する欠点として、液流
路を形成した溝付板を、記録液小滴を吐出させるための
吐出エネルギーを発生する圧電素子や電気熱変換体等の
駆動素子が設けられた蓋板とを貼り合せる際に、これら
板の位置合わせが困難であり、量産性に欠けると言った
問題もあった。

また、液体噴射記録ヘッドは、通常その使用環境下にあ
っては、記録液（一般には、水を主体とし多くの場合中
性ではないインク液、あるいは有機溶剤を主体とするイ
ンク液等）と常時接触している。それ故、液体噴射記録
ヘッドを構成するヘッド構造材料は、記録液からの影響
を受けて強度低下を起こすことがなく、また逆に記録液
中に、記録液適性を低下させるような有害な成分を与え
ることのないものであることが望まれるが、上記従来法
においては、加工方法等の節約もあって、必ずしもこれ
ら目的にかなった材料を選択することができなかった。

［発明が解決しようとする問題点］ 斯かる従来法の問題点を解消するべく本出願人は先に特
願昭59-274689号として、活性エネルギー線硬化性材料
を流路構成部材として用いる液体噴射記録ヘッドの製造
方法を提唱した。

しかしながら該方法は、液流路に連絡する液室の大きさ
や高さなど、液室を自在に製作することにおいては必ず
しも満足のゆくものではなかった。特にオリフィスおよ
びこれに連通する液流路が高密度に配され、記録用紙の
紙幅いっぱいに亘って同時に吐出を行なわしめるような
マルチアレイタイプの液体噴射記録ヘッドにおいては、
液供給速度を高め、記録液の安定且つ均一な吐出を行な
う上で液室容積を大きくすることは重要であり、このよ
うな高密度マルチアレイタイプの液体噴射記録ヘッドの
量産に適したヘッド製造方法の開発が強く望まれてい
る。

本発明の目的はこのような要求を満足する新規な液体噴
射記録ヘッドの製造方法を提供することにある。

また、液室を自在に形成することができ、且つ安価、精
密であり、また信頼性も高い液体噴射記録ヘッドを供給
し得る新規な液体噴射記録ヘッドの製造方法を提供する
ことを目的とする。

また、液流路が精度良く正確に且つ歩留り良く微細加工
された構成を有する液体噴射記録ヘッドを供給すること
が可能な新規な液体噴射記録ヘッドの製造方法を提供す
ることも目的とする。

また、記録液との相互影響が少なく、機械的強度や耐薬
品性に優れた液体噴射記録ヘッドを供給し得る新規な液
体噴射記録ヘッドの製造方法を提供することも目的とす
る。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的を達成する本発明は、少なくとも一方が活性エ
ネルギー線透過性である２枚の基板を用い、 １）第１の基板上の少なくとも液流路形成部位上に固体
層を積層する工程と、 ２）該第１の基板と、該固体層を覆う活性エネルギー線
硬化性材料層と、第２の基板とを順次積層してなる積層
体を形成する工程と、 ３）液室形成予定部位を活性エネルギー線から遮蔽する
マスクを、該積層体の活性エネルギー線透過性である基
板上に積層した後、該マスクの上方から活性エネルギー
線を照射して該照射部分の活性エネルギー線硬化性材料
層を硬化させる工程と、 ４）前記固体層および未硬化の活性エネルギー線硬化性
材料層とを除去する工程 とを含むことを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方
法である。

［発明の実施態様］ 以下、必要に応じて図面を参照しつつ、本発明を詳細に
説明する。

第１図乃至第７図は、本発明の基本的な態様を説明する
ための模式図であり、第１図乃至第７図のそれぞれに
は、本発明の方法に係る液体噴射記録ヘッドの構成とそ
の製作手順の一例が示されている。尚、本例では、２つ
のオリフィスを有する液体噴射記録ヘッドが示される
が、もちろんこれ以上のオリフィスを有する高密度マル
チアレイ液体噴射記録ヘッドの場合あるいは１つのオリ
フィスを有する液体噴射記録ヘッドの場合でも同様であ
ることは言うまでもない。

本発明においては、例えばガラス、セラミックス、プラ
スチックあるいは金属等から成り、少なくともその一方
が活性エネルギー線透過性である２枚の基板が用いられ
る。第１図は固体層形成前の第１の基板の一例の模式的
斜視図である。

このような第１の基板１は、液流路および液室構成材料
の一部として機能し、また後述の固体層および活性エネ
ルギー線硬化性材料積層時の支持体として機能させるも
のであり、後述する活性エネルギー線照射の工程を該第
１の基板１側から行なう場合は、活性エネルギー線透過
性であることが必要であるが、その他の場合は、その形
状、材質等、特に限定されることなく使用することがで
きる。上記第１の基板１上には、電気熱変換体あるいは
圧電素子等の液体吐出エネルギー発生素子２が所望の個
数配設される（第１図では２個）。このような液体吐出
エネルギー発生素子２によって記録液小滴を吐出させる
ための吐出エネルギーが記録液に与えられ、記録が行な
われる。因に、例えば上記液体吐出エネルギー発生素子
２として電気熱変換体が用いられるときには、この素子
が、近傍の記録液を加熱することにより、吐出エネルギ
ーを発生する。また、例えば圧電素子が用いられるとき
は、この素子の機械的振動によって、吐出エネルギーが
発生される。

尚、これ等の素子２には、これら素子を動作させるため
の制御信号入力用電極（不図示）が接続されている。ま
た、一般にはこれら吐出エネルギー発生素子の耐用性の
向上等を目的として、保護層等の各種の機能層が設けら
れるが、もちろん本発明においてもこのような機能層を
設けることは一向に差しつかえない。

次いで、上記液体吐出エネルギー発生素子２を含む第１
の基板１上の液流路形成部位およびそれと連絡する液室
形成部位に、例えば第２図（Ａ）に示されるような固体
層３を積層する。

尚、本発明においては液流路および液室形成部位の双方
に固体層を設けることは必ずしも必要ではなく、固体層
は少なくとも液流路形成部位に設ければよい。また、説
明が前後するが、第２図（Ｂ）に第２の基板の一例を示
す。本例では、第２の基板４は、液室形成予定部位に凹
部５及び２ケの液供給口６を有したものとして構成され
ている。以後、第３図乃至第６図のそれぞれ（Ａ）は、
第２図のＡ−Ａ′線で切断した第１および第２の基板の
模式的断面図を示し、第３図乃至第６図のそれぞれ
（Ｂ）は、第２図のＢ−Ｂ′線で切断した第１および第
２の基板の模式的断面図を示すものとする。

上記固体層３は、後述する各工程を経た後に除去され、
該除去部分に液流路および液室が構成される。もちろ
ん、液流路および液室の形状は所望のものとすることが
可能であり、固体層３も該液流路および液室の形状に応
じたものとすることができる。因に、本例では、２つの
吐出エネルギー発生素子に対応して設けられる２つのオ
リフィスのそれぞれから記録液小滴を吐出させることが
可能なように、液流路は２つに分散され、液室は該流路
の各々に記録液を供給し得るようにこれらと連通したも
のとされている。

このような固体層３を構成するに際して用いられる材料
および手段としては、例えば下記に列挙するようなもの
が具体的なものとして挙げられる。

感光性ドライフィルムを用い、所謂ドライフィルムの
画像形成プロセスに従って固体層を形成する。

基板１上に所望の厚さ溶剤可溶性ポリマー層およびフ
ォトレジスタ層を順に積層し、該フォトレジスト層のパ
ターン形成後、溶剤可溶性ポリマー層を選択的に除去す
る。

樹脂を印刷する。

に挙げた感光性ドライフィルムとしては、ポジ型のも
のもネガ型のものも用いることができるが、例えばポジ
型ドライフィルムであれば、活性エネルギー線照射によ
って、現像液に可溶化するポジ型ドライフィルム、また
ネガ型ドライフィルムであれば、光重合型であるが塩化
メチレンあるいは強アルカリで溶解あるいは剥離除去し
得るネガ型ドライフィルムが適している。

ポジ型ドライフィルムとしては、具体的には、例えば
「OZATEC R225」〔商品名、ヘキストジャパン（株）〕
等、またネガ型ドライフィルムとしては、「OZATEC Tシ
リーズ」〔商品名、ヘキストジャパン（株）〕、「PHOT
EC PHTシリーズ」〔商品名、日立化成工業（株）〕、
「RISTON」〔商品名、デュ・ポン・ド・ネモアース・C
o〕等が用いられる。

もちろん、これらの市販材料のみならず、ポジティブに
作用する樹脂組成物、例えばナフキノンジアド誘導体と
ノボラック型フェノール樹脂を主体とする樹脂組成物、
及びネガティブに作用する樹脂組成物、例えばアクリル
エステルを反応基とするアクリルオリゴマーと熱可塑性
高分子化合物および増感剤を主体とする組成物、あるい
はポリチオールとポリエン化合物および増感剤とから成
る組成物等が同様に用いることができる。

に挙げた溶剤可溶性ポリマーとしては、それを溶解す
る溶剤が存在し、コーティングによって被膜形成し得る
高分子化合物であればいずれでも用い得る。ここで用い
得るフォトレジスト層としては、典型的にはノボラック
型フェノール樹脂とナフトキノンジアジドから成るポジ
型液状フォトレジスト、ポリビニルシンナメートから成
るネガ型液状フォトレジスト、環化ゴムとビスアジドか
ら成るネガ型液状フォトレジスト、ネガ型感光性ドライ
フィルム、熱硬化型および紫外線硬化型のインキ等が挙
げられる。

に挙げた印刷法によって固体層を形成する材料として
は、例えば蒸発乾燥型、熱硬化型あるいは紫外線硬化型
等のそれぞれの乾燥方式で用いらている平板インキ、ス
クリーンインキならびに転写型の樹脂等が用いられる。

以上に挙げた材料群の中で、加工精度や除去の容易性あ
るいは作業性等の面から見て、の感光性ドライフィル
ムを用いる手段が好ましく、その中でもポジ型ドライフ
ィルムを用いるのが特に好ましい。すなわち、ポジ型感
光性材料は、例えば解像度がネガ型の感光性材料よりも
優れている、レリーフパターンが垂直かつ平滑な側壁面
を持つ、あるいはテーパ型ないし逆テーパ型の断面形状
が容易につくれるという特長を持ち、液流路を形づくる
上で最適である。また、レリーフパターンを現像液や有
機溶剤で溶解除去できる等の特長も有しており、本発明
における固体層形成材料として好ましいものである。特
に、例えば先に挙げたナフキノンジアジドとノボラック
型フェノール樹脂を用いたポジ型感光性材料では、弱ア
ルカリ水溶液あるいはアルコールで完全溶解できるの
で、吐出エネルギー発生素子の損傷を何ら与えることが
なく、かつ後工程での除去もきわめて速やかである。こ
のようなポジ型感光性材料の中でも、ドライフィルム状
のものは、10〜100μｍの厚膜のものが得られる点で、
最も好ましい材料である。

上記固体層３が形成された第１の基板１には、例えば第
３図（Ａ）および（Ｂ）に示されるように、該固体層３
を覆うように活性エネルギー線硬化性材料層７が積層さ
れる。

活性エネルギー線硬化性材料としては、上記固体層を覆
設し得るものであれば好適に使用することができるが、
該材料は、液流路および液室を形成して液体噴射記録ヘ
ッドとしての構造材料と成るものであるので、基板との
接着性、機械的強度、寸法安定性、耐蝕性の面で優れた
ものを選択し用いることが好ましい。そのような材料を
具体的に示せば、液状で、紫外線硬化および電子ビーム
硬化などの活性エネルギー線硬化性材料が適しており、
中でもエポキシ樹脂、アクリル樹脂、ジグリコールジア
ルキルカーボネート樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポ
リウレタン樹脂、ポリイミド樹脂、メラミン樹脂、フェ
ノール樹脂、尿素樹脂等が用いられる。特に、光によっ
てカチオン重合を開始することのできるエポキシ樹脂、
光によってラジカル重合できるアクリルエステル基を持
ったアクリルオリゴマー類、ポリチオールとポリエンを
用いた光付加重合型樹脂、不飽和シクロアセタール樹脂
等は、重合速度が大きく、重合体の物性も優れており、
構造材料として適している。

活性エネルギー線硬化性材料の積層方法としては、例え
ば基板形状に即したノズルを用いた吐出器具、アプリケ
ータ、カーテンコータ、ロールコータ、スプレコータ、
スピンコータ等の手段で積層する方法が具体的なものと
して挙げられる。尚、液状の硬化性材料を積層する場合
には、該材料の脱気を行った後、気泡の混入を避けなが
ら行うのが好ましい。

次に、第４図（Ａ）および（Ｂ）に示すように、第１の
基板１の活性エネルギー線硬化性材料層７上に第２の基
板４を積層する。この際、該第２の基板４には、所望の
溶室容積を得るための凹部を必要に応じて液室形成部位
に設けてもよい。もちろん第２の基板４も第１の基板１
と同様に、ガラス、プラスチック、感光性樹脂、金属、
セラミックス等の所望の材質のものを用いることができ
るが、活性エネルギー線照射の工程を該第２の基板４側
から行なう場合は、活性エネルギー線透過性であること
が必要である。また、第２の基板４には、記録液供給用
の液供給口が予め設けられていてもよい。

尚、上記においては特に示さなかったが、活性エネルギ
ー線硬化性材料層７の積層は、第２の基板を固体層に積
層した後に行なってもよい。この場合の積層方法として
は、第２の基板４を第１の基板１と圧着した後、内部を
減圧にし、その後、該硬化性材料を注入する等の方法が
好ましく用いられる。また、第２の基板４を積層するに
際しては、活性エネルギー線硬化性材料層を所要の厚さ
にするべく、例えば基板間にスペーサーを設けたり、第
２の基板４の端部に凸部を設ける等の工夫をしてもよ
い。

こうして第１の基板、固体層、活性エネルギー線硬化性
材料層および第２の基板が順次積層された積層体を得た
後、第５図（Ａ）および（Ｂ）に示すように、液室形成
予定部位に対して、それを活性エネルギー線９から遮蔽
するように、活性エネルギー線透過性の基板側（本例で
は第２の基板４）にマスク８を積層し、該マスク８の上
方から活性エネルギー線９を照射する（図中に示したマ
スク８の黒塗りの部分が活性エネルギー線を透過しない
部分であり、黒塗り部以外が活性エネルギー線を透過す
る部分である）。この活性エネルギー線９の照射によ
り、該照射部分の活性エネルギー線硬化性材料（図中に
符号10にて示す斜線部分）が硬化して硬化樹脂層が形成
されるととこに、該硬化によって第１の基板１と第２の
基板４の接合も行なわれる。

活性エネルギー線としては、紫外線、電子線、可視光線
等が利用できるが、基板を透過させての露光であるので
紫外線、可視光線が好ましく、また重合速度の面から紫
外線が最も適している。紫外線の線源としては、高圧水
銀灯、超高圧水銀灯、ハロゲンランプ、キセノンラン
プ、メタルハライドランプ、カーボンアーク等のエネル
ギー密度の高い光源が好ましく用いられる。光源からの
光線は、平行性が高く、熱の発生も少ないもの程精度の
良い加工が行なえるが、印刷製版ないしプリント配線板
加工あるいは光硬化型塗料の硬化に一般に用いられてい
る紫外線光源であれば概ね利用可能である。

活性エネルギー線に対するマスクとしては、特に紫外線
もしくは可視光線を用いる場合、メタルマスク、銀塩の
エマルジョンマスク、ジアゾマスク等が挙げられ、その
他、単に液室形成部位に黒色のインクの印刷もしくはシ
ールを貼りつける等の方法でもかまわない。

次いで、例えばオリフィス端面が露出していない場合
等、必要に応じてダイヤモンドブレードを用いたダイシ
ングソー等によって、上記活性エネルギー線照射による
硬化を終了した積層体を所要の位置で切断し、オリフィ
ス端面を露出させる。しかし、このような切断の操作
は、本発明の実施のために必ずしも必要ではなく、例え
ば液状の硬化性材料を用い、該材料を積層する際に型を
使用し、オリフィス先端部が閉じて覆われてしまうこと
がなく、且つオリフィス先端部が平滑に成型されるよう
にした場合等には、切断は不要である。

次いで、活性エネルギー線照射を終了した上記積層体か
ら、固体層３および未硬化の活性エネルギー線硬化性材
料７を第６図（Ａ）および（Ｂ）に示すように除去し
て、液流路11および液室12を形成する。本発明では液室
形成部位の活性エネルギー線硬化性材料には活性エネル
ギー線照射が行なわれず、未硬化のまま除去されるの
で、固体層上に積層する活性エネルギー線硬化性材料の
層厚を任意に制御することにより、液流路と無関係に液
室を自在に形成することが可能である。

固体層３および活性エネルギー線硬化性材料の除去手段
としては特に限定されるものではないが、具体的には例
えば固体層３と未硬化の活性エネルギー線硬化性材料と
を溶解または膨潤あるいは剥離する液体に浸漬して除去
する等の方法が好ましいものとして挙げられる。この
際、必要に応じて超音波処理、スプレー、加熱、攪拌、
振とう、加圧循環、その他の除去促進手段を用いること
も可能である。

上記除去手段に対して用いられる液体としては、例えば
ハロゲン炭化水素、ケトン、エステル、芳香族炭化水
素、エーテル、アルコール、N-メチルピロリドン、ジメ
チルホルムアミド、フェノール、水、酸あるいはアルカ
リを含む水、等が挙げられる。これら液体には、必要に
応じて界面活性剤を加えても良い。また、固体層として
ポジ型ドライフィルムを用いる場合には、除去を容易に
するために固体層に改めて紫外線照射を施すのが好まし
く、その他の材料を用いた場合は、40〜60℃に液体を加
温するのが好ましい。

第６図（Ａ）および（Ｂ）には、上記のような固体層３
および未硬化の活性エネルギー線硬化材料の除去を行な
った後の状態が示されているが、本例の場合、固体層３
および未硬化の活性エネルギー線硬化性材料は、これを
溶解する液体中に浸漬され、ヘッドのオリフィスと液供
給口６を通して溶解除去されている。

第７図には、以上の各工程を経て得られた液体噴射記録
ヘッドの模式的斜視図が示されている。尚、以上の各工
程を終了した後、液体吐出エネルギー発生素子２とオリ
フィス13との間隔を最適化するために、必要に応じてオ
リフィス先端の切断、研磨、平滑化を行なってもよい。

本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法の工業的価値を
まとめれば、下記のとおりである。

精密な加工ができること、 流路形状、液室形状に対し加工上の制限が少ないこ
と、 加工上、特に熟練を要せず、量産性にすぐれているこ
と、 活性エネルギー線硬化性材料の選択範囲が広く、構造
材料としての機能にすぐれたものを用いることができる
こと、 安価であること、 高密度マルチアレイタイプの記録ヘッドに要求される
大きな液室が容易に形成可能であること、加えて加工工
程が簡易で量産に適していること、 等である。

［実施例］ 以下に実施例を示し、本発明を更に詳細に説明する。

実施例１ 第１図乃至第６図に示した製作手順に準じて、第７図の
構成の液体噴射記録ヘッドを作成した。

まず、液体吐出エネルギー発生素子としての電気熱変換
体（材質HfB₂）を、第１の基板としてのガラス基板（厚
さ1.1mm）上に形成した後、該第１の基板上にポジ型ド
ライフィルム「OZATEC R225」〔ヘキストジャパン
（株）〕から成る厚さ50μｍの感光層をラミネーション
によって形成した。この感光層に第７図に相当するパタ
ーンのマスクを重ね、液流路および液室形成予定部位を
除く部分に70mJ/cm²の紫外線照射を行なった。液流路の
長さは3mmとした。

次に５％のメタケイ酸ナトリウム水溶液にてスプレー現
象を行ない、上記電気熱変換体を含むガラス基板上の液
流路および液室形成予定部分に厚さ約50ミクロンのレリ
ーフの固体層を形成した。

上記同様の操作手順で、上記同様の固体層を積層した基
板を合計３個作成した後、該固体層が形成されている基
板のそれぞれに、第１表に示す液状の活性エネルギー線
硬化性材料を積層した。操作手順は以下のように行なっ
た。

第１表のイ〜ハの活性エネルギー線硬化性材料のそれぞ
れを、触媒と混合し、真空ポンプを用いて脱泡した。そ
の後、上記脱泡した３種の活性エネルギー線硬化性材料
のそれぞれを前記固体層が積層されている第１の基板の
それぞれにアプリケータを用いて、該基板の上面から70
ミクロンの厚さに塗布した。

次に、これら３種の活性エネルギー線硬化性材料を積層
した第１の基板のそれぞれに、その厚さが1.1mmで、液
室形成予定部位に深さ0.3mmの凹部と、該凹部の中央に
記録液供給のための貫通孔（液供給口）を持つ第２の基
板としてのガラス基板を、液室形成予定部位の位置を合
わせて積層した。

次に、この積層体の第２の基板の上面にフイルムマスク
を密着させ、液室形成予定部位に対して活性エネルギー
線を遮蔽して、上方から超高圧水銀灯「ユニアーク」
（ウシオ電機（株）製）による照射を行なった。このと
きの365nm付近の光の積算強度は、100mV/cm²であった。
次いで、フィルムマスクを取りはずし、電気熱変換体
が、オリフィス先端から0.7mmの位置となるように切断
しオリフィス端面を形成した。

オリフィス端面を露出させた３個の積層体をそれぞれエ
タノール中に浸漬し、液室中にエタノールを充填し、か
つオリフィス端面をエタノールに接触した状態で超音波
洗浄槽中にて約３分間溶解除去操作を行なった。溶解除
去が終了した後、５％のNaOH水溶液及び純水で洗浄を行
なった。洗浄後これら積層体を乾燥し、高圧水銀灯を用
いて10J/cm²の後露光を行ない活性エネルギー線硬化性
材料を完全硬化させた。

このようにして作成された３個の液体噴射記録ヘッドの
液流路中には、いずれの場合にも固体層の残渣が全く存
在しなかった。更に、これら液体噴射記録ヘッドを記録
装置に装着し、純水／グリセリン／ダイレクトブラック
154（水溶性黒色染料）＝65/30/5（重量部）から成るイ
ンジェットインクを用いて記録を行なったところ、安定
な印字が可能であった。尚、得られた記録ヘッドの流路
高さは約50μｍ、液室高さは約0.37mmであった。

実施例２ 第１図乃至第６図に示した製作手順に準じて、液流路数
が3600個のマルチヘッドを製作した。液流路の寸法は流
路間隔130μｍ、流路巾45μｍ、流路高さ50μｍとし
た。実施例１と同様の手順に従い第１の基板として厚さ
1.1mmのガラス基板を用い、活性エネルギー線硬化性材
料として第１表のイの活性エネルギー線硬化性材料を、
また第２の基板として厚さ0.3mmのポリエステルをベー
スとし第１表のイの材料を0.8mmの厚さに積層し、露光
及び現像によって液室形成部位に深さ0.8mmの凹部を形
成し、かつ液供給口を開けたものを用いる以外は、実施
例１と同一の条件で、液体噴射記録ヘッドの作成を行な
った。液室の高さは約0.87mmであった。

こうして得られた液体噴射記録ヘッドについて、オリフ
ィスの断面寸法のバラつきを3600個の液流路うちの100
個について測定した。その結果、寸法のバラつきは非常
に少ないものであった。次にこの液体噴射記録ヘッドを
記録装置に装着して記録試験を行なった。用いた記録液
は、純水／ジエチレングリコール／ダイレクトブラック
154＝65/30/5（重量部）であり、KOH添加によってpHを1
0.8に調製したものである。

A4サイズの用紙に対して、印字及び印画の試験を実施し
たところ、高速で安定な吐出を行なうことができた。記
録試験後記録ヘッドを観察したが、液流路に変形、剥離
等は全く見られず、耐久性は良好であった。

［発明の効果］ 以上に説明した本発明によってもたらされる効果として
は、下記に列挙するようなものが挙げられる。

１）ヘッド製作のための主要工程が、いわゆる印刷技
術、すなわちフォトレジストや感光性ドライフィルム等
を用いた微細加工技術に因る為、ヘッドの細密部を、所
望のパターンで、しかも極めて容易に形成することがで
きるばかりか、同構成の多数のヘッドを同時に加工する
こともできる。

２）中性でない水溶液、あるいは有機溶剤を媒体とする
記録液に対して相互に影響し合うことがなく、且つ接着
性あるいは機械的強度等にも優れた材料を、ヘッド構成
材料として用いるので、記録装置としての耐久性あるい
は信頼性を高めることができる。

３）製造工程数が少なく、生産性が良好である。

４）主要構成部位の位置合わせを容易にして確実に為す
ことができ、寸法精度の高いヘッドが歩留り良く得られ
る。

５）高密度マルチアレイ液体噴射記録ヘッドが簡易な方
法で得られる。

６）液流路を構成する溝壁の厚さの調製が極めて容易で
あり、固体層の厚さに応じて所望の寸法（例えば、溝深
さ）の液流路を構成することができる。

７）連続、且つ大量生産が可能である。

８）エッチング液（フッ化水素酸等の強酸類）を特に使
用する必要がないので、安全衛生の面でも優れている。

９）接着剤を特に使用する必要がないので、接着剤が流
動して溝が塞がれたり、液体吐出エネルギー発生素子に
付着して、機能低下を引き起こすことがない。

10）液室を自在に形成することが可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第７図は、本発明の基本的な態様を説明する
ための模式図であり、それぞれ下記の通りである。 第１図：固体層形成前の第１の基板の模式的斜視図、 第２図（Ａ）：固体層形成後の第１の基板の模式的平面
図、 第２図（Ｂ）：第２の基板の模式的平面図、 第３図（Ａ）及び（Ｂ）：固体層及び活性エネルギー線
硬化性材料積層後の第１の基板の模式的切断面図、 第４図（Ａ）及び（Ｂ）：第２の基板積層後の積層体の
模式的切断面図、 第５図（Ａ）及び（Ｂ）：マスク積層後の積層体の模式
的切断面図、 第６図（Ａ）及び（Ｂ）：固体層および活性エネルギー
線硬化性材料除去後の積層体の模式的切断面図、 第７図：完成された状態における液体噴射記録ヘッドの
模式的斜視図。 尚、第３図乃至第６図において、それぞれの（Ａ）は第
２図のＡ−Ａ′線に相当する位置で切断した切断面図で
あり、（Ｂ）は第２図のＢ−Ｂ′線に相当する位置で切
断した切断面図である。 １……第１の基板 ２……液体吐出エネルギー発生素子 ３……固体層、４……第２の基板 ５……凹部、６……液供給口 ７……活性エネルギー線硬化性材料 ８……マスク、９……活性エネルギー線 10……硬化した活性エネルギー線硬化性材料 11……液流路、12……液室 13……オリフィス

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】少なくとも一方が活性エネルギー線透過性
   である２枚の基板を用い、 １）第１の基板上の少なくとも液流路形成部位上に固体
   層を積層する工程と、 ２）該第１の基板と、該固体層を覆う活性エネルギー線
   硬化性材料層と、第２の基板とを順次積層してなる積層
   体を形成する工程と、 ３）液室形成予定部位を活性エネルギー線から遮蔽する
   マスクを、該積層体の活性エネルギー線透過性である基
   板上に積層した後、該マスクの上方から活性エネルギー
   線を照射して該照射部分の活性エネルギー線硬化性材料
   層を硬化させる工程と、 ４）前記固体層および未硬化の活性エネルギー線硬化性
   材料層とを除去する工程 とを含むことを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方
   法。
2. 【請求項２】前記固体層を有機高分子材料で形成するこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の液体噴射
   記録ヘッドの製造方法。
3. 【請求項３】前記有機高分子材料がポジ型感光性樹脂で
   あることを特徴とする特許請求の範囲第２項に記載の液
   体噴射記録ヘッドの製造方法。