JP3402865B2 - 液体噴射記録ヘッドの製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、吐出口（オリフィ
ス）から記録液（インク）を液滴として吐出するバブル
ジェット方式等の液体噴射記録装置に用いられる液体噴
射記録ヘッドの製造方法に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】バブルジェット方式等の液体噴射記録装
置は、外乱に強く、滴化周波数も充分であり、印字の高
速化および高精細化やカラー化などが容易であるため、
その将来性が大きく期待されている。 【０００３】このような液体噴射記録装置の液体噴射記
録ヘッドは、吐出エネルギー発生素子を有する基板と、
その上に吐出口（オリフィス）に連通する液流路や液室
を形成するノズル層（液流路形成層）を有し、前記基板
は、一般的に、単結晶のＳｉ基板の表面を熱酸化したう
えで公知のフォトリソグラフィによって吐出エネルギー
発生素子を形成したもので、その表面は、ＳｉＯ₂ 、Ｓ
ｉＣ，Ｓｉ₃ Ｎ₄ 等からなる電気的絶縁層と、記録液を
吐出するときの機械的衝撃による吐出エネルギー発生素
子の損傷（キャビテーションエロージョン）等を防ぐた
めのＴａ膜等の保護層等によって覆われており、必要で
あれば、電気的絶縁層とＴａ膜の間に両者の密着性を強
化するためのＴａ₂ Ｏ₅ 膜等を設ける。また、ノズル層
の上には、ノズル層にインク等の記録液を供給する注入
口を備えたガラス天板等が載置され、該天板は接着剤等
によってノズル層に結合される。 【０００４】液体噴射記録ヘッドの製造方法は以下の４
種類に大別される。 【０００５】（１）ドライフィルムとガラス天板を貼り
合わせたものをパターニングして基板に接合する（特開
昭５６−１２３８６９号参照）。 【０００６】（２）射出成形によって樹脂製のノズル層
を成形し、これを基板に接合する（特開平３−１０１９
５４号広報参照）。 【０００７】（３）基板上にレジストのパターンを設け
てその上に樹脂膜を塗布し、天板を接合して前記樹脂膜
を硬化させたうえでレジストを溶出する（特開昭６２−
２５３４５７号広報参照）。 【０００８】（４）吐出エネルギー発生素子を有する第
１の基板（ヒーターボード）と同様に単結晶のＳｉ基板
を母材とする第２の基板の表面を異方性エッチングによ
って溝加工し、これをノズル層として第１の基板に貼り
合わせる。ノズル層を構成する第２の基板の前記表面が
（１００）面になるように製作し、（１１１）面に対す
るエッチング速度がほとんどゼロである異方性エッチン
グによって断面Ｖ字形の溝を形成する（特開昭５４−１
５０１２７号公報参照）。 【０００９】近年では、液体噴射記録装置のより一層の
高速化、高精細化および高画質化が進み、このために、
液流路の高密度化が容易であってしかもより高い吐出周
波数に対応できる液体噴射記録ヘッドの開発が望まれて
いる。また、普通紙にも印刷できるようにするためには
尿素等を添加した強アルカリ性のインクを用いることが
要求される。そこで、液体噴射記録ヘッドの耐インク性
を向上させることも必要である。 【００１０】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の技術によれば、上記（１）ないし（３）の方法で製作
した液体噴射記録ヘッドは、いずれもノズル層が樹脂製
であるから、耐インク性の観点から材料が著しく限定さ
れる。また、液流路の高密度化を促進するためには各液
流路を高アスペクト比、すなわち幅が狭くて高さの高い
断面形状にする必要があるが、（１）および（２）の方
法は感光性樹脂を用いるものであるために高アスペクト
比にするのが困難であり、また、（３）の方法も射出成
形を採用するものであるために、液流路を高アスペクト
比にすると充分な形状精度を得るのが難しい。 【００１１】液体噴射記録ヘッドをより高い吐出周波数
に対応できるようにするためには、各液流路の断面寸法
が大であることが要求され、液体噴射記録ヘッドの大形
化を避けるには、やはり、液流路を高アスペクト比にす
ることが要求される。 【００１２】（４）の方法は、ノズル層を構成する第２
の基板がヒーターボードを構成する第１の基板と同じＳ
ｉ基板であるから、耐インク性にすぐれており、耐熱性
も充分でしかも製造工程が簡単であり、さらに、吐出口
が開口するオリフィス面が両Ｓｉ基板の端面によって構
成されるためにインクの濡れ性が均一で吐出性能が安定
するという多くの利点を有するが、前述のような異方性
エッチングによって形成される溝はアスペクト比を変え
ることはできず、また、第２の基板は断面Ｖ字形の溝を
逆向きにして三角形の底面をヒーターボードに向けた状
態でこれに接合されるものであるから、液流路を高密度
化するとエッチング残しの幅が減少し、多くの不良品が
出るという未解決の課題がある。 【００１３】本発明は、上記従来の技術の有する問題点
に鑑みてなされたものであって、高アスペクト比でしか
も高い形状精度を有する液流路を得るのが容易であり、
従って、印字の高精細化や高速化を大幅に促進できるう
えに、耐インク性や耐熱性が充分で吐出性能も安定した
液体噴射記録ヘッドの製造方法を提供することを目的と
するものである。 【００１４】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法は、支持基
板に吐出エネルギー発生手段を設ける工程と、支持基板
の吐出エネルギー発生手段上に該吐出エネルギー発生手
段の保護層を設ける工程と、保護層を有する支持基板上
に接着剤を介して単結晶シリコンの（１１０）面を表面
とする液流路形成基板を接合する工程と、該液流路形成
基板を所望の厚さまで研磨する工程と、液流路形成基板
を前記保護層が露出するまで異方性エッチングし、前記
（１１０）面に垂直である一対の（１１１）面を側面と
する開口を形成する工程と、前記液流路形成基板に天板
を接合し前記開口を覆うことで液流路を形成する工程
と、を有することを特徴とする。 【００１５】 【作用】単結晶シリコンからなる液流路形成基板に異方
性エッチングを施して液流路を形成する。液流路形成基
板は単結晶シリコンの（１１０）面が表面となるように
製作され、該（１１０）面に垂直である（１１１）面に
対するエッチング速度がほとんどゼロである異方性エッ
チングを行なうことで、前記（１１１）面を側面とする
方形断面の液流路を得ることができる。 【００１６】このように液流路が方形断面であるから、
液流路形成基板の厚さを大きくしたり、エッチング深さ
を深くすることで、高アスペクト比でしかも形状精度の
高い液流路を形成することができる。 【００１７】液流路形成基板に異方性エッチングを施す
前に液流路形成基板を支持基板の上に積層し、異方性エ
ッチングによって液流路形成基板を貫通する液流路を形
成することで、液流路の深さは液流路形成基板の厚さの
みによって決定されるため、エッチング深さを制御する
必要がない。 【００１８】また、液流路形成基板と支持基板の材質を
同じＳｉ基板にすることで、液体噴射記録ヘッドの耐イ
ンク性や耐熱性を向上させ、さらに、吐出口のまわりの
インクの濡れ性を均一にして吐出性能を安定させること
ができる。 【００１９】 【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。 【００２０】図１は参考例による液体噴射記録ヘッドＥ
₁ を示すもので（ａ）はその一部分を示す模式部分斜視
図、（ｂ）は（ａ）のノズル層の厚さ方向の断面の一部
分を示す模式部分断面図である。液体噴射記録ヘッドＥ
₁ は、後述する吐出エネルギー発生手段である電気熱変
換素子（吐出エネルギー発生素子）や接続配線を有する
支持基板である基板（ヒーターボード）１０と、基板１
０の上に積層された液流路形成基板であるノズル層２０
を有し、ノズル層２０は、後述する異方性エッチングに
よって形成された複数の液流路２１とこれらに連通する
共通液室２２を有し、各液流路２１の開口端にはオリフ
ィス（吐出口）２３が形成されている。また、ノズル層
２０の上面には、共通液室２２に記録液であるインクを
供給するための注入口２０ａが設けられる。 【００２１】基板１０は、Ｓｉ基板１１と、その表面に
ＳｉＯ₂ の熱酸化によって成膜された蓄熱層１２と、蓄
熱層１２の所定の部分にスパッタ法等によって成膜され
たＨｆＢ₂ の発熱抵抗層１３と、その上に被着された接
続配線１４を有し、接続配線１４は、発熱抵抗層１３の
表面にＡｌ膜を成膜してこれを公知のリソグラフィによ
ってパターニングすることで形成されたもので、発熱抵
抗層１３の一部分は発熱部分として接続配線１４の中断
部に露出し、電気熱変換素子１５を構成する。 【００２２】接続配線１４や電気熱変換素子１５等の表
面はバイアススパッタ法によって成膜されたＳｉ₃ Ｎ₄
の絶縁層１６によって覆われており、さらに、絶縁層１
６の表面は、インクのキャビテーションによる損傷を防
ぐためのＮｉの保護層１７によって覆われている。 【００２３】ノズル層２０の注入口２０ａから共通液室
２２に供給されたインクは、各液流路２１内においてそ
の一部が電気熱変換素子１５によって加熱気化され、液
滴としてオリフィス２３から吐出される。このとき、保
護層１７は電気熱変換素子１５をインクのキャビテーシ
ョンから保護する。 【００２４】ノズル層２０の製作は以下のように行なわ
れる。図２の（ａ）に示すように、ヒーターボードとな
る基板１０のＳｉ基板１１と同様の材質でシリコン単結
晶の（１１０）面を表面とする厚さ１．１ｍｍの第２の
Ｓｉ基板２０ｂを製作し、その表面に熱酸化膜を形成し
たうえで、幅２５μｍ、長さ１５０μｍの液流路の形状
を有するレジストパターンＲ₁ を設け、これをマスキン
グとして熱酸化膜をエッチングし、同図の（ｂ）に示す
ように、液流路と共通液室の形状を有する部分を除去す
る。熱酸化膜のエッチングにはフッ酸とフッ化アンモニ
ウムの混合液を用いる。このようにしてパターニングさ
れた熱酸化膜２０ｃをマスキングとして、Ｓｉ基板２０
ｂの露出部分を同図の（ｃ）に示すように深さ５０μｍ
までＫＯＨ溶液によって異方性エッチングして液流路２
１と共通液室２２を形成する。 【００２５】ＫＯＨ溶液による異方性エッチングはシリ
コン単結晶の（１１０）面に対してはエッチング速度が
速く、他方、（１１０）面に垂直である（１１１）面に
対しては極端にエッチング速度が遅いため、液流路２１
はその側面がＳｉ基板２０ｂの表面に対して垂直な方形
断面の溝となる。このようにして液流路２１と共通液室
２２を形成したＳｉ基板２０ｂを、図示上下方向を逆に
して基板１０に接着する。このときの接着剤としてはエ
ポキシ系の接着剤等が用いられる。得られた積層体を所
定の切断面に沿って切断して各液流路２１の末端を開口
させると、オリフィス２３（図１参照）が形成される。
なお、共通液室２２は、公知の溝加工によって予めＳｉ
基板２０ｂに形成しておいてもよい。 【００２６】最後に、基板１０の接続配線１４に通電す
る図示しない電極に駆動用ＩＣ等をボンディングし、注
入口２０ａにインク供給管を接続して液体噴射記録ヘッ
ドＥ₁ が完成する。 【００２７】完成した液体噴射記録ヘッドを用いて印字
テストを行なった結果、吐出性能が極めて良好であるこ
とが判明した。 【００２８】この液体噴射記録ヘッドの液流路は、単結
晶シリコンの（１１０）面を表面とするＳｉ基板を（１
１１）面に沿って異方性エッチングすることによって形
成された断面方形の溝であるため、マスキングの開口寸
法やエッチング時間等を制御することで溝の深さや幅を
任意に設定することができる。すなわち、液流路のアス
ペクト比を高くすることが自在であるとともに、断面Ｖ
字形の溝からなる液流路のように、液流路の間隔を狭く
したときにエッチング残しの幅が不足しこのために液流
路の高密度化が限定されるおそれもない。従って、印字
の高精細化や高速化を大きく促進することができる。 【００２９】加えて、ヒーターボードを構成する基板と
ノズル層の材質が同じであるためにオリフィス面のイン
クに対する濡れ性も均一であり、従って、吐出性能が極
めて安定しており、またノズル層の耐インク性や耐熱性
も充分であり、液体噴射記録ヘッドの耐久性を向上させ
るとともに、記録用紙の材質に対する制約を大きく軽減
できる。 【００３０】図３は本発明の実施例による液体噴射記録
ヘッドＥ₂ を示すもので、これは、ヒーターボードとな
る基板１０上に第１実施例のＳｉ基板２０ｂと同様の単
結晶シリコンの（１１０）面を表面とする液流路形成基
板であるＳｉ基板をまず接着剤であるエポキシ系接着剤
等によって接着し、該Ｓｉ基板の表面を研磨してその厚
さを液流路３１の必要高さ、例えば５０μｍまで減少さ
せる。続いて第１実施例と同様の方法でＳｉ基板の表面
に熱酸化膜を設け、パターニングを施して異方性エッチ
ングによって開口を形成しこれを液流路３１とする。 【００３１】このとき、基板１０の表面は前述のように
保護層１７によって覆われているため該保護層１７が露
出したところでエッチングは終了する。従って、液流路
３１の高さは前記Ｓｉ基板の厚さに等しい。このように
して形成されたノズル層３０に、さらにこれと同様の材
質のＳｉ基板からなる天板４０を重ねて接着する。な
お、本実施例においては、ノズル層３０の共通液室３２
にインクを供給する注入口が天板４０に配設される。 【００３２】ヒーターボードを構成する基板１０は第１
実施例と同様であるので同じ符号で表わし、説明は省略
する。 【００３３】本実施例によれば、液流路の高さがノズル
層を構成するＳｉ基板の厚さによって決まるものである
ため、参考例のように異方性エッチングのエッチング時
間を厳密に管理する必要がない。 【００３４】図４は別の参考例による液体噴射記録ヘッ
ドＥ₃ を示す。これは、まず、ノズル層５０を構成する
Ｓｉ基板を、天板６０を構成するＳｉ基板と一体化し、
第２実施例と同様に、ノズル層を構成するＳｉ基板の表
面を研磨して所定の厚さに低減したうえで異方性エッチ
ングによって液流路５１等を形成し、続いてヒーターボ
ードとなる基板１０に接着するものである。 【００３５】ノズル層５０と天板６０をそれぞれ構成す
るＳｉ基板の接合は、両者を重ねて窒素雰囲気中で８０
０℃に加熱し、接合面を熱融着させることによって行な
われる。ノズル層５０と天板６０の間を熱融着によって
強固に結合させることができるため、耐インク性や機械
的強度にすぐれた液体噴射記録ヘッドを得ることができ
る。 【００３６】本発明の液体噴射記録ヘッドを適用した図
５に示す液体噴射記装置について説明する。 【００３７】図５において、１０１ａ〜１０１ｄはそれ
ぞれ、ライン型の液体噴射記録ヘッド（以下、「ヘッ
ド」という。）であり、これらは支持体であるホルダ１
０２により矢印Ｘ方向に所定の間隔を持って互いに平行
に固定支持されている。各ヘッド１０１ａ〜１０１ｄの
下面には矢印Ｙ方向に沿って、１列に１６吐出口／ｍｍ
の間隔で３４５６個の吐出口が下向きに設けられてお
り、これにより２１６ｍｍ幅の記録が可能となってい
る。 【００３８】これらのヘッド１０１ａ〜１０１ｄは熱エ
ネルギーを用いて記録液を吐出する方式のものであり、
ヘッドドライバー１２０によって吐出制御されている。 【００３９】なお、前記ヘッド１０１ａ〜１０１ｄおよ
びホルダ１０２を含めてヘッドユニットが構成され、該
ヘッドユニットはヘッド移動手段１２４により、上下方
向に移動されるようになっている。 【００４０】また、前記ヘッド１０１ａ〜１０１ｄに対
応してその下部に隣接して配置されたキャップ１０３ａ
〜１０３ｄはそれぞれ内部にスポンジ等のインク吸収部
材を有する。 【００４１】前記キャップ１０３ａ〜１０３ｄは不図示
のホルダにより固定支持されており、該ホルダおよびキ
ャップ１０３ａ〜１０３ｄを含んでキャップユニットが
構成され、該キャップユニットはキャップ移動手段１２
５により矢印Ｘ方向に移動されるようになっている。 【００４２】各ヘッド１０１ａ〜１０１ｄにはそれぞ
れ、インクタンク１０４ａ〜１０４ｄからインク供給チ
ューブ１０５ａ〜１０５ｄを通じてシアン、マゼンタ、
イエロー、ブラックの各色のインクが供給され、カラー
記録を可能としている。 【００４３】また、このインク供給はヘッド吐出口の毛
細管現象を利用しており、各インクタンク１０４ａ〜１
０４ｄの液面は吐出口位置より一定距離だけ低く設定さ
れている。 【００４４】ベルト１０６は被記録材である記録紙１２
７を搬送するためのものであって帯電可能なシームレス
ベルトからなる。 【００４５】ベルト１０６は駆動ローラ１０７、アイド
ルローラ１０９，１０９ａおよびテンションローラ１１
０により所定の経路に引きまわされており、前記駆動ロ
ーラ１０７に接続され、モータードライバー１２１によ
り駆動されるベルト駆動モーター１０８により、走行さ
れる。 【００４６】また、ベルト１０６はヘッド１０１ａ〜１
０１ｄの吐出口の直下において矢印Ｘ方向に走行し、こ
こでは固定支持部材１２６により、下側のブレを抑制さ
れている。 【００４７】ベルト１０６の図示下方には、ベルト１０
６の表面に付着している紙粉等を除去するクリーニング
ユニット１１７が配設されている。 【００４８】前記ベルト１０６を帯電させる帯電器１１
２は、帯電器ドライバー１２２により、ＯＮ、ＯＦＦさ
れ、この帯電による静電的吸着力により、記録紙１２７
をベルト１０６に吸着する。 【００４９】帯電器１１２の前後には前記アイドルロー
ラ１０９，１０９ａと共同して搬送記録紙１２７をベル
ト１０６に押し付けるためのピンチローラ１１１，１１
１ａが配置されている。 【００５０】給紙カセット１１３内の記録紙１２７は給
紙ローラ１１６の回転により１枚ずつ送り出され、モー
タードライバー１２３により駆動される搬送ローラ１１
４およびピンチローラ１１５により矢印Ｘ方向に山形ガ
イド１１３へと搬送される。該山形ガイド１１３は記録
紙１２７のたわみを許容する山形のスペースを有する。 【００５１】記録の終了した記録紙１２７は排紙トレイ
１１８に排出される。 【００５２】前記ヘッドドライバー１２０、ヘッド移動
手段１２４、キャップ移動手段１２５、モータードライ
バー１２１，２２３および帯電器ドライバー１２２はす
べて制御回路１１９により制御される。 【００５３】本発明は、特に液体噴射記録方式の中で熱
エネルギーを利用して飛翔液滴を形成し、記録を行な
う、いわゆるインクジェット記録方式の記録ヘッド、記
録装置において、優れた効果をもたらすものである。 【００５４】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されており、本発明はこれらの基
本的な原理を用いて行なうものが好ましい。この記録方
式は所謂オンデマンド型、コンティニュアス型のいずれ
にも適用可能である。 【００５５】この記録方式を簡単に説明すると、記録液
（インク）が保持されているシートや液流路に対応して
配置されている吐出エネルギー発生素子である電気熱変
換体に駆動回路より吐出信号を供給する、つまり、記録
情報に対応して記録液（インク）に核沸騰現象を越え、
膜沸騰現象を生じるような急速な温度上昇を与えるため
の少なくとも一つの駆動信号を印加することによって、
熱エネルギーを発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜
沸騰を生じさせる。このように記録液（インク）から電
気熱変換体に付与する駆動信号に一対一に対応した気泡
を形成できるため、特にオンデマンド型の記録法には有
効である。この気泡の成長、収縮により吐出口を介して
記録液（インク）を吐出させて、少なくとも一つの滴を
形成する。この駆動信号をパルス形状とすると、即時適
切に気泡の成長収縮が行なわれるので、特に応答性に優
れた記録液（インク）の吐出が達成でき、より好まし
い。このパルス形状の駆動信号としては、米国特許第４
４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号明細書に
記載されているようなものが適している。なお、上記熱
作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第４３１３
１２４号明細書に記載されている条件を採用すると、さ
らに優れた記録を行なうことができる。 【００５６】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液流路、電気熱変換
体を組み合わせた構成（直線状液流路又は直角液流路）
の他に、米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許
第４４５９６００号明細書に開示されているように、熱
作用部が屈曲する領域に配置された構成を持つものにも
本発明は有効である。 【００５７】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出口とする構成を開
示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギー
の圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開
示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構成
を有するものにおいても本発明は有効である。 【００５８】さらに、本発明が有効に利用される記録ヘ
ッドとしては、記録装置が記録可能である被記録媒体の
最大幅に対応した長さのフルラインタイプの記録ヘッド
がある。このフルラインヘッドは、上述した明細書に開
示されているような記録ヘッドを複数組み合わせること
によってフルライン構成にしたものや、一体的に形成さ
れた一個のフルライン記録ヘッドであってもよい。 【００５９】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効で
ある。 【００６０】また、記録ヘッドに対する回復手段や予備
的な補助手段を付加することは、記録装置を一層安定に
することができるので好ましいものである。これらを具
体的に挙げれば、記録ヘッドに対しての、キャッピング
手段、クリーニング手段、加圧または吸引手段、電気熱
変換体或はこれとは別の加熱素子、あるいはこれらの組
み合わせによる予備加熱手段、記録とは別の吐出を行な
う予備吐出モード手段を付加することも安定した記録を
行なうために有効である。 【００６１】さらに、記録装置の記録モードとしては黒
色等の主流色のみを記録するモードだけではなく、記録
ヘッドを一体的に構成したものか、複数個の組み合わせ
で構成したものかのいずれでも良いが、異なる色の複色
カラーまたは、混色によるフルカラーの少なくとも一つ
を備えた装置にも本発明は極めて有効である。 【００６２】本発明において、上述した各インクにたい
して最も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行する
ものである。 【００６３】さらに加えて、本発明のインクジェット記
録装置の形態としては、コンピュータ等の情報処理機器
の画像出力端末として用いられるものの他、リーダ等と
組み合わせた複写装置、さらには送受信機能を有するフ
ァクシミリ装置の形態を採るものであってもよい。 【００６４】以上説明した本発明の実施例においては、
インクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で
固化するインクであって、室温で軟化もしくは液体とな
るもの、あるいは、インクジェットにおいて一般的に行
なわれている温度調整の温度範囲である３０℃以上７０
℃以下の温度範囲で軟化もしくは液体となるものでもよ
い。すなわち、使用記録信号付与時にインクが液状をな
すものであればよい。加えて、積極的に熱エネルギーに
よる昇温をインクの固形状態から液体状態への態変化の
エネルギーとして使用せしめることで防止するか、また
は、インクの蒸発防止を目的として放置状態で固化する
インクを用いるかして、いずれにしても熱エネルギーの
記録信号に応じた付与によってインクが液化してインク
液状として吐出するものや記録媒体に到達する時点では
すでに固化し始めるもの等のような、熱エネルギーによ
って初めて液化する性質のインク使用も本発明には適用
可能である。このような場合インクは、特開昭５４−５
６８４７号広報あるいは特開昭６０−７１２６０号広報
に記載されるような、多孔質シート凹部または貫通孔に
液状または固形物として保持された状態で、電気熱変換
体に対して対向するような形態としてもよい。本発明に
おいては、上述した各インクに対して最も有効なもの
は、上述した膜沸騰方式を実行するものである。 【００６５】 【発明の効果】本発明は上述のとおり構成されているの
で、次に記載するような効果を奏する。 【００６６】高アスペクト比でしかも高い形状精度を有
する液流路を得るのが容易であり、従って、印字の高精
細化や高速化を大幅に促進できるうえに、耐インク性や
耐熱性が充分で吐出性能も安定した液体噴射記録ヘッド
を製作することができる。 【００６７】このような液体噴射記録ヘッドを搭載する
ことで、液体噴射記録装置の高性能化に大きく貢献でき
る。

【図面の簡単な説明】 【図１】参考例による液体噴射記録ヘッドを示すもの
で、（ａ）はその一部分を示す模式部分斜視図、（ｂ）
は（ａ）のノズル層の厚さ方向の断面の一部分を示す模
式部分断面図である。 【図２】図１の液体噴射記録ヘッドを製造する工程を説
明する説明図である。 【図３】本発明の実施例による液体噴射記録ヘッドを示
すもので、（ａ）はその一部分を示す模式部分断面図、
（ｂ）は別の断面を示す模式部分断面図である。 【図４】別の参考例による液体噴射記録ヘッドを示すも
ので、（ａ）はその一部分を示す模式部分断面図、
（ｂ）は別の断面を示す模式部分断面図である。 【図５】液体噴射記録装置を説明する図である。 【符号の説明】 １０ 基板 １１，２０ｂ Ｓｉ基板 ２０，３０，５０ ノズル層 ２１，３１，５１ 液流路 ４０，６０ 天板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭56−123869（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−171089（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−305145（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−150127（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−156399（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−206315（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B41J 2/05 B41J 2/16

Claims (1)

1. (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 支持基板に吐出エネルギー発生手段を設
   ける工程と、 支持基板の吐出エネルギー発生手段上に該吐出エネルギ
   ー発生手段の保護層を設ける工程と、 保護層を有する支持基板上に接着剤を介して 単結晶シリ
   コンの（１１０）面を表面とする液流路形成基板を接合
   する工程と、 該液流路形成基板を所望の厚さまで研磨する工程と、 液流路形成基板を前記保護層が露出するまで 異方性エッ
   チングし、前記（１１０）面に垂直である一対の（１１
   １）面を側面とする開口を形成する工程と、 前記液流路形成基板に天板を接合し前記開口を覆うこと
   で 液流路を形成する工程と、 を有することを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方
   法。