JPH0592570A - 液体噴射記録ヘツド、その製造方法、及び液体噴射記録ヘツドを備えた記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 高密度タイプの液体噴射記録ヘッドの新規な
製造方法を提供する。 【構成】 基板１上に少なくとも液路パターンを有する
固体層と、固体層を覆う液路壁形成材料層２、さらに蓋
板４とを順次積層した後、吐出口形成部で切断す。次い
で固体層８を鉛筆硬度Ｈ以上に熱硬化させた後、切断面
を研磨する。 【効果】 チッピングのない吐出口を安定に製造でき
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録方
式に用いる記録液小滴を発生するための液体噴射記録ヘ
ッド、その製造方法、及び液体噴射記録ヘッドを備えた
記録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット記録方式（液体噴射記録
方式）に適用される液体噴射記録ヘッドは、一般に微細
な記録液吐出口、液路及び該液路の一部に設けられる液
体吐出エネルギー発生部とを備えている。従来、このよ
うな液体噴射記録ヘッドを作成する代表的な方法とし
て、特開昭５７−４３８７６号が挙げられる。すなわ
ち、吐出エネルギー発生体が設けられた基板面上に感光
性組成物層（例えばネガ型ドライフィルムＬＡＭＩＮＡ
Ｒ（ＤＹＮＡ ＣＨＥＭ製）、ＳＲ−１０００Ｇ−５０
（日立化成製）、ＳＲ−１０００Ｎ（日立化成製）等）
を設け、所定のパターン露光を行い、硬化領域を形成す
る。その後前記層から未硬化の組成物を除去することに
より前記基板面にインク液路を形成する。さらに、液室
形成部材（蓋板）をその基板面に接着層を介して接合す
ることにより２対の液体噴射記録ヘッドを形成する。そ
の後、ダイヤモンドブレードにより２対のヘッドの中央
で切断加工を施し、ヘッドの分離と吐出口の形成を同時
に行い、液体噴射ヘッドを形成するものである。この方
法によれば液路形成に、フォトリソ技術を使用するため
液路形状が非常に均一にでき、量産性も向上する。

【０００３】しかしながらこの方法にも次のような欠点
がある。

【０００４】１）ノズルパターン形成〜切断加工までの
工程で、特に切断加工において、切り粒及び切削液中の
ゴミがノズルに入り、歩留まりの低下を招く。

【０００５】２）切断加工時に、吐出口周辺部にチッピ
ングが発生し、そのチッピングが記録小滴の吐出方向の
ヨレの原因となり、記録品位の低下及び最終記録検査で
の歩留まり低下を招く。チッピングとは、吐出口面の切
断、研磨加工等の機械加工の際に吐出口周縁部に発生す
るカケのことである。

【０００６】３）切断加工時のチッピングを防ぐため
に、レジンボンド系のダイヤモンドブレードを使う必要
があり、切断加工速度が遅く、大変コストの掛かる工程
である。また、ブレードの減りも早く、該ヘッドの切断
寸法管理（精度±１０μｍ程度）が難しい。

【０００７】４）小ノズルヘッドにおいては、１），
２），３）の欠点を切断時の条件の適正化により、何と
か生産することができている。しかし高密度マルチアレ
イタイプのヘッド（つまりＡ４，Ａ３巾にノズルを配列
するタイプのヘッドを言う。）においては全ノズルを正
常に形成することはほとんど不可能である。

【０００８】斯かる従来法の問題点を解消するため特開
昭５８−１３６４７８号公報には次のような方法が開示
されている。すなわち、基板面にノズル形成部位に固体
層を設け、その上に該固体層を覆うノズル形成材料であ
る活性エネルギー線硬化材料層と液室形成部材を順次積
層した後に活性エネルギー線を照射して、活性エネルギ
ー線硬化材料を硬化せしめる。その後、２対のヘッドの
中央でダイヤモンドブレードにより高速切断加工を施
す。次いで、切断加工時のチッピングを取り除くため研
磨加工を行い吐出口面を仕上げる。そして最後に、固体
層を除去液により溶解して除くことによりノズルを形成
する方法である。

【０００９】この方法は、ノズルパターン形成〜研磨加
工までの工程ではノズル内が前記固体層によって封止さ
れているので工程中のゴミが入らない。また、切断加工
でチッピングをなくす必要がないため高速で行えるとい
った利点があり、特に、高密度マルチアレイタイプのヘ
ッドにおいては大変有効である。

【００１０】しかしながら該方法では、チッピング発生
率が極端に減少したとはいえ、高密度マルチアレイタイ
プのヘッドでは、１０コ近く発生してしまうという問題
点がある。（密度４００ＤＰＩ，Ａ３サイズヘッドでノ
ズル数は４７００本程度となり、チッピングが１０コ発
生したとしても、ノズル当りの発生率は０．２％程度で
ある。）

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明の目的
は、上記従来技術の問題点を解決し、特に、高密度マル
チアレイタイプの液体噴射記録ヘッドの製造において、
有効かつ新規な製造方法を提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、固体層除去液に溶解する樹脂で形成した
少なくとも液路パターンを有する固体層と、固体層を覆
って形成した液路壁形成材料層とを、基板と蓋板との間
に形成した液体噴射記録ヘッドの製造工程品を吐出口形
成部で切断後、切断面を研磨し、次いで固体層を溶解除
去する液体噴射記録ヘッドの製造方法において、研磨工
程前に、前記固体層を、鉛筆硬度Ｈ以上の硬度に硬化さ
せることを特徴とするものである。

【００１３】また、本発明は、基板上に、感光性組成物
層を積層した後、液路を形成し、さらにその上に蓋板を
積層した液体噴射記録ヘッド工程品の液路に封止物を注
入した後、切断、研磨、及び封止物除去を順次行う液体
噴射記録ヘッドの製造方法において、研磨工程前に、前
記封止物を鉛筆硬度Ｈ以上の硬度に硬化させることを特
徴とするものである。

【００１４】また、本発明は上記製造方法で製造した液
体噴射記録ヘッドである。該記録ヘッドにおいては、イ
ンク吐出エネルギー発生素子が電気エネルギーを与える
ことによって発熱し、インクに状態変化を生ぜしめて吐
出を行わせる電気熱変換体である。

【００１５】さらに、本発明の記録ヘッドは、記録媒体
の全幅にわたってインク吐出口が複数設けられているフ
ルラインタイプのものである。

【００１６】また、本発明は、記録媒体の被記録面に対
向してインクを吐出する吐出口が設けられている液体噴
射記録ヘッドと、該ヘッドを載置するための部材とを少
なくとも具備する記録装置である。

【００１７】以下、本発明を詳細に説明する。

【００１８】本発明の第１の製造方法は図３に示すよう
に基板１上に固体層８を形成し、液路壁形成材料層２を
積層し、さらに蓋板４を積層後、吐出口形成部（Ａ−
Ａ’線部）で切断する。

【００１９】本発明においては、上記方法によって製造
した記録ヘッド工程品の固体層を熱硬化等により、研磨
加工前に、鉛筆硬度Ｈ以上の硬度に硬化させるものであ
る。

【００２０】本発明に用いる基板としては、ガラス、Ｓ
ｉ等が量産性、表面平滑性等の点から好ましい。また、
固体層としては、液路形状のパターニングが可能で、か
つ耐水性をもち、さらに後工程での溶解除去が容易であ
るものが好ましい。具体的には、例えばポジ型ドライフ
ィルム、ポシ型液体レジスト等を挙げることができる。
液路形成材料層としては、紫外線硬化型材料が量産性等
の面から優れており、具体的には、例えば、エポキシ樹
脂、アクリル樹脂、ジグリコールジアルキルカーボネー
ト樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、
ポリイミド樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、尿素
樹脂等を挙げることができる。

【００２１】特に、光によってカチオン重合を開始する
ことのできるエポキシ樹脂、光によってラジカル重合で
きるアクリルエステル基をもったアクリルオリゴマー
類、ポリチオールとポリエンを用いた光付加重合型樹
脂、不飽和シクロアセタール樹脂等は、重合速度が大き
く、重合体の物性も優れており、構造材料として適して
いる。蓋板としては、紫外線等の活性エネルギー線を透
過する耐薬品性に優れたガラス、例えば、パイレックス
７０５９（商標名：コーニング社）、テンパックス（商
標名：ショット社）等が好ましい。

【００２２】次に、本発明の研磨工程に用いる研磨材と
しては、ガラス研磨用のものが好ましい。具体的には例
えば、酸化セリウムを主成分とするＲＯＸ−ＦＰ（商標
名：東北金属社）、ＲＯＭ−Ｍ３（商標名：東北金属
社）等を挙げることができる。これら研磨材は水に分散
させ研磨液として使用する。なお、これら研磨材の粒子
は直径１〜２μｍ程の微粒子であり、乾燥状態で凝集
し、強固に付着する傾向をもつ。また、研磨時のポリッ
シャーとしては、発泡ウレタンが耐久性等の点から好ま
しい。さらに、研磨後の工程に用いる、固体層除去液と
しては、苛性ソーダ、酢酸エチル溶剤等が好ましい。な
お、本発明は上記材料に限定されるものではない。

【００２３】以下、図面に基づいてさらに具体的に説明
する。

【００２４】図１は、切断工程終了後の切断面の様子を
示す記録ヘッド工程品の斜視図である。

【００２５】通常、研磨材粒子は前述のように小さく、
さらに、研磨面となるポリッシャーが緩衝材の働きをす
るため、研磨材粒子単独ではチッピング発生の原因には
ならない。しかし、研磨材粒子どうしが凝集したもの、
あるいは研磨材中にゴミ等の異物１０がチッピングを引
き起こす原因となることを、本発明者は鋭意研究の結果
見いだした。これら異物１０は、研磨時、色々な方向か
ら吐出口周辺部に運ばれてくる。このことは、研磨工程
上避けられない。ここで、従来技術に示されるように、
固体層８が極端に軟らかい場合には、これら異物が固体
層８に食い込んだ後、基板及び／又は液路壁材料層の吐
出口エッジに引っ掛かりチッピングが発生していた。

【００２６】そこで、本発明者は次の知見を見いだし、
本発明を完成するに至った。すなわち、固体層として、
ポジ型ドライフィルム又はポジ型液体レジストを用い、
研磨工程前に熱硬化させる。熱硬化は切断加工の前後ど
ちらでもよい。また研磨加工の前に中間仕上げとして研
削加工を行ってもよい。その結果、前記固体層は、鉛筆
硬度Ｈ以上の硬度と耐水性を有するようになる。したが
って、異物が吐出口より固体層内に入り込むことなく、
チッピングの発生を防ぐことができる。さらに、これら
固体層は、後工程において、苛性ソーダ又は酢酸エチル
溶剤等によって、容易に除去できるので、液路形成時の
残渣の問題も解消できる。

【００２７】本発明の第二の製造方法は図４に示すよう
に基板１上に感光性組成物層１６を積層し、液路を形成
した後、蓋板４を積層する。

【００２８】本発明においては、上記方法によって製造
した記録ヘッド工程品の液路に、封止物を注入した後、
切断、熱硬化、研磨及び封止剤除去の工程を順次、施す
ものである。ここで、封止物は、切断後に注入しても本
発明の効果を著しく低下させるものではない。

【００２９】封止剤としては、ポジ型レジスト等が好ま
しく、また熱硬化条件は１３０℃、１０〜２０分間が好
ましい。

【００３０】封止剤以外の材料、及び発明の作用におい
ては第一の発明と同様であるのでその説明を省略する。

【００３１】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも熱エネルギーを利用して飛翔液滴を形成し、記録
を行うインクジェット記録方式の記録ヘッド、記録装置
において、優れた効果をもたらすものである。

【００３２】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されており、本発明はこれらの基
本的な原理を用いて行うものが好ましい。この記録方式
は所謂オンデマンド型、コンティニュアス型のいずれに
も適用可能である。

【００３３】この記録方式を簡単に説明すると、液体
（インク）が保持されているシートや液路に対応して配
置されている電気熱変換体に、記録情報に対応して液体
（インク）に核沸騰現象を越え、膜沸騰現象を生じるよ
うな急速な温度上昇を与えるための少なくとも一つの駆
動信号を印加することによって、熱エネルギーを発生せ
しめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰させる。このよう
に液体（インク）から電気熱変換体に付与する駆動信号
に一対一対応した気泡を形成できるため、特にオンデマ
ンド型の記録法には有効である。この気泡の成長、収縮
により吐出孔を介して液体（インク）を吐出させて、少
なくとも一つの滴を形成する。この駆動信号をパルス形
状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が行われるの
で、特に応答性に優れた液体（インク）の吐出が達成で
き、より好ましい。このパルス形状の駆動信号として
は、米国特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５
２６２号明細書に記載されているようなものが適してい
る。なお、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米
国特許第４３１３１２４号明細書に記載されている条件
を採用すると、さらに優れた記録を行うことができる。

【００３４】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出孔、液流路、電気熱変換
体を組み合わせた構成（直線状液流路又は直角液流路）
の他に、米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許
第４４５９６００号明細書に開示されているように、熱
作用部が屈曲する領域に配置された構成をもつものも本
発明に含まれる。

【００３５】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出孔とする構成を開
示する特開昭５９年第１２３６７０号公報や熱エネルギ
ーの圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を
開示する特開昭５９年第１３８４６１号公報に基づいた
構成においても本発明は有効である。

【００３６】さらに、本発明が有効に利用される記録ヘ
ッドとしては、記録装置が記録できる記録媒体の最大幅
に対応した長さのフルラインタイプの記録ヘッドがあ
る。このフルラインヘッドは、上述した明細書に開示さ
れているような記録ヘッドを複数組み合わせることによ
ってフルライン構成したものや、一体的に形成された一
個のフルライン記録ヘッドであってもよい。

【００３７】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効で
ある。

【００３８】また、本発明の記録装置に、記録ヘッドに
対する回復手段や、予備的な補助手段等を付加すること
は、本発明の記録装置を一層安定にすることができるの
で好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、記
録ヘッドに対しての、キャッピング手段、クリーニング
手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あるいはこ
れとは別の加熱素子、あるいはこれらの組み合わせによ
る予備加熱手段、記録とは別の吐出を行う予備吐出モー
ドを行う手段を付加することも安定した記録を行うため
に有効である。

【００３９】さらに、記録装置の記録モードとしては黒
色等の主流色のみを記録するモードだけではなく、記録
ヘッドを一体的に構成するか、複数個を組み合わせて構
成したものかのいずれでもよいが、異なる色の複色カラ
ー又は、混色によるフルカラーの少なくとも一つを備え
た装置にも本発明は極めて有効である。

【００４０】以上説明した本発明実施例においては、液
体インクを用いて説明しているが、本発明では室温で固
体状であるインクであっても、室温で軟化状態となるイ
ンクであっても用いることができる。上述のインクジェ
ット装置ではインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲
内で温度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあ
るように温度制御するものが一般的であるから、使用記
録信号付与時にインクが液状をなすものであればよい。

【００４１】加えて、熱エネルギーによるヘッドやイン
クの過剰な昇温をインクの固形状態から液体状態への状
態変化のエネルギーとして使用せしめることで積極的に
防止するか又は、インクの蒸発防止を目的として放置状
態で固化するインクを用いることもできる。いずれにし
ても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってイン
クが液化してインク液状として吐出するものや記録媒体
に到達する時点ではすでに固化し始めるもの等のよう
な、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質の
インク使用も本発明には適用可能である。

【００４２】このようなインクは、特開昭５４−５６８
４７号公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公報に記
載されるような、多孔質シート凹部又は貫通孔に液状又
は固形物として保持された状態で、電気熱変換体に対し
て対向するような形態としてもよい。

【００４３】本発明においては、上述した各インクに対
して最も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行する
ものである。

【００４４】第１１図は本発明により得られた記録ヘッ
ドをインクジェットヘッドカートリッジ（ＩＪＩＣ）と
して装着したインクジェット記録装置（ＩＪＲＡ）の一
例を示す外観斜視図である。

【００４５】図において、１２０はプラテン１２４上に
送紙された記録紙の記録面に対向してインク吐出を行う
ノズル群を具えたインクジェットヘッドカートリッジ
（ＩＪＣ）である。１１６はＩＪＣ１２０を保持するキ
ャリッジＨＣであり、駆動モータ１１７の駆動力を伝達
する駆動ベルト１１８の一部と連結し、互いに平行に配
設された２本のガイドシャフト１１９Ａ及び１１９Ｂと
摺動可能とすることにより、ＩＪＣ１２０の記録紙の全
幅にわたる往復移動が可能となる。

【００４６】１２６はヘッド回復装置であり、ＩＪＣ１
２０の移動経路の一端、例えばホームホジションと対向
する位置に配設される。伝動機構１２３を介したモータ
１２２の駆動力によって、ヘッド回復装置１２６を動作
せしめ、ＩＪＣ１２０のキャッピングを行う。このヘッ
ド回復装置１２６のキャップ部１２６ＡによるＩＪＣ１
２０へのキャッピングに関連させて、ヘッド回復装置１
２６内に設けた適宜の吸引手段によるインク吸引もしく
はＩＪＣ１２０へのインク供給経路に設けた適宜の加圧
手段によるインク圧送を行い、インクを吐出口より強制
的に排出させることによりノズル内の増粘インクを除去
する等の吐出回復処理を行う。また、記録終了時等にキ
ャッピングを施すことによりＩＪＣが保護される。

【００４７】１３０はヘッド回復装置１２６の側面に配
設され、シリコンゴムで形成されるワイピング部材とし
てのブレードである。ブレード１３１はブレード保持部
材１３１Ａにカンチレバー形態で保持され、ヘッド回復
装置１２６と同様、モータ１２２及び伝動機構１２３に
よって動作し、ＩＪＣ１２０の吐出面との係合が可能と
なる。これにより、ＩＪＣ１２０の記録動作における適
切なタイミングで、あるいはヘッド回復装置１２６を用
いた吐出回復処理後に、ブレード１３１をＩＪＣ１２０
の移動経路中に突出させ、ＩＪＣ１２０の移動動作に伴
ってＩＪＣ１２０の吐出面における結露、濡れあるいは
塵埃等をふきとるものである。

【００４８】

【実施例】

実施例１ 図３に示される方法により、液体噴射記録ヘッド（以
下、記録ヘッドと略記する。）工程品を製造した。これ
を＃６００（ダイヤ径２０〜３０μｍ）程度のダイヤモ
ンドブレードにより切断した。

【００４９】次に、固体層として用いたポジ型ドライフ
ィルム（商品名：ＯＺＡＴＥＣ Ｒ２２５、ヘキストジ
ャパン（株））を、１３０℃で１０分〜２０分間、熱硬
化させた。次いで、硬度を測定したところ鉛筆硬度Ｈ以
上であった。

【００５０】上記記録ヘッド工程品を下記要領で研磨し
た。

【００５１】図２は研磨工程の概要を示す説明図であ
る。この研磨装置は定盤１５０の上側表面にポリッシャ
ー１５１（商品名：ＫＳＰ６６、九重電気社製）を設
け、さらにポリッシャー上にキャリア１５３付きリング
１５２を設けた構造になっている。このリング内のキャ
リア１５３に設けられている窓部１５６に、前記切断終
了後の記録ヘッドを、吐出面がポリッシャー１５１面と
垂直に接するように設置した。次に、酸化セリウム、コ
ロイダルシリカよりなる研磨液１００をノズル１５５よ
り添加しながら、リング１５２の自転と、定盤１５０の
公転とにより研磨を行った、このとき研磨速度は１時間
当り数μ〜数十μとした。

【００５２】次に、固体層除去液として苛性ソーダを満
たした洗浄層内で前記研磨加工後の記録ヘッドを洗浄
し、固体層を除去し、チッピングのない吐出口をもつ液
路を形成した。 実施例２ 図４に示される方法により、記録ヘッド工程品を製造し
た。前記工程品の液路に、封止剤として、ポジ型液体レ
ジスト（商品名：ＡＺ４９０３、ヘキストジャパン
（株））を注入した。次に、前記封止剤を１３０℃で１
０〜２０分間熱硬化させた。硬化後の硬度を測定したと
ころ鉛筆硬度Ｈ以上であった。

【００５３】上記工程品を実施例１と同様に切断、研磨
した後、苛性ソーダで洗浄し、チッピングのない吐出口
をもつ液路を完成した。

【００５４】

【発明の効果】以上説明してきたように、固体層又は、
液路封止物に熱硬化等の手段により、鉛筆硬度Ｈ以上の
硬度と耐水性をもたせた後、研磨加工に次いで、固体層
又は液路封止物を除去することにより、チッピングのな
い吐出口をもつ液路を製造することが可能となった。こ
れにより、高密度マルチアレイタイプの液体噴射記録ヘ
ッドの記録品位が著しく向上した。さらに、製造コスト
に最も影響を与える最終記録検査の歩留まりが向上し、
製造コストを大幅に低下させることが可能となった。

【図面の簡単な説明】

【図１】切断工程終了後の切断面の様子を示す記録ヘッ
ド工程品の斜視図である。

【図２】研磨工程を示す工程図である。

【図３】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法の一例
を示す説明図である。

【図４】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法の他の
例を示す説明図である。

【図５】本発明により得られた記録ヘッドをインクジェ
ットヘッドカートリッジとして装着した液体噴射記録装
置の一例を示す斜視図である。

【符号の説明】

１ 基板 ２ 液路形成材料層 ４ 蓋板 ６ インク供給口 ８ 固体層 ９ 液室 １０ 異物 １１ 活性エネルギー線 １３ 吐出口 １４ 液路 １５ 吐出面 １６ 感光性組成物層 １００ 研磨液 １０１ 研磨粒子 １０２ 固体層除去液溶解成分 １１０ 固体層除去液 １１６ キャリッジ １１７ 駆動モータ １１８ 駆動ベルト １１９Ａ，１１９Ｂ ガイドシャフト １２０ インクジェットヘッドカートリッジ １２２ クリーニング用モータ １２３ 伝動機構 １２４ プラテン １２６ キャップ部材 １３０ ブレード １３０Ａ ブレード保持部材 １５０ 定盤 １５１ ポリッシャー １５２ リング １５３ キャリア １５４ 研磨液 １５５ ノズル １５６ 窓部

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液路パターンを形成する液路壁形成材料
   を、基板と蓋板との間に形成し、液路内を封止物により
   封止した液体噴射記録ヘッドの製造工程品を吐出口形成
   部で切断後、切断面を研磨し、次いで封止物を溶解除去
   する液体噴射記録ヘッドの製造方法において、研磨工程
   前に、前記封止物を鉛筆硬度Ｈ以上の硬度に硬化させる
   ことを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。
2. 【請求項２】 請求項１において封止物は、除去液に溶
   解する樹脂で形成した少なくとも液路パターンを有する
   固体層であり、液路壁形成材料は、前記固体層を覆って
   形成し、活性エネルギー線硬化型の材料であり、蓋板は
   活性エネルギー線を透過する材料であることを特徴とす
   る液体噴射記録ヘッドの製造方法。
3. 【請求項３】 請求項１において、液路壁形成材料は感
   光性組成物であり、封止物は基板、液路壁形成材料及び
   蓋板を積層した後に、液路に充填し、後に固体化する材
   料であることを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方
   法。
4. 【請求項４】 請求項１乃至３いずれか記載の製造方法
   で製造した液体噴射記録ヘッド。
5. 【請求項５】 インク吐出エネルギー発生素子が電気エ
   ネルギーを与えることによって発熱し、インクに状態変
   化を生ぜしめて吐出を行わせるための電気熱変換体であ
   る請求項４記載の記録ヘッド。
6. 【請求項６】 記録媒体の記録領域の全幅にわたって吐
   出口が複数設けられているフルラインタイプのものであ
   ることを特徴とする請求項４記載の記録ヘッド。
7. 【請求項７】 記録媒体の被記録面に対向してインクを
   吐出する吐出口が設けられている請求項４記載の記録ヘ
   ッドと、該ヘッドを載置するための部材とを少なくとも
   具備することを特徴とする記録装置。