JP3093033B2 - インクジェット記録ヘッド、その製造方法及びインクジェット記録ヘッドを備えた記録装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録方
式に用いる記録液小滴を発生するためのインクジェット
記録ヘッド、その製造方法、及びインクジェット記録ヘ
ッドを備えた記録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット記録方式に適用されるイ
ンクジェット記録ヘッド（以下、「記録ヘッド」とい
う）には、一般に、インクが吐出されるための吐出口
と、前記吐出口に供給するためのインクを貯える液室
と、前記吐出口と前記液室とを連通する液路と、前記液
路の一部に設けられたインクを吐出するためのエネルギ
ーを発生するエネルギー発生素子と、前記液室に外部か
らインクを供給するための供給口が設けられている。

【０００３】従来の記録ヘッドの製造方法としては次の
ようなものが知られている。

【０００４】（１） エネルギー発生素子が設けられた
第１の基板を備え、ガラスや金属などからなる第２の基
板に切削やエッチングなどの加工手段により吐出口、液
路及び液室を形成するための凹部ならびに前記液室と外
部とを連通するための供給口を設けたのち、前記第１の
基板に前記第２の基板をエネルギー発生素子と液路との
位置を合わせて接着剤により貼り合わせる方法。

【０００５】（２） エネルギー発生素子が設けられた
ガラスなどからなる第１の基板にポジ型もしくはネガ型
の感光性ドライフィルムを貼り、前記感光性ドライフィ
ルムのうち吐出口、液路及び液室に相当するパターンを
マスクもしくは露出させて露光し、現像して前記吐出
口、液路及び液室に相当するパターンの固体層を第１の
基板上に設ける。前記固体層および第１の基板の上に硬
化剤が混合された液状の硬化性材料を適宜厚さに塗布
し、所定の温度で長時間放置して前記硬化性材料を硬化
させる。ついで、前記硬化性材料が硬化した第１の基板
を吐出口を形成する位置で切断して前記固体層の端面を
露出させたのち前記固体層を溶解する溶剤中に浸漬し、
前記硬化性材料が硬化した第１の基板から前記固体層を
溶解除去して内部に液路および液室を形成する空間を設
ける方法（特開昭６１−１５４９７号公報参照）。

【０００６】（３） エネルギー発生素子が設けられた
第１の基板にポジ型もしくはネガ型の感光性ドライフィ
ルムを貼り、前記感光性ドライフィルムのうち吐出口、
液路及び液室に相当するパターンをマスクもしくは露出
させて露光し、現像して前記吐出口、液路及び液室に相
当するパターンの固体層を第１の基板上に設ける。前記
固体層および第１の基板の上に活性エネルギー線により
硬化する活性エネルギー線硬化性材料を適宜厚さに塗布
し、液室の一部を形成するための凹部および供給口が設
けられた活性エネルギー線透過性の第２の基板を前記活
性エネルギー線硬化性材料の上に前記凹部を液室が形成
される予定位置に合わせて貼り付け積層体を作る。つぎ
に、前記活性エネルギー線硬化性材料のうち液室が形成
される予定部分を隠すように第２の基板をマスクして活
性エネルギー線をその第２の基板を通して活性エネルギ
ー線硬化性材料に照射し硬化させる。ついで、前記活性
エネルギー線硬化性材料が硬化された積層体を吐出口を
形成する位置で切断して前記固体層の端面を露出させた
のち前記固体層と未硬化の活性エネルギー線硬化性材料
とを溶解する溶剤中に浸漬し、前記積層体から前記固体
層および未硬化の活性エネルギー線硬化性材料を溶解除
去して内部に液路および液室を形成する空間を設ける方
法（特開昭６２−２５３４５７号公報参照）。

【０００７】

【発明が解決しようとしている課題】上記従来の各記録
ヘッドの製造方法において、（１）の記録ヘッドの製造
方法では、第２の基板に設けられる液室を形成するため
の凹部を大きくすることにより、高速記録に好適な大き
な液室を有する記録ヘッドを製造することができるとい
う利点はあるが、第１の基板と第２の基板とを接着剤に
より貼り合わせる際、第１の基板の微細なエネルギー発
生素子と第２の基板の微細な液路とを精密に位置合わせ
する必要があり、また接着剤で貼り合わせる際、微細な
液路に接着剤が流れ込まない工夫が必要であり、そのた
めの装置が複雑、高価なものとなり、また多量生産性に
欠け、製品のコストアップを引き起こすという問題点が
ある。

【０００８】（２）の記録ヘッドの製造方法では、
（１）の記録ヘッドの製造方法にみられるような第１の
基板と第２の基板との貼り合わせに起因する問題点を解
決できる利点はあるが、液室の容積は第１の基板上に設
けられるパターン状の固体層の厚さと同じ高さに制限さ
れてしまうのであまり大きくすることができず、また、
工程が複雑で時間がかかり、工程数も多いのでやはり多
量生産性に欠け、製品のコストアップを引き起こすとい
う問題点がある。

【０００９】（３）の記録ヘッドの製造方法では、第２
の基板に設ける液室の他の一部を形成するための凹部を
大きくすることにより、大きな液室を有する記録ヘッド
を製造することができるという利点と、（１）の記録ヘ
ッドの製造方法にみられるような第１の基板と第２の基
板との貼り合わせに起因する問題点を解決できる利点と
があるが、（２）の記録ヘッドの製造方法と同様に工程
が複雑で時間がかかり、工程数はさらに多いのでやはり
多量生産性に欠け、製品のコストアップを引き起こすと
いう問題点がある。

【００１０】本発明は、上記従来の技術の有する問題点
に鑑みてなされたものであり、２つの基板を精密に位置
合わせして貼り合わせるという工程を必要とせずに簡単
で、少ない工程により容量の大きな液室を形成すること
により、インク吐出特性が安定で精密、信頼性の高い、
多量生産に適した安価なインクジェット記録ヘッドと、
前記インクジェット記録ヘッドを備えたインクジェット
記録装置と、前記インクジェット記録ヘッドの製造方法
を提供することを目的とするものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、基板上にインク吐出エネルギー発生素子を
配設すると共に、前記基板上に少くとも液路形成用固体
層とインク液室形成用固体層とを前記素子に前記液路形
成用固体層を重ねて形成した後、前記基板上に前記両固
体層を覆ってトランスファーモールド成形によりモール
ド樹脂層を形成し、次いで固体層を除去するインクジェ
ット記録ヘッドの製造方法において、前記液室形成用固
体層の厚さを前記液路形成用固体層の厚さよりも厚く形
成するインクジェット記録ヘッドの製造方法である。

【００１２】また、本発明は、上記製造方法で製造した
インクジェット記録ヘッドである。該記録ヘッドは、イ
ンク吐出エネルギー発生素子が、電気エネルギーを与え
ることによって発熱し、インクに状態変化を生ぜしめて
吐出を行わせるための電気熱変換体であり、記録媒体の
記録領域の全幅にわたって吐出口が複数設けられている
フルラインタイプのものを含むものである。

【００１３】更に、本発明は、記録媒体の被記録面に対
してインクを吐出する吐出口が設けられている上記記録
ヘッドと、該ヘッドを載置するための部材とを少なくと
も具備する記録装置である。

【００１４】以下、図面を参照して本発明を詳細に説明
する。

【００１５】図１は、本発明により得られたインクジェ
ット記録ヘッドの模式的斜視図である。

【００１６】図２から図７は、本発明の基本的な態様を
示すための模式図であり、図１から図７の夫々には、本
発明の方法に関わるインクジェット記録ヘッドの構成と
その製作手順の一例が示されている。尚、本例では、３
つの吐出口を有するインクジェット記録ヘッドが示され
ているが、勿論これ以上の吐出口を有する高密度マルチ
アレイインクジェット記録ヘッドの場合でも同様である
ことは、言うまでもない。

【００１７】まず、本態様においては、例えば図２に示
されるような、ガラス、セラミックス、プラスチックあ
るいは金属等からなる基板１が用いられる。

【００１８】このような基板１は、インク液路構成部材
の一部として機能し、又、後述するレジスト層の支持体
として機能し得るものであれば、その形状、材質等、特
に限定されることなく使用できる。上記基板１上には、
電気熱変換素子あるいは圧電素子等のインク吐出エネル
ギー発生素子２が所望の個数配置される。

【００１９】エネルギー発生素子は、フォトリソグラフ
ィー等の半導体製造技術により形成する。

【００２０】このような、インク吐出エネルギー発生素
子２によってインク小滴を吐出させるための吐出エネル
ギーがインク液に与えられ、記録が行われる。因に、例
えば、上記インク吐出エネルギー発生素子２として電気
熱変換素子が用いられるときには、この素子が近傍のイ
ンクを加熱することにより、吐出エネルギーを発生す
る。又、例えば、圧電素子が用いられるときは、この素
子の機械的振動によって、吐出エネルギーが発生され
る。

【００２１】尚、これらの素子２には、これら素子を動
作させるための制御信号入力用電極が接続されている。
又、一般にはこれら吐出エネルギー発生素子と前記電極
の一部の耐久性を向上させる目的で、保護膜層等の各種
機能層が設けられる場合があるが、勿論本発明において
もこの様な各種機能層を設けることには一向に差し支え
ない。

【００２２】ついで図３に示すように、上記インク吐出
エネルギー発生素子２を含む基板１上に、除去可能な、
例えばレジストからなる液路形成用固体層４を形成す
る。

【００２３】液路形成用固体層４の形成方法としては、
レジストを基板１上に積層し、次いで固体層のパターン
を有するマスクを介して光照射した後、現像する等の公
知の方法が採用できる。レジストとしてはポジ型、ネガ
型等の公知のものが利用できる。上記固体層４は後述す
るように、後の工程で溶解除去するものであるので、除
去可能なものであれば、特にレジストに限らず種々のも
のが使用可能である。

【００２４】続いて、図４に示すように液室形成用固体
層５を基板上の液室形成予定部に設ける。

【００２５】液室形成用固体層５の材料としては、固体
層４に準じるが、液路形成用固体層４と同一材料でなく
てもよい。更に、液室形成用固体層５の形成方法は液路
形成用固体層４のそれに準じる。更に、液室形成用固体
層５は液路形成用固体層４より先に形成することも可能
である。

【００２６】液室形成用固体層５は、液路形成用固体層
４の厚さの２〜１０倍となるように形成することがイン
ク供給を良好にする上から好ましい。

【００２７】固体層４及び５の形成が完了した後、図５
に示すように、記録ヘッドの外形とインク供給口を形成
できる成形上型１０及び成形下型１１を用いて、モール
ド樹脂層６をトランスファーモールド成形により成形す
る。

【００２８】ここでトランスファーモールド成形方法を
説明すると、本実施例のトランスファーモールド成形を
用いる工法として、固体層４，５が形成された基板１を
適切なランナー、ゲート、エア抜き構造を備えたキャビ
ティーからなる上型、下型のいずれかへ挿入したのち型
締めを行う。モールド樹脂６の材料として熱硬化性のエ
ポキシ樹脂を用い、樹脂の予備加熱温度６０〜９０℃、
注入圧力２０〜１４０ｋｇｆ／ｃｍ² 、成形型温度１０
０〜１８０℃、保圧硬化時間１〜１０分及び成形後のポ
ストキュアという一般的な成形条件、工法に従って行う
ことができる。前記する条件は、成形性（形状、樹脂内
の気泡、バリ、フラッシュなど）を確認し、それぞれ適
切なポイントを設定すれば良い。一般に成形温度を高く
すれば、硬化時間は短くて済む。また、注入圧力が高い
程、形状の安定性、気泡の発生が無くなるが、過剰な圧
力は製品へのダメージ、樹脂のバリ、フラッシュの問題
を起こす。ここで、ポストキュアを行う時期としては、
必ずしも成形と連続して行う必要はなく、製品が完成す
るまでのどの時点で行っても良い。従って、工程の都合
の良い段階で行うことができる。もちろん製品の使用状
態によっては、前記工程を除くことも可能である。

【００２９】また、成形後に型から製品を離型する場合
の離型性を良くする目的で、成形型などに離型剤を用い
ることがある。

【００３０】モールド樹脂６の材料としては、前記エポ
キシ樹脂の他に、アリル系樹脂、ジアリルフタレート系
樹脂、シリコン系樹脂、ポリエステル、フェノール、メ
ラミン、成形手段によっては、液状であって、常温硬
化、熱硬化、紫外線硬化などの材料を用いることがで
き、例えば、アクリル樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、
ポリウレタン樹脂、ポリイミド樹脂、尿素樹脂等が挙げ
られる。

【００３１】モールド樹脂６成形手段としては、量産
性、精度、タクトを考えると、トランスファーモールド
成形法が本発明に最も適している。もちろん、他の方法
例えば、射出成形、ポッティング、液状の樹脂を用いた
注型法及び紫外線硬化型の樹脂を用いた選択的露光によ
る成形法等も使用可能である。

【００３２】次いで、固体層４及び５を除去して、図６
に示すようなインク供給口、インク液室、インク液路及
びインク吐出口をもつインクジェット記録ヘッドを完成
する。

【００３３】固体層除去手段としては、適当な溶剤中に
記録ヘッドを浸漬して固体層を溶解除去する方法が好ま
しい。適当な溶剤としては、固体層が例えば、ポジ型レ
ジストの場合は苛性ソーダ等のアルカリ水溶液が好まし
く、その他、アセトン等の有機溶剤が使用できる。更
に、モールド樹脂を侵させないものであれば、前記以外
の溶剤も使用可能である。

【００３４】さらに、除去手段においては、溶剤の攪
拌、超音波等の促進手段を併用することで、より効果的
に除去できることは言うまでもない。

【００３５】ここで、インクの吐出特性はインク液路の
長さにより変化することから、必要とあれば、液路の長
さを調整し、インクの吐出性能を向上させる為に、ウェ
ハー切断法として公知のダイシング法等により、吐出口
部を所望の液路長に切断してもよい。

【００３６】本発明においては、吐出口部の切断を行な
ってから固体層を除去することも可能である。この方法
は、インクジェット記録ヘッドの重要な役割を占めるイ
ンク液路内が、吐出口部切断時に、固体層で充填されい
ることから、切削粉、ゴミ等によるインク液路内の詰ま
りを防止できる上、液路長を短かくした後、固体層を除
去するので、固体層の除去性が向上する利点がある。

【００３７】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも、熱エネルギーを利用して飛翔液滴を形成し、記
録を行うインクジェット記録方式の記録ヘッド、記録装
置に於いて、優れた効果をもたらすものである。

【００３８】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されており、本発明はこれらの基
本的な原理を用いて行うものが好ましい。この記録方式
は所謂オンデマンド型、コンティニュアス型のいずれに
も適用可能である。

【００３９】この記録方式を簡単に説明すると、液体
（インク）が保持されているシートや液路に対応して配
置されている電気熱変換体に、記録情報に対応して液体
（インク）に核沸騰現象を越え、膜沸騰現象を生じる様
な急速な温度上昇を与えるための少なくとも一つの駆動
信号を印加することによって、熱エネルギーを発生せし
め、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせる。この
様に液体（インク）から電気熱変換体に付与する駆動信
号に一対一対応した気泡を形成できるため、特にオンデ
マンド型の記録法には有効である。この気泡の成長、収
縮により吐出口介して液体（インク）を吐出させて、少
なくとも一つの滴を形成する。この駆動信号をパルス形
状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が行なわれるの
で、特に応答性に優れた液体（インク）の吐出が達成で
き、より好ましい。このパルス形状の駆動信号として
は、米国特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５
２６２号明細書に記載されているようなものが適してい
る。尚、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国
特許第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を
採用すると、更に優れた記録を行なうことができる。

【００４０】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液流路、電気熱変換
体を組み合わせた構成（直線状液流路又は直角液流路）
の他に、米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許
第４４５９６００号明細書に開示されている様に、熱作
用部が屈曲する領域に配置された構成を持つものも本発
明に含まれる。

【００４１】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出口とする構成を開
示する特開昭５９年第１２３６７０号公報や熱エネルギ
ーの圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を
開示する特開昭５９年第１３８４６１号公報に基づいた
構成においても本発明は有効である。

【００４２】さらに、本発明が有効に利用される記録ヘ
ッドとしては、記録装置が記録できる記録媒体の最大幅
に対応した長さのフルラインタイプの記録ヘッドがあ
る。このフルラインヘッドは、上述した明細書に開示さ
れているような記録ヘッドを複数組み合わせることによ
ってフルライン構成にしたものや、一体的に形成された
一個のフルライン記録ヘッドであっても良い。

【００４３】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効で
ある。

【００４４】又、本発明の記録装置に、記録ヘッドに対
する回復手段や、予備的な補助手段等を付加すること
は、本発明の記録装置を一層安定にすることができるの
で好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、記
録ヘッドに対しての、キャッピング手段、クリーニング
手段、加圧或は吸引手段、電気熱変換体或はこれとは別
の加熱素子、或はこれらの組み合わせによる予備加熱手
段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出モードを行なう
手段を付加することも安定した記録を行なうために有効
である。

【００４５】更に、記録装置の記録モードとしては黒色
等の主流色のみを記録するモードだけではなく、記録ヘ
ッドを一体的に構成したものか、複数個の組み合わせて
構成したものかのいずれでも良いが、異なる色の複色カ
ラー又は、混色によるフルカラーの少なくとも一つを備
えた装置にも本発明は極めて有効である。

【００４６】以上説明した本発明実施例においては、液
体インクを用いて説明しているが、本発明では室温で固
体状であるインクであっても、室温で軟化状態となるイ
ンクであっても用いることができる。上述のインクジェ
ット装置ではインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲
内で温度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあ
るように温度制御するものが一般的であるから、使用記
録信号付与時にインクが液状をなすものであれば良い。

【００４７】加えて、熱エネルギーによるヘッドやイン
クの過剰な昇温をインクの固形状態から液体状態への状
態変化のエネルギーとして使用せしめることで積極的に
防止するか又は、インクの蒸発防止を目的として放置状
態で固化するインクを用いることも出来る。いずれにし
ても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってイン
クが液化してインク液状として吐出するものや記録媒体
に到達する時点ではすでに固化し始めるもの等のよう
な、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質を
持つインクの使用も本発明には適用可能である。

【００４８】このようなインクは、特開昭５４−５６８
４７号公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公報に記
載されるような、多孔質シートの凹部又は貫通孔に液状
又は固形物として保持された状態で、電気熱変換体に対
して対向するような形態としても良い。

【００４９】本発明において、上述した各インクにたい
して最も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行する
ものである。

【００５０】図７は本発明により得られた記録ヘッドを
インクジェットヘッドカートリッジ（ＩＪＣ）として装
着したインクジェット記録装置（ＩＪＲＡ）の一例を示
す外観斜視図である。

【００５１】図において、２０はプラテン２４上に送紙
されてきた記録紙の記録面に対向してインク吐出を行な
うノズル群を具えたインクジェットヘッドカートリッジ
（ＩＪＣ）である。１６はＩＪＣ２０を保持するキャリ
ッジＨＣであり、駆動モータ１７の駆動力を伝達する駆
動ベルト１８の一部と連結し、互いに平行に配設された
２本のガイドシャフト１９Ａおよび１９Ｂと摺動可能と
することにより、ＩＪＣ２０の記録紙の全幅にわたる往
復移動が可能となる。

【００５２】２６はヘッド回復装置であり、ＩＪＣ２０
の移動経路の一端、例えばホームポジションと対向する
位置に配設される。伝動機構２３を介したモータ２２の
駆動力によって、ヘッド回復装置２６を動作せしめ、Ｉ
ＪＣ２０のキャッピングを行なう。このヘッド回復装置
２６のキャップ部２６ＡによるＩＪＣ２０へのキャッピ
ングに関連させて、ヘッド回復装置２６内に設けた適宜
の吸引手段によるインク吸引もしくはＩＪＣ２０へのイ
ンク供給経路に設けた適宜の加圧手段によるインク圧送
を行い、インクを吐出口より強制的に排出させることに
よりノズル内の増粘インクを除去する等の吐出回復処理
を行なう。また、記録終了時等にキャッピングを施すこ
とによりＩＪＣが保護される。

【００５３】３０はヘッド回復装置２６の側面に配設さ
れ、シリコンゴムで形成されるワイピング部材としての
ブレードである。ブレード３１はブレード保持部材３１
Ａにカンチレバー形態で保持され、ヘッド回復装置２６
と同様、モータ２２および伝動機構２３によって動作
し、ＩＪＣ２０の吐出面との係合が可能となる。これに
より、ＩＪＣ２０の記録動作における適切なタイミング
で、あるいはヘッド回復装置２６を用いた吐出回復処理
後に、ブレード３１をＩＪＣ２０の移動経路中に突出さ
せ、ＩＪＣ２０の移動動作に伴なってＩＪＣ２０の吐出
面における結露、濡れあるいは塵埃等をふきとるもので
ある。

【００５４】

【実施例】以下に実施例を示し、本発明を更に具体的に
説明する。 実施例１ 図２において使用する基板１にシリコンウェハーを用
い、基板１上には、電気熱変換体２（材質ＨｆＢ₂ から
なるヒーター）と前記電気熱変換体２に対応する電極３
（材質Ａｌ）を蒸着、スパッタリング、エッチングなど
の半導体製造プロセスにより成膜形成し所定の間隔を置
いて並べ、該一面を素子面とした。

【００５５】また、図示されていないが、耐久性の向上
などを目的として、各電極３、各電気熱変換体２を含め
て素子面に保護膜などの各種の機能層を設けた。

【００５６】前記基板１上にポジレジストを所定の厚さ
にスピンナーコーティングし、各電気熱変換体２に相対
するインク液路と、液室となるパターンマスクを用い
て、露光、現像工程を経て、液路形成用固体層４を形成
した。

【００５７】次いで、液室となる部分に相当する部分の
パターンを設けたスクリーン印刷版を用いて、本実施例
では、水溶性のソルダーレジスト（商品名：ソルダーマ
スクレジストＴＣ−５６４−Ｓ−ＳＮ、サンノプコ社
製）を用いて、印刷法により液室形成用固体層５を形成
した。ここで、本実施例は、固体層５の形成手段とし
て、スクリーン印刷法を用いたが、これに限らず固体層
４の形状を浸すことなく形成できる手段、例えば、転写
法、スタンプ法等を用いても一向に差し支えない。本発
明の重要なポイントは、インク液室に相当する部分をイ
ンク吐出口部及びインク液路部よりも少なくとも高く形
成することに特徴があり、その形成手段は、特に限定す
るものではない。

【００５８】次に、固体層５を形成した基板１をトラン
スファーモールド成形機に挿入しモールド樹脂層６を成
形した。成形条件はモールド樹脂として、エポキシ樹脂
を用い、予備加熱温度８０℃、成形型温度１５０℃、注
入圧力７０ｋｇｆ／ｃｍ² 及び保圧硬化時間１２０分と
した。

【００５９】次いで、所定のインク液路長さに吐出口部
をウェハーを切断する公知のダイシング方法により切断
し、吐出口面を得た。

【００６０】次いで、固体層４，５を苛性ソーダ５ｗｔ
％水溶液で溶解除去し、本発明のインクジェット記録ヘ
ッドを得た。 実施例２ 液路形成用固体層の形成材料として、水溶性のネガ型ド
ライフィルム（以下、ネガＤＦと記す）を用いて、素子
面を形成した基板上に、ラミネーターによりネガＤＦを
積層した。次いで、所定のパターンマスクを用いて、露
光、現像し、液路形成用固体層を形成した。

【００６１】次いで、液路形成用固体層上に再度ラミネ
ーターによりネガＤＦを積層し、インク液室に相当する
所定のパターンマスクを用いて、露光、現像し、液室形
成用固体層を形成した。

【００６２】固体層形成方法を上記方法に変えた以外は
実施例１と同様にインクジェット記録ヘッドを製造し
た。

【００６３】

【発明の効果】以上説明した本発明によってもたらされ
る効果は、下記に列挙される通りである。

【００６４】１） ヘッド製作の為の主要工程が、フォ
トレジストや、ドライフィルム等を用いたフォトリソグ
ラフィー技術による為、ヘッドの細密部を所望のパター
ンで、しかも極めて容易に形成できるがばかりか、同構
成の多数のヘッドを同時に加工することも容易である。

【００６５】２） スクリーン印刷法等による容易な方
法で、高さの異なる２つの固体層を形成することによ
り、大容積をもつインク液室を形成できる。インクを一
時的に貯えるインク液室を大きく構成することによっ
て、特に吐出口の多い構成の記録ヘッドにおいても、イ
ンク供給が安定し、安定なインク吐出が得られる。

【００６６】３） 複雑な金型等を用いずに、トランス
ファーモールド成形法等のモールド成形法により記録ヘ
ッドの外形及びインク供給口を成形できるので、基板と
の接着性、強度、耐熱性、に優れたインクジェット記録
ヘッドを容易に、かつ安価に作製できる。

【００６７】４） 吐出口の数に左右されず高密度マル
チアレイインクジェット記録ヘッドであっても、歩留り
良く、また、簡単な手段で得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るインクジェット記録ヘッドの一構
成例を示す模式的斜視図である。

【図２】本発明の一実施例において、インク吐出エネル
ギー発生素子と電極を配設した基板を示す模式的断面図
である。

【図３】本発明の一実施例において、液路形成用固体層
でインク液路、インク液室となるパターンを形成したと
ころを示す模式的断面図である。

【図４】本発明の一実施例において、液室形成用固体層
をスクリーン印刷によりインク液室に相当する部分に形
成したところを示す模式的断面図である。

【図５】本発明の一実施例において、トランスファーモ
ールド成形によりモールド樹脂層を成形したところを示
す模式的断面図である。

【図６】本発明の一実施例において、固体層を除去し
て、インクジェット記録ヘッドとしての機能が完成した
ところを示す模式的断面図である。

【図７】本発明に係るインクジェット記録ヘッドを備え
た記録装置を示す模式的斜視図である。

【符号の説明】

１ 基板 ２ インク吐出エネルギー発生素子 ３ 制御信号入力用電極 ４ 液路形成用固体層 ５ 液室形成用固体層 ６ モールド樹脂 ７ インク供給口 ８ インク液路 ９ インク吐出口 １０ 成形上型 １１ 成形下型 １６ キャリッジ １７ 駆動モータ １８ 駆動ベルト １９Ａ，１９Ｂ ガイドシャフト ２０ インクジェットヘッドカートリッジ ２２ クリーニング用モータ ２３ 伝導機構 ２４ プラテン ２６ キャップ部材 ３０ ブレード ３０Ａ ブレード保持部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−90355（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B41J 2/16 B41J 2/05

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板上にインク吐出エネルギー発生素子
   を配設すると共に、前記基板上に少なくとも液路形成用
   固体層とインク液室形成用固体層とを前記素子に前記液
   路形成用固体層を重ねて形成した後、前記基板上に前記
   両固体層を覆ってトランスファーモールド成形によりモ
   ールド樹脂層を形成し、次いで固体層を除去するインク
   ジェット記録ヘッドの製造方法において、前記液室形成
   用固体層の厚さを前記液路形成用固体層の厚さよりも厚
   く形成することを特徴とするインクジェット記録ヘッド
   の製造方法。
2. 【請求項２】 請求項１記載の製造方法で製造したこと
   を特徴とするインクジェット記録ヘッド。
3. 【請求項３】 インク吐出エネルギー発生素子が電気エ
   ネルギーを与えることによって発熱し、インクに状態変
   化を生ぜしめて吐出を行わせるための電気熱変換体であ
   る請求項２記載の記録ヘッド。
4. 【請求項４】 記録媒体の記録領域の全幅にわたって吐
   出口が複数設けられているフルラインタイプのものであ
   ることを特徴とする請求項２記載の記録ヘッド。
5. 【請求項５】 記録媒体の被記録面に対してインクを吐
   出する吐出口が設けられている請求項２記載の記録ヘッ
   ドと、該ヘッドを載置するための部材とを少なくとも具
   備することを特徴とする記録装置。