JP3107876B2 - インクジェット記録ヘッドの製造方法、該製造方法で製造したインクジェット記録ヘッドおよび該記録ヘッドを備えた記録装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法に関し、特にモールド成形法による外形形
成方法に関する。また、本発明は該製造方法で製造した
インクジェット記録ヘッド及び該記録ヘッドを備えた記
録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット記録方式に適用されるイ
ンクジェット記録ヘッド（以下、「記録ヘッド」とい
う）には、一般に、インクが吐出されるための吐出口
と、前記吐出口に供給するためのインクを貯える液室
と、前記吐出口と前記液室とを連通する液路と、前記液
路の一部に設けられたインクを吐出するためのエネルギ
ーを発生するエネルギー発生素子と、前記液室に外部か
らインクを供給するためのインク供給口が設けられてい
る。

【０００３】従来の記録ヘッドの製造方法としては次の
ようなものが知られている。

【０００４】（１）エネルギー発生素子が設けられた第
１の基板を備え、ガラスや金属などからなる第２の基板
に切削やエッチングなどの加工手段によりインク吐出
口、液路及びインク液室を形成するための凹部ならびに
前記液室と外部とを連通するためのインク供給口を設け
たのち、前記第１の基板に前記第２の基板をエネルギー
発生素子と液路との位置を合わせて接着剤により貼り合
わせる方法。

【０００５】（２）エネルギー発生素子が設けられたガ
ラスなどからなる第１の基板にポジ型もしくはネガ型の
感光性ドライフィルムを貼り、前記感光性ドライフィル
ムのうちインク吐出口、液路及びインク液室に相当する
パターンをマスクもしくは露出させて露光し、現像して
前記インク吐出口、液路及びインク液室に相当するパタ
ーンの固体層を第１の基板上に設ける。前記固体層およ
び第１の基板の上に硬化剤が混合された液状の硬化性材
料を適宜厚さに塗布し、所定の温度で長時間放置して前
記硬化性材料を硬化させる。ついで、前記硬化性材料が
硬化した第１の基板を吐出口を形成する位置で切断して
前記固体層の端面を露出させたのち前記固体層を溶解す
る溶剤中に浸漬し、前記硬化性材料が硬化した第１の基
板から前記固体層を溶解除去して内部に液路およびイン
ク液室を形成する空間を設ける方法（特開昭６１−１５
４９７号公報参照）。

【０００６】（３）エネルギー発生素子が設けられた第
１の基板にポジ型もしくはネガ型の感光性ドライフィル
ムを貼り、前記感光性ドライフィルムのうちインク吐出
口、液路及びインク液室に相当するパターンをマスクも
しくは露出させて露光し、現像して前記インク吐出口、
液路及びインク液室に相当するパターンの固体層を第１
の基板上に設ける。前記固体層および第１の基板の上に
活性エネルギー線により硬化する活性エネルギー線硬化
性材料を適宜厚さに塗布し、インク液室の一部を形成す
るための凹部およびインク供給口が設けられた活性エネ
ルギー線透過性の第２の基板を前記活性エネルギー線硬
化性材料の上に前記凹部を液室が形成される予定位置に
合わせて貼り付け積層体を作る。つぎに、前記活性エネ
ルギー線硬化性材料のうちインク液室が形成される予定
部分を隠すように第２の基板をマスクして活性エネルギ
ー線をその第２の基板を通して活性エネルギー線硬化性
材料に照射し硬化させる。ついで、前記活性エネルギー
線硬化性材料が硬化された積層体を吐出口を形成する位
置で切断して前記固体層の端面を露出させたのち前記固
体層と未硬化の活性エネルギー線硬化性材料とを溶解す
る溶剤中に浸漬し、前記積層体から前記固体層および未
硬化の活性エネルギー線硬化性材料を溶解除去して内部
に液路およびインク液室を形成する空間を設ける方法
（特開昭６２−２５３４５７号公報参照）。

【０００７】（４）最近トランスファーモールドによる
インク液路、インク液室、インク供給口及び天板からな
るモールド樹脂層を一括成形する製造方法が提案されて
いる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の各記録ヘッ
ドの製造方法において、（１）の記録ヘッドの製造方法
では、第２の基板に設けられるインク液室を形成するた
めの凹部を大きくすることにより、高速記録に好適な大
きなインク液室を有する記録ヘッドを製造することがで
きるという利点はあるが、第１の基板と第２の基板とを
接着剤により貼り合わせる際、第１の基板の微細なエネ
ルギー発生素子と第２の基板な微細な液路とを精密に位
置合わせする必要があり、また接着剤で貼り合わせる
際、微細な液路に接着剤が流れ込まない工夫が必要であ
り、そのための装置が複雑、高価なものとなり、また多
量生産性に欠け、製品のコストアップを引き起こすとい
う問題点がある。

【０００９】（２）の記録ヘッドの製造方法では、
（１）の記録ヘッドの製造方法にみられるような第１の
基板と第２の基板とを貼り合わせる際に発生する問題点
を解決できる利点はある。しかしながら、インク液室の
容積は第１の基板上に設けられるパターン状の固体層の
厚さと同じ高さに制限されてしまうのであまり大きくす
ることができず、また、工程が複雑で時間がかかり、工
程数も多いのでやはり多量生産性に欠け、製品のコスト
アップを引き起こすという問題点がある。

【００１０】（３）の記録ヘッドの製造方法では、第２
の基板に設けるインク液室の一部を形成するための凹部
を大きくすることにより、大きな液室を有する記録ヘッ
ドを製造することができるという利点と、（１）の記録
ヘッドの製造方法に見られるような第１の基板と第２の
基板とを貼り合わせる際に発生する問題点を解決できる
利点とがある。しかしながら、（２）の記録ヘッドの製
造方法と同様に工程が複雑で時間がかかり、工程数はさ
らに多いのでやはり多量生産性に欠け、製品のコストア
ップを引き起こすという問題点がある。

【００１１】（４）の記録ヘッドの製造方法では、２つ
の基板を精密に位置合わせして貼り合わせるという工程
を必要とせずに簡単で、少ない工程により精密、信頼性
の高い、多量生産に適した安価なインクジェット記録ヘ
ッドを製造することができるという利点がある。しかし
ながらモールド樹脂層の硬化収縮およびモールド樹脂層
と基板の膨張係数の違いに起因する熱収縮による応力が
記録ヘッドに発生しているため、まれに高温高湿等に長
時間おかれると、モールド樹脂層と基板との界面に剥が
れが生じインクの吐出に影響をおよぼすことがある。
又、同様に高温に長時間おかれるとインクにより樹脂が
膨張し、界面に剥がれが生じインクの吐出に影響をおよ
ぼすことがある。

【００１２】本発明は特に（４）の記録ヘッドの製造方
法に関し上記問題点に鑑みてなされたものであり、長期
にわたり高温高湿でもインクの吐出に影響をおよぼさな
いインクジェット記録ヘッドおよびそれに用いるトラン
スファーモールド用樹脂組成物を提供することを目的と
するものである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明者等は、高温高湿
で長時間保存してもモールド樹脂層と基板との界面に剥
離の生じない記録ヘッドを得るために研究を重ねた結果
次の点が明らかになった。

【００１４】すなわち、 １．樹脂の耐インク性を向上する、 ２．硬化樹脂の弾性率を下げ熱収縮による応力を緩和す
る、ことによりモールド樹脂層と基板との剥離を軽減す
ることができるものである。更に上記条件を満たすもの
として、ポリサルファイド骨格を主鎖にもつエポキシ樹
脂をモールド成形用の樹脂組成物に含有させることが有
効であることを見出した。その作用機構は明らかではな
いが、ポリサルファイド構造の耐水性及び柔軟性が、樹
脂硬化体としての耐インク性及び弾性率の低下をもたら
すものと考えられる。

【００１５】

【００１６】

【００１７】また、本発明は、インクを吐出させるため
のエネルギー発生素子を有する基板上に少なくとも液室
を含む液路パターンを有する固体層をエネルギー発生素
子に対応させて設け、該固体層を有する基板を型に組み
込み、次いで、前記基板と該型との間に形成された空間
にトランスファーモールド成形により該基板上に前記固
体層を覆うモールド樹脂層を形成し、次いで、前記型を
離型し、固体層を溶解除去することによりインク供給口
を含むインク液室、インクを吐出するためのインク吐出
口及び前記液室と前記吐出口とを連通する液路を形成す
るインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記
モールド樹脂層を、常温で液体であるポリサルファイド
骨格を主鎖にもつエポキシ樹脂を少なくとも含んでなる
トランスファーモールド樹脂組成物の硬化体で構成する
ことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法
である。

【００１８】また、本発明は、上記製造方法で製造した
インクジェット記録ヘッドに関し、エネルギー発生素子
が、電気エネルギーを与えることによって発熱しインク
に状態変化を生ぜしめて吐出を行わせるための電気熱変
換体であるもの、記録媒体の記録領域の全幅にわたって
吐出口が複数設けられているフルラインタイプのものを
含むものである。

【００１９】更に、本発明は、記録媒体の被記録面に対
してインクを吐出する吐出口が設けられている上記記録
ヘッドと、該記録ヘッドを載置するための部材とを少な
くとも具備する記録装置である。

【００２０】以下、本発明を詳細に説明する。

【００２１】本発明の樹脂組成物を構成する材料として
は、エポキシ樹脂、硬化剤、硬化促進剤等がある。

【００２２】エポキシ樹脂は、単独あるいは複数種の混
合物として使用できる。単独で使用する場合は、ポリサ
ルファイド骨格を主鎖にもつものを使用する。また、複
数種の混合物として使用する場合には、ポリサルファイ
ド変性エポキシ樹脂ＦＬＥＰ−１０、ＰＬＥＰ−５０及
びＦＬＥＰ−６０（商品名：東レチオコール製）等の常
温で液体のポリサルファイド骨格を主鎖にもつエポキシ
樹脂及び従来公知のエポキシ樹脂を使用する。そのよう
なエポキシ樹脂としては、上記樹脂の他に例えば、ビス
フェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポ
キシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、脂環
式エポキシ樹脂、脂肪族系エポキシ樹脂、グリシジルエ
ーテル型エポキシ樹脂等がある。

【００２３】また硬化剤としては、酸無水物及びアミン
系硬化剤が使用できる。酸無水物としては、例えば、無
水フタル酸、無水マレイン酸、無水トリメリット酸、無
水パイロメリット酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、テト
ラヒドロ無水フタル酸、無水メチルナジック酸、無水ナ
ジック酸、無水グルタル酸等の公知のものが使用でき
る。アミン系硬化剤としては、メタフェニレンジアミ
ン、４，４’−ジアミノジフェニルメタン、４，４’−
ジアミノジフェニルスルホン、メタキシリレンジアミ
ン、テトラエチレンペンタミン、ジエチルアミン、プロ
ピルアミン等の公知のものが使用できる。

【００２４】また硬化促進剤としては、三級アミン、イ
ミダゾール類、カルボン酸金属塩及びリン化合物等を挙
げることができる。

【００２５】更に、本発明の樹脂組成物は、上記成分以
外に必要に応じて、充填剤、着色防止剤、劣化防止剤、
離型剤等の従来公知の添加剤を使用してもよい。

【００２６】本発明の樹脂組成物の好ましい配合量は、
エポキシ樹脂１００部、硬化剤５５部、硬化促進剤１
部、更に必要に応じて充填剤１４部であり、溶融混合法
等の公知の技術により混練して得るものである。

【００２７】以下に示す図１ないし図５は、本発明のイ
ンクジェット記録ヘッドの製造方法の手順を例示したも
のであり、図６は本発明のインクジェット記録ヘッドの
一構成例を示すものである。

【００２８】本発明においては、まず図１に示すよう
に、ガラス、シリコンウェハ又はセラミック等からなる
基板２１上に、電気熱変換体又は圧電素子等のエネルギ
ー発生素子２２ａ及び制御信号入力用電極２２を設置
し、素子面２１ａを形成する。次に、図２に示すよう
に、少なくともインク液室部２６ｃ及び液路部２６ｂの
パターンを有する固体層２６をフォトリソグラフィー等
の公知の手法により形成する。ここで固体層の材料とし
ては、高精度ポジ型めっきレジスト等が使用できる。な
お、上図ではインク吐出口が３つの場合を示したが、こ
れ以上のインク吐出口をもつマルチアレイタイプの記録
ヘッドの場合も、勿論、同様にして製造できる。

【００２９】次に、固体層を形成した基板を、図３に示
すように、上金型２８と下金型２７の間に設置し型締し
た後、トランスファーモールド成形を行う。

【００３０】ここで、トランスファーモールド成形につ
いて説明すると、上金型２８はキャビティ部２８ａ及び
突出部２８ｂを備えており、更にこのキャビティ部２８
ａは、ランナー、ゲート、エア抜き構造を備えており、
ここにモールド樹脂が送り込まれ硬化成形される。キャ
ビティー部へ送り込まれる前の樹脂の予備加熱温度は６
０〜９０℃が好ましい。成形条件としては、注入圧力２
０〜１４０kgf/cm² 、成形型温度１００〜１８０℃、保
圧硬化時間１〜１０分及び成形後のポストキュアからな
る一般的な条件が適用できる。成形時は、成形性（形
状、樹脂内の気泡、バリ、フラッシュ等）を見極めなが
ら、上記範囲内で、夫々適切なポイントを設定する。一
般に成形型温度が高い程、硬化時間は短い。また注入圧
力が高い程、形状の安定性が向上し、気泡の発生が減少
するが、過剰な圧力は製品へのダメージ、樹脂のバリ、
フラッシュ等の問題を引き起こす。また、ポストキュア
を行う時期としては、必ずしも成形と連続して行う必要
はなく、製品が完成するまでのどの時点で行っても良
い。従って、工程の都合の良い段階で行うことができ
る。もちろん製品の使用状態によっては、前記工程を除
くことも可能である。

【００３１】また、成形後に型から製品を離型する場合
の離型性を良くする目的で、成形型などに離型剤を用い
ることがある。

【００３２】成形終了後は、必要に応じて吐出面を切
断、研磨し、図４に示すようなインクジェット記録ヘッ
ドの工程品を作成する。図中２９は本発明の樹脂組成物
の硬化体よりなるモールド樹脂層である。３０は吐出口
面である。

【００３３】次いで、適当な溶剤で固体層を溶解除去
し、図５に示すようなインク供給口２９ｄを含むインク
液室２９ｃ、液路２９ｂ及びインク吐出口２９ａを完成
する。ここで固体層を除去する溶剤としては、アセト
ン、ＮａＯＨ水溶液等を挙げることができる。前記溶剤
はエポキシ樹脂組成物よりなるモールド樹脂層を侵さな
いものである。

【００３４】この後、インクジェット記録ヘッドはさま
ざまな洗浄、表面処理等を実施し、フィルター等の補助
部品を装着して最終製品を完成させるが、ここでは本発
明の目的と直接関係ないので省略する。

【００３５】図６は上記製造方法に従って製造した、本
発明の記録ヘッドの一構成例を示す一部破断図である。

【００３６】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも、熱エネルギーを利用して記録液滴を形成し、記
録を行うインクジェット記録方式の記録ヘッド、記録装
置に於いて、優れた効果をもたらすものである。

【００３７】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されており、本発明はこれらの基
本的な原理を用いて行なうものが好ましい。この記録方
式は所謂オンデマンド型、コンティニュアス型のいずれ
にも適用可能である。

【００３８】この記録方式を簡単に説明すると、液体
（インク）が保持されているシートや液路に対応して配
置されている電気熱変換体に、記録情報に対応して液体
（インク）に核沸騰現象を越え、膜沸騰現象を生じる様
な急速な温度上昇を与えるための少なくとも一つの駆動
信号を印加することによって、熱エネルギーを発生せし
め、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせる。この
様に液体（インク）から電気熱変換体に付与する駆動信
号に一対一対応した気泡を形成できるため、特にオンデ
マンド型の記録法には有効である。この気泡の成長、収
縮により吐出孔を介して液体（インク）を吐出させて、
少なくとも一つの滴を形成する。この駆動信号をパルス
形状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が行なわれる
ので、特に応答性に優れた液体（インク）の吐出が達成
でき、より好ましい。このパルス形状の駆動信号として
は、米国特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５
２６２号明細書に記載されているようなものが適してい
る。尚、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国
特許第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を
採用すると、更に優れた記録を行なうことができる。

【００３９】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出孔、液路、電気熱変換体
を組み合わせた構成（直線状液路又は直角液路）の他
に、米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許第４
４５９６００号明細書に開示されている様に、熱作用部
が屈曲する領域に配置された構成を持つものも本発明に
含まれる。

【００４０】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出孔とする構成を開
示する特開昭５９年第１２３６７０号公報や熱エネルギ
ーの圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を
開示する特開昭５９年第１３８４６１号公報に基づいた
構成においても本発明は有効である。

【００４１】更に、本発明が有効に利用される記録ヘッ
ドとしては、記録装置が記録できる記録媒体の最大幅に
対応した長さのフルラインタイプの記録ヘッドがある。
このフルラインヘッドは、上述した明細書に開示されて
いるような記録ヘッドを複数組み合わせることによって
フルライン構成にしたものや、一体的に形成された一個
のフルライン記録ヘッドであっても良い。

【００４２】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能に成る交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効で
ある。

【００４３】又、本発明の記録装置に、記録ヘッドに対
する回復手段や、予備的な補助手段等を付加すること
は、本発明の記録装置を一層安定にすることができるの
で好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、記
録ヘッドに対しての、キャピング手段、クリーニング手
段、加圧或は吸引手段、電気熱変換体或はこれとは別の
加熱素子、或はこれらの組み合わせによる予備加熱手
段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出モードを行なう
手段を付加することも安定した記録を行なうために有効
である。

【００４４】更に、記録装置の記録モードとしては黒色
等の主流色のみを記録するモードだけではなく、記録ヘ
ッドを一体的に構成したものか、複数個の組み合わせて
構成したものかのいずれでも良いが、異なる色の複色カ
ラー又は、混色によるフルカラーの少なくとも一つを備
えた装置にも本発明は極めて有効である。

【００４５】以上説明した本発明実施例においては、液
体インクを用いて説明しているが、本発明では室温で固
体状であるインクであっても、室温で軟化状態となるイ
ンクであっても用いることができる。上述のインクジェ
ット装置ではインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲
内で温度調整を行なってインクの粘性を安定吐出範囲に
あるように温度制御するものが一般的であるから、使用
記録信号付与時にインクが液状をなすものであれば良
い。

【００４６】加えて、熱エネルギーによるヘッドやイン
クの過剰な昇温をインクの固形状態から液体状態への状
態変化のエネルギーとして使用せしめることで積極的に
防止するか又は、インクの蒸発防止を目的として放置状
態で固化するインクを用いることもできる。いずれにし
ても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってイン
クが液化してインク液状として吐出するものや記録媒体
に到達する時点ではすでに固化し始めるもの等のよう
な、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質を
持つインクの使用も本発明には適用可能である。

【００４７】このようなインクは、特開昭５４−５６８
４７号公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公報に記
載されるような、多孔質シートの凹部又は貫通孔に液状
又は固形物として保持された状態で、電気熱変換体に対
して対抗するような形態としても良い。

【００４８】本発明において、上述した各インクにたい
して最も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行する
ものである。

【００４９】図７は本発明により得られた記録ヘッドを
インクジェットヘッドカートリッジ（ＩＪＣ）として装
着したインクジェット記録装置（ＩＪＲＡ）の一例を示
す外観斜視図である。

【００５０】図において、１２０はプラテン１２４上に
送紙されてきた記録紙の記録面に対向してインク吐出を
行うノズル群を備えたインクジェットヘッドカートリッ
ジ（ＩＪＣ）である。１１６はＩＪＣ１２０を保持する
キャリッジＨＣであり、駆動モータ１１７の駆動力を伝
達する駆動ベルト１１８の一部と連結し、互いに平行に
配設された２本のガイドシャフト１１９Ａおよび１１９
Ｂと摺動可能とすることにより、ＩＪＣ１２０の記録紙
の全幅にわたる往復移動が可能となる。

【００５１】１２６はヘッド回復装置であり、ＩＪＣ１
２０の移動経路の一端、例えばホームポジションと対向
する位置に配設される。伝導機構２３を介してモータ１
２２の駆動力によって、ヘッド回復装置１２６を動作せ
しめ、ＩＪＣ１２０のキャッピングを行なう。このヘッ
ド回復装置１２６のキャップ部１２６ＡによるＩＪＣ１
２０へのキャッピングに関連させて、ヘッド回復装置１
２６内に設けた適宜の吸引手段によるインク吸引もしく
はＩＪＣ１２０へのインク供給経路に設けた適宜の加圧
手段によるインク圧送を行ない、インクを吐出口より強
制的に排出させることによるノズル内の増粘インクを除
去する等の吐出回復処理を行なう。また、記録終了時等
にキャッピングを施すことによりＩＪＣが保護される。

【００５２】１３０はヘッド回復装置１２６の側面に配
設され、シリコンゴムで形成されるワイピング部材とし
てのブレードである。ブレード１３１はブレード保持部
材１３１Ａにカンチレバー形態で保持され、ヘッド回復
装置１２６と同様、モータ１２２および伝動機構１２３
によって動作し、ＩＪＣ１２０の吐出面との係合が可能
となる。これにより、ＩＪＣ１２０の記録動作における
適切なタイミングで、あるいはヘッド回復装置１２６を
用いた吐出回復処理後に、ブレード１３１をＩＪＣ１２
０の移動経路中に突出させ、ＩＪＣ１２０の移動動作に
伴ってＩＪＣ１２０の吐出面における結露、濡れあるい
は塵埃等をふきとるものである。

【００５３】

【実施例】以下、実施例により、本発明を更に具体的に
説明する。 実施例１ まず、エポキシ樹脂としてエピコート１００１（商品
名、油化シェル社製）８０部及びトリグリシジルイソシ
アネート（日産化学社製）２０部を用意し、これに硬化
剤としてテトラヒドロ無水フタル酸（新日本理化（株）
製）５５部及び硬化触媒２Ｅ４ＭＺ（四国化成工業製）
１部を加え、加熱溶融しながら混合し、硬化反応を進行
させ、１３０℃におけるゲル化時間４０秒のＢステージ
状のエポキシ樹脂を作製した。この樹脂を常温まで冷却
した後、粉砕したものに、ポリサルファイド骨格を主鎖
にもち、常温で液体状のエポキシ樹脂ＦＬＥＰ６０（商
品名、東レチオコール株式会社製）３０部を混合し、次
いで打錠して、エポキシ樹脂組成物タブレットを得た。

【００５４】次に、ガラスからなる基板上に電気熱変換
体及びアルミ電極を設置した。次いで、該基板上に高精
度ポジ型めっきレジストを厚さ３０μm に塗布し、硬化
させた後、パターンマスクを介して露光、更に加熱現像
を施した後、専用現象液で洗浄して、液路パターンを有
する固体層を形成した。

【００５５】上記固体層を形成した基板を上金型と下金
型との間に設置し、トランスファーモールド成形によ
り、前記樹脂組成物からなるモールド樹脂層を形成し
た。成形条件は、予備加熱温度８５℃、注入圧力４０kg
f/cm²、成形型温度１３０℃、保圧硬化時間８分及びポ
ストキュアであった。

【００５６】モールド樹脂層形成後、アセトン中に記録
ヘッドを浸漬して、固体層を溶解除去し、本発明に係る
インクジェット記録ヘッドを得た。

【００５７】次に、完成した前記記録ヘッドを６０℃−
９０％湿度の高温高湿下に３６０時間及び７２０時間お
いた後の不良発生率を調べた。同様に８０℃ドライの高
温環境下における不良発生率を調べた。これらの結果を
表１に示した。

【００５８】また、前記樹脂組成物の硬化体を作成し、
これをインク中に浸漬した場合の膨潤量を求め、耐イン
ク性を評価した。なおインクはキャノンバブルジェット
プリンターＢＪ１０Ｖ（商品名、キャノン製）及び同Ｂ
Ｊ３３０（商品名、キャノン製）の二種を用い、それぞ
れＰＣＴ中で１２０℃、１０hr浸漬させた。この結果も
表１に記載した。 比較例１ ポリサルファイド骨格を主鎖にもつエポキシ樹脂を使用
しなかった以外は実施例１と同様にインクジェット記録
ヘッドを作成し、不良品発生率及び樹脂硬化体の耐イン
ク性を調べた。結果を表１に示した。 実施例２ 充填剤として、平均粒径１２μm の球状シリカＦＢ−３
５（商品名、電気化学工業社製）を加えてＢステージ状
のエポキシ樹脂を作成した以外は、実施例１と同様にイ
ンクジェット記録ヘッドを作成した。実施例１と同様に
不良品発生率及び樹脂硬化体の耐インク性を調べた結果
を表１に示した。 比較例２ ポリサルファイド骨格を主鎖にもつエポキシ樹脂を使用
しなかった以外は実施例２と同様にインクジェット記録
ヘッドを作成した。同様に不良品発生率及び樹脂硬化体
の耐インク性を調べた結果を表１に示した。

【００５９】

【表１】

【００６０】

【発明の効果】以上説明してきたように、ポリサルファ
イド骨格を主鎖にもつエポキシ樹脂を構成成分とする樹
脂硬化体で記録ヘッドのモールド樹脂層を形成すること
によって、基板とモールド樹脂層との界面に生ずる応力
が軽減し、加えて、モールド樹脂層の耐インク性が向上
する。その結果、高温高湿下においても、基板とモール
ド樹脂層との界面に剥離が生じることなく、安定したイ
ンク吐出を得ることができる。

【００６１】特に、上記ポリサルファイド骨格を主鎖に
もつエポキシ樹脂が常温で液体である場合に、よりすぐ
れた効果を発揮するものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の製造方法に係る基板上の素子面形成の
一例を示す工程図である。

【図２】本発明の製造方法に係る基板上への固体層形成
の一例を示す工程図である。

【図３】本発明の製造方法に係るトランスファーモール
ド成形の金型内の一構成例を示す断面図である。

【図４】本発明の製造方法に係るモールド樹脂層形成後
の記録ヘッド工程品の一構成例を示す断面図である。

【図５】図４に示す記録ヘッド工程品から固体層を除去
した後の記録ヘッド工程品の一構成例を示す断面図であ
る。

【図６】本発明に係るインクジェット記録ヘッドの一構
成例を示す一部破断図である。

【図７】本発明に係る記録ヘッドを備えた記録装置の一
構成例を示す斜視図である。

【符号の説明】

２１ 基板 ２１ａ 素子面 ２２ 制御信号入力用電極 ２２ａ エネルギー発生素子 ２６ 固体層 ２６ｂ 液路部 ２６ｃ インク液室部 ２７ 下金型 ２８ 上金型 ２８ａ キャビティ部 ２８ｂ 突出部 ２９ モールド樹脂層 ２９ａ インク吐出口 ２９ｂ 液路 ２９ｃ インク液室 ２９ｄ インク供給口 ３０ 吐出口面 １１６ キャリッジ １１７ 駆動モータ １１８ 駆動ベルト １１９Ａ ガイドシャフト １１９Ｂ ガイドシャフト １２０ インクジェットヘッドカートリッジ １２２ クリーニング用モータ １２３ 伝動機構 １２４ プラテン １２６ キャップ部材 １３０ ブレード １３０Ａ ブレード保持部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭56−72963（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−129221（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−208659（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−218844（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−99748（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−183559（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−207660（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B41J 2/16

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インクを吐出させるためのエネルギー発
   生素子を有する基板上に少なくとも液室を含む液路パタ
   ーンを有する固体層をエネルギー発生素子に対応させて
   設け、該固体層を有する基板を型に組み込み、次いで、
   前記基板と該型との間に形成された空間にトランスファ
   ーモールド成形により該基板上に前記固体層を覆うモー
   ルド樹脂層を形成し、次いで、前記型を離型し、固体層
   を溶解除去することによりインク供給口を含むインク液
   室、インクを吐出するためのインク吐出口及び前記液室
   と前記吐出口とを連通する液路を形成するインクジェッ
   ト記録ヘッドの製造方法において、前記モールド樹脂層
   を、常温で液体であるポリサルファイド骨格を主鎖にも
   つエポキシ樹脂を少なくとも含んでなるトランスファー
   モールド樹脂組成物の硬化体で構成することを特徴とす
   るインクジェット記録ヘッドの製造方法。
2. 【請求項２】 請求項１記載の製造方法で製造したイン
   クジェット記録ヘッド。
3. 【請求項３】 エネルギー発生素子が、電気エネルギー
   を与えることによって発熱しインクに状態変化を生ぜし
   めて吐出を行なわせるための電気熱変換体である請求項
   ２記載のインクジェット記録ヘッド。
4. 【請求項４】 記録媒体の記録領域の全幅にわたって吐
   出口が複数設けられているフルラインタイプのものであ
   ることを特徴とする請求項２記載のインクジェット記録
   ヘッド。
5. 【請求項５】 記録媒体の被記録面に対してインクを吐
   出する吐出口が設けられている請求項２乃至４いずれか
   記載の記録ヘッドと、該記録ヘッドを載置するための部
   材とを少なくとも具備することを特徴とする記録装置。