JPH068438A - インクジェット記録ヘッド、その製造方法、該記録ヘッドを備えた記録装置及びインクジェット記録ヘッドに用いるトランスファーモールド用樹脂組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 トランスファーモールド成形法によって作製
したインクジェット記録ヘッドに生じていた樹脂外枠と
基板との界面に生ずる応力を緩和し、樹脂外枠と基板と
の剥離又は基板の割れを防止する。 【構成】 インク吐出口３ａ、液路３ｂ、液室３ｃ及び
インク供給口３ｄを形成する外枠３を、ガラス転移点Ｔ
ｇが６０℃以上１４０℃以下である樹脂硬化体によって
構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録ヘ
ッドの液路の形成方法に関し、とくに樹脂を用いた液路
形成方法、インクジェット記録ヘッド、及びインクジェ
ット記録ヘッドを備えた記録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット記録方式に適用されるイ
ンクジェット記録ヘッド（以下、「記録ヘッド」とい
う）には、一般に、インクが吐出されるためのインク吐
出口と、前記吐出口に供給するためのインクを貯える液
室と、前記吐出口と前記液室とを連通する液路と、前記
液路の一部に設けられたインクを吐出するためのエネル
ギーを発生するエネルギー発生素子と、前記液室に外部
からインクを供給するためのインク供給口が設けられて
いる。

【０００３】従来の記録ヘッドの製造方法としては次の
ようなものが知られている。 （１）エネルギー発生素子が設けられた第１の基板を備
え、ガラスや金属などからなる第２の基板に切削やエッ
チングなどの加工手段によりインク吐出口、液路及び液
室を形成するための凹部ならびに前記液室と外部とを連
通するためのインク供給口を設けたのち、前記第１の基
板に前記第２の基板をエネルギー発生素子と液路との位
置を合わせて接着剤により貼り合わせる方法。 （２）エネルギー発生素子が設けられたガラスなどから
なる第１の基板にポジ型もしくはネガ型の感光性ドライ
フィルムを貼り、前記感光性ドライフィルムのうちイン
ク吐出口、液路及び液室に相当するパターンをマスクも
しくは露出させて露光し、現像して前記吐出口、液路及
び液室に相当するパターンの固体層を第１の基板上に設
ける。前記固体層および第１の基板の上に硬化剤が混合
された液状の硬化性材料を適宜厚さに塗布し、所定の温
度で長時間放置して前記硬化性材料を硬化させる。つい
で、前記硬化性材料が硬化した第１の基板をインク吐出
口を形成する位置で切断して前記固体層の端面を露出さ
せたのち前記固体層を溶解する溶剤中に浸漬し、前記硬
化性材料が硬化した第１の基板から前記固体層を溶解除
去して内部に液路および液室を形成する空間を設ける方
法（特開昭６１−１５４９７号公報参照）。 （３）エネルギー発生素子が設けられた第１の基板にポ
ジ型もしくはネガ型の感光性ドライフィルムを貼り、前
記感光性ドライフィルムのうちインク吐出口、液路及び
液室に相当するパターンをマスクもしくは露出させて露
光し、現像して前記吐出口、液路及び液室に相当するパ
ターンの固体層を第１の基板上に設ける。前記固体層お
よび第１の基板の上に活性エネルギー線により硬化する
活性エネルギー線硬化性材料を適宜厚さに塗布し、液室
の一部を形成するための凹部およびインク供給口が設け
られた活性エネルギー線透過性の第２の基板を前記活性
エネルギー線硬化性材料の上に前記凹部を液室が形成さ
れる予定位置に合わせて貼り付け積層体を作る。つぎ
に、前記活性エネルギー線硬化性材料のうち液室が形成
される予定部分を隠すように第２の基板をマスクして活
性エネルギー線をその第２の基板を通して活性エネルギ
ー線硬化性材料に照射し硬化させる。ついで、前記活性
エネルギー線硬化性材料が硬化された積層体をインク吐
出口を形成する位置で切断して前記固体層の端面を露出
させたのち前記固体層と未硬化の活性エネルギー線硬化
性材料とを溶解する溶剤中に浸漬し、前記積層体から前
記固体層および未硬化の活性エネルギー線硬化性材料を
溶解除去して内部に液路および液室を形成する空間を設
ける方法（特開昭６２−２５３４５７号公報参照）。 （４）最近トランスファーモールドによる液路、液室、
インク供給口、天板を一括成形する製造方法が提案され
ている。

【０００４】

【発明が解決しようとしている課題】上記従来の各記録
ヘッドの製造方法において、（１）に示した記録ヘッド
の製造方法では、第２の基板に設けられる液室を形成す
るための凹部を大きくすることにより、高速記録に好適
な大きな液室を有する記録ヘッドを製造することができ
るという利点はあるが、第１の基板と第２の基板とを接
着剤により貼り合わせる際、第１の基板の微細なエネル
ギー発生素子と第２の基板の微細な液路とを精密に位置
合わせし、更に、微細な液路に接着剤が流れ込むのを防
止する工夫が必要である。そのため、製造装置が複雑、
高価なものとなり、また多量生産性に欠けるので、製品
コストアップを引き起こすという問題点がある。（２）
に示した記録ヘッドの製造方法では、（１）の記録ヘッ
ドの製造方法にみられるような第１の基板と第２の基板
との貼り合わせに起因する問題点を解決できる利点はあ
るが、液室の容積は、液室の高さが第１の基板上に設け
られるパターン状の固体層の厚さによって制限される
為、大容積化が困難となる。また、工程が複雑で時間が
かかり、工程数も多いのでやはり多量生産性に欠け、製
品のコストアップを引き起こすという問題点がある。
（３）に示した記録ヘッドの製造方法では、第２の基板
に設ける液室の他の一部を形成するための凹部を大きく
することにより、大きな液室を有する記録ヘッドを製造
することができるという利点と、（１）の記録ヘッドの
製造方法にみられるような第１の基板と第２の基板との
貼り合わせに起因する問題点を解決できる利点とがあ
る。しかしながら（２）の記録ヘッドの製造方法と同様
に、工程が複雑で時間がかかり、（２）の製造方法に比
べ工程数はさらに多いのでやはり多量生産性に欠け、製
品のコストアップを引き起こすという問題点がある。
（４）に示した記録ヘッドの製造方法では、２つの基板
を精密に位置合わせして貼り合わせる工程を必要としな
い。このため、簡単で、より少ない工程により精密、信
頼性の高い、多量生産に適した安価なインクジェット記
録ヘッドを製造することができるという利点がある。し
かしながら、トランスファー成形時、樹脂の硬化収縮及
び樹脂と基板の膨張係数の違いに起因する熱収縮による
応力が記録ヘッドに発生しているため、まれに、吐出口
を形成するために行う切断時に基板の割れ、樹脂と基板
との剥離が生じ記録ヘッドに欠陥ができることがある。
又、高温高湿等に長時間おかれると、樹脂と基板の界面
に剥がれが生じインクの吐出に影響をおよぼすことがあ
る。

【０００５】本発明は特に上記（４）の記録ヘッドの製
造方法に関し上記問題点に鑑みてなされたものであり、
製造過程で欠陥が生じず、又長期にわたり高温高湿でも
インクの吐出に影響をおよぼさないインクジェット記録
ヘッドおよびそれに用いるトランスファーモールド用樹
脂組成物を提供することを目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、製造過程
で欠陥の生じない記録ヘッド、および高温高湿で長時間
保存しても樹脂と基板との界面に剥離の生じない記録ヘ
ッドを得るために研究を重ねた結果次の点が明らかにな
った。

【０００７】すなわち、基板と樹脂の線膨張係数の違い
に起因する熱収縮による応力は、トランスファーモール
ド樹脂のガラス転移点Ｔｇ（以下、Ｔｇと記す）と室温
との温度差に比例して大きくなる。成形温度からＴｇま
での温度域では樹脂の弾性率が極端に低いため、応力は
殆ど発生しない。

【０００８】しかし、硬化樹脂の使用環境および製造工
程での耐熱性、又完成したインクジェット記録ヘッドの
信頼性および印字品位安定性を考慮するとある程度Ｔｇ
が高くなければならない。検討の結果、Ｔｇが１４０℃
から６０℃であれば応力として耐えられるとともに記録
ヘッドの信頼性も満足することがわかった。

【０００９】そこで、上述目的を達成するための本発明
は、トランスファーモールド成形によって得られる樹脂
硬化体で液路を構成するインクジェット記録ヘッドにお
いて、樹脂硬化体のＴｇが６０℃以上１４０℃以下であ
るインクジェット記録ヘッドに関し、トランスファーモ
ールド用樹脂がエポキシ樹脂であり、インクを吐出する
インク吐出口と、該吐出口にインクを導く液路と、該液
路中のインクに対し、インクが吐出するためのエネルギ
ーを付与するエネルギー発生素子とを有し、前記トラン
スファーモールド用樹脂組成物の硬化体で構成されてい
るインクジェット記録ヘッドである。

【００１０】また、本発明の記録ヘッドは、エネルギー
発生素子が電気エネルギーを与えることによって発熱
し、インクに状態変化を生ぜしめて吐出を行わせるため
の電気熱変換体であり、記録媒体の記録領域の全幅にわ
たってインク吐出口が複数設けられているフルラインタ
イプのものである。

【００１１】また、本発明は、基板上にインクを利用す
るために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発
生素子を設け、前記エネルギー発生素子に一致させて、
基板上に液路、液室及びインクを供給するインク供給口
の各相当部を有する固体層を形成し、前記固体層及び基
板を覆って樹脂硬化体からなる外枠をトランスファーモ
ールド成形法によって形成した後、固体層を溶解除去し
て、液路、液室及びインク供給口を形成する工程を含む
インクジェット記録ヘッドの製造方法において、樹脂硬
化体として、ガラス転移点Ｔｇが６０℃以上１４０℃以
下である樹脂組成物を用いるインクジェット記録ヘッド
の製造方法である。

【００１２】また、本発明は、インクジェット記録ヘッ
ドの液路を構成する樹脂硬化体をトランスファーモール
ド成形によって形成し、前記樹脂硬化体のガラス転移点
Ｔｇが６０℃以上１４０℃以下であるトランスファーモ
ールド用樹脂組成物である。

【００１３】更に、本発明は、記録媒体の被記録面に対
してインクを吐出する吐出口が設けられている。

【００１４】上述記録ヘッドと、該ヘッドを載置するた
めの部材とを少なくとも具備する記録装置である。

【００１５】以下、図面を用いて、本発明を詳述する。

【００１６】図１は、本発明のインクジェット記録ヘッ
ドの構成の一例を示す斜視図である。基板１上にエネル
ギー発生素子２ａ及び電極２が設置され素子面１ａを構
成している。素子面上に樹脂硬化体により外枠３が成形
されている。

【００１７】ここで３ａはインク吐出口、３ｂは液路３
ｃは液室及び３ｄはインク供給口を示す。

【００１８】基板としては、シリコンウェハー等の公知
のものが使用できる。

【００１９】エネルギー発生素子としては電気熱変換体
等の公知のものが使用できる。

【００２０】樹脂硬化体を成形する為の樹脂組成物とし
ては、ガラス転移点Ｔｇが６０℃以上１４０℃以下の範
囲にあるものであればよく、例えば、エポキシ樹脂、シ
リコン樹脂、ジアリルフタレート樹脂等を挙げることが
できる。このうち、特にエポキシ樹脂が、接着性、耐水
性、原料価格等の点で優れている。

【００２１】また上記樹脂組成物に、必要に応じて着色
防止剤、劣化防止剤、離型剤等の従来公知の添加剤を用
いても良い。

【００２２】以下、本発明のインクジェット記録ヘッド
の製造方法について説明する。

【００２３】まず前記材料からなる基板２１上にエネル
ギー発生体として電気熱変換体２２ａを配設し、前記電
気熱変換体２２ａに対応して制御信号入力用電極２２を
設置し、素子面２１ａを形成する（図２）。基板２１上
への電気熱変換体２２ａ及び制御信号入力用電極２２の
形成は、蒸着法、スパッタ法、エッチング法等の半導体
プロセスにより行なう。

【００２４】次に、前記電気熱変換体に対応して、素子
面２１ａ上に液路２６ｂ及び液室２６ｃからなる液路パ
ターンを有する固体層２６を形成する（図３）。

【００２５】ここで、固体層としては、高精度めっき用
ポジ型レジスト等公知のものが使用できる。

【００２６】尚、パターニングは公知のリソグラフィー
等によることが好ましい。

【００２７】次に、記録ヘッドの外枠とインク供給口を
形成できる型２７を用いて、上述の樹脂組成物を用いて
トランスファーモールド成形を行ない外枠２９を得る
（図４，図５） ここで、トランスファーモールド成形方法について説明
する。

【００２８】本実施例のトランスファーモールド成形を
用いる工法として、固体層が形成された基板を適切なラ
ンナー、ゲート、エア抜き構造を備えたキャビティー
（図４、２７ｃ）からなる上型（図４、２７ｂ）、下型
（図４、２７ａ）のいずれかへ挿入したのち型締めを行
う。外枠の材料として本発明のトランスファーモールド
用樹脂組成物を用い、樹脂の予備加熱温度６０〜９０
℃、注入圧力２０〜１４０Ｋｇｆ／ｃｍ² 、成形型温度
１００〜１８０℃、保圧硬化時間１〜１０分及び成形後
のポストキュアという一般的な成形条件、工法に従って
行うことができる。前記する条件は、成形性（形状、樹
脂内の気泡、バリ、フラッシュなど）を確認し、それぞ
れ適切なポイントを設定すれば良い。一般に成形温度を
高くすれば、硬化時間は短くて済む。また注入圧力が高
いほど、形状の安定性、気泡の発生が無くなるが、過剰
な圧力は製品へのダメージ、樹脂のバリ、フラッシュの
問題を起こす。ここで、ポストキュアを行う時期として
は、必ずしも成形と連続して行う必要はなく、製品が完
成するまでのどの時点で行っても良い。従って、工程の
都合の良い段階で行うことができる。もちろん製品の使
用状態によっては、前記工程を除くことも可能である。

【００２９】また、成形後に型から製品を離型する場合
の離型性を良くする目的で、成形型などに離型剤を用い
ることがある。

【００３０】トランスファーモールド成形終了後は、固
体層を除去して本発明の記録ヘッドを完成させる（図
６）。

【００３１】固体層の除去手段としては、例えば、固体
層がポジ型レジストの場合は苛性ソーダ水溶液、個体層
が高精度めっき用ポジ型レジストの場合はアセトン等の
有機溶剤等の溶液により溶解除去する方法がある。前記
溶液は、外枠形成材料を浸さないものであれば上記のも
のに限らない。また、溶剤の撹拌、超音波等の促進手段
を併用することで、より効果的に固体層を除去できるこ
とは言うまでもない。

【００３２】ここで、インクの吐出特性はインク路の長
さにより変化することから、必要とあれば、最適な位置
を決めるために吐出口部を所定の位置で、切断して得る
こともある。

【００３３】切断はウェハーを切断する公知のダイシン
グ法等により行なう。また、吐出口部の切断を行ってか
ら固体層を除去することも可能である。この方法は、吐
出口部を切断するときに、インクジェットの重要な役割
を占めるインク液路内等に固体層があることから、切削
粉、ゴミ等によるインク液路内の詰まりといった問題を
解決でき、また、インク路が短かくなる為固体層の除去
性も向上する利点があり好ましい。

【００３４】尚、実際のインクジェット記録ヘッドはこ
の後さまざまな洗浄、表面処理等を実施し、フィルター
等の補助部品を装着して最終製品を完成させるが、ここ
では本発明の目的と直接関係ないので省略する。

【００３５】以下、本発明に係る記録ヘッドと、該記録
ヘッドを備えた記録装置について説明する。

【００３６】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも、熱エネルギーを利用して飛翔液滴を形成し、記
録を行うインクジェット記録方式の記録ヘッド、記録装
置に於いて、優れた効果をもたらすものである。

【００３７】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されており、本発明はこれらの基
本的な原理を用いて行なうものが好ましい。この記録方
式は所謂オンデマンド型、コンティニュアス型のいずれ
にも適用可能である。

【００３８】この記録方式を簡単に説明すると、液体
（インク）が保持されているシートや液路に対応して配
置されている電気熱変換体に、記録情報に対応して液体
（インク）に該沸騰現象を越え、膜沸騰現象を生じる様
な急速な温度上昇を与えるための少なくとも一つの駆動
信号を印加することによって、熱エネルギーを発生せし
め、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせる。この
様に液体（インク）から電気熱変換体に付与する駆動信
号に一対一対応した気泡を形成出来るため、特にオンデ
マンド型の記録法には有効である。この気泡の成長、収
縮により吐出口を介して液体（インク）を吐出させて、
少なくとも一つの滴を形成する。この駆動信号をパルス
形状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が行なわれる
ので、特に応答性に優れた液体（インク）の吐出が達成
でき、より好ましい。このパルス形状の駆動信号として
は、米国特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５
２６２号明細書に記載されているようなものが適してい
る。尚、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国
特許第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を
採用すると、更に優れた記録を行なうことができる。

【００３９】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体
を組み合わせた構成（直線状液流路又は直角液流路）の
他に、米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許第
４４５９６００号明細書に開示されている様に、熱作用
部が屈曲する領域に配置された構成を持つものも本発明
に含まれる。

【００４０】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出口とする構成を開
示する特開昭５９年第１２３６７０号公報や熱エネルギ
ーの圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を
開示する特開昭５９年第１３８４６１号公報に基づいた
構成においても本発明は有効である。

【００４１】更に、本発明が有効に利用される記録ヘッ
ドとしては、記録装置が記録できる記録媒体の最大幅に
対応した長さのフルラインタイプの記録ヘッドがある。
このフルラインヘッドは、上述した明細書に開示されて
いるような記録ヘッドを複数組み合わせることによって
フルライン構成にしたものや、一体的に形成された一個
のフルライン記録ヘッドであっても良い。

【００４２】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効で
ある。

【００４３】又、本発明の記録装置に、記録ヘッドに対
する回復手段や、予備的な補助手段等を付加すること
は、本発明の記録装置を一層安定にすることができるの
で好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、記
録ヘッドに対しての、キャピング手段、クリーニング手
段、加圧或は吸引手段、電気熱変換体或はこれとは別の
加熱素子、或はこれらの組み合わせによる予備加熱手
段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出モードを行なう
手段を付加することも安定した記録を行なうために有効
である。

【００４４】更に、記録装置の記録モードとしては黒色
等の主流色のみを記録するモードだけではなく、記録ヘ
ッドを一体的に構成したものか、複数個の組み合わせて
構成したものかのいずれでも良いが、異なる色の複色カ
ラー又は、混色によるフルカラーの少なくとも一つを備
えた装置にも本発明は極めて有効である。

【００４５】以上説明した本発明実施例においては、液
体インクを用いて説明しているが、本発明では室温で固
体状であるインクであっても、室温で軟化状態となるイ
ンクであっても用いることができる。上述のインクジェ
ット装置ではインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲
内で温度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあ
るように温度制御するものが一般的であるから、使用記
録信号付与時にインクが液状をなすものであれば良い。

【００４６】加えて、熱エネルギーによるヘッドやイン
クの過剰な昇温をインクの固形状態から液体状態への状
態変化のエネルギーとして使用せしめることで積極的に
防止するか又は、インクの蒸発防止を目的として放置状
態で固化するインクを用いることも出来る。いずれにし
ても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってイン
クが液化してインク液状として吐出するものや記録媒体
に到達する時点ではすでに固化し始めるもの等のよう
な、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質を
持つインクの使用も本発明には適用可能である。

【００４７】このようなインクは、特開昭５４−５６８
４７号公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公報に記
載されるような、多孔質シートの凹部又は貫通孔に液状
又は固形物として保持された状態で、電気熱変換体に対
して対向するような形態としても良い。

【００４８】本発明において、上述した各インクにたい
して最も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行する
ものである。

【００４９】図７は本発明により得られた記録ヘッドを
インクジェットヘッドカートリッジ（ＩＪＣ）として装
着したインクジェット記録装置（ＩＪＲＡ）の一例を示
す外観斜視図である。

【００５０】図において、１２０はプラテン１２４上に
送紙されてきた記録紙の記録面に対向してインク吐出を
行なうノズル群を具えたインクジェットヘッドカートリ
ッジ（ＩＪＣ）である。１１６はＩＪＣ１２０を保持す
るキャリッジＨＣであり、駆動モータ１１７の駆動力を
伝達する駆動ベルト１１８の一部と連結し、互いに平行
に配設された２本のガイドシャフト１１９Ａおよび１１
９Ｂと摺動可能とすることにより、ＩＪＣ１２０の記録
紙の全幅にわたる往復移動が可能となる。

【００５１】１２６はヘッド回復装置であり、ＩＪＣ１
２０の移動経路の一端、例えばホームポジションと対向
する位置に配設される。伝動機構２３を介したモータ１
２２の駆動力によって、ヘッド回復装置１２６を動作せ
しめ、ＩＪＣ１２０のキャッピングを行なう。このヘッ
ド回復装置１２６のキャップ部１２６ＡによるＩＪＣ１
２０へのキャッピングに関連させて、ヘッド回復装置１
２６内に設けた適宜の吸引手段によるインク吸引もしく
はＩＪＣ１２０へのインク供給経路に設けた適宜の加圧
手段によるインク圧送を行ない、インクを吐出口より強
制的に排出させることによりノズル内の増粘インクを除
去する等の吐出回復処理を行なう。また、記録終了時等
にキャッピングを施すことによりＩＪＣが保護される。

【００５２】１３０はヘッド回復装置１２６の側面に配
設され、シリコンゴムで形成されるワイピング部材とし
てのブレードである。ブレード１３１はブレード保持部
材１３１Ａにカンチレバー形態で保持され、ヘッド回復
装置１２６と同様、モータ１２２および伝動機構１２３
によって動作し、ＩＪＣ１２０の吐出面との係合が可能
となる。これにより、ＩＪＣ１２０の記録動作における
適切なタイミングで、あるいはヘッド回復装置１２６を
用いた吐出回復処理後に、ブレード１３１をＩＪＣ１２
０の移動経路中に突出させ、ＩＪＣ１２０の移動動作に
伴なってＩＪＣ１２０の吐出面における結露、漏れある
いは塵埃等をふきとるものである。

【００５３】

【実施例】以下、本発明を実施例により更に具体的に説
明する。 実施例１ トランスファーモールド用樹脂としてエポキシ樹脂組成
物タブレットＥＭＥ−７００（住友ベークライト株式会
社製 Ｔｇのカタログ値 １００℃）を用いて、予め素
子面を形成した基板上に、樹脂硬化体からなる外枠をト
ランスファーモールド成形した。尚、成形条件は、予備
加熱温度８５℃、注入圧力４０Ｋｇｆ／ｃｍ² 、成形温
度１３０℃及び保圧硬化時間８分であった。

【００５４】成形終了後、インクジェット記録ヘッド工
程品をインク吐出口を形成する位置で切断し、次いで、
固体層を溶解除去して本発明の記録ヘッドを得た。

【００５５】上記記録ヘッドを２０個製造し、不良品の
発生率を調べた。更に６０℃、９０％の高温高湿下に７
２０時間放置した後の不良品の発生率を調べた。これら
の結果を表１に示した。

【００５６】また、樹脂硬化体のガラス転移点Ｔｇを動
的粘弾性試験機によって求めた結果も表１に示した。 比較例１ トランスファーモールド用樹脂としてエポキシ樹脂組成
物タブレットＥＭＥ−７５０（住友ベークライト株式会
社製 Ｔｇのカタログ値 １７０℃）を用いて、成形条
件を以下のように変えた以外は、実施例１と同様に記録
ヘッドを作成し、不良品発生率及び樹脂硬化体のＴｇを
求めた。結果を表１に示した。

【００５７】トランスファーモールド成形条件 予備加熱温度 ８５℃ 注入圧力 ４０Ｋｇｆ／ｃｍ² 成形温度 １６０℃ 保圧硬化時間 ５分 実施例２ トランスファーモールド用樹脂としてエポキシ樹脂組成
物タブレットＮＴ−８５２６（日東電工株式会社製 Ｔ
ｇの実測値 １４０℃）を用いて、成形条件を以下のよ
うに変えた以外は、実施例１と同様に記録ヘッドを作成
し、不良品発生率及び樹脂硬化体のＴｇを求めた。結果
を表１に示した。

【００５８】トランスファーモールド成形条件 予備加熱温度 ８５℃ 注入圧力 ４０Ｋｇｆ／ｃｍ² 成形温度 １３０℃ 保圧硬化時間 ８分 比較例２ トランスファーモールド用樹脂としてエポキシ樹脂組成
物タブレットＮＴ−８５２６（日東電工株式会社製）に
エポキシ希釈剤ＥＤ−５０６（旭電化工業株式会社製）
を３０部混合し（硬化樹脂のＴｇ実測値 ５９℃）たも
のを用い、成形条件を以下のように変えた以外は、実施
例１と同様に記録ヘッドを作成し、不良品発生率及び樹
脂硬化体のＴｇを求めた。結果を表１に示した。

【００５９】トランスファーモールド成形条件 予備加熱温度 ８５℃ 注入圧力 ４０Ｋｇｆ／ｃｍ² 成形温度 １３０℃ 保圧硬化時間 １０分 実施例３ トランスファーモールド用樹脂としてエポキシ樹脂組成
物タブレットＮＴ−８５２６（日東電工株式会社製）に
エポキシ希釈剤ＥＤ−５０１（旭電化工業株式会社製）
を２０部混合したもの（硬化樹脂のＴｇ実測値 ６０
℃）を用い、成形条件を以下のように変えた以外は、実
施例１と同様に記録ヘッドを作成し、不良品発生率及び
樹脂硬化体のＴｇを求めた。結果を表１に示した。

【００６０】トランスファーモールド成形条件 予備加熱温度 ８５℃ 注入圧力 ４０Ｋｇｆ／ｃｍ² 成形温度 １３０℃ 保圧硬化時間 ８分

【００６１】

【表１】

【００６２】

【発明の効果】以上説明してきたように、本発明のイン
クジェット記録ヘッドは、樹脂硬化体のＴｇが６０℃以
上１４０℃以下となるようなトランスファーモールド用
樹脂組成物を用いて製造されるので、製造工程上の欠陥
が生じず、記録ヘッドが高温高湿等におかれても、樹脂
と基板との界面に剥がれが生じることが無く、安定した
インク吐出が得られる効果を有する。

【００６３】特にトランスファーモールド用樹脂がエポ
キシ樹脂組成物であって、その硬化体で記録ヘッドの外
枠が構成されている場合には、接着性、耐水性等特に優
れた性能を示すものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るインクジェット記録ヘッドの構成
の一例を示す部分断面斜視図である。

【図２】本発明に係るインクジェット記録ヘッドの基板
の素子面の構成を示す斜視図である。

【図３】基板上に固体層を形成した本発明に係るインク
ジェット記録ヘッド工程品の斜視図である。

【図４】トランスファーモールド成形用の成形型に記録
ヘッドの基板を載置した様子を示す工程図である。

【図５】トランスファーモールド成形終了後のインクジ
ェット記録ヘッド工程品の構成を示す側面断面図であ
る。

【図６】固体層を除去して液路、液室及びインク供給口
を形成した本発明に係るインクジェット記録ヘッドの構
成を示す側面断面図である。

【図７】本発明に係るインクジェット記録ヘッドを備え
た記録装置の構成の一例を示す斜視図である。

【符号の説明】

１ 基板 １ａ 素子面 ２ 制御信号入力用電極 ２ａ 電気熱変換体 ３ 外枠 ３ａ インク吐出口 ３ｂ 液路 ３ｃ 液室 ３ｄ インク供給口 ２１ 基板 ２１ａ 素子面 ２２ 制御信号入力用電極 ２２ａ 電気熱変換体 ２６ 固体層 ２６ｂ 液路部 ２６ｃ 液室部 ２７ａ トランスファーモールド用成形下型 ２７ｂ トランスファーモールド用成形上型 ２７ｃ キャビティー部 ２９ 外枠 ２９ａ インク吐出口 ２９ｂ 液路 ２９ｃ 液室 ２９ｄ インク供給口 １１６ キャリッジ １１７ 駆動モータ １１８ 駆動ベルト １１９Ａ，１１９Ｂ ガイドシャフト １２０ インクジェットヘッドカートリッジ １２２ クリーニング用モータ １２３ 伝動機構 １２４ プラテン １２６ キャップ部材 １３０ ブレード １３０Ａ ブレード保持部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ０８Ｊ 5/00 ＣＦＣ 7016−4Ｆ

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 トランスファーモールド成形によって得
   られる樹脂硬化体で液路を構成するインクジェット記録
   ヘッドにおいて、樹脂硬化体のＴｇが６０℃以上１４０
   ℃以下であることを特徴とするインクジェット記録ヘッ
   ド。
2. 【請求項２】 トランスファーモールド用樹脂がエポキ
   シ樹脂であることを特徴とする請求項１に記載のインク
   ジェット記録ヘッド。
3. 【請求項３】 インクを吐出するインク吐出口と、該吐
   出口にインクを導く液路と、該液路中のインクに対し、
   インクが吐出するためのエネルギーを付与するエネルギ
   ー発生素子とを有するインクジェット記録ヘッドにおい
   て、請求項１又は２に記載のトランスファーモールド用
   樹脂組成物の硬化体で構成されていることを特徴とする
   インクジェット記録ヘッド
4. 【請求項４】 エネルギー発生素子が電気エネルギーを
   与えることによって発熱し、インクに状態変化を生ぜし
   めて吐出を行わせるための電気熱変換体である請求項３
   に記載の記録ヘッド。
5. 【請求項５】 記録媒体の記録領域の全幅にわたってイ
   ンク吐出口が複数設けられているフルラインタイプのも
   のであることを特徴とする請求項３に記載の記録ヘッ
   ド。
6. 【請求項６】 基板上にインクを吐出するために利用さ
   れるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を設け、
   前記エネルギー発生素子に一致させて、基板上に液路、
   液室及びインクを供給するインク供給口の各相当部を有
   する固体層を形成し、前記固体層及び基板を覆って樹脂
   硬化体からなる外枠をトランスファーモールド成形法に
   よって形成した後、固体層を溶解除去して、液路、液室
   及びインク供給口を形成する工程を含むインクジェット
   記録ヘッドの製造方法において、樹脂硬化体として、ガ
   ラス転移点Ｔｇが６０℃以上１４０℃以下である樹脂組
   成物を用いることを特徴とするインクジェット記録ヘッ
   ドの製造方法。
7. 【請求項７】 インクジェット記録ヘッドの液路を構成
   する樹脂硬化体をトランスファーモールド成形によって
   形成し、前記樹脂硬化体のガラス転移点Ｔｇが６０℃以
   上１４０℃以下であるトランスファーモールド用樹脂組
   成物。
8. 【請求項８】 記録媒体の被記録面に対してインクを吐
   出する吐出口が設けられている請求項３に記載の記録ヘ
   ッドと、該ヘッドを載置するための部材とを少なくとも
   具備することを特徴とする記録装置。