JPH091810A - インクジェット記録ヘッドの製造方法、該製造方法により製造される記録ヘッド及び該記録ヘッドを備えた記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 高温や低温下において剥離なく、信頼性の高
い吐出精度に優れた印字を可能とし、高価な装置を必要
とせず安価に大量に短時間で記録ヘッドを製造できるイ
ンクジェット記録ヘッドの製造法、該製法により製造さ
れる記録ヘッド及び該記録ヘッドを備えた記録装置を提
供する。 【構成】 液状の液流路形成用材料が主剤および硬化剤
からなる２液であり、該２液を混合しながら型内に充填
するリムによる成形法により基板の表裏にほぼ所定量被
覆された構造を形成することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法、該製造方法によって製造される記録ヘッ
ド及び該記録ヘッドを備えた記録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット記録方式に適用されるイ
ンクジェット記録ヘッド（以下、「記録ヘッド」とい
う）には、一般に、インクが吐出されるためのインク吐
出口と、前記吐出口に供給するためのインクを貯える液
室と、前記吐出口と前記液室とを連通する液路と、前記
液路の一部に設けられたインクを吐出するためのエネル
ギーを発生するエネルギー発生素子と、前記液室に外部
からインクを供給するためのインク供給口が設けられて
いる。

【０００３】従来の記録ヘッドの製造方法としては次の
ようなものが知られている。 （１）エネルギー発生素子が設けられた第１の基板を備
え、ガラスや金属などからなる第２の基板に切削やエッ
チングなどの加工手段によりインク吐出口、液路及び液
室を形成するための凹部ならびに前記液室と外部とを連
通するためのインク供給口を設けたのち、前記第１の基
板に前記第２の基板をエネルギー発生素子と液路との位
置を合わせて接着剤により貼り合わせる方法。 （２）エネルギー発生素子が設けられたシリコンなどか
らなる第１の基板にポジ型もしくはネガ型の感光性ドラ
イフィルムを貼り、前記感光性ドライフィルムのうちイ
ンク吐出口、液路及び液室に相当するパターンをマスク
もしくは露出させて露光し、現像して前記吐出口、液路
及び液室に相当するパターンの固体層を第１の基板上に
設ける。前記固体層および第１の基板の上に硬化剤が混
合された液状の硬化性材料を適宜厚さに塗布し、所定の
温度で放置して前記硬化性材料を硬化させる。ついで、
前記硬化性材料が硬化した第１の基板をインク吐出口を
形成する位置で切断して前記硬化性材料が硬化した第１
の基板から前記固体層を溶解除去して内部に液路および
液室を形成する空間を設ける方法（特開昭６１−４５４
９７号公報参照）。 （３）エネルギー発生素子が設けられた第１の基板にポ
ジ型もしくはネガ型の感光性ドライフィルムを貼り、前
記感光性ドライフィルムのうちインク吐出口、液路及び
液室に相当するパターンをマスクもしくは露出させて露
光し、現像して前記吐出口、液路及び液室に相当するパ
ターンの固体層を第１の基板上に設ける。前記固体層お
よび第１の基板の上に活性エネルギー線により硬化する
活性エネルギー線硬化性材料を適宜厚さに塗布し、液室
の一部を形成する為の凹部およびインク供給口が設けら
れた活性エネルギー線透過性の第２の基板を前記活性エ
ネルギー線硬化性材料の上に前記凹部を液室が形成され
る予定位置に合わせて貼り付け積層体を作る。次に、前
記活性エネルギー線硬化材料のうち液室が形成される予
定部分を隠すように第２の基板をマスクして活性エネル
ギー線をその第２の基板を通して活性エネルギー線硬化
性材料に照射し硬化させる。ついで、前記活性エネルギ
ー線硬化性材料が硬化された積層体をインク吐出口を形
成する位置で切断して前記固体層の端面を露出させたの
ち前記積層体と未硬化の活性エネルギー線硬化性材料と
を溶解する溶剤中に浸せきし、前記積層体から前記固体
層および未硬化の活性エネルギー線硬化性材料を溶解除
去して内部に液路および液室を形成する空間を設ける方
法。（特開昭６２−２５３４５７号公報参照）。 （４）最近トランスファーモールドによる液路、液室、
インク供給口、天板を一括成形する製造方法も提案され
ている。

【０００４】上記従来の各記録ヘッドの製造方法におい
て、 （１）に示した記録ヘッドの製造方法では、第２の基板
に設けられる液室を形成するための凹部を大きくするこ
とにより、高速記録に好適な大きな液室を有する記録ヘ
ッドを製造することができるという利点はあるが、第１
の基板と第２の基板とを接着剤により張り合わせる際、
第１の基板の微細なエネルギー発生素子と第２の基板の
微細な液路とを精密に位置合わせし、更に、微細な液路
に接着剤が流れ込むのを防止する工夫が必要である。そ
のため、製造方法が複雑、高価なものとなり、また多量
生産性に欠けるので、製品コストアップを引き起こすと
いう問題点がある。 （２）に示した記録ヘッドの製造方法では、（１）の記
録ヘッドの製造方法にみられるような第１の基板と第２
の基板との貼り合わせに起因する問題点を解決できる利
点はあるが、液室の容積は、液室の高さが第１の基板上
に設けられるパターン状の固体層の厚さによって制限さ
れる為、大容積化が困難となる。また、工程が複雑で時
間がかかり、工程数も多いのでやはり多量生産性に欠
け、製品のコストアップを引き起こすという問題点があ
る。 （３）に示した記録ヘッドの製造方法では、第２の基板
に設ける液室の他の一部を形成するための凹部を大きく
することにより、大きな液室を有する記録ヘッドを製造
することができるという利点と、（１）の記録ヘッドの
製造方法にみられるような第１の基板と第２の基板との
貼り合わせに起因する問題点を解決できる利点とがあ
る。しかしながら（２）の記録ヘッドの製造方法と同様
に、工程が複雑で時間がかかり、（２）の製造方法に比
べ工程数はさらに多いのでやはり多量生産性に欠け、製
品のコストアップを引き起こすという問題点がある。 （４）に示した記録ヘッドの製造方法では、２つの基板
を精密に位置合わせして貼り合わせる工程を必要としな
い。このため、簡単で、より少ない工程により精密、信
頼性の高い、多量生産に適した安価なインクジェット記
録ヘッドを製造することができるという利点がある。し
かしながら、トランスファー成形時、樹脂の硬化収縮お
よび樹脂と基板の膨張係数の違いに起因する熱収縮によ
る応力が記録ヘッドに発生しているため、まれに、吐出
口を形成するために行う切断時に基板の割れ、樹脂と基
板との剥離が生じ、記録ヘッドに欠陥ができることがあ
る。又、高温高湿等に長時間おかれると、樹脂と基板の
界面に剥がれが生じインクの吐出に影響をおよぼすこと
がある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は従来の技術の
前記の問題点を解決した新規なインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法、該製造方法により製造される記録ヘッド
及び該記録ヘッドを備えた記録装置を提供することを目
的とする。

【０００６】本発明者は高温高湿で長時間保存しても樹
脂と基板の界面に剥離を生じない記録ヘッドを得るため
に研究を重ねた結果、以下の知見を得た。

【０００７】すなわち、基板と樹脂の線膨張係数の違い
に起因する熱収縮による応力は低い温度で成形すればす
るほど小さくなり、常温で成形できれば熱収縮による応
力は理論的にはゼロになる。又、前記硬化性の材料が硬
化時の収縮や、現実に残る熱収縮による僅かな応力は、
樹脂材料が基板を取り囲む様に成形、すなわち基板をイ
ンサート成形すれば、基板を包み込む力となり樹脂と基
板の界面に剥離の生じ難くなることがわかった。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は前記の知見に基
づき完成されたもので、前記の目的は以下の手段によっ
て達成される。すなわち、本発明は、液体吐出エネルギ
ー発生部を有する基板上にポジ型フォトレジストから成
る感光層を形成し、所要の露光、現像処理を行ってポジ
型フォトレジストをパターニングして固体層を形成した
後、液状の液流路形成用材料を被覆し、該液流路形成用
材料を硬化させた後パターニング処理された固体層を溶
解除去することによって液流路及び液室部分が形成され
た構造を有する液体噴射記録ヘッドの製造方法におい
て、前記液状の液流路形成用材料が主剤および硬化剤か
らなる２液であり、該２液を混合しながら型内に充填す
る所謂リムによる成形法により前記基板の表裏にそれぞ
れ所定量被覆された構造を形成することを特徴とするイ
ンクジェット記録ヘッドの製造方法を提案するものであ
る。また、本発明は、前記製造方法により製造したこと
を特徴とするインクジェット記録ヘッドを提案するもの
であり、液体吐出エネルギー発生部が、熱エネルギーを
発生する電気熱変換体であること、記録媒体の記録領域
の全幅にわたって吐出口が複数設けられているフルライ
ンタイプのものであること、多色用の吐出口が一体成形
されたものであることを含む。更に本発明は記録媒体の
被記録面に対向してインクを吐出する吐出口が設けられ
ている前記のインクジェット記録ヘッドと、該ヘッドを
載置するための部材とを少なくとも具備することを特徴
とするインクジェット記録装置を提案するものである。

【０００９】以下、図面を参照して本発明を更に詳細に
説明する。

【００１０】図１ａは、本発明のインクジェット記録ヘ
ッドの構成の一例を示す斜視図である。図１ｂは断面図
である。基板１上にエネルギー発生素子２が配置されて
いる。樹脂硬化体３にインク吐出口３ａ、液路３ｂ、イ
ンク供給口３ｃが形成されている。基板１としては、シ
リコンウエハー等の公知のものが使用できる。エネルギ
ー発生素子としては電気熱変換体等の公知のものが使用
できる。本例はサイドシューターといわれる基板に対し
て垂直にインクが吐出するタイプのインクジェット記録
ヘッドである。又、インクは基板に空いた穴から供給さ
れる背面供給タイプである。

【００１１】図２ａは、基板と平行にインクが吐出する
エッジシューターといわれるタイプの本発明のインクジ
ェット記録ヘッドの構成の一例を示す斜視図である。図
２ｂはその断面図である。基板４上にエネルギー発生素
子５が配置されている。樹脂硬化体６にインク吐出口６
ａ、液路６ｂ、インク供給口６ｃが形成されている。基
板４としては、シリコンウエハー等の公知のものが使用
できる。エネルギー発生素子としては電気熱変換体等の
公知のものが使用できる。

【００１２】以下本発明のインクジェット記録ヘッドの
製造方法について説明する。

【００１３】まず本発明において使用される基板１とし
てはシリコン、ガラス、セラミック、アルミ、マグネシ
ウム等が挙げられる。前記材料からなる基板１上にエネ
ルギー発生体２として電気熱変換体を配設した素子面を
形成する。基板上への電気熱変換体等の形成は、蒸着
法、スパッタ法、エッチング法等の半導体プロセスによ
り行う。

【００１４】次に、前記電気熱変換体に対応して、素子
面上に液路及び液室からなる流路パターンを有する固体
層を形成する。即ち、まず基板１に感光層を形成し、露
光、現像等公知のフォトリソグラフィー技術で固体層を
形成する。ここで、感光層として使用可能なものとして
は高精度めっき用ポジレジスト、ネガレジストＤＦ、ポ
ジレジストＤＦ等が挙げられる。感光層は所定の膜厚と
なるようにスピンコート、ラミネート、スクリーン印刷
等公知の手段により塗布される。次いでオーブン中で加
熱してプリベークを行ってレジスト層を形成する。

【００１５】次にこのレジスト層上にノズル及び液室部
分のマスクパターンを介してマスクアライナー等の手段
により所定の露光量でパターン露光した後、公知の現像
処理を施し、ポジ型フォトレジストをパターニングして
固体層を形成する。

【００１６】この固体層が形成された基板をリム用成形
上型と下型の間に載置し外枠をリム（ＲＩＭ）成形す
る。

【００１７】ここで、ＲＩＭ（Ｒｅａｃｔｉｏｎ Ｉｎ
ｊｅｃｔｉｏｎ Ｍｏｌｄｉｎｇ）成形方法について説
明する。本実施例のＲＩＭ成形を用いる工法として、固
体層が形成された基板を適切なランナー、ゲート構造を
備えた上型、下型のいずれかへ挿入したのち型締めを行
う。次に金型内を高真空にし、２液の材料を混合した物
を射出して硬化成形を行う。続いて、型開き／脱型を実
施して最後に後硬化を行う。

【００１８】ＲＩＭ成形によって樹脂硬化体となる樹脂
組成物は、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、シリコーン樹
脂等あり、２液を混合することによって硬化する公知の
ものが使用できる。

【００１９】上述の成形法により、前記の基板の表裏に
上記樹脂組成物よりなるそれぞれ所定量被覆された構造
体を形成することにより硬化体からなる外枠を基体上に
形成する。基板の表裏に被覆される樹脂量はほぼ同量で
表裏の被覆重量の割合は好ましくは１：１である。

【００２０】ＲＩＭ成形終了後は、固体層を除去して本
発明の記録ヘッドを完成させる。固体層の除去手段とし
ては、例えば、固体層がポジ型レジストの場合は苛性ソ
ーダ水溶液、固体層が高精度めっき用ポジ型レジストの
場合はアセトン等の有機溶剤等の溶液により溶解除去す
る方法がある。前記溶液は、外枠形成材料を侵さないも
のであれば上記のものに限らない。また、溶剤の攪拌、
超音波等の促進手段を併用することで、より効果的に固
体層を除去できることは言うまでもない。

【００２１】ここで、インクの吐出特性はインク液路の
長さにより変化することから、必要とあれば、最適な位
置を決めるために吐出口部を所定の位置まで切断あるい
は研磨して得ることもある。また、吐出口部の切断ある
いは研磨を行ってから固体層を除去することも可能であ
る。この方法は、吐出口部を切断あるいは研磨するとき
に、インクジェットの重要な役割を占めるインク液路内
等に固体層があることから、切削粉、ゴミ等によるイン
ク液路内の詰まりといった問題を解決でき、また、イン
ク液路が短くなる為固体層の除去性も向上する利点があ
り好ましい。

【００２２】尚、実際のインクジェット記録ヘッドはこ
の後さまざまな洗浄、表面処理等を実施し、フィルター
等の補助部品を装着して最終製品を完成させるが、ここ
では本発明の目的と直接関係ないので省略する。

【００２３】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも熱エネルギーを利用して飛翔的液滴を形成し、記
録を行うインクジェット方式の記録ヘッド、記録装置に
おいて優れた効果をもたらすものである。

【００２４】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式はいわゆるオンデマンド
型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能である
が、特に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）
が保持されているシートや液路に対応して配置されてい
る電気熱変換体に、記録情報に対応していて核沸騰を越
える急速な温度上昇を与える少なくとも一つの駆動信号
を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギー
を発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさ
せて、結果的にこの駆動信号に一対一で対応した液体
（インク）内の気泡を形成できるので有効である。この
気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体（イン
ク）を吐出させて、少なくとも一つの滴を形成する。こ
の駆動信号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成
長収縮が行われるので、特に応答性に優れた液体（イン
ク）の吐出が達成でき、より好ましい。

【００２５】このパルス形状の駆動信号としては、米国
特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号
明細書に記載されているようなものが適している。な
お、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許
第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を採用
すると、さらに優れた記録を行うことができる。

【００２６】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体
の組み合わせ構成（直線状液流路または直角液流路）の
他に、熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を
開示する米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許
第４４５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含ま
れるものである。

【００２７】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開
示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギー
の圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開
示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構成
としても本発明は有効である。

【００２８】さらに、記録装置が記録できる最大記録媒
体の幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているよう
な複数記録ヘッドの組み合わせによって、その長さを満
たす構成や一体的に形成された１個の記録ヘッドとして
の構成のいずれでもよいが、本発明は、上述した効果を
一層有効に発揮することができる。

【００２９】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的にインクタンクが設けら
れたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも
本発明は有効である。

【００３０】また、本発明の記録装置の構成として設け
られる、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助
手段等を付加することは本発明の効果を一層安定できる
ので好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、
記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニング
手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あるいはこ
れとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わせによる
予備加熱手段、記録とは別の吐出を行う予備吐出モード
を行うことも安定した記録を行うために有効である。

【００３１】さらに、記録装置の記録モードとしては黒
色等の主流色のみを記録モードだけではなく、記録ヘッ
ドを一体的に構成するか複数個を組み合わせによってで
もよいが、異なる色の複色カラー、または混色によるフ
ルカラーの少なくとも一つを備えた装置にも本発明は極
めて有効である。

【００３２】以上説明した本発明実施例においては、イ
ンクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で固
化するインクであって、室温で軟化するもの、もしくは
液体であるもの、あるいは上述のインクジェット方式で
はインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲内で温度調
整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあるように温
度制御するものが一般的であるから、使用記録信号付与
時にインクが液状をなすものであればよい。

【００３３】加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温
をインクの固形状態から液体状態への状態変化のエネル
ギーとして使用せしめることで防止するか、またはイン
クの蒸発防止を目的として放置状態で固化するインクを
用いるかして、いずれにしても熱エネルギーの記録信号
に応じた付与によってインクが液化し、液状インクとし
て吐出するものや、記録媒体に到達する時点では既に固
化し始めるもの等のような、熱エネルギーによって初め
て液化する性質のインクの使用も本発明には適用可能で
ある。このような場合インクは、特開昭５４−５６８４
７号公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公報に記載
されるような、多孔質シート凹部または貫通孔に液状ま
たは固形物として保持された状態で、電気熱変換体に対
して対向するような形態としてもよい。本発明において
は、上述した各インクに対して最も有効なものは、上述
した膜沸騰方式を実行するものである。

【００３４】さらに加えて、本発明に係る記録装置の形
態としては、ワードプロセッサやコンピュータ等の情報
処理機器の画像出力端末として一体または別体に設けら
れるものの他、リーダ等と組み合わせた複写装置、さら
には送受信機能を有するファクシミリ装置の形態を採る
ものであっても良い。

【００３５】

【実施例】以下、本発明を実施例により更に具体的に説
明する。

【００３６】実施例１ 液体吐出エネルギー発生素子としての、電気熱変換体を
形成したシリコン基板上に、ポジ型フォトレジストＡＺ
−４９０３（ヘキスト社製）を、膜厚３０μｍとなるよ
う、スピンコートし、オーブン中９０℃で４０分間のプ
リベークを行って、レジスト層を形成した。このレジス
ト層上に、ノズル及び液室部分のマスクパターンを介し
て、マスクアライナー（キヤノン製：ＰＬＡ−５０１）
により、８００ｍＪ／ｃｍ² の露光量でパターン露光し
た後、０．７５ｗｔ％の水酸化ナトリウム水溶液を用い
て現像し、次いでイオン交換水によりリンス処理を施し
て、７０℃で３０分間のポストベークを行い、レジスト
パターンを得た。次に、このレジストパターンの載った
基板を型内にインサートし、液状射出成形機（ＶＳＧ
１６／Ｖ 長瀬チバ製）で成形した。成形条件は 型締力 １２０ＫＮ（１２ｔ） 金型温度 ８０℃ 射出圧 ５ｂａｒ 射出時間 ６０秒 真空度 ０．６ｍｂａｒ 型開きまでの時間 １５分 硬化性の樹脂として以下に示すエポキシ樹脂組成物を使
用した。 主剤 油化シェル製エポキシ（エピコート８２８） ８５部 チバガイギー製エポキシ（ＤＹ０２２） １０部 信越化学製エポキシ系シラン（ＫＢＭ４０３） ５部 硬化剤 旭化成工業製マイクロカプセル化硬化剤 （ノバキュアＨＸ−３７２２） ６０部 次に本成形物を型から取りだし８０℃で２ｈｒ後硬化さ
せた。更に、吐出口面を形成するために、ダイシングソ
ウ（東京精密製：Ｕ−ＦＭ−５Ａ／Ｔ）に、レジノイド
ボンド＃２５００（ノリタケ製）のブレードを用いて切
断した。切断後、アセトン中に浸せきしてレジストを溶
解除去した。このようにして図２に示す様なエッジシュ
ートタイプのヘッドを作成した。このヘッドの表裏にそ
れぞれほぼ同量の樹脂が被覆作成されたヘッドの吐出口
面を、光学顕微鏡により観察した結果、カケ、割れ、傷
等の障害が無く、レジスト残さも無く、また、温度変化
により剥離等のない、信頼性の高いものが得られた。更
に、このようにして作成されたインクジェット記録ヘッ
ドを具備したインクジェット記録装置を用いて印字テス
トを試行した。但し、テスト条件は、ノズル密度を３６
０ＤＰＩ、ノズル数を１３４４ノズル、吐出周波数を
２．８４ｋＨｚ、使用インクをＤＥＧ１５％水系インク
（染料３％を含む）とした。結果は安定した印字が可能
であった。

【００３７】実施例２ 実施例１と同様にして、凸型のレジストパターンを作成
した。続いて、実施例１と同様に成形した。更に、吐出
口面を形成するために吐出口面を研磨した。研磨後、ア
セトン中に浸漬してレジストを溶解除去した。このよう
にして図１に示す様なサイドシュートタイプのヘッドを
作成した。このヘッドの表裏の樹脂量はそれぞれほぼ同
量であった。作成されたヘッドの吐出口面を、光学顕微
鏡により観察した結果、カケ、割れ、傷等の障害が無
く、レジスト残さも無く、また、温度変化による剥離等
のない、信頼性の高いものが得られた。更に、このよう
にして作成されたインクジェット記録ヘッドを具備した
インクジェット記録装置を用いて印字テストを試行し
た。但し、テスト条件は、ノズル密度を３６０ＤＰＩ、
ノズル数を１３４４ノズル、吐出周波数を２．８４ｋＨ
ｚ、使用インクをＤＥＧ１５％水系インク（染料３％を
含む）とした。結果は、安定した印字が可能であった。

【００３８】

【他の実施例】以下に本発明を用いたインクジェット記
録ヘッドにつ 図３はこの様なインクジェット記録ヘッ
ドの概略構成図であり、エッチング・蒸着・スパッタリ
ング等の半導体製造プロセス構成を経て、基板１１０２
上に成膜形成された電気熱変換体１１０３、配線１１０
４、液路壁１１０５、天板１１０６から構成されている
インクジェット記録ヘッドが示されている。記録用液体
１１１２は図示していない液体貯蔵室から液体供給管１
１０７を通して記録ヘッド１１０１の共通液室１１０８
内に供給される。図中１１０９は液体供給管用コネクタ
である。共通液室１１０８内に供給された液体１１１２
は所謂毛管現象により液路１１１０内に供給され、液路
先端の吐出口面（オリフィス面）でメニスカスを形成す
ることにより安定に保持される。ここで電気熱変換体１
１０３に通電することにより、電気熱変換体面上の液体
が急峻に加熱され、液路中に気泡が生起され、その気泡
の膨張・収縮により吐出口１１１１から液体を吐出し液
滴が形成される。

【００３９】また図４は本発明が適用されるインクジェ
ット記録装置の概観図で、駆動モータ５０１３の正逆回
転に連動して駆動力伝達ギア５０１１、５００９を介し
て回転するリードスクリュー５００５のら線溝５００４
に対して係合するキャリッジＨＣはピン（不図示）を有
し、矢印ａ、ｂ方向に往復移動される。５００２は紙押
え板であり、キャリッジ移動方向にわたって紙をプラテ
ン５０００に対して押圧する。５００７、５００８はフ
ォトカプラでキャリッジのレバー５００６のこの域での
存在を確認してモータ５０１３の回転方向切換等を行う
ためのホームポジション検知手段である。５０１６は記
録ヘッドの前面をキャップするキャップ部材５０２２を
支持する部材で、５０１５はこのキャップ内を吸引する
吸引手段でキャップ内開口５０２３を介して記録ヘッド
の吸引回復を行う。５０１７はクリーニングブレード
で、５０１９はこのブレードを前後方向に移動可能にす
る部材であり、本体支持板５０１８にこれらは支持され
ている。ブレードは、この形態でなく周知のクリーニン
グブレードが本例に適用できることはいうまでもない。
又、５０１２は、吸引回復の吸引を開始するためのレバ
ーで、キャリッジと係合するカム５０２０の移動に伴っ
て移動し、駆動モータからの駆動力がクラッチ切換等の
公知の伝達手段で移動制御される。

【００４０】これらのキャッピング、クリーニング、吸
引回復は、キャリッジがホームポジション側領域にきた
ときにリードスクリュー５００５の作用によってそれら
の対応位置で所望の処理が行えるように構成されている
が、周知のタイミングで所望の作動を行うようにすれ
ば、本例には何れも適用できる。上述における各構成は
単独でも複合的に見ても優れた発明であり、本発明にと
って好ましい構成例を示している。

【００４１】尚、本装置にはインク吐出圧発生素子を駆
動するための駆動信号供給手段を有している。

【００４２】

【発明の効果】上記のように、本発明によるインクジェ
ット記録ヘッド、並びに該記録ヘッドを具備するインク
ジェット記録装置は、高温や低温下においても剥離等が
無く、また信頼性の高い、吐出精度に優れた印字を可能
にする。

【００４３】更に、本発明の製造方法により該記録ヘッ
ドを製造する場合、高価な装置を必要とせずに、安価に
大量に短時間で記録ヘッドを製造することができるとい
う効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１（ａ），（ｂ）は本発明の一実施例を示す
斜視図及び断面図である。

【図２】図２（ａ），（ｂ）は本発明の他の実施例を示
す斜視図及び断面図である。

【図３】本発明のインクジェット記録ヘッドの概略構成
図である。

【図４】本発明のインクジェット記録装置の概観斜視図
である。

【符号の説明】

１，４ 基板 ２，５ エネルギー発生素子 ３，６ 樹脂硬化体 ３ａ，６ａ インク吐出口 ３ｂ，６ｂ 液路 ３ｃ，６ｃ インク供給口

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液体吐出エネルギー発生部を有する基板
   上にポジ型フォトレジストから成る感光層を形成し、所
   要の露光、現像処理を行ってポジ型フォトレジストをパ
   ターニングして固体層を形成した後、液状の液流路形成
   用材料を被覆し、該液流路形成用材料を硬化させた後パ
   ターニング処理された固体層を溶解除去することによっ
   て液流路及び液室部分が形成された構造を有する液体噴
   射記録ヘッドの製造方法において、前記液状の液流路形
   成用材料が主剤および硬化剤からなる２液であり、該２
   液を混合しながら型内に充填する所謂リムによる成形法
   により前記基板の表裏にそれぞれ所定量被覆された構造
   を形成することを特徴とするインクジェット記録ヘッド
   の製造方法。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の製造方法により製造し
   たことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
3. 【請求項３】 液体吐出エネルギー発生部が、熱エネル
   ギーを発生する電気熱変換体である請求項２に記載のイ
   ンクジェット記録ヘッド。
4. 【請求項４】 記録媒体の記録領域の全幅にわたって吐
   出口が複数設けられているフルラインタイプのものであ
   る請求項２記載のインクジェット記録ヘッド。
5. 【請求項５】 多色用の吐出口が一体成形されたもので
   ある請求項２に記載のインクジェット記録ヘッド。
6. 【請求項６】 記録媒体の被記録面に対向してインクを
   吐出する吐出口が設けられている請求項２に記載のイン
   クジェット記録ヘッドと、該ヘッドを載置するための部
   材とを少なくとも具備することを特徴とするインクジェ
   ット記録装置。