JPH11188881A

JPH11188881A - インクジェットヘッド、その製造方法及びそれを具備するインクジェット記録装置

Info

Publication number: JPH11188881A
Application number: JP36104197A
Authority: JP
Inventors: Norio Okuma; 典夫大熊
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1997-12-26
Filing date: 1997-12-26
Publication date: 1999-07-13
Anticipated expiration: 2017-12-26
Also published as: JP3610215B2

Abstract

(57)【要約】【課題】耐久性が高く、製造歩留まりの高いインクジ
ェットヘッドを提供する。【解決手段】インク吐出圧力発生素子２が形成された
基板１とインクを吐出する吐出口が配設された吐出口配
設部材３を有してなるインクジェットヘッドにおいて、
前記吐出口配設部材３の前記吐出口が配設された面の吐
出口近傍に凹部５が形成され、前記凹部を含めて前記面
上に撥水性部材４が配置されていることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット記
録に用いるインク液滴を発生するためのインクジェット
ヘッド及びその製造方法に関する。特に、本発明は、長
期の使用に対し印字品位の劣化が少ないインクジェット
ヘッド、及び該ヘッドを歩留まり良く製造する方法に関
する。また本発明は、このインクジェットヘッドを具備
するインクジェット記録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、インクジェットヘッドの吐出
口表面の表面処理については様々な提案がなされてい
る。その多くは、撥水処理に関するもので、即ち、吐出
口表面に撥水処理を施して吐出口表面のインクに対する
濡れ性を小さくすることによって、インク液滴の吐出方
向を安定化させて、高品位な印字を行うことを目的とす
るものである。

【０００３】しかしながら、撥水処理の効果の持続性／
耐久性については十分なものではなかった。即ち、イン
クジェットヘッドのクリーニング時などにヘッド表面を
ブレード部材でワイピングするために、撥水性部材が磨
耗することに起因する印字品位の劣化が認められた。

【０００４】さらに、吐出口形成後に撥水処理を施す場
合、吐出口内に一部でも撥水性部材が入り込むと、印字
不良を起こし、従来技術の方法ではその生産性は高いも
のではなかった。

【０００５】図１０は、従来のインクジェットヘッドの
ノズル部断面図であり、インク吐出圧力発生素子２が形
成された基板１上に、吐出口配設部材３及び撥水性部材
４が形成されている。このインクジェットヘッドを長期
に使用すると、前述のごとくブレード部材によるワイピ
ングで撥水性部材４が磨耗し、図１１に示す様に、非撥
水面（ノズル面）が露出し、その部分がインクに対し濡
れることにより吐出液滴の方向性が乱れ、結果的に印字
品位が低下する場合があった。

【０００６】無論、撥水性部材をあらかじめ厚めに設定
すれば耐磨耗性は向上するが、撥水性部材は、表面張力
の小さい物質で構成されており、厚膜化することは困難
である。

【０００７】また、テフロン粒子含有のＮｉ共析メッキ
等の手法で撥水性部材を厚膜化することは可能である
が、メッキによる撥水性部材の形成のため吐出口配設部
材が金属に限定されるなどの制約が大きい。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記諸点に
鑑みなされたものであって、吐出口配設部材のインク吐
出口が形成される表面の一部に凹部を形成し、前記凹部
に撥水性部材が配置されるように形成することで、耐久
性の高いインクジェットヘッドを提供するものである。

【０００９】さらに、本発明は、吐出口形成後に撥水処
理を施す場合に、吐出口内部への撥水性部材の入り込み
が極めて少なく、生産性の高いインクジェットヘッドの
製造方法を提供するものでもある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明は、インクを吐出する吐出口が配設された吐出口配設
部材を有してなるインクジェットヘッドにおいて、前記
吐出口配設部材の前記吐出口が配設された面の吐出口近
傍に少なくとも一つの凹部が形成され、該凹部を含めて
前記面上に撥水性部材が配置されていることを特徴とす
るインクジェットヘッドによって達成される。

【００１１】又、上記のインクジェットヘッドは、基板
上にインクを吐出するために利用されるエネルギーを発
生するエネルギー発生素子を形成する工程、該基板上に
インクを吐出する吐出口が配設される吐出口配設部材を
配する工程、該吐出口配設部材に吐出口を形成する工
程、前記吐出口配設部材の前記吐出口が配設された面の
吐出口近傍に少なくとも一つの凹部を形成する工程、及
び前記凹部を含めて前記面上に撥水性部材を配置する工
程を有することを特徴とする方法により製造される。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下に本発明を詳細に説明する。

【００１３】図１に、本発明の一実施形態になるインク
ジェットヘッドの概略断面図を示す。ここで吐出口配設
部材３表面は、吐出口１０の周辺に凹部５を有し、撥水
性部材４が埋め込まれるように配置されている。このヘ
ッドを長期に使用した場合、撥水性部材４の磨耗は生じ
るが、凹部に埋め込まれた撥水性部材は残存し（図２参
照）、少なくとも吐出口周辺部は撥水性を保っておりイ
ンクに濡れることがないため印字品位の劣化を抑えるこ
とができる。

【００１４】更に、撥水性部材をフレキソ印刷等の手法
で吐出口配設部材表面に転写する際に、図１のように吐
出口周辺に凹部が形成されているノズルを用いると歩留
まりが向上することが見出された。つまり、図１２に示
すように、表面がフラットに形成さたノズルに対してフ
レキソ印刷のような撥水性部材を溶剤に溶かして転写す
る方法を用いた場合には、吐出口内部に撥水性部材が入
り込み、不良が発生する場合がある。

【００１５】一方、ノズル表面の吐出口周囲に凹部が形
成されている場合、撥水性部材の印刷の際に凹部が液溜
りとなり、吐出口内部への撥水性部材の入り込みを防
ぎ、歩留まりよく安定的に生産できることが見出され
た。

【００１６】次に、ノズル表面の吐出口周囲に凹部を形
成する方法について述べる。

【００１７】吐出口配設部材が樹脂で成形される場合、
成形型に凸部形状を配置すれば可能である。また、吐出
口配設部材形成後に、エキシマレーザー等で、彫り込み
加工を施すことも可能である。

【００１８】しかしながら、本発明に最も適した方法
は、吐出口配設部材にネガ型感光性樹脂を用い、前記感
光性樹脂の限界解像度以下の線幅のマスクでパターニン
グすることで凹部を形成することであり、以下の利点を
有する。・吐出口パターニング時に同一マスクにより形
成可能なため、吐出口とのアライメント誤差が無く、工
程数の増加も無い。・凹部の深さ方向のバラツキが極め
て少ない。・樹脂成形の際のバリや、エキシマレーザー
加工の際のアブレーションによる残渣の発生等、加工残
渣の発生が無い。

【００１９】通常、ネガ型感光性樹脂は、その限界解像
度以下のマスクパターンに対して、基板面まで貫通しな
いパターンを形成する。凹部の深さ、幅等は、使用する
ノズル形態、及びパターニングの際の露光機により適宜
決定される。

【００２０】例えば、図５に示すようなパターンを有す
るマスクを使用して露光、現像を行い、所望の吐出口の
形成と同時に凹部が形成される。なお、同図では、吐出
口形状が矩形の場合について説明しているが、吐出口形
状としては、矩形のほか、円形、楕円形、多角形等所望
の形状に形成することが可能である。従って、凹部も吐
出口形状に合わせて形成すればよい。又、凹部は連続し
た溝状パターンを用いて形成しているが、撥水性部材の
保持効果が得られるのであれば、連続溝としなくてもよ
く、例えば、等間隔で円形、矩形などの複数の凹部を形
成してもよい。また、吐出口周囲に二重、三重と複数取
り囲むように形成してもよい。

【００２１】このようにして形成される凹部は、吐出口
端から外方に向かっての幅が１〜３０μｍ、より好まし
くは２〜１０μｍの範囲を有することが望ましく、ま
た、深さとしては１〜５μｍ程度であることが望まし
い。また、凹部は、吐出口端から２０μｍ以内の近傍に
少なくとも一つ形成されるのが望ましいが、あまり近付
きすぎると撥水性部材の形成の際に撥水性部材が吐出口
内に侵入したり、吐出口壁が薄くなりすぎて欠け易くな
る場合もあるため、１〜５μｍ程度の間隔を設けること
が好ましい。

【００２２】図９は、上記のインクジェットヘッドを装
着して適用することのできるインクジェット記録装置の
一例を示す概略斜視図である。図９において６０１は上
記の方法で作製したインクジェットヘッドである。この
ヘッド６０１は、駆動モータ６０２の正逆回転に連動し
て駆動力伝達ギア６０３及び６０４を介して回転するリ
ードスクリュ６０６の螺旋溝６０５に対して係合するキ
ャリッジ６０７上に搭載されており、上記駆動モータ６
０２の動力によってキャリッジ６０７とともにガイド６
０８に沿って矢印ａ及びｂ方向に往復移動される。図示
しない記録媒体供給装置によってプラテン６０９上を搬
送されるプリント用紙Ｐの紙押さえ板６１０は、キャリ
ッジ移動方向にわたってプリント用紙Ｐをプラテン６０
９に対して押圧する。

【００２３】上記リードスクリュ６０６の一端の近傍に
は、フォトカプラ６１１及び６１２が配設されている。
これらはキャリッジ６０７のレバー６０７ａのこの域で
の存在を確認して駆動モータ６０２の回転方向切り換え
等を行うためのホームポジション検知手段である。図に
おいて６１３は上述のインクジェットヘッド６０１の吐
出口のある前面を覆うキャップ部材６１４を支持する支
持部材である。又、６１５はキャップ部材６１４の内部
にヘッド６０１から空吐出等されて溜まったインクを吸
引するインク吸引手段である。この吸引手段６１５によ
りキャップ内開口部６１６を介してヘッド６０１の吸引
回復が行われる。６１７はクリーニングブレードであ
り、６１８はブレード６１７を前後方向（上記キャリッ
ジ６０７の移動方向に直交する方向）に移動可能にする
移動部材であり、ブレード６１７及び移動部材６１８は
本体支持体６１９に支持されている。上記ブレード６１
７はこの形態に限らず、他の周知のクリーニングブレー
ドであってもよい。６２０は吸引回復操作にあたって、
吸引を開始するためのレバーであり、キャリッジ６０７
と係合するカム６２１の移動に伴って移動し、駆動モー
タ６０２からの駆動カがクラッチ切り換え等の公知の伝
達手段で移動制御される。上記ヘッド６０１に設けられ
たインク吐出圧力発生素子２に信号を付与したり、前述
した各機構の駆動制御を司ったりするインクジェット制
御部は装置本体側に設けられており、ここには図示しな
い。

【００２４】上述の構成を有するインクジェット記録装
置６００は、図示しない被記録材給送装置によりプラテ
ン６０９上を搬送される被記録材Ｐに対し、ヘッド６０
１は用紙Ｐの全幅にわたって往復移動しながら記録を行
う。

【００２５】なお、本発明は、インクジェット記録方式
の中でも、インク吐出を行わせるために利用されるエネ
ルギーとして熱エネルギーを発生する手段（例えば、電
気熱変換体やレーザ光等）を備え、前記熱エネルギーに
よりインクの状態変化を生起させる方式の記録ヘッド、
記録装置において優れた効果をもたらすものである。か
かる方式によれば、記録の高密度化、高精細化が達成で
きるからである。

【００２６】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４，７２３，１２９号及び同第４，７４
０，７９６号に開示されている基本的な原理を用いて行
うものが望ましい。この方式は所謂オンデマンド型、コ
ンティニュアス型のいずれにも適用可能であるが、特
に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）が保持
されているシートや液路に対応して配置されている電気
熱変換体に、記録情報に対応していて核沸騰を越える急
速な温度上昇を与える少なくとも１つの駆動信号を印加
することによって、結果的にこの駆動信号に一対一で対
応した液体（インク）内の気泡を形成できるので有効で
ある。この気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して
液体（インク）を吐出させて、少なくとも１つの滴を形
成する。この駆動信号をパルス形状とすると、即時適切
に気泡の成長収縮が行われるので、特に応答性に優れた
液体（インク）の吐出が達成でき、より好ましい。この
パルス形状の駆動信号としては、米国特許第４，４６
３，３５９号、同第４，３４５，２６２号に記載されて
いるようなものが適している。尚、上記熱作用面の温度
上昇率に関する発明の米国特許第４，３１３，１２４号
に記載されている条件を採用すると、さらに優れた記録
を行うことができる。

【００２７】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体
の組み合わせ構成（直線状液流路または直角液流路）の
他に熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を開
示する米国特許第４，５５８，３３３号、同第４，４４
５９，６００号を用いた構成も本発明に含まれるもので
ある。加えて、複数の電気熱変換体に対して、共通する
スリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開示する
特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギーの圧力
波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開示する
特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構成として
も本発明の効果は有効である。即ち、記録ヘッドの形態
がどのようなものであっても、本発明によれば記録を確
実に効率よく行うことができるようになるからである。

【００２８】さらに、記録装置が記録できる記録媒体の
最大幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドに対しても本発明は有効に適用できる。そのよう
な記録ヘッドとしては、複数記録ヘッドの組み合わせに
よってその長さを満たす構成や、一体的に形成された１
個の記録ヘッドとしての構成のいずれかでもよい。

【００２９】又、本発明の記録装置の構成として、記録
ヘッドの吐出回復手段、予備的な補助手段等を付加する
ことは本発明の効果を一層安定できるので、好ましいも
のである。これらを具体的に挙げれば、記録ヘッドに対
してのキャッピング手段、クリーニング手段、加圧或い
は吸引手段、電気熱変換体或いはこれとは別の加熱素子
或いはこれらの組み合わせを用いて加熱を行う予備加熱
手段、記録とは別の吐出を行う予備吐出手段を挙げるこ
とができる。

【００３０】又、搭載される記録ヘッドの種類ないし個
数についても、例えば単色のインクに対応して１個のみ
が設けられたものの他、記録色や濃度を異にする複数の
インクに対応して複数個数設けられるものであってもよ
い。即ち、例えば記録ヘッドを一体的に構成するか複数
個の組み合わせによるかいずれのでもよいが、異なる色
の複色カラー、または混色によるフルカラーの各記録モ
ードの少なくとも一つを備えた装置にも本発明が極めて
有効である。

【００３１】更に加えて、以上説明した本発明において
は、インクを液体として説明しているが、室温やそれ以
下で固化するインクであっても、室温以上で軟化もしく
は液化するものを用いてもよく、或いはインクジェット
方式ではインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲内で
温度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあるよ
うに温度制御するものが一般的であるから、使用記録信
号付与時にインクが液状をなすものを用いてもよい。加
えて、熱エネルギーによる昇温を、インクの固形状態か
ら液体状態への状態変化のエネルギーとして使用せしめ
ることで積極的に防止するため、またはインクの蒸発を
防止するため、放置状態で固化し加熱によって液化する
インクを用いてもよい。いずれにしても、熱エネルギー
の記録信号に応じた付与によってインクが液化し、液状
インクが吐出されるものや、記録媒体に到達する時点で
はすでに固化し始めるもの等のような、熱エネルギーの
付与によって初めて液化する性質のインクを使用する場
合も本発明は適用可能である。このような場合のインク
は、特開昭５４−５６８４７号公報或いは特開昭６０−
７１２６０号公報に記載されるような、多孔質シート凹
部または貫通孔に液状又は固形物として保持された状態
で、電気熱変換体に対して対向するような形態としても
よい。本発明において、上述した各インクに対して最も
有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行したものであ
る。

【００３２】更に加えて、本発明のインクジェット記録
装置の形態としては、コンピューター等の情報処理機器
の画像出力端末として用いられるものの他、リーダ等の
組み合わせた複写装置、更には送受信機能を有するファ
クシミリ装置の形態を採るもの等であってもよい。

【００３３】

【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
るが、本発明はこれらの実施例のみに限定されるもので
はない。

【００３４】実施例１まず、以下に示す方法でインクジェットヘッドを作成し
た。

【００３５】図３に示すように、Ｓｉウェハー基板１上
にインクを吐出するために利用されるエネルギーを発生
するエネルギー発生素子として電気熱変換素子（Ｔａ
Ｎ）２を形成した。尚、電気熱変換素子２にはその素子
を動作させるための制御信号入力電極が接続されている
（図示せず）。この、このＡ−Ａ’断面が図４（ａ）で
ある。

【００３６】次いで図４（ｂ）に示すように、基板１上
に東京応化工業（株）ポジレジスト「ＯＤＵＲ」からな
るインク流路パターン６を形成した（厚みｔ１＝１２μ
ｍ）。

【００３７】更に下記第１表に記載のネガ型感光性樹脂
層７を適宜塗布溶媒に溶解し、スピンコートにより基板
１上に形成した。尚、樹脂層７の厚みは前記「ＯＤＵ
Ｒ」上でｔ２＝１０μｍに形成されている（図４
（ｃ））。

【００３８】

【表１】

【００３９】ここで、吐出口及び凹部形成マスク８を介
してキヤノン製マスクアライナー「ＭＰＡ６００ｓｕ
ｐｅｒ」を用いて、露光量１．０Ｊ／ｃｍ²で露光を行
った（図４（ｄ））。尚、吐出口部はマスク寸法ａ＝２
４μｍ角、凹部形成マスクは線幅ｂ＝３μｍ、吐出口と
凹部との間隔ｃ＝１μｍの図５（吐出口部の上面図）に
示すマスクを用いた。次いでホットプレートで９０℃で
４分間加熱し、メチルイソブチルケトン（ＭＩＢＫ）／
キシレン＝２／３で現像してインク流路パターン６を除
去し、キシレンでリンスを行い、吐出口及び凹部を形成
した（図６）。吐出口は、２２．８μｍ角に、凹部は幅
２μｍ（ノズル表面）、深さ２μｍに形成された（図６
（ｂ））。吐出口端から凹部までの間隔は、１．２μｍ
であった。

【００４０】次いで、下記第２表に記載のネガ型感光性
撥水性部材４を適宜塗布溶媒に溶解し、吐出口配設部材
７上にスピンコートで形成し（膜厚１μｍ）、吐出口配
設部材と同様にパターニングを行った。

【００４１】

【表２】

【００４２】撥水性部材４は、吐出口周辺の凹部に埋め
込まれるように配置される。なお、撥水性部材４は、吐
出口角（Ｗ１）に対して周辺に２３μｍ角（Ｗ２）の領
域を残すように形成される（図７参照）。

【００４３】次いで、前記基板１をＳｉ異方性エッチン
グにより図８に示すようにエッチングしてインク供給口
９を形成し、インク流路パターン６を除去し、更に吐出
口配設部材、撥水性部材を完全に硬化させるために１８
０℃で１時間加熱を行いインクジェットヘッドを得た。

【００４４】又、比較のため、吐出口周囲に凹部５を形
成していない吐出口配設部材上に同様の方法により撥水
性部材を形成し、以下同様の工程で形成したインクジェ
ットヘッドも試作した。

【００４５】これらのインクジェットヘッドに、インク
を充填し、長期の使用を想定してブレードによるワイピ
ングを５０００回行った後に、印字試験を実施した。そ
の結果、凹部５を形成した本発明のインクジェットヘッ
ドでは、良好な印字品位が維持されていた。一方、凹部
を形成せずに作製したインクジェットヘッドでは、イン
ク液滴の吐出方向のヨレに起因すると思われる印字品位
の劣化が認められるヘッドがあった。

【００４６】そこで、印字品位の劣化したインクジェッ
トヘッドのノズル表面を観察したところ、撥水性部材が
一部欠落しており、その部分がインクに濡れた状態とな
っていた。同時に、凹部を有する本発明のインクジェッ
トヘッドのノズル表面を観察したところ、吐出口周辺の
凹部に埋め込まれるように配置された撥水性部材はすべ
て残存しており、十分な撥水性が維持できていることか
ら、インクで濡れてはいなかった。

【００４７】以上、本実施例からわかるように、ノズル
吐出口周辺に凹部を設け、該凹部に撥水性部材を埋め込
むように配置することで、ブレードによるワイピング耐
性の高い、すなわち、長期の使用に際して印字品位の劣
化の少ないインクジェットヘッドを提供することが可能
となる。

【００４８】実施例２本実施例では、撥水性部材としてパーフルオロカーボン
を主鎖に持つ高分子化合物（旭硝子社製、商品名「サイ
トップ」）を適宜溶媒に溶解し、フレキソ印刷でノズル
表面に転写させる方法について説明する。

【００４９】実施例１と同様にして凹部５を有するノズ
ルを形成し、次いで、「サイトップ」／フッ素系シラン
カップリング材「ＫＰ８０２」（信越化学製）＝１００
／５をＣＴｓｏｌｖｅ１００溶媒に溶解し、フレキソ
印刷機でノズル表面に撥水性部材を１μｍ厚となるよう
に形成した。１５０℃で２時間加熱することで溶媒を乾
燥させ、撥水性部材をノズル表面に固着した。また比較
のため、凹部５を設けずにフレキソ印刷により撥水性部
材を形成したインクジェットヘッドも試作した。

【００５０】こうして得られたインクジェットヘッドに
対して、実施例１と同様に印字し件を実施したところ、
凹部を有する本発明のインクジェットヘッドでは、歩留
まりが９２％であったのに対し、凹部を形成せずにフレ
キソ印刷を実施したヘッドの歩留まりは６３％であっ
た。凹部のないヘッドの不良解析を行ったところ、ノズ
ル内に撥水性部材が進入して印字不良を引き起こしてい
ることが確認された。一方、凹部を有する本発明のヘッ
ドの不良解析では、撥水性部材のノズル内への進入は見
つからず、ごみ等の他の要因に起因することが判明し
た。

【００５１】これは、撥水性部材の印刷の際に凹部が液
溜りとなり、吐出口内部への撥水性部材の進入が防止さ
れたためと考えられる。

【００５２】又、凹部を有するヘッドの良品を実施例１
と同様にブレードによるワイピングを５０００回行った
後、印字試験を行ったところ、良好な印字品位が維持さ
れていた。

【００５３】

【発明の効果】本発明によれば、・長期の使用に際しても撥水性部材が凹部に入って吐出
口配設部材に確実に固定され残るので、印字品位の劣化
の少ないヘッドを提供することが可能となる。・吐出口内部への撥水性部材の進入が防止され、高歩留
まりで高品位の印字が可能となるインクジェットヘッド
を生産することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のインクジェットヘッドの吐出口周辺の
部分断面図である。

【図２】本発明にかかるインクジェットヘッドを長期に
使用した後の、磨耗した撥水性部材の状態を示す部分断
面図である。

【図３】本発明のインクジェットヘッドの製造方法を説
明するための図で、基板上にインク吐出圧発生素子が形
成されている状態を示す概略斜視図である。

【図４】（ａ）〜（ｄ）は、本発明のインクジェットヘ
ッドの製造方法を説明するための概略断面図である。

【図５】図４（ｄ）で使用するマスクの、吐出口及び凹
部のパターンを説明する図である。

【図６】本発明のインクジェットヘッドの製造方法を説
明するための図で、吐出口配設部材を露光、現像した後
の概略断面図であり、（ｂ）はその部分拡大図である。

【図７】本発明のインクジェットヘッドの製造方法を説
明するための図で、撥水性部材４を塗布した状態を示す
図である。

【図８】完成した本発明のインクジェットヘッドの模式
的断面図である。

【図９】本発明に係るインクジェットヘッドを装着して
適用することのできるインクジェット記録装置の一例を
示す概略斜視図である。

【図１０】従来技術によるインクジェットヘッドの模式
的部分断面図である。

【図１１】従来技術による課題を説明するための概略断
面図である。

【図１２】従来例のフレキソ印刷による課題を説明する
ための概略断面図である。

【符号の説明】

１基板２インク吐出エネルギー発生素子３吐出口配設部材４撥水性部材５凹部１０吐出口

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】インクを吐出する吐出口が配設された吐
出口配設部材を有してなるインクジェットヘッドにおい
て、前記吐出口配設部材の前記吐出口が配設された面の吐出
口近傍に少なくとも一つの凹部が形成され、該凹部を含
めて前記面上に撥水性部材が配置されていることを特徴
とするインクジェットヘッド。
【請求項２】前記吐出口配設部材が、ネガ型感光性樹
脂によって形成され、該ネガ型感光性樹脂の限界解像度
以下のパターン転写によって前記凹部が形成されること
を特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】前記撥水性部材が、ソルベントコートに
よって前記吐出口配設部材上に形成されることを特徴と
する請求項１又は２記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】前記撥水性部材が、フレキソ印刷によっ
て前記吐出口配設部材上に形成されることを特徴とする
請求項１又は２記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】前記撥水性部材が、感光性樹脂であるこ
とを特徴とする請求項１又は２記載のインクジェットヘ
ッド。
【請求項６】電気エネルギーを与えることによって発
熱し、インクに状態変化を生ぜしめて吐出を行わせるた
めの電気熱変換体を具備する請求項１乃至５のいずれか
１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】基板上にインクを吐出するために利用さ
れるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を形成す
る工程、該基板上にインクを吐出する吐出口が配設され
る吐出口配設部材を配する工程、該吐出口配設部材に吐
出口を形成する工程、前記吐出口配設部材の前記吐出口
が配設された面の吐出口近傍に少なくとも一つの凹部を
形成する工程、及び前記凹部を含めて前記面上に撥水性
部材を配置する工程を有することを特徴とするインクジ
ェットヘッドの製造方法。
【請求項８】前記吐出口配設部材が、ネガ型感光性樹
脂によって形成され、該ネガ型感光性樹脂の限界解像度
以下のパターン転写によって前記凹部を形成することを
特徴とする請求項７に記載のインクジェットヘッドの製
造方法。
【請求項９】前記撥水性部材を、ソルベントコートに
よって前記吐出口配設部材上に形成することを特徴とす
る請求項７又は８記載のインクジェットヘッドの製造方
法。
【請求項１０】前記撥水性部材を、フレキソ印刷によ
って前記吐出口配設部材上に形成することを特徴とする
請求項７又は８記載のインクジェットヘッドの製造方
法。
【請求項１１】前記撥水性部材が、感光性樹脂である
ことを特徴とする請求項７又は８記載のインクジェット
ヘッドの製造方法。
【請求項１２】前記エネルギー発生素子が、電気エネ
ルギーを与えることによって発熱し、インクに状態変化
を生ぜしめて吐出を行わせるための電気熱変換体である
ことを特徴とする請求項７乃至１１のいずれか１項に記
載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１３】記録媒体の被記録面に対してインクを
吐出する請求項１乃至６のいずれかに記載のインクジェ
ットヘッドと、該インクジェットヘッドを載置するため
の部材とを少なくとも具備するインクジェット記録装
置。