JP4537498B2 - 吐出口部材の製造方法 - Google Patents
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(a)図〜(d)図は、吐出口で切断したときの模式図を示す。図9において、31は基板、32は吐出口(オリフィス)、33は撥水性の感光性樹脂材料層、34はフォトマスク1である。
(2)前記第一の材料層は、エポキシ樹脂と光カチオン重合開始剤とを含むことを特徴とする前記(1)に記載の吐出口部材の製造方法。
(3)前記撥水用材料は、フッ素原子を有する化合物を含むことを特徴とする前記(1)または(2)に記載の吐出口部材の製造方法。
(4)前記提供工程では、前記吐出口と連通する液体の流路の形状の樹脂層が設けられた基板上に前記活性エネルギー線硬化性の層を提供し、前記形成工程を行った後に前記樹脂層を除去して前記流路を形成することを特徴とする前記(1)乃至(3)のいずれか1項に記載の吐出口部材の製造方法。
(5)液体を吐出する吐出口と該吐出口と連通する液体の流路とを有する液体吐出ヘッドの、前記吐出口が設けられ、前記吐出口が開口している側の表面が撥水性である吐出口部材の製造方法において、前記流路の壁となるための第一の材料層と、前記表面を撥水性とするための撥水用材料を含む第二の材料層と、を有する、前記吐出口部材となるための活性エネルギー線硬化性の層、を提供する提供工程と、前記活性エネルギー線硬化性の層の、前記第一の材料層と前記第二の材料層とを一括して露光する露光工程と、前記活性エネルギー線硬化性の層の、前記露光工程で露光されなかった部分を除去することにより、前記吐出口を形成する形成工程と、を有することを特徴とする吐出口部材の製造方法。
(6)前記第一の材料層は、エポキシ樹脂と光カチオン重合開始剤とを含むことを特徴とする前記(5)に記載の吐出口部材の製造方法。
(7)前記撥水用材料は、フッ素原子を有する化合物を含むことを特徴とする前記(5)または(6)記載の吐出口部材の製造方法。
(8)前記提供工程では、前記流路の形状の樹脂層が設けられた基板上に前記活性エネルギー線硬化性の層を提供し、前記形成工程を行った後に前記樹脂層を除去して前記流路を形成することを特徴とする前記(5)乃至(7)のいずれか1項に記載の吐出口部材の製造方法。
(9)液体を吐出する吐出口を有する液体吐出ヘッドの、前記吐出口が設けられ、前記吐出口が開口している側の表面が撥水性である吐出口部材の製造方法において、前記表面を撥水性とするための撥水用材料を第一の材料層を被覆するように前記第一の材料層上に付与して、前記吐出口部材となるための活性エネルギー線硬化性の層を設ける工程と、前記活性エネルギー線硬化性の層の前記撥水用材料の部分と前記第一の材料層の部分とを一括して露光する露光工程と、前記活性エネルギー線硬化性の層の、前記露光工程で露光されなかった部分を除去することにより、前記吐出口を形成する形成工程と、を有することを特徴とする吐出口部材の製造方法。
(10)前記第一の材料層は、エポキシ樹脂と光カチオン重合開始剤とを含むことを特徴とする前記(9)に記載の吐出口部材の製造方法。
(11)前記撥水用材料は、フッ素原子を有する化合物を含むことを特徴とする前記(9)または(10)に記載の吐出口部材の製造方法。
(12)前記活性エネルギー線硬化性の層を設ける工程では、前記吐出口と連通する液体の流路の形状の樹脂層が設けられた基板上に前記活性エネルギー線硬化性の層を提供し、前記形成工程を行った後に前記樹脂層を除去して前記流路を形成することを特徴とする前記(9)乃至(11)のいずれか1項に記載の吐出口部材の製造方法。
以上のような本発明によれば、吐出口部の撥インク性感光性材料とインク流路形成材料とを同時にパターニングされ、また、撥インク感光性材料とインク流路形成材料との相溶の問題もないため、各吐出口に均一で安定した撥インク領域を作ることができる。
まず、図1に示されるような、シリコン、硝子、セラミック、金属等のインクジェット用基板5を用意する。この基板5には、電気熱変換素子或いは、圧電素子等の吐出圧力発生素子6が所望の個数(説明の便宜上2個のみを示す)配置される。更に、この基板5には、インク供給口7が設けられている。
重量部
EHPE−3150(商品名、ダイセル化学工業(株)製) 100
SP−170(商品名、旭電化工業(株)製) 1.5
ジエチレングリコールジメチルエーテル 100
重量部
EHPE−3158(商品名、ダイセル化学工業(株)製) 34
2、2−ビス(4−グリシジルオキシフェニル)ヘキサフロロプロパン 25
1、4−ビス(2−ヒドロキシヘキサフロロイソプロピル)ベンゼン 25
3−(2−パーフルオロヘキシル)エトキシ−1、2−エポキシプロパン 16
A−187(商品名、日本ユニカー(株)製) 4
SP−170(商品名、旭電化工業(株)製) 1.5
ジエチレングリコールモノエチルエーテル 200
本実施例では、撥水性材料11の被覆方法を以下の方法とした以外は、前記実施例1と同様にしてインクジェット記録ヘッドを作製した。
前記実施例1,2はいずれも完全には撥水性材料11と流路形成材料10との相溶を防止はしていない。本実施例は両者の相溶を完全に防止できるものである。本実施例では、撥水性材料11の被覆方法を以下の方法とした以外は、実施例1と同様にしてインクジェット記録ヘッドを作製した。
(株)康井精機 社製、商品名 NCR−230によるマイクログラビア塗工方式で1μm
になるように塗工を行った。この時の乾燥温度は80℃で行った。
撥水性材料11の被覆方法を以下の方法とした以外は、前記実施例1と同様にして、インクジェット記録ヘッドを作製した。
撥水性材料11を被覆する前までは、実施例1と同様にインクジェット記録ヘッドを作製し、その後撥水性材料11を被覆することなく、実施例1と同様の条件で吐出口及び液路を作製した。その後、下記の方法で撥水性材料を被覆した。
重量部
EHPE−3150(商品名、ダイセル化学工業(株)製) 34
2、2−ビス(4−グリシジルオキシフェニル)ヘキサフロロプロパン 25
1、4−ビス(2−ヒドロキシヘキサフロロイソプロピル )ベンゼン 25
3−(2−パーフルオロヘキシル)エトキシ−1、2−エポキシプロパン 16
A−187(商品名、日本ユニカー(株)製) 4
SP−170(商品名、旭電化工業(株)製) 1.5
ジエチレングリコールモノエチルエーテル 3333
撥水性材料11を被覆する前までは、前記実施例1と同様にインクジェット記録ヘッドを作製し、その後撥水性材料11を被覆することなく、実施例1と同様の条件で吐出口及び液路を作製した。その後、前記組成物2を1μmになるように吐出口形成面にスピンコートし、80℃ホットプレート3分のベークを行った。
2 吐出口(オリフィス)
3 撥水性の感光性樹脂材料
4 フォトマスク
5 基板
6 電気熱変換素子(吐出圧力発生素子)
7 インク供給口
8 流路型材(感光性樹脂材料)
9 フォトマスク1
10 流路形成材料(組成物1)
11 感光性撥水性材料(組成物2)
12 フォトマスク2
13 吐出口
Claims (12)
- 液体を吐出する吐出口を有する液体吐出ヘッドの、前記吐出口が設けられ、前記吐出口が開口している側の表面が撥水性である吐出口部材の製造方法において、
第一の材料層と、前記表面を撥水性とするための撥水用材料を含む第二の材料層と、を有する、前記吐出口部材となるための活性エネルギー線硬化性の層、を提供する提供工程と、
前記活性エネルギー線硬化性の層の、前記第一の材料層と前記第二の材料層とを一括して露光する露光工程と、
前記活性エネルギー線硬化性の層の、前記露光工程で露光されなかった部分を除去することにより、前記吐出口を形成する形成工程と、
を有することを特徴とする吐出口部材の製造方法。 - 前記第一の材料層は、エポキシ樹脂と光カチオン重合開始剤とを含むことを特徴とする請求項1に記載の吐出口部材の製造方法。
- 前記撥水用材料は、フッ素原子を有する化合物を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の吐出口部材の製造方法。
- 前記提供工程では、前記吐出口と連通する液体の流路の形状の樹脂層が設けられた基板上に前記活性エネルギー線硬化性の層を提供し、
前記形成工程を行った後に前記樹脂層を除去して前記流路を形成することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の吐出口部材の製造方法。 - 液体を吐出する吐出口と該吐出口と連通する液体の流路とを有する液体吐出ヘッドの、前記吐出口が設けられ、前記吐出口が開口している側の表面が撥水性である吐出口部材の製造方法において、
前記流路の壁となるための第一の材料層と、前記表面を撥水性とするための撥水用材料を含む第二の材料層と、を有する、前記吐出口部材となるための活性エネルギー線硬化性の層、を提供する提供工程と、
前記活性エネルギー線硬化性の層の、前記第一の材料層と前記第二の材料層とを一括して露光する露光工程と、
前記活性エネルギー線硬化性の層の、前記露光工程で露光されなかった部分を除去することにより、前記吐出口を形成する形成工程と、
を有することを特徴とする吐出口部材の製造方法。 - 前記第一の材料層は、エポキシ樹脂と光カチオン重合開始剤とを含むことを特徴とする請求項5に記載の吐出口部材の製造方法。
- 前記撥水用材料は、フッ素原子を有する化合物を含むことを特徴とする請求項5または6記載の吐出口部材の製造方法。
- 前記提供工程では、前記流路の形状の樹脂層が設けられた基板上に前記活性エネルギー線硬化性の層を提供し、
前記形成工程を行った後に前記樹脂層を除去して前記流路を形成することを特徴とする請求項5乃至7のいずれか1項に記載の吐出口部材の製造方法。 - 液体を吐出する吐出口を有する液体吐出ヘッドの、前記吐出口が設けられ、前記吐出口が開口している側の表面が撥水性である吐出口部材の製造方法において、
前記表面を撥水性とするための撥水用材料を第一の材料層を被覆するように前記第一の材料層上に付与して、前記吐出口部材となるための活性エネルギー線硬化性の層を設ける工程と、
前記活性エネルギー線硬化性の層の前記撥水用材料の部分と前記第一の材料層の部分とを一括して露光する露光工程と、
前記活性エネルギー線硬化性の層の、前記露光工程で露光されなかった部分を除去することにより、前記吐出口を形成する形成工程と、
を有することを特徴とする吐出口部材の製造方法。 - 前記第一の材料層は、エポキシ樹脂と光カチオン重合開始剤とを含むことを特徴とする請求項9に記載の吐出口部材の製造方法。
- 前記撥水用材料は、フッ素原子を有する化合物を含むことを特徴とする請求項9または10に記載の吐出口部材の製造方法。
- 前記活性エネルギー線硬化性の層を設ける工程では、前記吐出口と連通する液体の流路の形状の樹脂層が設けられた基板上に前記活性エネルギー線硬化性の層を提供し、
前記形成工程を行った後に前記樹脂層を除去して前記流路を形成することを特徴とする請求項9乃至11のいずれか1項に記載の吐出口部材の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010050938A JP4537498B2 (ja) | 1999-03-15 | 2010-03-08 | 吐出口部材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6832899 | 1999-03-15 | ||
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2000068878A Division JP4497633B2 (ja) | 1999-03-15 | 2000-03-13 | 撥液体層の形成方法及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
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JP2010120390A JP2010120390A (ja) | 2010-06-03 |
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP4537498B2 (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06305153A (ja) * | 1993-04-26 | 1994-11-01 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッドの表面処理方法 |
JPH1053639A (ja) * | 1995-06-13 | 1998-02-24 | Canon Inc | 溶剤易溶性のフッ素含有エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた表面処理方法 |
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JPH06305153A (ja) * | 1993-04-26 | 1994-11-01 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッドの表面処理方法 |
JPH1053639A (ja) * | 1995-06-13 | 1998-02-24 | Canon Inc | 溶剤易溶性のフッ素含有エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた表面処理方法 |
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