JP5328334B2 - 液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
まず、エネルギー発生素子としてのTaSiNからなるヒーター2を有し、ヒーター2を覆うようにして設けられた窒化シリコンの層11を表面に有する基板1を用意した(図4(a))。なお窒化シリコンの層の波長633nmにおける屈折率は2.1とした。Si/N比は1である。窒化シリコン層の成膜は、プラズマCVDで下記の条件で行った。
SiH4流量 160SCCM
NH3流量 40SCCM
N2流量 1500SCCM
ガス圧 700Pa
基板温度 350℃
RFパワー 500W
次いで、基板1の表面上にポジ型感光性樹脂(ODUR:東京応化社製)をスピンコートにより形成し、パターニングして流路のパターン14を形成した(図4(b))。
EHPE−3150 ダイセル化学(株)製 94
A−187 日本ユニカー(株)製 45
SP−170 旭電化工業(株)製 0.15
次いで、i線ステッパーを用いて365nmの光によりネガ型感光性樹脂の層16を5000J/m2で露光した(図4(d))。円形の吐出口パターンをもつマスクを用いて行った。
窒化シリコンの層の波長633nmにおける屈折率を2.05。SiN比は0.95とした窒化シリコンの層は実施例1のSiH4流量とNH3流量を調整し成膜を行った。それ以外は実施例1と同様にして記録ヘッドを作成した。
実施例1と異なる点は、窒化シリコンの層11として2層(上層11b、下層11a(図3(b)参照))の窒化シリコンの層を用意したことである。上層11bの波長633nmにおける屈折率は2.0、下層11aの波長633nmにおける屈折率は2.4とした。SiN比は1.45とした窒化シリコンの層は実施例1のSiH4流量とNH3流量を調整し成膜を行った。
実施例1と異なる点は、窒化シリコンの層11として2層(上層11b、下層11a(図3(b)参照))の窒化シリコンの層を用意したことである。上層11bの波長633nmにおける屈折率は2.1、下層11aの波長633nmにおける屈折率は2.4とした。上記の窒化シリコンの層は実施例1のSiH4流量とNH3流量を調整し成膜を行った。
実施例1と異なる点は、窒化シリコンの層11として2層(上層11b、下層11a(図3(b)参照))の窒化シリコンの層を用意したことである。上層11bの波長633nmにおける屈折率は2.4、下層11aの波長633nmにおける屈折率は2.0とした。上記の窒化シリコンの層は実施例1のSiH4流量とNH3流量を調整し成膜を行った。
実施例1と異なる点は、窒化シリコンの層11として2層(上層11b、下層11a(図3(b)参照))の窒化シリコンの層を用意したことである。上層11bの波長633nmにおける屈折率は1.9、下層11aの波長633nmにおける屈折率は2.6とした。上記の窒化シリコンの層は実施例1のSiH4流量とNH3流量を調整し成膜を行った。
実施例1と異なる点として基板1の表面に設けられた窒化シリコンの層の波長633nmの光における屈折率を2.0とした。SiN比を0.85とし、窒化シリコンの層は実施例のSiH4流量とNH3流量を調整し成膜を行った。それ以外は実施例と同様にして記録ヘッドを作成した。
比較例の記録ヘッドにより印字を行った結果、しばしばヨレ等に起因すると思われるスジムラが発生した。比較例の記録ヘッドの吐出口を観察したところ、歪んだ円形の吐出口が見られた。
2 エネルギー発生素子
3 供給口
4 吐出口形成部材
5 吐出口
6 流路
7 吐出部
16 樹脂層
Claims (11)
- 窒化シリコンからなる層と、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、前記エネルギー発生素子を駆動させるための電極とを、表面の上側に有する基板と、前記窒化シリコンからなる層の上側に配され、液体を吐出するための吐出口が設けられた吐出口形成部材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記窒化シリコンからなる層の上側に前記吐出口形成部材となる感光性を有する層を設ける工程と、
前記感光性を有する層に対して、感光性を有する層の上側からi線による露光を行い、前記吐出口を形成する工程と、
を有し、前記窒化シリコンからなる層は、前記エネルギー発生素子及び前記電極の上側に前記エネルギー発生素子及び前記電極を覆うように設けられており、波長633nmの光に対する屈折率が2.05以上であり、かつ前記露光において前記i線が照射される層であり、前記窒化シリコンからなる層が設けられていることで、前記窒化シリコンからなる層が設けられていない場合よりも、前記i線が前記基板の表面側から前記感光性を有する層の吐出口を形成する領域側に反射することが抑制されることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記感光性を有する層は、ネガ型感光性樹脂の層であることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記吐出口は前記エネルギー発生素子と対向する位置に設けられることを特徴とする請求項1または2に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記感光性を有する層を設ける工程は、
前記基板の表面の上側に前記吐出口へと連通する流路の型となるパターンを設ける工程と、
前記パターンを被覆するように前記感光性を有する層を形成する工程と、
を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記波長633nmの光に対する屈折率が2.05以上である窒化シリコンからなる層の上側に、さらに他の窒化シリコンからなる層が設けられていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記他の窒化シリコンからなる層は、波長633nmの光に対する屈折率が2.05未満であることを特徴とする請求項5に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記波長633nmの光に対する屈折率が2.05以上である窒化シリコンからなる層は、波長633nmの光に対する屈折率が2.05未満である他の窒化シリコンからなる層の上側に設けられていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記流路の型となるパターンの前記基板の表面上の厚みは10〜20μmである請求項4に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記基板の表面と吐出口の開口との距離は20〜30μmである請求項1乃至8のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記波長633nmの光に対する屈折率が2.05以上である窒化シリコンからなる層の前記基板の表面上の厚みは250nm以上である請求項1乃至9のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記流路の型となるパターンの前記基板の表面上の厚みは10〜20μmであり、前記基板の表面と吐出口の開口との距離は20〜30μmであり、前記波長633nmの光に対する屈折率が2.05以上である窒化シリコンからなる層の前記基板の表面上の厚みは250nm以上である請求項4に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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