JP5094290B2 - 液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
名称 メーカー 重量部(wt%)
EHPE−3150 ダイセル化学(株)製 100
A−187 日本ユニカー(株)製 5
SP−170 旭電化工業(株)製 2
さらに、上記の樹脂組成物1に対して必要に応じて添加剤など適宜添加することが可能である。例えば、エポキシ樹脂の弾性率を下げる目的で可撓性付与剤を添加したり、あるいは基板1との更なる密着力を得るために、シランカップリング剤を添加することなどが挙げられる。
図4(A)〜(C)に、本発明の実施の形態1における液体吐出ヘッドを示す。図4(A)は本実施形態のヘッドの模式的な平面透視図、図4(B)は図4(A)のIVB−IVB断面図、図4(C)は図4(A)のIVC−IVC断面図である。
図5(A)〜(C)に、本発明の実施の形態2における液体吐出ヘッドを示す。図5(A)は本実施形態のヘッドの模式的な平面透視図、図5(B)は図5(A)のVB−VB断面図、図5(C)は図5(A)のVC−VC断面図である。
図6(A)〜(C)に、本発明の実施の形態3における液体吐出ヘッドを示す。図6(A)は本実施形態のヘッドの模式的な平面透視図、図6(B)は図6(A)のVIB−VIB断面図、図6(C)は図6(A)のVIC−VIC断面図である。
図7(A)〜(C)に、本発明の実施の形態4における液体吐出ヘッドを示す。図7(A)は本実施形態のヘッドの模式的な平面透視図、図7(B)は図7(A)のVIIB−VIIB断面図、図7(C)は図7(A)のVIIC−VIIC断面図である。
図8(A)〜(C)に、本発明の実施の形態5における液体吐出ヘッドを示す。図8(A)は本実施形態のヘッドの模式的な平面透視図、図8(B)は図8(A)のVIIIB−VIIIB断面図、図8(C)は図8(A)のVIIIC−VIIIC断面図、図8(D)は図8(A)のVIIID−VIIID断面図である。
2 エネルギー発生素子(電気熱変換素子)
3 第2の流路パターン(PMMAのポジ型レジスト)
4 第1の流路パターン(PMIPKのポジ型レジスト)
5 流路形成部材 被覆樹脂層(エポキシ樹脂のカチオン重合硬化物によるネガ型レジスト)
6 撥水材
7 吐出口
8 保護膜
9 供給口
10 マスク
11 ポジ型レジスト層
12 吐出部
13 インク流路(第1のインク流路)
14 副インク流路(第2のインク流路)
Claims (16)
- 液体を供給する供給口を有する基板と、液体を吐出するための吐出口及び該吐出口に連通する吐出部を形成する部材と、を有し、前記吐出部内に前記供給口と前記吐出口とを連通させる複数の流路部を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記基板上に、前記吐出部の一部となる第1のパターンを形成する工程と、
前記第1のパターンを被覆するように第1の被覆層を形成する工程と、
前記第1の被覆層の一部を除去して、前記第1のパターンを部分的に露出させる工程と、
露出した前記第1のパターンと接触するように、前記吐出部の一部となる第2のパターンを前記第1の被覆層上に形成する工程と、
前記第2のパターンを被覆するように、前記部材となる第2の被覆層を形成する工程と、
前記第2の被覆層の一部を除去して、前記第2の被覆層に前記吐出口を形成する工程と、
前記第1および第2のパターンを除去して、前記吐出部と、前記複数の流路部を形成する工程と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記第1のパターンと前記第2のパターンとは、液体吐出ヘッドの短手方向において前記吐出部内の複数の箇所で接触することを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第1の被覆層と前記第2の被覆層とはネガ型感光性樹脂の層であり、前記第1のパターンと第2のパターンとはポジ型感光性樹脂により形成されることを特徴とする請求項1または2に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第1のパターンを形成する第1のポジ型感光性樹脂の感光する波長域と、前記第2のパターンを形成する第2のポジ型感光性樹脂の感光する波長域と、は互いに異なることを特徴とする請求項3に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第1のポジ型感光性樹脂は主として260nm以上の波長に感光し、前記第2のポジ型感光性樹脂は主として260nm未満の波長に感光することを特徴とする請求項4に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第1のポジ型感光性樹脂がポリメチルイソプロペニルケトンを主成分とするものであり、前記第2のポジ型感光性樹脂がメタクリル酸メチルを主成分とするものであり、前記第2のポジ型感光性樹脂は、メタクリル酸メチルと、メタクリル酸または無水メタクリル酸との共有重合体であることを特徴とする請求項4に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第1のパターンと前記第2のパターンとは、前記供給口から前記吐出口までの液体の経路において複数の箇所で接触することを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第1の被覆層は、前記第1のパターンを除去して形成される吐出部の一部と前記第2のパターンを除去して形成される吐出部の一部との間に位置することを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第2の被覆層は、前記複数の流路部の間に位置することを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第1のパターンは前記基板上に塗布した材料をパターニングすることで形成し、前記第2のパターンは前記第1の被覆層上に塗布した材料をパターニングすることで形成することを特徴とする請求項1から9のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 液体を供給する供給口を有する基板と、液体を吐出するための吐出口及び該吐出口に連通する吐出部を形成する部材と、を有し、前記吐出部内に前記供給口と前記吐出口とを連通させる複数の流路部を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記基板上に、前記吐出部の一部となる第1のパターンを形成する工程と、
前記第1のパターンを被覆するように第1の被覆層を形成する工程と、
前記第1の被覆層の一部を除去して、前記第1のパターンを部分的に露出させる工程と、
前記吐出部の一部となる第2のパターンを前記第1の被覆層上に形成する工程と、
前記第2のパターンを被覆するように、前記部材となる第2の被覆層を形成する工程と、
前記第2の被覆層の一部を除去して、前記第2の被覆層に前記吐出口を形成する工程と、
前記第1および第2のパターンを除去して、前記第1のパターンを除去して形成される吐出部の一部と、前記第1のパターンを除去して形成される吐出部の一部と前記吐出部内の複数の流路部で連通する前記第2のパターンを除去して形成される吐出部の一部と、を形成する工程と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記第1のパターンを除去して形成される吐出部の一部と前記第2のパターンを除去して形成される吐出部の一部とは、液体吐出ヘッドの短手方向において前記吐出部内の複数の箇所で連通することを特徴とする請求項11に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第1のパターンと前記第2のパターンとは、前記供給口から前記吐出口までの液体の経路において複数の箇所で連通することを特徴とする請求項11または12に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第1の被覆層は、前記第1のパターンを除去して形成される吐出部の一部と前記第2のパターンを除去して形成される吐出部の一部との間に位置することを特徴とする請求項11から13のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第1の被覆層は、前記複数の流路部の間に位置することを特徴とする請求項11から14のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第1のパターンは前記基板上に塗布した材料をパターニングすることで形成し、前記第2のパターンは前記第1の被覆層上に塗布した材料をパターニングすることで形成することを特徴とする請求項11から15のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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