JPH06312511A

JPH06312511A - 液体噴射記録ヘッドの製造方法、液体噴射記録ヘッドおよびインクジェット記録装置

Info

Publication number: JPH06312511A
Application number: JP10464093A
Authority: JP
Inventors: Isao Imamura; 功今村; Minoru Nozawa; 実野沢; Shoji Shiba; 昭二芝; Akihiko Shimomura; 明彦下村
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1993-04-30
Filing date: 1993-04-30
Publication date: 1994-11-08

Abstract

(57)【要約】【目的】液体噴射記録ヘッドの製造方法において、吐
出口，液路等を形成するための部材の厚さを均一とし
て、良好な記録ヘッドを得る。【構成】液体噴射記録ヘッドの液路等の形状をなす固
体層８の上に液路等形成部材２を積層し、さらに蓋板４
を接合する際、蓋板４は、電極１１０の上に形成され固
体層８と同工程で同材料により形成されたスペーサ層８
０によりブリッジされる。これにより、蓋板４の接合力
により液路等形成部材２の厚さが不均一になることを防
止できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はインクジェット記録方式
に用いる記録液滴を吐出するための液体噴射記録ヘッド
の製造方法および該方法により製造された記録ヘッドお
よびこれを用いることが可能なインクジェット記録装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット記録方式（液体噴射記録
方式）に適用される液体噴射記録ヘッドは、一般に微細
な記録液吐出口（以下、オリフィスともいう）、液路お
よびこの液路の一部に設けられ吐出に利用されるエネル
ギーを発生するエネルギー発生部とを備えている。従
来、このような液体噴射記録ヘッドを作製する方法とし
て、例えば、ガラスや金属等の板を用い、この板に切削
やエッチング等の加工手段によって微細な溝を形成した
後、この溝を形成した板を他の適当な板と接合して液路
等の形成を行う方法が知られている。

【０００３】しかしながら、かかる従来方法によって作
製される液体噴射記録ヘッドでは、切削加工される液路
内壁面の荒れが大きすぎたり、エッチング率の差から液
路に歪が生じたりして、流路抵抗の一定した液路が得が
たく、製作後の液体噴射記録ヘッドの記録液吐出特性に
バラツキが出易いといった問題があった。また、切削加
工の際に板の割れや欠けを生じ易く、製造歩留りが低下
するという問題点もあった。また、エッチング加工を行
う場合には、製造工程が多く、製造コストの上昇を招く
という不利もあった。

【０００４】さらには、上記従来方法に共通する問題点
として液路を形成した溝付板と、記録液滴を吐出させる
ために利用されるエネルギーを発生する圧電素子や電気
熱変換素子等のエネルギー発生素子が設けられた基板と
を張り合わせる際に、これら板の位置合わせが困難であ
り、量産性に欠けるといった問題もあった。

【０００５】上記従来技術の一例として、例えば特開昭
５７−４３８７６号公報には、図１（ａ）〜（ｃ）に示
す液体噴射記録ヘッドの製造方法が開示されている。

【０００６】すなわち、エネルギー発生素子７が設けら
れた基板１（同図（ａ））に感光性組成物層１６（例え
ばネガ型ドライフィルムＬＡＭＩＮＡＲ（ＤＹＮＡＣ
ＨＥＭ製）、ＳＲ−１０００Ｇ−５０（日立化成製）、
ＳＲ−１０００Ｎ（日立化成製）等）を設け、この層１
６に液路等に対応した所定のパターン露光を行い、硬化
領域を形成する。その後、層１６から未硬化の組成物を
除去することにより、前記基板１上に液路１４，オリフ
ィス１３，液室１５を形成するための溝を形成する（同
図（ｂ））。さらに、蓋板４をその基板面に接着層３を
介して接合することにより液体噴射ヘッドを形成するも
のである（同図（ｃ））。この蓋板４には、インク供給
口６，液室を形成するための溝１４が形成されている。
この方法によれば液路等の形成に、フォトリソ技術を使
用するため、液路等の形状が非常に均一にでき、量産性
も向上する。

【０００７】しかしながらこの方法にも以下のような問
題点がある。

【０００８】１）液路等パターン形成から蓋板接合まで
の工程において、ゴミ等が液路等に入り、歩留りの低下
を招く。

【０００９】２）蓋板接合時に、蓋板側に接着剤を使用
しているが、これが液路等に入り込んでしまうことがあ
る。

【００１０】３）比較的吐出口の数が少ないヘッドにお
いては、上記１），２）の問題点を、工程のゴミ管理あ
るいは蓋板接合時の条件の適正化により、解消すること
ができる。しかし、いわゆる高密度マルチアレイタイプ
のヘッドすなわち、Ａ４，Ａ３等の幅に対応して吐出口
を配列する記録ヘッドにおいては、上記ゴミ管理等を厳
密に行い、全吐出口を正常に形成することはほとんど不
可能である。

【００１１】かかる従来方法の問題点を解消するため、
例えば特開昭５８−１３６４７８号公報には、図２
（ａ）〜（ｆ）に示すような製造方法が開示されてい
る。

【００１２】この方法は、基板面の液路等形成位置に固
体層８を設け（同図（ａ））、その上に固体層８を覆う
ように液路等形成材料としての活性エネルギー線硬化材
料層２（同図（ｂ））と液室形成部材（蓋板４）を順次
積層した後（同図（ｃ））、活性エネルギー線１１を照
射して、活性エネルギー線硬化材料を硬化せしめる（同
図（ｄ））。そして最後に、固体層８を除去して記録ヘ
ッドを形成する（同図（ｃ），（ｆ））方法である。

【００１３】しかし、上記方法では蓋板を、固体層８お
よび液路等形成部材（活性エネルギー線硬化材料）２が
積層された基板に接合する際に、次のような問題点があ
った。

【００１４】１）接合する際、ヘッドの反り等を考慮
し、蓋板に固体層が破壊されない程度に圧力を加えた場
合、これにより液路等形成部材の液路天井部分の厚さが
かなり薄くなり、その後の工程において、液路天井部分
の剥離や液路内へのたれ込みが生じることがある。

【００１５】２）これに対し、接合する際、蓋板に圧力
を加えない場合、蓋板の反りにより、液路等形成部材の
厚さが不均一になることがある。その結果、厚い部分で
は、硬化時の収縮応力が大きくなり、記録ヘッド自体の
反りが大きくなることや液路等形成部材の剥離が生じ
る。また薄い部分では、１）と同様の問題点が生じる。

【００１６】これらの問題を解決するために、特開平５
−５１３号公報において、エネルギー発生素子に電力を
供給するための共通電極をスペーサとして用い液路天井
部分の厚みを一定にし、かつ増加させることが提案され
ている。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記方
法には依然として、以下のような問題がある。

【００１８】液路の天井部分の厚さを考慮するため、共
通電極を必要以上厚くする場合があり、このような場合
には、ヘッド製造における処理時間が長くなることがあ
る。また、共通電極が厚い場合には共通電極が剥がれて
しまうこともある。さらに、共通電極部材は比較的高価
であるため記録ヘッドの製造コストが上昇することもあ
る。

【００１９】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
のであり、その目的とするところは、液路等形成部材の
厚さを均一にすることが可能な記録ヘッドの製造方法お
よび該方法で得られた記録ヘッドおよびこれを用いたイ
ンクジェット記録装置を提供することにある。

【００２０】

【課題を解決するための手段】そのために本発明では、
液体を吐出するための液体噴射記録ヘッドの製造方法に
おいて、液体吐出に利用されるエネルギーを発生するた
めのエネルギー発生素子が設けられた基板上に、前記エ
ネルギー発生素子に対応した液路パターンをなす固体層
を形成するとともに、前記基板上において設けられる前
記エネルギー発生素子以外の部材であって前記エネルギ
ー発生素子を挟む位置に配置される部材上に、前記固体
層と同一材料で当該高さが前記固体層より高くなるスペ
ーサ層を形成し、少なくとも前記固体層を、活性エネル
ギー線硬化性材料よりなる液路等形成部材で被覆し、蓋
板を、該液路等形成部材を介して前記基板に接合し、前
記液路等形成部材に活性エネルギー線を照射して硬化さ
せ、前記固体層を除去する、各工程を有したことを特徴
とする。

【００２１】また、液体を吐出するための液体噴射記録
ヘッドにおいて、液体吐出に利用されるエネルギーを発
生するためのエネルギー発生素子が設けられた基板上
に、前記エネルギー発生素子に対応した液路パターンを
なす固体層を形成するとともに、前記基板上において設
けられる前記エネルギー発生素子以外の部材であって前
記エネルギー発生素子を挟む位置に配置される部材上
に、前記固体層と同一材料で当該高さが前記固体層より
高くなるスペーサ層を形成し、少なくとも前記固体層
を、活性エネルギー線硬化性材料よりなる液路等形成部
材で被覆し、蓋板を、該液路等形成部材を介して前記基
板に接合し、前記液路等形成部材に活性エネルギー線を
照射して硬化させ、前記固体層を除去する、各工程を有
した製造方法により製造されたことを特徴とする。

【００２２】さらに、液体を吐出するための液体噴射記
録ヘッドであって、液体吐出に利用されるエネルギーを
発生するためのエネルギー発生素子が設けられた基板上
に、前記エネルギー発生素子に対応した液路パターンを
なす固体層を形成するとともに、前記基板上において設
けられる前記エネルギー発生素子以外の部材であって前
記エネルギー発生素子を挟む位置に配置される部材上
に、前記固体層と同一材料で当該高さが前記固体層より
高くなるスペーサ層を形成し、少なくとも前記固体層
を、活性エネルギー線硬化性材料よりなる液路等形成部
材で被覆し、蓋板を、該液路等形成部材を介して前記基
板に接合し、前記液路等形成部材に活性エネルギー線を
照射して硬化させ、前記固体層を除去する、各工程を有
した製造方法により製造された液体噴射記録ヘッドを用
い、被記録媒体に液体を吐出して記録を行うことを特徴
とする。

【００２３】

【作用】以上の構成によれば、蓋板を基板に接合する際
に、蓋板は固体層を挟むスペーサ層間を架橋するように
接合されるため、蓋板の接合力の作用はスペーサ層によ
って制限され、これより低い位置にある液路等形成部材
に作用する蓋板の接合力は均一なものとなる。

【００２４】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。

【００２５】図３は、本発明の一実施例にかかる記録ヘ
ッド製造工程の一部を説明するためのヘッド基板の平面
図である。

【００２６】図に示す基板は、２つの記録ヘッドに対応
したものであり、２つの記録ヘッドを対称な形で製造
し、最終工程で分離する方法に関するものである。

【００２７】本例の製造方法では、まず図３に示すよう
に、Ｓｉ，ガラス，セラミック，Ａｌ等で成形可能な基
板１上に、液体噴射に利用されるエネルギーを発生する
ための複数のエネルギー発生素子（例えば圧電素子、ヒ
ータ（ＨｆＢ₂ ，ＴａＮ，ＴａＩｒなどよりなる）等）
１００、このエネルギー発生素子１００と接続された配
線、この配線の一方がその端部で接続される共通電極１
１０、および上記配線の他方がその端部で接線される電
極１０２が設けられている。電極１０２は上記エネルギ
ー発生素子を駆動するドライバＩＣ（不図示）と接続す
る。

【００２８】上記工程の次の固体層形成工程で、共通電
極上に固体層と同一の材料からなるスペーサ層８０（図
４，図５参照）を形成する。

【００２９】この共通電極１１０とスペーサ層８０とを
合せてなるスペーサ部は液路等のパターンを形成するた
めの固体層よりも厚いことが必要であり、その差は１０
μｍ以上であることが好ましい。例えば固体層（液路高
さに相当する）が２０μｍのときスペーサ部の厚さは３
０μｍ以上であることが好ましく、通常３０〜５００μ
ｍ程度の厚さとする。最終的にこの厚さが液路等形成部
材の厚さとなる。

【００３０】スペーサ部の形状としては、角，円状等と
することができ、また付設位置は液路をさえぎらず、蓋
板をバランスよくブリッジできる位置であれば、どのよ
うな位置であってもよい。本例のように、２つの記録ヘ
ッドを対向状態で一つの基板上で一体に製造し、後工程
でオリフィス面の位置で２つに切断する場合は、蓋板の
かかる基板上の両端に１つずつスペーサ部を設ける。

【００３１】なお、エネルギー発生素子は図３に示した
ように基板上に設けられているものに限らないが、基板
上に設けた場合には、共通電極は図３に示したような位
置に設けられることが多い。この共通電極はＣｕ，Ｎ
ｉ，Ａｕなどのメッキ等によりなるものであるが、特に
高密度マルチアレイタイプの液体噴射記録ヘッドの場合
吐出口間電圧降下のバラツキを均一にしかも、電圧降下
値を小さくする必要があるため、通常用いられる１００
０Å程度の薄膜状では不十分であり、メッキ等により１
０〜１００μｍ程度の厚膜状にするとよい。好ましくは
１０〜３０μｍの膜厚がよい。

【００３２】このように膜化した共通電極およびその上
に形成され固体層と同材料からなるスペーサ層によりス
ペーサ部を形成することで、上述スペーサ部の機能を容
易に実現することができる。すなわち、吐出口間電圧降
下値を小さく安定化することができ、同時に上述スペー
サ部の作用効果を発揮し、さらに、新たにスペーサ部を
設ける必要がないため工程の簡略化を図ることができ
る。

【００３３】次に、図４，図５を参照して以降の工程を
説明する。

【００３４】以上のように共通電極１１０等が形成され
た基板１上に、図２にて前述した製造方法（ただし図２
は１ヘッド状態、図４，図５は２ヘッド対向状態で表わ
されている。）と同様にして、固体層８および液路等形
成部材２を積層し（図４（ａ）および（ｂ））、蓋板４
の基板接合面の一部が、スペーサ層８０の一部にかかる
ように１×１０^-3〜１００ｋｇｆ／ｃｍ² 程度の圧力を
加えながら接合する。

【００３５】ここで、液路等形成部材２は、図４，図５
に示すように、吐出口，液路および複数の液路に連通す
る液室を形成するための壁部材をなすものである。

【００３６】その後の工程は図２（ｄ）〜（ｆ）と同様
に行い、さらに、最終的にダイヤモンドブレード等によ
り図４，図５に示すＡ−Ａ線で分離する。なお、この製
造方法において、液路等形成部材２は蓋板４と基板１と
を接着する役割も有している。

【００３７】ここで、固体層８およびスペーサ層８０の
材料としては感光性レジスト等を用いることができ、例
えばオザテックＲ２２５（ヘキスト社製）、液路等形成
部材２としては、液状で、紫外線硬化および電子ビーム
硬化などの活性エネルギー線硬化性材料が適しており、
中でもエポキシ樹脂，アクリル樹脂，ジグリコールジア
ルキルカーボネート樹脂，不飽和ポリエステル樹脂，ポ
リウレタン樹脂，ポリイミド樹脂，メラミン樹脂，フェ
ノール樹脂，尿素樹脂等を用いることができる。特に、
光によってカチオン重合を開始することのできるエポキ
シ樹脂，光によってラジカル重合できるアクリルエステ
ル基を有するアクリルオリゴマー類，ポリチオールとポ
リエンを用いた光付加重合型樹脂，不飽和シクロアセタ
ール樹脂等は、重合速度が大きく、重合体の物性も優れ
ており、構造材料として適している。また、中でも程度
の高い、例えば１００〜１０００００ｃｐｓ程度の液体
が好ましい。蓋板としては活性エネルギー線透過性であ
るガラス，プラスチック等が好ましい。

【００３８】図５（ａ），（ｂ）は蓋板４を接合した状
態の模式断面図を示す。同図（ｂ）において、スペーサ
部の共通電極１１０およびスペーサ層８０上まで液路等
形成部材２がはみ出し充填されていても蓋板４が接着さ
れる際加圧接合されるので、スペーサ部の共通電極１１
０およびスペーサ層８０上の液路等形成部材２は均一の
厚さとすることができ、本発明の効果を得ることができ
る。また、同図（ｂ）で明らかなように、液路等は、蓋
板が上記スペーサ部によりブリッジされているため、接
合時に、圧力を加えても固体層８が破壊されることはな
く、加えて蓋板４とを基板１との位置合せのため相互に
移動させる場合も、接合された状態で移動させることが
できるため、微小すき間を開けてアライメントするよう
な高価な装置が必要ではなく、マイクロメータの付いた
治具程度で十分アライメントが可能となる。さらに、圧
力を加えて接合しているため基板に、初期的に反りがあ
っても、液路等形成部材２の層厚が不均一になることは
ない。

【００３９】なお、上記実施例では、固体層と同一の材
料によりスペーサ層を設ける場合、共通電極の上に形成
するものとしたが、本発明はこれに限られず、他の電極
等、スペーサ層形成の前の工程で形成される何らかの層
上に形成しててもよく、これにより、液路等を形成する
ための固体層より厚い層が形成されればよい。

【００４０】次に、本発明の方法により製造された液体
噴射記録ヘッドを用いた記録装置について説明する。

【００４１】図６はインクジェット記録装置ＩＪＲＡ２
１の一例を示す外観斜視図である。

【００４２】図において、２０はプラテン２４上に搬送
される記録紙の記録面に対向してインク吐出を行うため
の吐出口群を有する本発明の記録ヘッドを具えたインク
ジェットカートリッジＩＪＣ（以下、ＩＪＣと称す。）
である。２５はＩＪＣ２０を保持するキャリッジＨＣで
あり、駆動モータ２７の駆動力を伝達する駆動ベルト２
８の一部と連結し、互いに平行に配設された２本のガイ
ドシャフト２９Ａおよび２９Ｂと摺動可能とすることに
より、ＩＪＣ２０の記録紙の全幅にわたる往復移動が可
能となる。

【００４３】２６はＩＪＣ回復装置であり、ＩＪＣ２０
の移動経路の一端、例えばホームポジションと対向する
位置に配設される。伝動機構２３を介したモータ２２の
駆動力によって、ＩＪＣ回復装置２６を動作せしめ、Ｉ
ＪＣ２０のキャッピングを行う。このＩＪＣ回復装置２
６のキャップ部２６ＡによるＩＪＣ２０へのキャッピン
グに関連させて、ＩＪＣ回復装置２６内に設けた適宜の
吸引手段によるインク吸引もしくはＩＪＣ２０へのイン
ク供給経路に設けた適宜の加圧手段によるインク圧送を
行い、インクを吐出口より強制的に排出させることによ
りノズル内の増粘インクを除去する等の吐出回復処理を
行う。また、記録終了時等にキャッピングを施すことに
よりＩＪＣが保護される。

【００４４】３０はＩＪＣ回復装置２６の側面に配設さ
れ、シリコンゴムで形成されるワイピング部材としての
ブレードである。ブレード３０はブレード保持部材３０
Ａにカンチレバー形態で保持され、ＩＪＣ回復装置２６
と同様、モータ２２および伝動機構２３によって動作
し、ＩＪＣ２０の吐出面との係合が可能となる。これに
より、ＩＪＣ２０の記録動作における適切なタイミング
で、あるいはＩＪＣ回復装置２６を用いた吐出回復処理
後に、ブレード３０をＩＪＣ２０の移動経路中に突出さ
せ、ＩＪＣ２０の移動動作に伴なってＩＪＣ２０の吐出
面における結露，濡れあるいは塵埃等を拭きとる。

【００４５】以上説明した記録装置によれば本発明の記
録ヘッドを用いて好適に記録処理を実施することができ
る。

【００４６】（その他）なお、本発明は、特にインクジ
ェット記録方式の中でも、インク吐出を行わせるために
利用されるエネルギとして熱エネルギを発生する手段
（例えば電気熱変換体やレーザ光等）を備え、前記熱エ
ネルギによりインクの状態変化を生起させる方式の記録
ヘッド、記録装置において優れた効果をもたらすもので
ある。かかる方式によれば記録の高密度化，高精細化が
達成できるからである。

【００４７】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書，同第４７４０
７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式は所謂オンデマンド型，
コンティニュアス型のいずれにも適用可能であるが、特
に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）が保持
されているシートや液路に対応して配置されている電気
熱変換体に、記録情報に対応していて核沸騰を越える急
速な温度上昇を与える少なくとも１つの駆動信号を印加
することによって、電気熱変換体に熱エネルギを発生せ
しめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせて、結
果的にこの駆動信号に一対一で対応した液体（インク）
内の気泡を形成できるので有効である。この気泡の成
長，収縮により吐出用開口を介して液体（インク）を吐
出させて、少なくとも１つの滴を形成する。この駆動信
号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が
行われるので、特に応答性に優れた液体（インク）の吐
出が達成でき、より好ましい。このパルス形状の駆動信
号としては、米国特許第４４６３３５９号明細書，同第
４３４５２６２号明細書に記載されているようなものが
適している。なお、上記熱作用面の温度上昇率に関する
発明の米国特許第４３１３１２４号明細書に記載されて
いる条件を採用すると、さらに優れた記録を行うことが
できる。

【００４８】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口，液路，電気熱変換体
の組合せ構成（直線状液流路または直角液流路）の他に
熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を開示す
る米国特許第４５５８３３３号明細書，米国特許第４４
５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含まれるも
のである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、共通
するスリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開示
する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギの圧
力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開示す
る特開昭５９−１３８４６１号公報に基いた構成として
も本発明の効果は有効である。すなわち、記録ヘッドの
形態がどのようなものであっても、本発明によれば記録
を確実に効率よく行うことができるようになるからであ
る。

【００４９】さらに、記録装置が記録できる記録媒体の
最大幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドに対して、本発明は特に有効に適用できる。その
ような記録ヘッドとしては、複数記録ヘッドの組合せに
よってその長さを満たす構成や、一体的に形成された１
個の記録ヘッドとしての構成のいずれでもよい。

【００５０】加えて、上例のようなシリアルタイプのも
のでも、装置本体に固定された記録ヘッド、あるいは装
置本体に装着されることで装置本体との電気的な接続や
装置本体からのインクの供給が可能になる交換自在のチ
ップタイプの記録ヘッド、あるいは記録ヘッド自体に一
体的にインクタンクが設けられたカートリッジタイプの
記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効である。

【００５１】また、本発明の記録装置の構成として、記
録ヘッドの吐出回復手段、予備的な補助手段等を付加す
ることは本発明の効果を一層安定できるので、好ましい
ものである。これらを具体的に挙げれば、記録ヘッドに
対してのキャッピング手段、クリーニング手段、加圧或
は吸引手段、電気熱変換体或はこれとは別の加熱素子或
はこれらの組み合わせを用いて加熱を行う予備加熱手
段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出手段を挙げるこ
とができる。

【００５２】また、搭載される記録ヘッドの種類ないし
個数についても、例えば単色のインクに対応して１個の
みが設けられたものの他、記録色や濃度を異にする複数
のインクに対応して複数個数設けられるものであっても
よい。すなわち、例えば記録装置の記録モードとしては
黒色等の主流色のみの記録モードだけではなく、記録ヘ
ッドを一体的に構成するか複数個の組み合わせによるか
いずれでもよいが、異なる色の複色カラー、または混色
によるフルカラーの各記録モードの少なくとも一つを備
えた装置にも本発明は極めて有効である。

【００５３】さらに加えて、以上説明した本発明実施例
においては、インクを液体として説明しているが、室温
やそれ以下で固化するインクであって、室温で軟化もし
くは液化するものを用いてもよく、あるいはインクジェ
ット方式ではインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲
内で温度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあ
るように温度制御するものが一般的であるから、使用記
録信号付与時にインクが液状をなすものを用いてもよ
い。加えて、熱エネルギによる昇温を、インクの固形状
態から液体状態への状態変化のエネルギとして使用せし
めることで積極的に防止するため、またはインクの蒸発
を防止するため、放置状態で固化し加熱によって液化す
るインクを用いてもよい。いずれにしても熱エネルギの
記録信号に応じた付与によってインクが液化し、液状イ
ンクが吐出されるものや、記録媒体に到達する時点では
すでに固化し始めるもの等のような、熱エネルギの付与
によって初めて液化する性質のインクを使用する場合も
本発明は適用可能である。このような場合のインクは、
特開昭５４−５６８４７号公報あるいは特開昭６０−７
１２６０号公報に記載されるような、多孔質シート凹部
または貫通孔に液状又は固形物として保持された状態
で、電気熱変換体に対して対向するような形態としても
よい。本発明においては、上述した各インクに対して最
も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行するもので
ある。

【００５４】さらに加えて、本発明インクジェット記録
装置の形態としては、コンピュータ等の情報処理機器の
画像出力端末として用いられるものの他、リーダ等と組
合せた複写装置、さらには送受信機能を有するファクシ
ミリ装置の形態を採るもの等であってもよい。

【００５５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
蓋板を基板に説像する際に、蓋板はスペーサ層をまたぐ
ように接合されるため、蓋板の接合力の作用はスペーサ
層によって制限され、これより低い位置にある液路等形
成部材に作用する蓋板の接合力は均一なものとなる。

【００５６】こ結果、液路等形成部材の厚さが均一に形
成でき、高密度マルチアレイタイプの液体噴射記録ヘッ
ドの製造が可能となる。

【００５７】また、例えば共通電極形成工程および固体
層形成工程により、スペーサ部を設けることができるた
め製造に余分な時間やコストがほとんど生じない。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ），（ｂ）および（ｃ）は、従来例の記録
ヘッド製造工程を示す斜視図である。

【図２】（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ），（ｅ）およ
び（ｆ）は、他の従来例の記録ヘッド製造工程を示す斜
視図である。

【図３】本発明の一実施例にかかる記録ヘッド製造工程
における基板の配線状態を示す模式的平面図である。

【図４】本発明の一実施例にかかる記録ヘッド製造工程
の一工程を示す模式斜視図である。

【図５】（ａ）および（ｂ）は、図４に示す工程の記録
ヘッドのそれぞれ横断面図および縦断面図である。

【図６】本発明の一実施例にかかる記録ヘッドを用いた
記録装置の一例を示す斜視図である。

【符号の説明】

１基板２活性エネルギー線硬化材料層（液路等形成材部材）３接着層４蓋板６供給口７エネルギー発生素子８固体層１１活性エネルギー線１２マスク１３オリフィス１４ノズル１５液室１６感光性組成物層２０インクジェットカートリッジＩＪＣ２１インクジェット記録装置ＩＪＲＡ２２モータ２３伝動機構２４プラテン２５キャリッジＨＣ２６ＩＪＣ回復装置２６Ａキャップ部２７駆動モータ２８駆動ベルト２９Ａ，２９Ｂガイドシャフト３０ブレード３０Ａブレード保持部材８０スペーサ層１００エネルギー発生素子１１０共通電極１０２電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者下村明彦東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】液体を吐出するための液体噴射記録ヘッ
ドの製造方法において、液体吐出に利用されるエネルギーを発生するためのエネ
ルギー発生素子が設けられた基板上に、前記エネルギー
発生素子に対応した液路パターンをなす固体層を形成す
るとともに、前記基板上において設けられる前記エネル
ギー発生素子以外の部材であって前記エネルギー発生素
子を挟む位置に配置される部材上に、前記固体層と同一
材料で当該高さが前記固体層より高くなるスペーサ層を
形成し、少なくとも前記固体層を、活性エネルギー線硬化性材料
よりなる液路等形成部材で被覆し、蓋板を、該液路等形成部材を介して前記基板に接合し、前記液路等形成部材に活性エネルギー線を照射して硬化
させ、前記固体層を除去する、各工程を有したことを特徴とする液体噴射記録ヘッドの
製造方法。
【請求項２】前記エネルギー発生素子以外の部材は、
前記エネルギー発生素子に電力を供給するための共通電
極であることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射記
録ヘッドの製造方法。
【請求項３】前記エネルギー発生素子は熱エネルギー
を発生し、該熱エネルギーにより液体に気泡を発生さ
せ、該気泡の生成に基づいて液体を吐出することを特徴
とする請求項１または２に記載の液体噴射記録ヘッドの
製造方法。
【請求項４】液体を吐出するための液体噴射記録ヘッ
ドにおいて、液体吐出に利用されるエネルギーを発生するためのエネ
ルギー発生素子が設けられた基板上に、前記エネルギー
発生素子に対応した液路パターンをなす固体層を形成す
るとともに、前記基板上において設けられる前記エネル
ギー発生素子以外の部材であって前記エネルギー発生素
子を挟む位置に配置される部材上に、前記固体層と同一
材料で当該高さが前記固体層より高くなるスペーサ層を
形成し、少なくとも前記固体層を、活性エネルギー線硬化性材料
よりなる液路等形成部材で被覆し、蓋板を、該液路等形成部材を介して前記基板に接合し、前記液路等形成部材に活性エネルギー線を照射して硬化
させ、前記固体層を除去する、各工程を有した製造方法により製造されたことを特徴と
する液体噴射記録ヘッド。
【請求項５】前記エネルギー発生素子以外の部材は、
前記エネルギー発生素子に電力を供給するための共通電
極であることを特徴とする請求項４に記載の液体噴射記
録ヘッド。
【請求項６】前記エネルギー発生素子は熱エネルギー
を発生し、該熱エネルギーにより液体に気泡を発生さ
せ、該気泡の生成に基づいて液体を吐出することを特徴
とする請求項４または５に記載の液体噴射記録ヘッド。
【請求項７】液体を吐出するための液体噴射記録ヘッ
ドであって、液体吐出に利用されるエネルギーを発生するためのエネ
ルギー発生素子が設けられた基板上に、前記エネルギー
発生素子に対応した液路パターンをなす固体層を形成す
るとともに、前記基板上において設けられる前記エネル
ギー発生素子以外の部材であって前記エネルギー発生素
子を挟む位置に配置される部材上に、前記固体層と同一
材料で当該高さが前記固体層より高くなるスペーサ層を
形成し、少なくとも前記固体層を、活性エネルギー線硬化性材料
よりなる液路等形成部材で被覆し、蓋板を、該液路等形成部材を介して前記基板に接合し、前記液路等形成部材に活性エネルギー線を照射して硬化
させ、前記固体層を除去する、各工程を有した製造方法により製造された液体噴射記録
ヘッドを用い、被記録媒体に液体を吐出して記録を行う
ことを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項８】前記エネルギー発生素子以外の部材は、
前記エネルギー発生素子に電力を供給するための共通電
極であることを特徴とする請求項７に記載のインクジェ
ット記録装置。
【請求項９】前記エネルギー発生素子は熱エネルギー
を発生し、該熱エネルギーにより液体に気泡を発生さ
せ、該気泡の生成に基づいて液体を吐出することを特徴
とする請求項７または８に記載のインクジェット記録装
置。