JPH10278260A - インクジェットヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 液室隔壁部材の厚みが不均一になってインク
滴吐出特性にばらつきが生じる。 【解決手段】 振動板２７とノズルプレート３２との間
に感光性樹脂層２９，３０からなる液室隔壁部材２８を
設けた液室ユニット２において、振動板２７とノズルプ
レート３２との間に感光性樹脂よりも剛性の高いスペー
サ部材５１を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はインクジェットヘッ
ド及びその製造方法に関し、特に液室隔壁部材として粘
弾性体を用いるインクジェットヘッド及びその製造方法
に関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット記録装置は、記録時の振
動、騒音が殆どなく、特にカラー化が容易なことから、
コンピュータ等のデジタル処理装置のデータを出力する
プリンタの他、ファクシミリやコピー機等にも用いられ
るようになっている。このようなインクジェット記録装
置に用いられるインクジェットヘッドは、圧電素子、発
熱抵抗体等のエネルギー発生手段を記録信号に応じて駆
動して、液室内のインクを加圧してノズルからインク滴
を吐出飛翔させ、記録媒体上に画像記録を行なうもので
ある。

【０００３】従来のインクジェットヘッドとしては、例
えば特開平６−１１５０７１号公報に記載されているよ
うに、基板上に複数の圧電素子を列状に接合配置すると
共に、圧電素子の周囲に位置し、インク共通流路を形成
するインク共通流路部材を接合し、このインク共通流路
部材上に振動板を接合し、この振動板に隔壁部材を接合
し、隔壁部材上にノズル板を接合して、これらの振動
板、隔壁部材及びノズル板で圧電素子によって振動板を
介して加圧されるインク液室（加圧液室）を形成したも
のがある。

【０００４】また、例えば特開平８−１４２３２４号公
報に記載されているように、基板上に複数の圧電素子を
複数列列状に接合すると共に、圧電素子の周囲に位置す
るフレーム部材を接合してなるアクチュエータユニット
と、ダイアフラム部を有する振動板上に、圧電素子でダ
イアフラム部を介して加圧される加圧液室及びこの液室
にインクを供給する共通液室を形成する液室隔壁部材を
積層し、更にこの液室隔壁部材上にノズルを形成したノ
ズルプレートを積層した液室ユニットとを接合したもの
がある。

【０００５】ところで、インクジェット記録装置に対す
る高速、高画質化の要求に伴ってインクジェットヘッド
のノズルの集積度の高密度化、ノズル径の微細化が必要
になっている。特に高画質化に伴うノズルの高密度化
は、液室形状や流体抵抗部形状の微細化を招いている。

【０００６】そこで、従来、例えば特開平６−２９７７
０４号公報に記載されているように、液室隔壁部材とし
て感光性樹脂を用いて、複数の感光性樹脂層を接合して
インク液室を形成したり、或いはその他樹脂成形、金属
板の多層貼り合わせによって微細なインク液室を形成す
るようにしている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したイ
ンクジェットヘッドのように液室隔壁部材として感光性
樹脂のような粘弾性体を用いて多層構造で形成する場
合、各感光性樹脂層間は熱と加圧力によって接合するた
めに、熱と加圧力を狭いレンジの中で高精度に一定に保
つことができないと、感光性樹脂層の厚みが変化してイ
ンク流路の精度が低下し、各チャンネル（各ノズル）間
のインク滴吐出特性にばらつきが生じて、画像品質が低
下する。

【０００８】また、ノズル形成部材や振動板を導電性部
材で形成した場合、感光性樹脂のような粘弾性体を介し
てノズル形成部材と振動板との間で容量結合が生じ、両
部材間に電位差が生じてノズル形成部材や振動板が溶触
することがある。

【０００９】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、液室隔壁部材の厚みを高精度に均一化して各チャ
ンネル間のインク滴吐出特性の均一化を図り、画像品質
を向上することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項１のインクジェットヘッドは、２つの部材間
にインク液室を形成するための粘弾性体からなる液室隔
壁部材を接合したインクジェットヘッドにおいて、前記
２つの部材間には前記液室隔壁部材よりも剛性の高いス
ペーサ部材を介在させている構成とした。

【００１１】請求項２のインクジェットヘッドは、上記
請求項１のインクジェットヘッドにおいて、前記２つの
部材の少なくともいずれか一方の部材と前記スペーサ部
材とを電鋳工法で一体に形成している構成とした。

【００１２】請求項３のインクジェットヘッドは、上記
請求項１のインクジェットヘッドにおいて、前記２つの
部材とは別体のスペーサ部材を介在させている構成とし
た。

【００１３】請求項４のインクジェットヘッドは、上記
請求項３のインクジェットヘッドにおいて、前記スペー
サ部材が導電性を有する構成とした。

【００１４】請求項５のインクジェットヘッドは、上記
請求項１乃至４のいずれかのインクジェットヘッドにお
いて、前記スペーサ部材の両端面に前記２つの部材が接
している構成とした。

【００１５】請求項６のインクジェットヘッドは、上記
請求項１乃至５のいずれかのインクジェットヘッドにお
いて、前記２つの部材の一方の部材がノズルを形成した
ノズル形成部材であり、他方の部材が振動板である構成
とした。

【００１６】請求項７のインクジェットヘッドは、２つ
の部材間にインク液室を形成するための粘弾性体からな
る液室隔壁部材を接合したインクジェットヘッドの製造
方法において、前記２つの部材間に前記液室隔壁部材よ
りも剛性の高いスペーサ部材を介在させて積み重ね、こ
れを高精度平面を有し、かつ前記２つの部材よりも大き
な押圧部材間に挟んで押圧加工する構成とした。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。図１は本発明を適用したイン
クジェットヘッドの分解斜視図、図２は同ヘッドのチャ
ンネル方向と直交する方向の要部拡大断面図、図３は同
ヘッドのチャンネル方向の要部拡大断面図である。

【００１８】このインクジェットヘッドは、駆動ユニッ
ト１及び液室ユニット２を備えている。駆動ユニット１
は、セラミック、ガラスエポキシ樹脂等からなる絶縁性
の基板１１上に、複数の積層型圧電素子１２を２列列状
に接合して配置すると共に、各列の複数の圧電素子１２
の周囲を取り囲むように２つの穴部１４，１５を形成し
たフレーム部材１３を接合配置している。この駆動ユニ
ット１の各列の複数の圧電素子１２は、チャンネル方向
で、駆動波形を印加する駆動部１７と駆動波形を印加し
ない非駆動部１８とを交互に構成している（図３参
照）。

【００１９】ここで、圧電素子１２は、厚さ１０〜５０
μｍ／１層のチタン酸ジルコン酸（ＰＺＴ）２１と、厚
さ数μｍ／１層の銀・パラジューム（ＡgＰd）からなる
内部電極２２とを交互に積層したものである。圧電素子
を、厚さ１０〜５０μｍ／１層の積層型とすることによ
って駆動電圧の低電圧化を図れ、例えば１０〜５０Ｖの
パルス電圧で圧電素子の電界強度１０００Ｖ／mmを得る
ことができる。なお、アクチュエータ素子として用いる
圧電素子を含む電気機械変換素子は上記に限られるもの
でない。

【００２０】そして、この圧電素子１２の内部電極２２
を交互に端面に取り出して端面電極とし、一方、基板１
１上に共通電極パターン２３及び個別（選択）電極パタ
ーン２４を形成して、これらの共通電極パターン２３及
び個別電極パターン２４を駆動部１７となる圧電素子１
２の端面電極に導電性接着剤等を介して電気的に接続
し、共通電極パターン２３及び個別電極パターン２４に
接続したＦＰＣケーブル２５，２５を介して図示しない
ヘッド駆動用ＩＣ等を有するＰＣＢ基板と接続し、駆動
部１７に駆動波形を印加することによって積層方向の伸
びの変位を生ぜしめる。

【００２１】また、液室ユニット２は、金属或いは樹脂
の薄膜からなる振動板２７と、液室隔壁部材２８を構成
する２層構造のフォトレジストフィルム（ＤＦＲ）から
なる感光性樹脂層２９，３０と、ノズル３１を形成した
金属、樹脂等からなるノズルプレート３２とを順次積層
し、熱融着して形成している。これらの各部材によって
ノズル３１が連通し、駆動部１７で振動板２７を介して
加圧される加圧液室３３と、この加圧液室３３の両側に
位置する共通液室３４，３４と、共通液室３４から加圧
液室３３へインクを供給するための流体抵抗部になるイ
ンク供給路３５，３５を形成している。

【００２２】振動板２７は、同一平面上に位置出し又は
研削加工した圧電素子１２及びフレーム部材１３上に接
着剤３６で接合している。また、振動板２７は変位部と
なるダイアフラム部３８、圧電素子１２の内の非駆動部
１８に接合する梁３９及びフレーム部材１３に接合する
ベース４０とから形成し、またダイアフラム部３８は圧
電素子１２の内の駆動部１７に接合する島状凸部４１
と、この凸部４１の周囲に形成した厚み３〜１０μｍ程
度の最薄膜部分（ダイアフラム領域）４２と、この最薄
膜部分４２の内のチャンネル方向と直交する両端部側に
形成した逃げ領域４３とからなる。この振動板２７は加
圧液室３３等の隔壁の一部を形成している液室部材であ
る。

【００２３】また、ノズルプレート３２にはインク滴を
飛翔させるための微細孔である多数のノズル３１を形成
しており、このノズル３１の径はインク滴出口側の直径
で約２５〜３５μｍである。このノズルプレート３２は
例えば電鋳工法によって製造したＮi（ニッケル）の金
属プレートを用いているが、Ｓi、その他の金属材料を
用いることもできる。

【００２４】ノズルプレート３２の品質は、インクの滴
形状、飛翔特性を決定し、画像品質に大きな影響を与え
るものであり、より高品位の画像品質を得る上で表面の
均一化処理が不可欠であるので、インク吐出側面に撥水
性の表面処理膜４４を成膜している。撥水性の表面処理
膜４４は、例えばＰＴＦＥ−Ｎi共析メッキやフッ素樹
脂の電着塗装、蒸発性のあるフッ素樹脂（例えばフッ化
ピッチなど）を蒸着コートしたもの、シリコン系樹脂・
フッ素系樹脂の溶剤塗布後の焼き付け等、インク物性に
応じて選定する。

【００２５】さらに、共通液室３４に外部からインクを
供給するために基板１１、フレーム部材１５及び振動板
２７には、インク供給孔４５，４６，４７をそれぞれ形
成し、基板１１のインク供給孔４５に接続したインク供
給パイプ４８を介してインクが供給されるようにしてい
る。

【００２６】このインクジェットにおいては、記録信号
に応じて駆動部１７に駆動波形（１０〜５０Ｖのパルス
電圧）を印加することによって、駆動部１７に積層方向
の変位が生起し、振動板２７のダイアフラム部３８を介
して加圧液室３３内の圧力が上昇してノズル３１からイ
ンク滴が吐出される。このとき、加圧液室３３から共通
液室３４へ通じるインク供給路３５方向へもインクの流
れが発生するが、インク供給路３５の断面積を狭小にす
ることで流体抵抗部として機能させて共通液室３４側へ
のインクの流れを低減し、インク吐出効率の低下を防い
でいる。

【００２７】そして、インク滴吐出の終了に伴い、加圧
液室内のインク圧力が低減し、インクの流れの慣性と駆
動パルスの放電過程によって加圧液室３３内に負圧が発
生してインク充填行程へ移行する。このとき、インクタ
ンクから供給されたインクは共通液室３４に流入し、共
通液室３４からインク供給路３５を経て加圧液室３３内
に充填される。そして、ノズル３１の出口のインクメニ
スカス面の振動が減衰し、ある程度定常状態に戻れば次
のインク滴吐出動作に移行する。

【００２８】このインクジェットヘッドにおいては、予
め駆動ユニット１と液室ユニット２とを別々に加工組付
けた後、接着剤３６によって両ユニット１，２を接着接
合して製造する。ここで、液室ユニット２の組付工程に
ついて簡単に説明すると、次のとおりである。

【００２９】 振動板２７のフラットな面に第１感光
性樹脂層２９となるドライフィルムレジスト（ＤＦＲ）
をラミネートする。 そのＤＦＲを液室パターンに応じたマスクを使用し
て紫外線露光をし、現像して、第１感光性樹脂層２９に
よる液室パターンを形成する。

【００３０】 ノズルプレート３２に第２感光性樹脂
層３０となるドライフィルムレジスト（ＤＦＲ）をラミ
ネートする。 そのＤＦＲを液室パターンに応じたマスクを使用し
て紫外線露光をし、現像して、第２感光性樹脂層３０に
よる液室パターンを形成する。なお、ＤＦＲの層数は任
意に選定することができ、複雑な構造の液室を形成する
ことができる。 振動板２７の第１感光性樹脂層２９とノズルプレー
ト３２の第２感光性樹脂層３０とを合わせて接合する。
この接合は位置決め治具を用いて圧力と熱を加えて行
う。 なお、実際には〜の工程を複数個分のヘッド面積の
プレートにて組付を行う。

【００３１】このようにして完成した液室ユニット２の
振動板２７を別途組付けた駆動ユニット１のフレーム部
材１３及び非駆動部１８となる圧電素子１２と接合し
て、両ユニット１，２を組み付ける。

【００３２】ここで、液室ユニット２の構造について図
４以降をも参照して説明する。液室ユニット２は、上述
したように２つの部材である振動板２７とノズルプレー
ト３２間に２層構造の粘弾性体（感光性樹脂層２９，３
０）からなる液室隔壁部材２８を接合して構成してい
る。そして、２つの部材である振動板２７とノズルプレ
ート３２間には液室隔壁部材３０を形成している感光性
樹脂（ＤＦＲ）よりも剛性の高いスペーサ部材５１を介
在させている。

【００３３】このスペーサ部材５１は、図４にも示すよ
うに振動板２７をＮi電鋳工法（エレクトロフォーミン
グ法）で形成するときに振動板２７と一体に形成してい
る。なお、図４は説明上第１，第２感光性樹脂層２９，
３０を振動板２７，ノズルプレート３２と分離して示し
ているが、上述したように第１感光性樹脂層２９は振動
板２７と一体的に形成し、第２感光性樹脂層３０はノズ
ルプレート３２と一体的に形成している。

【００３４】このスペーサ部材５１を一体にした振動板
２７の製造方法について図５を参照して簡単に説明す
る。同図（ａ）に示すようなレジストパターンの成膜と
メッキ膜を支持するための電鋳支持基板となる導体基板
６１、例えばメッキ可能な金属基板、或いはスパッタリ
ングなどで導体化したガラス、セラミックス基板などを
用いて、同図（ｂ）に示すように導体基板６１のメタラ
イズ面に液体レジストを塗布して焼き付けてレジスト膜
６２を成膜する。

【００３５】そして、このレジスト膜６２を所定のマス
クを用いて露光した後現像して、同図（ｃ）に示すよう
にスペーサ部材５１を形成するための開口部６３を有す
るパターン６４を形成し、同図（ｄ）に示すようにこれ
にＮｉ電鋳を施してスペーサ部材５１となるニッケル柱
６５を形成し、更に同図（ｅ）に示すようにＮｉ電鋳で
ダイヤフラム部３８を形成するための第１層６６を成膜
する。その後、図示しないフォトリソ工程及びＮｉ電鋳
工程を経て第２層（逃げ領域４３）、第３層（ベース領
域４０）をそれぞれ所定のパターンで成膜した後、基板
６１から剥離することによって、図５に示すようにスペ
ーサ部材５１を一体形成した振動板２７が得られる。

【００３６】このスペーサ部材５１の厚み（高さ）は、
振動板２７の第１感光性樹脂層２９とノズルプレート３
２の第２感光性樹脂層３０とを接合のために合せたとき
の積み上げ厚み（高さ）よりも薄い（低い）寸法にして
いる。

【００３７】そこで、この振動板２７のフラットな面に
上述したようにＤＦＲをラミネートし、所定の露光、現
像工程によって液室パターンをパターニングして、第１
感光性樹脂層２９を形成することで、図１に示すように
振動板２７と第１感光性樹脂層２９とを一体化した部材
が得られる。

【００３８】一方、ノズルプレート３２に一体化した第
２の感光性樹脂層３０には、図１及び図４に示すように
スペーサ部材５１に対応する位置にスペーサ部材５１が
嵌合可能な孔部５２を形成している。この孔部５２は、
前述したようにノズルプレート３２上に第２感光性樹脂
層３０を形成するとき、ノズルプレート３２上にラミネ
ートしたＤＦＲを孔部５２に対応する部分も開口した液
室パターンに応じたマスクを使用して紫外線露光をし、
孔部５２に対応する部分も現像して除去する（孔部５２
の底部はノズルプレート３２表面となる。）ことによっ
て形成できる。

【００３９】そこで、第１感光性樹脂層２９を形成した
振動板２７と第２感光性樹脂層３０を形成したノズルプ
レート３２とを、振動板２７のスペーサ部材５１を第２
感光性樹脂層３０の孔部５２内に嵌合させて、第１感光
性樹脂層２９と第２感光性樹脂層３２とを高精度に位置
決めして合せた後、熱と圧力によって接合する。

【００４０】この接合方法について、図６及び図７を参
照して説明すると、上述したように第１感光性樹脂層２
９と第２感光性樹脂層３２とを高精度に位置決めして合
せた部材（以下「ワーク」という。）５３を、複数個
（６個のみ図示している。）押圧部材である基板５４上
にセットした後、押圧部材である加圧板５５によって上
方から押圧して、複数個のワーク５３を同時に加圧、加
熱して各第１感光性樹脂層２９と第２感光性樹脂層３０
とを接合する。

【００４１】ここで、基板５４及び加圧板５５として
は、高精度平面、例えば３０〜１００μｍの平面を有
し、ワーク５３（振動板２７及びノズルプレート３２）
よりも大きな押圧面を有する部材であることが好まし
い。このような、押圧部材を用いることによって、同時
に複数の液室ユニット２を接合組付することができて、
接合コストを廉価にすることができる。

【００４２】この場合、基板５４及び加圧板５５の大き
さとしては、少なくともセットしたワーク５３のスペー
サ部材５１が３本以上になる個数のワーク５３をセット
できることが好ましい。このようにすれば、各液室ユニ
ット２のスペーサ部材５１が１本であっても複数の液室
ユニット２をセットすることで全体として３本以上のス
ペーサ部材５１が押圧部材間に介在するので、加圧板５
５の片寄り等を防止することができて、液室厚みを高精
度に仕上げることが可能になる。

【００４３】また、このようにして複数のワーク５３の
接合を行なう場合、加熱温度は１６０℃〜２００℃の範
囲で任意に設定することができる。加圧力はセットした
ワーク５３の各振動板２７のスペーサ部材５１がノズル
プレート３２に達する圧力で、スペーサ部材５１が５μ
ｍ以内の変形に収る圧力であることが好ましい。

【００４４】このように振動板２７とノズルプレート３
２との間にスペーサ部材５１を設けることによって、粘
弾性体である第１，第２感光性樹脂層２９，３０で形成
する液室隔壁部材２８の厚みが一定になり、各チャンネ
ル毎のインク滴吐出特性が均一化し、良好なインク滴噴
射特性が得られて画像品質が向上する。

【００４５】そして、２つの部材の一方の部材である振
動板２７（ノズルプレート３２でもよい。）をＮｉ等の
金属材料で形成するときにスペーサ部材５１を一体に形
成することによって、簡単にスペーサ部材を形成するこ
とができる。また、スペーサ部材を複数本設けることに
よって相手側部材との接合位置合せを高精度に行なうこ
とができる。

【００４６】さらに、２つの部材を金属材料で形成した
場合に、スペーサ部材を２つの部材に接触させることに
よって２つの部材が溶触することを防止できる。すなわ
ち、２つの部材が導通状態にないと、２つの部材が容量
結合することになり、圧電素子にかかる電圧によって振
動板が電極作用を起こし、金属が溶触することになる
が、スペーサ部材が２つの部材に接触していることで容
量結合が防止される。特に、一方の部材にスペーサ部材
を一体形成することで、スペーサ部材を２つの部材を電
気的に導通させることが容易になる。

【００４７】なお、上記実施例では、振動板にスペーサ
部材を一体形成した例で説明しているが、ノズルプレー
トに一体形成することもできる。また、振動板やノズル
プレートとは別体のスペーサ部材を用いることもでき、
この場合には、上記実施例でいえば第１，第２感光性樹
脂層２９，３０にそれぞれ孔部を形成して、この孔部に
嵌合可能なスペーサ部材を差込んで位置合せした後、接
合すればよい。このように２つの部材とは別部材である
スペーサ部材を用いる場合にも、２つの部材が金属材料
からなるときには導電性を有するスペーサ部材を用いる
ことが溶触を防止する上で好ましい。

【００４８】また、上記実施例ではスペーサ部材を２箇
所に設けた例で説明したが、少なくとも１箇所に設けれ
ば、上述したように複数のワークを同時に接合する方式
を採用することで同様の作用効果を得ることができる。
さらに、２つの部材が振動板とノズルプレートである例
で説明したが、基板上に感光性樹脂層などの粘弾性体か
らなる液室隔壁部材を形成し、更にこの液室隔壁部材上
に蓋部材等を設ける場合にも適用することができる。

【００４９】さらに、上記実施例においては、積層型圧
電素子のｄ３３方向の変位を用いて加圧液室を加圧し、
圧電素子の変位方向にインク滴と吐出するサイドシュー
タ方式のインクジェットヘッドについて説明したが、そ
の他の電機機械変換素子を用いるヘッド、圧電素子の変
位方向と直交する方向にインク滴を吐出するエッジシュ
ータ方式のヘッド等にも適用することができる。さら
に、駆動ユニットと液室ユニットとを別個にユニット化
することなく、支持部材上に振動板などの液室の少なく
とも一部を形成している液室部材、液室隔壁部材を順次
積層して製造する構造のヘッドにも適用することができ
る。また、上記実施例では、粘弾性体として感光性樹脂
を用いた例で説明しているが、これ以外の樹脂材料で液
室隔壁部材を形成する場合にも適用することができ、液
室隔壁部材の層数も２層に限るものではなく１層又は３
層以上にすることもできる。

【００５０】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１のインク
ジェットヘッドによれば、２つの部材間にインク液室を
形成するための粘弾性体からなる液室隔壁部材と共にこ
の液室隔壁部材よりも剛性の高いスペーサ部材を介在さ
せている構成としたので、液室隔壁部材の厚みが一定に
なり、各チャンネル毎のインク滴吐出特性が均一化し、
良好なインク滴噴射特性が得られて画像品質が向上す
る。

【００５１】請求項２のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１のインクジェットヘッドにおいて、２
つの部材の少なくともいずれか一方の部材とスペーサ部
材とを電鋳工法で一体に形成している構成としたので、
スペーサ部材を容易に形成することができると共に、２
つの部材を金属材料で形成したときの容量結合を容易に
防止することができるようになる。

【００５２】請求項３のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１のインクジェットヘッドにおいて、２
つの部材とは別体のスペーサ部材を介在させている構成
としたので、スペーサ部材を２つの部材のいずれか一方
の部材に一体形成する場合に比べて２つの部材の形成工
程が簡単になる。

【００５３】請求項４のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項３のインクジェットヘッドにおいて、ス
ペーサ部材が導電性を有する構成としたので、２つの部
材を金属材料で形成したときの容量結合を容易に防止す
ることができるようになる。

【００５４】請求項５のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１乃至４のいずれかのインクジェットヘ
ッドにおいて、スペーサ部材の端面に２つの部材が接し
ている構成としたので、２つの部材を金属材料で形成し
たときの容量結合を防止して金属材料の溶触を防止する
ことができる。

【００５５】請求項６のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１乃至５のいずれかのインクジェットヘ
ッドにおいて、２つの部材の一方の部材がノズルを形成
したノズル形成部材であり、他方の部材が振動板である
構成としたので、振動板、液室隔壁部材、ノズル形成部
材を積層する構造のインクジェットヘッドにおける液室
を高精度に形成することができて、各チャンネル毎のイ
ンク滴吐出特性が均一化し、良好なインク滴噴射特性が
得られて画像品質が向上する。

【００５６】請求項７のインクジェットヘッドによれ
ば、２つの部材間にインク液室を形成するための粘弾性
体からなる液室隔壁部材を接合したインクジェットヘッ
ドの製造方法において、２つの部材間に液室隔壁部材よ
りも剛性の高いスペーサ部材を介在させて積み重ね、こ
れを高精度平面を有し、且つ２つの部材よりも大きな押
圧部材間に挟んで押圧加工する構成としたので、高精度
の液室を有する部材を安価に製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用したインクジェットヘッドの要部
分解斜視図

【図２】同ヘッドのチャンネル方向と直交する方向の要
部拡大断面図

【図３】同ヘッドのチャンネル方向の要部拡大断面図

【図４】同ヘッドの液室ユニットの分解斜視図

【図５】同ヘッドの振動板の製造工程の説明に供する説
明図

【図６】同ヘッドの液室ユニットの接合工程の説明に供
する平面説明図

【図７】図６の正面説明図

【符号の説明】

１…駆動ユニット、２…液室ユニット、１１…基板、１
２…圧電素子、１３…フレーム部材、２７…振動板、２
８…液室隔壁部材、２９…第１感光性樹脂層、３０…第
２感光性樹脂層、３２…ノズルプレート、５１…スペー
サ部材、５２…孔部。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岩瀬 政之 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 中根 信保 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 牧田 秀行 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 佐々木 勉 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ２つの部材間にインク液室を形成するた
   めの粘弾性体からなる液室隔壁部材を接合したインクジ
   ェットヘッドにおいて、前記２つの部材間には前記液室
   隔壁部材よりも剛性が高いスペーサ部材を介在したこと
   を特徴とするインクジェットヘッド。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のインクジェットヘッド
   において、前記２つの部材の少なくともいずれか一方の
   部材と前記スペーサ部材とを電鋳工法で一体に形成した
   ことを特徴とするインクジェットヘッド。
3. 【請求項３】 請求項１に記載のインクジェットヘッド
   において、前記２つの部材とは別体のスペーサ部材を介
   在したことを特徴とするインクジェットヘッド。
4. 【請求項４】 請求項３に記載のインクジェットヘッド
   において、前記スペーサ部材が導電性を有することを特
   徴とするインクジェットヘッド。
5. 【請求項５】 請求項１乃至４のいずれかに記載のイン
   クジェットヘッドにおいて、前記スペーサ部材の両端面
   に前記２つの部材が接していることを特徴とするインク
   ジェットヘッド。
6. 【請求項６】 請求項１乃至５のいずれかに記載のイン
   クジェットヘッドにおいて、前記２つの部材の一方の部
   材がノズルを形成したノズル形成部材であり、他方の部
   材が振動板であることを特徴とするインクジェットヘッ
   ド。
7. 【請求項７】 ２つの部材間にインク液室を形成するた
   めの粘弾性体からなる液室隔壁部材を接合したインクジ
   ェットヘッドの製造方法において、前記２つの部材間に
   前記液室隔壁部材よりも剛性の高いスペーサ部材を介在
   させて積み重ね、これを高精度平面を有し、且つ前記２
   つの部材よりも大きな押圧面を有する押圧部材間に挟ん
   で押圧加工することを特徴とするインクジェットヘッド
   の製造方法。