JPH10119261A - インクジェットヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 インク滴吐出特性の低下を招くことなく圧力
波の回析を十分に防止することができない。 【解決手段】 ネルギー変換素子５で発生するエネルギ
ーでインクが加圧される第１液室１１と、第１液室１１
にインクを供給するための共通液室１２と、第１液室１
１との間に位置する第２液室１３と、第１液室１１と第
２液室１３とを連通する第１インク供給路１４及び第２
液室１３と共通液室１２とを連通する第２インク供給路
１５を設け、第２液室１３内には圧力波を吸収しやすい
粘弾性材１７を配置した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はインクジェットヘッ
ドに関し、特に共通液室とインクが加圧される第１液室
との間に第２液室を設けたインクジェットヘッドに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット記録装置は、記録時の振
動、騒音が殆どなく、特にカラー化が容易なことから、
コンピュータ等のデジタル処理装置のデータを出力する
プリンタの他、ファクシミリやコピー機等にも用いられ
るようになっている。このようなインクジェット記録装
置に用いられるインクジェットヘッドは、圧電素子など
の電機機械変換素子、発熱抵抗体等のアクチュエータ素
子を記録信号に応じて駆動して、液室内のインクを加圧
してノズルからインク滴を吐出飛翔させ、記録媒体上に
画像記録を行なうものである。なお、本明細書では、ア
クチュエータ素子によるエネルギー（機械的変位、バブ
ル）で加圧されるインクが充填されるインク流路を加圧
液室又は第１液室と称する。

【０００３】このようにインクジェットヘッドは、加圧
液室内のインクを加圧することでノズル（吐出口）から
インク滴を吐出させるため、インクを加圧するためにア
クチュエータ素子で発生させた圧力波が加圧液室からイ
ンク供給路を介して複数の加圧液室にインクを供給する
ための共通液室を経て他の加圧液室へのインク供給路に
回り込むという回析現象が発生し、各ノズルからのイン
ク滴吐出特性にバラツキが生じて画像品質が低下するこ
とがある。

【０００４】そこで、従来のインクジェットヘッドとし
て、例えば特開平３−８２５４６号公報に記載されてい
るようなものがある。このインクジェットヘッドを図１
１乃至図１３を参照して簡単に説明すると、先ず、図１
１に示すように、基板１０１上に積層型圧電素子１０２
を接合し、この圧電素子１０２上に液室形成部材１０３
を接合して、前面にインク滴を吐出するノズル１０４を
形成し、液室形成部材１０３の後方に連絡口板１０５を
介して共通液室形成部材１０６を設け、この共通液室形
成部材１０６内にインク供給パイプ１０７を介してイン
クを導入する。また、基板１０１の後方側には圧電素子
１０２を駆動するための電極パターン１０８，１０９を
形成している。

【０００５】そして、図１２に示すように液室形成部材
１０３で複数の第１液室（加圧液室）１１１を画成し、
連絡口板１０５で加圧液室１１１と共通液室形成部材１
０６で形成した共通液室１１２とを隔てると共に、連絡
口板１０５に形成した隔壁部１１３で共通液室１１２と
加圧液室１１１との間に第２液室１１４を形成し、この
第２液室１１４と加圧液室１１１とを連絡口板１０５に
形成した連絡口１１５で連通させている。

【０００６】この第２液室１１４を設けることによっ
て、圧電素子１０２で所定の加圧液室１１１を加圧した
ときの圧力波が連絡口１１５から共通液室１１２に向か
うとき、この共通液室１１２に向かう圧力波が第２液室
１１４の隔壁部１１３で乱反射されるので、共通液室１
１２から他の加圧液室１１１の連絡口１１５に回り込む
ことが防止されるようにしている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来のインクジェットヘッドにあっては、第２
液室１１４の共通液室１１２側の開口が大きいために、
連絡口から出てきた圧力波が共通液室を経て他の加圧液
室へ回り込むことを防止するには不十分である。そこ
で、図１３に示すように第２液室１１４の共通液室１１
２側開口１１６を十分に狭くして流体抵抗を持たせるこ
とによって圧力波を減衰させることも提案されている
が、共通液室から第２液室への流体抵抗を大きくするこ
とは加圧液室へのインク充填に時間がかかることにな
り、高周波数駆動に対する応答性が低下することにな
る。

【０００８】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、インク滴吐出特性を低下することなく圧力波の回
析を防止して記録品質を向上することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項１のインクジェットヘッドは、アクチュエー
タ素子によるエネルギーで加圧されるインクを充填する
第１液室と、第１液室に連通するノズルと、インクを導
入する共通液室とを有するインクジェットヘッドにおい
て、前記第１液室と共通液室との間に第２液室を設け、
この第２液室の壁面の少なくとも一部を粘弾性材又は弾
性材で形成する構成とした。

【００１０】請求項２のインクジェットヘッドは、上記
請求項１のインクジェットヘッドにおいて、前記第２液
室と共通液室とを連通するインク流路の形状と前記第２
液室と第１液室とを連通するインク流路の形状とが異な
る構成とした。

【００１１】請求項３のインクジェットヘッドは、上記
請求項１又は２のインクジェットヘッドにおいて、電機
機械変換素子と、この電機機械変換素子の変位を受けて
変形して前記第１液室を加圧する振動板とを備え、この
振動板で前記第２液室の壁面を形成し、かつ第２液室に
対応する部分にダイアフラム部を設ける構成とした。

【００１２】請求項４のインクジェットヘッドは、上記
請求項３のインクジェットヘッドにおいて、前記振動板
には第１液室に対応する部分にもダイアフラム部を設け
る構成とした。

【００１３】請求項５のインクジェットヘッドは、上記
請求項３又は４のインクジェットヘッドにおいて、前記
振動板の第２液室に対応する部分のダイアフラム部には
付加質量部分を設ける構成とした。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。図１は本発明に係るインクジ
ェットヘッドの一例を示す要部断面図である。このイン
クジェットヘッドは、ベースプレート１と、液室隔壁を
形成する液室隔壁部材２と、ノズル４を形成したノズル
プレート３と、液室内のインクに圧力波を発生させるた
めの発熱抵抗体などのエネルギー変換素子（アクチュエ
ータ素子）５とを備えている。

【００１５】液室隔壁部材２は、ドライフィルムレジス
トを用いてフォトリソプロセスで形成した第１感光性樹
脂層６及び第２感光性樹脂層７からなり、ベースプレー
ト１と共に、エネルギー変換素子５で発生するエネルギ
ーでインクが加圧される第１液室１１と、この第１液室
１１にインクを供給するためにインクを導入する共通液
室１２と、第１液室１１と共通液室１４との間に位置す
る第２液室１３と、第１液室１１と第２液室１３とを連
通するインク流路である第１インク供給路１４及び第２
液室１３と共通液室１２とを連通するインク流路である
第２インク供給路１５を画成する。また、第２感光性樹
脂層７はノズル４と第１液室１１との間に導入口１６を
形成している。

【００１６】そして、第２液室１３内には圧力波を吸収
しやすい粘弾性材１７を配置して、この粘弾性材１７で
第２液室１３の壁面の一部を形成している。また、第２
液室と第１液室１１とを連通する第１インク供給路１４
の開口面積を、第２液室１３と共通液室１２とを連通す
る第２インク供給路１５の開口面積よりも小さく形成し
ている。さらに、共通液室１２にインクを導入するため
のインク供給パイプ１８を取付けている。

【００１７】なお、このインクジェットヘッドは、ベー
スプレート１上に第１感光性樹脂層６を熱圧着によって
固定し、一方Ｎｉ電鋳などによって形成したノズルプレ
ート３に第２感光性樹脂層７を熱圧着によって固定した
後、第１感光性樹脂層６と第２感光性樹脂層７とを熱圧
着して接合することにより製作する。

【００１８】このように構成したこのインクジェットヘ
ッドにおいては、エネルギー変換素子５に駆動パルスを
印加させることによって第１液室１１に満たされている
インクに圧力波が与えられ、これによってノズル４から
インク滴が吐出される。このとき、第１液室１１に発生
した圧力波は第１インク供給路１４を介して第２液室１
３に伝搬されるが、第２液室１３に伝搬された圧力波
は、第２液室１３の壁面の一部を構成している粘弾性材
１７によって吸収されて十分に減衰し、第２インク供給
路１５を介して共通液室１２に伝搬することは殆どなく
なる。

【００１９】したがって、複数の第１液室を備えた場合
でも１つの第１液室で発生した圧力波が共通液室を介し
て他の第１液室に伝搬する回析が防止され、各ノズルか
ら吐出するインク滴吐出特性のバラツキが低減して、安
定したインク滴吐出特性を得ることができ、記録品質が
向上する。

【００２０】そして、第１液室と第２液室とを連通する
インク流路（第１インク供給路）の開口面積を、共通液
室と第２液室とを連通するインク流路（第２インク供給
路）の開口面積よりも小さくすることで、インク充填性
を損なうことなく圧力波を減衰させることができ、高周
波駆動による高速記録を行なうことができるようにな
る。

【００２１】すなわち、第２液室１３と共通液室１２と
を連通する第２インク供給路（インク流路）１５は、圧
力波のエネルギーが共通液室１２に伝搬せず、粘弾性材
１７の変形エネルギーに転換されるのに必要にして十分
な開口面積を有すればよい。一方、第１液室１１と第２
液室１３とを連通する第１インク供給路（インク流路）
１４は、開口面積を大きくとると、圧力波が第２液室１
３に伝搬する割合が増加し、ノズル４からのインク滴吐
出エネルギーに変換される割合が減る。

【００２２】そこで、第１液室と第２液室とを連通する
インク流路の形状と、共通液室と第２液室とを連通する
インク流路の形状を異ならせて、前者を後者に比べて小
さくすることで、圧力波の減衰とインク充填性の調和を
図ることができる。なお、開口面積を異ならせることに
代えて、或いはそれと共に、流路を屈曲させるなどして
も、流体抵抗値を変えることができ、同様の作用効果を
得ることができる。

【００２３】次に、本発明に係るインクジェットヘッド
の他の実施例について図２乃至図９を参照して説明す
る。図２は同インクジェットヘッドの要部外観斜視図、
図３は図２のＡ−Ａ線に沿う断面図、図４は図２のＢ−
Ｂ線に沿う断面図、図５は同ヘッドの分解概略斜視図、
図６は液室部の要部拡大断面図、図７は液室部の要部拡
大平面図、図８は振動板の裏面側からの要部拡大斜視
図、図９は作用説明に供する模式的平面図である。

【００２４】このインクジェットヘッドは、アクチュエ
ータユニット２１及び液室ユニット２２を備えている。
アクチュエータユニット２１は、セラミック、ガラスエ
ポキシ樹脂等からなる絶縁性の基板３１上に、複数の積
層型圧電素子３２を２列列状に接合して配置すると共
に、各列の複数の圧電素子３２の周囲を取り囲むように
２つの穴部３４，３５を形成したフレーム部材３３を接
合配置している。このアクチュエータユニット２１の各
列の複数の圧電素子３２は、チャンネル方向で、駆動波
形を印加する駆動部３７と駆動波形を印加しない非駆動
部３８とを交互に構成する。

【００２５】ここで、圧電素子３２は、厚さ１０〜５０
μｍ／１層のチタン酸ジルコン酸（ＰＺＴ）４１と、厚
さ数μｍ／１層の銀・パラジューム（ＡgＰd）からなる
内部電極４２とを交互に積層したものである。圧電素子
を、厚さ１０〜５０μｍ／１層の積層型とすることによ
って駆動電圧の低電圧化を図れ、例えば１０〜５０Ｖの
パルス電圧で圧電素子の電界強度１０００Ｖ／mmを得る
ことができる。なお、アクチュエータ素子として用いる
圧電素子を含む電気機械変換素子は上記に限られるもの
でない。

【００２６】そして、この圧電素子３２の内部電極４２
を交互に端面に取り出して端面電極とし、一方、基板３
１上に共通電極パターン４３及び個別（選択）電極パタ
ーン４４を形成して、これらの共通電極パターン４３及
び個別電極パターン４４を駆動部３７となる圧電素子３
２の端面電極に導電性接着剤等を介して電気的に接続
し、共通電極パターン４３及び個別電極パターン４４に
接続したＦＰＣケーブル４５，４５を介して図示しない
ヘッド駆動用ＩＣ等を有するＰＣＢ基板と接続し、駆動
部３７に駆動波形を印加することによって積層方向の伸
びの変位を生ぜしめる。

【００２７】また、液室ユニット２は、金属或いは樹脂
の薄膜からなる振動板４８と、フォトレジストフィルム
からなる感光性樹脂層で形成した液室隔壁部材４９と、
ノズル５１を形成した金属、樹脂等からなるノズルプレ
ート５２とを順次を積層し、熱融着して形成している。

【００２８】これらの各部材によって、図６及び図７に
拡大して示すように、ノズル５１が連通し、駆動部３７
で振動板４８を介して加圧される第１液室である加圧液
室５３と、この加圧液室５３の両側に位置して加圧液室
５３にインクを供給するためにインクを導入する共通液
室５４，５４と、加圧液室５３と共通液室５４との間に
位置する第２液室５５と、加圧液室５３と第２液室５５
とを連通する第１インク供給路５６と、第２液室５５と
共通液室５４とを連通する第２インク供給路５７と、ノ
ズル５１と加圧液室５３との間に位置するノズル導入口
５８とを形成している。

【００２９】振動板４８は、同一平面上に位置出し又は
研削加工した圧電素子３７及びフレーム部材３３上に接
着剤５９で接合している。この振動板４８には、図６及
び図８に拡大して示すように、駆動部３７に対応する変
位部となる第１ダイアフラム部６１と、第２液室５５に
対応する粘弾性材又は弾性材である第２ダイアフラム部
６２と、非駆動部３８に接合する梁６３及びフレーム部
材３３に接合するベース６４とを形成している。また、
加圧液室５３に対応する第１ダイアフラム部６１は圧電
素子３２の内の駆動部３７に接合する付加質量部分であ
る島状凸部６５と、この凸部６５の周囲に形成した厚み
３〜１０μｍ程度の最薄膜部分（ダイアフラム領域）６
６とからなる。

【００３０】液室隔壁部材４９は、主として第２液室５
５及びインク供給路５６，５７を形成するための第１感
光性樹脂層７１と、主として加圧液室５３及び共通液室
５４を形成するための第２感光性樹脂層７２と、主とし
て共通液室５４及びノズル導入口５８を形成するための
第３感光性樹脂層７３とを熱圧着で接合してなる。

【００３１】また、ノズルプレート５２にはインク滴を
飛翔させるための微細孔である多数のノズル５１を形成
しており、このノズル５１の径はインク滴出口側の直径
で約２５〜３５μｍである。このノズルプレート５２は
例えば電鋳工法によって製造したＮi（ニッケル）の金
属プレートを用いているが、Ｓi、その他の金属材料を
用いることもできる。このノズルプレート５２のインク
吐出側面に撥水性の表面処理膜、例えばＰＴＦＥ−Ｎi
共析メッキやフッ素樹脂の電着塗装、蒸発性のあるフッ
素樹脂（例えばフッ化ピッチなど）を蒸着コートしたも
の、シリコン系樹脂・フッ素系樹脂の溶剤塗布後の焼き
付け等、インク物性に応じて選定した撥水処理膜を設け
て、インクの滴形状、飛翔特性を安定化し、高品位の画
像品質を得られるようにしている。

【００３２】さらに、共通液室５４に外部からインクを
供給するために基板３１、フレーム部材３３及び振動板
４８には、インク供給穴７４，７５，７６をそれぞれ形
成し、基板３１のインク供給穴７４に接続したインク供
給パイプ７７を介してインクが供給されるようにしてい
る。

【００３３】このインクジェットヘッドの製造工程につ
いて簡単に説明すると、予めアクチュエータユニット２
１と液室ユニット２２とを別々に加工組付けた後、接着
剤５９によって両ユニット２１，２２を接着接合して製
造する。

【００３４】ここで、液室ユニット２の組付工程は、次
のとおりである。 振動板４８のフラットな面に第１感光性樹脂層７１
となるドライフィルムレジスト（ＤＦＲ）を熱と圧力に
よってラミネートする。 そのＤＦＲを液室パターンに応じたマスクを使用し
て紫外線露光をし、未露光部分を除去できる溶剤を用い
て、未露光部分を除去して現像し、第１感光性樹脂層７
１による液室パターンを形成する。 水洗い、乾燥の後、再度紫外線露光と加熱により本
硬化する。

【００３５】 ノズルプレート５２に第３感光性樹脂
層７３となるドライフィルムレジスト（ＤＦＲ）をラミ
ネートする。そのＤＦＲを液室パターンに応じたマスク
を使用して紫外線露光をし、現像して、第３感光性樹脂
層７３による液室パターンを形成する。 更に、この第３感光性樹脂層７３上に同様にし第２
感光性樹脂層７２となるドライフィルムレジスト（ＤＦ
Ｒ）をラミネートして、露光、現像を行って第２感光性
樹脂層７２による液室パターンを形成する。なお、ＤＦ
Ｒの層数は任意に選定することができ、複雑な構造の液
室を形成することができる。 水洗い、乾燥の後、再度紫外線露光と加熱により本
硬化する。

【００３６】 振動板４８の第１感光性樹脂層７１と
ノズルプレート５２の第２感光性樹脂層７２とを合わせ
て接合する。この接合は位置決め治具を用いて圧力と熱
を加えて行う。なお、実際には〜の工程を複数個分
のヘッド面積のプレートにて組付を行う。

【００３７】このようにして完成したアクチュエータユ
ニット２１のフレーム部材３３及び非駆動部３８となる
圧電素子３２と、液室ユニット２の振動板４８とを接合
して、両ユニット２１，２２を接合して組み付ける。

【００３８】このように構成したインクジェットヘッド
の作用について図９をも参照して説明すると、記録信号
に応じて駆動部３７に駆動波形（１０〜５０Ｖのパルス
電圧）を印加することによって、駆動部３７に積層方向
の変位が生起し、振動板４８の第１ダイアフラム部６１
を介して加圧液室５３内に圧力波が発生し、加圧液室５
３内の圧力が上昇してノズル５１からインク滴が吐出さ
れる。

【００３９】このとき、加圧液室５３内に発生した圧力
波Ｗは、図８に示すように加圧液室５３から矢印で示す
ように両側の第１インク供給路５６，５６から第２液室
５５に伝搬する。この第２液室５５，５５に伝搬してき
た圧力波Ｗは、振動板４８の第２ダイアフラム部６２，
６２を変形させる。これによって、圧力波Ｗは十分に減
衰されて第２インク供給路５７を介して共通液室５４へ
伝搬する圧力波は殆どなくなり、圧力波の回析によるイ
ンク滴吐出特性のバラツキを低減することができる。

【００４０】そして、インク滴吐出の終了に伴い、加圧
液室内のインク圧力が低減し、インクの流れの慣性と駆
動パルスの放電過程によって加圧液室５３内に負圧が発
生してインク充填行程へ移行する。このとき、インクタ
ンクから供給されたインクは共通液室５４に流入し、共
通液室５４から第２インク供給路５７、第２液室５５及
び第１インク供給路５６を経て加圧液室５３内に充填さ
れるが、第２インク供給路５７を第１インク供給路５６
よりも開口面積を大きくしているので、インク充填性を
阻害することを低減することができる。

【００４１】そして、ノズル５１の出口のインクメニス
カス面の振動が減衰し、表面張力によってノズル５１の
出口付近に戻され（リフィル）て安定状態に至れば次の
インク滴吐出動作に移行する。

【００４２】次に、図１０を参照して、このインクジェ
ットヘッドの振動板の他の例について説明する。この例
の振動板４８は、第２液室５５に対応する第２ダイアフ
ラム部６２に第１ダイアフラム部６１と同様に付加質量
部分である島状凸部７８を設けている。このように、付
加質量部分である島状凸部７８を設けることによって、
第２ダイアフラム部６２の変形エネルギーが大きくな
り、圧力波をより十分に減衰することができて、共通液
室５４の圧力波の伝搬を一層低減することができ、圧力
波の回析によるインク滴吐出特性のバラツキを一層少な
くすることができる。また、振動板は電鋳工法で製作し
ているが、ダイアフラム部を設けることによってピンホ
ールができにくくなる。

【００４３】なお、上記実施例においては、液室隔壁部
材として感光性樹脂を用いた例で説明したが、これに限
られるものではなく、金属、その他の樹脂等を用いるこ
ともできる。また、積層構造を構成しているインク液室
隔壁部材の層数も２層或いは３層に限られるものではな
い。さらに、インクジェットヘッドの構造も上記実施例
に示したものに限定されず、図１１に示したようなエッ
ジシュータ方式のインクジェットヘッドにも同様に適用
することができる。

【００４４】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１のインク
ジェットヘッドによれば、アクチュエータ素子によるエ
ネルギーで加圧されるインクを充填する第１液室とイン
クを導入する共通液室との間に第２液室を設け、この第
２液室の壁面の少なくとも一部を粘弾性材又は弾性材で
形成する構成としたので、インク滴吐出特性の低下を招
くことなく、インク滴吐出特性のバラツキを低減するこ
とができて、記録品質を向上することができる。

【００４５】請求項２のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１のインクジェットヘッドにおいて、第
２液室と共通液室とを連通するインク流路の形状と第２
液室と第１液室とを連通するインク流路の形状とが異な
る構成としたので、第２液室と共通液室とを連通するイ
ンク流路の流体抵抗を第２液室と第１液室とを連通する
インク流路の流体抵抗よりも小さくすることができ、流
体抵抗を大きくすることによる駆動周波数の低下を招く
ことなく圧力波を十分に減衰して、記録品質を向上する
ことができる。

【００４６】請求項３のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１又は２のインクジェットヘッドにおい
て、電機機械変換素子と、この電機機械変換素子の変位
を受けて変形して第１液室を加圧する振動板とを備え、
この振動板で第２液室の壁面を形成し、かつ第２液室に
対応する部分にダイアフラム部を設ける構成としたの
で、流体抵抗を大きくすることによる駆動周波数の低
下、インク滴吐出特性の低下を招くことなく、インク滴
吐出特性のバラツキを低減することができて、記録品質
を向上することができる。

【００４７】請求項４のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項３のインクジェットヘッドにおいて、振
動板には第１液室に対応する部分にもダイアフラム部を
設ける構成としたので、第１液室を加圧するための振動
板で第２液室の壁面の少なくとも一部を形成する粘弾性
材又は弾性材を構成できるので、コストを低減すること
ができる。

【００４８】請求項５のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項３又は４のインクジェットヘッドにおい
て、振動板の第２液室に対応する部分のダイアフラム部
には付加質量部分を設ける構成としたので、付加質量分
だけダイアフラム部の必要変形エネルギーが大きくなっ
て、圧力波を一層減衰させることができ、より記録品質
を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るインクジェットヘッドの一実施例
を示す要部断面図

【図２】本発明に係るインクジェットヘッドの他の実施
例を示す斜視図

【図３】図２のＡ−Ａ線に沿う要部拡大断面図

【図４】図２のＢ−Ｂ線に沿う要部拡大断面図

【図５】同ヘッドの分解斜視図

【図６】同ヘッドの液室部の拡大断面図

【図７】同液室部の要部拡大平面図

【図８】同ヘッドの振動板裏面側から見た要部拡大斜視
図

【図９】同ヘッドの作用説明に供する模式的説明図

【図１０】同ヘッドの他の振動板を示す図８と同様の要
部拡大斜視図

【図１１】従来のインクジェットヘッドの斜視図

【図１２】同ヘッドの液室部の拡大説明図

【図１３】同ヘッドの他の液室部の拡大説明図

【符号の説明】

１…ベースプレート、２…液室隔壁部材、３…ノズルプ
レート、４…ノズル、５…エネルギー発生素子、１１…
第１液室、１２…共通液室、１３…第２液室、１４…第
１インク供給路、１５…第２インク供給路、２１…アク
チュエータユニット、２２…液室ユニット、３１…基
板、３２…圧電素子、３３…フレーム部材、４８…振動
板、４９…液室隔壁部材、５１…ノズル、５２…ノズル
プレート、５３…加圧液室、５４…共通液室、５５…第
２液室、５６…第１インク供給路、５７…第２インク供
給路、６１…ダイアフラム部、６２…ダイアフラム部、
７８…島状凸部。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 牧田 秀行 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 村井 妙子 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 太田 善久 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 角田 慎一 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 アクチュエータ素子によるエネルギーで
   加圧されるインクを充填する第１液室と、第１液室に連
   通するノズルと、インクを導入する共通液室とを有する
   インクジェットヘッドにおいて、前記第１液室と共通液
   室との間に第２液室を設け、この第２液室の壁面の少な
   くとも一部を粘弾性材又は弾性材で形成したことを特徴
   とするインクジェットヘッド。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のインクジェットヘッド
   において、前記第２液室と共通液室とを連通するインク
   流路の形状と前記第２液室と第１液室とを連通するイン
   ク流路の形状とが異なることを特徴とするインクジェッ
   トヘッド。
3. 【請求項３】 請求項１又は２に記載のインクジェット
   ヘッドにおいて、電機機械変換素子と、この電機機械変
   換素子の変位を受けて変形して前記第１液室を加圧する
   振動板とを備え、この振動板で前記第２液室の壁面を形
   成し、かつ第２液室に対応する部分にダイアフラム部を
   設けたことを特徴とするインクジェットヘッド。
4. 【請求項４】 請求項３に記載のインクジェットヘッド
   において、前記振動板には第１液室に対応する部分にも
   ダイアフラム部を設けたことを特徴とするインクジェッ
   トヘッド。
5. 【請求項５】 請求項３又は４に記載のインクジェット
   ヘッドにおいて、前記振動板の第２液室に対応する部分
   のダイアフラム部には付加質量部分を設けたことを特徴
   とするインクジェットヘッド。