JP2001347660A - 圧電振動子ユニット、及び、これを用いたインクジェット式記録ヘッド - Google Patents

圧電振動子ユニット、及び、これを用いたインクジェット式記録ヘッド

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 圧電振動子の動作時に発生するベンディング
を抑制し、インク滴の吐出時の安定性を向上させること
ができる圧電振動子ユニットを提供する。 【解決手段】 固定板２２に基端部２３ｂの一側面を固
定した状態で各外部電極３２，３３を通じて活性領域の
圧電体３１に電位差を与えることで圧電体３１を作動さ
せ、自由端部２３ａを圧電体の積層方向と直交する方向
に変位可能に構成した圧電振動子ユニット４であって、
圧電体積層方向の中心線ＣＬよりも固定板２２から遠い
側に位置する圧電体３１ｃを他の圧電体よりも厚く形成
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はインク滴を吐出させ
るのに好適な圧電振動子ユニット、及び、これを用いた
インクジェット式記録ヘッドに関し、特に圧電振動子の
動作時に発生するベンディングを抑制するようにしたも
のに関する。
【０００２】
【従来の技術】インクジェット式のプリンタやプロッタ
等の画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘ
ッド（以下、記録ヘッドという）には、例えば、圧力室
やリザーバ等を有する流路ユニットと、この流路ユニッ
トの背面側に配置されて、圧力室の容積を変化させる圧
電振動子を複数有する圧電振動子ユニットとを備えたも
のがある。
【０００３】この圧電振動子ユニットは、例えば、次の
手順で造られている。まず、共通内部電極と個別内部電
極とを圧電体を挟んで交互に積層して板状の積層体を作
成し、共通内部電極に導通させた共通外部電極と個別内
部電極に導通させた個別外部電極とを積層体の表面に形
成する。そして、これらの外部電極が形成された積層体
の基端側部分の一側面を固定板上に接合し、ワイヤーソ
ーやダイシングソー等によって積層体の先端側部分を極
めて細い幅で切り分けて形成している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この種の圧
電振動子は、積層体の基端側部分の一側面を固定板上に
接合しているので、接合部分における拘束力の影響を受
け得る。すなわち、外部電極から電圧を印加して圧電振
動子を縮ませたときに、僅かではあるが、積層方向にお
ける固定板側とは反対側の圧電体が、固定板側の圧電体
よりも大きく縮む傾向がある。このため、図９に示すよ
うに、圧電振動子２００が、積層方向における固定板２
０４側とは反対側（図９において、上方側）へ撓んでし
まうベンディングが生じる。
【０００５】圧電振動子２００に上記のベンディングが
生じると、図１０に符号αで示すように、記録ヘッド２
０２の圧力室２０３内を往復する圧力波が発生し、まる
で圧力室２０３内が音響管であるかのように反射往復を
繰り返す。この圧力波は、ミストやサテライトを発生さ
せたり、飛行曲がりの原因となってインク滴の吐出に影
響を与える。そして、圧力室２０３内には、この圧力波
を積極的に減衰させるためのダンパー要素がないので、
圧力波が十分減衰するまで時間がかかってしまう。その
結果、次のインク滴の吐出タイミングまで時間を必要と
し、高周波数での駆動が妨げられてしまう。
【０００６】本発明の目的は、上記課題に鑑み、圧電振
動子の動作時に発生するベンディングを抑制して、イン
ク滴吐出の安定性を向上させることができる圧電振動子
ユニット、及び、これを用いたインクジェット式記録ヘ
ッドを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、次のように構成したものである。即ち、
請求項１に記載のものは、自由端部に活性領域が形成さ
れるように共通内部電極と個別内部電極との間に圧電体
を挟んで交互に積層するとともに、各内部電極にそれぞ
れ導通された外部電極を表面に形成した圧電振動子を複
数備え、圧電振動子の基端部の一側面を固定部材に接合
し、この状態で、自由端部を積層方向と直交する方向に
変位可能に構成した圧電振動子ユニットにおいて、圧電
体積層方向の中心線よりも固定部材から遠い側に位置す
る少なくとも１層の圧電体に印加される電界強度を、他
の圧電体に印加される電界強度よりも弱めたことを特徴
とする圧電振動子ユニットである。
【０００８】請求項２に記載のものは、自由端部に活性
領域が形成されるように共通内部電極と個別内部電極と
の間に圧電体を挟んで交互に積層するとともに、各内部
電極にそれぞれ導通された外部電極を表面に形成した圧
電振動子を複数備え、圧電振動子の基端部の一側面を固
定部材に接合し、この状態で、自由端部を積層方向と直
交する方向に変位可能に構成した圧電振動子ユニットに
おいて、圧電体積層方向の中心線よりも固定部材から遠
い側に位置する少なくとも１層の圧電体を、他の圧電体
よりも厚く形成したことを特徴とする圧電振動子ユニッ
トである。
【０００９】請求項３に記載のものは、自由端部に活性
領域が形成されるように共通内部電極と個別内部電極と
の間に圧電体を挟んで交互に積層するとともに、各内部
電極にそれぞれ導通された外部電極を表面に形成した圧
電振動子を複数備え、圧電振動子の基端部の一側面を固
定部材に接合し、この状態で、自由端部を積層方向と直
交する方向に変位可能に構成した圧電振動子ユニットに
おいて、固定部材接合面から圧電体積層方向に向けて、
圧電体に印加される電界強度が徐々に減少するように電
圧を印加する構成としたことを特徴とする圧電振動子ユ
ニットである。
【００１０】請求項４に記載のものは、自由端部に活性
領域が形成されるように共通内部電極と個別内部電極と
の間に圧電体を挟んで交互に積層するとともに、各内部
電極にそれぞれ導通された外部電極を表面に形成した圧
電振動子を複数備え、圧電振動子の基端部の一側面を固
定部材に接合し、この状態で、自由端部を積層方向と直
交する方向に変位可能に構成した圧電振動子ユニットに
おいて、固定部材接合面から圧電体積層方向に向けて、
固定部材から遠くなる程に圧電体の厚みを増加させたこ
とを特徴とする圧電振動子ユニットである。
【００１１】請求項５に記載のものは、固定部材から遠
い側の最外層を構成する圧電体を、他の圧電体よりも厚
く形成したことを特徴とする請求項２又は請求項４に記
載の圧電振動子ユニットである。
【００１２】請求項６に記載のものは、自由端部に活性
領域が形成されるように共通内部電極と個別内部電極と
の間に圧電体を挟んで交互に積層するとともに、各内部
電極にそれぞれ導通された外部電極を表面に形成した圧
電振動子を複数備え、圧電振動子の基端部の一側面を固
定部材に接合し、この状態で、自由端部を積層方向と直
交する方向に変位可能に構成した圧電振動子ユニットに
おいて、圧電体積層方向における固定部材とは反対側の
外部電極を、内部電極よりも厚く形成したことを特徴と
する圧電振動子ユニットである。
【００１３】請求項７に記載のものは、自由端部に活性
領域が形成されるように共通内部電極と個別内部電極と
の間に圧電体を挟んで交互に積層するとともに、各内部
電極にそれぞれ導通された外部電極を表面に形成した圧
電振動子を複数備え、圧電振動子の基端部の一側面を固
定部材に接合し、この状態で、自由端部を積層方向と直
交する方向に変位可能に構成した圧電振動子ユニットに
おいて、圧電体積層方向の中心線よりも固定部材から遠
い側に位置する少なくとも１層の内部電極を、他の内部
電極よりも厚く形成したことを特徴とする圧電振動子ユ
ニットである。
【００１４】請求項８に記載のものは、自由端部に活性
領域が形成されるように共通内部電極と個別内部電極と
の間に圧電体を挟んで交互に積層するとともに、各内部
電極にそれぞれ導通された外部電極を表面に形成した圧
電振動子を複数備え、圧電振動子の基端部の一側面を固
定部材に接合し、この状態で、自由端部を積層方向と直
交する方向に変位可能に構成した圧電振動子ユニットに
おいて、固定部材接合面から圧電体積層方向に向けて、
固定部材から遠くなる程に内部電極の厚みを増加させた
ことを特徴とする圧電振動子ユニットである。
【００１５】請求項９に記載のものは、自由端部に活性
領域が形成されるように共通内部電極と個別内部電極と
の間に圧電体を挟んで交互に積層するとともに、各内部
電極にそれぞれ導通された外部電極を表面に形成した圧
電振動子を複数備え、圧電振動子の基端部の一側面を固
定部材に接合し、この状態で、自由端部を積層方向と直
交する方向に変位可能に構成した圧電振動子ユニットに
おいて、圧電体積層方向の中心線よりも固定部材から遠
い側に位置する少なくとも１層の内部電極の長さを、他
の内部電極よりも短くしたことを特徴とする圧電振動子
ユニットである。
【００１６】請求項１０に記載のものは、自由端部に活
性領域が形成されるように共通内部電極と個別内部電極
との間に圧電体を挟んで交互に積層するとともに、各内
部電極にそれぞれ導通された外部電極を表面に形成した
圧電振動子を複数備え、圧電振動子の基端部の一側面を
固定部材に接合し、この状態で、自由端部を積層方向と
直交する方向に変位可能に構成した圧電振動子ユニット
において、圧電体積層方向における固定部材接合面とは
反対側の振動子側面に、曲げモーメント調整部材を添設
したことを特徴とする圧電振動子ユニットである。
【００１７】請求項１１に記載のものは、前記自由端部
における固定部材側の側面を、外部電極を形成しない圧
電体面としたことを特徴とする請求項１から請求項１０
のいずれかに記載の圧電振動子ユニットである。
【００１８】請求項１２に記載のものは、自由端部に活
性領域が形成されるように共通内部電極と個別内部電極
との間に圧電体を挟んで交互に積層するとともに、各内
部電極にそれぞれ導通された外部電極を表面に形成した
圧電振動子を複数備え、圧電振動子の基端部の一側面を
固定部材に接合し、この状態で、自由端部を積層方向と
直交する方向に変位可能に構成した圧電振動子ユニット
において、前記自由端部の固定基板とは反対側の側面全
体を外部電極で覆うと共に、該自由端部の固定基板側の
側面の一部を外部電極で覆ったことを特徴とする圧電振
動子ユニットである。
【００１９】請求項１３に記載のものは、前記圧電振動
子は、櫛歯状に歯割りされた振動子群によって構成され
ていることを特徴とする請求項１から請求項１２のいず
れかに記載の圧電振動子ユニットである。
【００２０】請求項１４に記載のものは、前記圧電振動
子は、活性領域の圧電体の作動時においても伸縮しない
非作動部を備え、この非作動部の一側面に固定部材を接
合したことを特徴とする請求項１から請求項１３のいず
れかに記載の圧電振動子ユニットである。
【００２１】請求項１５に記載のものは、請求項１から
請求項１４のいずれかに記載の圧電振動子ユニットと、
ノズル開口に連通した圧力室の封止材の一部を構成する
弾性板を備えた流路ユニットとを具備し、圧電振動子の
先端面部を弾性板と接合させた状態で、圧電振動子ユニ
ットを取り付けたことを特徴とするインクジェット式記
録ヘッドである。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図示の実施形態に
基づいて説明する。まず、図８を参照して、代表的な画
像記録装置であるインクジェット式プリンタ（以下、単
にプリンタと称する）について説明する。
【００２３】例示したプリンタ１００は、記録ヘッド１
が取り付けられると共にインクカートリッジ１０１を保
持するキャリッジ１０２を備えている。このキャリッジ
１０２は、筐体１０３に架設したガイド部材１０４に対
して移動可能に取り付けられており、ヘッド走査機構に
よりこのガイド部材１０４に沿って（つまり、主走査方
向に沿って）往復移動される。
【００２４】ヘッド走査機構は、筐体１０３の左右一端
部に設けたパルスモータ１０５と、このパルスモータ１
０５の回転軸に接続した駆動プーリー１０６と、筐体１
０３の左右他端部に設けた遊転プーリー１０７と、駆動
プーリー１０６と遊転プーリー１０７との間に架け渡さ
れると共にキャリッジ１０２に接続されたタイミングベ
ルト１０８と、パルスモータ１０５の回転を制御するプ
リンタコントローラ（図示せず）等を備えて構成してあ
る。即ち、このヘッド走査機構は、パルスモータ１０５
を動作させることにより、キャリッジ１０２、つまり記
録ヘッド１を、印刷記録媒体の一種である記録紙１０９
の幅方向に往復移動させる。また、このプリンタ１００
は、記録紙１０９を主走査方向とは直交する副走査方向
に送り出す紙送り機構を備えている。この紙送り機構
は、紙送りモータ１１０及び紙送りローラ１１１等から
構成されている。そして、プリンタコントローラは、ホ
ストコンピュータから送信された印刷データに基づいて
記録ヘッド１、パルスモータ１０５、及び、紙送りモー
タ１１０等を制御し、記録ヘッド１を主走査すると共
に、この主走査に連動させて記録紙１０９を順次送り出
す。
【００２５】次に、上記した記録へッド１について詳細
に説明する。ここで、図１は、インクジェット式の記録
ヘッド１の要部を拡大して示した断面図である。
【００２６】この記録ヘッド１は、ケース２、流路ユニ
ット３、及び圧電振動子ユニット４等によって構成して
ある。なお、この記録ヘッド１の説明では、便宜上、図
１の上方を先端側（前方側）と称し、図１の下側を基端
側（後方側）と称する。
【００２７】ケース２は、先端と後端が共に開放した収
容空部５を内部に設けた合成樹脂製のブロック状部材で
あり、その先端には流路ユニット３が接合されている。
また収容空部５内には、振動子群２１の櫛歯状先端を先
端側開口に臨ませた状態で圧電振動子ユニット４が収容
され固定されている。また、収容空部５の側方には、基
端側にてインクカートリッジに連通しているインク供給
管６を設ける。
【００２８】流路ユニット３は、流路形成板７とノズル
プレート８と弾性板９とから概略構成されている。ノズ
ルプレート８は、ドット形成密度に対応したピッチで多
数（例えば、４８個）のノズル開口１０…を列状に開設
した薄い板状部材であり、例えば、ステンレス鋼板によ
って構成してある。このノズルプレート８に積層される
流路形成板７には、インク供給管６を通して供給された
インクが流入するリザーバ１１、ノズル開口１０からイ
ンクを吐出させるために必要なインク圧力を発生させる
圧力室１２、これらのリザーバ１１と圧力室１２を連通
するインク供給口１３等が形成されている。そして、本
実施形態では、これらの各部を、シリコンウェハーをエ
ッチング処理することにより形成する。
【００２９】弾性板９は、本実施形態では、ＰＰＳ（ポ
リフェニレンサルファイド）等の高分子膜を弾性体膜１
４としてステンレス鋼板１５上にラミネートした二重構
造である。そして、ステンレス鋼板１５は、リザーバ１
１に対応する部分など不要部分をエッチング処理により
除去して、振動子群２１の駆動振動子２９（図３参照）
の先端面部が背面側から接合される島部１６（厚肉部）
を形成し、この島部１６の周囲を弾性体膜１４（薄肉
部）だけにして弾性部１７を構成する。この島部１６
は、ノズル開口１０と同様にドット形成密度に対応した
ピッチで多数設けてあり、ノズル配列方向に対応する幅
が狭く、駆動振動子２９の圧電体積層方向、つまり、圧
力室１２の長手方向に対応する長さを長くしたブロック
状に形成してある。
【００３０】そして、ノズルプレート８を流路形成板７
の正面側に配置すると共に、弾性板９を背面側に配置
し、ノズルプレート８と弾性板９とで流路形成板７を挟
み、接着等により一体化することで、流路ユニット３が
形成されている。なお、この流路ユニット３において、
上記の弾性板９は、圧力室１２やリザーバ１１の天井面
を封止する封止材の一部を構成している。
【００３１】上記の圧電振動子ユニット４は、振動子群
２１と固定板２２（本発明における固定部材の一種）と
により概略構成されている。この振動子群２１は、図２
に示すように、櫛歯状に歯割りされており、振動子の列
設方向における両端部に位置するダミー振動子２８，２
８と、これらのダミー振動子２８，２８の間に配置され
た多数の駆動振動子２９…とから成る。ここで、駆動振
動子２９は、インク滴の吐出に関与する圧電振動子であ
り、横効果（ｄ３１効果）型の圧電振動子である。ま
た、駆動振動子２９は、例えば、５０μｍ〜１００μｍ
程度の極めて細い幅のニードル状に切り分けられてい
る。一方、ダミー振動子２８はインク滴の吐出に関与し
ない圧電振動子である。また、本実施形態における固定
板２２は、厚さが２ｍｍ程度のステンレス鋼板である
が、これに限定されるものではない。例えば、樹脂製の
板状部材でもよく、金属や樹脂のブロック状部材であっ
てもよい。
【００３２】次に、駆動振動子２９について説明する。
図３に示すように、この駆動振動子２９は、共通内部電
極３２と個別内部電極３３とを圧電体３１を挟んで交互
に積層してある。ここで、共通内部電極３２は全ての駆
動振動子２９に対して同じ電位レベルに設定される電極
であり、個別内部電極３３は各駆動振動子２９毎に電位
レベルが設定される電極である。そして、この駆動振動
子２９における振動子先端から振動子長手方向（圧電体
積層方向と直交する方向）の半分程度まで若しくは３分
の２程度までの部分を自由端部２３ａとし、この自由端
部２３ａの基端から振動子基端までの部分を基端部２３
ｂとしている。
【００３３】自由端部２３ａには、共通内部電極３２と
個別内部電極３３とが重なり合った活性領域Ｌ（オーバ
ーラップ部分）を形成してある。これらの内部電極３
２，３３に電位差を与えると両電極間に電界が生じ、こ
の電界が印加されることで活性領域Ｌの圧電体３１が変
形（作動）し、自由端部２３ａが振動子長手方向に変位
して伸縮する。そして、共通内部電極３２の基端は駆動
振動子２９の基端面部で共通外部電極３７に導通してお
り、また、個別内部電極３３の先端は駆動振動子２９の
先端面部で個別外部電極３６に導通している。なお、共
通内部電極３２の先端は振動子先端面部よりも少し手前
に位置しており、個別内部電極３３の基端は自由端部２
３ａと基端部２３ｂの境界に位置している。
【００３４】個別外部電極３６は、駆動振動子２９の先
端面部と、駆動振動子２９における圧電体積層方向の一
側面である配線接続面（図３における上側の面であり、
固定板接合面とは反対側に位置する面）とに一連に形成
された電極であり、配線部材の一種であるフレキシブル
ケーブル２４の配線パターンと各個別内部電極３３とを
導通する。そして、この個別外部電極３６における配線
接続面側の部分は、振動子の基端部２３ｂ上の位置から
先端側に向けて連続的に形成されている。共通外部電極
３７は、駆動振動子２９の基端面部と、上記の配線接続
面と、駆動振動子２９における圧電体積層方向の他側面
である固定板接合面（図３における下側の面）とに一連
に形成された電極であり、フレキシブルケーブル２４の
配線パターンと共通内部電極３２との間を導通する。そ
して、この共通外部電極３７における配線接続面側の部
分は個別外部電極３６の端部よりも少し手前の位置から
基端面部側に向けて連続的に形成されており、固定部取
付面側の部分は振動子の先端面部よりも少し手前の位置
から基端面部側に向けて連続的に形成されている。
【００３５】これらの外部電極３６，３７は、最外層の
圧電体３１を作動させるための電極としても機能する。
即ち、固定板２２から遠い側の最外層を構成する圧電体
３１ａは、個別外部電極３６と共通内部電極３２とに挟
まれており、活性領域Ｌで共通内部電極３２と個別外部
電極３６とが重合している。従って、共通内部電極３２
と個別外部電極３６との間の電位差により、圧電体３１
ａにおける電極３２，３６の重ね合わせ領域の部分が変
形する。同様に、固定板２２側の最外層を構成する圧電
体３１ｂは、共通外部電極３７と個別内部電極とに挟ま
れており、活性領域Ｌで個別内部電極３３と共通外部電
極３７とが重合している。従って、個別内部電極３３と
共通外部電極３７との間の電位差により、圧電体３１ｂ
における電極３３，３７の重ね合わせ領域の部分が変形
する。
【００３６】上記の基端部２３ｂは、活性領域Ｌの圧電
体３１の作動時においても伸縮しない非作動部として機
能する。この基端部２３ｂの配線接続面側にはフレキシ
ブルケーブル２４が配置されており、基端部２３ｂ上で
個別外部電極３６及び共通外部電極３７とフレキシブル
ケーブル２４とが電気的に接続される。すなわち、図２
に示す共通電極配線部３０と個別電極配線部３８の上に
フレキシブルケーブル２４の接続端部が載置されて、半
田付け等によってフレキシブルケーブル２４が実装され
る。そして、このフレキシブルケーブル２４を通して駆
動パルスが各電極３２，３３，３６，３７に供給され
る。また、基端部２３ｂの固定板取付面には固定板２２
を接合してある。要するに、この駆動振動子２９はいわ
ゆる片持梁のような状態で固定板２２に固定されてい
る。
【００３７】以上の構成を有する圧電振動子ユニット４
は、図１に示すように、駆動振動子２９の自由端部２３
ａの先端面部を島部１６に背面側から当接させると共
に、固定板２２を収容空部５の壁面に固着した状態でケ
ース２内に取り付けられており、この先端面部と島部１
６とは接着剤によって接着されている。そして、個別外
部電極３６を通じて電圧を印加すると、活性領域Ｌ内の
圧電体３１…に電界が印加される。この電界によって駆
動振動子２９は、振動子長手方向に伸縮して、弾性部１
７を前後方向に変形させる。この弾性部１７の前後方向
の移動に伴って圧力室１２は、膨張或いは収縮して容積
を変化させる。
【００３８】そして、ノズル開口１０からインク滴を吐
出させる場合には、インク滴を吐出させる駆動振動子２
９に対して選択的に電圧を印加し、例えば、駆動振動子
２９を振動子長手方向に収縮させてから伸長させる。こ
のようにすると、駆動振動子２９の収縮に伴って圧力室
１２が膨張して内部が負圧になりリザーバ１１内のイン
クが圧力室１２に流入する。その後、駆動振動子２９が
伸長し、この伸長に伴って圧力室１２が収縮してインク
の圧力が高まる。そして、ノズル開口１０から押し出さ
れたインクがインク滴として吐出される。
【００３９】ところで、上記の駆動振動子２９は、固定
板２２上に片持ち梁の状態で接合されているため、自由
端部２３ａを縮ませた時に、僅かではあるが、配線接続
面側の圧電体３１の方が固定板接合面側の圧電体３１よ
りも大きく縮む。このため、駆動振動子２９には、図４
に符号ＭＡで示すように、配線接続面側に反る方向の曲
げモーメントが発生してしまう。そこで、本実施形態で
は、この曲げモーメントＭＡを打ち消すべく、駆動振動
子２９における圧電体積層方向の中心線ＣＬよりも固定
板２２から遠い側（図３において、中心線ＣＬよりも上
方側）に位置する少なくとも１層の圧電体３１を、他の
圧電体３１…よりも厚く形成している。
【００４０】図３の例では、最外層の圧電体３１ａに隣
接する圧電体３１ｃ、つまり配線接続面側から２層目の
圧電体３１ｃの厚さを、他の圧電体３１…の厚さよりも
厚くしている。即ち、他の圧電体３１の厚みを２０μｍ
とし、肉厚を増やした圧電体３１ｃの厚みを他の圧電体
３１…よりも十分厚い５０μｍとしている。なお、各圧
電体３１…の厚さは、あくまで例示であって、上記の曲
げモーメントＭＡを打ち消すのに十分な曲げモーメント
ＭＢを生じさせ得る厚さとされる。
【００４１】このように、圧電体３１ｃを他の圧電体３
１…よりも厚く形成することにより、内部電極３２，３
３間に電圧を印加した際に、厚みを増やした圧電体３１
ｃに印加される電界強度は他の圧電体３１…に比べて相
対的に小さくなり、該圧電体３１ｃは他の圧電体３１…
よりも縮み難くなる。この圧電体３１ｃは、中心線ＣＬ
よりも固定板２２から遠い側に位置するので、当該圧電
体３１ｃが縮み難くなることによって、収縮時において
駆動振動子２９には、図４に符号ＭＢで示すように固定
板２２側に反る方向の曲げモーメントが作用する。そし
て、この曲げモーメントＭＢは、固定板２２に接合され
ることに起因して生じる曲げモーメントＭＡとは逆方向
の曲げモーメントであるので、曲げモーメントＭＡは曲
げモーメントＭＢによって打ち消される。
【００４２】これにより、駆動振動子２９を収縮させた
際に生じ得るベンディングが抑制され、インク滴吐出に
寄与する駆動振動子２９の長手方向の変位（縦振動モー
ド）を積極的に取り出すことができる。したがって、駆
動振動子２９を収縮させた際に、島部１６の長手方向一
端部と他端部とを均等な力で後方に引き込むことができ
る。また、駆動振動子２９を伸長させた際にも、島部１
６の長手方向一端部と他端部とを均等な力で前方に押す
ことができる。その結果、圧力室１２内のノズル開口１
０とインク供給口１３との間を往復する圧力波の励起を
防止でき、インク滴吐出の安定性を向上させることがで
きる。即ち、先のインク滴の吐出から次のインク滴を吐
出するまでの時間を短くしても、ミストやサテライトの
発生、インク滴の飛行曲がりを防止することができる。
【００４３】ところで、上記の実施形態では、駆動振動
子２９（本発明における圧電振動子に相当）における配
線接続面側から２層目の圧電体３１ｃを、他の圧電体３
１よりも厚く形成したが、本発明はこの構成に限るもの
でない。すなわち、圧電体積層方向の中心線ＣＬよりも
固定板２２から遠い側に位置する少なくとも１層の圧電
体３１を厚く形成することにより、同様の効果が得られ
る。
【００４４】例えば、上記中心線ＣＬよりも固定板２２
から遠い側（図３において、中心線ＣＬよりも上方側）
に位置する全ての圧電体３１…を、中心線ＣＬよりも固
定板２２側（中心線ＣＬよりも下方側）に位置する他の
圧電体３１…よりも厚く形成してもよい。言い換えれ
ば、中心線ＣＬよりも固定板２２側に位置する圧電体３
１…を、中心線ＣＬよりも配線接続面側に位置する圧電
体３１…よりも薄く形成してもよい。
【００４５】また、図５に示すように、固定板２２から
遠い側の最外層を構成する圧電体３１ａを、他の圧電体
３１…よりも厚く形成してもよい。この構成では、固定
板２２から最も遠い圧電体３１ａが曲げモーメントＭＢ
を発生するための部分として機能しているので、固定板
２２への接合に起因して生じる曲げモーメントＭＡを効
率よく打ち消すことができる。
【００４６】さらに、駆動振動子２９を構成する各圧電
体３１…に関し、固定板接合面から配線接続面に向け
て、次第に圧電体３１の厚さを増すように構成してもよ
い。即ち、固定板２２の接合面から圧電体３１の積層方
向に向けて、固定板２２から遠くなる程に圧電体３１の
厚みを増加させても良い。このような構成を採ると、外
部電極３６，３７を通じて内部電極３２，３３間に電圧
を印加した際に、固定板２２に近い圧電体３１には比較
的強い電界が印加され、固定板２２から積層方向に離隔
する程、圧電体３１に印加される電界強度が弱くなる。
このため、固定板２２に近い圧電体３１が最も縮み易
く、積層方向に離隔する程に圧電体３１の縮む力が弱く
なる。即ち、固定板接合面の方が縮み易く配線接続面側
の方が縮み難いという特性を付与できる。その結果、こ
の構成でも、駆動振動子２９の収縮時において、固定板
２２への接合に起因して生じる曲げモーメントＭＡを打
ち消す方向に曲げモーメントＭＢが作用する。従って、
駆動振動子２９の長手方向の変位を積極的に取り出すこ
とができる。
【００４７】なお、上記の各実施形態では、特定の圧電
体３１についてその厚さを他の圧電体３１よりも厚くす
ることで、特定の圧電体３１に印加される電界強度を他
の圧電体３１に印加される電界強度よりも低くしている
が、特定の圧電体３１に印加される電界強度が低くでき
ればこの構成に限定されるものではない。要するに、圧
電体積層方向の中心線ＣＬよりも固定板２２から遠い側
に位置する少なくとも１層の圧電体３１に印加される電
界強度を、他の圧電体３１に印加される電界強度よりも
弱める構成や、固定板２２との接合面から圧電体３１の
積層方向に向けて、圧電体３１に印加される電界強度が
徐々に減少するように電圧を印加する構成であればよ
い。
【００４８】また、本発明は、自由端部２３ａにおける
固定板接合面側に共通外部電極３７が形成されていない
圧電振動子ユニット、言い換えれば、自由端部２３ａに
おける固定板２２側の側面を、外部電極を形成せずに圧
電体３１を露出させた圧電体面とした圧電振動子ユニッ
トにも適用することができる。この場合、固定板２２に
最も近い圧電体３１ａは、電界が印加されずに変形しな
いため、上記の曲げモーメントＭＡがより大きくなって
しまうが、中心線ＣＬよりも固定板２２から遠い側に位
置する圧電体３１を他の圧電体３１よりも十分に厚く構
成することで、この曲げモーメントＭＡを打ち消し得る
程度の曲げモーメントＭＢを駆動振動子２９に作用させ
ることができる。
【００４９】従って、この構成でも駆動振動子２９の長
手方向の変位を積極的に取り出すことができる。さら
に、この構成では、自由端部２３ａにおける固定板２２
側の側面を圧電体面としているので、外部電極３６，３
７は、振動子先端面、振動子基端面、及び、配線接続面
の３面に形成すればよい。このため、外部電極３６，３
７を容易に形成することができ、製造の効率化が図れ、
記録ヘッド１を安価に製造することができる。
【００５０】ところで、上記の実施形態では、固定板２
２から遠い側の圧電体３１を固定板２２側の圧電体３１
よりも厚く形成することで、固定板２２への接合に起因
して生じる曲げモーメントＭＡを打ち消す構成を例示し
たが、本発明はこの構成に限定されるものではなく種々
の変形が可能である。
【００５１】例えば、圧電体３１の積層方向における固
定板２２とは反対側に位置する外部電極３６，３７を内
部電極３２，３３よりも十分に厚く形成し、この外部電
極３６，３７によって、固定板２２との接合に起因して
発生する曲げモーメントＭＡを打ち消すように構成して
も良い。以下、このように構成した他の実施形態につい
て説明する。
【００５２】図６に示した実施形態は、個別外部電極３
６における配線接続面（固定板接合面とは反対側の面に
相当）に形成された側面部３６ａと、共通外部電極３７
における配線接続面上の側面部３７ａとを、内部電極３
２，３３の厚さよりも厚く形成している。具体例を挙げ
ると、内部電極３２，３３の厚みを２μｍとした場合に
おいて、側面部３６ａ及び３７ａの厚みを１０〜２０μ
ｍ程度にしている。このように、外部電極３６，３７
（詳しくは側面部３６ａ及び３７ａ）を内部電極３２，
３３よりも十分に厚く形成すると、これらの外部電極３
６，３７は駆動振動子２９の収縮には関与しないので、
収縮に対するブレーキとなる。このため、収縮時におい
て固定板２２側に反る方向の曲げモーメントＭＢを駆動
振動子２９に作用させることができ、上記の曲げモーメ
ントＭＡを打ち消すことができる。従って、この構成で
も、駆動振動子２９のベンディングを抑制することがで
きる。なお、上記した数値はあくまで例示であって、側
面部３６ａ及び３７ａの厚みは、曲げモーメントＭＡを
打ち消す程度の曲げモーメントＭＢを与え得るように設
定される。
【００５３】このように、図６の実施形態は、外部電極
３６，３７を駆動振動子２９の収縮に対するブレーキと
することで曲げモーメントＭＢを発生させ、曲げモーメ
ントＭＡを打ち消す構成である。ここで、外部電極３
６，３７がブレーキとして作用することに着目すれば、
これらの外部電極３６，３７の振動子長手方向の長さや
厚さを可変することで、曲げモーメントＭＢの大きさを
調整することができる。例えば、図３の実施形態のよう
に、自由端部２３ａにおける配線接続面側の側面全体を
個別外部電極３６で覆い、自由端部２３ａにおける固定
板側の側面の一部を共通外部電極３７で覆った構成で
は、自由端部２３ａ側における共通外部電極３７の形成
長さを可変することで、曲げモーメントＭＢの大きさを
調整することができる。これにより、曲げモーメントＭ
Ｂの大きさを微調整することができ、駆動振動子２９の
ベンディングをより確実に抑制することができる。
【００５４】また、振動子の収縮に関与しないという点
では、内部電極３２，３３も外部電極３６，３７と同様
である。従って、特定の内部電極３２，３３を他の内部
電極３２，３３よりも厚く形成することでも上記と同様
の作用効果が得られる。例えば、圧電体積層方向の中心
線ＣＬよりも固定板２２から遠い側に位置する少なくと
も１層の内部電極３２，３３を、他の内部電極３２，３
３よりも厚く形成したり、固定板２２との接合面から圧
電体積層方向に向けて、固定板２２から遠くなる程に内
部電極３２，３３の厚みを増加させたりすることによ
り、曲げモーメントＭＢを駆動振動子２９に作用させる
ことができ、上記の曲げモーメントＭＡを打ち消すこと
ができる。
【００５５】さらに、これらの内部電極３２，３３は、
圧電体３１に対して電界を印加するための電極であるた
め、その振動子長手方向の長さに応じて圧電体３１にお
ける電界が印加される部分の長さが変化する。この点に
着目すれば、圧電体積層方向の中心線ＣＬよりも固定板
２２から遠い側に位置する少なくとも１層の内部電極３
２，３３の長さを、他の内部電極３２，３３よりも短く
することにより、曲げモーメントＭＢを駆動振動子２９
に作用させることができる。これは、この短い内部電極
３２，３３に対応する圧電体３１については、電界が印
加される部分が他の圧電体３１よりも短くなり、その分
縮み難くなるためである。従って、この構成でも上記の
曲げモーメントＭＡを打ち消すことができる。
【００５６】さらに、曲げモーメント調整部材によっ
て、上記した各実施形態と同様の作用効果を得ることも
できる。図７に示した実施形態は、圧電体３１…の積層
方向における固定板２２の接合面とは反対側の配線接続
面（つまり振動子側面）に、曲げモーメント調整部材４
０を添設したものである。この曲げモーメント調整部材
４０は、駆動振動子２９の収縮には関与しない部材であ
り、弾性を有する薄手の材料により構成される。この曲
げモーメント調整部材４０としては、例えば、金属製の
弾性板、詳しくは、表面を電気的に絶縁処理したステン
レス鋼板等を採用することができ、配線接続面側の外部
電極３６，３７上に貼設して一体化する。この曲げモー
メント調整部材４０は、配線接続面の全域に亘って貼設
しても良いし、その側面の自由端部２３ａ側にのみ貼設
しても良い。なお、配線接続面の全域に貼設した場合に
は、曲げモーメント調整部材４０と外部電極３６，３７
との間にフレキシブルケーブル２４を挟み込む。
【００５７】このように、固定板側とは反対側の振動子
側面に曲げモーメント調整部材４０を貼設すると、この
曲げモーメント調整部材４０は駆動振動子２９の収縮に
は関与しないので、収縮に対するブレーキとなる。この
ため、収縮時において固定板２２側に反る方向の曲げモ
ーメントＭＢを駆動振動子２９に作用させることがで
き、上記の曲げモーメントＭＡを打ち消すことができ
る。従って、この構成でも、駆動振動子２９のベンディ
ングを抑制することができる。
【００５８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、次
の効果が得られる。即ち、圧電体積層方向の中心線より
も固定部材から遠い側に位置する少なくとも１層の圧電
体に印加される電界強度を、他の圧電体に印加される電
界強度よりも弱めたので、この圧電体については他の圧
電体よりも縮み難くなり、収縮時において圧電振動子に
は固定部材側に反る方向の曲げモーメントが作用し、固
定部材との接合に起因して生じる曲げモーメントを打ち
消す。その結果、圧電振動子のベンディングが抑制され
て、このベンディングに起因する圧力波が励起されるの
を防止することができ、インク滴の吐出時における安定
性を向上させることができる。
【００５９】また、圧電体積層方向の中心線よりも固定
部材から遠い側に位置する少なくとも１層の圧電体を、
他の圧電体よりも厚く形成した場合には、厚みを増した
圧電体に印加される電界強度は他の圧電体に比べて相対
的に小さくなり、この圧電体については他の圧電体より
も縮み難くなる。この厚みを増した圧電体により、収縮
時において圧電振動子には固定部材側に反る方向の曲げ
モーメントが作用し、固定部材との接合に起因して生じ
る曲げモーメントが打ち消される。その結果、圧電振動
子のベンディングが抑制されて、このベンディングに起
因する圧力波が励起されるのを防止することができ、イ
ンク滴の吐出時における安定性を向上させることができ
る。
【００６０】また、固定部材接合面から圧電体積層方向
に向けて、圧電体に印加される電界強度が徐々に減少す
るように電圧を印加する構成とした場合には、圧電振動
子に対して、固定部材側の方が縮み易く、固定部材から
離隔するほど縮み難いという特性を付与できる。この特
性により、収縮時において圧電振動子には固定部材側に
反る方向の曲げモーメントが作用し、固定部材との接合
に起因して生じる曲げモーメントを打ち消す。その結
果、圧電振動子のベンディングが抑制されて、このベン
ディングに起因する圧力波が励起されるのを防止するこ
とができ、インク滴の吐出時における安定性を向上させ
ることができる。
【００６１】また、固定部材接合面から圧電体積層方向
に向けて、固定部材から遠くなる程に圧電体の厚みを増
加させた場合には、内部電極間に電圧を印加した際に、
固定部材に近い圧電体には比較的強い電界が印加され、
固定部材から圧電体積層方向に離隔する程に圧電体に印
加される電界強度が弱くなる。このため、圧電振動子に
対して、固定部材側の方が縮み易く、固定部材から離隔
するほど縮み難いという特性を付与できる。この特性に
より、収縮時において圧電振動子には固定部材側に反る
方向の曲げモーメントが作用し、固定部材との接合に起
因して生じる曲げモーメントを打ち消す。その結果、圧
電振動子のベンディングが抑制されて、このベンディン
グに起因する圧力波が励起されるのを防止することがで
き、インク滴の吐出時における安定性を向上させること
ができる。
【００６２】また、固定部材から遠い側の最外層を構成
する圧電体を、他の圧電体よりも厚く形成した場合に
は、固定部材への接合に起因して生じる曲げモーメント
を効率よく打ち消すことができる。
【００６３】また、圧電体積層方向における固定部材と
は反対側の外部電極を、内部電極よりも厚く形成した場
合には、この外部電極が圧電振動子の収縮に対するブレ
ーキとなり、収縮時において圧電振動子には固定部材側
に反る方向の曲げモーメントが作用する。この曲げモー
メントより、固定部材との接合に起因して生じる曲げモ
ーメントが打ち消される。その結果、圧電振動子のベン
ディングが抑制されて、このベンディングに起因する圧
力波が励起されるのを防止することができ、インク滴の
吐出時における安定性を向上させることができる。
【００６４】また、圧電体積層方向の中心線よりも固定
部材から遠い側に位置する少なくとも１層の内部電極
を、他の内部電極よりも厚く形成した場合には、この厚
い内部電極が圧電振動子の収縮に対するブレーキとな
り、収縮時において圧電振動子に対して固定部材側に反
る方向の曲げモーメントを作用させることができる。そ
して、この曲げモーメントより、固定部材との接合に起
因して生じる曲げモーメントが打ち消される。その結
果、圧電振動子のベンディングが抑制されて、このベン
ディングに起因する圧力波が励起されるのを防止するこ
とができ、インク滴の吐出時における安定性を向上させ
ることができる。
【００６５】また、固定部材接合面から圧電体積層方向
に向けて、固定部材から遠くなる程に内部電極の厚みを
増加させた場合には、内部電極の厚さの差に起因して圧
電振動子に対し、固定部材から離隔するほど縮み難いと
いう特性を付与できる。これにより、収縮時において固
定部材側に反る方向の曲げモーメントを圧電振動子に作
用させることができ、固定部材との接合に起因して生じ
る曲げモーメントを打ち消すことができる。その結果、
圧電振動子のベンディングが抑制されて、このベンディ
ングに起因する圧力波が励起されるのを防止することが
でき、インク滴の吐出時における安定性を向上させるこ
とができる。
【００６６】また、圧電体積層方向における固定部材接
合面とは反対側の振動子側面に、曲げモーメント調整部
材を添設した場合には、この曲げモーメント調整部材は
圧電振動子の収縮には関与しないので、収縮に対するブ
レーキとなる。このため、収縮時において固定部材側に
反る方向の曲げモーメントを圧電振動子に作用させるこ
とができ、固定部材との接合に起因して生じる曲げモー
メントを打ち消すことができる。その結果、圧電振動子
のベンディングが抑制されて、このベンディングに起因
する圧力波が励起されるのを防止することができ、イン
ク滴の吐出時における安定性を向上させることができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】圧電振動子ユニット及びインクジェット式記録
ヘッドの要部を拡大して示した断面図である。
【図２】本発明の圧電振動子ユニットの外観斜視図であ
る。
【図３】図２のＡ−Ａ断面図である。
【図４】駆動振動子に作用する曲げモーメントを説明す
る模式図である。
【図５】本発明の他の実施形態に係る圧電振動子ユニッ
トの特徴を示す断面図である。
【図６】本発明の別の実施形態に係る圧電振動子ユニッ
トの特徴を示す断面図である。
【図７】本発明のさらに別の実施形態に係る圧電振動子
ユニットの特徴を示す断面図である。
【図８】インクジェット式プリンタの内部機構を説明す
る斜視図である。
【図９】従来の圧電振動子ユニットにおけるベンディン
グの様子を説明する模式図である。
【図１０】圧力室内を往復する圧力波を説明する図であ
る。
【符号の説明】
１ 記録ヘッド ２ ケース ３ 流路ユニット ４ 圧電振動子ユニット ５ 収容空部 ６ インク供給管 ７ 流路形成板 ８ ノズルプレート ９ 弾性板 １０ ノズル開口 １１ リザーバ １２ 圧力室 １３ インク供給口 １４ 弾性体膜 １５ ステンレス鋼板 １６ 島部 １７ 弾性部 ２１ 振動子群 ２２ 固定板 ２３ａ 自由端部 ２３ｂ 基端部 ２４ フレキシブルケーブル ２８ ダミー振動子 ２９ 駆動振動子 ３０ 共通電極配線部 ３１ 圧電体 ３２ 共通内部電極 ３３ 個別内部電極 ３６ 個別外部電極 ３７ 共通外部電極 ４０ 曲げモーメント調整部材

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 自由端部に活性領域が形成されるように
    共通内部電極と個別内部電極との間に圧電体を挟んで交
    互に積層するとともに、各内部電極にそれぞれ導通され
    た外部電極を表面に形成した圧電振動子を複数備え、圧
    電振動子の基端部の一側面を固定部材に接合し、この状
    態で、自由端部を積層方向と直交する方向に変位可能に
    構成した圧電振動子ユニットにおいて、 圧電体積層方向の中心線よりも固定部材から遠い側に位
    置する少なくとも１層の圧電体に印加される電界強度
    を、他の圧電体に印加される電界強度よりも弱めたこと
    を特徴とする圧電振動子ユニット。
  2. 【請求項２】 自由端部に活性領域が形成されるように
    共通内部電極と個別内部電極との間に圧電体を挟んで交
    互に積層するとともに、各内部電極にそれぞれ導通され
    た外部電極を表面に形成した圧電振動子を複数備え、圧
    電振動子の基端部の一側面を固定部材に接合し、この状
    態で、自由端部を積層方向と直交する方向に変位可能に
    構成した圧電振動子ユニットにおいて、 圧電体積層方向の中心線よりも固定部材から遠い側に位
    置する少なくとも１層の圧電体を、他の圧電体よりも厚
    く形成したことを特徴とする圧電振動子ユニット。
  3. 【請求項３】 自由端部に活性領域が形成されるように
    共通内部電極と個別内部電極との間に圧電体を挟んで交
    互に積層するとともに、各内部電極にそれぞれ導通され
    た外部電極を表面に形成した圧電振動子を複数備え、圧
    電振動子の基端部の一側面を固定部材に接合し、この状
    態で、自由端部を積層方向と直交する方向に変位可能に
    構成した圧電振動子ユニットにおいて、 固定部材接合面から圧電体積層方向に向けて、圧電体に
    印加される電界強度が徐々に減少するように電圧を印加
    する構成としたことを特徴とする圧電振動子ユニット。
  4. 【請求項４】 自由端部に活性領域が形成されるように
    共通内部電極と個別内部電極との間に圧電体を挟んで交
    互に積層するとともに、各内部電極にそれぞれ導通され
    た外部電極を表面に形成した圧電振動子を複数備え、圧
    電振動子の基端部の一側面を固定部材に接合し、この状
    態で、自由端部を積層方向と直交する方向に変位可能に
    構成した圧電振動子ユニットにおいて、 固定部材接合面から圧電体積層方向に向けて、固定部材
    から遠くなる程に圧電体の厚みを増加させたことを特徴
    とする圧電振動子ユニット。
  5. 【請求項５】 固定部材から遠い側の最外層を構成する
    圧電体を、他の圧電体よりも厚く形成したことを特徴と
    する請求項２又は請求項４に記載の圧電振動子ユニッ
    ト。
  6. 【請求項６】 自由端部に活性領域が形成されるように
    共通内部電極と個別内部電極との間に圧電体を挟んで交
    互に積層するとともに、各内部電極にそれぞれ導通され
    た外部電極を表面に形成した圧電振動子を複数備え、圧
    電振動子の基端部の一側面を固定部材に接合し、この状
    態で、自由端部を積層方向と直交する方向に変位可能に
    構成した圧電振動子ユニットにおいて、 圧電体積層方向における固定部材とは反対側の外部電極
    を、内部電極よりも厚く形成したことを特徴とする圧電
    振動子ユニット。
  7. 【請求項７】 自由端部に活性領域が形成されるように
    共通内部電極と個別内部電極との間に圧電体を挟んで交
    互に積層するとともに、各内部電極にそれぞれ導通され
    た外部電極を表面に形成した圧電振動子を複数備え、圧
    電振動子の基端部の一側面を固定部材に接合し、この状
    態で、自由端部を積層方向と直交する方向に変位可能に
    構成した圧電振動子ユニットにおいて、 圧電体積層方向の中心線よりも固定部材から遠い側に位
    置する少なくとも１層の内部電極を、他の内部電極より
    も厚く形成したことを特徴とする圧電振動子ユニット。
  8. 【請求項８】 自由端部に活性領域が形成されるように
    共通内部電極と個別内部電極との間に圧電体を挟んで交
    互に積層するとともに、各内部電極にそれぞれ導通され
    た外部電極を表面に形成した圧電振動子を複数備え、圧
    電振動子の基端部の一側面を固定部材に接合し、この状
    態で、自由端部を積層方向と直交する方向に変位可能に
    構成した圧電振動子ユニットにおいて、 固定部材接合面から圧電体積層方向に向けて、固定部材
    から遠くなる程に内部電極の厚みを増加させたことを特
    徴とする圧電振動子ユニット。
  9. 【請求項９】 自由端部に活性領域が形成されるように
    共通内部電極と個別内部電極との間に圧電体を挟んで交
    互に積層するとともに、各内部電極にそれぞれ導通され
    た外部電極を表面に形成した圧電振動子を複数備え、圧
    電振動子の基端部の一側面を固定部材に接合し、この状
    態で、自由端部を積層方向と直交する方向に変位可能に
    構成した圧電振動子ユニットにおいて、 圧電体積層方向の中心線よりも固定部材から遠い側に位
    置する少なくとも１層の内部電極の長さを、他の内部電
    極よりも短くしたことを特徴とする圧電振動子ユニッ
    ト。
  10. 【請求項１０】 自由端部に活性領域が形成されるよう
    に共通内部電極と個別内部電極との間に圧電体を挟んで
    交互に積層するとともに、各内部電極にそれぞれ導通さ
    れた外部電極を表面に形成した圧電振動子を複数備え、
    圧電振動子の基端部の一側面を固定部材に接合し、この
    状態で、自由端部を積層方向と直交する方向に変位可能
    に構成した圧電振動子ユニットにおいて、 圧電体積層方向における固定部材接合面とは反対側の振
    動子側面に、曲げモーメント調整部材を添設したことを
    特徴とする圧電振動子ユニット。
  11. 【請求項１１】 前記自由端部における固定部材側の側
    面を、外部電極を形成しない圧電体面としたことを特徴
    とする請求項１から請求項１０のいずれかに記載の圧電
    振動子ユニット。
  12. 【請求項１２】 自由端部に活性領域が形成されるよう
    に共通内部電極と個別内部電極との間に圧電体を挟んで
    交互に積層するとともに、各内部電極にそれぞれ導通さ
    れた外部電極を表面に形成した圧電振動子を複数備え、
    圧電振動子の基端部の一側面を固定部材に接合し、この
    状態で、自由端部を積層方向と直交する方向に変位可能
    に構成した圧電振動子ユニットにおいて、 前記自由端部の固定基板とは反対側の側面全体を外部電
    極で覆うと共に、該自由端部の固定基板側の側面の一部
    を外部電極で覆ったことを特徴とする圧電振動子ユニッ
    ト。
  13. 【請求項１３】 前記圧電振動子は、櫛歯状に歯割りさ
    れた振動子群によって構成されていることを特徴とする
    請求項１から請求項１２のいずれかに記載の圧電振動子
    ユニット。
  14. 【請求項１４】 前記圧電振動子は、活性領域の圧電体
    の作動時においても伸縮しない非作動部を備え、この非
    作動部の一側面に固定部材を接合したことを特徴とする
    請求項１から請求項１３のいずれかに記載の圧電振動子
    ユニット。
  15. 【請求項１５】 請求項１から請求項１４のいずれかに
    記載の圧電振動子ユニットと、ノズル開口に連通した圧
    力室の封止材の一部を構成する弾性板を備えた流路ユニ
    ットとを具備し、 圧電振動子の先端面部を弾性板と接合させた状態で、圧
    電振動子ユニットを取り付けたことを特徴とするインク
    ジェット式記録ヘッド。
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