JP5983252B2 - 液体吐出装置、基板の接続構造、及び、液体吐出装置の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、ノズルから液体を吐出する液体吐出装置、液体吐出装置などに用いられる基板の接続構造、及び、液体吐出装置の製造方法に関する。

特許文献１では、インク吐出ヘッドが、複数のノズルや各ノズルに連通する複数の圧力室等が形成された流路ユニットと、圧力室内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータとを備えている。圧電アクチュエータの上面には、複数の圧力室に対応する複数の接続端子が配置されている。また、フレキシブル基板と第１、第２中継基板とによって形成された、可撓性を有する配線基板に設けられた接続端子が、圧電アクチュエータの上面に配置された接続端子に接続されている。配線基板は、圧電アクチュエータの上面から上方に引き出され、その上端部において、圧電アクチュエータの上方に配置されたキャリッジ基板のコネクタに接続されている。

特開２０１０−１９９３２９号公報

ここで、特許文献１に記載されているように、圧電アクチュエータの接点と、配線基板の接点とを接続する場合には、圧電アクチュエータの接点や基板の接点に高さのばらつきがあると、いずれかのインク吐出ヘッドの接続端子とこれに対応するキャリッジ基板の接続端子において、端子同士の密着性が不十分になってしまう虞がある。

また、基板が圧電アクチュエータの上面に固定されている場合には、基板に外力が加わった場合などに、基板の接点が、圧電アクチュエータの接点から剥がれやすくなってしまう。また、接点が、圧力室と対向する位置に配置されていると、圧電アクチュエータの接点と基板の接点とが接続されていることにより、圧電アクチュエータを駆動したときの圧電層の圧力室と対向する部分の変形が阻害されてしまう虞がある。そのため、接点を圧力室と対向しない位置に配置する必要があり、接点の配置の自由度が低くなってしまう。

また、特許文献１では、圧電アクチュエータと接続される配線基板が可撓性を有するものであるが、圧電アクチュエータに接続される基板が、ガラスエポキシ基板やアルミナ基板などのリジッド基板である場合には、上述したような問題は特に顕著なものとなる。

本発明の目的は、液体吐出ヘッドなどの構造体と基板とを直接接続する場合に、液体吐出ヘッドなどの構造体に設けられた接点と、基板の接点とが確実に接続することができ、接続後にも接点同士の接続が外れにくく、接点の配置の自由度の高い液体吐出装置、基板の接続構造、及び、液体吐出装置の製造方法を提供することである。

第１の発明に係る液体吐出装置は、複数のノズル、及び、前記複数のノズルに連通した複数の圧力室を含む液体流路を有する流路ユニットと、前記複数の圧力室を覆うように前記流路ユニットに積層された圧電層、及び、前記複数の圧力室と対向する複数の個別電極を有する圧電アクチュエータと、を備えた液体吐出ヘッドと、前記圧電アクチュエータの前記流路ユニットと反対側の面に配置された弾性変形層と、前記弾性変形層の前記圧電アクチュエータと反対側の面に配置され、前記複数の個別電極と導通した複数のヘッド側接点と、前記液体吐出ヘッドの前記圧電アクチュエータ側の面と対向して配置された基板と、前記基板の前記液体吐出ヘッド側の面に、前記複数のヘッド側接点と対向して配置された複数の基板側接点と、前記液体吐出ヘッドと前記基板とを互いに固定する固定部材と、を備え、前記弾性変形層の前記ヘッド側接点が配置された部分が、前記液体吐出ヘッドと前記基板とが前記固定部材で固定されたことによって、前記圧電アクチュエータと前記基板とに挟まれて弾性変形しているとともに、弾性変形前の状態に戻ろうとする力によって前記複数のヘッド側接点を前記基板側接点に接触させており、前記基板は、貫通孔を有し、前記固定部材は、樹脂材料からなり、前記液体吐出ヘッドと前記基板との間に配置され、前記液滴吐出ヘッドの少なくとも一部と前記基板の少なくとも一部とに接触し、硬化時に収縮した接着剤であり、前記貫通孔に入り込んでいることを特徴とする。

本発明によると、液体吐出ヘッドと基板とが固定部材によって互いに固定されたことによって、弾性変形層のヘッド側接点が配置された部分が圧電アクチュエータと基板とに挟まれて弾性変形しているとともに、弾性変形層が弾性変形前の状態に戻ろうとする力によってヘッド側接点を基板側接点に接触させている。これにより、ヘッド側接点と基板側接点との密着性が高くなり、ヘッド側接点と基板側接点とを確実に接続することができる。また、ヘッド側接点や基板側接点に高さのばらつきがある場合でも、弾性変形層が弾性変形することで、ヘッド接点と基板側接点とを確実に接触させることができる。

また、本発明によると、弾性変形層が弾性変形前の状態に戻ろうとする力によってヘッド側接点を基板側接点に接触させているため、基板に外力が加わったときに、基板側接点がヘッド側接点から剥がれにくい。

また、本発明によると、圧電層とヘッド側接点との間に、弾性変形可能な弾性変形層が配置されるため、ヘッド側接点が圧力室と対向する位置に配置されていても、圧電アクチュエータを駆動したときに、圧電層の圧力室と対向する部分の変形が阻害されてしまうのを抑えることができる。したがって、本発明では、ヘッド側接点を、弾性変形層の圧電アクチュエータと反対側の面の、圧力室と対向する部分及び圧力室と対向しない部分のいずれに配置することもできる。これにより、ヘッド側接点の配置の自由度が高くなる。
また、本発明によると、固定部材が樹脂材料からなり硬化時に収縮したものである場合には、固定部材が収縮したときに、液体吐出ヘッドと基板とが互いに近づこうとする。これにより、弾性変形層のヘッド側接点が配置された部分が、圧電アクチュエータと基板とに挟まれて弾性変形するとともに、弾性変形層の当該部分が弾性変形前の状態に戻ろうとする力によってヘッド側接点を基板側接点に接触させることができる。
また、本発明によると、液体吐出ヘッドと基板との間に接着剤を形成することにより、固定部材を簡単に配置することができる。
また、本発明によると、液体吐出ヘッドと基板とを位置合わせしてから、基板の液体吐出ヘッドと反対側から、貫通孔を通して接着剤を導入することにより、液体吐出ヘッドと基板との間に固定部材を配置することができる。

第２の発明に係る液体吐出装置は、第１の発明に係る液体吐出装置において、前前記固定部材は、光硬化性の接着剤であることを特徴とする。

本発明によると、基板の液体吐出ヘッドと反対側から、接着剤が配置された貫通孔に光を照射することにより、接着剤を容易に硬化させることができる。

第３の発明に係る液体吐出装置は、複数のノズル、及び、前記複数のノズルに連通した複数の圧力室を含む液体流路を有する流路ユニットと、前記複数の圧力室を覆うように前記流路ユニットに積層された圧電層、及び、前記複数の圧力室と対向する複数の個別電極を有する圧電アクチュエータと、を備えた液体吐出ヘッドと、前記圧電アクチュエータの前記流路ユニットと反対側の面に配置された弾性変形層と、前記弾性変形層の前記圧電アクチュエータと反対側の面に配置され、前記複数の個別電極と導通した複数のヘッド側接点と、前記液体吐出ヘッドの前記圧電アクチュエータ側の面と対向して配置された基板と、前記基板の前記液体吐出ヘッド側の面に、前記複数のヘッド側接点と対向して配置された複数の基板側接点と、前記液体吐出ヘッドと前記基板とを互いに固定する固定部材と、を備え、前記弾性変形層は、前記液体吐出ヘッドと前記基板とが前記固定部材で固定されたことによって、前記ヘッド側接点が配置された部分が、前記圧電アクチュエータと前記基板とに挟まれて弾性変形しているとともに、弾性変形前の状態に戻ろうとする力によって前記複数のヘッド側接点を前記基板側接点に接触させており、前記液体吐出ヘッドは、前記基板側の面において開口した孔を有し、前記固定部材は、樹脂材料からなり、前記液体吐出ヘッドと前記基板との間に配置され、前記液滴吐出ヘッドの少なくとも一部と前記基板の少なくとも一部とに接触し、硬化時に収縮した接着剤であり、前記孔に入り込んでいることを特徴とする。

本発明によると、液体吐出ヘッドと基板とが固定部材によって互いに固定されたことによって、弾性変形層のヘッド側接点が配置された部分が圧電アクチュエータと基板とに挟まれて弾性変形しているとともに、弾性変形層が弾性変形前の状態に戻ろうとする力によってヘッド側接点を基板側接点に接触させている。これにより、ヘッド側接点と基板側接点との密着性が高くなり、ヘッド側接点と基板側接点とを確実に接続することができる。また、ヘッド側接点や基板側接点に高さのばらつきがある場合でも、弾性変形層が弾性変形することで、ヘッド接点と基板側接点とを確実に接触させることができる。
また、本発明によると、弾性変形層が弾性変形前の状態に戻ろうとする力によってヘッド側接点を基板側接点に接触させているため、基板に外力が加わったときに、基板側接点がヘッド側接点から剥がれにくい。
また、本発明によると、圧電層とヘッド側接点との間に、弾性変形可能な弾性変形層が配置されるため、ヘッド側接点が圧力室と対向する位置に配置されていても、圧電アクチュエータを駆動したときに、圧電層の圧力室と対向する部分の変形が阻害されてしまうのを抑えることができる。したがって、本発明では、ヘッド側接点を、弾性変形層の圧電アクチュエータと反対側の面の、圧力室と対向する部分及び圧力室と対向しない部分のいずれに配置することもできる。これにより、ヘッド側接点の配置の自由度が高くなる。
また、本発明によると、固定部材が樹脂材料からなり硬化時に収縮したものである場合には、固定部材が収縮したときに、液体吐出ヘッドと基板とが互いに近づこうとする。これにより、弾性変形層のヘッド側接点が配置された部分が、圧電アクチュエータと基板とに挟まれて弾性変形するとともに、弾性変形層の当該部分が弾性変形前の状態に戻ろうとする力によってヘッド側接点を基板側接点に接触させることができる。
また、本発明によると、液体吐出ヘッドと基板との間に接着剤を形成することにより、固定部材を簡単に配置することができる。
また、本発明によると、固定部材が、液体吐出ヘッドに形成された孔に入り込んでいるため、液体吐出ヘッドと基板との接合強度を高くすることができる。

第４の発明に係る液体吐出装置は、第３の発明に係る液体吐出装置において、前記流路ユニットが、前記複数のノズルが形成された、透光性の合成樹脂材料からなるノズルプレートと、前記液体流路の前記複数のノズル以外の部分が形成されており、前記ノズルプレートの前記圧電アクチュエータ側の面に積層された流路部材と、を備え、前記孔が、前記流路部材を貫通しているとともに、前記基板と反対側の端が前記ノズルプレートによって塞がれていることを特徴とする。

本発明によると、液体吐出ヘッドに形成された孔の、基板と反対側の端がノズルプレートに塞がれているが、ノズルプレートが透光性の合成樹脂材料からなるため、透光性を有するノズルプレートを通して、孔に固定部材が正常に配置されているか否かを確認することができる。

第５の発明に係る液体吐出装置は、第３の発明に係る液体吐出装置において前記流路ユニットが、前記複数のノズルが形成された、金属材料からなるノズルプレートと、前記液体流路の前記複数のノズル以外の部分が形成されており、前記ノズルプレートの前記圧電アクチュエータ側の面に積層された流路部材と、を備え、前記孔が、前記ノズルプレート、及び、前記流路部材を貫通していることを特徴とする。

本発明によると、液体吐出ヘッドに形成された孔が、液体吐出ヘッドの基板と反対側まで貫通しているため、孔に固定部材が正常に配置されているか否かを、液体吐出ヘッドの基板と反対側から確認することができる。

第６の発明に係る液体吐出装置は、複数のノズル、及び、前記複数のノズルに連通した複数の圧力室を含む液体流路を有する流路ユニットと、前記複数の圧力室を覆うように前記流路ユニットに積層された圧電層、及び、前記複数の圧力室と対向する複数の個別電極を有する圧電アクチュエータと、を備えた液体吐出ヘッドと、前記圧電アクチュエータの前記流路ユニットと反対側の面に配置された弾性変形層と、前記弾性変形層の前記圧電アクチュエータと反対側の面に配置され、前記複数の個別電極と導通した複数のヘッド側接点と、前記液体吐出ヘッドの前記圧電アクチュエータ側の面と対向して配置された基板と、前記基板の前記液体吐出ヘッド側の面に、前記複数のヘッド側接点と対向して配置された複数の基板側接点と、前記液体吐出ヘッドと前記基板とを互いに固定する固定部材と、を備え、前記弾性変形層は、前記液体吐出ヘッドと前記基板とが前記固定部材で固定されたことによって、前記ヘッド側接点が配置された部分が、前記圧電アクチュエータと前記基板とに挟まれて弾性変形しているとともに、弾性変形前の状態に戻ろうとする力によって前記複数のヘッド側接点を前記基板側接点に接触させており、前記弾性変形層が、前記圧電層の前記流路ユニットと反対側の面に、前記複数の圧力室と対向して配置されており、前記複数のヘッド側接点の全体が、前記弾性変形層の前記圧電アクチュエータと反対側の面の前記複数の圧力室と対向する部分に配置されていることを特徴とする。

本発明によると、液体吐出ヘッドと基板とが固定部材によって互いに固定されたことによって、弾性変形層のヘッド側接点が配置された部分が圧電アクチュエータと基板とに挟まれて弾性変形しているとともに、弾性変形層が弾性変形前の状態に戻ろうとする力によってヘッド側接点を基板側接点に接触させている。これにより、ヘッド側接点と基板側接点との密着性が高くなり、ヘッド側接点と基板側接点とを確実に接続することができる。また、ヘッド側接点や基板側接点に高さのばらつきがある場合でも、弾性変形層が弾性変形することで、ヘッド接点と基板側接点とを確実に接触させることができる。
また、本発明によると、弾性変形層が弾性変形前の状態に戻ろうとする力によってヘッド側接点を基板側接点に接触させているため、基板に外力が加わったときに、基板側接点がヘッド側接点から剥がれにくい。
また、本発明によると、圧電層とヘッド側接点との間に、弾性変形可能な弾性変形層が配置されるため、ヘッド側接点が圧力室と対向する位置に配置されていても、圧電アクチュエータを駆動したときに、圧電層の圧力室と対向する部分の変形が阻害されてしまうのを抑えることができる。したがって、本発明では、ヘッド側接点を、弾性変形層の圧電アクチュエータと反対側の面の、圧力室と対向する部分及び圧力室と対向しない部分のいずれに配置することもできる。これにより、ヘッド側接点の配置の自由度が高くなる。
また、本発明によると、ヘッド側接点が、圧力室と対向して配置されているため、ヘッド側接点を圧力室とずれた位置に配置する場合と比較して液体吐出ヘッドを小型化することができる。

第７の発明に係る液体吐出装置は、第６の発明に係る液体吐出装置において、前記複数の圧力室が、前記液体吐出ヘッドと前記基板とが対向する方向から見て、所定の一方向を長手方向とする形状を有するものであって、前記複数のヘッド側接点が、前記弾性変形層の前記圧電アクチュエータと反対側の面の、前記複数の圧力室の長手方向における端部と対向する部分に配置されていることを特徴とする。

本発明によると、ヘッド側接点を圧力室と対向する位置に配置する場合に、圧電層の圧力室と対向する部分の変形が、ヘッド側接点によって阻害されてしまうことを極力抑えることができる。

第８の発明に係る液体吐出装置は、第７の発明に係る液体吐出装置において、前記固定部材は、前記圧電層と前記基板との間に配置され、前記圧電層の少なくとも一部と前記基板の少なくとも一部とに接触し、硬化時に収縮した接着剤であり、前記液体吐出ヘッドと前記基板とが対向する方向から見て、前記流路ユニットの、前記圧力室の前記長手方向における前記端部側に隣接する領域と対向して配置されていることを特徴とする。

本発明によると、固定部材がヘッド側接点の近傍に配置されるため、固定部材が収縮したときに、弾性変形層のヘッド側接点が配置された部分を確実に弾性変形させることができる。また、固定部材が圧力室と対向しないため、圧電層の圧力室と対向する部分の変形が、固定部材によって阻害されてしまうのを抑えることができる。

第９の発明に係る液体吐出装置は、第１〜第５のいずれかの発明に係る液体吐出装置において、前記弾性変形層が、前記圧電層の前記流路ユニットと反対側の面に、前記複数の圧力室と対向する部分を避けて配置されていることを特徴とする。

本発明によると、圧電層の圧力室と対向する部分の変形が、弾性変形層やヘッド側接点によって阻害されてしまうのを抑えることができる。

第１０の発明に係る液体吐出装置は、第８の発明に係る液体吐出装置において、前記液体吐出ヘッドと前記基板との間にスペーサが配置されていることを特徴とする。

一般に、固定部材の収縮量は制御が難しい。本発明によると、スペーサにより液体吐出ヘッドと基板とが近づきすぎるのが規制される。これにより、固定部材の収縮によって弾性変形層が過度に弾性変形してしまうのを防止することができる。
第１１の発明に係る液体吐出装置は、複数のノズル、及び、前記複数のノズルに連通した複数の圧力室を含む液体流路を有する流路ユニットと、前記複数の圧力室を覆うように前記流路ユニットに積層された圧電層、及び、前記複数の圧力室と対向する複数の個別電極を有する圧電アクチュエータと、を備えた液体吐出ヘッドと、前記圧電アクチュエータの前記流路ユニットと反対側の面に配置された弾性変形層と、前記弾性変形層の前記圧電アクチュエータと反対側の面に配置され、前記複数の個別電極と導通した複数のヘッド側接点と、前記液体吐出ヘッドの前記圧電アクチュエータ側の面と対向して配置された基板と、前記基板の前記液体吐出ヘッド側の面に、前記複数のヘッド側接点と対向して配置された複数の基板側接点と、前記液体吐出ヘッドと前記基板とを互いに固定する固定部材と、を備え、前記弾性変形層は、前記液体吐出ヘッドと前記基板とが前記固定部材で固定されたことによって、前記ヘッド側接点が配置された部分が、前記圧電アクチュエータと前記基板とに挟まれて弾性変形しているとともに、弾性変形前の状態に戻ろうとする力によって前記複数のヘッド側接点を前記基板側接点に接触させており、前記固定部材は、樹脂材料からなり、硬化時に収縮したものであり、前記液体吐出ヘッドと前記基板との間にスペーサが配置されていることを特徴とする。
本発明によると、液体吐出ヘッドと基板とが固定部材によって互いに固定されたことによって、弾性変形層のヘッド側接点が配置された部分が圧電アクチュエータと基板とに挟まれて弾性変形しているとともに、弾性変形層が弾性変形前の状態に戻ろうとする力によってヘッド側接点を基板側接点に接触させている。これにより、ヘッド側接点と基板側接点との密着性が高くなり、ヘッド側接点と基板側接点とを確実に接続することができる。また、ヘッド側接点や基板側接点に高さのばらつきがある場合でも、弾性変形層が弾性変形することで、ヘッド接点と基板側接点とを確実に接触させることができる。
また、本発明によると、弾性変形層が弾性変形前の状態に戻ろうとする力によってヘッド側接点を基板側接点に接触させているため、基板に外力が加わったときに、基板側接点がヘッド側接点から剥がれにくい。
また、本発明によると、圧電層とヘッド側接点との間に、弾性変形可能な弾性変形層が配置されるため、ヘッド側接点が圧力室と対向する位置に配置されていても、圧電アクチュエータを駆動したときに、圧電層の圧力室と対向する部分の変形が阻害されてしまうのを抑えることができる。したがって、本発明では、ヘッド側接点を、弾性変形層の圧電アクチュエータと反対側の面の、圧力室と対向する部分及び圧力室と対向しない部分のいずれに配置することもできる。これにより、ヘッド側接点の配置の自由度が高くなる。
また、本発明によると、固定部材が樹脂材料からなり硬化時に収縮したものである場合には、固定部材が収縮したときに、液体吐出ヘッドと基板とが互いに近づこうとする。これにより、弾性変形層のヘッド側接点が配置された部分が、圧電アクチュエータと基板とに挟まれて弾性変形するとともに、弾性変形層の当該部分が弾性変形前の状態に戻ろうとする力によってヘッド側接点を基板側接点に接触させることができる。
また、本発明によると、スペーサにより液体吐出ヘッドと基板とが近づきすぎるのが規制される。これにより、固定部材の収縮によって弾性変形層が過度に弾性変形してしまうのを防止することができる。

第１２の発明に係る液体吐出装置は、第１０又は１１の発明に係る液体吐出装置において、前記スペーサが、前記流路ユニットの前記圧電アクチュエータ側の面に前記圧電アクチュエータを取り囲むように配置されており、前記流路ユニットと反対側の端が前記基板に接触した、前記液体吐出ヘッドの剛性を補強するためのフレームであることを特徴とする。

本発明によると、液体吐出ヘッドの剛性を補強するためのフレームをスペーサとして利用することができる。

第１３の発明に係る液体吐出装置は、第１２の発明に係る液体吐出装置において、前記スペーサが、前記液体吐出ヘッドと前記基板とが対向する方向から見て、前記複数のヘッド側接点が配置されている領域をその全周にわたって取り囲んでおり、前記液体吐出ヘッドと、前記基板と、前記スペーサとによって囲まれた空間が密閉空間になっていることを特徴とする。

本発明によると、複数のヘッド側接点及び基板側接点が、液体吐出ヘッドと基板とスペーサとによって形成された密閉空間内に配置されるため、周辺の湿度が上昇したときなどに、当該空間に湿気が入り込まない。したがって、接点同士が周辺の湿気などによって導通してしまう、いわゆるマイグレーションや、湿気による接点などのサビを防止することができる。

第１４の発明に係る液体吐出装置は、第１０〜第１３のいずれかの発明に係る液体吐出装置において、複数の前記スペーサが、前記圧電層と前記基板との間に、前記流路ユニットの前記圧力室が形成されていない領域と対向して配置されていることを特徴とする。

本発明によると、圧電層の圧力室と対向する部分の変形が、スペーサによって阻害されてしまうのを抑えることができる。

第１５の発明に係る液体吐出装置は、第１４の発明に係る液体吐出装置において、複数の前記スペーサが、前記弾性変形層の前記圧電アクチュエータと反対側の面に埋め込まれているとともに、前記弾性変形層の前記圧電アクチュエータと反対側の面から前記基板側に突出した球状の部材であることを特徴とする。

本発明によると、弾性変形層の圧電アクチュエータと反対側の面に球状部材を埋め込むことにより、スペーサを容易に形成することができる。また、スペーサとしての球状部材は、弾性変形層に埋め込まれることでその位置が固定される。

第１６の発明に係る液体吐出装置は、第８の発明に係る液体吐出装置において、前記固定部材が、液体吐出ヘッドと前記基板とが対向する方向から見て、前記複数のヘッド側接点が配置されている領域をその全周にわたって取り囲んでいることを特徴とする。

本発明によると、固定部材が収縮したときに、弾性変形層の各ヘッド側接点が配置されている複数の領域が均等に弾性変形する。これにより、複数のヘッド側接点と基板側接点とを確実に接続することができる。
第１７の発明に係る液体吐出装置は、複数のノズル、及び、前記複数のノズルに連通した複数の圧力室を含む液体流路を有する流路ユニットと、前記複数の圧力室を覆うように前記流路ユニットに積層された圧電層、及び、前記複数の圧力室と対向する複数の個別電極を有する圧電アクチュエータと、を備えた液体吐出ヘッドと、前記圧電アクチュエータの前記流路ユニットと反対側の面に配置された弾性変形層と、前記弾性変形層の前記圧電アクチュエータと反対側の面に配置され、前記複数の個別電極と導通した複数のヘッド側接点と、前記液体吐出ヘッドの前記圧電アクチュエータ側の面と対向して配置された基板と、前記基板の前記液体吐出ヘッド側の面に、前記複数のヘッド側接点と対向して配置された複数の基板側接点と、前記液体吐出ヘッドと前記基板とを互いに固定する固定部材と、を備え、前記弾性変形層は、前記液体吐出ヘッドと前記基板とが前記固定部材で固定されたことによって、前記ヘッド側接点が配置された部分が、前記圧電アクチュエータと前記基板とに挟まれて弾性変形しているとともに、弾性変形前の状態に戻ろうとする力によって前記複数のヘッド側接点を前記基板側接点に接触させており、前記固定部材は、樹脂材料からなり、前記液体吐出ヘッドと前記基板との間に配置され、前記液滴吐出ヘッドの少なくとも一部と前記基板の少なくとも一部とに接触し、硬化時に収縮した接着剤であり、前記固定部材が、液体吐出ヘッドと前記基板とが対向する方向から見て、前記複数のヘッド側接点が配置されている領域をその全周にわたって取り囲んでいることを特徴とする。
本発明によると、液体吐出ヘッドと基板とが固定部材によって互いに固定されたことによって、弾性変形層のヘッド側接点が配置された部分が圧電アクチュエータと基板とに挟まれて弾性変形しているとともに、弾性変形層が弾性変形前の状態に戻ろうとする力によってヘッド側接点を基板側接点に接触させている。これにより、ヘッド側接点と基板側接点との密着性が高くなり、ヘッド側接点と基板側接点とを確実に接続することができる。また、ヘッド側接点や基板側接点に高さのばらつきがある場合でも、弾性変形層が弾性変形することで、ヘッド接点と基板側接点とを確実に接触させることができる。
また、本発明によると、弾性変形層が弾性変形前の状態に戻ろうとする力によってヘッド側接点を基板側接点に接触させているため、基板に外力が加わったときに、基板側接点がヘッド側接点から剥がれにくい。
また、本発明によると、圧電層とヘッド側接点との間に、弾性変形可能な弾性変形層が配置されるため、ヘッド側接点が圧力室と対向する位置に配置されていても、圧電アクチュエータを駆動したときに、圧電層の圧力室と対向する部分の変形が阻害されてしまうのを抑えることができる。したがって、本発明では、ヘッド側接点を、弾性変形層の圧電アクチュエータと反対側の面の、圧力室と対向する部分及び圧力室と対向しない部分のいずれに配置することもできる。これにより、ヘッド側接点の配置の自由度が高くなる。
また、本発明によると、固定部材が樹脂材料からなり硬化時に収縮したものである場合には、固定部材が収縮したときに、液体吐出ヘッドと基板とが互いに近づこうとする。これにより、弾性変形層のヘッド側接点が配置された部分が、圧電アクチュエータと基板とに挟まれて弾性変形するとともに、弾性変形層の当該部分が弾性変形前の状態に戻ろうとする力によってヘッド側接点を基板側接点に接触させることができる。
また、本発明によると、液体吐出ヘッドと基板との間に接着剤を形成することにより、固定部材を簡単に配置することができる。
また、本発明によると、固定部材が収縮したときに、弾性変形層の各ヘッド側接点が配置されている複数の領域が均等に弾性変形する。これにより、複数のヘッド側接点と基板側接点とを確実に接続することができる。

第１８の発明に係る液体吐出装置は、第１６又は第１７の発明に係る液体吐出装置において、前記液体吐出ヘッドと、前記基板と、前記固定部材とによって囲まれた空間が密閉空間になっていることを特徴とする。

本発明によると、複数のヘッド側接点及び基板側接点が、液体吐出ヘッドと基板と固定部材とによって形成される密閉空間内に配置されるため、周辺の湿度が上昇したときなどに、当該空間に湿気が入り込まない。したがって、接点同士が周辺の湿気などによって導通してしまう、いわゆるマイグレーションや、湿気による接点などのサビを防止することができる。

第１９の発明に係る液体吐出装置は、第１〜第５、第８のいずれかの発明に係る液体吐出装置において、複数の前記固定部材が、液体吐出ヘッドと前記基板とが対向する方向から見て、前記複数のヘッド側接点の間に位置していることを特徴とする。

本発明によると、複数の固定部材が収縮したときに、弾性変形層の各ヘッド側接点が配置されている複数の領域が均等に弾性変形する。これにより、複数のヘッド側接点と基板側接点とを確実に接続することができる。

第２０の発明に係る液体吐出装置は、第１〜第５、第８のいずれかの発明に係る液体吐出装置において、前記圧電層の前記流路ユニットと反対側の面に、前記弾性変形層が配置されていない部分があり、前記圧電層の前記流路ユニットと反対側の面の前記弾性変形層が配置されていない部分と、前記基板とが、前記固定部材によって互いに固定されていることを特徴とする。

本発明によると、弾性変形層よりも強度の高い液体吐出ヘッドの基板側の面と、基板とを、固定部材で互いに固定することにより、液体吐出ヘッドと基板との接合強度を高くすることができる。

第２１の発明に係る液体吐出装置は、第８の発明に係る液体吐出装置において、前記弾性変形層と前記基板との間に、前記複数の圧力室にまたがって連続的に延びた前記固定部材の層が配置されていることを特徴とする。

本発明によると、弾性変形層は、圧電層などと比較して強度が弱いが、固定部材の層が複数の圧力室にまたがって連続的に延びており、固定部材による弾性変形層と基板との接合面積が大きくなっているため、液体吐出ヘッドと基板との接合強度を確保することができる。また、弾性変形層の基板側の面に固定部材の層を形成することにより、固定部材の形成を容易に行うことができる。
第２２の発明に係る液体吐出装置は、複数のノズル、及び、前記複数のノズルに連通した複数の圧力室を含む液体流路を有する流路ユニットと、前記複数の圧力室を覆うように前記流路ユニットに積層された圧電層、及び、前記複数の圧力室と対向する複数の個別電極を有する圧電アクチュエータと、を備えた液体吐出ヘッドと、前記圧電アクチュエータの前記流路ユニットと反対側の面に配置された弾性変形層と、前記弾性変形層の前記圧電アクチュエータと反対側の面に配置され、前記複数の個別電極と導通した複数のヘッド側接点と、前記液体吐出ヘッドの前記圧電アクチュエータ側の面と対向して配置された基板と、前記基板の前記液体吐出ヘッド側の面に、前記複数のヘッド側接点と対向して配置された複数の基板側接点と、前記液体吐出ヘッドと前記基板とを互いに固定する固定部材と、を備え、前記弾性変形層は、前記液体吐出ヘッドと前記基板とが前記固定部材で固定されたことによって、前記ヘッド側接点が配置された部分が、前記圧電アクチュエータと前記基板とに挟まれて弾性変形しているとともに、弾性変形前の状態に戻ろうとする力によって前記複数のヘッド側接点を前記基板側接点に接触させており、前記固定部材は、樹脂材料からなり、前記液体吐出ヘッドと前記基板との間に配置され、前記液滴吐出ヘッドの少なくとも一部と前記基板の少なくとも一部とに接触し、硬化時に収縮した接着剤であり、前記弾性変形層と前記基板との間に、前記複数の圧力室にまたがって連続的に延びた前記固定部材の層が配置されていることを特徴とする。
本発明によると、液体吐出ヘッドと基板とが固定部材によって互いに固定されたことによって、弾性変形層のヘッド側接点が配置された部分が圧電アクチュエータと基板とに挟まれて弾性変形しているとともに、弾性変形層が弾性変形前の状態に戻ろうとする力によってヘッド側接点を基板側接点に接触させている。これにより、ヘッド側接点と基板側接点との密着性が高くなり、ヘッド側接点と基板側接点とを確実に接続することができる。また、ヘッド側接点や基板側接点に高さのばらつきがある場合でも、弾性変形層が弾性変形することで、ヘッド接点と基板側接点とを確実に接触させることができる。
また、本発明によると、弾性変形層が弾性変形前の状態に戻ろうとする力によってヘッド側接点を基板側接点に接触させているため、基板に外力が加わったときに、基板側接点がヘッド側接点から剥がれにくい。
また、本発明によると、圧電層とヘッド側接点との間に、弾性変形可能な弾性変形層が配置されるため、ヘッド側接点が圧力室と対向する位置に配置されていても、圧電アクチュエータを駆動したときに、圧電層の圧力室と対向する部分の変形が阻害されてしまうのを抑えることができる。したがって、本発明では、ヘッド側接点を、弾性変形層の圧電アクチュエータと反対側の面の、圧力室と対向する部分及び圧力室と対向しない部分のいずれに配置することもできる。これにより、ヘッド側接点の配置の自由度が高くなる。
また、本発明によると、固定部材が樹脂材料からなり硬化時に収縮したものである場合には、固定部材が収縮したときに、液体吐出ヘッドと基板とが互いに近づこうとする。これにより、弾性変形層のヘッド側接点が配置された部分が、圧電アクチュエータと基板とに挟まれて弾性変形するとともに、弾性変形層の当該部分が弾性変形前の状態に戻ろうとする力によってヘッド側接点を基板側接点に接触させることができる。
また、本発明によると、液体吐出ヘッドと基板との間に接着剤を形成することにより、固定部材を簡単に配置することができる。
また、本発明によると、弾性変形層は、圧電層などと比較して強度が弱いが、固定部材の層が複数の圧力室にまたがって連続的に延びており、固定部材による弾性変形層と基板との接合面積が大きくなっているため、液体吐出ヘッドと基板との接合強度を確保することができる。また、弾性変形層の基板側の面に固定部材の層を形成することにより、固定部材の形成を容易に行うことができる。

第２３の発明に係る液体吐出装置は、複数のノズル、及び、前記複数のノズルに連通した複数の圧力室を含む液体流路を有する流路ユニットと、前記複数の圧力室を覆うように前記流路ユニットに積層された圧電層、及び、前記複数の圧力室と対向する複数の個別電極を有する圧電アクチュエータと、を備えた液体吐出ヘッドと、前記圧電アクチュエータの前記流路ユニットと反対側の面に配置された弾性変形層と、前記弾性変形層の前記圧電アクチュエータと反対側の面に配置され、前記複数の個別電極と導通した複数のヘッド側接点と、前記液体吐出ヘッドの前記圧電アクチュエータ側の面と対向して配置された基板と、前記基板の前記液体吐出ヘッド側の面に、前記複数のヘッド側接点と対向して配置された複数の基板側接点と、前記液体吐出ヘッドと前記基板とを互いに固定する固定部材と、を備え、前記弾性変形層は、前記液体吐出ヘッドと前記基板とが前記固定部材で固定されたことによって、前記ヘッド側接点が配置された部分が、前記圧電アクチュエータと前記基板とに挟まれて弾性変形しているとともに、弾性変形前の状態に戻ろうとする力によって前記複数のヘッド側接点を前記基板側接点に接触させており、前記弾性変形層が、導電性材料によって構成されているとともに、前記複数のヘッド側接点毎に分離されており、前記複数のヘッド側接点が、前記弾性変形層を介して前記液体吐出ヘッドと導通していることを特徴とする。

本発明によると、液体吐出ヘッドと基板とが固定部材によって互いに固定されたことによって、弾性変形層のヘッド側接点が配置された部分が圧電アクチュエータと基板とに挟まれて弾性変形しているとともに、弾性変形層が弾性変形前の状態に戻ろうとする力によってヘッド側接点を基板側接点に接触させている。これにより、ヘッド側接点と基板側接点との密着性が高くなり、ヘッド側接点と基板側接点とを確実に接続することができる。また、ヘッド側接点や基板側接点に高さのばらつきがある場合でも、弾性変形層が弾性変形することで、ヘッド接点と基板側接点とを確実に接触させることができる。
また、本発明によると、弾性変形層が弾性変形前の状態に戻ろうとする力によってヘッド側接点を基板側接点に接触させているため、基板に外力が加わったときに、基板側接点がヘッド側接点から剥がれにくい。
また、本発明によると、圧電層とヘッド側接点との間に、弾性変形可能な弾性変形層が配置されるため、ヘッド側接点が圧力室と対向する位置に配置されていても、圧電アクチュエータを駆動したときに、圧電層の圧力室と対向する部分の変形が阻害されてしまうのを抑えることができる。したがって、本発明では、ヘッド側接点を、弾性変形層の圧電アクチュエータと反対側の面の、圧力室と対向する部分及び圧力室と対向しない部分のいずれに配置することもできる。これにより、ヘッド側接点の配置の自由度が高くなる。
また、本発明によると、弾性変形層が導電性材料によって形成されているため、弾性変形層の基板側の面にヘッド側接点を配置するだけで、個別電極とヘッド側接点とを導通させることができる。

第２４の発明に係る液体吐出装置は、第２３の発明に係る液体吐出装置において、前記弾性変形層が、導電性ポリマーによって構成されており、前記導電性ポリマーの前記圧電層との接合面が、前記個別電極を兼ねていることを特徴とする。

本発明によると、個別電極の配置されていない圧電アクチュエータの流路ユニットと反対側の面に導電性ポリマーを配置することにより、個別電極と弾性変形層とを一度に形成することができる。

第２５の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、複数のノズル、及び、前記複数のノズルに連通した複数の圧力室を含む液体流路を有する流路ユニットと、前記複数の圧力室を覆うように前記流路ユニットに積層された圧電層、及び、前記圧電層の流路ユニットと反対側の面に配置されており、前記複数の圧力室と対向する複数の個別電極を有する圧電アクチュエータと、を備えた液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドの前記圧電アクチュエータ側の面と対向して配置された基板と、を備え、前記基板の前記液体吐出ヘッド側の面に、前記複数の個別電極に対応する複数の基板側接点が配置された液体吐出装置の製造方法であって、前記圧電アクチュエータの前記流路ユニットと反対側の面に弾性変形層を形成する弾性変形層形成工程と、前記弾性変形層の前記基板側の面の前記基板側接点と対向する部分に、前記複数の個別電極と導通しているとともに、前記基板側接点と接続される複数のヘッド側接点を形成するヘッド側接点形成工程と、前記液体吐出ヘッドと前記基板とを固定部材で互いに固定する固定工程と、を備え、前記固定工程において、前記液体吐出ヘッドと前記基板とを前記固定部材で互いに固定することによって、前記弾性変形層の前記ヘッド側接点が配置された部分を、前記圧電アクチュエータと前記基板とで挟んで弾性変形させるとともに、前記弾性変形層が弾性変形前の状態に戻ろうとする力によって前記ヘッド側接点を前記基板側接点に接触させ、前記基板は、貫通孔を有するものであって、前記固定部材は、硬化時に収縮する接着剤によって形成されたものであって、前記固定工程が、前記基板を、前記液体吐出ヘッドの前記圧電アクチュエータ側の面と対向するように配置する基板配置工程と、インクジェット法によって、前記基板の前記液体吐出ヘッドと反対側から前記貫通孔に向けて前記接着剤を滴下することで、前記液体吐出ヘッドと前記基板との間に前記接着剤を形成する接着剤形成工程と、前記接着剤を硬化させる接着剤硬化工程と、を備えていることを特徴とする。

本発明によると、液体吐出ヘッドと基板とが固定部材によって互いに固定されたことによって、弾性変形層のヘッド側接点が配置された部分が圧電層と基板とに挟まれて弾性変形しているとともに、弾性変形層が弾性変形前の状態に戻ろうとする力によってヘッド側接点を基板側接点に接触させている。これにより、ヘッド側接点と基板側接点との密着性が高くなり、ヘッド側接点と基板側接点とを確実に接続することができる。また、弾性変形前の弾性変形層の厚みのばらつきなどにより、ヘッド側接点の位置が、液体吐出ヘッドと基板とが対向する方向においてばらついている場合でも、弾性変形層が弾性変形することで、ヘッド接点と基板側接点とを確実に接触させることができる。

本発明によると、液体吐出ヘッドと基板とを位置合わせして配置した後に、液体吐出ヘッドと基板との間に接着剤を形成する場合に、基板に貫通孔が形成されているため、基板の液体吐出ヘッドと反対側から貫通孔に向けて接着剤を滴下することにより、液体吐出ヘッドと基板との間に、簡単に接着剤を形成することができる。さらに、例えば、接着剤が光硬化性を有する場合には、基板の液体吐出ヘッドと反対側から貫通孔を通して接着剤に光を照射することにより、接着剤を容易に硬化させることができる。

第２６の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、第２５の発明に係る液体吐出装置の製造方法において、前記弾性変形層形成工程において、インクジェット法によって前記弾性変形層を形成し、前記ヘッド側接点形成工程において、インクジェット法によって前記ヘッド側接点を形成することを特徴とする。

本発明によると、弾性変形層、接点及び固定部材としての接着剤を、いずれもインクジェットヘッド法により形成するため、液体吐出装置の製造工程を簡単にすることができる。

本発明によれば、ヘッド接点と基板側接点とを確実に密着させることができる。また、基板に外力が加わったときに、基板側接点がヘッド側接点から剥がれにくい。また、ヘッド側接点の配置の自由度が高くなる。

本発明の実施の形態に係るプリンタの概略構成図である。 図１のインクジェットヘッドの平面図である。 図２のIII−III線断面図である。 インクジェットヘッドに基板を接続する手順を示す図である。 変形例１の図３相当の図である。 変形例１のインクジェットヘッドに基板を接続する手順を示す図である。 （ａ）が変形例２の図３相当の図であり、（ｂ）が変形例３の図３相当の図である。 （ａ）が変形例４の図３相当の図であり、（ｂ）が変形例５の図３相当の図である。 変形例６の図２相当の図である。 （ａ）が変形例７の図３相当の図であり、（ｂ）が変形例８の図３相当の図である。 変形例９の図３相当の図である。 変形例１０の図３相当の図である。

以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。

図１に示すように、本実施の形態に係るプリンタ１は、キャリッジ２、インクジェットヘッド３、用紙搬送ローラ４などを備えている。キャリッジ２は、２本のガイドレール６に沿って走査方向に往復移動する。なお、以下では、図１に示す右側、左側を、走査方向の右側、左側として説明を行う。

インクジェットヘッド３は、キャリッジ２に搭載されており、その下面に形成された複数のノズル１５からインクを吐出する。用紙搬送ローラ４は、走査方向と直交する紙送り方向におけるキャリッジ２を挟んだ両側に配置されており、記録用紙Ｐを紙送り方向に搬送する。

そして、プリンタ１では、用紙搬送ローラ４によって記録用紙Ｐを紙送り方向に搬送しつつ、キャリッジ２とともに走査方向に往復移動するインクジェットヘッド３からインクを吐出することによって、記録用紙Ｐに印刷を行う。また、印刷が完了した記録用紙Ｐは、用紙搬送ローラ４によって紙送り方向に排出される。

次に、インクジェットヘッド３について説明する。インクジェットヘッド３は、図２、図３に示すように、ノズル１５やノズル１５に連通する後述の圧力室１０等のインク流路を有する流路ユニット２１と、圧力室１０内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータ２２とを備えている。

流路ユニット２１は、キャビティプレート３１、ベースプレート３２、マニホールドプレート３３及びノズルプレート３４の４枚のプレートが互いに積層されることによって形成されている。４枚のプレート３１〜３４のうち、ノズルプレート３４を除いたプレート３１〜３３は、ステンレスなどの金属材料からなる。また、ノズルプレート３４はポリイミドなどの合成樹脂材料からなる。

キャビティプレート３１には、複数の圧力室１０が形成されている。複数の圧力室１０は、走査方向を長手方向とする略楕円の平面形状を有している。また、複数の圧力室１０は、紙送り方向に２列に配列されている。ベースプレート３２には、複数の圧力室１０の長手方向における両端部と対向する部分に、それぞれ、略円形の複数の貫通孔１２、１３が形成されている。

マニホールドプレート３３には、２つのマニホールド流路１１が形成されている。２つのマニホールド流路１１は、それぞれ、各圧力室１０の列に対応して、紙送り方向に延びており、圧力室１０の、走査方向における貫通孔１２側の略半分と対向している。また、２つのマニホールド流路１１は、紙送り方向下流側の端部において互いに接続されている。そして、２つのマニホールド流路１１には、これらの接続部分に設けられたインク供給口８からインクが供給される。また、マニホールドプレート３３には、複数の貫通孔１３と対向する部分に、略円形の複数の貫通孔１４が形成されている。ノズルプレート３４には、複数の貫通孔１４と対向する部分に複数のノズル１５が形成されている。

そして、流路ユニット２１においては、マニホールド流路１１が貫通孔１２を介して圧力室１０と連通しており、圧力室１０が貫通孔１３、１４を介してノズル１５と連通している。これにより、流路ユニット２１には、マニホールド流路１１の出口から圧力室１０を経てノズル１５に至る複数の個別インク流路が形成されている。

圧電アクチュエータ２２は、インク分離層４１、圧電層４２、４３、共通電極４４、複数の個別電極４５などを備えている。インク分離層４１は、ステンレスなどの金属材料からなり、複数の圧力室１０を覆うように、キャビティプレート３１の上面に接合されている。インク分離層４１は、圧力室１０内のインクが圧電層４２に接触してしまうのを防止するためのものである。

圧電層４２は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなり、インク分離層４１の上面に、複数の圧力室１０にまたがって連続的に延びている。圧電層４３は、圧電層４２と同じ圧電材料からなり、圧電層４２の上面にその全域にわたって連続的に延びている。

共通電極４４は、圧電層４２と圧電層４３との間に、そのほぼ全域にわたって配置されている。共通電極４４は、後述する基板６０に実装された図示しないドライバＩＣにより、常にグランド電位に保持されている。複数の個別電極４５は、圧力室１０よりも一回り小さい略楕円の平面形状を有している。複数の個別電極４５は、圧電層４３の上面４３ａに複数の圧力室１０の略中央部に対向して配置されている。また、複数の個別電極４５には、それぞれ、後述する基板６０に実装された図示しないドライバＩＣにより、グランド電位及び所定の駆動電位のいずれかの電位が選択的に付与される。

また、共通電極４４及び個別電極４５がこのように配置されているのに対応して、圧電層４３の共通電極４４と個別電極４５とに挟まれた部分は、その厚み方向に分極されている。

ここで、圧電アクチュエータ２２を駆動して、ノズル１５からインクを吐出させる方法について説明する。インクジェットヘッド３においては、複数の個別電極４５が、予めグランド電位に保持されている。あるノズル１５からインクを吐出させる場合には、当該ノズル１５に対応する個別電極４５の電位を所定の駆動電位に切り換える。すると、共通電極４４と個別電極４５との間の電位差により、圧電層４３の個別電極４５と共通電極４４とに挟まれた部分に、圧電層４３の分極方向と平行な厚み方向の電界が発生する。これにより、圧電層４３の当該部分が分極方向と直交する面方向に収縮し、圧電層４２、４３及びインク分離層４１の、対応する圧力室１０と対向する部分が圧力室１０側に凸となるように変形する。その結果、圧力室１０の容積が減少して圧力室１０内のインクの圧力が上昇し、圧力室１０に連通するノズル１５からインクが吐出される。

また、複数の個別電極４５が配置された圧電層４３の上面４３ａには、弾性変形層５１が配置されている。弾性変形層５１は、例えば、ウレタンやシリコンゴムなど、非導電性であり、圧電層４３や後述の基板６０に比べて弾性係数の小さい材料からなり、圧電層４３の上面４３ａのほぼ全域にわたって延びている。また、弾性変形層５１には、複数の個別電極４５の、走査方向における貫通孔１２側の端部と対向する部分に貫通孔５１ａが形成されている。弾性変形層５１の上面５１ｃには、複数の貫通孔５１ａと隣接する部分に、複数の個別電極４５に対応して複数のバンプ５２が配置されている。互いに対応する個別電極４５とバンプ５２とは、貫通孔５１ａ内に配置された、金属材料などからなる導電材５５を介して電気的に接続されている。また、弾性変形層５１には、貫通孔５１ｂが形成されている。貫通孔５１ｂは、平面視で、複数の圧力室１０をその全周にわたって取り囲むように、略矩形状に延びている。

また、インク分離層４１の上面には、補強フレーム４９が配置されている。補強フレーム４９は、平面視で略矩形の枠形状を有しており、インク分離層４１の上面に圧電層４２、４３をその全周にわたって取り囲むように配置されている。これにより、複数の個別電極４５、複数のバンプ５２などが、平面視で補強フレーム４９に囲まれている。また、補強フレーム４９は、弾性変形層５１の上面よりも上方まで突出している。そして、インク分離層４１の上面に配置された補強フレーム４９により、インクジェットヘッド３の剛性が補強されている。

また、弾性変形層５１の上面５１ｃには、複数の球状部材４８が配置されている。複数の球状部材４８は、流路ユニット２１の上記２つの圧力室１０の列の間の部分と対向する部分に配置されており、紙送り方向に配列されている。球状部材４８は、合成樹脂材料など、弾性変形層よりも硬質の材料からなり、その上端部を除く部分が弾性変形層５１に埋め込まれていることで弾性変形層５１に固定されているとともに、その下端が圧電層４３の上面４３ａに接触している。また、球状部材４８は、その上端部が弾性変形層５１の上面５１ｃから上方に突出しており、その上端は、補強フレーム４９の上端とほぼ同じ高さに位置している。

弾性変形層５１の上方には、ドライバＩＣなどが設けられ、インクジェットヘッドに駆動信号を出力する基板６０が配置されている。基板６０は、例えば、ガラスエポキシ基板、アルミナ基板など、弾性変形層５１よりも弾性係数の大きいリジッド基板である。基板６０の下面６０ａには、複数のバンプ５２と対向する部分に、複数の接続端子６２が配置されている。また、基板６０には、複数の接続端子６２と図示しないドライバＩＣとを接続する複数の配線６３が配置されている。ここで、ドライバＩＣは、例えば、基板６０の上面の、図３に現れていない領域に実装されており、基板６０の下面６０ａと基板６０の上面に実装されたドライバＩＣとは、基板６０に形成されたスルーホールなどを介して接続されている。このように、基板６０が硬質の基板である場合には、ドライバＩＣを基板６０の上面に実装することができる。なお、配線６３は、図３に示すように、基板６０の下面６０ａに配置されていてもよいし、図３に示すのとは異なり、基板６０の内部や上面に配置されていてもよい。

また、基板６０は、固定部材６１によって圧電アクチュエータ２２に固定されている。より詳細に説明すると、固定部材６１は、ＵＶ硬化性接着剤、熱硬化性エポキシ接着剤など、硬化時に収縮する接着剤によって形成されたものである。そして、固定部材６１は、圧電アクチュエータ２２と基板６０との間の、貫通孔５１ｂと対向する部分に配置されており、貫通孔５１ｂを通して、圧電層４３の上面４３ａまで延びている。これにより、固定部材６１は、圧電層４３の上面４３ａと基板６０の下面６０ａとに接触し、圧電層４３と基板６０とを互いに固定している。

また、固定部材６１は、このように貫通孔５１ｂと対向するように配置されていることにより、平面視で、複数の圧力室１０をその全周にわたって取り囲んでいる。また、このように配置された固定部材６１は、流路ユニット２１の、走査方向の左側に配列された圧力室１０の左側の領域、及び、走査方向の右側に配列された圧力室１０の右側の領域と対向している。すなわち、固定部材６１は、流路ユニット２１の、バンプ５２が形成されている端部側において各圧力室１０に隣接する領域と対向している。

このとき、固定部材６１によって互いに固定された圧電層４３と基板６０とは、固定部材６１の硬化時の収縮力によって、互いに近づこうとする。そのため、圧電層４３と固定部材６１との間に配置されている弾性変形層５１のバンプ５２が配置された部分は、圧電層４３と基板６０とに挟まれて弾性変形している。また、弾性変形した弾性変形層５１の上記部分は、弾性変形前の状態に戻ろうとする反力によって、その上面に配置されたバンプ５２を、基板６０の下面６０ａに配置された接続端子６２に接触させている。これにより、バンプ５２と接続端子６２とが接続される。また、このとき、基板６０は、球状部材４８及び補強フレーム４９の上端部に接触している。

また、基板６０が固定部材６１によって圧電アクチュエータ２２に固定されることにより、圧電層４３と、固定部材６１と、基板６０とによって囲まれた空間が密閉空間Ｓ１となっている。これにより、複数のバンプ５２や複数の接続端子６２などが、密閉空間Ｓ１内に配置されている。さらに、インクジェットヘッド３と、補強フレーム４９と、基板６０とに囲まれた空間が密閉空間Ｓ２となっている。上述の密閉空間Ｓ１は、密閉空間Ｓ２の内部に配置されており、これにより、複数のバンプ５２や複数の接続端子６２などが、密閉空間Ｓ２内に配置されている。

次に、プリンタ１の製造において、インクジェットヘッド３に基板６０を接続する手順について図４を用いて説明する。なお、インクジェットヘッド３に基板６０を接続する段階では、インクジェットヘッド３及び基板６０の向きは製造装置の向き等に応じて適宜変更可能であるが、図４では、便宜上、プリンタ１に組み付けられたときに走査方向となる方向を、走査方向として図示している。

インクジェットヘッド３に基板６０を接続するためには、まず、図４（ａ）に示すように、作製したインクジェットヘッド３の上面に、貫通孔５１ａ、５１ｂが形成された弾性変形層５１を形成する。具体的には、例えば、架橋前の弾性変形層５１の材料を圧電層４３の上面に塗布し、塗布した材料を硬化させることによって弾性変形層５１を形成する。このとき、硬化する前の弾性変形層５１の上面５１ｃに球状部材４８を埋め込む。これにより、弾性変形層５１が硬化したときに、球状部材４８が弾性変形層５１に固定され、固定された位置に位置決めされる。

次に、図４（ｂ）に示すように、弾性変形層５１の上面にバンプ５２を形成するとともに、貫通孔５１ａ内に導電材５５を形成することにより、バンプ５２と個別電極４５とを導通させる。ここで、弾性変形層５１やバンプ５２は、例えば、これらを形成する材料を滴下するインクジェット法など、公知の方法によって形成することができる。

次に、図４（ｃ）に示すように、弾性変形層５１の上面の貫通孔５１ｂと対向する部分に、接着剤を塗布することによって、固定部材６１を形成する。

次に、図４（ｄ）に示すように、弾性変形層５１及び固定部材６１を形成した、圧電アクチュエータ２２の上方に基板６０を配置する。そして、固定部材６１を硬化させることによって、圧電層４３と基板６０とを互いに固定する。このとき、固定部材６１は、矢印Ａで示すように、硬化することによって収縮する。そして、固定部材６１の収縮力により、圧電アクチュエータ２２と基板６０とが互いに近づく方向に移動する。

これにより、圧電層４３と基板６０との間に配置された弾性変形層５１のバンプ５２が配置された部分は、圧電層４３により上方に押圧されるとともに、基板６０により下方に押圧されて弾性変形する。さらに、弾性変形した弾性変形層５１の当該部分は、弾性変形前の状態に戻ろうとする反力により、矢印Ｂで示すように、バンプ５２を基板６０に配置された接続端子６２に接触させる。これにより、バンプ５２と接続端子６２とが接続される。ただし、このとき、圧電アクチュエータ２２と基板６０とがある程度近づいた段階で、基板６０の下面６０ａが球状部材４８及び補強フレーム４９の上端に接触し、基板６０はそれ以上圧電アクチュエータ２２に近づくことが規制される。そのため、圧電アクチュエータ２２と基板６０とは、基板６０の下面６０ａが補強フレーム４９の上端に接触する位置よりも近づくことはない。

以上に説明した実施の形態によると、圧電アクチュエータ２２を基板６０に接続するときに、圧電アクチュエータ２２と基板６０とを互いに固定する固定部材６１の収縮力により、圧電アクチュエータ２２と基板６０とが互いに近づく方向に移動する。これにより、弾性変形層５１が、圧電アクチュエータ２２と基板６０とに挟まれて弾性変形する。さらに、弾性変形層５１が、弾性変形前の状態に戻ろうとする反力によってバンプ５２が基板６０の接続端子６２に接触する。したがって、バンプ５２と接続端子６２の密着性が高くなり、バンプ５２と接続端子６２とが確実に接続される。

ここで、弾性変形前の弾性変形層５１の厚みのばらつきや、複数のバンプ５２自身の高さのばらつきなどから、通常、複数のバンプ５２の上端の高さにはばらつきがある。しかしながら、本実施の形態では、弾性変形層５１が弾性変形することにより、バンプ５２の上端部の高さのばらつきが吸収される。これにより、複数のバンプ５２と対応する接続端子６２と確実に接続することができる。

また、このとき、固定部材６１が、平面視で、複数の圧力室１０をその全周にわたって取り囲むように配置されているため、複数のバンプ５２及び複数の接続端子６２は、平面視で固定部材６１に囲まれた領域内に配置される。これにより、固定部材６１の収縮力は、弾性変形層５１の各バンプ５２が形成された部分に均等に加わり、弾性変形層５１の各バンプ５２が形成された部分が均等に弾性変形する。したがって、複数のバンプ５２とこれに対応する接続端子６２とが確実に接続される。

さらに、本実施の形態では、固定部材６１は、平面視で複数の圧力室１０をその全周にわたって取り囲むように配置されていることにより、流路ユニット２１の、バンプ５２が形成されている端部側において各圧力室１０に隣接する領域と対向するように配置されている。これにより、各バンプ５２の近傍に固定部材６１が位置することとなる。したがって、固定部材６１が収縮したときに、弾性変形層５１の各バンプ５２が配置された部分を確実に弾性変形させることができる。

また、本実施の形態では、弾性変形層５１が、弾性変形前の状態に戻ろうとする反力によってバンプ５２が基板６０の接続端子６２に接触することで、バンプ５２と接続端子６２とが接続されているため、圧電層４３と基板６０との接合後に、基板６０に外力が加わっても、接続端子６２がバンプ５２から剥がれにくい。

また、本実施の形態では、固定部材６１が硬化時に収縮する接着剤であるので、固定部材６１の形成を簡単に行うことができる。

また、本実施の形態では、弾性変形層５１に貫通孔５１ｂが形成されていることにより、圧電層４３の上面４３ａに弾性変形層５１が配置されていない部分が存在し、圧電層４３の当該部分と基板６０とが固定部材６１によって互いに固定されている。ここで、弾性変形層５１は、圧電層４３に比べて強度が低い。そのため、本実施の形態とは異なり、基板６０が弾性変形層５１のみと固定されているとすると、圧電アクチュエータ２２と基板６０との接合力を大きくするために、固定部材６１を、弾性変形層５１と基板６０の間の広い範囲にわたって配置する必要がある。

これに対して、本実施の形態では、上記のとおり、固定部材６１が、弾性変形層５１よりも強度の高い圧電層４３と、基板６０とを互いに固定しているため、固定部材６１を、圧電アクチュエータ２２と基板６０との間にそれほど広い範囲にわたって配置しなくても、圧電アクチュエータ２２と基板６０との接合強度を大きくすることができる。

また、本実施の形態では、上述したように、複数のバンプ５２や複数の接続端子６２などが、密閉空間Ｓ１、Ｓ２内に配置されている。そのため、装置周辺の湿度が上昇したときなどに、当該空間内に湿気が入り込むことがない。したがって、バンプ５２同士が湿気によって導通してしまう、いわゆるマイグレーションや、湿気によるバンプ５２のサビなどを防止することができる。

また、固化時の接着剤の収縮量は、塗布された接着剤の量などによって変わってくるため、接着剤からなる固定部材６１の収縮量は、一般に制御が難しい。これに対して、本実施の形態では、上述したように、圧電アクチュエータ２２と基板６０とは、基板６０の下面６０ａが球状部材４８及び補強フレーム４９の上端に接触する位置よりも近づくことがない。したがって、固定部材６１が収縮したときに、圧電アクチュエータ２２と基板６０とが近づきすぎて、弾性変形層５１が過度に弾性変形してしまうことを防止することができる。

また、本実施の形態では、弾性変形層５１が圧電層４３の上面４３ａの圧力室１０と対向する部分に配置されている。そして、バンプ５２が弾性変形層５１の上面の圧力室１０と対向する部分に配置されている。したがって、バンプ５２が弾性変形層５１の上面の圧力室１０と対向しない部分に配置されている場合と比較して、インクジェットヘッド３を小型化することができる。

ここで、バンプ５２が弾性変形層５１の上面の圧力室１０と対向する部分に配置されていると、圧電アクチュエータ２２の駆動時に、基板６０の接続端子６２と接続されたバンプ５２が圧電層４２、４３、インク分離層４１の圧力室と対向する部分の変形が阻害されてしまう虞がある。これに対して、本実施の形態では、圧電層４３とバンプ５２との間に弾性係数が低く弾性変形可能な弾性変形層５１が配置されているため、バンプ５２が圧力室１０と対向するように配置されていても、圧電アクチュエータ２２の駆動時に、圧電層４２、４３、インク分離層４１の圧力室と対向する部分の変形が阻害されてしまうのを抑えることができる。さらに、本実施の形態では、バンプ５２が弾性変形層５１の上面の圧力室１０の長手方向における端部と対向する部分に配置されている。したがって、バンプ５２が弾性変形層５１の圧力室１０の中央部と対向する部分に配置されている場合と比較して、圧電アクチュエータ２２の駆動時に圧電層４２、４３、インク分離層４１の変形が阻害されてしまうのを抑えることができる。

また、本実施の形態では、固定部材６１が、平面視で複数の圧力室１０を取り囲むように配置されており、圧力室１０と対向しない。これにより、圧電アクチュエータ２２の駆動時に圧電層４２、４３、インク分離層４１の変形が、固定部材６１によって阻害されてしまうのを抑えることができる。

なお、本実施の形態では、インクジェットヘッド３が本発明に係る液体吐出ヘッド及び構造体に相当する。また、インクジェットヘッド３と基板６０とが接続されることによって形成されたものが、本発明に係る液体吐出装置、及び、基板の接続構造に相当する。また、プレート３１〜３３を合わせたものが、本発明に係る流路部材に相当する。また、球状部材４８及び補強フレーム４９が、本発明に係るスペーサに相当する。圧電層４３の上面４３ａが、本発明に係る圧電アクチュエータの流路ユニットと反対側の面に相当する。また、バンプ５２が、本発明に係るヘッド側接点に相当する。また、また、弾性変形層５１の上面５１ｃが、本発明に係る弾性変形層の圧電アクチュエータと反対側の面に相当する。また、基板６０の下面６０ａが、本発明に係る基板の圧電アクチュエータ側の面に相当する。また、接続端子６２が、本発明に係る基板側接点に相当する。また、上下方向が、本発明に係る液体吐出ヘッドと基板とが対向する方向に相当する。

また、図４（ａ）に示す工程が、本発明に係る弾性変形層形成工程に相当する。また、図４（ｂ）に示す工程が、本発明に係る接点形成工程に相当する。また、図４（ｃ）、（ｄ）に示す工程が、本発明に係る固定工程に相当する。

次に、本実施の形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。ただし、本実施の形態と同様の構成を有するものについては、適宜その説明を省略する。

上述の実施の形態では、圧電アクチュエータ２２と基板６０とを互いに固定する際に、圧電層４３の上面４３ａに固定部材６１を形成した後に、圧電アクチュエータ２２の上方に基板６０を配置したが、これには限られない。一変形例（変形例１）では、図５に示すように、基板６０の圧電アクチュエータ２２との固定部分に貫通孔７１が形成されている。そして、圧電アクチュエータ２２と基板６０とを互いに固定する固定部材６１が、貫通孔７１に入り込んでいる。

そして、この場合には、圧電アクチュエータ２２に基板６０を接続する際に、図４（ｂ）に示すように、弾性変形層５１の上面にバンプ５２を形成するとともに、導電材５５を形成してバンプ５２と個別電極４５とを導通させた後、図６（ａ）に示すように、貫通孔７１が形成された基板６０を弾性変形層５１の上方に配置する。続いて、図６（ｂ）に示すように、インクジェット法により、貫通孔７１の上方から、ＵＶ硬化性接着剤Ｉを滴下することによって、固定部材６１を形成する。次に、図６（ｃ）に示すように、貫通孔７１の上方から紫外線Ｌを照射することによって、固定部材６１を硬化させる。

この場合には、圧電アクチュエータ２２の上方に基板６０を配置してから、固定部材６１を形成する。したがって、上述の実施の形態のように、固定部材６１を形成してから、圧電アクチュエータ２２の上方に基板６０を配置する場合と比べて、圧電アクチュエータ２２と基板６０との位置合わせを容易に行うことができる。

また、この場合には、固定部材６１が基板６０に形成された貫通孔７１に入り込んでいるため、圧電アクチュエータ２２と基板６０との接合強度がさらに高くなる。また、上述したように、貫通孔７１の上方からＵＶ硬化性接着剤Ｉを滴下することにより固定部材６１を形成することができ、貫通孔７１の上方から紫外線Ｌを照射することにより固定部材６１を硬化させるため、固定部材６１の形成、硬化を容易に行うことができる。

また、変形例１の場合、弾性変形層５１の形成、バンプ５２の形成、及び、固定部材６１の形成を全てインクジェット法で行えば、単一の方法を用いてこれらの形成を行うことができる。これにより、プリンタ１の製造が簡単になる。

なお、変形例１では、図６（ａ）に示す工程が、本発明に係る基板配置工程に相当する。また、図６（ｂ）に示す工程が、本発明に係る接着剤形成工程に相当する。また、図６（ｃ）に示す工程が、本発明に係る接着剤硬化工程に相当する。そして、図６（ａ）〜（ｃ）に示す一連の工程が、本発明に係る固定工程に相当する。

ここで、変形例１では、固定部材６１がＵＶ硬化性接着剤によって形成されていたが、固定部材６１は、熱硬化性エポキシ接着剤によって形成されるものなどであってもよい。この場合でも、貫通孔７１の上方から接着剤を滴下することにより、固定部材６１を容易に形成することができる。

また、別の一変形例（変形例２）では、図７（ａ）に示すように、インクジェットヘッド３の、基板６０との固定部分と対向する部分に、プレート３１〜３３、インク分離層４１及び圧電層４２、４３にまたがってこれらの積層方向に延びた孔７６が形成されている。そして、圧電アクチュエータ２２と基板６０とを互いに固定する固定部材６１が、孔７６に入り込んでいる。また、孔７６の下端部は、ノズルプレート３４によって塞がれている。ここで、変形例２では、ノズルプレート３４が透光性の合成樹脂材料からなる。

また、別の一変形例（変形例３）では、ノズルプレート３４が、プレート３１〜３３と同様の金属材料によって構成されている。そして、図７（ｂ）に示すように、インクジェットヘッド３の、基板６０との固定部分と対向する部分に、プレート３１〜３４、インク分離層４１及び圧電層４２、４３にまたがってこれらの積層方向に延びた孔７７が形成されている。そして、圧電アクチュエータ２２と基板６０とを互いに固定する固定部材６１が、貫通孔７７に入り込んでいる。

変形例２、３の場合には、固定部材６１が孔７６、７７に入り込んでいるため、固定部材６１による圧電アクチュエータ２２と基板６０との接合強度をさらに高くすることができる。

また、変形例２の場合には、孔７６の下端がノズルプレート３４によって塞がれている。しかしながら、ノズルプレート３４が透光性の材料によって構成されているため、ノズルプレート３４を通して、孔７６に固定部材６１が正常に配置されているか否かを目視などによって確認することができる。

一方、変形例３の場合には、孔７７が流路ユニット２１を上下に貫通しているため、流路ユニット２１の下方から、孔７７に固定部材６１が正常に形成されているか否かを、目視などによって確認することができる。

また、ノズルプレート３４が合成樹脂材料によって構成されている場合には、耐擦性を向上させるために、ノズルプレート３４の下面に金属材料からなるプレートをさらに接合することがある。変形例２において、このようなプレートを設ける場合には、当該プレートの孔７６と対向する部分に貫通孔をあける等することが好ましい。

また、変形例１の貫通孔７１と、変形例２の孔７６の両方が形成されており、固定部材６１が貫通孔７１と、孔７６の両方に入り込んでいてもよい。あるいは、変形例１の貫通孔７１と、変形例３の孔７７の両方が形成されており、固定部材６１が貫通孔７１と、孔７７の両方に入り込んでいてもよい。これらの場合には、圧電アクチュエータ２２と基板６０との接合強度がさらに高くなる。

また、上述の実施の形態では、弾性変形層５１が非導電性材料からなり、圧電層４３の上面４３ａに配置された個別電極４５と弾性変形層５１の上面に配置されたバンプ５２とが、弾性変形層５１の貫通孔５１ａ内に配置された導電材５５を介して導通していたが、これには限れられない。

別の一変形例（変形例４）では、図８（ａ）に示すように、個別電極４５が配置された圧電層４３の上面４３ａの、各個別電極４５の走査方向右側の端部を含む部分と対向する部分に、それぞれ、導電性両面テープ８１が配置されている。ここで、導電性両面テープ８１とは、ウレタンなどからなる基材に導電性材料を混ぜることによって形成されたものである。そして、各導電性両面テープ８１の上面にバンプ５２が配置されている。これにより、個別電極４５とバンプ５２とが導電性両面テープ８１を介して導通している。

この場合には、導電性両面テープ８１の上面に、バンプ５２を配置するだけで、個別電極４５とバンプ５２とを導通させることができる。なお、変形例３では、導電性両面テープ８１が、本発明に係る弾性変形層に相当する。そして、導電性両面テープ８１によって形成される弾性変形層は、複数の圧力室１０毎に分離されている。

また、別の一変形例（変形例５）では、図８（ｂ）に示すように、圧電層４３の上面４３ａに個別電極４５（図３参照）が配置されていない。そして、個別電極４５が配置されていない圧電層４３の上面４３ａの、各圧力室１０の略中央部と対向する部分に、それぞれ、個別電極４５とほぼ同じ略楕円の平面形状を有する導電性ポリマー層８２が配置されている。そして、各導電性ポリマー層８２の上面に、バンプ５２が配置されている。

この場合には、導電性ポリマー層８２が本発明に係る弾性変形層に相当する。そして、導電性ポリマー層８２によって形成される弾性変形層は、複数の圧力室１０毎に分離されている。また、この場合には、前記圧電層４３との接合面となる導電性ポリマー層８２の下面８２ａが、個別電極として機能する。したがって、圧電層４３の上面４３ａに導電性ポリマー層８２を配置することにより、弾性変形層と個別電極とを一度に形成することができる。また、この場合も、導電性ポリマー層８２の上面にバンプ５２を配置するだけで、導電性ポリマー層８２の下面８２ａによって形成される個別電極とバンプ５２とが電気的に接続される。

ここで、変形例４、５の場合には、圧電層４３の上面の、流路ユニット２１の２つの圧力室１０の列の間の部分と対向する部分に、弾性変形層５１が配置されていないため、球状部材４８（図３参照）を配置することはできない。そこで、変形例４、５では、圧電層４３の上面の、流路ユニット２１の２つの圧力室１０の列の間の部分と対向する部分に、圧電層４３の上面４３ａから上方に突出したスペーサ８３が配置されている。

なお、上述の実施の形態など、圧電層４３の上面の、流路ユニット２１の２つの圧力室１０の列の間の部分と対向する部分に、弾性変形層５１が配置されている場合でも、球状部材４８の代わりにスペーサ８３を配置してもよい。この場合は、弾性変形層５１のスペーサ８３と対向する部分に貫通孔を形成し、スペーサ８３がこの貫通孔を通って弾性変形層５１のまで延びるようにすればよい。

また、上述の実施の形態では、固定部材６１が、平面視で、複数のバンプ５２が配置されている領域をその全周にわたって取り囲むように延びていたが、これには限られない。別の一変形例（変形例６）では、図９に示すように、複数の固定部材８６が、圧電層４３の上面４３ａの、走査方向の左側に配置された複数の圧力室１０の左側の領域と対向する部分、走査方向の右側に配置された複数の圧力室１０の右側の領域と対向する部分、及び、上述の実施の形態において球状部材４８が配置されていた、２列に配列された圧力室１０の列の間の領域と対向する部分に点在している。これにより、複数の固定部材８６が、平面視で、複数のバンプ５２の間に配置されている。

この場合には、複数の固定部材８６の収縮力が、圧電アクチュエータ２２及び基板６０の、複数のバンプ５２が配置された領域と対向する部分に均等に加わるため、弾性変形層５１が均等に弾性変形する。これにより、複数のバンプ５２とこれに対応する接続端子６２とが確実に接続される。

また、この場合にも、固定部材８６は、流路ユニット２１の、各圧力室１０のバンプ５２が形成されている端部側に隣接する領域と対向するように配置されている。これにより、各バンプ５２の近傍に固定部材８６が位置することとなる。したがって、固定部材８６が収縮したときに、弾性変形層５１の各バンプ５２が配置された部分を確実に弾性変形させることができる。

なお、この場合には、上述の実施の形態の密閉空間Ｓ１は形成されない。しかしながら、密閉空間Ｓ２は形成され、複数のバンプ５２や複数の接続端子６２などが、密閉空間Ｓ２内に配置されている。そのため、マイグレーションや、湿気によるバンプ５２のサビなどを防止することができる。

また、上述の実施の形態では、補強フレーム４９が、インク分離層４１の上面に、複数のバンプ５２が配置されている領域をその全周にわたって取り囲むように配置されていたが、これには限られない。例えば、補強フレーム４９が、インク分離層４１の上面の複数のバンプ５２を取り囲む領域に間欠的に配置されているなどしてもよい。この場合、補強フレーム４９は、１つの部材によって構成されいてもよいし、互いに離隔して配置された複数の部材によって形成されていてもよい。

ただし、この場合には、上述の実施の形態の密閉空間Ｓ２は形成されない。しかしながら、固定部材６１が上述の実施の形態と同様に配置されている場合には、密閉空間Ｓ１は形成され、複数のバンプ５２や複数の接続端子６２などが、密閉空間Ｓ２内に配置される。これにより、マイグレーションや、湿気によるバンプ５２のサビなどを防止することができる。

また、以上の例では、密閉空間Ｓ１、Ｓ２の少なくともいずれか一方が形成されていたが、これには限られず、密閉空間Ｓ１、Ｓ２の両方が形成されていなくてもよい。

また、上述の実施の形態では、インクジェットヘッド３を補強するための補強フレーム４９の上端が基板６０に接触していることで、補教フレーム４９が、圧電層４３と基板６０とが近づきすぎて弾性変形層５１が過度に変形してしまうのを防止するためのスペーサとなっていたが、これには限られない。

例えば、図１０（ａ）に示すように、基板６０の下面６０ａに、下方に突出した突起９１が設けられており、突起９１がスペーサとなっていてもよい（変形例７）。あるいは、図１０（ｂ）に示すように、インク分離層４１の上面に補強フレーム４９よりも高さの低い補強フレーム９２が設けられているとともに、基板６０の下面６０ａの補強フレーム９２と対向する部分に、突起９１よりも突出量の小さい突起９３が設けられており、補強フレーム９２と突起９３とを合わせたものがスペーサとなっていてもよい（変形例８）。あるいは、球状部材４８のみがスペーサとなっていてもよい。

さらには、インクジェットヘッド３と基板６との間にスペーサが設けられることにも限られない。例えば、固定部材６１の収縮力がそれほど大きくない場合には、インクジェットヘッド３と基板６０とが互いに近づきすぎるのを防止するための突起は設けられていなくてもよい。

また、上述の実施の形態では、弾性変形層５１が圧電層４３の上面４３ａの、圧力室１０と対向する部分を含めたほぼ全域に配置されており、バンプ５２が、弾性変形層５１の上面の圧力室１０の長手方向における端部と対向するように配置されていたが、これには限られない。

例えば、バンプ５２が、弾性変形層５１の上面の圧力室１０の略中央部と対向する部分に配置されていてもよい。あるいは、圧力室１０が、略円形の平面形状を有しているなど、一方向を長手方向とする形状以外の形状を有しており、バンプ５２が、圧力室１０のいずれかの部分と対向するように弾性変形層５１の上面に配置されていてもよい。

さらには、バンプ５２が、弾性変形層５１の上面の圧力室１０と対向する部分に配置されていることにも限られない。別の一変形例（変形例９）では、図１１に示すように、弾性変形層１０１が、圧電層４３の上面４３ａに、圧力室１０と対向する部分を避けて配置されている。そして、バンプ５２は、弾性変形層１０１の上面１０１ａの、圧力室１０から走査方向の貫通孔１２側にずれた部分に配置されている。

この場合には、弾性変形層１０１及びバンプ５２が、圧力室１０と対向していないので、圧電アクチュエータ２２を駆動したときに、圧電層４２、４３、インク分離層４１などの変形が、弾性変形層１０１やバンプ５２によって阻害されてしまうのを抑えることができる。

ここで、変形例９のように、弾性変形層１０１を、圧電層４３の上面４３ａの圧力室１０と対向する部分を避けて配置する場合には、弾性変形層１０１を、圧力室１０のいずれの部分とも重ならないように配置してもよいし、圧力室１０の一部と重なるように配置してもよい。

なお、変形例９では、弾性変形層１０１が、圧電層４３の上面４３ａに、圧力室１０と対向する部分を避けて配置されていたが、バンプ５２が圧力室１０と対向しないように配置される場合であっても、弾性変形層１０１が圧力室１０と対向する部分に配置されていてもよい。ここで、弾性変形層１０１もバンプ５２と同様、圧電層４２、４３、インク分離層４１などの変形を阻害する虞はある。しかしながら、弾性変形層の弾性係数が小さいため、弾性変形層１０１が、圧電層４２、４３やインク分離層４１の変形をそれほど大きく阻害することはない。

また、上述の実施の形態及び変形例１〜８と、変形例９とからわかるように、バンプ５２は、弾性変形層の上面の圧力室１０と対向する部分、及び、圧力室１０と対向しない部分のいずれに配置することも可能である。これにより、バンプ５２の配置の自由度が高くなる。

また、上述の実施の形態では、弾性変形層５１に貫通孔５１ｂが形成されていることで、圧電層４３の上面４３ａに弾性変形層５１が配置されていない部分があり、固定部材６１が、圧電層４３の上面４３ａと基板６０の下面６０ａとを互いに固定していたが、これには限られない。

別の一変形例（変形例１０）では、図１２に示すように、弾性変形層５１に貫通孔５１ｂ（図３参照）が形成されておらず、弾性変形層５１と基板６０との間に、複数の圧力室１０にまたがって連続的に延びた固定部材１０５の層が配置されており、固定部材１０５により弾性変形層５１と基板６０とが互いに固定されている。

この場合には、弾性変形層５１と基板６０とを互いに固定したときに、固定部材１０５の収縮力により、弾性変形層５１及びその下面に接合された圧電アクチュエータ２２と、基板６０とが互いに近づく方向に移動する。これにより、弾性変形層５１のバンプ５２が配置された部分が、圧電アクチュエータ２２と基板６０とに挟まれて弾性変形する。そして、弾性変形した弾性変形層５１の当該部分は、弾性変形前の状態に戻ろうとする反力によってバンプ５２を接続端子６２に接触させる。

ただし、上述したように、弾性変形層５１は圧電層４３に比べて強度が弱い。そこで、変形例１０では、弾性変形層５１の上面５１ｃに複数の圧力室１０にまたがって連続的に延びた固定部材１０５の層を形成することにより、固定部材１０５により弾性変形層５１と基板６０とが接合される面積を、上述の実施の形態の、固定部材６１により圧電層４３と基板６０とが接合される面積よりも大きくしている。これにより、圧電アクチュエータ２２と基板６０との接合強度を確保することができる。また、変形例１０の場合には、このように、弾性変形層５１の上面５１ｃに固定部材１０５の層を形成すればよいので、固定部材１０５の形成を容易に行うことができる。

また、以上の例では、硬化時に収縮する接着剤によって形成された固定部材６１によって、インクジェットヘッド３と基板６０とを互いに固定したが、これには限られない。接着剤以外の固定部材によって、インクジェットヘッド３と基板６０とを互いに固定してもよい。例えば、固定部材が、収縮させることが可能な合成樹脂材料からなり、互いに積層されたインクジェットヘッド３と基板６０とを上下から挟むように配置された略コの字の部材であってもよい。この場合には、合成樹脂材料からなる固定部材を収縮させることによって、固定部材に上下から挟まれたインクジェットヘッド３と基板６０とが互いに固定される。

さらには、固定部材は、インクジェットヘッド３と基板６０との固定時に収縮するものであることにも限られない。例えば、固定部材がネジなどであって、基板６０がネジにより補強フレーム４９に固定されることによって、インクジェットヘッド３と基板６０とが互いに固定されていてもよい。

これらの場合でも、インクジェットヘッド３と基板６０とが互いに固定されるときに、インクジェットヘッド３と基板６０とが互いに近づこうとする。そして、これにより、弾性変形層５１のバンプ５２が形成された部分が、圧電層４３と基板６０とに挟まれて弾性変形する。

また、上述の実施の形態では、圧電アクチュエータ２２に硬質の基板６０が接続されていたが、これには限られない。圧電アクチュエータ２２にＦＰＣなどの可撓性を有する基板が接続されていてもよい。

また、以上の例では、インクジェットヘッドが、ノズル１５や圧力室１０を含むインク流路を有する流路ユニット２１と、圧力室１０内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータ２２とを備えたものであったが、これには限られない。インクジェットヘッドは、例えば、インク流路内のインクに吐出エネルギーを付与する、圧電アクチュエータ以外のアクチュエータを備えたものであってもよい。

また、以上では、ノズルからインクを吐出することによって印刷を行うプリンタに本発明を適用した例について説明したが、これには限られない。インク以外の液体を吐出する液体吐出装置に本発明を適用することも可能である。さらには、基板と、液体吐出ヘッド以外の構造体とが接続されることによって形成された、接続構造を有する液体吐出以外の装置に、本発明を適用することも可能である。

１ プリンタ
３ インクジェットヘッド
１０ 圧力室
１５ ノズル
４２、４３ 圧電層
４４ 共通電極
４５ 個別電極
４８ 球状部材
４９ 補強フレーム
５１ 弾性変形層
６０ 配線基板
６１ 固定部材
７１ 貫通孔
７６ 貫通孔
８１導電性両面テープ
８２ 導電性ポリマー
８３ スペーサ
８６ 固定部材
９１ 突起
９２ 補強フレーム
９３ 突起
１０１ 固定部材
１０５ 弾性変形層

Claims (26)

1. 複数のノズル、及び、前記複数のノズルに連通した複数の圧力室を含む液体流路を有する流路ユニットと、前記複数の圧力室を覆うように前記流路ユニットに積層された圧電層、及び、前記複数の圧力室と対向する複数の個別電極を有する圧電アクチュエータと、を備えた液体吐出ヘッドと、
   前記圧電アクチュエータの前記流路ユニットと反対側の面に配置された弾性変形層と、
   前記弾性変形層の前記圧電アクチュエータと反対側の面に配置され、前記複数の個別電極と導通した複数のヘッド側接点と、
   前記液体吐出ヘッドの前記圧電アクチュエータ側の面と対向して配置された基板と、
   前記基板の前記液体吐出ヘッド側の面に、前記複数のヘッド側接点と対向して配置された複数の基板側接点と、
   前記液体吐出ヘッドと前記基板とを互いに固定する固定部材と、を備え、
   前記弾性変形層は、前記液体吐出ヘッドと前記基板とが前記固定部材で固定されたことによって、前記ヘッド側接点が配置された部分が、前記圧電アクチュエータと前記基板とに挟まれて弾性変形しているとともに、弾性変形前の状態に戻ろうとする力によって前記複数のヘッド側接点を前記基板側接点に接触させており、
   前記基板は、貫通孔を有し、
   前記固定部材は、樹脂材料からなり、前記液体吐出ヘッドと前記基板との間に配置され、前記液滴吐出ヘッドの少なくとも一部と前記基板の少なくとも一部とに接触し、硬化時に収縮した接着剤であり、前記貫通孔に入り込んでいることを特徴とする液体吐出装置。
2. 前記固定部材は、光硬化性の接着剤であることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
3. 複数のノズル、及び、前記複数のノズルに連通した複数の圧力室を含む液体流路を有する流路ユニットと、前記複数の圧力室を覆うように前記流路ユニットに積層された圧電層、及び、前記複数の圧力室と対向する複数の個別電極を有する圧電アクチュエータと、を備えた液体吐出ヘッドと、
   前記圧電アクチュエータの前記流路ユニットと反対側の面に配置された弾性変形層と、
   前記弾性変形層の前記圧電アクチュエータと反対側の面に配置され、前記複数の個別電極と導通した複数のヘッド側接点と、
   前記液体吐出ヘッドの前記圧電アクチュエータ側の面と対向して配置された基板と、
   前記基板の前記液体吐出ヘッド側の面に、前記複数のヘッド側接点と対向して配置された複数の基板側接点と、
   前記液体吐出ヘッドと前記基板とを互いに固定する固定部材と、を備え、
   前記弾性変形層は、前記液体吐出ヘッドと前記基板とが前記固定部材で固定されたことによって、前記ヘッド側接点が配置された部分が、前記圧電アクチュエータと前記基板とに挟まれて弾性変形しているとともに、弾性変形前の状態に戻ろうとする力によって前記複数のヘッド側接点を前記基板側接点に接触させており、
   前記液体吐出ヘッドは、前記基板側の面において開口した孔を有し、
   前記固定部材は、樹脂材料からなり、前記液体吐出ヘッドと前記基板との間に配置され、前記液滴吐出ヘッドの少なくとも一部と前記基板の少なくとも一部とに接触し、硬化時に収縮した接着剤であり、前記孔に入り込んでいることを特徴とする液体吐出装置。
4. 前記流路ユニットが、
   前記複数のノズルが形成された、透光性の合成樹脂材料からなるノズルプレートと、
   前記液体流路の前記複数のノズル以外の部分が形成されており、前記ノズルプレートの前記圧電アクチュエータ側の面に積層された流路部材と、を備え、
   前記孔が、前記流路部材を貫通しているとともに、前記基板と反対側の端が前記ノズルプレートによって塞がれていることを特徴とする請求項３に記載の液体吐出装置。
5. 前記流路ユニットが、
   前記複数のノズルが形成された、金属材料からなるノズルプレートと、
   前記液体流路の前記複数のノズル以外の部分が形成されており、前記ノズルプレートの前記圧電アクチュエータ側の面に積層された流路部材と、を備え、
   前記孔が、前記ノズルプレート、及び、前記流路部材を貫通していることを特徴とする請求項３に記載の液体吐出装置。
6. 複数のノズル、及び、前記複数のノズルに連通した複数の圧力室を含む液体流路を有する流路ユニットと、前記複数の圧力室を覆うように前記流路ユニットに積層された圧電層、及び、前記複数の圧力室と対向する複数の個別電極を有する圧電アクチュエータと、を備えた液体吐出ヘッドと、
   前記圧電アクチュエータの前記流路ユニットと反対側の面に配置された弾性変形層と、
   前記弾性変形層の前記圧電アクチュエータと反対側の面に配置され、前記複数の個別電極と導通した複数のヘッド側接点と、
   前記液体吐出ヘッドの前記圧電アクチュエータ側の面と対向して配置された基板と、
   前記基板の前記液体吐出ヘッド側の面に、前記複数のヘッド側接点と対向して配置された複数の基板側接点と、
   前記液体吐出ヘッドと前記基板とを互いに固定する固定部材と、を備え、
   前記弾性変形層は、前記液体吐出ヘッドと前記基板とが前記固定部材で固定されたことによって、前記ヘッド側接点が配置された部分が、前記圧電アクチュエータと前記基板とに挟まれて弾性変形しているとともに、弾性変形前の状態に戻ろうとする力によって前記複数のヘッド側接点を前記基板側接点に接触させており、
   前記弾性変形層が、前記圧電層の前記流路ユニットと反対側の面に、前記複数の圧力室と対向して配置されており、
   前記複数のヘッド側接点の全体が、前記弾性変形層の前記圧電アクチュエータと反対側の面の前記複数の圧力室と対向する部分に配置されていることを特徴とする液体吐出装置。
7. 前記複数の圧力室が、前記液体吐出ヘッドと前記基板とが対向する方向から見て、所定の一方向を長手方向とする形状を有するものであって、
   前記複数のヘッド側接点が、前記弾性変形層の前記圧電アクチュエータと反対側の面の、前記複数の圧力室の長手方向における端部と対向する部分に配置されていることを特徴とする請求項６に記載の液体吐出装置。
8. 前記固定部材は、
   前記圧電層と前記基板との間に配置され、前記圧電層の少なくとも一部と前記基板の少なくとも一部とに接触し、硬化時に収縮した接着剤であり、
   前記液体吐出ヘッドと前記基板とが対向する方向から見て、前記流路ユニットの、前記端部側において前記圧力室に隣接する領域と対向して配置されていることを特徴とする請求項７に記載の液体吐出装置。
9. 前記弾性変形層が、前記圧電層の前記流路ユニットと反対側の面に、前記複数の圧力室と対向する部分を避けて配置されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の液体吐出装置。
10. 前記液体吐出ヘッドと前記基板との間にスペーサが配置されていることを特徴とする請求項８に記載の液体吐出装置。
11. 複数のノズル、及び、前記複数のノズルに連通した複数の圧力室を含む液体流路を有する流路ユニットと、前記複数の圧力室を覆うように前記流路ユニットに積層された圧電層、及び、前記複数の圧力室と対向する複数の個別電極を有する圧電アクチュエータと、を備えた液体吐出ヘッドと、
    前記圧電アクチュエータの前記流路ユニットと反対側の面に配置された弾性変形層と、
    前記弾性変形層の前記圧電アクチュエータと反対側の面に配置され、前記複数の個別電極と導通した複数のヘッド側接点と、
    前記液体吐出ヘッドの前記圧電アクチュエータ側の面と対向して配置された基板と、
    前記基板の前記液体吐出ヘッド側の面に、前記複数のヘッド側接点と対向して配置された複数の基板側接点と、
    前記液体吐出ヘッドと前記基板とを互いに固定する固定部材と、を備え、
    前記弾性変形層は、前記液体吐出ヘッドと前記基板とが前記固定部材で固定されたことによって、前記ヘッド側接点が配置された部分が、前記圧電アクチュエータと前記基板とに挟まれて弾性変形しているとともに、弾性変形前の状態に戻ろうとする力によって前記複数のヘッド側接点を前記基板側接点に接触させており、
    前記固定部材は、樹脂材料からなり、硬化時に収縮したものであり、
    前記液体吐出ヘッドと前記基板との間にスペーサが配置されていることを特徴とする液体吐出装置。
12. 前記スペーサが、前記流路ユニットの前記圧電アクチュエータ側の面に前記圧電アクチュエータを取り囲むように配置されており、前記流路ユニットと反対側の端が前記基板に接触した、前記液体吐出ヘッドの剛性を補強するためのフレームであることを特徴とする請求項１０又は１１に記載の液体吐出装置。
13. 前記スペーサが、前記液体吐出ヘッドと前記基板とが対向する方向から見て、前記複数のヘッド側接点が配置されている領域をその全周にわたって取り囲んでおり、
    前記液体吐出ヘッドと、前記基板と、前記スペーサとによって囲まれた空間が密閉空間になっていることを特徴とする請求項１２に記載の液体吐出装置。
14. 複数の前記スペーサが、前記圧電層と前記基板との間に、前記流路ユニットの前記圧力室が形成されていない領域と対向して配置されていることを特徴とする請求項１０〜１３のいずれかに記載の液体吐出装置。
15. 複数の前記スペーサが、前記弾性変形層の前記圧電アクチュエータと反対側の面に埋め込まれているとともに、前記弾性変形層の前記圧電アクチュエータと反対側の面から前記基板側に突出した球状の部材であることを特徴とする請求項１４に記載の液体吐出装置。
16. 前記固定部材が、液体吐出ヘッドと前記基板とが対向する方向から見て、前記複数のヘッド側接点が配置されている領域をその全周にわたって取り囲んでいることを特徴とする請求項８に記載の液体吐出装置。
17. 複数のノズル、及び、前記複数のノズルに連通した複数の圧力室を含む液体流路を有する流路ユニットと、前記複数の圧力室を覆うように前記流路ユニットに積層された圧電層、及び、前記複数の圧力室と対向する複数の個別電極を有する圧電アクチュエータと、を備えた液体吐出ヘッドと、
    前記圧電アクチュエータの前記流路ユニットと反対側の面に配置された弾性変形層と、
    前記弾性変形層の前記圧電アクチュエータと反対側の面に配置され、前記複数の個別電極と導通した複数のヘッド側接点と、
    前記液体吐出ヘッドの前記圧電アクチュエータ側の面と対向して配置された基板と、
    前記基板の前記液体吐出ヘッド側の面に、前記複数のヘッド側接点と対向して配置された複数の基板側接点と、
    前記液体吐出ヘッドと前記基板とを互いに固定する固定部材と、を備え、
    前記弾性変形層は、前記液体吐出ヘッドと前記基板とが前記固定部材で固定されたことによって、前記ヘッド側接点が配置された部分が、前記圧電アクチュエータと前記基板とに挟まれて弾性変形しているとともに、弾性変形前の状態に戻ろうとする力によって前記複数のヘッド側接点を前記基板側接点に接触させており、
    前記固定部材は、樹脂材料からなり、前記液体吐出ヘッドと前記基板との間に配置され、前記液滴吐出ヘッドの少なくとも一部と前記基板の少なくとも一部とに接触し、硬化時に収縮した接着剤であり、
    前記固定部材が、液体吐出ヘッドと前記基板とが対向する方向から見て、前記複数のヘッド側接点が配置されている領域をその全周にわたって取り囲んでいることを特徴とする液体吐出装置。
18. 前記液体吐出ヘッドと、前記基板と、前記固定部材とによって囲まれた空間が密閉空間になっていることを特徴とする請求項１６又は１７に記載の液体吐出装置。
19. 複数の前記固定部材が、液体吐出ヘッドと前記基板とが対向する方向から見て、前記複数のヘッド側接点の間に位置していることを特徴とする請求項１〜５、８のいずれかに記載の液体吐出装置。
20. 前記圧電層の前記流路ユニットと反対側の面に、前記弾性変形層が配置されていない部分があり、
    前記圧電層の前記流路ユニットと反対側の面の前記弾性変形層が配置されていない部分と、前記基板とが、前記固定部材によって互いに固定されていることを特徴とする請求項１〜５、８のいずれかに記載の液体吐出装置。
21. 前記弾性変形層と前記基板との間に、前記複数の圧力室にまたがって連続的に延びた前記固定部材の層が配置されていることを特徴とする請求項８に記載の液体吐出装置。
22. 複数のノズル、及び、前記複数のノズルに連通した複数の圧力室を含む液体流路を有する流路ユニットと、前記複数の圧力室を覆うように前記流路ユニットに積層された圧電層、及び、前記複数の圧力室と対向する複数の個別電極を有する圧電アクチュエータと、を備えた液体吐出ヘッドと、
    前記圧電アクチュエータの前記流路ユニットと反対側の面に配置された弾性変形層と、
    前記弾性変形層の前記圧電アクチュエータと反対側の面に配置され、前記複数の個別電極と導通した複数のヘッド側接点と、
    前記液体吐出ヘッドの前記圧電アクチュエータ側の面と対向して配置された基板と、
    前記基板の前記液体吐出ヘッド側の面に、前記複数のヘッド側接点と対向して配置された複数の基板側接点と、
    前記液体吐出ヘッドと前記基板とを互いに固定する固定部材と、を備え、
    前記弾性変形層は、前記液体吐出ヘッドと前記基板とが前記固定部材で固定されたことによって、前記ヘッド側接点が配置された部分が、前記圧電アクチュエータと前記基板とに挟まれて弾性変形しているとともに、弾性変形前の状態に戻ろうとする力によって前記複数のヘッド側接点を前記基板側接点に接触させており、
    前記固定部材は、樹脂材料からなり、前記液体吐出ヘッドと前記基板との間に配置され、前記液滴吐出ヘッドの少なくとも一部と前記基板の少なくとも一部とに接触し、硬化時に収縮した接着剤であり、
    前記弾性変形層と前記基板との間に、前記複数の圧力室にまたがって連続的に延びた前記固定部材の層が配置されていることを特徴とする液体吐出装置。
23. 複数のノズル、及び、前記複数のノズルに連通した複数の圧力室を含む液体流路を有する流路ユニットと、前記複数の圧力室を覆うように前記流路ユニットに積層された圧電層、及び、前記複数の圧力室と対向する複数の個別電極を有する圧電アクチュエータと、を備えた液体吐出ヘッドと、
    前記圧電アクチュエータの前記流路ユニットと反対側の面に配置された弾性変形層と、
    前記弾性変形層の前記圧電アクチュエータと反対側の面に配置され、前記複数の個別電極と導通した複数のヘッド側接点と、
    前記液体吐出ヘッドの前記圧電アクチュエータ側の面と対向して配置された基板と、
    前記基板の前記液体吐出ヘッド側の面に、前記複数のヘッド側接点と対向して配置された複数の基板側接点と、
    前記液体吐出ヘッドと前記基板とを互いに固定する固定部材と、を備え、
    前記弾性変形層は、前記液体吐出ヘッドと前記基板とが前記固定部材で固定されたことによって、前記ヘッド側接点が配置された部分が、前記圧電アクチュエータと前記基板とに挟まれて弾性変形しているとともに、弾性変形前の状態に戻ろうとする力によって前記複数のヘッド側接点を前記基板側接点に接触させており、
    前記弾性変形層が、導電性材料によって構成されているとともに、前記複数のヘッド側接点毎に分離されており、
    前記複数のヘッド側接点が、前記弾性変形層を介して前記液体吐出ヘッドと導通していることを特徴とする液体吐出装置。
24. 前記弾性変形層が、導電性ポリマーによって構成されており、
    前記導電性ポリマーの前記圧電層との接合面が、前記個別電極を兼ねていることを特徴とする請求項２３に記載の液体吐出装置。
25. 複数のノズル、及び、前記複数のノズルに連通した複数の圧力室を含む液体流路を有する流路ユニットと、前記複数の圧力室を覆うように前記流路ユニットに積層された圧電層、及び、前記圧電層の流路ユニットと反対側の面に配置されており、前記複数の圧力室と対向する複数の個別電極を有する圧電アクチュエータと、を備えた液体吐出ヘッドと、
    前記液体吐出ヘッドの前記圧電アクチュエータ側の面と対向して配置された基板と、を備え、
    前記基板の前記液体吐出ヘッド側の面に、前記複数の個別電極に対応する複数の基板側接点が配置された液体吐出装置の製造方法であって、
    前記圧電アクチュエータの前記流路ユニットと反対側の面に弾性変形層を形成する弾性変形層形成工程と、
    前記弾性変形層の前記基板側の面の前記基板側接点と対向する部分に、前記複数の個別電極と導通した複数のヘッド側接点を形成するヘッド側接点形成工程と、
    前記液体吐出ヘッドと前記基板とを固定部材で互いに固定する固定工程と、を備え、
    前記固定工程において、前記液体吐出ヘッドと前記基板とを前記固定部材で互いに固定することによって、前記弾性変形層の前記ヘッド側接点が配置された部分を、前記圧電アクチュエータと前記基板とで挟んで弾性変形させるとともに、前記弾性変形層が弾性変形前の状態に戻ろうとする力によって前記ヘッド側接点を前記基板側接点に接触させ、
    前記基板は、貫通孔を有するものであって、
    前記固定部材は、硬化時に収縮する接着剤によって形成されたものであって、
    前記固定工程が、
    前記基板を、前記液体吐出ヘッドの前記圧電アクチュエータ側の面と対向するように配置する基板配置工程と、
    インクジェット法によって、前記基板の前記液体吐出ヘッドと反対側から前記貫通孔に向けて前記接着剤を滴下することで、前記液体吐出ヘッドと前記基板との間に前記接着剤を形成する接着剤形成工程と、
    前記接着剤を硬化させる接着剤硬化工程と、を備えていることを特徴とする液体吐出装置の製造方法。
26. 前記弾性変形層形成工程において、インクジェット法によって前記弾性変形層を形成し、
    前記ヘッド側接点形成工程において、インクジェット法によって前記ヘッド側接点を形成することを特徴とする請求項２５に記載の液体吐出装置の製造方法。

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