JP5187141B2 - フレキシブル配線部材の製造方法、フレキシブル配線部材、圧電アクチュエータユニットの製造方法、及び、圧電アクチュエータユニット - Google Patents

Description

本発明は、フレキシブル層に配線が形成されることによって構成されたフレキシブル配線部材の製造方法、及び配線部材、並びに、このようなフレキシブル配線部材を有する圧電アクチュエータユニットの製造方法、及び圧電アクチュエータユニットに関する。

特許文献１には、ベースフィルムの表面に導電パターンが形成されたフレキシブルプリント基板における端子部と対向する部分を他の部分よりも厚みの小さい薄肉部とし、さらに、フレキシブルプリント基板を、端子部が窪みと対向するように、雌金型上に配置するとともに、雄金型のパンチが端子部と対向するように配置した状態で、雄金型によりフレキシブルプリント基板を雌金型と反対側から押圧することにより、ベースフィルムの端子部と対向する部分を端子部側に突出させて凸部とすることが記載されている。

特開２００６−７６６９号公報

しかしながら、特許文献１に記載されているようにして、ベースフィルムに凸部を形成すると、ベースフィルムの凸部が形成された部分と凸部に隣接する平坦な部分との間の部分に大きな荷重が加わって急激に折れ曲がることとなり、端子部と導電パターンとの間に亀裂が入ってしまったり、断裂してしまったりする虞がある。

本発明の目的は、接続端子と対向する部分が他の部分よりも突出しているとともに、接続端子と配線との間に亀裂や断裂が生じないようなフレキシブル配線部材の製造方法、及びフレキシブル配線部材、並びに、このようなフレキシブル配線部材を有する圧電アクチュエータユニットの製造方法、及び圧電アクチュエータユニットを提供することである。

第１の発明に係るフレキシブル配線部材の製造方法は、絶縁性のフレキシブル層と、前記フレキシブル層の一表面に形成された配線と、前記フレキシブル層の一表面に形成されており、前記配線に接続された接続端子とを有するフレキシブル配線部材の製造方法であって、前記フレキシブル層の前記一表面と反対側の面における、前記接続端子が形成される部分と対向する部分に、加熱されることによって収縮硬化する熱収縮硬化材を接着する熱収縮硬化材接着工程と、前記フレキシブル層に接着された前記熱収縮硬化材を加熱して収縮硬化させることにより、前記フレキシブル層の前記接続端子が形成された部分に、前記一表面側に隆起した隆起部を形成する隆起部形成工程とを備えていることを特徴とするものである。

これによると、フレキシブル層の一表面と反対側の面における接続端子と対向する部分に接着した熱収縮硬化材を加熱して熱収縮硬化材を収縮硬化させることにより、フレキシブル層の接続端子が形成された部分に、フレキシブル層の一表面側に隆起した隆起部が形成された場合、フレキシブル層の一表面は、隆起部が形成された部分と隆起部に隣接する平坦な部分とが滑らかにつながっているため、隆起部上に形成された接続端子、あるいは接続端子と配線との間に亀裂や断裂が生じにくい。

第２の発明に係るフレキシブル配線部材の製造方法は、第１の発明に係るフレキシブル配線部材の製造方法法であって、前記熱収縮硬化材接着工程の前に、前記フレキシブル層の前記一表面と反対側の面における前記熱収縮硬化材が接着されることとなる部分の一部に第１凹部を形成する第１凹部形成工程をさらに備え、前記熱収縮硬化材接着工程において、前記第１凹部と前記熱収縮硬化材との間に空間ができるように、前記熱収縮硬化材を接着することを特徴とするものである。

これによると、熱収縮硬化材を加熱したときに、フレキシブル層が、熱収縮硬化材と第１凹部との間に形成された空間を埋めるように変形するため、フレキシブル層が一表面側に隆起しやすくなり、隆起部の高さを高くすることができる。

第３の発明に係るフレキシブル配線部材の製造方法は、第１又は第２の発明に係るフレキシブル配線部材の製造方法であって、前記隆起部形成工程の前に、前記フレキシブル層の前記一表面に、前記接続端子が形成される部分を挟むように、１対の第２凹部を形成する第２凹部形成工程をさらに備えていることを特徴とするものである。

これによると、熱収縮硬化材を加熱したときに、フレキシブル層が、第２凹部を埋めるように変形するため、フレキシブル層が一表面側に隆起しやすくなり、隆起部の高さをさらに高くすることができる。

第４の発明に係るフレキシブル配線部材の製造方法は、第１〜第３のいずれかの発明に係るフレキシブル配線部材の製造方法であって、前記熱収縮硬化材接着工程の前に、前記フレキシブル層の前記一表面と反対側の面における、前記熱収縮硬化材がそれぞれ接着される部分の全域に、前記熱収縮硬化材の厚みとほぼ同じ深さを有する第３凹部を形成する第３凹部形成工程をさらに備えており、前記熱収縮硬化材接着工程において、前記第３凹部の底面に前記複数の熱収縮硬化材を接着することを特徴とするものである。

これによると、熱収縮硬化材がその厚みと同じ深さを有する第３凹部の底面に配置されているため、フレキシブル層の一表面と反対側の面が平坦となり、フレキシブル配線が、汎用性のある使い勝手のよいものとなる。

第５の発明に係るフレキシブル配線部材の製造方法は、第１〜第４のいずれかの発明に係るフレキシブル配線部材の製造方法であって、前記接続端子は、前記フレキシブル層の前記一表面と直交する方向から見て、前記熱収縮硬化材よりも外側まで延びていることを特徴とするものである。

これによると、フレキシブル層の一表面における隆起部が形成された部分と隆起部に隣接する部分とにまたがった滑らかな曲面上に接続端子が形成されるので、接続端子に亀裂や断裂が生じてしまうのを防止することができる。また、比較的大きな接続端子と接続端子よりも細い配線とがフレキシブル層の平坦な部分において接続されることとなるので、接続端子と配線の間に亀裂や断裂が生じてしまうのを防止することができる。

第６の発明に係るフレキシブル配線部材は、フレキシブル層と、前記フレキシブル層の一表面に形成された配線と、前記フレキシブル層の前記一表面に形成されており、前記配線と接続された接続端子とを備えており、前記フレキシブル層の前記接続端子が形成された部分に、前記一表面側に隆起した隆起部が形成されており、前記フレキシブル層の前記一表面は、前記隆起部が形成された部分と前記隆起部に隣接する平坦な部分とが滑らかにつながっており、前記フレキシブル層の前記一表面と反対側の面における前記接続端子と対向する部分に接着された、加熱されることによって収縮硬化した熱収縮硬化材をさらに備えており、前記隆起部は、前記熱収縮硬化材が収縮硬化したことにより、前記フレキシブル層が隆起して形成されたものであることを特徴とするものである。

これによると、フレキシブル層の一表面は、隆起部が形成された部分と隆起部に隣接する平坦な部分とが滑らかにつながっているため、隆起部上に形成された接続端子、あるいは接続端子と配線との間に亀裂や断裂が生じにくい。

また、これによると、隆起部を容易に形成することができる。

第７の発明に係るフレキシブル配線部材は、第６の発明に係るフレキシブル配線部材であって、前記接続端子は、前記フレキシブル層の前記一表面と直交する方向から見て、前記熱収縮硬化材よりも外側まで延びていることを特徴とするものである。

これによると、フレキシブル層の一表面における隆起部が形成された部分と隆起部に隣接する部分とにまたがった滑らかな曲面上に接続端子が形成されるので、接続端子に亀裂や断裂が生じてしまうのを防止することができる。また、比較的大きな接続端子と接続端子よりも細い配線とがフレキシブル層の平坦な部分において接続されることとなるので、接続端子と配線の間に亀裂や断裂が生じてしまうのを防止することができる。

第８の発明に係る圧電アクチュエータユニットの製造方法は、活性部を有する圧電層と、前記圧電層に設けられた、前記活性部に電界を発生させるための電極とを有する圧電アクチュエータと、前記圧電層と対向するように配置された、絶縁性を有するフレキシブル層と、前記フレキシブル層の前記圧電層との対向面に形成されており、前記電極に接続される配線と、前記フレキシブル層の前記圧電層との対向面に形成されており、前記配線に接続された第１接続端子とを有するフレキシブル配線部材とを備えており、前記圧電層の前記フレキシブル層との対向面には、前記複数の電極に接続された第２接続端子が形成されており、前記第１接続端子と前記第２接続端子とが接続されることによって、前記配線と前記電極とが接続された圧電アクチュエータユニットの製造方法であって、前記フレキシブル層の前記圧電層と反対側の面における、前記第１接続端子が形成される部分と対向する部分に、加熱されることによって収縮硬化する熱収縮硬化材を接着する熱収縮硬化材接着工程と、前記熱収縮硬化材を加熱して収縮硬化させることにより、前記フレキシブル層における前記第１接続端子が形成されている部分に、前記圧電層との対向面側に隆起した隆起部を形成する隆起部形成工程と、前記第１接続端子と前記第２接続端子とを電気的に接続するとともに前記フレキシブル配線部材と前記圧電層とを接合する接合工程とを備えていることを特徴とするものである。

これによると、フレキシブル層の圧電層と反対側の面における接続端子と対向する部分に接着した熱収縮硬化材を加熱して熱収縮硬化材を収縮硬化させることにより、フレキシブル層の接続端子が形成された部分に、フレキシブル層の圧電層との対向面側に隆起した隆起部が形成された場合、フレキシブル層の圧電層との対向面は、隆起部が形成された部分と隆起部に隣接する平坦な部分とが滑らかにつながっているため、隆起部上に形成された第２接続端子、あるいは第２接続端子と配線との間に亀裂や断裂が生じにくい。

また、フレキシブル層に隆起部が形成されているので、圧電層とフレキシブル層との間に隙間ができ、フレキシブル層が圧電層に接触してしまうのを防止することができる。

第９の発明に係る圧電アクチュエータユニットの製造方法は、第８の発明に係る圧電アクチュエータユニットの製造方法であって、前記隆起部が形成される前の前記フレキシブル配線部材を、前記圧電層と反対側から前記圧電層に向かって押圧しながら加熱することにより、前記隆起部形成工程と前記接合工程とを同時に行うことを特徴とするものである。

これによると、隆起部の形成と、フレキシブル層と圧電層との形成とを同時に行うことができるので製造工程が簡略化される。

第１０の発明に係る圧電アクチュエータユニットの製造方法は、第９の発明に係る圧電アクチュエータユニットの製造方法であって、前記隆起部形成工程及び前記接合工程の前に、前記第１接続端子又は前記第２接続端子にバンプを形成するバンプ形成工程をさらに備えていることを特徴とするものである。

これによると、フレキシブル層を圧電層に接合する過程で、両者が接合される部分以外の部分において接触してしまうのを確実に防止することができる。

第１１の発明に係る圧電アクチュエータユニットの製造方法は、第１０の発明に係る圧電アクチュエータユニットの製造方法であって、前記接合工程の前に、前記フレキシブル層の前記圧電層との対向面における少なくとも前記接続端子が形成された部分に熱硬化性接着剤層を形成する接着剤層形成工程をさらに備えており、前記接合工程において、前記フレキシブル層を前記圧電層と反対側から前記圧電層に向かって押圧しながら加熱することにより、前記バンプに前記接着剤層を貫通させて、前記バンプと前記第１接続端子とを接続するととともに、前記バンプにより押し出された接着剤層により前記圧電層と前記フレキシブル層とを接合することを特徴とするものである。

これによると、フレキシブル層が圧電層に接触してしまうのが防止されているので、フレキシブル層に形成された接着剤層が圧電層に付着し、加熱後、接着剤層によりフレキシブル層が圧電層に接合されて変形が元に戻らなくなったり、変形が元に戻った場合でも圧電層に接着剤層が残留したりしてしまうのを防止することができる。

第１２の発明に係る圧電アクチュエータユニットの製造方法は、第８〜第１１のいずれかの発明に係る圧電アクチュエータユニットの製造方法であって、前記熱収縮硬化材接着工程の前に、前記フレキシブル層の前記圧電層と反対側の面における前記熱収縮硬化材が接着されることとなる部分の一部に第１凹部を形成する第１凹部形成工程をさらに備え、
前記熱収縮硬化材接着工程において、前記第１凹部と前記熱収縮硬化材との間に空間ができるように、前記熱収縮硬化材を接着することを特徴とするものである。

これによると、熱収縮硬化材を加熱したときに、フレキシブル層が、熱収縮硬化材と第１凹部との間に形成された空間を埋めるように変形するため、フレキシブル層が圧電層の対向面側に隆起しやすくなり、隆起部の高さを高くすることができる。

第１３の発明に係る圧電アクチュエータユニットの製造方法は、第８〜第１２のいずれかの発明に係る圧電アクチュエータユニットの製造方法であって、前記隆起部形成工程の前に、前記フレキシブル層の前記圧電層との対向面に、前記接続端子が形成される部分を挟むように、１対の第２凹部を形成する第２凹部形成工程をさらに備えていることを特徴とするものである。

これによると、熱収縮硬化材を加熱したときに、フレキシブル層が、第２凹部を埋めるように変形するため、フレキシブル層が圧電層との対向面側に隆起しやすくなり、隆起部の高さをさらに高くすることができる。

第１４の発明に係る圧電アクチュエータユニットの製造方法は、第８〜第１３のいずれかの発明に係る圧電アクチュエータユニットの製造方法であって、前記熱収縮硬化材接着工程の前に、前記フレキシブル層の前記圧電層と反対側の面における、前記熱収縮硬化材がそれぞれ接着される部分の全域に、前記熱収縮硬化材の厚みとほぼ同じ深さを有する第３凹部を形成する第３凹部形成工程をさらに備えており、前記熱収縮硬化材接着工程において、前記第３凹部の底面に前記複数の熱収縮硬化材を接着することを特徴とするものである。

これによると、熱収縮硬化材がその厚みと同じ深さを有する第３凹部の底面に配置されているため、フレキシブル層の一表面と反対側の面が平坦となり、フレキシブル配線が、汎用性のある使い勝手のよいものとなる。

第１５の発明に係る圧電アクチュエータユニットの製造方法は、第８〜第１４のいずれかの発明に係る圧電アクチュエータユニットの製造方法であって、前記接続端子は、前記圧電層と前記フレキシブル層との積層方向と直交する方向から見て、前記熱収縮硬化材よりも外側まで延びていることを特徴とするものである。

これによると、フレキシブル層の一表面における隆起部が形成された部分と隆起部に隣接する部分とにまたがった滑らかな曲面上に接続端子が形成されるので、接続端子に亀裂や断裂が生じてしまうのを防止することができる。また、比較的大きな接続端子と接続端子よりも細い配線とがフレキシブル層の平坦な部分において接続されることとなるので、接続端子と配線の間に亀裂や断裂が生じてしまうのを防止することができる。

第１６の発明に係る圧電アクチュエータユニットの製造方法は、第８〜第１５のいずれかの発明に係る圧電アクチュエータユニットの製造方法であって、前記圧電アクチュエータが、前記圧電層の前記フレキシブル層の反対側の面に接合された振動板をさらに備えたものであることを特徴とするものである。

これによると、活性部に電界を発生させることにより圧電層をその面方向に変形させることにより、圧電層及び振動板をその厚み方向に変形させる（いわゆるユニモルフ変形する）圧電アクチュエータにおいては、フレキシブル層が圧電層に接触してしまうとその駆動特性が特に大きく変動してしまうが、フレキシブル層が圧電層に接触してしまうのが防止されているため、圧電アクチュエータの駆動特性が変動してしまうのを防止することができる。

第１７の発明に係る圧電アクチュエータユニットは、活性部を有する圧電層と、前記圧電層に設けられた、前記活性部に電界を発生させるための電極とを有する圧電アクチュエータと、前記圧電層と対向するように配置された、絶縁性を有するフレキシブル層と、前記フレキシブル層の前記圧電層との対向面に形成されており、前記電極に接続される配線と、前記フレキシブル層の前記圧電層との対向面に形成されており、前記配線に接続された第１接続端子とを有するフレキシブル配線部材とを備えており、前記圧電層の前記フレキシブル層との対向面には、前記電極に接続されているとともに前記第１接続端子に接続された第２接続端子が形成されており、前記フレキシブル層における前記第１接続端子が形成されている部分には、前記圧電層との対向面側に隆起した隆起部が形成されており、前記フレキシブル層の前記一表面は、前記隆起部が形成された部分と前記隆起部に隣接する平坦な部分とが滑らかにつながっており、前記フレキシブル層の前記圧電層と反対側の面における前記接続端子と対向する部分に接着された、加熱されることによって収縮硬化した複数の熱収縮硬化材をさらに備えており、前記隆起部は、前記熱収縮硬化材が収縮硬化したことにより、前記フレキシブル層が隆起して形成されたものであることを特徴とするものである。

これによると、フレキシブル層の圧電層との対向面は、隆起部が形成された部分と隆起部に隣接する平坦な部分とが滑らかにつながっているため、隆起部上に形成された第２接続端子、あるいは、第２接続端子と配線との間に亀裂や断裂が生じにくい。

また、これによると、隆起部を容易に形成することができる。

本発明によれば、フレキシブル層の一表面と反対側の面における接続端子と対向する部分に接着した熱収縮硬化材を加熱して熱収縮硬化材を収縮硬化させることにより、フレキシブル層の接続端子が形成された部分に、フレキシブル層の一表面側に隆起した隆起部が形成された場合、フレキシブル層の一表面は、隆起部が形成された部分と隆起部に隣接する平坦な部分とが滑らかにつながっているため、隆起部上に形成された接続端子、あるいは接続端子と配線との間に亀裂や断裂が生じにくい。

以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。

図１は、本実施の形態に係る圧電アクチュエータを有するプリンタ１の概略構成図である。このプリンタ１は、単独のプリンタ装置に適用しても、あるいは、ファクシミリ機能やコピー機能等の複数の機能を備えた多機能装置のプリンタ装置に適用してもよい。図１に示すように、プリンタ１は、装置本体内にキャリッジ２、インクジェットヘッド３（液体移送装置）、用紙搬送ローラ４などを備えている。なお、以下の説明ではノズルから液体を吐出する方向を下方向とし、その反対方向を上方向としている。また、必要に応じて図中の方向を定める場合は、適宜説明を付与する。

キャリッジ２は、その上面が開口された略箱状の樹脂製のケースで、図１の左右方向（走査方向）に延びるガイド軸５に移動可能に載置され、図示しない駆動ユニットによって走査方向（左右方向）に往復移動するように構成されている。装置本体内には、複数種類のインク（例えば、ブラック、イエロー、シアン、マゼンタの４種類）を供給するための交換式のインクカートリッジ（図示せず）が静置されていて、各インクカートリッジはインクチューブ（図示せず）を介してキャリッジ２内に載置されたインクジェットヘッド３に接続されている。また、キャリッジ２の下方に対向して、用紙搬送ローラ４とプラテン６が配置されていて、その両者の間に記録用紙Ｐが図１の手前方向（紙送り方向）に搬送される。インクジェットヘッド３は、キャリッジ２の下面に配置されており、複数のノズルをキャリッジ２の下面に露出開口させて搭載している。

そして、プリンタ１においては、用紙搬送ローラ４により紙送り方向に搬送される記録用紙Ｐに、キャリッジ２とともに走査方向に往復移動するインクジェットヘッド３からインクを吐出することにより、記録用紙Ｐに印刷を行う。

次に、インクジェットヘッド３について説明する。図２は図１のインクジェットヘッド３の構成を示す斜視図である。図３はインクジェットヘッド３の平面図である。図４（ａ）は図３の部分拡大図である。図４（ｂ）〜（ｄ）は、図４（ａ）における後述する振動板４０及び各圧電層４１、４２の表面をそれぞれ示す図である。図５は図４（ａ）のＶ−Ｖ線断面図である。図６は図４（ａ）のＶＩ−ＶＩ線断面図である。

なお、図面を分かりやすくするため、図２においては、後述するランド５２と配線５３とを透過した状態で図示している。また、図３、図４においては、後述する流路ユニット３１のインク流路の一部の図示を省略し、図３においては、圧電アクチュエータ３２の下部電極４３及び中間電極４４の図示を省略している。また、図４（ａ）においては、ともに点線で図示すべき下部電極４３及び中間電極４４を、それぞれ二点鎖線及び一点鎖線で図示している。さらに、図４（ｂ）〜（ｄ）においては、圧力室１０と後述する下部電極４３、中間電極４４及び上部電極４５との平面視での位置関係を示していて、各電極４３、４４、４５にハッチングを付している。

図２〜図６に示すように、インクジェットヘッド３は、複数のノズル１５や複数の圧力室１０等の複数のインク流路が形成された流路ユニット３１と流路ユニット３１の上面に配置され、圧力室１０内に充満されたインクにノズル１５からの吐出のための圧力を付与する圧電アクチュエータユニット３３とを備えている。圧電アクチュエータユニット３３は、圧電アクチュエータ３２とその上面で電気かつ機械的に接続されたＣＯＦ５０（Chip On Film）（配線部材）とからなる。流路ユニット３１は、インク流路となる複数の貫通孔が形成された複数のプレート２１〜２４が互いに積層されることによって、インク供給口９からインクが供給されるマニホールド流路１１、及び、マニホールド流路１１の出口から流路１２を経て圧力室１０に至り、さらに、圧力室１０から流路１３、１４を経てノズル１５に至る複数の個別インク流路を有するインク流路（液体移送流路）が形成されている。そして、後述するように、圧電アクチュエータ３２により、圧力室１０内のインクに圧力が付与されると、圧力室１０に連通するノズル１５からインクが吐出される。ノズルプレート２４を除く３枚のプレート２１〜２３はステンレス板やニッケル合金鋼板などの金属材料により構成されており、ノズルプレート２４はポリイミド等の合成樹脂材料によって構成されている。

流路ユニット３１の最上層のプレート２１には、複数のノズル１５に対応して複数の圧力室１０が板厚を貫通して形成され、圧力室１０は、走査方向（図３の左右方向）を長手方向とする略楕円形の平面形状（図４も参照）を有し、その一端を流路１２と、他端がノズル１５と連通するように形成されており、複数の圧力室１０は紙送り方向（図３の上下方向）に沿って配列されて１つの圧力室列８を構成しており、このような圧力室列８が、走査方向に２列に配列されることによって１つの圧力室群７を構成している。さらに、このような圧力室群７が走査方向に沿って５つ配列されている。ここで、１つの圧力室群７に含まれる２列の圧力室列８を構成する圧力室１０同士は、紙送り方向に関して互いにずれて配置されている。また、流路ユニット３１の最下層のノズルプレート２４には、複数の圧力室１０の長手方向の一端と連通する複数のノズル１５が下方に開口して貫通形成されていて、図示しないが、複数の圧力室１０と同様に送り方向に配列しているとともに、ノズル列群をなし、走査方向に５つのノズル列群をなしている。

そして、５つの圧力室群７のうち、図３の右側の２つを構成する圧力室１０に対応するノズル１５からは使用頻度の高いブラックのインクが吐出され、図３の左側の３つの圧力室群７の圧力室１０に対応するノズル１５からは、図３の右側に配列されているものから順に、イエロー、シアン、マゼンタのインクが吐出される。また、プレート２２には、平面視で圧力室１０の長手方向の両端部に重なる位置にそれぞれ流路１２、１３となる貫通孔が形成され、プレート２３には、マニホールド流路１１となる貫通孔が圧力室１０の列に対応して紙送り方向に延び、平面視で圧力室１０の長手方向と重なるとともにインク供給口９と連通する位置まで延設されている

次に、圧電アクチュエータ３２は、振動板４０、圧電層４１、４２、下部電極４３、中間電極４４、上部電極４５、導電性バンプ４６及びＣＯＦ５０を備えている。振動板４０は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなり、複数の圧力室１０を覆うように、流路ユニット３１の上面に配置されている。また、振動板４０の厚みは２０μｍ程度となっている。なお、この振動板４０は必ずしも圧電材料からなる必要はない。圧電層４１、４２は、振動板４０と同様の圧電材料からなり、互いに積層されて振動板４０の上面に配置されている。また圧電層４１、４２の厚みは、それぞれ２０μｍ程度となっている。

下部電極４３は、振動板４０と圧電層４１との間に配置されており、図４（ｂ）のように各圧力室群７に対応して、各圧力室群７を構成する２列の圧力室列８に沿って紙送り方向に延びており、これら２列の圧力室列８を構成する複数の圧力室１０と平面視で重なり合うように対向している。また、図示しないが、各圧力室群７に対応して上記紙送り方向に延びた部分同士は互いに接続され、図示しない接続端子が設けられている。接続端子は、ＣＯＦ５０上の図示しない配線のランドに接続され、配線を介して下部電極４３は、常にグランド電位に保持されている。

中間電極４４は、圧電層４１と圧電層４２との間に配置されており、図４（ｃ）のように各圧力室群７毎に、それぞれ、複数の対向部４４ａ及び接続部４４ｂ、４４ｃを有している。複数の対向部４４ａは、紙送り方向に関する長さが圧力室１０よりも短い略矩形の平面形状を有しており、複数の圧力室１０の紙送り方向に関する略中央部と対向するように配置されている。

接続部４４ｂは、紙送り方向に延びて、各圧力室群７を構成する２列の圧力室列８のうち、図４の右側に配置された圧力室列８を構成する複数の圧力室１０に対応する複数の対向部４４ａの図４右側の端同士を接続している。接続部４４ｃは、紙送り方向に延びて、各圧力室群７を構成する２列の圧力室列８のうち、図４の左側に配置された圧力室列８を構成する複数の圧力室１０に対応する複数の対向部４４ａの図４左側の端同士を接続している。また、中間電極４４は、図示しない接続端子と、ＣＯＦ５０上の中間電極用の配線のランドに接続されており、配線を介して常に所定の正の電位（例えば、２０Ｖ程度）に保持されている。

複数の上部電極４５は、図３、図４（ｄ）のように圧電層４２の上面（ＣＯＦ５０との対向面）に、複数の圧力室１０に対応して、複数の圧力室１０のほぼ全域と対向するように配置されており、紙送り方向に配列しているとともに、上部電極列群をなし、１つの上部電極列群に含まれる２列の上部電極４５の列を構成する上部電極４５同士は、紙送り方向に関して互いにずれて配置されている。また、上部電極４５は、紙送り方向に関する長さが中間電極４４の対向部４４ａよりも長い、略矩形の平面形状を有している。上部電極４５は、走査方向に関するノズル１５と反対側の端における一部分が、走査方向に圧力室１０と対向しない部分まで延びており、この部分がＣＯＦ５０の配線５３のランド５２に接続される接続端子４５ａ（第１接続端子）となっている。接続端子４５ａは、Ａｇ-Ｐｄ系の材料からなる。

さらに、接続端子４５ａの表面には、金属などの導電性材料（本実施形態では樹脂を含み、Ａｇを含む導電性材料、例えば、ニホンハンダ社製のNH-070A(T)等）からなり、接続端子４５ａの表面から上方に突出した導電性バンプ４６が形成されている。また、上部電極４５は、後述するように、導電性バンプ４６を介してＣＯＦ５０上の配線５３と接続され、ＣＯＦ５０実装されたドライバＩＣ５４に接続されており、グランド電位と上記所定の電位（例えば、２０Ｖ）との間でその電位が切り替えられる。なお、前述した中間電極４４と下部電極４３の図示しない接続端子も上部電極４５と同様に導電性バンプを介して配線と電気的に接続されている。

また、前述した圧電層４２は、予め上部電極４５と中間電極４４とに挟まれた部分が上向きに分極されており、圧電層４１、４２は、上部電極４５と下部電極４３とに挟まれた部分が、上部電極４５から下部電極４３に向かって下向きに分極されている。なお、圧電層４１のうち、中間電極４４と下部電極４３とに挟まれた部分は、中間電極４４から下部電極４３に向かって下向きに分極されている。

次に、圧電アクチュエータ３２に電位を付与するＣＯＦ５０（フレキシブル配線部材）は、フレキシブル層５１、複数のランド５２（第２接続端子）、複数の配線５３、５３ｚ及びドライバＩＣ５４を有している。ＣＯＦ５０は、圧電アクチュエータ３２の上方に配置されて接続されており、走査方向に引き出されている。

フレキシブル層５１はポリイミドなどの樹脂材からなり絶縁性および可撓性を有した帯状体で、圧電材料よりも線膨張係数が大きい。また、フレキシブル層５１は、その下面が圧電層４２と対向して圧電アクチュエータ３２上に配置されている。また、フレキシブル層５１は、平面視で、導電性バンプ４６と対向する部分が圧電層４２側に隆起した隆起部５１ａとなっている。

ここで、フレキシブル層５１の上面における導電性バンプ４６と対向する部分には、凹部５１ｂ（第１凹部）が形成されているとともに、凹部５１ｂを覆うように熱収縮硬化材５６が接着されており、隆起部５１ａは、後述する圧電アクチュエータユニット３３の製造過程で熱収縮硬化材５６が加熱されて収縮硬化するのに伴って、フレキシブル層５１の導電性バンプ４６と対向する部分が凹部５１ｂの隙間を埋めるように変形して圧電層側に隆起することによって形成されたものである。熱収縮硬化材は、例えば、ポリエチレン、エチレン酢酸ビニル共重合体などである。また、このように隆起部５１ａが形成されていることにより、フレキシブル層５１の下面においては隆起部５１ａと隆起部５１ａに隣接する平坦な部分とが滑らかにつながっている。

複数のランド５２は、銅などの導電性材料からなり、フレキシブル層５１の下面における隆起部５１ａから隆起部５１ａに隣接する平坦な部分まで延びている。すなわち、隆起部５１ａと隆起部５１ａに隣接する平坦な部分とにまたがった滑らかな曲面上に連続的に形成されている。配線５３は、銅などの導電性材料からなり、フレキシブル層５１の下面に形成されており、フレキシブル層５１の下面の平坦な部分において複数のランド５２と接続されている。

ここで、本実施の形態とは異なり、フレキシブル層５１が隆起部５１ａと隆起部５１ａに隣接する平坦な部分との間の部分において急激に折れ曲がっていると、この折れ曲がった部分においてランド５２に亀裂や断裂が生じ、その結果、ランド５２と配線５３との間に亀裂や断裂が生じてしまう虞がある。

しかしながら、本実施の形態では、フレキシブル層５１の下面においては隆起部５１ａと隆起部５１ａに隣接する平坦な部分とが滑らかにつながっているため、ランド５２に亀裂や断裂が生じてしまうのを防止することができ、その結果、ランド５２と配線５３との間に亀裂や断裂が生じてしまうのを防止することができる。

さらに、本実施の形態では、隆起部５１ａに隣接する平坦な部分において比較的大きなランド５２とランド５２よりも細い配線５３とが接続されるため、隆起部５１ａ上でランド５２と配線５３とが接続されている場合と比較して、ランド５２と配線５３との間に亀裂や断裂が生じてしまうのを確実に防止することができる。

また、フレキシブル層５１と圧電層４２とは、導電性バンプ４６及びランド５２と対向する部分において、熱硬化性の接着剤層５５により接合されている。また、接着剤層５５は、フレキシブル層５１の下面における導電性バンプ４６及びランド５２と対向する部分以外の部分にも延びて配線５３が覆っている。なお、接着剤層５５の導電性バンプ４６及びランド５２と対向する部分を除いた部分は、フレキシブル層５１と圧電層４２とを接合していない。

ドライバＩＣ５４は、圧電アクチュエータ３２に印加する駆動信号を供給するための駆動回路を内蔵していて、ＣＯＦ５０の引き出された部分の上面に配置されている。ドライバＩＣ５４には、電極４３〜４５に駆動信号を出力するための上記出力用の配線５３が接続されているとともに、本体側から駆動信号が入力される入力用の配線５３ｚが接続されている。

ここで、圧電アクチュエータ３２の動作について説明する。まず、圧電アクチュエータ３２がインクを吐出させる動作を行う前の待機状態においては、前述したように、下部電極４３及び中間電極４４が、それぞれ、常にグランド電位及び上記所定の電位（例えば、２０Ｖ）に保持されているとともに、上部電極４５の電位が予めグランド電位に保持されている。この状態では、上部電極４５が中間電極４４よりも低電位になっているとともに、下部電極４３と同電位となっている。

これにより、上部電極４５と中間電極４４との間の電位差が生じ、圧電層４２のこれらの電極に挟まれた部分にその分極方向と同じ上向きの電界が発生し、圧電層４２のこの部分がこの電界と直交する水平方向に収縮する。これによりいわゆるユニモルフ変形が生じ、圧電層４１、４２及び振動板４０の圧力室１０と対向する部分が全体として圧力室１０に向かって凸となるように変形する。この状態では、圧電層４１、４２及び振動板４０が変形していない場合と比較して、圧力室１０の容積が小さくなっている。

そして、インクを吐出させるべく圧電アクチュエータ３２を駆動させる際には、上部電極４５の電位を、一旦、上記所定の電位に切り替えた後、グランド電位に戻す。上部電極４５の電位を上記所定の電位に切り替えると、上部電極４５が中間電極４４と同電位となるとともに、下部電極４３よりも高電位となる。これにより、圧電層４２の上記収縮が元に戻る。そしてこれと同時に、上部電極４５と下部電極４３との間に電位差が生じ、圧電層４１、４２のこれらの電極に挟まれた部分にはその分極方向と同じ下向きの電界が発生し、圧電層４１、４２のこの部分が水平方向に収縮する。これにより、圧電層４１、４２及び振動板４０が全体として、圧力室１０と反対側に凸となるように変形し、圧力室１０の容積が増加する。

この後、上部電極４５の電位をグランド電位に戻すと、前述したのと同様、圧電層４１、４２及び振動板４０の圧力室１０と対向する部分が全体として圧力室１０に向かって凸となるように変形し、圧力室１０の容積が小さくなる。これにより、圧力室１０内のインクの圧力が上昇し、圧力室１０に連通するノズル１５からインクが吐出される。

また、上述したようにして圧電アクチュエータ３２を駆動させる場合、上部電極４５の電位をグランド電位から所定の電位に切り替えたときには、圧電層４２の上部電極４５と中間電極４４とに挟まれた部分が収縮した状態から収縮前の状態に伸長すると同時に、圧電層４１、４２の上部電極４５と下部電極４３とに挟まれた部分が収縮するため、圧電層４２の上記の伸長が、圧電層４１、４２の上記収縮に一部吸収される。

一方、上部電極４５の電位を所定の電位からグランド電位に戻したときには、圧電層４２の上部電極４５と中間電極４４とに挟まれた部分が収縮するとともに、圧電層４１、４２の上部電極４５と下部電極４３とに挟まれた部分が収縮前の状態まで伸長するため、圧電層４２の上記収縮が圧電層４１、４２の上記伸長によって一部吸収される。

以上のことから、圧電層４１、４２の圧力室１０と対向する部分の変形が、他の圧力室１０と対向する部分に伝達して当該他の圧力室１０に連通するノズル１５からのインクの吐出特性が変動してしまう、いわゆるクロストークが抑制される。

なお、上述した待機状態及び圧電アクチュエータ３２が駆動されている間においては、圧電層４１の中間電極４４と下部電極４３との間の部分には常に電位差が生じており、圧電層４１のこの部分には、その分極方向と同じ方向の電界が発生している。これにより、圧電層４１のこの部分は常に収縮した状態となっている。なお、アクチュエータの構成や駆動方式は、圧力室に充満されたインクをノズルから吐出させるための圧力が付与できれば、上述の実施形態と同様に限られることはない。

次に、インクジェットヘッド３（圧電アクチュエータユニット３３）の製造方法について説明する。図７は、インクジェットヘッド３の製造工程を示す工程図である。

インクジェットヘッド３を製造するには、まず、図７（ａ）に示すように、振動板４０、圧電層４１、４２、電極４３〜４５及び流路ユニット３１（図示省略）の積層体における上部電極４５の接続端子４５ａの表面に印刷などにより導電性バンプ４６を形成する（バンプ形成工程）。導電性バンプは、樹脂を含有したＡｇなどの導電性ペーストにより形成されている。

また、図７（ａ）に示す工程とは別の工程で、図７（ｂ）に示すように、フレキシブル層５１の下面には、印刷などで形成されたランド５２が形成されている。そして、フレキシブル層５１の上面で、ランド５２と対向する部分（熱収縮硬化材５６が接着されることとなる部分の一部）に、レーザ加工、エッチング、サンドブラスタ加工などにより凹部５１ｂを形成する（第１凹部形成工程）。凹部５１ｂは、断面視で上側開口され下方に縮径されたＶ字状で、平面視外形形状が円形状をしている。続いて、図７（ｃ）に示すように、フレキシブル層５１の上面におけるランド５２と対向する部分に、凹部５１ｂを覆うとともに、凹部５１ｂとの間に空間ができるように熱収縮硬化材５６を接着する（熱収縮硬化材接着工程）。熱収縮硬化材５６は、平面視で略円形状である。さらに、図７（ｄ）に示すように、フレキシブル層５１の下面にランドおよび配線を覆ってソルダーレジストなどの熱硬化性材料からなる接着剤層５５を形成する（接着剤層形成工程）。このとき、接着剤層５５は、温度等の諸条件を適切に調整して、熱硬化性材料からなる接着剤層５５をフレキシブル層５１から垂れ落ちない程度の未硬化（半硬化）の状態に維持しておく。

次に、図７（ｅ）に示すように、ＣＯＦ５０を、平面視でランド５２と導電性バンプ４６とが対向するように位置合わせした状態で、ヒータＨにより圧電層４２と反対側から圧電層４２に向かって押圧しながら加熱する。ここで、ヒータＨは、平滑な加熱面を有したバーヒータＨである。

これにより、熱収縮硬化材５６がヒータＨにより温度Ｔａ℃に加熱されることで収縮して硬化する。ここで、温度Ｔａは、熱収縮材５６を収縮硬化させることができ、且つ、接着剤層５５の硬化温度よりも低い温度である。平面視略円形状の熱収縮硬化材５６は、その中心方向（断面視で中心に互いに向き合う方向）に向かって収縮しようとする。このとき、熱収縮硬化材５６が接着されたフレキシブル層５１のランド５２と対向する部分は、可撓性であり、熱収縮硬化剤５６との密着性が良いため、熱収縮硬化剤５６の収縮に伴って共に収縮方向へ引き寄せられる。そして、ランド部には凹部が形成されているため、熱収縮硬化材は前記中心方向に収縮するとともに、対向するフレキシブル層が引き寄せられ、その凹部の開口空間を埋めるように収縮しながら、凹部の先端部分（開口側とは反対側の部分）から、下面側へ逃げるようにして撓み変形し始め、圧電層４２側に隆起して、フレキシブル層５１の下面の隆起部５１ａに隣接する平坦な部分とつながった滑らかな面を有した隆起部５１ａを形成する。熱収縮硬化材５６は、収縮した状態で硬化されるため、隆起部５１ａは隆起された状態で形状維持される。本提案では、特に断面視Ｖ字状に凹部が形成されているため、その先端部分から下面側にフレキシブル層が変形しやすくなっている。このときランド５２は、フレキシブル層５１に密着して形成されているため、フレキシブル層５１の隆起部５１ａに沿って、ランド５２の平坦な部分とつながったなだらかな面を有した隆起部５１ａをなしている。この状態で、導電性バンプ４６が未硬化の接着剤層５５を貫通して、隆起したランド５２に接触して電気的に接続されるとともに、導電性バンプ４６が貫通したことにより押し出された接着剤層５５が導電性バンプ４６を取り囲む部分を流れて圧電層４２の接続端子４５ａ上面に達する。そして、この状態でヒータＨが温度Ｔｂ℃に加熱されることで接着剤層５５が硬化することにより、ランド５２と導電性バンプ４６とが電気的機械的に接続されるとともに、ＣＯＦ５０と圧電層４２とが接合される。ここで、温度Ｔｂ℃は、上記温度Ｔａ℃よりも高い、接着剤層５５を硬化させることが可能な温度である。なお、導電性バンプが樹脂を含み、Ａｇを含んだ導電性材料で形成されているため、導電性バンプは先端部が押しつぶされる程度の弾性を有し、さらにフレキシブル層上に設けられた隆起をなすランド部も弾性を有するため、両者はその互いの弾性力によりバンプおよび隆起部の先端部は押しつぶされる状態となっているため、接触面積を稼ぐことができ、電気的接続の信頼性を良くすることができる。

すなわち、本実施の形態では、ヒータＨにより、ＣＯＦ５０を圧電層４２に向かって押圧しながら加熱することにより、本発明に係る隆起部形成工程と接合工程とが同時に行われる。

ここで、前述したように、フレキシブル層５１は圧電層４２よりも線膨張係数が大きいため、バーヒータであるヒータＨにより圧電層４２側へ押圧加熱を行ったときには、フレキシブル層５１が圧電層４２よりも大きく膨張することとなり、その結果、フレキシブル層５１が圧電層４２側に撓んで圧電層４２に接触して、圧電層４２を汚したり、傷つけたりしてしまう虞がある。

さらに、本実施の形態では、フレキシブル層５１の下面の全域に未硬化状態の接着剤層５５が形成されているため、フレキシブル層５１が圧電層４２に接触してしまうと、その状態で接着剤層５５が硬化し、ヒータＨを離して加熱をやめたときにフレキシブル層５１の変形が元に戻らない虞がある。また、フレキシブル層５１の変形が元に戻ったとしても、圧電層４２の表面には接着剤層５５が残留してしまう虞がある。そして、これらの場合には、上述したように圧電アクチュエータ３２を駆動させたときの、圧電層４１、４２及び振動板４０の変形が阻害されてしまい、ノズル１５からのインクの吐出特性が変動してしまう虞がある。

特に、本実施の形態のように、いわゆるユニモルフ変形を用いた圧電アクチュエータ３２においては、圧電層４１、４２及び振動板４０の変形が阻害されたときの、ノズル１５からのインクの吐出特性の変動は大きなものとなる。

しかしながら、本実施の形態では、フレキシブル層５１の導電性バンプ４６と対向する部分に隆起部５１ａが形成されるため、隆起部５１ａが形成された分だけ圧電層４２とフレキシブル層５１との間隔が大きくなる。したがって、フレキシブル層５１が圧電層４２側に撓んだとしても、フレキシブル層５１が圧電層４２に接触してしまうのを防止することができる。

さらに、フレキシブル層５１には凹部５１ｂが形成されており、フレキシブル層５１は凹部５１ｂの隙間を埋めるように変形するため、フレキシブル層５１が隆起しやすくなり、隆起部５１ａの高さが高くなり、圧電層４２とフレキシブル層５１との間隔は大きなものとなる。

また、本実施の形態では、接続端子４５ａの表面に導電性バンプ４６が形成されているため、ＣＯＦ５０を圧電層４２に向かって押圧した際、フレキシブル層５１に隆起部５１ａが形成される前に（フレキシブル層５１を圧電層４２に接合する過程で）フレキシブル層５１の隆起部５１ａとなる部分以外の部分が圧電層４２に接触してしまうのが防止される。なお、本実施の形態の場合、フレキシブル層５１の隆起部５１ａの高さは、隆起部５１ａの隆起量により制御されるため、フレキシブル層５１の種類、熱収縮硬化材の種類、および収縮温度とを適宜条件選択することで決定される。

また、隆起部５１ａは、熱収縮硬化材５６が収縮するのにともなってフレキシブル層５１のランド５２と対向する部分が圧電層４２側に隆起することで形成されるため、隆起部５１ａは、フレキシブル層５１の下面の隆起部５１ａに隣接する平坦な部分と滑らかにつながることとなる。

したがって、隆起部５１ａから隆起部５１ａに隣接する平坦な部分まで延びたランド５２に亀裂や断裂が発生してしまうのが防止され、これにより、ランド５２と配線５３とノ間に亀裂や断裂が発生してしまうのを防止することができる。

さらに、ランド５２が隆起部５１ａから隆起部５１ａに隣接する平坦な部分まで延びており、フレキシブル層５１の下面の平坦な部分において比較的大きなランド５２とランド５２よりも細い配線５３とが接続されているため、隆起部５１ａ上でランド５２と配線５３とが接続される場合と比較して、ランド５２と配線５３との間に亀裂や断裂が発生してしまうのをさらに確実に防止することができる。

以上に説明したように、本実施の形態によると、ヒータＨによりＣＯＦ５０を圧電層４２に向かって押圧しながら加熱すると、熱収縮硬化材５６が収縮し、これに伴ってフレキシブル層５１のランド５２と対向する部分が圧電層４２側に隆起して隆起部５１ａとなり、この状態で、導電性バンプ４６が接着剤層５５を貫通してランド５２に接触するとともに、導電性バンプ４６により押し出された接着剤層５５が導電性バンプ４６を取り囲む部分を流れて圧電層４２の上面に達する。そして、この状態で加熱された接着剤層５５が硬化することにより、ランド５２と導電性バンプ４６とが電気的に接続されるとともに、ＣＯＦ５０と圧電層４２とが接合される。

したがって、隆起部５１ａが形成された分だけ圧電層４２とフレキシブル層５１との間隔が大きくなり、フレキシブル層５１が圧電層４２側に撓んだとしても、フレキシブル層５１が圧電層４２に接触してしまうのを防止することができる。

さらに、フレキシブル層５１には凹部５１ｂが形成されており、フレキシブル層５１は凹部５１ｂの隙間を埋めるように変形するため、フレキシブル層５１が隆起しやすくなり、隆起部５１ａの高さが高くなり、圧電層４２とフレキシブル層５１との間隔は大きなものとなる。

また、本実施の形態では、接続端子４５ａの表面に導電性バンプ４６が形成されているため、ＣＯＦ５０を圧電層４２に向かって押圧した際、フレキシブル層５１に隆起部５１ａが形成される前にフレキシブル層５１の隆起部５１ａとなる部分以外の部分が圧電層４２に接触してしまうのが防止される。

また、隆起部５１ａは、熱収縮硬化材５６が収縮するのにともなってフレキシブル層５１のランド５２と対向する部分が圧電層４２側に隆起することで形成されるため、隆起部５１ａは、フレキシブル層５１の下面の隆起部５１ａに隣接する平坦な部分と滑らかにつながることとなる。

したがって、隆起部５１ａから隆起部５１ａに隣接する平坦な部分まで延びたランド５２に亀裂や断裂が発生してしまうのが防止され、これにより、ランド５２と配線５３との間に亀裂や断裂が発生してしまうのを防止することができる。

さらに、ランド５２が隆起部５１ａから隆起部５１ａに隣接する平坦な部分まで延びており、フレキシブル層５１の下面の平坦な部分において比較的大きなランド５２とランド５２よりも細い配線５３とが接続されているため、隆起部５１ａ上でランド５２と配線５３とが接続される場合と比較して、ランド５２と配線５３との間に亀裂や断裂が発生してしまうのをさらに確実に防止することができる。

次に、本実施の形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。ただし、本実施の形態と同様の構成を有するものについては同じ符号を付し、適宜その説明を省略する。

一変形例では、図８（ｂ）に示すように、熱収縮硬化材５６を接着する前（熱収縮硬化材接着工程の前）に、フレキシブル層５１の下面に、平面視でランド５２を挟むように１対の凹部５１ｃ（第２凹部）を形成する（第２凹部形成工程）（変形例１）。ただし、この場合には、上記実施の形態とは異なり、フレキシブル層５１の下面に凹部５１ｃが形成されており、ランド５２の図８における左右両側の部分に配線５３を形成することができないので、配線５３は、ランド５２の紙面手前側又は紙面奥側においてランド５２と接続させる。凹部５１ｃは、ランド５２の周囲を囲った平面視で連続または不連続な環状となっていて、断面視Ｖ字状となっている。なお、凹部５１ｃを形成すするのは、凹部５１ｂを形成するの（第１凹部形成工程）と同時であってもよいし、凹部５１ｂを形成する前、あるいは凹部５１ｂを形成した後に形成してもよい。

この場合には、図８（ｅ）に示すように、ヒータＨにより、ＣＯＦ５０を圧電層４２に向かって押圧しながら加熱する（隆起部形成工程、接合工程）と、上述の実施の形態と同様、熱収縮硬化材５６が収縮するのに伴ってフレキシブル層５１のランド５２と対向する部分が圧電層４２側に収縮するが、このとき、フレキシブル層５１は、凹部５１ｂに加えて凹部５１ｃの隙間を埋めるように変形するため、フレキシブル層５１がさらに変形しやすくなり、隆起部５１ａの高さがさらに高くなり、圧電層４２とフレキシブル層５１との間隔がさらに大きくなる。

なお、変形例１においては、図８（ａ）に示す導電性バンプ４６を形成する工程、図８（ｃ）に示す熱収縮硬化材５６を接着する工程（熱収縮硬化材接着工程）、及び、図（ｄ）に示す、接着剤層５５を形成する工程（接着剤層形成工程）については、上述の実施の形態と同様であるので、ここではその詳細な説明を省略する。

別の一変形例では、図９（ｂ）に示すように、熱収縮硬化材５６を接着する前（熱収縮硬化材接着工程の前）に、フレキシブル層５１の上面における熱収縮硬化材５６が接着される部分の全域に、熱収縮硬化材５６ほぼ同じ形状で同じ高さの凹部５１ｄ（第３凹部）を形成する（第３凹部形成工程）してから、凹部５１ｄの底面に凹部５１ｂを形成し（第１凹部形成工程）、凹部５１ｄの底面に熱収縮硬化材５６を接着する（熱収縮硬化材接着工程）（変形例２）。

上述の実施の形態では、凹部５１ｄが形成されていないフレキシブル層５１の上面に熱収縮硬化材５６を接着しているため、フレキシブル層５１の上面は、熱収縮硬化材５６が接着された部分が他の部分よりも突出しており凹凸ができているが、変形例２の場合には、フレキシブル層５１の上面に熱収縮硬化材５６と同じ高さの凹部５１ｄが形成されているとともに、凹部５１ｄの底面に熱収縮硬化材５６が接着されているため、図９（ｄ）に示すように、ヒータＨによる押圧加熱の前においてフレキシブル層５１の上面が平坦となり、その後、図９（ｅ）に示すように、ヒータＨによりＣＯＦ５０を圧電層４２に向かって押圧しながら加熱する（隆起部形成工程、接合工程）ことによって、フレキシブル層５１のランド５２と対向する部分を圧電層４２側に隆起させたときにも、フレキシブル層５１の上面が平坦な状態となる。したがって、この後、ＣＯＦ５０の上面に別の部材を配置する場合などに、熱収縮硬化材５６が邪魔になることがなく、ＣＯＦ５０が、汎用性のある使い勝手のよいものとなる。

また、上述の実施の形態では、フレキシブル層５１の上面に凹部５１ｂが形成されており、変形例１では、フレキシブル層５１の上面に凹部５１ｂが形成されているとともに下面に凹部５１ｃが形成されており、変形例２では、フレキシブル層５１の上面に凹部５１ｂ及び凹部５１ｄが形成されていたが、これには限られず、フレキシブル層５１には、凹部５１ｂ〜５１ｄのうちの１つのみが形成されていてもよく、凹部５１ｂ〜５１ｄのうち任意の２つが形成されていてもよく、凹部５１ｂ〜５１ｄが全て形成されていてもよい。

また、上述の実施の形態及び変形例１、２では、フレキシブル層５１に凹部５１ｂ〜５１ｄが形成されていたが、これには限られない。別の一変形例では、図１０（ｂ）に示すように、凹部５１ｂ〜５１ｄ（図７〜９参照）が形成されていないフレキシブル層５１の上面におけるランド５２と対向する部分に熱収縮硬化材５６を接着する（熱収縮硬化材接着工程）（変形例３）。

この場合にも、図１０（ｄ）に示すように、ヒータＨにより、ＣＯＦ５０を圧電層４２に向かって押圧しながら加熱する（隆起部形成工程、接合工程）と、熱収縮硬化材５６が収縮するのに伴って、フレキシブル層５１のランド５２と対向する部分が圧電層４２側に隆起する。

なお、変形例３においては、図１０（ａ）に示す導電性バンプ４６を形成する工程（バンプ形成工程）、及び、図１０（ｃ）に示す、接着剤層５５を形成する工程（接着剤層形成工程）については、上述の実施の形態と同様であるので、ここではその詳細な説明を省略する。

また、本実施の形態では、ヒータＨによりＣＯＦ５０を圧電層４２に向かって押圧しながら加熱することによって、熱収縮硬化材５６を収縮させて、フレキシブル層５１のランド５２と対向する部分を圧電層４２側に隆起させるのと同時に、導電性バンプ４６とランド５２とを電気的に接続するとともにＣＯＦ５０と圧電層４２とを接合したが、すなわち、本発明に係る隆起部形成工程と接合工程とを同時に行ったが、これには限られない。

別の一変形例では、上述の実施形態と同様、図１１（ｃ）に示すように、フレキシブル層５１の上面に熱収縮硬化材５６を接着した（熱収縮硬化材接着工程）後、図示しないヒータなどにより、熱収縮硬化材５６を加熱して収縮させることにより、フレキシブル層５１のランド５２と対向する部分を下方に隆起させて隆起部５１ａを形成する（隆起部形成工程）。そして、その後、図１１（ｄ）に示すように、隆起部５１ａが形成されたフレキシブル層５１の下面に接着剤層５５を形成し、続いて、ヒータＨによりＣＯＦ５０を圧電層４２に向かって押圧しながら加熱することにより、ランド５２と導電性バンプ４６とを接合するとともに、ＣＯＦ５０と圧電層４２とを接合する（接合工程）（変形例４）。

この場合でも、隆起部５１ａが形成されている分だけ、圧電層４２とフレキシブル層５１との間隔が大きくなり、フレキシブル層５１が圧電層４２との線膨張係数の違いにより圧電層４２側に撓んでも、圧電層４２に接触してしまうのを防止することができる。

なお、変形例４においては、図１１（ａ）に示す導電性バンプ４６を形成する工程（バンプ形成工程）、及び、図１０（ｂ）に示す凹部５１ｂを形成する工程（第１凹部形成工程）については、上述の実施の形態と同様であるので、ここではその詳細な説明を省略する。

また、上述の実施の形態では、接続端子４５ａの上面に導電性バンプ４６を形成していたが、導電性バンプ４６は形成しなくてもよい。この場合には、隆起部５１ａ上に形成されたランド５２が接続端子４５ａの表面に接触することにより、ランド５２と接続端子４５ａとが電気的に接続される。さらに、この場合でも、隆起部５１ａの高さが十分にあれば、圧電層４２とフレキシブル層５１との間の間隔が大きくなるため、圧電層４２とフレキシブル層５１との線膨張係数の差によりフレキシブル層５１が圧電層４２側に撓んだときに、フレキシブル層５１が圧電層４２に接触してしまうのを防止することができる。

また、上述の実施の形態では、ＣＯＦ５０と圧電層４２とが接着剤層５５を介して接合されていたが、これには限られない。

別の一変形例では、図１２（ａ）に示すように、接続端子４５ａの表面に導電性バンプ４６（図７参照）を形成せず、図１２（ｂ）、（ｃ）に示すように、上述の実施の形態と同様、フレキシブル層５１の上面に凹部５１ｂを形成し（第１凹部形成工程）、続いてフレキシブル層５１の上面に熱収縮硬化材５６を接着する（熱収縮硬化材接着工程）。次に、図１２（ｄ）に示すように、フレキシブル層５１の下面にソルダーレジスト層７１を形成し、続いて、図１２（ｅ）に示すように、ソルダーレジスト層７１のランド５２と対向する部分をエッチングなどにより除去して貫通孔７１ａを形成するとともに貫通孔７１ａから露出したランド５２の表面にハンダ７２のバンプを形成する。

そして、図１２（ｆ）に示すように、ヒータＨによりＣＯＦ５０を圧電層４２に向かって押圧する（隆起部形成工程、接合工程）。すると、熱収縮硬化材５６が加熱されて収縮するのに伴ってフレキシブル層５１のランド５２と対向する部分が圧電層４２側に隆起して隆起部５１ａが形成されるとともに、この状態で、ハンダ７２が融解して接続端子４５ａ上に流れ、これにより、ハンダ７２を介して接続端子４５ａとランド５２とが電気的に接続されるとともに、ハンダ７２により、ＣＯＦ５０と圧電層４２とが接合される（変形例５）。

この場合でも、隆起部５１ａが形成されている分だけ、圧電層４２とフレキシブル層５１との間隔が大きくなるため、フレキシブル層５１が圧電層４２側に撓んでも、フレキシブル層５１が圧電層４２に接触してしまうのを防止することができる。

なお、変形例５では、凹部５１ｂを形成し、熱収縮硬化材５６を接着した後でフレキシブル層５１の下面にソルダーレジスト層７１及びハンダ７２を形成したが、ソルダーレジスト層７１及びハンダ７２を形成した後、凹部５１ｂを形成し、熱収縮硬化材５６を接着してもよい。

また、本実施の形態では、ランド５２が隆起部５１ａの表面から隆起部５１ａに隣接するフレキシブル層５１の下面の平坦な部分まで延びていたが、これには限られず、図１３に示すように、ランド５２が、隆起部５１ａ上にのみ形成されており、隆起部５１ａ上でランド５２と配線５３とが接続されていてもよい（変形例６）。

この場合でも隆起部５１ａと隆起部５１ａに隣接する平坦な部分とが滑らかにつながっており、この滑らかな曲面上でランド５２と配線５３とが接続されているため、ランド５２と配線５３との間に亀裂や断裂が生じてしまうのを防止することができる。

また、以上の説明では、熱収縮硬化材５６が収縮するのに伴ってフレキシブル層５１のランド５２と対向する部分が隆起することにより隆起部５１ａが形成されていてが、これには限られず、隆起部５１ａが上述したのとは異なる方法によって形成されることで、フレキシブル層５１の下面において隆起部５１ａが形成された部分と隆起部５１ａに隣接する部分とが滑らかにつながっていてもよい。

また、本実施の形態では、圧電アクチュエータ３２がいわゆるユニモルフ変形により圧力室１０内のインクに圧力を付与するものであったが、これには限られない。例えば、厚み方向に分極された複数の圧電層が圧力室上に積層されており、これらの圧電層にその厚み方向の電界を発生させることにより圧電層をその厚み方向に伸長させて、圧力室１０内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータなど、ユニモルフ変形とは異なる変形によって圧力室１０内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータに本発明を適用することも可能である。

また、以上の説明では、インクジェットヘッド３において圧力室１０内のインクに圧力を付与するための圧電アクチュエータユニットに本発明を適用した例について説明したが、インクジェットヘッド以外の装置に用いられる圧電アクチュエータユニットに本発明を適用することも可能である。

また、以上の説明では圧電アクチュエータ３２に駆動電位などを付与するためのＣＯＦ５０に本発明を適用したが、圧電アクチュエータ３２以外の装置に用いられるフレキシブル配線部材に本発明を適用することも可能である。

本発明における実施の形態に係るプリンタの概略構成図である。 図１のインクジェットヘッドの斜視図である。 図２の平面図である。 （ａ）が図３の部分拡大図であり、（ｂ）〜（ｄ）が、（ａ）の振動板及び各圧電層の表面の図である。 図４のＶ−Ｖ線断面図である。 図４のＶＩ−ＶＩ線断面図である。 インクジェットヘッドの製造工程を示す工程図である。 変形例１の図７相当の図である。 変形例２の図７相当の図である。 変形例３の図７相当の図である。 変形例４の図７相当の図である。 変形例５の図７相当の図である。 変形例６の図５相当の図である。

符号の説明

３２ 圧電アクチュエータ
３３ 圧電アクチュエータユニット
４０ 振動板
４１、４２ 圧電層
４５ 上部電極
４５ａ 接続端子
４６ 導電性バンプ
５０ ＣＯＦ
５１ フレキシブル層
５１ａ 隆起部
５１ｂ〜５１ｄ 凹部
５２ ランド
５３ 配線
５５ 接着剤層
５６ 熱収縮硬化材
７２ ハンダ

Claims (17)

1. 絶縁性のフレキシブル層と、
   前記フレキシブル層の一表面に形成された配線と、
   前記フレキシブル層の一表面に形成されており、前記配線に接続された接続端子とを有するフレキシブル配線部材の製造方法であって、
   前記フレキシブル層の前記一表面と反対側の面における、前記接続端子が形成される部分と対向する部分に、加熱されることによって収縮硬化する熱収縮硬化材を接着する熱収縮硬化材接着工程と、
   前記フレキシブル層に接着された前記熱収縮硬化材を加熱して収縮硬化させることにより、前記フレキシブル層の前記接続端子が形成された部分に、前記一表面側に隆起した隆起部を形成する隆起部形成工程とを備えていることを特徴とするフレキシブル配線部材の製造方法。
2. 前記熱収縮硬化材接着工程の前に、前記フレキシブル層の前記一表面と反対側の面における前記熱収縮硬化材が接着されることとなる部分の一部に第１凹部を形成する第１凹部形成工程をさらに備え、
   前記熱収縮硬化材接着工程において、前記第１凹部と前記熱収縮硬化材との間に空間ができるように、前記熱収縮硬化材を接着することを特徴とする請求項１に記載のフレキシブル配線部材の製造方法。
3. 前記隆起部形成工程の前に、前記フレキシブル層の前記一表面に、前記接続端子が形成される部分を挟むように、１対の第２凹部を形成する第２凹部形成工程をさらに備えていることを特徴とする請求項１又は２に記載のフレキシブル配線部材の製造方法。
4. 前記熱収縮硬化材接着工程の前に、前記フレキシブル層の前記一表面と反対側の面における、前記熱収縮硬化材がそれぞれ接着される部分の全域に、前記熱収縮硬化材の厚みとほぼ同じ深さを有する第３凹部を形成する第３凹部形成工程をさらに備えており、
   前記熱収縮硬化材接着工程において、前記第３凹部の底面に前記複数の熱収縮硬化材を接着することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のフレキシブル配線部材の製造方法。
5. 前記接続端子は、前記フレキシブル層の前記一表面と直交する方向から見て、前記熱収縮硬化材よりも外側まで延びていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のフレキシブル配線部材の製造方法。
6. フレキシブル層と、
   前記フレキシブル層の一表面に形成された配線と、
   前記フレキシブル層の前記一表面に形成されており、前記配線と接続された接続端子とを備えており、
   前記フレキシブル層の前記接続端子が形成された部分に、前記一表面側に隆起した隆起部が形成されており、
   前記フレキシブル層の前記一表面は、前記隆起部が形成された部分と前記隆起部に隣接する平坦な部分とが滑らかにつながっており、
   前記フレキシブル層の前記一表面と反対側の面における前記接続端子と対向する部分に接着された、加熱されることによって収縮硬化した熱収縮硬化材をさらに備えており、
   前記隆起部は、前記熱収縮硬化材が収縮硬化したことにより、前記フレキシブル層が隆起して形成されたものであることを特徴とするフレキシブル配線部材。
7. 前記接続端子は、前記フレキシブル層の前記一表面と直交する方向から見て、前記熱収縮硬化材よりも外側まで延びていることを特徴とする請求項６に記載のフレキシブル配線部材。
8. 活性部を有する圧電層と、前記圧電層に設けられた、前記活性部に電界を発生させるための電極とを有する圧電アクチュエータと、
   前記圧電層と対向するように配置された、絶縁性を有するフレキシブル層と、前記フレキシブル層の前記圧電層との対向面に形成されており、前記電極に接続される配線と、前記フレキシブル層の前記圧電層との対向面に形成されており、前記配線に接続された第１接続端子とを有するフレキシブル配線部材とを備えており、
   前記圧電層の前記フレキシブル層との対向面には、前記複数の電極に接続された第２接続端子が形成されており、
   前記第１接続端子と前記第２接続端子とが接続されることによって、前記配線と前記電極とが接続された圧電アクチュエータユニットの製造方法であって、
   前記フレキシブル層の前記圧電層と反対側の面における、前記第１接続端子が形成される部分と対向する部分に、加熱されることによって収縮硬化する熱収縮硬化材を接着する熱収縮硬化材接着工程と、
   前記熱収縮硬化材を加熱して収縮硬化させることにより、前記フレキシブル層における前記第１接続端子が形成されている部分に、前記圧電層との対向面側に隆起した隆起部を形成する隆起部形成工程と、
   前記第１接続端子と前記第２接続端子とを電気的に接続するとともに前記フレキシブル配線部材と前記圧電層とを接合する接合工程とを備えていることを特徴とする圧電アクチュエータユニットの製造方法。
9. 前記隆起部が形成される前の前記フレキシブル配線部材を、前記圧電層と反対側から前記圧電層に向かって押圧しながら加熱することにより、前記隆起部形成工程と前記接合工程とを同時に行うことを特徴とする請求項８に記載の圧電アクチュエータユニットの製造方法。
10. 前記隆起部形成工程及び前記接合工程の前に、前記第１接続端子又は前記第２接続端子にバンプを形成するバンプ形成工程をさらに備えていることを特徴とする請求項９に記載の圧電アクチュエータユニットの製造方法。
11. 前記接合工程の前に、前記フレキシブル層の前記圧電層との対向面における少なくとも前記接続端子が形成された部分に熱硬化性接着剤層を形成する接着剤層形成工程をさらに備えており、
    前記接合工程において、前記フレキシブル層を前記圧電層と反対側から前記圧電層に向かって押圧しながら加熱することにより、前記バンプに前記接着剤層を貫通させて、前記バンプと前記第１接続端子とを接続するととともに、前記バンプにより押し出された接着剤層により前記圧電層と前記フレキシブル層とを接合することを特徴とする請求項１０に記載の圧電アクチュエータユニットの製造方法。
12. 前記熱収縮硬化材接着工程の前に、前記フレキシブル層の前記圧電層と反対側の面における前記熱収縮硬化材が接着されることとなる部分の一部に第１凹部を形成する第１凹部形成工程をさらに備え、
    前記熱収縮硬化材接着工程において、前記第１凹部と前記熱収縮硬化材との間に空間ができるように、前記熱収縮硬化材を接着することを特徴とする請求項８〜１１のいずれかに記載の圧電アクチュエータユニットの製造方法。
13. 前記隆起部形成工程の前に、前記フレキシブル層の前記圧電層との対向面に、前記接続端子が形成される部分を挟むように、１対の第２凹部を形成する第２凹部形成工程をさらに備えていることを特徴とする請求項８〜１２のいずれかに記載の電アクチュエータユニットの製造方法。
14. 前記熱収縮硬化材接着工程の前に、前記フレキシブル層の前記圧電層と反対側の面における、前記熱収縮硬化材がそれぞれ接着される部分の全域に、前記熱収縮硬化材の厚みとほぼ同じ深さを有する第３凹部を形成する第３凹部形成工程をさらに備えており、
    前記熱収縮硬化材接着工程において、前記第３凹部の底面に前記複数の熱収縮硬化材を接着することを特徴とする請求項８〜１３のいずれかに記載の電アクチュエータユニットの製造方法。
15. 前記接続端子は、前記圧電層と前記フレキシブル層との積層方向と直交する方向から見て、前記熱収縮硬化材よりも外側まで延びていることを特徴とする請求項８〜１４のいずれかに記載の電アクチュエータユニットの製造方法。
16. 前記圧電アクチュエータが、前記圧電層の前記フレキシブル層の反対側の面に接合された振動板をさらに備えたものであることを特徴とする請求項８〜１５のいずれかに記載の圧電アクチュエータユニットの製造方法。
17. 活性部を有する圧電層と、前記圧電層に設けられた、前記活性部に電界を発生させるための電極とを有する圧電アクチュエータと、
    前記圧電層と対向するように配置された、絶縁性を有するフレキシブル層と、前記フレキシブル層の前記圧電層との対向面に形成されており、前記電極に接続される配線と、前記フレキシブル層の前記圧電層との対向面に形成されており、前記配線に接続された第１接続端子とを有するフレキシブル配線部材とを備えており、
    前記圧電層の前記フレキシブル層との対向面には、前記電極に接続されているとともに前記第１接続端子に接続された第２接続端子が形成されており、
    前記フレキシブル層における前記第１接続端子が形成されている部分には、前記圧電層との対向面側に隆起した隆起部が形成されており、
    前記フレキシブル層の前記一表面は、前記隆起部が形成された部分と前記隆起部に隣接する平坦な部分とが滑らかにつながっており、
    前記フレキシブル層の前記圧電層と反対側の面における前記接続端子と対向する部分に接着された、加熱されることによって収縮硬化した複数の熱収縮硬化材をさらに備えており、
    前記隆起部は、前記熱収縮硬化材が収縮硬化したことにより、前記フレキシブル層が隆起して形成されたものであることを特徴とする圧電アクチュエータユニット。

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