JP5076520B2 - 記録装置の配線接続方法 - Google Patents
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前記配線部材は、基材と、この基材の少なくとも一方の面に形成された複数の配線部と、これら複数の配線部を覆う被覆層とを含む可撓性基板であって、前記アクチュエータとの対向面に前記複数の駆動電極に対応して突出状に形成され、前記複数の配線部と電気的に接続された複数のバンプを有する、可撓性基板と、加圧によって塑性流動を発現する樹脂材料からなり、前記可撓性基板の前記対向面に、少なくとも前記複数のバンプとそれらの周囲領域を覆うように形成された接合層を有するものであり、
前記可撓性基板の複数のバンプを前記アクチュエータに押圧し、前記バンプを覆っている前記接合層に塑性流動を発現させて、前記複数の駆動電極と前記複数のバンプとを直接接触させるとともに、塑性流動が発現した前記接合層により前記可撓性基板と前記アクチュエータを物理的に接合する接合工程を備え、前記接合工程において、接合後においても前記バンプの前記可撓性基板の前記対向面からの突出高さが、前記対向面の前記バンプの周囲領域を覆っている前記接合層の厚みよりも大きい状態が維持されるように、前記可撓性基板の押圧力を設定することを特徴とするものである。
第2の発明の記録装置の配線接続方法は、前記第1の発明において、前記記録部は、それぞれ液体を噴射する複数のノズルと、これら複数のノズルにそれぞれ連通するとともに、平面に沿って配置された複数の圧力室とを含む、流路ユニットを備え、前記アクチュエータは、前記複数の圧力室を覆うように前記流路ユニットに接合された振動板と、前記振動板の前記圧力室と反対側の面に配置された圧電層と、前記圧電層の前記振動板と反対側の面に配置された前記複数の駆動電極とを備えた、圧電式のアクチュエータであり、さらに、各駆動電極は、前記圧力室と対向する領域に配置された駆動部と、この駆動部から前記圧電層の前記振動板と反対側の面に沿って、前記圧力室と対向する領域外まで引き出された接点部と有するものであり、前記接合工程において、前記バンプを前記駆動電極の前記接点部に接触させて接合したときに、前記駆動電極の前記駆動部が、前記バンプの周囲領域を覆っている前記接合層から離間した状態が維持されるように、前記可撓性基板の押圧力を設定することを特徴とするものである。
本発明によれば、駆動部に駆動電圧が印加されたときの圧電層の変形が接合層によって阻害されることがなく、圧電式アクチュエータの良好な作動が確保される。
第3の発明の記録装置の配線接続方法は、前記第1又は第2の発明において、前記接合工程において、前記アクチュエータと前記可撓性基板とを所定温度以上に加熱した状態で、前記可撓性基板の前記複数のバンプを前記アクチュエータに押圧することを特徴とするものである。
4 流路ユニット
5 圧電アクチュエータ
14 圧力室
20 ノズル
30 振動板
31 圧電層
32 個別電極
32a 駆動部
32b 接点部
50,50A,50B,50C,50D FPC
51,51A,51C,51D バンプ
52,52A,52C,52D 可撓性基板
53 接合層
54,54A,54C,54D 基材
54a 凸部
55,55A,55C,55D 配線部
55a 導電層
56,56A,56C,56D 被覆層
56a 突出部
60 貫通孔
Claims (3)
- 被記録媒体に対する記録動作を行う記録部と、その表面に配置された複数の駆動電極を有し、前記記録部を駆動するアクチュエータと、前記アクチュエータの電極配置面と対向した状態で、前記複数の駆動電極に電気的に接続された配線部材とを備えた記録装置の配線接続方法であって、
前記配線部材は、
基材と、この基材の少なくとも一方の面に形成された複数の配線部と、これら複数の配線部を覆う被覆層とを含む可撓性基板であって、前記アクチュエータとの対向面に前記複数の駆動電極に対応して突出状に形成され、前記複数の配線部と電気的に接続された複数のバンプを有する、可撓性基板と、
加圧によって塑性流動を発現する樹脂材料からなり、前記可撓性基板の前記対向面に、少なくとも前記複数のバンプとそれらの周囲領域を覆うように形成された接合層を有するものであり、
前記可撓性基板の複数のバンプを前記アクチュエータに押圧し、前記バンプを覆っている前記接合層に塑性流動を発現させて、前記複数の駆動電極と前記複数のバンプとを直接接触させるとともに、塑性流動が発現した前記接合層により前記可撓性基板と前記アクチュエータを物理的に接合する接合工程を備え、
前記接合工程において、接合後においても前記バンプの前記可撓性基板の前記対向面からの突出高さが、前記対向面の前記バンプの周囲領域を覆っている前記接合層の厚みよりも大きい状態が維持されるように、前記可撓性基板の押圧力を設定することを特徴とする記録装置の配線接続方法。 - 前記記録部は、それぞれ液体を噴射する複数のノズルと、これら複数のノズルにそれぞれ連通するとともに、平面に沿って配置された複数の圧力室とを含む、流路ユニットを備え、
前記アクチュエータは、前記複数の圧力室を覆うように前記流路ユニットに接合された振動板と、前記振動板の前記圧力室と反対側の面に配置された圧電層と、
前記圧電層の前記振動板と反対側の面に配置された前記複数の駆動電極とを備えた、圧電式のアクチュエータであり、
さらに、各駆動電極は、前記圧力室と対向する領域に配置された駆動部と、この駆動部から前記圧電層の前記振動板と反対側の面に沿って、前記圧力室と対向する領域外まで引き出された接点部と有するものであり、
前記接合工程において、前記バンプを前記駆動電極の前記接点部に接触させて接合したときに、前記駆動電極の前記駆動部が、前記バンプの周囲領域を覆っている前記接合層から離間した状態が維持されるように、前記可撓性基板の押圧力を設定することを特徴とする請求項1に記載の記録装置の配線接続方法。 - 前記接合工程において、前記アクチュエータと前記可撓性基板とを所定温度以上に加熱した状態で、前記可撓性基板の前記複数のバンプを前記アクチュエータに押圧することを特徴とする請求項1又は2に記載の記録装置の配線接続方法。
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