JP7056059B2 - 複合基板 - Google Patents

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Description

本発明は、インクジェットヘッド等の複合基板に関する。
従来、流路形成基板と駆動配線基板とが接合されて構成されたインクジェットヘッドが提案されている（例えば、特許文献１参照）。流路形成基板の上面と駆動配線基板の下面とが間隔をおいて対向した状態で、接着剤によって接合されている。駆動配線基板の上面には駆動回路が配置され、フレキシブル印刷回路基板も接着されている。フレキシブル印刷回路基板は、駆動配線基板の長手方向における端部に接着されている。
特開２０１７－１３６７１１号公報
しかしながら、前記特許文献１のインクジェットヘッドでは、フレキシブル印刷回路基板が接着されている領域の下方の流路形成基板と駆動配線基板との間には、空間が形成されている。このため、フレキシブル印刷回路基板を駆動配線基板に押圧接着する工程において、駆動配線基板が破壊されたり、たわんで流路形成基板からはがれるおそれがある。
本発明の目的は、第１基板と第２基板とを互いに間隔をおいた状態で備える複合基板において、フレキシブル印刷回路基板が第２基板に押圧接着される際に、第２基板が破壊されたり、第２基板がたわんで第１基板からはがれることを確実に防止できる複合基板を提供することである。
上記課題を解決するため、本発明の複合基板は、第１基板と、駆動回路を備える第２基板とを備え、前記第２基板は、厚み方向において第１面と第１面とは反対側の第２面とを有するとともに、前記厚み方向と直交する長手方向に延び、前記長手方向において第１端部と第２端部とを有し、前記第２基板は、前記第２面が前記第１基板の一表面に対し間隔をおいて対向するように配置されており、前記第２基板の前記第１面上には、駆動回路が設けられており、前記第２基板の前記第１面の前記長手方向における前記第１端部と前記駆動回路との間には、フレキシブル印刷回路基板が接着されており、前記第２基板の前記第２面と前記第１基板の前記一表面との間には支柱が設けられており、前記厚み方向に見た時に、前記支柱は、前記第１面のうち前記フレキシブル印刷回路基板が接着されている接着領域全体と重なっていることを特徴とする。
本発明によれば、フレキシブル印刷回路基板が第２基板に押圧接着される際に、第２基板が破壊されたり、第２基板がたわんで第１基板からはがれることを確実に防止できる。
本実施形態のインクジェットプリンタの概略平面図である。 インクジェットヘッドの斜視図である。 インクジェットヘッドの平面図である。 インクジェットヘッド（駆動回路基板が取り付けられていない状態）の平面図である。 駆動回路基板の底面図である。 図３のＶＩ－ＶＩ線断面図である。 図３のＶＩＩ－ＶＩＩ線断面図である。 本実施形態に係る駆動回路基板の（Ａ）説明図、及び（Ｂ）比較例１を示す図である。 本実施形態に係る駆動回路基板の（Ｃ）比較例２、及び（Ｄ）変形例を示す図である。 本実施形態に係る駆動回路基板の変形例を示す底面図である。 本実施形態に係る駆動回路基板の変形例を示す底面図である。
次に、本発明の実施の形態について説明する。図１は、本実施形態のインクジェットヘッド４（複合基板の一例）を搭載したインクジェットプリンタの概略平面図である。まず、図１を参照してインクジェットプリンタ１の概略構成について説明する。尚、以下では、図１の紙面手前側を上方、紙面向こう側を下方と定義し、図１の紙面左側を左方、紙面右側を右方と定義する。また、後述の搬送方向上流側を後方、同下流側を前方と定義する。また、適宜「上」「下」「左」「右」「前」「後」の方向語を使用して説明する。図１に示すように、インクジェットプリンタ１は、プラテン２と、キャリッジ３と、インクジェットヘッド４と、搬送機構５等を備えている。
プラテン２の上面には、被記録媒体である記録用紙Ｐが載置される。また、プラテン２の上方には、図１の左右方向（走査方向）に平行に延びる２本のガイドレール１０，１１が設けられる。キャリッジ３は、プラテン２と対向する領域において２本のガイドレール１０，１１に沿って走査方向に往復移動可能に構成されている。また、キャリッジ３には、２つのプーリ１２，１３間に巻き掛けられた無端ベルト１４が連結されており、キャリッジ駆動モータ１５によって無端ベルト１４が走行駆動されたときに、キャリッジ３は、無端ベルト１４の走行に伴って走査方向に移動する。
インクジェットヘッド４は、キャリッジ３に取り付けられており、キャリッジ３とともに走査方向に移動する。インクジェットヘッド４は、インクジェットプリンタ１に装着されたインクカートリッジ（図示省略）と、チューブによって接続されている。また、インクジェットヘッド４の下面（図１の紙面向こう側の面）には、複数のノズル１６が形成されている。そして、このインクジェットヘッド４は、インクカートリッジから供給されたインクを、複数のノズル１６からプラテン２に載置された記録用紙Ｐに対して噴射する。
搬送機構５は、搬送方向にプラテン２を挟むように配置された２つの搬送ローラ１８，１９を有し、これら２つの搬送ローラ１８，１９は、図示しないモータによって回転駆動される。搬送機構５は、２つの搬送ローラ１８，１９によって、プラテン２に載置された記録用紙Ｐを搬送方向に搬送する。
インクジェットプリンタ１は、プラテン２上に載置された記録用紙Ｐに対して、キャリッジ３とともに走査方向（図１の左右方向）に往復移動するインクジェットヘッド４からインクを噴射させる。これとともに、２つの搬送ローラ１８，１９によって記録用紙Ｐを搬送方向（図１の下方）に搬送する。以上の動作によって記録用紙Ｐに画像や文字等が記録される。
＜インクジェットヘッド４＞
次に、インクジェットヘッド４について説明する。図２及び図３はインクジェットヘッド４の斜視図及び平面図である。なお、図２は、後述のフレキシブル印刷回路基板１２５が後述の駆動配線基板３００に接着される前の状態を示している。一方、図３は、フレキシブル印刷回路基板１２５が駆動配線基板３００に接着された後の状態を示している。また、図４は、図２に示される駆動配線基板３００が取り付けられていない状態でのインクジェットヘッド４（すなわち、流路形成基板２０）の平面図である。図５は、駆動配線基板３００の下面図（底面図）である。図６は、図３のＶＩ－ＶＩ線断面図である。尚、図６では、インク流路内に充填されているインクを符号“Ｉ”で示している。図２に示すように、インクジェットヘッド４は、流路形成基板２０と駆動配線基板３００とを備えている。
図２に示すように、流路形成基板２０は、前後方向に延びる略直方体形状を有する。図６に示すように、流路形成基板２０は、流路ユニット２１（流路構造体）と、流路ユニット２１の上面に配置された圧電アクチュエータ２２とを備える。
＜流路ユニット２１＞
図６に示すように、流路ユニット２１は、それぞれ多数の流路形成孔が形成された５枚のプレート３０～３４が積層された構造を有する。これら５枚のプレート３０～３４が積層されたときに多数の流路形成孔が連通することによって、流路ユニット２１には、以下に述べるようなインク流路が形成されている。尚、５枚のプレート３０～３４の材質は特に限定はされないが、例えば、ステンレス鋼やニッケル合金鋼等の金属プレートであってもよい。本実施形態では、シリコン単結晶基板である。
図４に示すように、流路ユニット２１の上面には、図示しないインクカートリッジと接続されるインク供給孔２６が形成されている。流路ユニット２１の内部には、それぞれ前後方向に延在する２本のマニホールド２５が形成されている。２本のマニホールド２５は１つのインク供給孔２６に共通に接続されており、インクカートリッジから供給されたインクが２本のマニホールド２５にそれぞれ供給される。
また、図２、図６に示すように、流路ユニット２１は、最下層のノズルプレート３４に形成されて流路ユニット２１の下面に開口する複数のノズル１６と、複数のノズル１６にそれぞれ連通した複数の圧力室２４を有する。図４に示すように、複数のノズル１６は、流路ユニット２１の下面（図４の紙面向こう側の面）において、前後方向に沿って２列に配列されている。尚、複数のノズル１６の配置は、左右２列のノズル列の間でノズル１６の位置が前後方向に互いにずれた、いわゆる、千鳥状の配置となっている。
複数の圧力室２４は、それぞれ、左右方向に長い略楕円形の平面形状を有する。複数の圧力室２４は平面的に配置され、これら複数の圧力室２４は振動板３０によって上方から覆われている。また、複数の圧力室２４は、複数のノズル１６にそれぞれ対応して、搬送方向（前後方向）に沿って千鳥状に２列に配列されている。各圧力室２４は、その長手方向（左右方向）一端部において対応するノズル１６と連通している。尚、左右２列の圧力室列の間で、圧力室２４とノズル１６との配置関係が逆になっている。即ち、図４及び図６に示すように、左側の圧力室列においては、各圧力室２４の長手方向右端部に対応するノズル１６が連通している。一方、右側の圧力室列においては、各圧力室２４の長手方向左端部に対応するノズル１６が連通している。これにより、図４に示すように、２列の圧力室列の内側に、それぞれに対応した２列のノズル列が配置されている。
２列の圧力室列は、２本のマニホールド２５とそれぞれ重なる位置に配置され、各圧力室２４は、その直下に位置するマニホールド２５に連通している。これにより、図６に示すように、流路ユニット２１には、マニホールド２５から分岐して、圧力室２４を経てノズル１６に至る個別インク流路２７が、複数形成されている。
＜圧電アクチュエータ２２＞
次に、圧電アクチュエータ２２について説明する。圧電アクチュエータ２２は、流路ユニット２１の振動板３０の上面に配置されている。図４、図６に示すように、圧電アクチュエータ２２は、２つの圧電体４０と、複数の個別電極４２と、共通電極４３とを有する。
図６に示すように、振動板３０の上面には、合成樹脂材料等の絶縁材料からなる絶縁膜４４がほぼ全面に形成されている。この絶縁膜４４で覆われた振動板３０の上面に、矩形状に形成された２つの圧電体４０が配置されている。２つの圧電体４０は、２列の圧力室列をそれぞれ覆うように、それらの長手方向が圧力室２４の配列方向（前後方向）と平行となるように配置されている。圧電体４０は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体である、強誘電性のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とする圧電材料からなる。圧電体４０は、スパッタ法やゾルゲル法等の公知の成膜技術によって、絶縁膜４４で覆われた振動板３０の上面に直接形成することができる。あるいは、未焼成の薄いグリーンシートを焼成してから振動板３０に貼り付けることによって形成することもできる。
複数の個別電極４２は、圧電体４０の下面の、複数の圧力室２４とそれぞれ対向する領域に形成されている。各個別電極４２は、圧力室２４よりも一回り小さい略楕円の平面形状を有し、対応する圧力室２４の略中央部と対向するように配置されている。個別電極４２は、絶縁膜４４によって振動板３０とは電気的に絶縁されている。
複数の個別電極４２には複数の個別駆動用端子４５がそれぞれ接続されている。各個別駆動用端子４５は、絶縁膜４４上において、対応する個別電極４２からその長手方向であってノズル１６とは反対側（外側）へ向けて、圧力室２４と対向しない領域まで引き出され、図４、図６に示すように圧電体４０から露出している。そして、複数の個別駆動用端子４５は、２つの圧電体４０の左右方向における両側において、前後方向に沿って配列されている。複数の個別駆動用端子４５には後述の個別駆動用バンプ３７０ａが接続され、個別駆動用バンプ３７０ａから複数の個別電極４２のそれぞれに対して所定の駆動電圧が印加される。
共通電極４３は、２つの圧電体４０に跨ってそれら圧電体４０の上面全域を覆うように形成されている。尚、図４では、２つの圧電体４０を覆う共通電極４３にハッチングを施してある。詳細には、共通電極４３は、２つの圧電体４０の上面全域にそれぞれ形成された２つの電極部４３ａと、振動板３０の上面の２つの圧電体４０の間の領域に形成されている接続部４３ｂとを有する。
ここで、接続部４３ｂは、矩形状の２つの圧電体４０の長辺に沿って前後方向に延在している。接続部４３ｂは、絶縁膜４４によって振動板３０とは電気的に絶縁されている。また、接続部４３ｂは、振動板３０の上面に形成されているために、圧電体４０の上面に形成された２つの電極部４３ａよりも低い位置にある。図６の断面で示されるように、共通電極４３は、接続部４３ｂにおいて局所的に窪んだ形状となっている。接続部４３ｂは、流路ユニット２１の、２列の圧力室２４の列を隔てる隔壁部２１ａと対向している。つまり、接続部４３ｂは、振動板３０の上面の、圧力室２４と対向しない領域に配置されている。
接続部４３ｂは、後述する共通駆動用バンプ３７０ｂと接続されてバイアス電位（この実施形態においてはグランド電位）に保持される。
図６に示すように、圧電体４０のうち、１つの個別電極４２と共通電極４３とに挟まれる部分（以下、「圧電素子４１」ともいう）は、次に説明するように、個別電極４２に駆動電圧が印加されたときに変形して、１つの圧力室２４内のインクに噴射エネルギーを付与する部分となる。本実施形態では、１つの圧電体４０が１列の圧力室列に属する複数の圧力室２４に跨って配置されることで、１列の圧力室列に対応する複数の圧電素子４１が一体化された構成となっている。また、複数の圧電素子４１の各々は、その厚み方向に分極されている。
個別電極４２に駆動電圧が印加されると、この個別電極４２と、グランド電位の共通電極４３の間に電位差が生じて、これら２つの電極４２，４３の間の圧電体４０の部分（圧電素子４１）に厚み方向の電界が作用する。この電界の方向は、圧電素子４１の分極方向と平行であるから、圧電素子４１は厚み方向に伸長するとともに面方向に収縮する。この圧電素子４１の収縮によって、圧力室２４を覆っている振動板３０が圧力室２４側に凸となるように撓み、圧力室２４の容積が減少する。その際に圧力室２４内のインクに圧力（噴射エネルギー）が付与され、ノズル１６からインクの液滴が噴射される。
＜駆動配線基板３００＞
図２に示すように、駆動配線基板３００は、流路形成基板２０と同様、前後方向に延びる略直方体形状であって、上面３０１と下面３０２とを有し、前端部３１０と後端部３２０と左端部３２２と右端部３２４とを有する。図２及び図６に示すように、駆動配線基板３００は、下面３０２が、流路形成基板２０の上面（圧電アクチュエータ２２側の面）に対し間隔をおいて対向するように、流路形成基板２０に対して配置され、流路形成基板２０に接合されている。駆動配線基板３００は、流路形成基板２０と同じ材料、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなる。駆動配線基板３００は、流路形成基板２０と略同じ幅（左右方向の大きさ）を有する。
＜駆動配線基板３００の下面３０２＞
図５に示すように、駆動配線基板３００の底面３０２は、矩形の平面形状を有する。この駆動配線基板３００は、その長辺である左端部３２２及び右端部３２４が圧力室２４の配列方向に沿った状態で、流路ユニット２１の振動板３０の上面と対向して配置されて、２つの圧電体４０を上方から覆う形で振動板３０に接合される。
先にも述べたが、図４に示すように、振動板３０の上面に配置された、２つの圧電体４０の左右方向における両側の領域には、複数の個別電極４２からそれぞれ引き出された複数の個別駆動用端子４５が配置されている。
つまり、振動板３０の上面において、２つの圧電体４０の左右方向両側に、複数の個別駆動用端子４５が形成されている。その他、上述したように、振動板３０の上面において、２つの圧電体４０の間の領域には、共通電極４３の接続部４３ｂが配置されている。
一方で、図５及び６に示すように、駆動配線基板３００の、振動板３０と対向する下面３０２には、下面側埋設配線３５１が形成されている。さらに、振動板３０と対向する下面３０２には、複数のバンプ３７０と複数対のスペーサ１４０とが、下方に突出して設けられている。
＜下面側埋設配線３５１＞
下面側埋設配線３５１は、その少なくとも一部が駆動配線基板３００内に埋設されている。本実施形態における下面側埋設配線３５１は、図５に示すように、前後方向（すなわち、ノズル列方向）に沿って延設され、その全体が下面３０２内に埋め込まれている。このため、下面側埋設配線３５１の下面３０２側の表面は、駆動配線基板３００の下面３０２から露出し、その露出部分表面と駆動配線基板３００の下面３０２側の表面とが略面一に揃えられている。
＜バンプ３７０＞
図５に示すように、矩形状の駆動配線基板３００の左端部３２２と右端部３２４に沿う２つの縁部には、複数の個別駆動用端子４５に接続されるための個別駆動用バンプ３７０ａが設けられている。また、駆動配線基板３００の中央部の下面側埋設配線３５１には、共通電極４３の接続部４３ｂと接続されるための共通駆動用バンプ３７０ｂも設けられている。さらに、駆動配線基板３００の前端部３１０に沿う縁部には、いずれの電極とも接続されない前側ダミーバンプ３７０ｃ（「支柱」の一例）が設けられている。駆動配線基板３００の後端部３２０付近にも、前側ダミーバンプ３７０ｃと同様、いずれの電極とも接続されない後側ダミーバンプ３７０ｄが設けられている。図７に示すように、前側ダミーバンプ３７０ｃは、振動板３０を覆う絶縁膜４４に直接接続されるものであり、個別駆動用端子４５等とは電気的に接続されない。後側ダミーバンプ３７０ｄも、前側ダミーバンプ３７０ｃと同様、振動板３０を覆う絶縁膜４４に直接接続されるものであり、個別駆動用端子４５等とは電気的に接続されない。これら個別駆動用バンプ３７０ａ、共通駆動用バンプ３７０ｂ、前側ダミーバンプ３７０ｃ、後側ダミーバンプ３７０ｄをまとめて、以下「バンプ３７０」という。
各バンプ３７０は、コア部３７１と、複数の導電膜３７２とを有する。コア部３７１は、絶縁材料、好ましくは、弾性を有する樹脂材料で形成されている。例えば、コア部３７１は、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、フェノール樹脂、シリコーン樹脂、シリコーン変性ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂などの感光性絶縁樹脂や熱硬化性絶縁樹脂で形成されている。コア部３７１は、駆動配線基板３００と流路形成基板２０との接続前において、延在方向に直交する断面が略半円状或いは略半楕円状である柱形状をなしている。各導電膜３７２は、コア部３７１の表面の少なくとも一部を覆う被覆部３７２０と、被覆部３７２０の一端から駆動配線基板３００あるいは下面側埋設配線３５１の下面３０２に沿って延びる延出部３７２２とを備える。なお、本実施形態では、全てのバンプ３７０のコア部３７１は互いに同一の材料で形成されている。
本実施形態では、左端部３２２側に設けられた個別駆動用バンプ３７０ａでは、コア部３７１（以下、「個別駆動用バンプコア部３７１ａ」という）は、左端部３２２の縁部に沿って前後方向に延在している。複数の導電膜３７２（以下、「個別駆動用バンプ導電膜３７２ａ」という）は、流路形成基板２０における左側の列の個別駆動用端子４５に１対１に対応して、前後方向に配列されている。したがって、個別駆動用バンプ導電膜３７２ａは、対応する個別駆動用端子４５の配列ピッチと同一のピッチで前後方向に配列している。すなわち、左側の個別駆動用バンプ３７０ａ内において配列方向（前後方向）に互いに隣合う２つの個別駆動用バンプ導電膜３７２ａの中心間距離は、対応する左側の個別駆動用端子４５の列内において配列方向（前後方向）に互いに隣合う２つの個別駆動用端子４５の中心間距離と等しい。各個別駆動用バンプ導電膜３７２ａでは、被覆部３７２０が個別駆動用バンプコア部３７１ａを被覆し、延出部３７２２が被覆部３７２０から右方に延出している。
一方、右端部３２４側に設けられた個別駆動用バンプ３７０ａでも、個別駆動用バンプコア部３７１ａは、右端部３２４の縁部に沿って前後方向に延在している。複数の個別駆動用バンプ導電膜３７２ａは、流路形成基板２０における右側の列の個別駆動用端子４５に１対１に対応して、前後方向に配列されている。したがって、右側の個別駆動用バンプ３７０ａでも、個別駆動用バンプ導電膜３７２ａは、対応する個別駆動用端子４５の配列ピッチと同一のピッチで前後方向に配列している。なお、右側の個別駆動用端子４５の列内における個別駆動用端子４５の配列ピッチと、左側の個別駆動用端子４５の列内における個別駆動用端子４５の配列ピッチとは、互いに等しい。なお、右側の個別駆動用バンプ３７０ａでも、各個別駆動用バンプ導電膜３７２ａの被覆部３７２０が個別駆動用バンプコア部３７１ａを被覆しているが、左側の個別駆動用バンプ３７０ａとは異なり、延出部３７２２は、被覆部３７２０から左方に延出している。
下面側埋設配線３５１上に設けられた共通駆動用バンプ３７０ｂでは、コア部３７１（以下、「共通駆動用バンプコア部３７１ｂ」という）は、下面側埋設配線３５１の左右方向における略中央部において前後方向に延在している。複数の導電膜３７２（以下、「共通駆動用バンプ導電膜３７２ｂ」という）は、前後方向に配列されている。各共通駆動用バンプ導電膜３７２ｂでは、被覆部３７２０が共通駆動用バンプコア部３７１ｂを被覆し、延出部３７２２が被覆部３７２０から左右両方向に延出している。
また、前端部３１０側に設けられた前側ダミーバンプ３７０ｃでは、コア部３７１（以下、「前側ダミーバンプコア部３７１ｃ」という）は、前端部３１０の縁部に沿って左右方向に延在し、その両端部において、左右両側の個別駆動用バンプコア部３７１ａの前端部と接続されている。また、複数の導電膜３７２（以下、「前側ダミーバンプ導電膜３７２ｃ」という）は、左側及び右側の個別駆動用バンプ導電膜３７２ａの配列ピッチより大きいピッチで、左右方向に配列されている。すなわち、前側ダミーバンプ３７０ｃ内において配列方向（左右方向）に互いに隣合う２つの前側ダミーバンプ導電膜３７２ｃの中心間距離は、各個別駆動用バンプ３７０ａ内において配列方向（前後方向）に互いに隣合う２つの個別駆動用バンプ導電膜３７２ａの中心間距離より大きい。各前側ダミーバンプ導電膜３７２ｃでは、被覆部３７２０が前側ダミーバンプコア部３７１ｃを被覆し、延出部３７２２が被覆部３７２０から後方に延出している。
後端部３２０側に設けられた後側ダミーバンプ３７０ｄでは、コア部３７１（以下、「後側ダミーバンプコア部３７１ｄ」という）は、後端部３２０に沿って左右方向に延在し、その両端部において、左右両側の個別駆動用バンプコア部３７１ａの後端部と接続されている。また、複数の導電膜３７２（以下、「後側ダミーバンプ導電膜３７２ｄ」という）は、左側及び右側の個別駆動用バンプ導電膜３７２ａの配列ピッチより大きいピッチで、左右方向に配列されている。すなわち、後側ダミーバンプ３７０ｄ内において配列方向（左右方向）に互いに隣合う２つの後側ダミーバンプ導電膜３７２ｄの中心間距離は、各個別駆動用バンプ３７０ａ内において配列方向（前後方向）に互いに隣合う２つの個別駆動用バンプ導電膜３７２ａの中心間距離より大きい。各後側ダミーバンプ導電膜３７２ｄでは、被覆部３７２０が後側ダミーバンプコア部３７１ｄを被覆し、延出部３７２２が被覆部３７２０から前方に延出している。
こうして、４本のコア部３７１が駆動配線基板３００の縁部全周に沿って延在しているため、駆動配線基板３００が流路形成基板２０に接合された際には、これら４本のコア部３７１が、２つの圧電体４０（複数の圧電素子４１）を取り囲む。
＜スペーサ１４０＞
複数対のスペーサ１４０は、各対のスペーサ１４０が対応するバンプ３７０を構成するコア部３７１をその両側から挟むように、コア部３７１に沿って延在している。ここで、個別駆動用バンプ３７０ａ、前側ダミーバンプ３７０ｃ、後側ダミーバンプ３７０ｄが備える導電膜３７２の延出部３７２２は、上下方向において、駆動配線基板３００の下面３０２と、スペーサ１４０との間に挟まれる。また、共通駆動用バンプ３７０ｂが備える導電膜３７２の延出部３７２２は、上下方向において、下面側埋設配線３５１の下面３０２と、スペーサ１４０との間に挟まれる。スペーサ１４０は、光の照射により硬化する感光性樹脂によって作製されている。スペーサ１４０の材料としては、絶縁材料が用いられる。例えば、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、シリコーン樹脂、スチレン樹脂等を主成分として光重合開始剤等を含む熱硬化性樹脂が好適に用いられる。特に、耐薬品性の観点から、エポキシ樹脂を主成分とするものがより好ましい。
図２に示すように、駆動配線基板３００の上面３０１上には、ドライバＩＣ１２０が設けられている。さらに、駆動配線基板３００の上面３０１には、複数の第１個別配線３３１（図６）と、複数の供給配線３３２とが設けられている。
ここで、駆動配線基板３００の上面３０１は、図２，３に示すように、水平領域３１２と傾斜領域３１５とを有している。傾斜領域３１５は、水平領域３１２の前方に位置し、前後方向に前端部３１０まで延在している。水平領域３１２は、水平方向に延びている。傾斜領域３１５は、左右方向には水平に延びているが、前後方向においては、前端部３１０に向かうにつれて下面３０２に近づくように傾斜している。
ドライバＩＣ１２０と第１個別配線３３１とは、上面３０１の水平領域３１２内に配置されている。供給配線３３２は、水平領域３１２と傾斜領域３１５とに亘って前後方向に延びている。
＜第１個別配線３３１と供給配線３３２＞
複数の第１個別配線３３１（図６）は、流路形成基板２０における複数の個別電極４２に１対１に対応して設けられている。詳しくは、第１個別配線３３１は、左右方向の両端部のそれぞれに、前後方向に複数並設されている。
供給配線３３２は、フレキシブル印刷回路基板１２５からドライバＩＣ１２０用の電源、ドライバＩＣ１２０用のグランド（ＧＮＤ）、個別電極４２用の駆動信号（ＣＯＭ）、共通電極４３用のバイアス電圧（グランド）、及び、ドライバＩＣ１２０の制御信号、などを供給するための配線である。供給配線３３２は、上述した用途ごとに複数設けられている。供給配線３３２のうち、共通電極４３用のバイアス電圧（グランド）を供給する供給配線３３２を、以下、「バイアス供給配線３３２ａ」という。
第１個別配線３３１及び供給配線３３２には、ドライバＩＣ１２０が接続されている。すなわち、図６に示すように、ドライバＩＣ１２０は複数の端子１２１を備えており、これら端子１２１を介して第１個別配線３３１及び供給配線３３２と電気的に接続されている。なお、バイアス供給配線３３２ａ以外の供給配線３３２は端子１２１を介してドライバＩＣ１２０に電気的に接続されている。一方、バイアス供給配線３３２ａは、ドライバＩＣ１２０の他、圧電アクチュエータ２２の共通電極である共通電極４３にも電気的に接続されている。なお、ドライバＩＣ１２０は、図示せぬ接着剤により駆動配線基板３００に接着されている。
＜貫通配線＞
駆動配線基板３００には、図６に示すように、複数の個別駆動用貫通配線３３３と少なくとも１つの共通駆動用貫通配線３３４が形成されている。複数の個別駆動用貫通配線３３３は、流路形成基板２０の複数の個別電極４２に１対１に対応し、かつ、複数の第１個別配線３３１にも１対１に対応して設けられている。一方、共通駆動用貫通配線３３４は、流路形成基板２０の共通電極４３に対応し、かつ、バイアス供給配線３３２ａにも対応して設けられている。
これら個別駆動用貫通配線３３３及び共通駆動用貫通配線３３４は、駆動配線基板３００を、その上面３０１から下面３０２に亘って、上下方向に延びている。
具体的には、個別駆動用貫通配線３３３は、駆動配線基板３００を厚さ方向である上下方向に貫通して設けられた貫通孔の内部に配線を充填して形成されており、上面３０１と下面３０２とを中継する配線である。
個別駆動用貫通配線３３３は、上面３０１において、対応する第１個別配線３３１と電気的に接続しており、下面３０２において、対応する個別駆動用バンプ導電膜３７２ａの延出部３７２２と電気的に接続している。
共通駆動用貫通配線３３４も、個別駆動用貫通配線３３３同様、駆動配線基板３００を上下方向に貫通して設けられた貫通孔の内部に配線を充填して形成されている。共通駆動用貫通配線３３４は、上面３０１において、バイアス供給配線３３２ａと電気的に接続されており、下面３０２において、下面側埋設配線３５１と電気的に接続している。個別駆動用貫通配線３３３及び共通駆動用貫通配線３３４は、両方とも、銅（Ｃｕ）等の金属を電界めっき、無電界めっき等によって形成することができる。
上記構造を有する駆動配線基板３００と流路形成基板２０とは、以下のように接合する。
すなわち、駆動配線基板３００の下面３０２が流路形成基板２０の上面２０１に対向するように配置し、各個別駆動用バンプ導電膜３７２ａが、対応する個別駆動用端子４５上に位置し、各共通駆動用バンプ導電膜３７２ｂが共通電極４３の接続部４３ｂ上に位置し、各ダミーバンプ導電膜３７２ｃ、ダミーバンプ導電膜３７２ｄが絶縁膜４４上に位置させる。この状態で、駆動配線基板３００と流路形成基板２０とを相対的に近接するように押圧することにより、個別駆動用バンプコア部３７１ａの先端形状が個別駆動用端子４５の表面形状に倣うように弾性変形し、共通駆動用バンプコア部３７１ｂの先端形状が接続部４３ｂの表面形状に倣うように弾性変形し、前側ダミーバンプコア部３７１ｃ及び後側ダミーバンプコア部３７１ｄの先端形状が絶縁膜４４の表面形状に倣うように弾性変形する。その結果、個別駆動用バンプ導電膜３７２ａは個別駆動用端子４５の表面形状に倣って変形して個別駆動用端子４５と電気的に接合され、共通駆動用バンプ導電膜３７２ｂは接続部４３ｂの表面形状に倣って変形し共通電極４３と電気的に接合される。また、ダミーバンプ導電膜３７２ｃ及び３７２ｄは、絶縁膜４４の表面形状に倣って変形し、絶縁膜４４に接触する。
上記のように、個別駆動用バンプ導電膜３７２ａを個別駆動用端子４５に接続することで、ドライバＩＣ１２０は、第１個別配線３３１、個別駆動用貫通配線３３３、個別駆動用バンプ導電膜３７２ａ及び個別駆動用端子４５を介して各圧電素子４１の個別電極４２に電気的に接続され、ドライバＩＣ１２０からの駆動信号が各圧電素子４１に供給される。また、共通駆動用バンプ導電膜３７２ｂを共通電極４３の接続部４３ｂに接続することで、フレキシブル印刷回路基板１２５からのバイアス電圧が、圧電アクチュエータ２２の共通電極４３に供給される。
さらに、個別駆動用バンプ３７０ａと前側ダミーバンプ３７０ｃ及び後側ダミーバンプ３７０ｄのそれぞれの両側に設けられたスペーサ１４０によって、流路形成基板２０と駆動配線基板３００との間には、内部に圧電アクチュエータ２２が配置された空間である保持部１６０が形成される。
＜フレキシブル印刷回路基板とダミーバンプ＞
図３に示すように、駆動配線基板３００の上面３０１には、前後方向における前端部３１０とドライバＩＣ１２０との間の位置に、フレキシブル印刷回路基板１２５が接着されている。より詳しくは図８（Ａ）に示すように、フレキシブル印刷回路基板１２５は、その延伸方向において、制御回路４００と接続される基端１２５ｅ１と、基端１２５ｅ１とは反対側の先端１２５ｅ２とを有している。フレキシブル印刷回路基板１２５は、延伸方向においてその先端１２５ｅ２に近接した部分で駆動配線基板３００に接着されている。ここで、フレキシブル印刷回路基板１２５は、駆動配線基板３００の上面３０１における傾斜領域３１５内において、駆動配線基板３００に接着され、フレキシブル印刷回路基板１２５に印刷された図示しない電気回路が供給配線３３２に電気的に導通される。
本実施形態では、フレキシブル印刷回路基板１２５を駆動配線基板３００の上面３０１のうち傾斜領域３１５で接着させたため、接着しろを平面方向に小さくすることができ、ヘッドを小型化することができる。
ここで、フレキシブル印刷回路基板１２５と駆動配線基板３００とが互いに接着している部分では、フレキシブル印刷回路基板１２５の先端１２５ｅ２から基端１２５ｅ１に向かう向きが、駆動配線基板３００の前端部３１０から後端部３２０に向かう向きと一致している。したがって、インクジェットヘッド４全体を小型化することができ、また、フレキシブル印刷回路基板１２５の曲率半径が小さくならないため、フレキシブル印刷回路基板１２５が曲げによる応力により駆動配線基板３００から剥離することを防止できる。
以下、駆動配線基板の上面に傾斜面が形成されておらず、しかも、フレキシブル印刷回路基板を接着させる向きが逆向きである場合（比較例）と比較して、本実施形態の効果を検討する。かかる比較例の場合には、図８（Ｂ）に示すように、フレキシブル印刷回路基板の曲率半径が小さくなり、フレキシブル印刷回路基板１２５が曲げによる応力により駆動配線基板３００から剥離する可能性が高くなる。その一方で、図８（Ｃ）に示すように、フレキシブル印刷回路基板の曲率半径を大きくしようとすると、フレキシブル印刷回路基板がインクジェットヘッドの前方に向かってより長く延伸してしまう。その結果、インクジェットヘッド周りのスペースを大きく採らなければならなくなり、プリンタ全体の小型化を図ることができなくなる。
なお、本実施形態では、図８（Ａ）に示すように、傾斜領域３１５は、前方に向かうにつれて下面３０２に近づく向きに傾斜している。しかしながら、図８（Ｄ）に示す変形例における駆動配線基板３００ａでは、傾斜領域３１５ａは、前方に向かうにつれて下面３０２から遠ざかる向きに傾斜している。フレキシブル印刷回路基板１２５をこのような傾斜領域３１５ａに接着させてもよい。ただし、実施形態のように、前方に向かうにつれて下面３０２に近づくような向きに傾斜した傾斜領域３１５にフレキシブル印刷回路基板１２５を接着させる方が、押圧冶具を挿入しやすいため、作業性が向上する。
また、図５，及び、図７に示すように、上下方向に見た時に、前側ダミーバンプ３７０ｃは、上面３０１のうちフレキシブル印刷回路基板１２５が接着されている接着領域Ｓ全体と重なっている。すなわち、上下方向に見たときに、前側ダミーバンプ３７０ｃを構成する前側ダミーバンプコア部３７１ｃは、接着領域Ｓを完全にカバーする位置及び大きさに形成されている。したがって、フレキシブル印刷回路基板１２５が駆動配線基板３００に接着される際、前側ダミーバンプ３７０ｃが、駆動配線基板３００と流路形成基板２０との間の間隙を確保する支柱として機能することにより、駆動配線基板３００が、破壊されたり、たわんで流路形成基板２０からはがれることを、確実に防止できる。
なお、後側ダミーバンプ３７０ｄは設けなくてもよい。しかしながら、実施形態のように、後側ダミーバンプ３７０ｄを設けることがより好ましい。前側ダミーバンプ３７０ｃと後側ダミーバンプ３７０ｄとを、前後方向においてドライバＩＣ１２０に対して互いに反対側に配置することにより、インクジェットヘッド４の重量のバランスを保つことができるからである。また、流路形成基板２０と駆動配線基板３００との間に封止材を設ける場合には、前側ダミーバンプ３７０ｃと後側ダミーバンプ３７０ｄの両方を設けることで、封止材の流れ出しを効果的に防止することができる。
なお、実施形態では、複数のバンプ３７０は、駆動配線基板３００の下面３０２に、下方（流路形成基板２０側）へ突出するように設けられていた。しかしながら、複数のバンプ３７０は、流路形成基板２０の上面に、上方（駆動配線基板３００側）へ突出するように形成されていてもよい。
また、実施形態では、ダミーバンプ３７０ｃ、３７０ｄは複数のダミーバンプ導電膜３７２ｃ、３７２ｄを備えている。しかしながら、ダミーバンプ３７０ｃ、３７０ｄはダミーバンプ導電膜３７２ｃ、３７２ｄを備えなくてもよい。
本実施形態によれば、インクジェットヘッド４は、流路形成基板２０とドライバＩＣ１２０を備える駆動配線基板３００とを備えている。駆動配線基板３００は、厚み方向（上下方向）において上面３０１と上面３０１とは反対側の下面３０２とを有するとともに、厚み方向（上下方向）と直交する長手方向（前後方向）に延び、長手方向（上下方向）において第１端部（前端部）３１０と第２端部（後端部）３２０とを有している。駆動配線基板３００は、下面３０２が流路形成基板２０の上面に対し間隔をおいて対向するように配置されている。駆動配線基板３００の上面３０１上には、ドライバＩＣ１２０が設けられている。駆動配線基板３００の上面３０１の前端部３１０とドライバＩＣ１２０との間には、フレキシブル印刷回路基板１２５が接着されている。駆動配線基板３００の下面３０２と流路形成基板２０の上面との間には、前側ダミーバンプ３７０ｃが設けられている。上下方向（厚み方向）に見た時に、前側ダミーバンプ３７０ｃは、上面３０１のうちフレキシブル印刷回路基板１２５が接着されている接着領域Ｓ全体と重なっている。前側ダミーバンプ３７０ｃが厚み方向において接着領域Ｓ全体と重なっているため、フレキシブル印刷回路基板１２５が駆動配線基板３００に接着される際、駆動配線基板３００が、破壊されたり、たわんで流路形成基板２０からはがれることを、確実に防止できる。
また、本実施形態によれば、流路形成基板２０は、圧電素子４１と、圧電素子４１を駆動させるための駆動信号を与えるための個別電極４２及び共通電極４３を更に備えている。圧電素子４１と駆動電極（個別電極４２、共通電極４３）とは、流路形成基板２０の上面に設けられている。駆動配線基板３００には、ドライバＩＣ１２０と電気的に導通した第１個別配線３３１とバイアス供給配線３３２ａとが形成されている。駆動配線基板３００の下面３０２と流路形成基板２０の上面との間には、個別駆動用バンプ３７０ａと共通駆動用バンプ３７０ｂとが設けられている。個別駆動用バンプ３７０ａは、樹脂で形成された個別駆動用バンプコア部３７１ａと、個別駆動用バンプコア部３７１ａの少なくとも一部を覆うように設けられ、第１個別配線３３１及び個別電極４２の両方と電気的に導通した個別駆動用バンプ導電膜３７２ａとを有している。共通駆動用バンプ３７０ｂは、樹脂で形成された共通駆動用バンプコア部３７１ｂと、共通駆動用バンプコア部３７１ｂの少なくとも一部を覆うように設けられバイアス供給配線３３２ａ及び共通電極４３の両方と電気的に導通した共通駆動用バンプ導電膜３７２ｂとを有している。前側ダミーバンプコア部３７１ｃは、個別駆動用バンプコア部３７１ａ及び共通駆動用バンプコア部３７１ｂと同一の材料で形成されている。かかる構成により、前側ダミーバンプ３７０ｃを、個別駆動用バンプ３７０ａ及び共通駆動用バンプ３７０ｂと同じ工程で作ることができる。
より詳しくは、流路形成基板２０の上面には、複数の圧電素子４１が設けられている。流路形成基板２０の上面には、更に、複数の圧電素子４１を個別に駆動するための複数の個別電極４２が設けられている。複数の個別電極４２は、前後方向（流路形成基板２０の長手方向）に配列されている。駆動配線基板３００は、複数の個別電極４２に１対１に対応した複数の第１個別配線３３１を備えている。複数の第１個別配線３３１は、前後方向（駆動配線基板３００の長手方向）に配列されている。個別駆動用バンプ３７０ａでは、個別駆動用バンプコア部３７１ａは前後方向（駆動配線基板３００の長手方向）に延在し、複数の個別駆動用バンプ導電膜３７２ａは前後方向（駆動配線基板３００の長手方向）に所定のピッチで配列されている。複数の個別駆動用バンプ導電膜３７２ａの各々は、対応する個別電極４２と対応する第１個別配線３３１との両方とそれぞれ導通している。前側ダミーバンプ３７０ｃが備える前側ダミーバンプコア部３７１ｃは、個別駆動用バンプコア部３７１ａと同一の材料で形成されている。前側ダミーバンプ３７０ｃが備える複数の前側ダミーバンプ導電膜３７２ｃは、前側ダミーバンプコア部３７１ｃの少なくとも一部を覆うように設けられ、駆動配線基板３００側の第１個別配線３３１やバイアス供給配線３３２ａ等の配線や流路形成基板２０側の駆動電極（個別電極４２，共通電極４３）等の電極のいずれとも電気的に導通していない。前側ダミーバンプコア部３７１ｃは、左右方向に延在し、その両端において、左右の個別駆動用バンプコア部３７１ａの前端と接続されている。複数の前側ダミーバンプ導電膜３７２ｃは、個別駆動用バンプ導電膜３７２ａの配列ピッチより大きいピッチで左右方向に配列している。かかる構造によれば、前側ダミーバンプ３７０ｃを、個別電極４２用の個別駆動用バンプ３７０ａと同じ工程で作ることができる。また、前側ダミーバンプ導電膜３７２ｃは、個別駆動用バンプ導電膜３７２ａより大きいピッチで作ることができるため、インクジェットヘッド４全体を簡易に作ることができる。
また、本実施形態によれば、駆動配線基板３００の下面３０２と流路形成基板２０の上面との間には、後側ダミーバンプ３７０ｄが設けられている。後側ダミーバンプ３７０ｄは、前後方向（駆動配線基板３００の長手方向）において、ドライバＩＣ１２０に対して、前側ダミーバンプ３７０ｃとは反対側に位置している。かかる構造によれば、インクジェットヘッド４の重量の前後方向におけるバランスを保つことができる。また、流路形成基板２０と駆動配線基板３００との間に封止材を設ける場合にもその流れ出しを防止することができる。
さらに、本実施形態によれば、フレキシブル印刷回路基板１２５は、その延伸方向において、制御回路４００と接続される基端１２５ｅ１と、基端１２５ｅ１とは反対側の先端１２５ｅ２とを有している。フレキシブル印刷回路基板１２５のうち延伸方向における先端１２５ｅ２に近接した部分が駆動配線基板３００に接着されている。フレキシブル印刷回路基板１２５と駆動配線基板３００とが互いに接着している部分では、フレキシブル印刷回路基板１２５の先端１２５ｅ２から基端１２５ｅ１に向かう向きが、駆動配線基板３００の前端部３１０から後端部３２０に向かう向きと一致している。かかる構造により、インクジェットヘッド４全体を小型化することができる
さらに、本実施形態では、駆動配線基板３００の上面３０１は、厚み方向（上下方向）及び長手方向（前後方向）の両方に対して傾斜した傾斜領域３１５を有している。傾斜領域３１５は、前後方向（駆動配線基板３００の長手方向）においてドライバＩＣ１２０より前端部３１０側に位置し、少なくとも接着領域Ｓを含んでいる。かかる構造によれば、接着しろを平面方向に小さくすることができ、ヘッドを小型化することができる。また、フレキシブル印刷回路基板１２５の曲率半径を小さくする必要がないため、フレキシブル印刷回路基板１２５が曲げによる応力により駆動配線基板３００から剥離することを防止できる。
さらに、本実施形態では、傾斜領域３１５は、前後方向（駆動配線基板３００の長手方向）において前端部３１０まで延在している。上面３０１は、傾斜領域３１５において、前端部３１０に向かうほど、上下方向において下面３０２に近づくように傾斜している。かかる構成によれば、押圧冶具を挿入しやすいため、作業性が向上する。
＜変形例＞
上記実施形態では、前側ダミーバンプコア部３７１ｃ及び後側ダミーバンプコア部３７１ｄは、左右両側に設けられている個別駆動用バンプコア部３７１ａと接続されていた。しかしながら、図９に示すように、共通駆動用バンプ３７０ｂ１の共通駆動用バンプコア部３７１ｂ１を前後方向に延伸させて、前側ダミーバンプ３７０ｃ１の前側ダミーバンプコア部３７１ｃ１及び後側ダミーバンプ３７０ｄ１の後側ダミーバンプコア部３７１ｄ１と接続させても良い。
本変形例によれば、流路形成基板２０の上面には、複数の圧電素子４１が設けられている。また、流路形成基板２０の上面には、複数の圧電素子４１を共通して駆動するための共通電極４３も設けられている。共通電極４３は、前後方向（流路形成基板２０の長手方向）に延在している。駆動配線基板３００は、共通電極４３に対応したバイアス供給配線３３２ａを備えている。共通駆動用バンプコア部３７１ｂ１は前後方向に延在している。共通駆動用バンプ導電膜３７２ｂ１は、共通電極４３とバイアス供給配線３３２ａの両方とそれぞれ導通し、共通駆動用バンプコア部３７１ｂ１に沿って配置されている。前側ダミーバンプコア部３７１ｃ１は、左右方向に延在し、その左右方向における中央部が、前方に延長された共通駆動用バンプコア部３７１ｂ１の前端と接続している。後側ダミーバンプコア部３７１ｄ１は、左右方向に延在し、その左右方向における中央部が、後方に延長された共通駆動用バンプコア部３７１ｂ１の後端と接続している。このため、ダミーバンプ３７０ｃ１，３７０ｄ１を、共通電極４３用の共通駆動用バンプ３７０ｂ１と同じ工程で作ることができる。
さらに、別の変形例として、図１０に示すように、前側ダミーバンプ３７０ｃと後側ダミーバンプ３７０ｄの代わりに、追加スペーサ１４０ａを設けても良い。追加スペーサ１４０ａは、スペーサ１４０と同一の材料にて形成することができる。追加スペーサ１４０aは、前側ダミーバンプ３７０ｃ及び後側ダミーバンプ３７０ｄと同一の位置及び領域に形成させれば良い。これら追加スペーサ１４０aは、前側ダミーバンプ３７０ｃ及び後側ダミーバンプ３７０ｄと同じように支柱として機能する。
本変形例によれば、駆動配線基板３００の下面３０２と流路形成基板２０の上面との間には、樹脂から形成されたスペーサ１４０が、個別駆動用バンプ３７０ａと共通駆動用バンプ３７０ｂの各々に隣り合って配置されている他、追加スペーサ１４０ａが、駆動配線基板３００の前端部３１０と後端部３２０の各々に沿って設けられている。ここで、追加スペーサ１４０ａは、スペーサ１４０と同一の材料から形成されている。従って、追加スペーサ１４０ａを、スペーサ１４０を作る工程と同じ工程で作ることができる。
以上説明した実施形態及びその変更形態は、液体噴射装置であるインクジェットヘッドに本発明を適用した一例であるが、本発明の複合基板は、液体に圧力を付与する用途で使用されるものには限られない。基板上に複数の圧電素子が配置され、ドライバＩＣ１２０によって複数の圧電素子をそれぞれ駆動して基板を変形させることによって、複数の固体の駆動対象物にそれぞれ変位や振動等を生じさせるといった、別の用途に使用するものであってもよい。
４ インクジェットヘッド
２０ 流路形成基板
３００ 駆動配線基板
１２０ ドライバーＩＣ
１２５ フレキシブル印刷回路基板
３７０ｃ、３７０ｄ ダミーバンプ

Claims (11)

  1. 第１基板と、
    駆動回路を備える第２基板とを備え、
    前記第２基板は、厚み方向において第１面と第１面とは反対側の第２面とを有するとともに、前記厚み方向と直交する長手方向に延び、前記長手方向において第１端部と第２端部とを有し、
    前記第２基板は、前記第２面が前記第１基板の一表面に対し間隔をおいて対向するように配置されており、
    前記第２基板の前記第１面上には、駆動回路が設けられており、
    前記第２基板の前記第１面の前記長手方向における前記第１端部と前記駆動回路との間には、フレキシブル印刷回路基板が接着されており、
    前記第２基板の前記第２面と前記第１基板の前記一表面との間には支柱が設けられており、
    前記厚み方向に見た時に、前記支柱は、前記第１面のうち前記フレキシブル印刷回路基板が接着されている接着領域全体と重なっており、
    前記第１基板は、アクチュエータ素子と、前記アクチュエータ素子を駆動させるための駆動信号を与えるための第１基板側配線を更に備え、
    前記アクチュエータ素子と前記第１基板側配線とは、前記第１基板の前記一表面に設けられており、
    前記第２基板には、前記駆動回路と電気的に導通した第２基板側配線が形成されており、
    前記第２基板の前記第２面と前記第１基板の前記一表面との間には、第１のバンプが設けられていること
    を特徴とする複合基板。
  2. 前記第１のバンプは、絶縁材料で形成された第１の絶縁コアと、前記第１の絶縁コアの少なくとも一部を覆うように設けられ前記第２基板側配線及び前記第１基板側配線の両方と電気的に導通した第１の導電膜とを有し、
    前記支柱の少なくとも一部は、前記第１の絶縁コアと同一の材料で形成されている
    ことを特徴とする請求項１に記載の複合基板。
  3. 前記第１基板の前記一表面上には、複数の前記アクチュエータ素子が設けられており、
    前記第１基板の前記一表面上には、前記第１基板側配線として、複数の前記アクチュエータ素子を個別に駆動するための複数の個別電極が設けられ、前記複数の個別電極は前記長手方向に配列されており、
    前記第２基板は、前記複数の個別電極に１対１に対応した複数の第２基板側配線を備え、前記複数の第２基板側配線は前記長手方向に配列されており、
    前記第１の絶縁コアは前記長手方向に延在し、
    複数の前記第１の導電膜は前記長手方向に前記第１の絶縁コアに沿って配列されており、前記複数の第１の導電膜の各々は、対応する前記個別電極と対応する前記第２基板側配線の両方とそれぞれ導通し、
    前記支柱は、前記第１の絶縁コアと同一の材料で形成された第２の絶縁コアと、前記第２の絶縁コアの少なくとも一部を覆うように設けられ、前記複数の第２基板側配線及び前記複数の第１基板側配線のいずれとも電気的に導通していない複数の第２の導電膜を備えている
    ことを特徴とする請求項２に記載の複合基板。
  4. 前記第２の絶縁コアは、前記長手方向及び前記厚み方向の両方に直交する短手方向に延在し、前記第１の絶縁コアと接続しており、
    前記複数の第２の導電膜は、前記第２の絶縁コアに沿って前記短手方向に配列しており、
    前記短手方向において互いに隣合う２つの第２の導電膜の前記短手方向における中心間距離は、前記長手方向において互いに隣あう２つの第１の導電膜の前記長手方向における中心間距離より大きい
    ことを特徴とする請求項３に記載の複合基板。
  5. 前記第１基板の前記一表面上には、複数の前記アクチュエータ素子が設けられており、
    前記第１基板の前記一表面上には、前記第１基板側配線として、前記複数のアクチュエータ素子を共通して駆動するための共通電極が設けられ、前記共通電極は前記長手方向に延在し、
    前記第２基板は、前記共通電極に対応した第２基板側配線を備えている
    ことを特徴とする請求項２に記載の複合基板。
  6. 前記第１の絶縁コアは前記長手方向に延在し、
    前記第１の導電膜は、前記共通電極と前記第２基板側配線の両方とそれぞれ導通し、
    前記支柱は、前記第１の絶縁コアと同一の材料で形成された第２の絶縁コアを備え、
    前記第２の絶縁コアは、前記長手方向及び前記厚み方向の両方に直交する短手方向に延在し、前記第１の絶縁コアと接続している
    ことを特徴とする請求項５に記載の複合基板。
  7. 前記第２基板の前記第２面と前記第１基板の前記一表面との間には、前記第１のバンプに隣り合って配置され、絶縁材料から形成されたスペーサが設けられており、
    前記支柱は、前記スペーサと同一の材料から形成されている
    ことを特徴とする請求項１に記載の複合基板。
  8. 第１基板と、
    駆動回路を備える第２基板とを備え、
    前記第２基板は、厚み方向において第１面と第１面とは反対側の第２面とを有するとともに、前記厚み方向と直交する長手方向に延び、前記長手方向において第１端部と第２端部とを有し、
    前記第２基板は、前記第２面が前記第１基板の一表面に対し間隔をおいて対向するように配置されており、
    前記第２基板の前記第１面上には、駆動回路が設けられており、
    前記第２基板の前記第１面の前記長手方向における前記第１端部と前記駆動回路との間には、フレキシブル印刷回路基板が接着されており、
    前記第２基板の前記第２面と前記第１基板の前記一表面との間には支柱が設けられており、
    前記厚み方向に見た時に、前記支柱は、前記第１面のうち前記フレキシブル印刷回路基板が接着されている接着領域全体と重なっており、
    前記第２基板の前記第２面と前記第１基板の前記一表面との間には追加の支柱が設けられており、
    前記追加の支柱は、前記長手方向において、前記駆動回路に対して、前記支柱とは反対側に位置している
    ことを特徴とする複合基板。
  9. 第１基板と、
    駆動回路を備える第２基板とを備え、
    前記第２基板は、厚み方向において第１面と第１面とは反対側の第２面とを有するとともに、前記厚み方向と直交する長手方向に延び、前記長手方向において第１端部と第２端部とを有し、
    前記第２基板は、前記第２面が前記第１基板の一表面に対し間隔をおいて対向するように配置されており、
    前記第２基板の前記第１面上には、駆動回路が設けられており、
    前記第２基板の前記第１面の前記長手方向における前記第１端部と前記駆動回路との間には、フレキシブル印刷回路基板が接着されており、
    前記第２基板の前記第２面と前記第１基板の前記一表面との間には支柱が設けられており、
    前記厚み方向に見た時に、前記支柱は、前記第１面のうち前記フレキシブル印刷回路基板が接着されている接着領域全体と重なっており、
    前記フレキシブル印刷回路基板は、その延伸方向において、制御回路と接続される基端と、前記基端とは反対側の先端とを有し、
    前記フレキシブル印刷回路基板のうち前記先端に近接した部分が第２基板に接着されており、
    前記フレキシブル印刷回路基板と前記第２基板とが互いに接着している部分では、前記フレキシブル印刷回路基板の前記先端から前記基端に向かう向きが、前記第２基板の前記第１端部から前記第２端部に向かう向きと一致している
    ことを特徴とする複合基板。
  10. 前記第２基板の前記第１面は、前記厚み方向及び前記長手方向の両方に対して傾斜した傾斜領域を有し、
    前記傾斜領域は、前記長手方向において前記駆動回路より前記第１端部側に位置し、少なくとも前記接着領域を含んでいる
    ことを特徴とする請求項９に記載の複合基板。
  11. 前記第１面の前記傾斜領域は、前記長手方向において前記第１端部まで延在しており、
    前記傾斜領域では、前記第１面は、前記長手方向に沿って前記第１端部に向かうほど、前記厚み方向に沿って前記第２面に近づくように、傾斜している
    ことを特徴とする請求項１０に記載の複合基板。
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