JP6786909B2 - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents

Description

本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。

従来から、インクジェット式記録ヘッドとして、液体を液滴に噴射する液体噴射ヘッドが知られていた。液体噴射ヘッドは、例えば、ノズルプレートに形成されたノズル開口と、ノズル開口に連通する圧力室とを有し、圧力発生手段によって圧力室内の液体に圧力変化を生じさせることで、ノズル開口から液体を液滴に噴射する。このような液体噴射ヘッドは、複数の圧力室が並設された圧力室形成基板とノズルプレートとの間に設けられた流路形成基板を備えている。流路形成基板には、複数の圧力室に共通して連通する共通液室と、共通液室に液体を導入させる液体導入口と、共通液室と各圧力室とを個別に連通する個別連通路とが設けられている。

例えば、特許文献１の液体吐出ヘッド（液体噴射ヘッド）には、流路空部（共通液室）が連通基板（流路形成基板）に圧力室と反対側の面を窪ませて形成され、流路空部の天井部から個別連通口（個別連通路）の方向に向かって天井部が低くなる方向に傾斜した傾斜面の形成された構成が、開示されている。

特開２０１６−４９７２６号公報

しかしながら、特許文献１では、ノズルプレート側からの平面視にて、流路形成基板の肉薄部（天井部）と肉厚部とによって形成される境界部（傾斜面）が、共通液室の長手方向（圧力室の並設方向）に沿って伸びている。共通液室の並設方向の中央部においては、導入口から個別連通路に向かう液体の流れが並設方向と略直交するので、液体に混入された気泡が境界部の中央部に滞留する恐れがあった。この気泡により、各個別連通路から圧力室に供給される液体の供給量にばらつきが生じ、液体の吐出性能に影響を及ぼす恐れがあった。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例に係る液体噴射ヘッドは、液体を吐出するノズルと連通した圧力室が並設された圧力室形成基板と、前記ノズルが設けられたノズルプレートと、前記圧力室形成基板と前記ノズルプレートとの間に設けられた流路形成基板と、を備えた液体噴射ヘッドであって、前記流路形成基板は、並設された前記圧力室に液体を供給する複数の個別連通路と、前記圧力室と共通して連通する共通液室と、前記共通液室に液体を導入する液体導入口と、前記液体導入口から前記個別連通路に向かう液体の流路と、を含み、前記流路形成基板は、前記共通液室において前記圧力室形成基板側に位置し、基板厚の厚い肉厚部と基板厚の薄い肉薄部と、を有し、前記流路形成基板の厚さ方向における前記流路の断面積は、前記肉厚部によって前記液体導入口側より前記個別連通路側の方が小さく、前記肉厚部は、前記ノズルプレート側からの平面視にて、前記液体導入口側から前記圧力室の並設される並設方向に沿って設けられた前記複数の個別連通路の少なくとも一方の端側に向って傾斜する第１傾斜部を含んでいること、を特徴とする。

本適用例によれば、液体噴射ヘッドの流路形成基板は、共通液室において圧力室形成基板側に位置し、基板厚の厚い肉厚部と基板厚の薄い肉薄部と、を有している。また、流路形成基板の厚さ方向における流路の断面積は、肉厚部によって液体導入口側より個別連通路側の方が小さい。すなわち、肉厚部は、液体の流路の下流側である個別連通路側に設けられている。さらに、肉厚部は、ノズルプレート側からの平面視にて、液体導入口側から圧力室の並設される並設方向に沿って設けられた複数の個別連通路の少なくとも一方の端側に向って傾斜する第１傾斜部を有している。

液体は、液体導入口から各個別連通路に向かって流れ圧力室に供給される。液体に含有されている気泡は、浮力によって共通液室の上部（圧力室側）に浮上し、肉薄部では液体と共に各個別連通路に向かって移動するが、肉厚部に達すると肉厚部に形成されている第１傾斜部に沿って個別連通路の少なくとも一方の端側に向って移動する。これにより、気泡が肉厚部と肉薄部との境界部に滞留することが防止され、各個別連絡路から圧力室に供給される液体の供給量が安定する。したがって、液体の吐出性能を向上させた液体噴射ヘッドを提供することができる。

［適用例２］上記適用例に記載の液体噴射ヘッドにおいて、前記端側に位置する前記個別連通路は前記肉薄部に形成され、前記端側以外に位置する前記個別連通路は前記肉厚部に形成されていること、が好ましい。

本適用例によれば、端側に位置する個別連通路は肉薄部に形成されているので、第１傾斜部に沿って移動した気泡を端側の個別連通路を介して共通液室から外部に排出させることができる。これにより、気泡を排出させる気泡排出能力が向上される。

［適用例３］上記適用例に記載の液体噴射ヘッドは、複数の前記液体導入口と、前記ノズルプレート側からの平面視にて、前記液体導入口の間から前記第１傾斜部に向かって突出する第２傾斜部と、を備えていること、が好ましい。

本適用例によれば、液体噴射ヘッドは、複数の液体導入口の間から第１傾斜部に向かって突出する第２傾斜部を備えているので、各々の液体導入口から導入された液体の干渉によって生じる液流の乱れを軽減させることができる。

［適用例４］上記適用例に記載の液体噴射ヘッドにおいて、前記第１傾斜部の前記並設方向に沿う長さは、前記第２傾斜部の前記並設方向に沿う長さより長いこと、が好ましい。

本適用例によれば、第１傾斜部の並設方向に沿う長さは、第２傾斜部の並設方向に沿う長さより長いので、各々の液体導入口から導入された液体に含まれる気泡が個別連通路の端側に移動しやすくなる。

［適用例５］上記適用例に記載の液体噴射ヘッドは、複数の前記液体導入口を備え、両端の前記個別連通路を結ぶ線を二等分し前記並設方向と交差する方向に沿う第１中心線と、前記液体導入口の間隔を二等分し前記並設方向と交差する方向に沿う第２中心線との位置が異なり、前記第１傾斜部は、前記第２中心線に関して非対称であること、が好ましい。

本適用例によれば、例えば、並設方向において、共通液室に設けられる複数の液体導入口の大きさや位置等により、各液体導入口より導入される液体の流量や流速が異なる場合であっても、第１中心線と第２中心線との位置を異ならせ、第１傾斜部を第２中心線に関して非対称にすることで、液体導入口から個別連通路へ流れる液体を整流させて液体に含まれる気泡を個別連通路の両端に好適に移動させることができる。

［適用例６］本適用例に係る液体噴射装置は、適用例１から適用例５のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えていること、を特徴とする。

本適用例によれば、液体噴射装置は、上記適用例の液体噴射ヘッドを備えているので、インクの吐出性能を向上させた液体噴射装置を提供することができる。

実施形態１に係る液体噴射ヘッドの分解斜視図。 液体噴射ヘッドの圧力室形成基板の要部平面図。 図２のＡ−Ａ′線断面図。 図３の要部を拡大した図。 図２のＢ−Ｂ′線断面図。 図２のＣ−Ｃ′線断面図。 流路形成基板の平面図。 実施形態２に係る液体噴射ヘッドの流路形成基板の平面図。 実施形態３に係る液体噴射ヘッドの流路形成基板の平面図。 実施形態４に係る液体噴射装置の概略構成を示す斜視図。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の各図においては、各層や各部材等を認識可能な程度の大きさにするため、各層や各部材等の尺度を実際とは異ならせて示している。
また、図１から図１０では、説明の便宜上、互いに直交する三軸として、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸のうち２軸又は３軸を図示しており、軸方向を図示した矢印の先端側を「＋側」、基端側を「−側」としている。Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」という。

（実施形態１）
図１は、実施形態１に係る液体噴射ヘッドの分解斜視図である。図２は、液体噴射ヘッドの圧力室形成基板の要部平面図である。図３は、図２のＡ−Ａ′線断面図である。図４は、図３の要部を拡大した図である。図５は、図２のＢ−Ｂ′線断面図である。図６は、図２のＣ−Ｃ′線断面図である。図７は、流路形成基板の平面図である。図１から図７を参照して液体噴射ヘッドの構成について説明する。なお、本実施形態では、液体噴射ヘッドの一例として圧電アクチュエーターを備えたインクジェット式記録ヘッドを例示する。

図示するように、本実施形態の液体噴射ヘッド１を構成する圧力室形成基板１０には、液体としてのインクを吐出するノズルとしてのノズル開口２１と連通した圧力室１２が並設されている。詳しくは、圧力室形成基板１０には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁１１によって区画された圧力室１２がインクを吐出する複数のノズル開口２１が並設される方向に沿って並設されている。以降、圧力室１２の並設される方向を並設方向、又はＸ軸方向と称する。また、圧力室形成基板１０には、圧力室１２がＸ軸方向に並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力室１２の列が複数列設された列設方向を、以降、Ｙ軸方向と称する。さらに、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の両方に直交する重力方向をＺ軸方向と称する。また、Ｚ軸方向において、後述するケース部材４０側をＺ１側、ノズルプレート２０側をＺ２側とも称する。なお、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向は、互いにそれぞれ直交する方向としたが、特にこれに限定されず、直交以外の角度で交差する方向であってもよい。 このような圧力室形成基板１０のＺ２側の面には、流路形成基板１５と、ノズル開口２１が設けられたノズルプレート２０とが順次積層されている。

図３及び図４に示すように、流路形成基板１５は、圧力室形成基板１０とノズルプレート２０との間に設けられている。流路形成基板１５には、圧力室１２とノズル開口２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。流路形成基板１５は、圧力室形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は圧力室形成基板１０よりも小さい面積を有する。このように流路形成基板１５を設けることによってノズルプレート２０のノズル開口２１と圧力室１２とを離せるため、圧力室１２の中にあるインクは、ノズル開口２１付近のインクで生じるインク中の水分の蒸発による増粘の影響を受け難くなる。また、ノズルプレート２０は圧力室１２とノズル開口２１とを連通するノズル連通路１６の開口を覆うだけで良いので、ノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることができ、コストの削減を図ることができる。なお、本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル開口２１が開口されて、インク滴が吐出される面を液体噴射面２０ａと称する。

また、流路形成基板１５は、並設された圧力室１２に液体としてのインクを供給する複数の個別連通路１９と、圧力室１２と共通して連通する共通液室１００と、共通液室１００にインクを導入する液体導入口４２と、液体導入口４２から個別連通路１９に向かうインクの流路１８と、を含んでいる。

共通液室１００は、Ｙ軸方向においてノズル連通路１６の外側に設けられている。共通液室１００は、ノズルプレート２０側（Ｚ２側）から流路形成基板１５を凹状にエッチングし、凹状の開口を封止することにより形成される。すなわち、流路形成基板１５は、共通液室１００において圧力形成基板側（Ｚ１側）に位置している。共通液室１００を形成する流路形成基板１５は、基板厚の厚い肉厚部１８１と、基板厚の薄い肉薄部１８２とを有している。

また、流路形成基板１５の共通液室１００が開口するＺ２側の面には、コンプライアンス基板４５が設けられている。このコンプライアンス基板４５が、共通液室１００の液体噴射面２０ａ側の凹状の開口を封止している。このようなコンプライアンス基板４５は、本実施形態では、可撓性を有する薄膜からなる封止膜４６と、金属等の硬質の材料からなる固定基板４７と、を具備する。固定基板４７の共通液室１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっているため、共通液室１００の一方面は可撓性を有する封止膜４６のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部４９となっている。したがって、液体導入口４２から個別連通路１９に向かうインクの流路１８は、封止膜４６によって画成されている。

個別連通路１９は、共通液室１００と圧力室１２とを連通している。個別連通路１９は、Ｙ軸方向において共通液室１００の一方側（ノズル連通路１６側）に設けられている。流路形成基板１５には、圧力室１２のＹ軸方向の一端部に連通する個別連通路１９が、圧力室１２の各々に対応して独立して設けられている。すなわち、個別連通路１９は、並設方向（Ｘ軸方向）に沿って並設されている。

液体導入口４２は、Ｙ軸方向において共通液室１００の他方側（個別連通路１９と反対側）に位置し、流路形成基板１５をＺ軸方向に貫通させて設けられている。

液体導入口４２から共通液室１００に導入されたインクは、Ｙ軸方向において液体導入口４２側から個別連通路１９側に沿う流路１８を移動し、個別連通路１９から各ノズル開口２１に対応する圧力室１２に供給される。流路形成基板１５の厚さ方向（Ｚ軸方向）における流路１８の断面積は、肉厚部１８１によって液体導入口４２側より個別連通路１９側の方が小さくなっている。すなわち、Ｙ軸方向において、肉薄部１８２は共通液室１００の液体導入口４２側に形成され、肉厚部１８１は、共通液室１００の個別連通路１９側に形成されている。肉厚部１８１は並設方向（Ｘ軸方向）に長い略長方形状をなし、Ｙ軸方向における肉薄部１８２と肉厚部１８１との境界部１８３は、Ｘ軸方向からの側面視にて、肉薄部１８２から肉厚部１８１に向かって斜め下側（＋Ｚ軸側）に傾斜している。これにより、肉薄部１８２から肉厚部１８１に向かって流れるインクの勢いが向上する。

図５から図７に示すように、並設方向（Ｘ軸方向）において端側に位置する個別連通路１９（１９Ｂ）は肉薄部１８２に形成され、端側以外に位置する個別連通路１９（１９Ａ）は肉厚部１８１に形成されている。詳しくは、圧力室１２の並設される並設方向の端側に位置するダミー個別連通路１９Ｂは、肉薄部１８２の＋Ｚ軸側の底面（共通液室１００の天井面）に開口されている。換言すると、共通液室１００の並設方向における端側には、肉厚部１８１が設けられていない。端側以外に位置する吐出用個別連通路１９Ａは、肉厚部１８１の底面に開口されている（図４参照）。

図６に示すように、肉厚部１８１の底面に開口する吐出用個別連通路１９Ａは、吐出用圧力室１２Ａと連通し、肉薄部１８２の底面に開口するダミー個別連通路１９Ｂは、ダミー圧力室１２Ｂと連通している。ダミー圧力室１２Ｂとは、紙や記録シート等の被噴射媒体にインク滴を着弾させて文字や画像を印刷する際に、インク滴の吐出に用いないノズル開口２１に連通している圧力室１２である。吐出用圧力室１２Ａとは、印刷する際に、インク滴の吐出に用いられるノズル開口２１に連通している圧力室１２である。ダミー圧力室１２Ｂに連通するノズル開口２１からは、クリーニング時にインクの排出が行われる。クリーニングとは、ノズル開口２１からインク滴を吐出させるフラッシングや、ノズル開口２１をキャップで覆い、キャップ内を吸引ポンプ等で負圧にすることによってノズル開口２１からダミー圧力室１２Ｂ及び共通液室１００内の気泡やゴミ等の異物をインクと共に吸引する吸引クリーニング等が挙げられる。

本実施形態では、並設方向（Ｘ軸方向）に並設された圧力室１２のうち、Ｘ軸方向の両端部側に設けられた１つ以上の圧力室１２をダミー圧力室１２Ｂとし、それ以外の圧力室１２を吐出用圧力室１２Ａとした。なお、図６及び図７の液体噴射ヘッド１では、ダミー圧力室１２Ｂ及びダミー圧力室１２Ｂに連通するダミー個別連通路１９ＢがＸ軸方向の両端部側のそれぞれに４つずつ設けられた構成を示したが、ダミー圧力室１２Ｂ及びダミー個別連通路１９Ｂが１つ設けられた構成であってもよいし、２つ以上設けられた構成であってもよい。

図４〜図７に示すように、圧力室１２と共通液室１００とを連通する個別連通路１９は、並設方向（Ｘ軸方向）に直線状に並設されている。そして、上述のように、吐出用圧力室１２Ａと共通液室１００とを連通する吐出用個別連通路１９Ａは、肉厚部１８１の底面に開口して設けられ、ダミー圧力室１２Ｂと共通液室１００とを連通するダミー個別連通路１９Ｂは、肉薄部１８２の底面に開口して設けられている。すなわち、個別連通路１９のうち、ダミー個別連通路１９Ｂが開口する部分には、肉薄部１８２が形成されている。つまり、個別連通路１９は、並設方向に並設されているため、肉厚部１８１は、個別連通路１９の並設方向の中央部側に設けられ、肉薄部１８２は、個別連通路１９の並設方向の両端部側に延設されている。このように、吐出用個別連通路１９Ａを肉厚部１８１の底面に開口させ、ダミー個別連通路１９Ｂを肉薄部１８２の底面に開口させることで、吐出用個別連通路１９Ａの長さをダミー個別連通路１９Ｂの長さより長く確保することができる。

このように、吐出用個別連通路１９Ａを肉厚部１８１の底面に開口させることで、吐出用個別連通路１９Ａの長さを肉薄部１８２の板厚に左右されることなく、必要な長さを適切に設定することができる。すなわち、吐出用個別連通路１９Ａの長さを確保して、吐出用個別連通路１９Ａの圧力損失を低減して、ノズル開口２１からインクを吐出させる吐出効率を向上することができる。ちなみに、吐出用個別連通路１９Ａにおける圧力損失は、吐出用個別連通路１９Ａの開口径と長さによって決まるものであるが、開口径の小径化は技術的に限界がある。このため、吐出用個別連通路１９Ａの開口径によって吐出効率が足りない場合には、長さを確保して吐出効率を向上する必要がある。

本実施形態では、吐出用個別連通路１９Ａを肉薄部１８２の板厚よりも厚い肉厚部１８１の底面に開口させているので、吐出用個別連通路１９Ａの開口径の小径化が困難であっても、長さを確保して、吐出効率を向上させることができる。また、吐出用個別連通路１９Ａが開口する肉厚部１８１の板厚よりも薄い肉薄部１８２を設けることで共通液室１００の容積を確保することができ、共通液室１００における圧力損失を低減して、吐出効率を向上することができる。そして、このような構成を採用することにより、流路形成基板１５のＺ軸方向の厚さが薄くなる傾向にあっても、吐出用個別連通路１９Ａの長さ及び共通液室１００の容量の確保を両立させることができるので、インク吐出特性等を低下させることなく、すなわち、吐出特性に影響を及ぼすことなく液体噴射ヘッド１の小型化を図ることができる。また、ダミー個別連通路１９Ｂを肉薄部１８２の底面に開口させて、その長さを短くさせているので、ダミー個別連通路１９Ｂの流路抵抗を吐出用個別連通路１９Ａの流路抵抗よりも低減することができる。

図７に示すように、肉厚部１８１は、ノズルプレート２０側からの平面視にて、液体導入口４２側から圧力室１２の並設される並設方向に沿って設けられた複数の個別連通路１９の少なくとも一方の端側に向って傾斜する第１傾斜部１９０を含んでいる。なお、図７は、ノズルプレート２０側から見た平面図を示している。本実施形態では、肉厚部１８１は、第１辺１９０ａと第２辺１９０ｂとで形成され、並設方向における液体導入口４２の中央に向かって三角形状に突出する第１傾斜部１９０を有している。第１辺１９０ａは、液体導入口４２側に突出した先端から並設方向（Ｘ軸方向）に並ぶ個別連通路１９の一方（−Ｘ軸側）の端部側に向って傾斜している。第２辺１９０ｂは、液体導入口４２側に突出した先端から並設方向に並ぶ個別連通路１９の他方（＋Ｘ軸側）の端部側に向って傾斜している。

液体導入口４２から共通液室１００に導入されたインクは、液体導入口４２から並設方向（±Ｘ軸方向）に扇状に広がりながら、液体導入口４２から個別連通路１９に向かう流路１８に沿って流れる。インクは、肉厚部１８１が形成されていても、肉厚部１８１の底面（＋Ｚ軸側の面）の下を流れて吐出用個別連通路１９Ａに達することができる。なお、図７では、インクの流れる方向を白抜きの矢印で示している。

ここで、肉厚部１８１に第１傾斜部１９０が設けられていない場合の気泡の動きについて説明する。
液体導入口４２から共通液室１００に導入されたインクに含まれる気泡は、浮力によって鉛直方向上方（−Ｚ軸方向）に浮上し、肉薄部１８２の底面をインクと共に扇状に広がりながら個別連通路１９に向かって移動する。第１傾斜部１９０が設けられていない場合、肉厚部１８１と肉薄部１８２との境界部１８３は、並設方向（Ｘ軸方向）に並行して形成されていることになる。扇状に広がる斜めのインクの液流によって移動した気泡が境界部１８３に達した場合、換言すると、Ｘ軸方向に延びる境界部１８３に対して、インクの液流方向が鋭角又は鈍角に交わる場合、気泡は、境界部１８３の段差を乗り越えられず、一旦、境界部１８３で堰き止められる。そして、その後、斜めの液流によって境界部１８３及び肉薄部１８２の底面に沿って並設方向の端部側に移動することができる。しかし、並設方向における液体導入口４２の中央から共通液室１００に流入し並設方向と略直交するインクの液流によって移動した気泡が境界部１８３に達した場合、換言すると、Ｘ軸方向に延びる境界部１８３に対して、インクの液流方向が略直角に交わる場合、気泡は、直交する液流によって境界部１８３の段差に押し付けられる。つまり、気泡は、個別連通路１９のいずれの端側にも移動できず、境界部１８３の中央部に滞留する恐れがあった。なお、液体導入口４２と肉厚部１８１との間に柱状の障害物を設けることで、インクの液流方向を変えて気泡の滞留を抑制させる方法もある。しかし、本実施形態の共通液室１００は、流路形成基板１５を凹状に開口し、この開口を可撓性の封止膜４６で封止した構成であるため、柱状の障害物を共通液室１００の中に設けるのは困難である。

本実施形態の肉厚部１８１には、並設方向と略直交するインクの液流に対しても境界部１８３が鋭角又は鈍角に交わるように、液体導入口４２の中央に向かって三角形状に突出する第１傾斜部１９０が設けられている。換言すると、第１傾斜部１９０は、Ｙ軸方向において、並設方向と略直交するインクの液流の方向と、第１傾斜部１９０の先端の方向とが略一致する位置に設けられている。並設方向と略直交するインクの液流によって移動した気泡が三角形状に突出した第１傾斜部１９０に達した場合、気泡は、第１辺１９０ａ又は第２辺１９０ｂに沿って並設方向のいずれか一方に広がりながらＸ軸方向に延びる境界部１８３に達する。その後、気泡は、扇状に広がる斜めの液流によって境界部１８３及び肉薄部１８２の底面に沿って並設方向の端側に移動することが可能になる。これにより、気泡が肉厚部１８１と肉薄部１８２との境界部１８３に滞留することが防止され、各吐出用個別連絡路１９Ａから吐出用圧力室１２Ａに供給されるインクの供給量が安定する。なお、図７では、気泡の移動方向を黒塗りの矢印で示している。

個別連通路１９の端側に移動させた気泡は、肉薄部１８２の底面に設けられたダミー個別連通路１９Ｂを介して外部に排出させることができる。
上述したように、ダミー個別連通路１９Ｂの流路抵抗は、吐出用個別連通路１９Ａの流路抵抗よりも低いので、全てのノズル開口２１から吸引動作による吸引クリーニングを行った際に、共通液室１００からノズル開口２１までの個別連通路１９を通過する経路において、ダミー個別連通路１９Ｂを通る経路の流量が多くなる。このため、共通液室１００内のインクに含まれる気泡が、流路抵抗の低いダミー個別連通路１９Ｂを介してノズル開口２１から排出される。

また、ダミー個別連通路１９Ｂは、肉薄部１８２の底面に開口しているため、共通液室１００に供給されたインク及びそれに含まれる気泡は、境界部１８３（肉厚部１８１）を乗り越えずにダミー個別連通路１９Ｂの開口に到達しやすい。特に、圧力室１２が共通液室１００に対して鉛直方向上側となるように配置されていると、インクに含まれる気泡は浮力によって鉛直方向上側に移動するため、気泡は境界部１８３（肉厚部１８１）を鉛直方向下側に移動して乗り越えるのが困難となり、気泡が吐出用個別連通路１９Ａの開口に到達し難い。

このため、共通液室１００内のインクに含まれる気泡は、その浮力及びインクの液流によって肉薄部１８２の底面（鉛直方向における天井面）と境界部１８３とに沿って移動するので、並設方向の両端部に形成されている肉薄部１８２に開口されたダミー個別連通路１９Ｂに到達しやすくなる。したがって、共通液室１００内のインクに含まれる気泡は、吸引クリーニングによって、ダミー個別連通路１９Ｂ及びダミー圧力室１２Ｂを介してノズル開口２１から排出させやすくなるので、気泡の排出性が向上される。また、インクに含まれる気泡が吐出用個別連通路１９Ａから吐出用圧力室１２Ａに侵入するのを抑制することができるため、吐出用圧力室１２Ａに侵入した気泡によって生じるインク滴の吐出不良を抑制することができる。

なお、上述では、吸引クリーニングを全てのノズル開口２１に対して行った場合について説明したが、もちろん、吸引クリーニングをダミー圧力室１２Ｂに連通するノズル開口２１のみに対して行うようにしてもよい。つまり、ダミー圧力室１２Ｂに連通するノズル開口２１のみから吸引動作を行う吸引手段を具備するようにしてもよい。吸引手段としては、液体噴射面２０ａに当接してノズル開口２１を覆うキャップと、キャップ内を吸引して負圧にする吸引ポンプ等の吸引装置とを具備する従来周知のものを用いることができる。ちなみに、吸引手段がダミー圧力室１２Ｂに連通するノズル開口２１のみを吸引する場合には、ダミー圧力室１２Ｂに連通するノズル開口２１のみを覆うキャップを用いればよい。また、キャップが全てのノズル開口２１を覆う場合には、ダミー圧力室１２Ｂに連通するノズル開口２１以外を閉塞する閉塞手段等をさらに設ければよい。このように、ダミー圧力室１２Ｂに連通するノズル開口２１のみから吸引クリーニングを行った場合であっても、流路抵抗の低いダミー個別連通路１９Ｂからインクの気泡の排出を効率よく行うことができる。また、本実施形態では、ダミー個別連通路１９Ｂを個別連通路１９の並設方向であるＸ軸方向の両端部にそれぞれ設けるようにした。これにより、共通液室１００内において第１傾斜部１９０及び境界部１８３に沿って個別連通路１９の両端に移動する気泡がダミー個別連通路１９Ｂから排出されるので、共通液室１００内の気泡排出性がさらに向上されている。なお、第１傾斜部１９０は、第１辺１９０ａ及び第２辺１９０ｂによる三角形状をなしているものと説明したが、第１辺１９０ａ及び第２辺１９０ｂは曲線で形成されていてもよい。

図３及び図５に示すように、流路形成基板１５のＺ２側に開口するノズル連通路１６には、ノズルプレート２０が接合されている。ノズルプレート２０には、ノズル連通路１６を介して各圧力室１２と連通するノズル開口２１が形成されている。すなわち、ノズル開口２１は、同じ種類の液体（インク）を噴射するものが並設方向（Ｘ軸方向）に沿って並設され、このＸ軸方向に並設されたノズル開口２１の列がＹ軸方向に２列形成されている。

一方、圧力室形成基板１０のＺ１側の面側には、振動板５０が形成されている。本実施形態では、振動板５０として、圧力室形成基板１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜５１と、弾性膜５１上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５２と、を設けるようにした。なお、圧力室１２等の液体流路は、圧力室形成基板１０を一方面側（ノズルプレート２０が接合された面側）から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力室１２の他方面は、弾性膜５１によって画成されている。

また、圧力室形成基板１０の振動板５０上には、第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とが成膜及びリソグラフィー法によって積層されて圧電アクチュエーター３００を構成している。本実施形態では、圧電アクチュエーター３００が圧力室１２内のインクに圧力変化を生じさせる圧力発生手段となっている。ここで、圧電アクチュエーター３００は、圧電素子ともいい、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。また、第１電極６０と第２電極８０との間に電圧を印加した際に、圧電体層７０に圧電歪みが生じる部分を能動部３１０と称する。本実施形態では、詳しくは後述するが、圧力室１２毎に能動部３１０が形成されている。つまり、圧力室形成基板１０上には複数の能動部３１０が形成されていることになる。そして、一般的には、能動部３１０の何れか一方の電極を複数の能動部３１０に共通する共通電極とし、他方の電極を能動部３１０毎に独立する個別電極として構成する。本実施形態では、第１電極６０を個別電極とし、第２電極８０を共通電極としているが、これを逆にしてもよい。なお、上述した例では、振動板５０及び第１電極６０が振動板として作用するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、振動板５０を設けずに、第１電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電アクチュエーター３００自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。

ここで、本実施形態の圧電アクチュエーター３００を構成する第１電極６０は、圧力室１２毎に切り分けてあり、圧電アクチュエーター３００の実質的な駆動部である能動部３１０毎に独立する個別電極を構成する。この第１電極６０は、圧力室１２のＹ軸方向においては、圧力室１２の幅よりも狭い幅で形成されている。すなわち、圧力室１２のＸ軸方向において、第１電極６０の端部は、圧力室１２に対向する領域の内側に位置している。また、Ｙ軸方向において、第１電極６０の両端部は、それぞれ圧力室１２の外側まで延設されている。

圧電体層７０は、Ｙ軸方向が所定の幅となるように、Ｘ軸方向に亘って連続して設けられている。圧電体層７０のＹ軸方向の幅は、圧力室１２のＹ軸方向の長さよりも広い。このため、圧力室１２のＹ軸方向では、圧電体層７０は圧力室１２の外側まで設けられている。

圧力室１２のＹ軸方向において、圧電体層７０のインク個別連通路側の端部は、第１電極６０の端部よりも外側に位置している。すなわち、第１電極６０の端部は圧電体層７０によって覆われている。また、圧電体層７０のノズル開口２１側の端部は、第１電極６０の端部よりも内側（圧力室１２側）に位置しており、第１電極６０のノズル開口２１側の端部は、圧電体層７０に覆われていない。

圧電体層７０は、第１電極６０上に形成される分極構造を有する酸化物の圧電材料からなり、例えば、一般式ＡＢＯ₃で示されるペロブスカイト型酸化物からなることができ、鉛を含む鉛系圧電材料や鉛を含まない非鉛系圧電材料などを用いることができる。

このような圧電体層７０には、各隔壁に対応する凹部７１が形成されている。この凹部７１のＸ軸方向の幅は、各隔壁のＸ軸方向の幅と略同一、もしくはそれよりも広くなっている。これにより、振動板５０の圧力室１２のＹ軸方向の端部に対向する部分（いわゆる振動板５０の腕部）の剛性が押さえられるため、圧電アクチュエーター３００を良好に変位させることができる。

第２電極８０は、圧電体層７０の第１電極６０とは反対面側に設けられており、複数の能動部３１０に共通する共通電極を構成する。また、第２電極８０は、凹部７１の内面、すなわち、圧電体層７０の凹部７１の側面内に設けるようにしても良く、設けないようにしてもよい。

また、圧電アクチュエーター３００の第１電極６０からは、引き出し配線である個別配線９１が引き出されている。また、第２電極８０からは、引き出し配線である共通配線９２が引き出されている。さらに、個別配線９１及び共通配線９２の圧電アクチュエーター３００に接続された端部とは反対側の延設された端部には、フレキシブルケーブル１２０が接続されている。フレキシブルケーブル１２０は、可撓性を有する配線基板であって、本実施形態では、駆動素子である駆動回路１２１が実装されている。

このような圧力室形成基板１０のＺ１側の面には、圧力室形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００を保護するための空間である保持部３１を有する。保持部３１は、Ｘ軸方向に並設された圧電アクチュエーター３００の列の間にＹ軸方向に２つ並んで形成されている。また、保護基板３０には、Ｙ軸方向で並設された２つの保持部３１の間にＺ軸方向に貫通する貫通孔３２が設けられている。圧電アクチュエーター３００の電極から引き出された個別配線９１及び共通配線９２の端部は、この貫通孔３２内に露出するように延設され、個別配線９１及び共通配線９２とフレキシブルケーブル１２０とは、貫通孔３２内で電気的に接続されている。なお、個別配線９１及び共通配線９２と、フレキシブルケーブル１２０との接続方法は、特に限定されず、例えば、ハンダ付けやろう付けなどのろう接や、共晶接合、溶接、導電性粒子を含む導電性接着剤（ＡＣＰ、ＡＣＦ）、非導電性接着剤（ＮＣＰ、ＮＣＦ）等が挙げられる。

また、保護基板３０上には、複数の圧力室１２に連通する共通液室１００を圧力室形成基板１０と共に画成するケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、平面視において上述した流路形成基板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接合されると共に、上述した流路形成基板１５にも接合されている。具体的には、ケース部材４０は、保護基板３０側に圧力室形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹部４１を有する。この凹部４１は、保護基板３０の圧力室形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４１に圧力室形成基板１０等が収容された状態で凹部４１のノズルプレート２０側の開口面が流路形成基板１５によって封止されている。これにより、圧力室形成基板１０の外周部における液体導入口４２が、ケース部材４０によって画成されている。

なお、ケース部材４０には、共通液室１００に連通して各共通液室１００にインクを供給するための導入路４４が設けられている。また、ケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通してフレキシブルケーブル１２０が挿通される接続口４３が設けられている。

このような液体噴射ヘッド１では、インクを噴射する際に、インクを導入路４４から
り込み、液体導入口４２からノズル開口２１に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路１２１からの信号に従い、吐出用圧力室１２Ａに対応する各能動部３１０に電圧を印加することにより、能動部３１０と共に振動板５０をたわみ変形させる。これにより、吐出用圧力室１２Ａ内の圧力が高まり所定のノズル開口２１からインク滴が噴射される。

なお、本実施形態では、圧力室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーター３００を用いた構成を例示したが、これに限定するものではない。例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。

以上述べたように、本実施形態に係る液体噴射ヘッド１によれば、以下の効果を得ることができる。
液体噴射ヘッド１の共通液室１００を構成する肉厚部１８１には、液体導入口４２の中央に向かって突出する第１傾斜部１９０が設けられているので、並設方向と略直交するインクの液流によって移動する気泡は、第１傾斜部１９０の第１辺１９０ａ又は第２辺１９０ｂに沿って並設方向のいずれか一方に広がりながら並設方向の端部側に移動することが可能になる。これにより、気泡が肉厚部１８１と肉薄部１８２との境界部１８３に滞留することが防止され、各吐出用個別連絡路１９Ａから吐出用圧力室１２Ａに供給されるインクの供給量が安定する。したがって、インクの吐出性能を向上させた液体噴射ヘッド１を提供することができる。

共通液室１００と吐出用圧力室１２Ａとを連通する吐出用個別連通路１９Ａは、肉厚部１８１の底面に開口され、共通液室１００とダミー圧力室１２Ｂとを連通するダミー個別連通路１９Ｂは、肉薄部１８２の底面に開口されている。インクに含まれる気泡は、その浮力及びインクの液流によって境界部１８３及び肉薄部１８２の底面に沿って移動するので、並設方向の両端部に形成されている肉薄部１８２に開口されたダミー個別連通路１９Ｂに到達しやすくなる。吸引クリーニングによって、気泡をダミー個別連通路１９Ｂ及びダミー圧力室１２Ｂを介してノズル開口２１から排出させることができるので、気泡の排出性が向上される。また、インクに含まれる気泡が吐出用個別連通路１９Ａから吐出用圧力室１２Ａに侵入するのを抑制することができるため、吐出用圧力室１２Ａに侵入した気泡によって生じるインク滴の吐出不良を抑制することができる。

上記実施形態１において、紙や記録シート等の被噴射媒体にインク滴を着弾させて文字や画像を印刷する際に、ダミー圧力室１２Ｂは、インク滴の吐出に用いないノズル開口２１に連通している圧力室１２であるとしたが、気泡による各個別連通路１９から圧力室１２に供給される液体の供給量のばらつきが許容範囲である場合は被噴射媒体へのインク滴の吐出に用いても良い。

（実施形態２）
図８は、実施形態２に係る液体噴射ヘッドの流路形成基板の平面図である。本実施形態に係る液体噴射ヘッド４００の構成について、図８を参照して説明する。なお、実施形態１と同一の構成部位については、同一の番号を使用し、重複する説明は省略する。

図８に示すように、液体噴射ヘッド４００を構成する流路形成基板４１５には、並設方向に並ぶ複数の液体導入口４４２ａ，４４２ｂが備えられている。液体導入口４４２ａ，４４２ｂは、肉薄部１８２の底面に開口し、Ｙ軸方向において個別連通路１９と反対側に設けられている。肉厚部１８１は、第１辺４９０ａと第２辺４９０ｂとで形成され、並設方向における液体導入口４４２ａ，４４２ｂの間に向かって三角形状に突出する第１傾斜部４９０を含んでいる。第１辺４９０ａは、液体導入口４４２ａ，４４２ｂ側に突出した先端から並設方向に並ぶ個別連通路１９の一方（−Ｘ軸側）の端側に向って傾斜している。第２辺４９０ｂは、液体導入口４４２ａ，４４２ｂ側に突出した先端から並設方向に並ぶ個別連通路１９の他方（＋Ｘ軸側）の端側に向って傾斜している。

液体導入口４４２ａと液体導入口４４２ｂとの間には、肉厚部１８１の板厚と略同じの梁が設けられ、ノズルプレート２０側（＋Ｚ軸側）からの平面視にて液体導入口４４２ａ，４４２ｂの間（梁）から第１傾斜部４９０に向かって突出する第２傾斜部４９５を備えている。第２傾斜部４９５は、肉厚部１８１と略同じ板厚を有し、液体導入口４４２ａ，４４２ｂ間を底辺４９５ｃとする第１辺４９５ａ及び第２辺４９５ｂで形成されている。底辺４９５ｃ、第１辺４９５ａ及び第２辺４９５ｂは、略三角形状をなし、第１辺４９５ａ及び第２辺４９５ｂとでなす先端は、第１傾斜部４９０の第１辺４９０ａ及び第２辺４９０ｂとでなす先端に向かって突出している。第１辺４９５ａは、第１傾斜部４９０側に突出した先端から底辺４９５ｃの一方（−Ｘ軸側）の端側に向って傾斜し、第２辺４９５ｂは、第１傾斜部４９０側に突出した先端から底辺４９５ｃの他方（＋Ｘ軸側）の端側に向って傾斜している。第２傾斜部４９５は、各液体導入口４４２a，４４２ｂから導入されたインクの干渉による液流（インクの流れ）の乱れを軽減させ、並設方向（Ｘ軸方向）中央部において、並設方向と交差する方向に向かう液流を生じさせることができる。

第１傾斜部４９０の並設方向に沿う長さは、第２傾斜部４９５の並設方向に沿う長さより長い。詳しくは、第１傾斜部４９０の第１辺４９０ａ及び第２辺４９０ｂとでなす頂点の対辺（以下、底辺４９０ｃという）の長さＬ１は、第２傾斜部４９５の第１辺４９５ａ及び第２辺４９５ｂとでなす頂点の対辺（底辺４９５ｃ）の長さＬ２より長い。第１傾斜部４９０の第１辺４９０ａ及び第２辺４９０ｂは、Ｙ軸方向において、第２傾斜部４９５によって生じさせた並設方向と略直交するインクの液流と交わる位置に設けられている。換言すると、第１傾斜部４９０の底辺４９０ｃの長さＬ１は、第２傾斜部４９５の底辺４９５ｃの長さＬ２より長いので、第１傾斜部４９０の第１辺４９０ａと第２辺４９０ｂとは、並設方向と略直交して流れるインクの液流の幅より広い幅を有している。これにより、各々の液体導入口４４２ａ，４４２ｂから導入されたインクに含まれる気泡が個別連通路１９の両端側に移動するので、気泡が肉厚部１８１と肉薄部１８２との境界部１８３に滞留することが防止される。

以上述べたように、本実施形態に係る液体噴射ヘッド４００によれば、以下の効果を得ることができる。
液体噴射ヘッド４００の流路形成基板４１５には、液体導入口４４２ａ，４４２ｂの間から第１傾斜部４９０に向かって突出する第２傾斜部４９５が設けられているので、各液体導入口４４２ａ，４４２ｂから導入されたインクの干渉を軽減させ、並設方向（Ｘ軸方向）中央部において、並設方向と交差する方向に向かうインクの液流を生じさせることができる。
第１傾斜部４９０の底辺４９０ｃの長さＬ１は、第２傾斜部４９５の底辺４９５ｃの長さＬ２より長いので、インクに含まれる気泡が肉厚部１８１と肉薄部１８２との境界部１８３に滞留することが防止され、各吐出用個別連絡路１９Ａから吐出用圧力室１２Ａに供給されるインクの供給量が安定する。

（実施形態３）
図９は、実施形態３に係る液体噴射ヘッドの流路形成基板の平面図である。本実施形態に係る液体噴射ヘッド５００の構成について、図９を参照して説明する。なお、実施形態１と同一の構成部位については、同一の番号を使用し、重複する説明は省略する。

図９に示すように、液体噴射ヘッド５００を構成する流路形成基板５１５には、並設方向に並ぶ複数の液体導入口５４２ａ，５４２ｂが備えられている。液体導入口５４２ａ，５４２ｂは、肉薄部１８２の底面に開口し、Ｙ軸方向において個別連通路１９と反対側に設けられている。液体導入口５４２ａと液体導入口５４２ｂとの間には、肉薄部１８２の板厚と略同じの梁が設けられている。また、個別連通路１９の両端を結ぶ線を二等分し並設方向と交差する方向に沿う第１中心線ＣＬ１の位置は、液体導入口５４２ａ，５４２ｂの間隔を二等分し並設方向と交差する方向に沿う第２中心線ＣＬ２の位置と異なっている。すなわち、液体導入口５４２ａと液体導入口５４２ｂとは並設方向において、その開口の大きさが異なっている。本実施形態の液体導入口５４２ａは並設方向の一方側（−Ｘ軸側）に位置し、液体導入口５４２ｂより大きい開口を有している。肉厚部１８１は、第１辺５９０ａと第２辺５９０ｂとで形成され、並設方向における液体導入口５４２ａ，５４２ｂの間に向かって三角形状に突出する第１傾斜部５９０を含んでいる。第１辺５９０ａと第２辺５９０ｂとでなす頂点は、第２中心線ＣＬ２の位置と略一致している。

また、第１傾斜部５９０は、第２中心線ＣＬ２に関して非対称である。すなわち、第１傾斜部５９０の第１辺５９０ａと第２中心線ＣＬ２とでなす鋭角は第２辺５９０ｂと第２中心線ＣＬ２とでなす鋭角よりも大きく、第１辺５９０ａの長さは第２辺５９０ｂの長さよりも長い。このように、第１中心線ＣＬ１と第２中心線ＣＬ２との位置を異ならせ、第１傾斜部５９０を第２中心線ＣＬ２に関して非対称にすることで、各液体導入口５４２ａ，５４２ｂより導入されるインクの流量や流速が異なる場合であっても、液体導入口５４２ａ，５４２ｂから個別連通路１９への流路１８を流れるインクを整流させてインクに含まれる気泡を個別連通路１９の両端に好適に移動させることができる。

以上述べたように、本実施形態に係る液体噴射ヘッド５００によれば、以下の効果を得ることができる。
液体噴射ヘッド５００の流路形成基板５１５は、第２中心線ＣＬ２に関して非対称の第１傾斜部５９０を有しているので、各液体導入口５４２ａ，５４２ｂより導入されるインクの流量や流速が異なる場合であっても、インクに含まれる気泡を個別連通路１９の両端に好適に移動させることができる。これにより、気泡が境界部１８３に滞留することが防止され、各吐出用個別連絡路１９Ａから吐出用圧力室１２Ａに供給されるインクの供給量が安定する。

（実施形態４）
図１０は、実施形態４に係る液体噴射装置の概略構成を示す斜視図である。本実施形態に係る液体噴射装置６００の構成について、図１０を参照して説明する。なお、実施形態１と同一の構成部位については、同一の番号を使用し、重複する説明は省略する。

図１０に示すように、液体噴射装置６００は、液体噴射ヘッド１を備えている。液体噴射ヘッド１は、装置本体４に装着されたキャリッジ軸５の軸方向（以下、主走査方向という）に沿って往復移動自在に取り付けられたキャリッジ３に搭載されている。液体噴射ヘッド１には、キャリッジ３に着脱可能に搭載されたインク供給手段としてのインクカートリッジ２からインクが供給される。

液体噴射装置６００は、キャリッジ３を移動させる動力源としての駆動モーター６、駆動モーター６の駆動力をキャリッジ３に伝達させる複数の歯車（図示せず）及びタイミングベルト７などを有している。図示しない制御部が駆動モーター６の駆動を制御することによって、液体噴射ヘッド１は、キャリッジ３と共にキャリッジ軸５の軸方向に沿って移動される。

また、液体噴射装置６００は、記録媒体の一例としての用紙Ｓを搬送させる搬送手段としての搬送ローラー８、搬送ローラー８を回転させる駆動源としての搬送モーター（図示せず）などを有している。図示しない制御部が搬送モーターの駆動を制御することによって、用紙Ｓは、キャリッジ軸５の軸方向と交差する方向（以下、副走査方向という）に搬送される。なお、用紙Ｓを搬送する搬送手段は、搬送ローラーに限られずベルトやドラム等であってもよい。

制御部が用紙Ｓを副走査方向に搬送させる副走査と、ノズル開口２１（図４参照）からインクを噴射させながら液体噴射ヘッド１を主走査方向に移動させる主走査と、を交互に繰り返すことにより、用紙Ｓに画像や文字などが印刷される。

なお、本実施形態では、液体噴射装置６００は、インク供給手段であるインクカートリッジ２がキャリッジ３に搭載された構成を例示したが、これに限定するものではない。例えば、インクタンク等の液体供給手段を装置本体４に固定して、液体供給手段から液体噴射ヘッド１にインクチューブ等を介してインクを供給させる構成であってもよい。また、液体供給手段が液体噴射装置と別体で設けられた構成であってもよい。

また、本実施形態では、液体噴射ヘッド１として、往復移動するキャリッジ３に搭載され主走査方向に移動しながらインクを吐出するシリアルヘッド式を例示したが、本発明の液体噴射ヘッド１は、用紙Ｓの幅方向に延在し固定して配列されたラインヘッド式にも適応することができる。

また、本実施形態の液体噴射装置６００は、上述した構成の搬送手段を備えているが、このような構成の搬送機構に限定されず、用紙Ｓを移動式の支持トレイなどに支持させて搬送する構成などとしてもよい。また、用紙Ｓを支持部に固定させ、固定された媒体に対して液体噴射ヘッド１を移動させて記録する、所謂フラッドベッドタイプの液体噴射装置であってもよい。

以上述べたように、本実施形態に係る液体噴射装置６００によれば、以下の効果を得ることができる。
液体噴射装置６００は、気泡の滞留を抑制させ、圧力室１２（図４参照）に供給されるインクの供給量を安定させた液体噴射ヘッド１を備えている。これにより、インクの吐出性能を向上させた液体噴射装置６００を提供することができる。

１，４００，５００…液体噴射ヘッド、２…インクカートリッジ、３…キャリッジ、４…装置本体、５…キャリッジ軸、６…駆動モーター、７…タイミングベルト、８…搬送ローラー、１０…圧力室形成基板、１２…圧力室、１２Ａ…吐出用圧力室、１２Ｂ…ダミー圧力室、１５，４１５，５１５…流路形成基板、１６…ノズル連通路、１８…流路、１９…個別連通路、１９Ａ…吐出用個別連通路、１９Ｂ…ダミー個別連通路、２０…ノズルプレート、２１…ノズル開口、３０…保護基板、４２，４４２ａ，４４２ｂ，５４２ａ，５４２ｂ…液体導入口、４５…コンプライアンス基板、４６…封止膜、４７…固定基板、４９…コンプライアンス部、５０…振動板、６０…第１電極、７０…圧電体層、８０…第２電極、１００…共通液室、１８１…肉厚部、１８２…肉薄部、１８３…境界部、１９０，４９０，５９０…第１傾斜部、３００…圧電アクチュエーター、４９５…第２傾斜部、６００…液体噴射装置。

Claims (9)

1. 液体を吐出するノズルと連通した圧力室が並設された圧力室形成基板と、
   前記ノズルが設けられたノズルプレートと、
   前記圧力室形成基板と前記ノズルプレートとの間に設けられた流路形成基板と、を備えた液体噴射ヘッドであって、
   前記流路形成基板は、並設された前記圧力室に液体を供給する複数の個別連通路と、前記圧力室と共通して連通する共通液室と、前記共通液室に液体を導入する液体導入口と、前記液体導入口から前記個別連通路に向かう液体の流路と、を含み、
   前記流路形成基板は、前記共通液室において前記圧力室形成基板側に位置し、基板厚の厚い肉厚部と基板厚の薄い肉薄部と、を有し、
   前記流路形成基板の厚さ方向における前記流路の断面積は、前記肉厚部によって前記液体導入口側より前記個別連通路側の方が小さく、
   前記肉厚部は、前記ノズルプレート側からの平面視にて、前記液体導入口側から前記圧力室の並設される並設方向に沿って設けられた前記複数の個別連通路の少なくとも一方の端側に向って傾斜する第１傾斜部を含んでおり、
   前記端側に位置する前記個別連通路は前記肉薄部に形成され、前記端側以外に位置する前記個別連通路は前記肉厚部に形成されていること、を特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 複数の前記液体導入口と、
   前記ノズルプレート側からの平面視にて、前記液体導入口の間から前記第１傾斜部に向かって突出する第２傾斜部と、を備えていること、を特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記第１傾斜部の前記並設方向に沿う長さは、前記第２傾斜部の前記並設方向に沿う長さより長いこと、を特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
4. 複数の前記液体導入口を備え、
   両端の前記個別連通路を結ぶ線を二等分し前記並設方向と交差する方向に沿う第１中心線と、
   前記液体導入口の間隔を二等分し前記並設方向と交差する方向に沿う第２中心線との位置が異なり、
   前記第１傾斜部は、前記第２中心線に関して非対称であること、を特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
5. 液体を吐出するノズルと連通した圧力室が並設された圧力室形成基板と、
   前記ノズルが設けられたノズルプレートと、
   前記圧力室形成基板と前記ノズルプレートとの間に設けられた流路形成基板と、を備えた液体噴射ヘッドであって、
   前記流路形成基板は、並設された前記圧力室に液体を供給する複数の個別連通路と、前記圧力室と共通して連通する共通液室と、前記共通液室に液体を導入する液体導入口と、前記液体導入口から前記個別連通路に向かう液体の流路と、を含み、
   前記流路形成基板は、前記共通液室において前記圧力室形成基板側に位置し、基板厚の厚い肉厚部と基板厚の薄い肉薄部と、を有し、
   前記流路形成基板の厚さ方向における前記流路の断面積は、前記肉厚部によって前記液体導入口側より前記個別連通路側の方が小さく、
   前記肉厚部は、前記ノズルプレート側からの平面視にて、前記液体導入口側から前記圧力室の並設される並設方向に沿って設けられた前記複数の個別連通路の少なくとも一方の端側に向って傾斜する第１傾斜部を含んでおり、
   複数の前記液体導入口と、
   前記ノズルプレート側からの平面視にて、前記液体導入口の間から前記第１傾斜部に向かって突出する第２傾斜部と、を備え、
   前記第１傾斜部の前記並設方向に沿う長さは、前記第２傾斜部の前記並設方向に沿う長さより長いこと、を特徴とする液体噴射ヘッド。
6. 複数の前記液体導入口を備え、
   両端の前記個別連通路を結ぶ線を二等分し前記並設方向と交差する方向に沿う第１中心線と、
   前記液体導入口の間隔を二等分し前記並設方向と交差する方向に沿う第２中心線との位置が異なり、
   前記第１傾斜部は、前記第２中心線に関して非対称であること、を特徴とする請求項５に記載の液体噴射ヘッド。
7. 液体を吐出するノズルと連通した圧力室が並設された圧力室形成基板と、
   前記ノズルが設けられたノズルプレートと、
   前記圧力室形成基板と前記ノズルプレートとの間に設けられた流路形成基板と、を備えた液体噴射ヘッドであって、
   前記流路形成基板は、並設された前記圧力室に液体を供給する複数の個別連通路と、前記圧力室と共通して連通する共通液室と、前記共通液室に液体を導入する液体導入口と、前記液体導入口から前記個別連通路に向かう液体の流路と、を含み、
   前記流路形成基板は、前記共通液室において前記圧力室形成基板側に位置し、基板厚の厚い肉厚部と基板厚の薄い肉薄部と、を有し、
   前記流路形成基板の厚さ方向における前記流路の断面積は、前記肉厚部によって前記液体導入口側より前記個別連通路側の方が小さく、
   前記肉厚部は、前記ノズルプレート側からの平面視にて、前記液体導入口側から前記圧力室の並設される並設方向に沿って設けられた前記複数の個別連通路の少なくとも一方の端側に向って傾斜する第１傾斜部を含んでおり、
   複数の前記液体導入口を備え、
   両端の前記個別連通路を結ぶ線を二等分し前記並設方向と交差する方向に沿う第１中心線と、
   前記液体導入口の間隔を二等分し前記並設方向と交差する方向に沿う第２中心線との位置が異なり、
   前記第１傾斜部は、前記第２中心線に関して非対称であること、を特徴とする液体噴射ヘッド。
8. 複数の前記液体導入口と、前記ノズルプレート側からの平面視にて、前記液体導入口の間から前記第１傾斜部に向かって突出する第２傾斜部と、を備えていること、を特徴とする請求項７に記載の液体噴射ヘッド。
9. 請求項１から請求項８のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えていること、を特徴とする液体噴射装置。

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