JP2001121693A - 液滴噴霧装置 - Google Patents
液滴噴霧装置Info
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 63
- 239000007921 spray Substances 0.000 title claims abstract description 24
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 70
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 16
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 15
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 15
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 10
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 7
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 4
- 230000035939 shock Effects 0.000 abstract description 37
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 3
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 230000000116 mitigating effect Effects 0.000 description 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 2
- 101000718497 Homo sapiens Protein AF-10 Proteins 0.000 description 1
- 102100026286 Protein AF-10 Human genes 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000003208 petroleum Substances 0.000 description 1
- 238000000053 physical method Methods 0.000 description 1
- 230000002940 repellent Effects 0.000 description 1
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
- F04B43/04—Pumps having electric drive
- F04B43/043—Micropumps
- F04B43/046—Micropumps with piezoelectric drive
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2002/14306—Flow passage between manifold and chamber
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14419—Manifold
Abstract
(57)【要約】
【目的】 圧力室を多数個設けた液滴噴霧装置において
噴霧のため圧電／電歪素子により加圧された液体が、導
入孔から流路へ発生させた逆流を緩和する液滴噴霧装置
を提供する。 【解決手段】 導入孔１２は、圧力室１０ｎの下面に対
し直交方向に設けられ、流路２０の上面に垂直に接続さ
れている。流路２０に接続された導入孔１２の直下に
は、導入孔１２の直径Ｌに対し２倍程度の深さＤとする
衝撃吸収面２１が流路２０の下面から突設するように形
成されている。また、衝撃吸収面２１は、導入孔１２の
直径円より広く、その外周は垂直に切り落とされ、段差
部２２を形成している。
噴霧のため圧電／電歪素子により加圧された液体が、導
入孔から流路へ発生させた逆流を緩和する液滴噴霧装置
を提供する。 【解決手段】 導入孔１２は、圧力室１０ｎの下面に対
し直交方向に設けられ、流路２０の上面に垂直に接続さ
れている。流路２０に接続された導入孔１２の直下に
は、導入孔１２の直径Ｌに対し２倍程度の深さＤとする
衝撃吸収面２１が流路２０の下面から突設するように形
成されている。また、衝撃吸収面２１は、導入孔１２の
直径円より広く、その外周は垂直に切り落とされ、段差
部２２を形成している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液体原料又は燃料
を吐出することにより、上記液体を処理し又は作動する
各種機械に使用される原料燃料吐出装置に組み付けられ
る液滴噴霧装置に関する。
を吐出することにより、上記液体を処理し又は作動する
各種機械に使用される原料燃料吐出装置に組み付けられ
る液滴噴霧装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の液滴噴霧装置は、複数の圧力室が
それら各圧力室に設けられた導入孔を介して同一の流路
に接続され、該圧力室の体積変化により吐出口から液滴
を吐出することによって噴霧を行う液滴噴霧装置であっ
て、１つの流路に対し複数の圧力室に供給される液体
は、各圧力室に形成された導入孔を通して蓄積され、該
圧力室の体積変化により、それぞれの各圧力室の他方に
連結されているノズル孔より液滴を吐出し、全体が噴霧
状となる装置であった。特に、圧力室の壁の一部に圧電
／電歪素子が形成され、該素子に印加される電圧信号に
よって該素子に圧力変化が生じさせる液滴噴霧装置は、
液滴の噴霧状態に秀でたものであった。そして、原料燃
料吐出装置の用途により液体を大量に吐出する場合は、
複数個を取り付ける液滴噴霧装置の圧力室を増やしたり
吐出周期を高めたりしていた。
それら各圧力室に設けられた導入孔を介して同一の流路
に接続され、該圧力室の体積変化により吐出口から液滴
を吐出することによって噴霧を行う液滴噴霧装置であっ
て、１つの流路に対し複数の圧力室に供給される液体
は、各圧力室に形成された導入孔を通して蓄積され、該
圧力室の体積変化により、それぞれの各圧力室の他方に
連結されているノズル孔より液滴を吐出し、全体が噴霧
状となる装置であった。特に、圧力室の壁の一部に圧電
／電歪素子が形成され、該素子に印加される電圧信号に
よって該素子に圧力変化が生じさせる液滴噴霧装置は、
液滴の噴霧状態に秀でたものであった。そして、原料燃
料吐出装置の用途により液体を大量に吐出する場合は、
複数個を取り付ける液滴噴霧装置の圧力室を増やしたり
吐出周期を高めたりしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、吐出量を増や
すため圧力室を多数個設けた液滴噴霧装置では、噴霧の
ため圧電／電歪素子により加圧された液体が、導入孔か
ら流路へ逆流を起こす量が大きくなるために、吐出直後
に導入孔から液体が供給される場合に円滑に流入がされ
ずにノズル孔から気泡が圧力室に流入する現象が起きた
り、気泡の流入を防ぐため圧力室の減圧速度が遅くなり
吐出周期を長くする設定に変更しなければならなくな
り、もって吐出量を多くできないという問題があった。
すため圧力室を多数個設けた液滴噴霧装置では、噴霧の
ため圧電／電歪素子により加圧された液体が、導入孔か
ら流路へ逆流を起こす量が大きくなるために、吐出直後
に導入孔から液体が供給される場合に円滑に流入がされ
ずにノズル孔から気泡が圧力室に流入する現象が起きた
り、気泡の流入を防ぐため圧力室の減圧速度が遅くなり
吐出周期を長くする設定に変更しなければならなくな
り、もって吐出量を多くできないという問題があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者は、圧
力室を多数個設けた液滴噴霧装置において噴霧のため圧
電／電歪素子により加圧された液体が、導入孔から流路
へ発生させた逆流を緩和する液滴噴霧装置を提供する。
本願発明のうち請求項１に係る発明では、複数の圧力室
がそれら各圧力室に設けられた導入孔を介して同一の流
路に接続され、該圧力室の体積変化により吐出口から液
滴を吐出することによって噴霧を行う液滴噴霧装置にお
いて、該流路の深さを、該導入孔の少なくとも真下部分
を他の部分より選択的に浅く形成した液滴噴霧装置を提
供する。ここでいう流路の深さとは、導入孔からその導
入孔が形成されている流路の面に対向する面までの距離
を指し、導入孔の真下部分とは、導入孔の中心を通る延
長線と対向する面とが交わる箇所を指す。これにより、
噴霧のために圧力室から導入孔へ伝搬された、逆流によ
る衝撃波は、浅く形成された流路の底面に最初に衝突し
て吸収され、他の流路内へ分散されるから、他の圧力室
からの干渉や、反射波による自らの圧力室への干渉が低
減でき、円滑に供給が行われ噴霧が安定する。また、該
導入孔の真下の部分を他の部分より選択的に浅く形成す
ることにより、噴霧開始時に液体を流路全体に充填する
際に、浅くなった部分での流速が高まり、気泡等が留ま
ることなく導入孔を通じて圧力室から排出できる一方、
万一気泡が流路中に残ってしまった場合においても、通
常の噴霧動作においては、浅くなった部分に気泡が回り
込めなく、もって気泡が導入孔から圧力室に入り込み噴
霧不良を起こすことが回避できるといった利点を併せ持
つ。更にまた積極的に流路中に気泡等を残存させ、もっ
て噴霧時における導入孔からの逆流による流路中の圧力
変動を吸収させるといった設計の際においても、気泡が
導入孔を通じて圧力室に入り込むことを有効に防いでく
れる。
力室を多数個設けた液滴噴霧装置において噴霧のため圧
電／電歪素子により加圧された液体が、導入孔から流路
へ発生させた逆流を緩和する液滴噴霧装置を提供する。
本願発明のうち請求項１に係る発明では、複数の圧力室
がそれら各圧力室に設けられた導入孔を介して同一の流
路に接続され、該圧力室の体積変化により吐出口から液
滴を吐出することによって噴霧を行う液滴噴霧装置にお
いて、該流路の深さを、該導入孔の少なくとも真下部分
を他の部分より選択的に浅く形成した液滴噴霧装置を提
供する。ここでいう流路の深さとは、導入孔からその導
入孔が形成されている流路の面に対向する面までの距離
を指し、導入孔の真下部分とは、導入孔の中心を通る延
長線と対向する面とが交わる箇所を指す。これにより、
噴霧のために圧力室から導入孔へ伝搬された、逆流によ
る衝撃波は、浅く形成された流路の底面に最初に衝突し
て吸収され、他の流路内へ分散されるから、他の圧力室
からの干渉や、反射波による自らの圧力室への干渉が低
減でき、円滑に供給が行われ噴霧が安定する。また、該
導入孔の真下の部分を他の部分より選択的に浅く形成す
ることにより、噴霧開始時に液体を流路全体に充填する
際に、浅くなった部分での流速が高まり、気泡等が留ま
ることなく導入孔を通じて圧力室から排出できる一方、
万一気泡が流路中に残ってしまった場合においても、通
常の噴霧動作においては、浅くなった部分に気泡が回り
込めなく、もって気泡が導入孔から圧力室に入り込み噴
霧不良を起こすことが回避できるといった利点を併せ持
つ。更にまた積極的に流路中に気泡等を残存させ、もっ
て噴霧時における導入孔からの逆流による流路中の圧力
変動を吸収させるといった設計の際においても、気泡が
導入孔を通じて圧力室に入り込むことを有効に防いでく
れる。
【０００５】また、噴霧のために生じた逆流による衝撃
波は、噴霧量を大きくすることにより又は圧力室の数を
多くした場合、各圧力室の導入孔から伝搬され流路で集
約されて、他の流路やそこに設けた圧力室にまで干渉を
生じる事になるので、請求項２に係る発明は、該流路
に、該流路の幅を他の部分より選択的に狭くする突出部
を形成した液滴噴霧装置である。これにより、選択的に
狭くする突出部を形成した部分より同一の流路に接続さ
れた圧力室が２つ以上のグループに分けられ、１つのグ
ループの圧力室で生じた逆流による衝撃波は、選択的に
狭くする突出部を形成した部分に衝突して吸収されて分
散されるから、他のグループの圧力室への逆流を緩和で
き、円滑に供給が行われ噴霧が安定する。ここで、流路
の幅とは、流体の流れ方向に直交して対向した面の距離
をいい、流路断面が円又は楕円であれば径でもある。ま
た、選択的に狭くする突出部を形成する部分は、周囲
に、導入孔を介して圧力室を連結していない部分であ
る。更に、微細な液滴噴霧装置はグリーンシートのよう
な積層により製造する場合が多いので、流路を形成する
少なくとも１つの積層体の平面方向に突出部を形成する
ことにより、選択的に狭くする部分を階段状に限らずど
のような平面形状であっても容易に製作できる。特に、
積層体に設けた流路幅と突出部との幅比率は、１：０．
５〜１：０．８が好ましい。突出部の幅を、流路幅に対
し０．５以下とすると衝撃波の吸収率が低くなり、逆流
緩和の効果が小さくなる一方、０．８以上にすると流路
中の流体の流れが妨げられ、衝撃波の有無に関わらず圧
力室へのスムーズな液体の供給が阻害される。
波は、噴霧量を大きくすることにより又は圧力室の数を
多くした場合、各圧力室の導入孔から伝搬され流路で集
約されて、他の流路やそこに設けた圧力室にまで干渉を
生じる事になるので、請求項２に係る発明は、該流路
に、該流路の幅を他の部分より選択的に狭くする突出部
を形成した液滴噴霧装置である。これにより、選択的に
狭くする突出部を形成した部分より同一の流路に接続さ
れた圧力室が２つ以上のグループに分けられ、１つのグ
ループの圧力室で生じた逆流による衝撃波は、選択的に
狭くする突出部を形成した部分に衝突して吸収されて分
散されるから、他のグループの圧力室への逆流を緩和で
き、円滑に供給が行われ噴霧が安定する。ここで、流路
の幅とは、流体の流れ方向に直交して対向した面の距離
をいい、流路断面が円又は楕円であれば径でもある。ま
た、選択的に狭くする突出部を形成する部分は、周囲
に、導入孔を介して圧力室を連結していない部分であ
る。更に、微細な液滴噴霧装置はグリーンシートのよう
な積層により製造する場合が多いので、流路を形成する
少なくとも１つの積層体の平面方向に突出部を形成する
ことにより、選択的に狭くする部分を階段状に限らずど
のような平面形状であっても容易に製作できる。特に、
積層体に設けた流路幅と突出部との幅比率は、１：０．
５〜１：０．８が好ましい。突出部の幅を、流路幅に対
し０．５以下とすると衝撃波の吸収率が低くなり、逆流
緩和の効果が小さくなる一方、０．８以上にすると流路
中の流体の流れが妨げられ、衝撃波の有無に関わらず圧
力室へのスムーズな液体の供給が阻害される。
【０００６】更に、噴霧量をより一層大きくする場合、
液体溜まりから液体を流路に供給する注入口を越えて衝
撃波が他の流路に及ぶ場合がある。そこで、請求項３に
係る発明は、該流路を２つ以上注入口において接続し
て、該注入口の少なくとも真下部分を他の部分より選択
的に浅く形成した液滴噴霧装置である。これにより、２
つ以上の流路の一方で生じた衝撃波は選択的に浅く形成
した部分に衝突し分散されるから、他の流路へ注入口を
越えて干渉することが無くなり、円滑に供給が行われ噴
霧が安定する。尚、この様な構成は、１つの流路が２つ
以上の流路に枝分れする場合にも好適に採用される。即
ち、枝分かれ部分に、厚み方向に多層構造とした凸状部
を形成し、元となる１つの流路を枝分かれした２つ以上
の流路に対する注入口とする構成である。これにより枝
分かれした２つ以上の流路で生じた衝撃波が他の流路を
干渉することが防げる。
液体溜まりから液体を流路に供給する注入口を越えて衝
撃波が他の流路に及ぶ場合がある。そこで、請求項３に
係る発明は、該流路を２つ以上注入口において接続し
て、該注入口の少なくとも真下部分を他の部分より選択
的に浅く形成した液滴噴霧装置である。これにより、２
つ以上の流路の一方で生じた衝撃波は選択的に浅く形成
した部分に衝突し分散されるから、他の流路へ注入口を
越えて干渉することが無くなり、円滑に供給が行われ噴
霧が安定する。尚、この様な構成は、１つの流路が２つ
以上の流路に枝分れする場合にも好適に採用される。即
ち、枝分かれ部分に、厚み方向に多層構造とした凸状部
を形成し、元となる１つの流路を枝分かれした２つ以上
の流路に対する注入口とする構成である。これにより枝
分かれした２つ以上の流路で生じた衝撃波が他の流路を
干渉することが防げる。
【０００７】特に、噴霧開始時に流路全体の空隙に液体
を充填する際に、液体の先端に押される泡の流路からの
抜けを良くするために、請求項４に係る発明は、該流路
に液体を注入する注入口に対して最遠方に位置する導入
孔並び／若しくは吐出口の径を、他の導入孔並び／若し
くは吐出口の径より大きく形成し、及び／又は該流路に
液体を注入する注入口に対して最遠方に位置する該流路
先端の吐出口形成面に排気孔を形成した液滴噴霧装置で
ある。一般的に、本発明の液滴噴霧装置は噴霧開始時に
は吐出口形成面を減圧吸引等を行うことにより注入口か
ら液体を流路・圧力室に充填するが、その場合、流路先
端に気泡が残ってしまうことがある。しかし、これによ
り、噴霧開始時に液体が注入口から充填されたときに、
泡が注入口に対して最遠方に位置する径の大きい導入孔
並び／若しくは吐出口、及び／又は排気孔から抜けてい
くので、気泡等が留まることなく流路から排出できて噴
霧不良を起こすことがない。特に、導入孔及び吐出口の
径の大きさは、他の導入孔及び吐出口に比べて１．１倍
以上であれば気泡の抜けが良く、２倍以下であれば液漏
れが起きることがなく好適である。一方、排気孔の場合
は、途中に圧力室を介した導入孔及び／若しくは吐出口
とは違い、直接吐出面に繋がるから、その排気孔の径の
大きさは、形成面の他の吐出口に比べて０．５倍以上で
あれば気泡の抜けが良い。更に、噴霧時における排気孔
からの液漏れを防ぐため排気孔の大きさは噴霧に関与し
ている他の吐出口の２倍以下が良い。また、導入孔及び
吐出口の径の大きさを、他の導入孔及び吐出口に比べて
大きくして、排気孔を形成しないこと、及び導入孔及び
吐出口の径の大きさを、他の導入孔及び吐出口に比べて
ほぼ同じにして、流路先端に排気孔を形成すること、そ
の両方を採用することの３態様は、液体の液性・吐出量
・吐出周期などにより適宜調整されるものである。
を充填する際に、液体の先端に押される泡の流路からの
抜けを良くするために、請求項４に係る発明は、該流路
に液体を注入する注入口に対して最遠方に位置する導入
孔並び／若しくは吐出口の径を、他の導入孔並び／若し
くは吐出口の径より大きく形成し、及び／又は該流路に
液体を注入する注入口に対して最遠方に位置する該流路
先端の吐出口形成面に排気孔を形成した液滴噴霧装置で
ある。一般的に、本発明の液滴噴霧装置は噴霧開始時に
は吐出口形成面を減圧吸引等を行うことにより注入口か
ら液体を流路・圧力室に充填するが、その場合、流路先
端に気泡が残ってしまうことがある。しかし、これによ
り、噴霧開始時に液体が注入口から充填されたときに、
泡が注入口に対して最遠方に位置する径の大きい導入孔
並び／若しくは吐出口、及び／又は排気孔から抜けてい
くので、気泡等が留まることなく流路から排出できて噴
霧不良を起こすことがない。特に、導入孔及び吐出口の
径の大きさは、他の導入孔及び吐出口に比べて１．１倍
以上であれば気泡の抜けが良く、２倍以下であれば液漏
れが起きることがなく好適である。一方、排気孔の場合
は、途中に圧力室を介した導入孔及び／若しくは吐出口
とは違い、直接吐出面に繋がるから、その排気孔の径の
大きさは、形成面の他の吐出口に比べて０．５倍以上で
あれば気泡の抜けが良い。更に、噴霧時における排気孔
からの液漏れを防ぐため排気孔の大きさは噴霧に関与し
ている他の吐出口の２倍以下が良い。また、導入孔及び
吐出口の径の大きさを、他の導入孔及び吐出口に比べて
大きくして、排気孔を形成しないこと、及び導入孔及び
吐出口の径の大きさを、他の導入孔及び吐出口に比べて
ほぼ同じにして、流路先端に排気孔を形成すること、そ
の両方を採用することの３態様は、液体の液性・吐出量
・吐出周期などにより適宜調整されるものである。
【０００８】また、請求項５に係る発明は、前記圧力室
に通じ第１導入孔の途中に、導入孔の流体の流れる方向
とは異なった方向に流体が流れる箇所を、深さが流路の
他の部分より選択的に浅くなるように形成し、該箇所の
該第１導入孔の延長線以外の部分に、該流路に通じる第
２導入孔を形成した液滴噴霧装置である。ここでいう深
さとは、各導入孔からその導入孔が形成されている箇
所、及び流路の面に対向する面までの距離を指す。これ
により、逆流による衝撃波の圧力が該箇所により吸収・
緩和されて流路に伝搬することが無くなる。
に通じ第１導入孔の途中に、導入孔の流体の流れる方向
とは異なった方向に流体が流れる箇所を、深さが流路の
他の部分より選択的に浅くなるように形成し、該箇所の
該第１導入孔の延長線以外の部分に、該流路に通じる第
２導入孔を形成した液滴噴霧装置である。ここでいう深
さとは、各導入孔からその導入孔が形成されている箇
所、及び流路の面に対向する面までの距離を指す。これ
により、逆流による衝撃波の圧力が該箇所により吸収・
緩和されて流路に伝搬することが無くなる。
【０００９】また、請求項６に係る発明は、前記選択的
に浅く形成した部分の周囲を、階段状に深く形成した液
滴噴霧装置であるから、衝撃波吸収面に衝突・吸収され
なかった衝撃波も段階的に消滅していき、浅い部分が多
くなり流路の容積が小さくなることを防止できる。ま
た、微細な液滴噴霧装置は積層により製造する場合が多
いので、そのような階段状の形成は容易であり、積層厚
み分の段差を有した階段状の構造は積層工程を増やすこ
とにより斜面に近い周囲部分を形成できる。
に浅く形成した部分の周囲を、階段状に深く形成した液
滴噴霧装置であるから、衝撃波吸収面に衝突・吸収され
なかった衝撃波も段階的に消滅していき、浅い部分が多
くなり流路の容積が小さくなることを防止できる。ま
た、微細な液滴噴霧装置は積層により製造する場合が多
いので、そのような階段状の形成は容易であり、積層厚
み分の段差を有した階段状の構造は積層工程を増やすこ
とにより斜面に近い周囲部分を形成できる。
【００１０】なお、請求項７に係る発明は、前記選択的
に浅く形成した部分を、該導入孔下端からの深さが該導
入孔の直径と同径以上、５倍以下に形成することが望ま
しい。これは、深さが５倍より深くなると、底面への衝
突による吸収の効率が落ちてしまい、又、直径より浅く
なると流体導入時の流路抵抗が大きくなってしまい、導
入がスムーズにいかなくなるためである。
に浅く形成した部分を、該導入孔下端からの深さが該導
入孔の直径と同径以上、５倍以下に形成することが望ま
しい。これは、深さが５倍より深くなると、底面への衝
突による吸収の効率が落ちてしまい、又、直径より浅く
なると流体導入時の流路抵抗が大きくなってしまい、導
入がスムーズにいかなくなるためである。
【００１１】また、請求項８に係る発明は、前記選択的
に浅く形成した部分の表面粗さを、他の流路内壁の部分
より粗面とした液滴噴霧装置である。これにより、衝撃
波が吸収される効率が向上される。流路内壁の表面粗さ
を粗面とする方法としては、積層又は切削等の物理的手
法により凹凸形状を形成する方法があるが、そのような
形状を形成するまでもなく、浅くなった部分の材質等を
変化させて、例えば、別材質、或いは別粒径の材料を積
層したり、浅くなった部分に別物質を照射又は別物質と
反応させたり等の化学的手法により形成してもよい。
に浅く形成した部分の表面粗さを、他の流路内壁の部分
より粗面とした液滴噴霧装置である。これにより、衝撃
波が吸収される効率が向上される。流路内壁の表面粗さ
を粗面とする方法としては、積層又は切削等の物理的手
法により凹凸形状を形成する方法があるが、そのような
形状を形成するまでもなく、浅くなった部分の材質等を
変化させて、例えば、別材質、或いは別粒径の材料を積
層したり、浅くなった部分に別物質を照射又は別物質と
反応させたり等の化学的手法により形成してもよい。
【００１２】そして、請求項９に係る発明は、前記流路
を、ZrO2セラミックにより形成し、該流路の少なくとも
一部が該流路内圧力の変動によりその形状が変化する液
滴噴霧装置である。これにより、逆流による衝撃波が流
路に伝搬されても、ZrO2セラミックにより形成された流
路の少なくとも一部で圧力の変動を吸収するので、速や
かに液体の供給を始めることができる。
を、ZrO2セラミックにより形成し、該流路の少なくとも
一部が該流路内圧力の変動によりその形状が変化する液
滴噴霧装置である。これにより、逆流による衝撃波が流
路に伝搬されても、ZrO2セラミックにより形成された流
路の少なくとも一部で圧力の変動を吸収するので、速や
かに液体の供給を始めることができる。
【０００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る液滴噴霧装置
を実施する形態を詳細に説明する。図１は、液滴噴霧装
置の縦断面図である。圧力室１０ｎは、一端の下方に外
方へ開口するノズル孔１１ａを有した吐出口１１を設
け、その吐出口１１を設けた面の他端には導入孔１２を
設け、その導入孔１２を介して流路２０に接続されてい
る。また、圧力室１０ｎにはその上部壁部の一部に圧電
／電歪素子１３が備えられ、各圧電／電歪素子１３は、
上部電極、圧電／電歪層及び下部電極を積層している。
そして、圧電／電歪素子１３に所定の電圧信号を印加す
ることにより、上部電極と下部電極との間に生じた電界
により圧電／電歪層が変形し、固着された圧力室１０ｎ
の壁部を変形させて圧力室１０ｎに生じる加圧力によ
り、圧力室１０ｎに供給された液体を吐出口１１から液
滴として吐出し、多数設けた吐出口により液滴が噴霧状
に噴出される。導入孔１２は、圧力室１０ｎの下面に対
し直交方向に設けられ、流路２０の上面に垂直に接続さ
れている。流路２０に接続された導入孔１２の直下に
は、導入孔１２の直径Ｌに対し２倍程度の深さＤとする
衝撃吸収面２１が流路２０の下面から突設するように形
成されている。また、衝撃吸収面２１は、導入孔１２の
直径円より広く、その外周は垂直に切り落とされ、段差
部２２を形成している。
を実施する形態を詳細に説明する。図１は、液滴噴霧装
置の縦断面図である。圧力室１０ｎは、一端の下方に外
方へ開口するノズル孔１１ａを有した吐出口１１を設
け、その吐出口１１を設けた面の他端には導入孔１２を
設け、その導入孔１２を介して流路２０に接続されてい
る。また、圧力室１０ｎにはその上部壁部の一部に圧電
／電歪素子１３が備えられ、各圧電／電歪素子１３は、
上部電極、圧電／電歪層及び下部電極を積層している。
そして、圧電／電歪素子１３に所定の電圧信号を印加す
ることにより、上部電極と下部電極との間に生じた電界
により圧電／電歪層が変形し、固着された圧力室１０ｎ
の壁部を変形させて圧力室１０ｎに生じる加圧力によ
り、圧力室１０ｎに供給された液体を吐出口１１から液
滴として吐出し、多数設けた吐出口により液滴が噴霧状
に噴出される。導入孔１２は、圧力室１０ｎの下面に対
し直交方向に設けられ、流路２０の上面に垂直に接続さ
れている。流路２０に接続された導入孔１２の直下に
は、導入孔１２の直径Ｌに対し２倍程度の深さＤとする
衝撃吸収面２１が流路２０の下面から突設するように形
成されている。また、衝撃吸収面２１は、導入孔１２の
直径円より広く、その外周は垂直に切り落とされ、段差
部２２を形成している。
【００１４】そして、圧力室１０ｎの加圧により生じ導
入孔１２を伝搬する逆流圧は、導入孔１２を通過してす
ぐ衝撃吸収面２１に衝突しエネルギーを弱め、次に段差
部２２の広さだけ拡張され、最後に流路２０の全体に伝
わっていく。また、点線２１ｓ，２２ｓ，２０ｓは作成
時の積層面を示しており、段差厚み分が積層厚みとなっ
ている。
入孔１２を伝搬する逆流圧は、導入孔１２を通過してす
ぐ衝撃吸収面２１に衝突しエネルギーを弱め、次に段差
部２２の広さだけ拡張され、最後に流路２０の全体に伝
わっていく。また、点線２１ｓ，２２ｓ，２０ｓは作成
時の積層面を示しており、段差厚み分が積層厚みとなっ
ている。
【００１５】図２は、図１の上部壁面を省略したＡ−Ａ
線における断面により他の実施形態を示した説明図であ
る。複数の圧力室１０ａ，１０ｂ・・１０ｎに共通の流
路２０には、各圧力室１０ｎに接続される導入孔１２が
設けられ、他端には、液体を外方へ吐出する吐出口１１
を穿設している。また、圧力室１０ｎの上方壁部の一部
に圧電／電歪素子１３を備えている。なお、流路２０は
液体供給源に対し１又は２以上の多数列を設けることが
できる。また、流路２０は、液体供給源から遠いほど、
その面幅が狭くなるように形成されている。これにより
初期に液体を流路に充填する際に流路の毛細血管現象に
よりスムーズに充填でき、また流体供給源から遠くなっ
ても流路中の流体の流速が遅くならなくなり、もって壁
面に気泡等が残存し難くなるといった利点を有する。
線における断面により他の実施形態を示した説明図であ
る。複数の圧力室１０ａ，１０ｂ・・１０ｎに共通の流
路２０には、各圧力室１０ｎに接続される導入孔１２が
設けられ、他端には、液体を外方へ吐出する吐出口１１
を穿設している。また、圧力室１０ｎの上方壁部の一部
に圧電／電歪素子１３を備えている。なお、流路２０は
液体供給源に対し１又は２以上の多数列を設けることが
できる。また、流路２０は、液体供給源から遠いほど、
その面幅が狭くなるように形成されている。これにより
初期に液体を流路に充填する際に流路の毛細血管現象に
よりスムーズに充填でき、また流体供給源から遠くなっ
ても流路中の流体の流速が遅くならなくなり、もって壁
面に気泡等が残存し難くなるといった利点を有する。
【００１６】なお、衝撃吸収面２１は、図３に示すよう
に流路２０に対し液体供給源から遠いほど、浅い部分の
面幅が狭くなるように形成されていても良い。これによ
り、各導入孔の流体供給源からの流路抵抗が等しくな
り、各圧力室間の噴霧バラツキが低減し安定した噴霧が
行われる。
に流路２０に対し液体供給源から遠いほど、浅い部分の
面幅が狭くなるように形成されていても良い。これによ
り、各導入孔の流体供給源からの流路抵抗が等しくな
り、各圧力室間の噴霧バラツキが低減し安定した噴霧が
行われる。
【００１７】更に、図４の（Ａ）に示すように流路２０
の導入孔１２に接続する側を、平面で凸形状に形成し、
その凸部においてその頂点付近で導入孔１２と接続する
と共に、凸部の深さを（Ａ）のＡ−Ａ線における端面図
（Ｂ）に示すように流路２０の他の部分より浅く形成
し、底面を衝撃吸収面２１とする構成にしても良い。こ
のような構造にすると、初期に液体を流路に供給する
と、気泡が導入孔１２のある凸部に集まり、速やかにそ
の導入孔１２から排出され易くなり好適である。また、
（Ｃ）はＡ−Ａ線に直交するＢ−Ｂ線における導入孔１
２の端面を示している。この図４に示す流路２０は、積
層する面方向において導入孔１２を凸部の頂点位置に配
置して気泡の流れを良くしており、積層面に直交する方
向で図１のように階段状に衝撃吸収面２１を形成して最
も浅くなる（Ｃ）の位置に導入孔１２を形成することと
併用することも可能である。
の導入孔１２に接続する側を、平面で凸形状に形成し、
その凸部においてその頂点付近で導入孔１２と接続する
と共に、凸部の深さを（Ａ）のＡ−Ａ線における端面図
（Ｂ）に示すように流路２０の他の部分より浅く形成
し、底面を衝撃吸収面２１とする構成にしても良い。こ
のような構造にすると、初期に液体を流路に供給する
と、気泡が導入孔１２のある凸部に集まり、速やかにそ
の導入孔１２から排出され易くなり好適である。また、
（Ｃ）はＡ−Ａ線に直交するＢ−Ｂ線における導入孔１
２の端面を示している。この図４に示す流路２０は、積
層する面方向において導入孔１２を凸部の頂点位置に配
置して気泡の流れを良くしており、積層面に直交する方
向で図１のように階段状に衝撃吸収面２１を形成して最
も浅くなる（Ｃ）の位置に導入孔１２を形成することと
併用することも可能である。
【００１８】図５は、グリーンシートを積層した他の実
施形態を図１と同様に示した説明図である。液滴噴霧装
置は７つのグリーンシート（以下、積層体という。）Ｓ
１〜Ｓ７を積層して形成され、注入口２５だけを設けた
第１積層体Ｓ１を除く第２積層体から第７積層体までの
各々の平面図を図６〜８に示す。第１積層体Ｓ１を蓋部
とした圧力室１０ｎは第２積層体で形成され、一端の下
方に向く吐出口１１は第３積層体から第６積層体まで径
を小さくしながら連結され、第７積層体Ｓ７には、外方
へ開口するノズル孔１１ａが形成されている。一方、吐
出口１１を設けた面の他端には導入孔１２を設け、その
導入孔１２を介して接続された流路２０が第３積層体と
第４積層体と第５積層体とで形成されている。また、圧
力室１０ｎの上部壁部となる第１積層体Ｓ１には、上部
電極、圧電／電歪層及び下部電極を積層する圧電／電歪
素子１３が備えられている。そして、圧電／電歪素子１
３に所定の電圧信号を印加することにより、上部電極と
下部電極との間に生じた電界により圧電／電歪層が変形
し、固着された圧力室１０ｎの上部壁部を二点鎖線で示
すように距離Ｌまで変形させる。この圧力室１０ｎに生
じる加圧力により、圧力室１０ｎに供給された液体を吐
出口１１から液滴として吐出し、それを高速で繰り返す
ことにより平面に多数設けた吐出口１１により液滴が噴
霧状に噴出される。なお、１１ｂは、吐出口１１に液滴
を残留させないために取り付けた液撥性部材であり、飛
散しなかった液滴は液撥性部材１１ｂに付着しても、大
きく成長することなく落下して消失していく。
施形態を図１と同様に示した説明図である。液滴噴霧装
置は７つのグリーンシート（以下、積層体という。）Ｓ
１〜Ｓ７を積層して形成され、注入口２５だけを設けた
第１積層体Ｓ１を除く第２積層体から第７積層体までの
各々の平面図を図６〜８に示す。第１積層体Ｓ１を蓋部
とした圧力室１０ｎは第２積層体で形成され、一端の下
方に向く吐出口１１は第３積層体から第６積層体まで径
を小さくしながら連結され、第７積層体Ｓ７には、外方
へ開口するノズル孔１１ａが形成されている。一方、吐
出口１１を設けた面の他端には導入孔１２を設け、その
導入孔１２を介して接続された流路２０が第３積層体と
第４積層体と第５積層体とで形成されている。また、圧
力室１０ｎの上部壁部となる第１積層体Ｓ１には、上部
電極、圧電／電歪層及び下部電極を積層する圧電／電歪
素子１３が備えられている。そして、圧電／電歪素子１
３に所定の電圧信号を印加することにより、上部電極と
下部電極との間に生じた電界により圧電／電歪層が変形
し、固着された圧力室１０ｎの上部壁部を二点鎖線で示
すように距離Ｌまで変形させる。この圧力室１０ｎに生
じる加圧力により、圧力室１０ｎに供給された液体を吐
出口１１から液滴として吐出し、それを高速で繰り返す
ことにより平面に多数設けた吐出口１１により液滴が噴
霧状に噴出される。なお、１１ｂは、吐出口１１に液滴
を残留させないために取り付けた液撥性部材であり、飛
散しなかった液滴は液撥性部材１１ｂに付着しても、大
きく成長することなく落下して消失していく。
【００１９】流路等の寸法は一例として図５に示す通り
であり、流路２０に垂直に接続された導入孔１２の直下
には、導入孔１２の直径Ｌ０．０３４ｍｍに対し３．５
倍程度の深さＤ０．１２ｍｍとする衝撃吸収面２１が第
５積層体Ｓ５により流路２０の下面から突設するように
形成されている。また、衝撃吸収面２１の大きさは、導
入孔１２の直径Ｌ０．０３４ｍｍより広く０．２５ｍｍ
幅に形成され、その外周の段差部２２は第５積層体Ｓ５
の層厚０．３８ｍｍとなっている。これにより、圧力室
１０ｎの加圧により生じ導入孔１２を伝搬する逆流圧
は、導入孔１２を通過してすぐ衝撃吸収面２１に衝突し
エネルギーを弱められ、流路２０の全体に伝わってい
く。
であり、流路２０に垂直に接続された導入孔１２の直下
には、導入孔１２の直径Ｌ０．０３４ｍｍに対し３．５
倍程度の深さＤ０．１２ｍｍとする衝撃吸収面２１が第
５積層体Ｓ５により流路２０の下面から突設するように
形成されている。また、衝撃吸収面２１の大きさは、導
入孔１２の直径Ｌ０．０３４ｍｍより広く０．２５ｍｍ
幅に形成され、その外周の段差部２２は第５積層体Ｓ５
の層厚０．３８ｍｍとなっている。これにより、圧力室
１０ｎの加圧により生じ導入孔１２を伝搬する逆流圧
は、導入孔１２を通過してすぐ衝撃吸収面２１に衝突し
エネルギーを弱められ、流路２０の全体に伝わってい
く。
【００２０】図６は第２積層体Ｓ２と第３積層体Ｓ３の
平面図を示し、それぞれの下方には第１積層体Ｓ１から
続く注入口２５が穿設されている。また、第２積層体Ｓ
２の上方には、１つの平面形状が両端を円弧形状にした
長尺形である圧力室１０ｎを直線部で１４個隣り合わせ
たブロックを縦に２列、横に４列に並べ、総計１１２個
の圧力室１０ｎを形成している。そして、第３積層体Ｓ
３の上方には、その圧力室１０ｎに対応させて、径０．
２５ｍｍの吐出口１１と径０．０３４ｍｍの導入孔１２
とが１１２個ずつ穿設されている。
平面図を示し、それぞれの下方には第１積層体Ｓ１から
続く注入口２５が穿設されている。また、第２積層体Ｓ
２の上方には、１つの平面形状が両端を円弧形状にした
長尺形である圧力室１０ｎを直線部で１４個隣り合わせ
たブロックを縦に２列、横に４列に並べ、総計１１２個
の圧力室１０ｎを形成している。そして、第３積層体Ｓ
３の上方には、その圧力室１０ｎに対応させて、径０．
２５ｍｍの吐出口１１と径０．０３４ｍｍの導入孔１２
とが１１２個ずつ穿設されている。
【００２１】図７は第４積層体Ｓ４と第５積層体Ｓ５の
平面図を示し、それぞれの下方には、上層から続く注入
口２５に一端が開口する流路２０が、分岐部２５ａによ
り左右に配置され、各々の流路２０は他端が更に分岐し
ている。分岐され４つになっている流路２０は、２８個
の第３積層体Ｓ３の導入孔１２とそれぞれと連結されて
いる。また、第３積層体Ｓ３の導入孔１２の直下になる
第５積層体Ｓ５には、衝撃吸収面２１が設けられてい
る。一方、第３積層体Ｓ３の吐出口１１に対して、第４
積層体Ｓ４には径０．１５ｍｍの吐出口１１と、第５積
層体Ｓ５の径０．１ｍｍの吐出口１１とが穿設されてい
る。
平面図を示し、それぞれの下方には、上層から続く注入
口２５に一端が開口する流路２０が、分岐部２５ａによ
り左右に配置され、各々の流路２０は他端が更に分岐し
ている。分岐され４つになっている流路２０は、２８個
の第３積層体Ｓ３の導入孔１２とそれぞれと連結されて
いる。また、第３積層体Ｓ３の導入孔１２の直下になる
第５積層体Ｓ５には、衝撃吸収面２１が設けられてい
る。一方、第３積層体Ｓ３の吐出口１１に対して、第４
積層体Ｓ４には径０．１５ｍｍの吐出口１１と、第５積
層体Ｓ５の径０．１ｍｍの吐出口１１とが穿設されてい
る。
【００２２】また、流路２０は、液体供給源の注入口２
５から遠いほど、導入孔１２側の面幅が狭くなるように
形成されている。これにより初期に液体を流路に充填す
る際に流路の毛細血管現象によりスムーズに充填でき、
また流体供給源から遠くなっても流路中の流体の流速が
遅くならなくなり、もって壁面に気泡等が残存し難くな
るといった利点を有する。特に、残存気泡については、
流路に液体を注入する注入口に対して最遠方に位置する
導入孔並び／若しくは吐出口の径を、他の導入孔並び／
若しくは吐出口の径より大きく形成したり、流路２０に
液体を注入する注入口２５に対して最遠方に位置する流
路２０の先端の吐出口形成面に排気孔を形成してもよ
い。これにより、噴霧開始時に液体が注入口２５から充
填されたときに、気泡が注入口２５に対して最遠方に位
置する径の大きい導入孔１２並び／若しくは吐出口１
１、及び／又は排気孔から抜けていくので、気泡等が留
まることなく流路２０から排出できて噴霧不良を起こす
ことがない。また、導入孔１２及び吐出口１１の径の大
きさは、他の導入孔１２及び吐出口１１に比べて１．１
倍以上であれば気泡の抜けが良く、２倍以下であれば液
漏れが起きることがなく好適である。一方、排気孔の径
の大きさは、形成面の他の吐出口に比べて０．５倍以上
であれば気泡の抜けが良く、２倍以下であれば液漏れが
起きることがなく好適である。また、導入孔及び吐出口
の径の大きさを、他の導入孔及び吐出口に比べて大きく
して排気孔を形成しないこと、及び導入孔及び吐出口の
径の大きさを、他の導入孔及び吐出口に比べてほぼ同じ
にして、流路先端に排気孔を形成すること、その両方を
採用することの３態様は、液体の液性・吐出量・吐出周
期などにより適宜調整するものである。
５から遠いほど、導入孔１２側の面幅が狭くなるように
形成されている。これにより初期に液体を流路に充填す
る際に流路の毛細血管現象によりスムーズに充填でき、
また流体供給源から遠くなっても流路中の流体の流速が
遅くならなくなり、もって壁面に気泡等が残存し難くな
るといった利点を有する。特に、残存気泡については、
流路に液体を注入する注入口に対して最遠方に位置する
導入孔並び／若しくは吐出口の径を、他の導入孔並び／
若しくは吐出口の径より大きく形成したり、流路２０に
液体を注入する注入口２５に対して最遠方に位置する流
路２０の先端の吐出口形成面に排気孔を形成してもよ
い。これにより、噴霧開始時に液体が注入口２５から充
填されたときに、気泡が注入口２５に対して最遠方に位
置する径の大きい導入孔１２並び／若しくは吐出口１
１、及び／又は排気孔から抜けていくので、気泡等が留
まることなく流路２０から排出できて噴霧不良を起こす
ことがない。また、導入孔１２及び吐出口１１の径の大
きさは、他の導入孔１２及び吐出口１１に比べて１．１
倍以上であれば気泡の抜けが良く、２倍以下であれば液
漏れが起きることがなく好適である。一方、排気孔の径
の大きさは、形成面の他の吐出口に比べて０．５倍以上
であれば気泡の抜けが良く、２倍以下であれば液漏れが
起きることがなく好適である。また、導入孔及び吐出口
の径の大きさを、他の導入孔及び吐出口に比べて大きく
して排気孔を形成しないこと、及び導入孔及び吐出口の
径の大きさを、他の導入孔及び吐出口に比べてほぼ同じ
にして、流路先端に排気孔を形成すること、その両方を
採用することの３態様は、液体の液性・吐出量・吐出周
期などにより適宜調整するものである。
【００２３】図８は第６積層体Ｓ６と第７積層体Ｓ７の
平面図を示す。第６積層体Ｓ６は流路２０の底面となる
とともに、第５積層体Ｓ５の吐出口１１に対して、第６
積層体Ｓ６には径０．０５ｍｍの吐出口１１と、第７積
層体Ｓ７の径０．０３１ｍｍの吐出口１１とが穿設され
ている。
平面図を示す。第６積層体Ｓ６は流路２０の底面となる
とともに、第５積層体Ｓ５の吐出口１１に対して、第６
積層体Ｓ６には径０．０５ｍｍの吐出口１１と、第７積
層体Ｓ７の径０．０３１ｍｍの吐出口１１とが穿設され
ている。
【００２４】図９は、積層体Ｓ１〜Ｓ７を重ねて形成し
図６〜図８のＢ−Ｂ線において切断した断面図である。
分岐部２５ａは、注入口２５に接続している流路２０の
該注入口２５の真下となる部分に、第４積層体Ｓ４と第
５積層体Ｓ５を残して流路２０の他の部分より選択的に
浅くした部分により形成されている。これにより、分岐
部２５ａが流路２０の流れ方向に直交する面２０ｄは、
流路２０に伝わってきた衝撃波を吸収して他方の流路に
干渉することを防ぎ、注入口２５から供給される液体に
対しては分岐部２５ａの幅が薄いので供給抵抗になるこ
とは無い。
図６〜図８のＢ−Ｂ線において切断した断面図である。
分岐部２５ａは、注入口２５に接続している流路２０の
該注入口２５の真下となる部分に、第４積層体Ｓ４と第
５積層体Ｓ５を残して流路２０の他の部分より選択的に
浅くした部分により形成されている。これにより、分岐
部２５ａが流路２０の流れ方向に直交する面２０ｄは、
流路２０に伝わってきた衝撃波を吸収して他方の流路に
干渉することを防ぎ、注入口２５から供給される液体に
対しては分岐部２５ａの幅が薄いので供給抵抗になるこ
とは無い。
【００２５】この図３〜図９に示す液滴噴霧装置の機能
試験を行い下記のような結果を得た。吐出液体は第２石
油類ソルベント（比重：０．７６、表面張力：２０dyn/
cm）である。また、上部壁部の変形量は、図５に示すよ
うに圧電体１３と第１積層体Ｓ１の境界の上下変位量Ｌ
を測定している。圧電／電歪素子の駆動量を一定にした
まま周波数を調整するだけで、噴霧量を変形させること
ができるとともに、大量の噴霧が可能になった。
試験を行い下記のような結果を得た。吐出液体は第２石
油類ソルベント（比重：０．７６、表面張力：２０dyn/
cm）である。また、上部壁部の変形量は、図５に示すよ
うに圧電体１３と第１積層体Ｓ１の境界の上下変位量Ｌ
を測定している。圧電／電歪素子の駆動量を一定にした
まま周波数を調整するだけで、噴霧量を変形させること
ができるとともに、大量の噴霧が可能になった。
【００２６】
【表１】
【００２７】図１０は、図７に示した第４積層体Ｓ４と
第５積層体Ｓ５の他の実施形態を示している。第４積層
体Ｓ４と第５積層体Ｓ５において先方が４つに分岐され
ている流路２０のそれぞれは、第３積層体Ｓ３の２８個
の導入孔１２とそれぞれに連結され、その連結される部
分の途中に、流路幅を他の部分より選択的に狭くする突
出部２０ｅが平面方向へ形成されている。突出部２０ｅ
の形成された位置は、導入孔１２の列を１４個づつに２
分するので、突出部２０ｅにより同一流路に接続された
圧力室が２つのグループに分けられ、一方のグループの
圧力室で生じた逆流による衝撃波は、突出部２０ｅに衝
突して吸収されて分散されるため、他方のグループにあ
る圧力室への逆流を緩和でき、円滑に液体が供給されて
噴霧が安定する。
第５積層体Ｓ５の他の実施形態を示している。第４積層
体Ｓ４と第５積層体Ｓ５において先方が４つに分岐され
ている流路２０のそれぞれは、第３積層体Ｓ３の２８個
の導入孔１２とそれぞれに連結され、その連結される部
分の途中に、流路幅を他の部分より選択的に狭くする突
出部２０ｅが平面方向へ形成されている。突出部２０ｅ
の形成された位置は、導入孔１２の列を１４個づつに２
分するので、突出部２０ｅにより同一流路に接続された
圧力室が２つのグループに分けられ、一方のグループの
圧力室で生じた逆流による衝撃波は、突出部２０ｅに衝
突して吸収されて分散されるため、他方のグループにあ
る圧力室への逆流を緩和でき、円滑に液体が供給されて
噴霧が安定する。
【００２８】図１１は、他の実施形態を図１と同様に示
した説明図である。液滴噴霧装置の圧力室の下面に垂直
方向に形成した第１導入孔１２ａに流体の流れの方向を
変化させる圧力緩和室１４を形成し、圧力緩和室１４の
深さを第１導入孔１２ａの直径と同径以上、５倍以下と
することにより、逆流圧の衝撃力を圧力緩和室の底面で
吸収するとともに、第１導入孔１２ａの真下部分以外の
他の底面に、流路２０に通じる第２導入孔１２ｂを形成
している。これにより、逆流による衝撃波が圧力緩和室
１４で吸収・緩和されて流路２０へ伝搬することが無く
なる。なお、流体の流れを変化させる方向は、導入孔に
流体が入った直後の中心を通る延長線に対し直交する方
向に限定するものではなく、流体の性質、流量、流速な
どを考慮して適宜調整することができる。
した説明図である。液滴噴霧装置の圧力室の下面に垂直
方向に形成した第１導入孔１２ａに流体の流れの方向を
変化させる圧力緩和室１４を形成し、圧力緩和室１４の
深さを第１導入孔１２ａの直径と同径以上、５倍以下と
することにより、逆流圧の衝撃力を圧力緩和室の底面で
吸収するとともに、第１導入孔１２ａの真下部分以外の
他の底面に、流路２０に通じる第２導入孔１２ｂを形成
している。これにより、逆流による衝撃波が圧力緩和室
１４で吸収・緩和されて流路２０へ伝搬することが無く
なる。なお、流体の流れを変化させる方向は、導入孔に
流体が入った直後の中心を通る延長線に対し直交する方
向に限定するものではなく、流体の性質、流量、流速な
どを考慮して適宜調整することができる。
【００２９】図１２及び図１３は、他の実施形態を図１
と同様に示した説明図である。つまり、液滴噴霧装置の
流路２０をZrO2セラミックにより形成し、流路２０の少
なくとも一部が該流路内圧力の変動によりその形状が変
化する液滴噴霧装置である。これにより、逆流による衝
撃波が流路に伝搬されても、ZrO2セラミックにより形成
された壁面を有する流路の少なくとも一部で圧力の変動
を吸収するので、速やかに液体の供給を始めることがで
きる。詳しくは、図１２では、流路２０の下面の一部を
肉薄部２０ａに形成したものであり、一方、図１３で
は、流路２０の上方に中空部２０ｂを形成するととも
に、流路２０と中空部２０ｂとの間を肉薄部２０ｃに形
成したものである。そして、流路２０に逆流圧が生じる
と、肉薄部２０ａ，２０ｃが点線で示したように変形し
逆流圧を吸収することになる。
と同様に示した説明図である。つまり、液滴噴霧装置の
流路２０をZrO2セラミックにより形成し、流路２０の少
なくとも一部が該流路内圧力の変動によりその形状が変
化する液滴噴霧装置である。これにより、逆流による衝
撃波が流路に伝搬されても、ZrO2セラミックにより形成
された壁面を有する流路の少なくとも一部で圧力の変動
を吸収するので、速やかに液体の供給を始めることがで
きる。詳しくは、図１２では、流路２０の下面の一部を
肉薄部２０ａに形成したものであり、一方、図１３で
は、流路２０の上方に中空部２０ｂを形成するととも
に、流路２０と中空部２０ｂとの間を肉薄部２０ｃに形
成したものである。そして、流路２０に逆流圧が生じる
と、肉薄部２０ａ，２０ｃが点線で示したように変形し
逆流圧を吸収することになる。
【００３０】
【発明の効果】以上説明した通り、請求項１に係る発明
によれば、液滴噴霧装置の流路の深さを、該導入孔の少
なくとも真下部分を他の部分より選択的に浅く形成する
ことにより、噴霧のために圧力室から導入孔へ伝搬され
た、逆流による衝撃波は、浅く形成された流路の底面に
最初に衝突して吸収された後、他の流路内へ分散される
から、他の圧力室からの干渉や、反射波による自らの圧
力室への干渉が低減でき、円滑に供給が行われ噴霧が途
切れることなく安定する。
によれば、液滴噴霧装置の流路の深さを、該導入孔の少
なくとも真下部分を他の部分より選択的に浅く形成する
ことにより、噴霧のために圧力室から導入孔へ伝搬され
た、逆流による衝撃波は、浅く形成された流路の底面に
最初に衝突して吸収された後、他の流路内へ分散される
から、他の圧力室からの干渉や、反射波による自らの圧
力室への干渉が低減でき、円滑に供給が行われ噴霧が途
切れることなく安定する。
【００３１】また、請求項２に係る発明は、液滴噴霧装
置の流路に、該流路の幅を他の部分より選択的に狭くす
る突出部を形成したことにより、選択的に狭くする突出
部を形成した部分より先端に至る流路に設けた圧力室で
生じた逆流による衝撃波は、選択的に狭くする突出部を
形成した部分に衝突して吸収されて分散されるから、他
の部分への逆流を緩和でき、円滑に供給が行われ噴霧が
安定する。更に、請求項３に係る発明は、液滴噴霧装置
の流路を２つ以上注入口において接続して、該注入口の
少なくとも真下部分を他の部分より選択的に浅く形成し
たことにより、２つ以上の流路の一方で生じた衝撃波は
選択的に浅く形成した部分に衝突し分散されるから、他
の流路へ注入口を越えて干渉することが無くなり、円滑
に供給が行われ噴霧が安定する。また、請求子４に係る
発明は、液滴噴霧装置の流路に液体を注入する注入口に
対して最遠方に位置する導入孔並び／若しくは吐出口の
径を、他の導入孔並び／若しくは吐出口の径より大きく
形成し、及び／又は該流路に液体を注入する注入口に対
して最遠方に位置する該流路先端の吐出口形成面に排気
孔を形成したことにより、噴霧開始時に液体が注入口か
ら充填されたときに、泡が注入口に対して最遠方に位置
する径の大きい導入孔並び／若しくは吐出口、及び／又
は排気孔から抜けていくので、気泡等が留まることなく
流路から排出できて噴霧不良を起こすことがない。
置の流路に、該流路の幅を他の部分より選択的に狭くす
る突出部を形成したことにより、選択的に狭くする突出
部を形成した部分より先端に至る流路に設けた圧力室で
生じた逆流による衝撃波は、選択的に狭くする突出部を
形成した部分に衝突して吸収されて分散されるから、他
の部分への逆流を緩和でき、円滑に供給が行われ噴霧が
安定する。更に、請求項３に係る発明は、液滴噴霧装置
の流路を２つ以上注入口において接続して、該注入口の
少なくとも真下部分を他の部分より選択的に浅く形成し
たことにより、２つ以上の流路の一方で生じた衝撃波は
選択的に浅く形成した部分に衝突し分散されるから、他
の流路へ注入口を越えて干渉することが無くなり、円滑
に供給が行われ噴霧が安定する。また、請求子４に係る
発明は、液滴噴霧装置の流路に液体を注入する注入口に
対して最遠方に位置する導入孔並び／若しくは吐出口の
径を、他の導入孔並び／若しくは吐出口の径より大きく
形成し、及び／又は該流路に液体を注入する注入口に対
して最遠方に位置する該流路先端の吐出口形成面に排気
孔を形成したことにより、噴霧開始時に液体が注入口か
ら充填されたときに、泡が注入口に対して最遠方に位置
する径の大きい導入孔並び／若しくは吐出口、及び／又
は排気孔から抜けていくので、気泡等が留まることなく
流路から排出できて噴霧不良を起こすことがない。
【００３２】また、請求項５に係る発明は、前記圧力室
に通じる第１導入孔に、流体の流れの方向を変化させる
圧力緩和室を形成し、該圧力緩和室の該第１導入孔の真
下部分以外に、該流路に通じる第２導入孔を形成した液
滴噴霧装置である。これにより、逆流による衝撃波が圧
力緩和室で吸収・緩和されて流路へ伝搬することが無く
なる。また、請求項６に係る発明は、前記選択的に浅く
形成した部分の周囲を、階段状に深く形成した液滴噴霧
装置であるから、衝撃波吸収面に衝突・吸収されなかっ
た衝撃波も段階的に消滅していき、浅い部分が多くなり
圧力室全体の容積が小さくなることを防止できる。ま
た、微細な液滴噴霧装置は積層により製造する場合が多
いので、積層厚み分の段差を有した階段状の構造は積層
工程を増やすことにより斜面に近い周囲部分を形成でき
る。なお、請求項７に係る発明は、前記選択的に浅く形
成した部分を、該導入孔下端からの深さが該導入孔の直
径と同径以上、５倍以下に形成することが望ましい。こ
れにより、導入孔の延長方向に逆流圧が、横方向に拡散
する前に浅くした部分に衝突して減少する。また、請求
項８に係る発明は、前記選択的に浅く形成した部分の表
面粗さを、他の流路内壁の部分より粗面とした液滴噴霧
装置である。これにより、衝撃波が吸収される効率が向
上される。そして、請求項９に係る発明は、前記流路
を、ZrO2セラミックにより形成し、該流路の少なくとも
一部が該流路内圧力の変動によりその形状が変化する液
滴噴霧装置である。これにより、逆流による衝撃波が流
路に伝搬されても、ZrO2セラミックにより形成された流
路の少なくとも一部で圧力の変動を吸収するので、速や
かに液体の供給を始めることができる。
に通じる第１導入孔に、流体の流れの方向を変化させる
圧力緩和室を形成し、該圧力緩和室の該第１導入孔の真
下部分以外に、該流路に通じる第２導入孔を形成した液
滴噴霧装置である。これにより、逆流による衝撃波が圧
力緩和室で吸収・緩和されて流路へ伝搬することが無く
なる。また、請求項６に係る発明は、前記選択的に浅く
形成した部分の周囲を、階段状に深く形成した液滴噴霧
装置であるから、衝撃波吸収面に衝突・吸収されなかっ
た衝撃波も段階的に消滅していき、浅い部分が多くなり
圧力室全体の容積が小さくなることを防止できる。ま
た、微細な液滴噴霧装置は積層により製造する場合が多
いので、積層厚み分の段差を有した階段状の構造は積層
工程を増やすことにより斜面に近い周囲部分を形成でき
る。なお、請求項７に係る発明は、前記選択的に浅く形
成した部分を、該導入孔下端からの深さが該導入孔の直
径と同径以上、５倍以下に形成することが望ましい。こ
れにより、導入孔の延長方向に逆流圧が、横方向に拡散
する前に浅くした部分に衝突して減少する。また、請求
項８に係る発明は、前記選択的に浅く形成した部分の表
面粗さを、他の流路内壁の部分より粗面とした液滴噴霧
装置である。これにより、衝撃波が吸収される効率が向
上される。そして、請求項９に係る発明は、前記流路
を、ZrO2セラミックにより形成し、該流路の少なくとも
一部が該流路内圧力の変動によりその形状が変化する液
滴噴霧装置である。これにより、逆流による衝撃波が流
路に伝搬されても、ZrO2セラミックにより形成された流
路の少なくとも一部で圧力の変動を吸収するので、速や
かに液体の供給を始めることができる。
【図１】液滴噴霧装置の縦断面図である。
【図２】他の液滴噴霧装置を図１のＡ−Ａ線方向から示
す説明図である。
す説明図である。
【図３】他の液滴噴霧装置を示す説明図である。
【図４】他の流路を備える液滴噴霧装置を示す説明図で
ある。
ある。
【図５】グリーンシートを積層した他の実施形態を示す
説明図である。
説明図である。
【図６】第２積層体Ｓ２と第３積層体Ｓ３の平面図を示
す説明図である。
す説明図である。
【図７】第４積層体Ｓ４と第５積層体Ｓ５の平面図を示
す説明図である。
す説明図である。
【図８】第６積層体Ｓ６と第７積層体Ｓ７の平面図を示
す説明図である。
す説明図である。
【図９】図６〜図８のＢ−Ｂ線方向から液滴噴霧装置の
注入口を示す説明図である。
注入口を示す説明図である。
【図１０】他の液滴噴霧装置を示す説明図である。
【図１１】他の液滴噴霧装置を示す説明図である。
【図１２】他の液滴噴霧装置を示す説明図である。
【図１３】他の液滴噴霧装置を示す説明図である。
１・・液滴噴霧装置、１０ａ、１０ｂ、・・、１０ｎ・
・圧力室、１１・・吐出口、１１ａ・・ノズル孔、１１
ｂ・・液撥性部材、１２・・導入孔、１２ａ・・第１導
入孔、１２ｂ・・第２導入孔、１３・・圧電／電歪素
子、１４・・圧力緩和室、２０・・流路、２０ａ，２０
ｃ・・肉薄部、２０ｂ・・中空部、２０ｄ，２１・・衝
撃吸収面、２０ｅ・・突出部、２０ｓ，２１ｓ，２２ｓ
・・積層面、２２・・段差部、２５・・注入口、２５ａ
・・分岐部。
・圧力室、１１・・吐出口、１１ａ・・ノズル孔、１１
ｂ・・液撥性部材、１２・・導入孔、１２ａ・・第１導
入孔、１２ｂ・・第２導入孔、１３・・圧電／電歪素
子、１４・・圧力緩和室、２０・・流路、２０ａ，２０
ｃ・・肉薄部、２０ｂ・・中空部、２０ｄ，２１・・衝
撃吸収面、２０ｅ・・突出部、２０ｓ，２１ｓ，２２ｓ
・・積層面、２２・・段差部、２５・・注入口、２５ａ
・・分岐部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 則竹 基生 愛知県名古屋市瑞穂区須田町２番56号 日 本碍子株式会社内 Ｆターム(参考） 2C057 AF06 AF08 AF10 AF40 AF79 AG01 AG33 AG44 AG75 BA04 BA14
Claims (9)
- 【請求項１】 複数の圧力室がそれら各圧力室に設けら
れた導入孔を介して同一の流路に接続され、該圧力室の
体積変化により吐出口から液滴を吐出することによって
噴霧を行う液滴噴霧装置において、 該流路の深さを、該導入孔の少なくとも真下部分を他の
部分より選択的に浅く形成したことを特徴とする液滴噴
霧装置。 - 【請求項２】 複数の圧力室がそれら各圧力室に設けら
れた導入孔を介して同一の流路に接続され、該圧力室の
体積変化により吐出口から液滴を吐出することによって
噴霧を行う液滴噴霧装置において、 該流路に、該流路の幅を他の部分より選択的に狭くする
突出部を形成したことを特徴とする液滴噴霧装置。 - 【請求項３】 複数の圧力室がそれら各圧力室に設けら
れた導入孔を介して同一の流路に接続され、該圧力室の
体積変化により吐出口から液滴を吐出することによって
噴霧を行う液滴噴霧装置において、 該流路を２つ以上注入口において接続して、該注入口の
少なくとも真下部分を他の部分より選択的に浅く形成し
たことを特徴とする液滴噴霧装置。 - 【請求項４】 複数の圧力室がそれら各圧力室に設けら
れた導入孔を介して同一の流路に接続され、該圧力室の
体積変化により吐出口から液滴を吐出することによって
噴霧を行う液滴噴霧装置において、 該流路に液体を注入する注入口に対して最遠方に位置す
る導入孔並び／若しくは吐出口の径を、他の導入孔並び
／若しくは吐出口の径より大きく形成し、及び／又は該
流路に液体を注入する注入口に対して最遠方に位置する
該流路先端の吐出口形成面に排気孔を形成したことを特
徴とする液滴噴霧装置。 - 【請求項５】 複数の圧力室がそれら各圧力室に設けら
れた導入孔を介して同一の流路に接続され、該圧力室の
体積変化により吐出口から液滴を吐出することによって
噴霧を行う液滴噴霧装置において、 該導入孔の途中に、流体の流れの方向を変化させる箇所
を形成し、該箇所の深さを流路の他の部分より選択的に
浅く形成したことを特徴とする液滴噴霧装置。 - 【請求項６】 前記選択的に浅く形成した部分の周囲
を、階段状に深く形成した請求項１，３，５のいずれか
に記載の液滴噴霧装置。 - 【請求項７】 前記選択的に浅く形成した部分を、該導
入孔下端からの深さが該導入孔の直径の５倍以下に形成
した請求項１，３，５のいずれかに記載の液滴噴霧装
置。 - 【請求項８】 前記選択的に浅く形成した部分の表面粗
さを、他の流路内壁の部分より粗面とした請求項１，
３，５のいずれかに記載の液滴噴霧装置 - 【請求項９】 前記流路を、ZrO2セラミックにより形成
し、該流路の少なくとも一部が該流路内圧力の変動によ
りその形状が変化する請求項１〜５のいずれかに記載の
液滴噴霧装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000225953A JP2001121693A (ja) | 1999-08-19 | 2000-07-26 | 液滴噴霧装置 |
| EP00307094A EP1077331A3 (en) | 1999-08-19 | 2000-08-18 | Liquid drop spraying apparatus |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11-233277 | 1999-08-19 | ||
| JP23327799 | 1999-08-19 | ||
| JP2000225953A JP2001121693A (ja) | 1999-08-19 | 2000-07-26 | 液滴噴霧装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001121693A true JP2001121693A (ja) | 2001-05-08 |
Family
ID=26530957
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000225953A Pending JP2001121693A (ja) | 1999-08-19 | 2000-07-26 | 液滴噴霧装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP1077331A3 (ja) |
| JP (1) | JP2001121693A (ja) |
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002086730A (ja) * | 2000-07-10 | 2002-03-26 | Canon Inc | 液体吐出記録ヘッド及び液体吐出記録装置 |
| JP2002361892A (ja) * | 2001-06-13 | 2002-12-18 | Ricoh Co Ltd | インク供給装置と記録ヘッド及びインクジェット記録装置 |
| JP2004284291A (ja) * | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Fuji Xerox Co Ltd | インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置 |
| JP2006062260A (ja) * | 2004-08-27 | 2006-03-09 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッド |
| JP2006062259A (ja) * | 2004-08-27 | 2006-03-09 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッド |
| JP2007076093A (ja) * | 2005-09-13 | 2007-03-29 | Brother Ind Ltd | インクジェット式記録装置 |
| JP2007090638A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Brother Ind Ltd | 記録ヘッド、およびインクジェット記録装置 |
| JP2008230202A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Brother Ind Ltd | 液滴吐出装置 |
| JP2011092918A (ja) * | 2009-10-29 | 2011-05-12 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | インクジェットプリントヘッド |
| US20110228012A1 (en) * | 2010-03-16 | 2011-09-22 | Panasonic Corporation | Ink-jet apparatus |
| US8567921B2 (en) | 2010-03-29 | 2013-10-29 | Panasonic Corporation | Ink-jet apparatus |
| US8646878B2 (en) | 2011-01-14 | 2014-02-11 | Panasonic Corporation | Ink-jet head |
| JP2016068313A (ja) * | 2014-09-29 | 2016-05-09 | ブラザー工業株式会社 | 液体噴射装置 |
| JP2018001481A (ja) * | 2016-06-29 | 2018-01-11 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
| KR20180092275A (ko) | 2017-02-08 | 2018-08-17 | 파나소닉 아이피 매니지먼트 가부시키가이샤 | 잉크젯 인쇄 방법 |
| US10369783B2 (en) | 2017-02-08 | 2019-08-06 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Ink jet printing method printing a test substrate and a printing target |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6554591B1 (en) * | 2001-11-26 | 2003-04-29 | Motorola, Inc. | Micropump including ball check valve utilizing ceramic technology and method of fabrication |
| US6926382B2 (en) | 2002-04-25 | 2005-08-09 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink-jet head and ink-jet printer |
| JP3928594B2 (ja) * | 2003-06-30 | 2007-06-13 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットヘッド |
| JP4826732B2 (ja) | 2005-10-26 | 2011-11-30 | ブラザー工業株式会社 | 液滴噴射装置 |
| US7661802B2 (en) | 2006-03-06 | 2010-02-16 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid droplet spraying apparatus |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SE8101125L (sv) * | 1981-02-19 | 1982-08-20 | Karl Harvid Melin | Frontlastare |
| JP3250596B2 (ja) * | 1994-07-01 | 2002-01-28 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録装置 |
| JPH0939244A (ja) * | 1995-05-23 | 1997-02-10 | Fujitsu Ltd | 圧電ポンプ |
| JP3763175B2 (ja) * | 1997-02-28 | 2006-04-05 | ソニー株式会社 | プリンタ装置の製造方法 |
| JP3960561B2 (ja) * | 1998-01-28 | 2007-08-15 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴出構造、インクジェット式記録ヘッドおよびプリンタ |
-
2000
- 2000-07-26 JP JP2000225953A patent/JP2001121693A/ja active Pending
- 2000-08-18 EP EP00307094A patent/EP1077331A3/en not_active Withdrawn
Cited By (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4666822B2 (ja) * | 2000-07-10 | 2011-04-06 | キヤノン株式会社 | 液体吐出記録ヘッド |
| JP2002086730A (ja) * | 2000-07-10 | 2002-03-26 | Canon Inc | 液体吐出記録ヘッド及び液体吐出記録装置 |
| JP2002361892A (ja) * | 2001-06-13 | 2002-12-18 | Ricoh Co Ltd | インク供給装置と記録ヘッド及びインクジェット記録装置 |
| JP4639002B2 (ja) * | 2001-06-13 | 2011-02-23 | 株式会社リコー | インク供給装置と記録ヘッド及びインクジェット記録装置 |
| JP2004284291A (ja) * | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Fuji Xerox Co Ltd | インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置 |
| JP2006062260A (ja) * | 2004-08-27 | 2006-03-09 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッド |
| JP2006062259A (ja) * | 2004-08-27 | 2006-03-09 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッド |
| JP4735144B2 (ja) * | 2005-09-13 | 2011-07-27 | ブラザー工業株式会社 | インクジェット式記録装置 |
| JP2007076093A (ja) * | 2005-09-13 | 2007-03-29 | Brother Ind Ltd | インクジェット式記録装置 |
| JP2007090638A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Brother Ind Ltd | 記録ヘッド、およびインクジェット記録装置 |
| JP2008230202A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Brother Ind Ltd | 液滴吐出装置 |
| JP2011092918A (ja) * | 2009-10-29 | 2011-05-12 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | インクジェットプリントヘッド |
| US20110228012A1 (en) * | 2010-03-16 | 2011-09-22 | Panasonic Corporation | Ink-jet apparatus |
| US8579420B2 (en) | 2010-03-16 | 2013-11-12 | Panasonic Corporation | Ink-jet apparatus |
| US8567921B2 (en) | 2010-03-29 | 2013-10-29 | Panasonic Corporation | Ink-jet apparatus |
| US8646878B2 (en) | 2011-01-14 | 2014-02-11 | Panasonic Corporation | Ink-jet head |
| JP2016068313A (ja) * | 2014-09-29 | 2016-05-09 | ブラザー工業株式会社 | 液体噴射装置 |
| JP2018001481A (ja) * | 2016-06-29 | 2018-01-11 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
| KR20180092275A (ko) | 2017-02-08 | 2018-08-17 | 파나소닉 아이피 매니지먼트 가부시키가이샤 | 잉크젯 인쇄 방법 |
| US10369783B2 (en) | 2017-02-08 | 2019-08-06 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Ink jet printing method printing a test substrate and a printing target |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP1077331A2 (en) | 2001-02-21 |
| EP1077331A3 (en) | 2002-09-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040302 |
|
| A02 | Decision of refusal |
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