JP5343630B2 - 圧電アクチュエータ、液体吐出ヘッド、画像形成装置 - Google Patents
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圧電層と内部電極が交互に積層され、前記内部電極は交互に異なる端面に引き出されてそれぞれが外部電極に接続されている、配列方向に略同じ幅に形成された複数の圧電素子柱が列状に並べて配置され、
前記圧電素子柱の各々の外部電極には配線部材の接合領域が接合され、
前記配線部材の接合領域には、第1の接合領域と、圧電素子柱配列方向における幅が前記第1の接合領域より広い第2の接合領域とが設けられ、かつ、前記第2の接合領域に隣接して第1の接合領域が配置され、前記第2の接合領域同士が連続して配置されず、
前記第1の接合領域と前記第2の接合領域が交互に配置されている
構成とした。
この圧電アクチュエータ1は、複数の圧電素子柱11が列状に並べて配置された圧電素子部材2がベース部材4上に接着剤で接合されて設けられている。圧電素子部材2は、分断することのないスリット加工(溝加工)を施すなどして、複数個の圧電素子柱11を、スリット溝12を介して所定のピッチで形成したものである。
FPC3と圧電素子柱11とを接合するとき、上述したように、半田部材41の加熱方法として、ヒータ等を用いた接触加熱方法の場合には、ヒータがFPC3に直接接触して熱処理するので、FPC3を損傷するおそれがあることから、レーザー等を圧電素子柱11の配列方向にスキャンさせながら接合する非接触加熱方式が好ましい。また、ガラス等の部材でFPC3と圧電素子柱11を密着させて接合させてもよいが、エアー圧によってFPC3と圧電素子柱11を密着させながらレーザーによって接合する方が好ましい。
この配線部材接合装置401では、レーザー照射機構402とエアー抑え機構403が一体化した構造となっている。エアー抑え機構403は、一端部403a側がテーパ状とされ、かつ他端部403b側が円筒状とされた筒体で構成されている。このエアー抑え機構403は、一端部403aが局所的な気体の吹き付けが可能な口径とされ、他端部403b近傍に導入口403cが設けられている。この導入口403cには、圧縮空気形成手段404が接続されている。
まず、図8(a)に示すように、圧電アクチュエータ1の圧電素子柱11のピッチP1とFPC3の配線電極31のピッチP2とを同じ(P1=P2)にして、例えば図8(b)に示すように最も左側の圧電素子柱11を基準として接合用レーザーを矢示方向にスキャンして接合を行った場合、FPC3の熱膨張によって右側に行くほど圧電素子柱11と配線電極31との位置ずれが大きくなって接合不良箇所60が発生する。
ここでは、FPC3の第2の配線電極31Bを、圧電素子部材2の両端部の圧電素子柱11に対応して配置している。これにより、各圧電素子柱11の個別電極25とそれに対応するFPC3の各配線電極31の全体的な接合位置合わせのタクト時間の短縮を図れる。また、剥離が始まる両端部の強度を高めることにより、接合信頼性を更に向上する。
ここでは、FPC3の第2の配線電極31Bを、圧電素子部材2の中央部の圧電素子柱11に対応して配置している。これにより、本接合をヒータ等により同時に全体を加熱する接合工法による場合、中央部が強固に接合されていることにより、FPC3の膨張が左右均等になり、一方の端部の圧電素子柱11への応力集中が抑制され、柱倒れ等の不良が避けられる。
ここでは、FPC3の第2の配線電極31Bを、圧電素子部材2の各圧電素子柱11に交互に対応して配置している。これにより、隣接する配線電極間の距離が近づきすぎてショート等の不良を引き起こすことなく、圧電素子柱11とFPC3の接合強度を大きく向上することができ、接合信頼性を更に高めることができる。
ここでは、圧電素子部材2の各圧電素子柱11は、交互に、駆動信号が印加されて駆動される駆動圧電素子柱11Aと、駆動信号が印加されない非駆動圧電素子柱11Bとしている。
この圧電アクチュエータ1は、1列当たり、複数(ここでは3個)の圧電素子部材2を2列分ベース部材4上に配列したものである。
この圧電アクチュエータ1は、複数(ここでは3個)の圧電素子部材2をベース部材4上に配列し、FPC3との接合は、隣り合う圧電素子部材2、2の隣り合う側の圧電素子柱11の少なくとも一方の外部電極25に第2の接合領域31bを有する第2の配線部材31Bが接合されている構成とし、圧電素子部材2のつなぎ部分の端部に第2の接合領域31bを有する第2の配線部材31Bが配置される構成としている。
この画像形成装置は、装置本体201の内部に画像形成部202等を有し、装置本体201の下方側に多数枚の記録媒体(用紙)203を積載可能な給紙トレイ204を備え、この給紙トレイ204から給紙される用紙203を取り込み、搬送機構205によって用紙203を搬送しながら画像形成部202によって所要の画像を記録した後、装置本体201の側方に装着された排紙トレイ206に用紙203を排紙する。
2…圧電素子部材
3…給電部材
4…ベース部材
11…圧電素子柱
11A…駆動圧電素子柱
11B…非駆動圧電素子柱
12…スリット溝
25…外部電極(個別電極)
26…外部電極(共通電極)
31…配線電極
31A…第1の配線電極
31B…第2の配線電極
31a…第1の接合領域
31b…第2の接合領域
101…流路基板
102…振動板部材
103…ノズル板
104…ノズル
106…加圧液室
110…圧電アクチュエータ
211k、211c、211m、211y…記録ヘッド(液体吐出ヘッド)
Claims (5)
- 圧電層と内部電極が交互に積層され、前記内部電極は交互に異なる端面に引き出されてそれぞれが外部電極に接続されている、配列方向に略同じ幅に形成された複数の圧電素子柱が列状に並べて配置され、
前記圧電素子柱の各々の外部電極には配線部材の接合領域が接合され、
前記配線部材の接合領域には、第1の接合領域と、圧電素子柱配列方向における幅が前記第1の接合領域より広い第2の接合領域とが設けられ、かつ、前記第2の接合領域に隣接して第1の接合領域が配置され、前記第2の接合領域同士が連続して配置されず、
前記第1の接合領域と前記第2の接合領域が交互に配置されている
ことを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 圧電層と内部電極が交互に積層され、前記内部電極は交互に異なる端面に引き出されてそれぞれが外部電極に接続されている、配列方向に略同じ幅に形成された複数の圧電素子柱が列状に並べて配置され、
前記圧電素子柱の各々の外部電極には配線部材の接合領域が接合され、
前記配線部材の接合領域には、第1の接合領域と、圧電素子柱配列方向における幅が前記第1の接合領域より広い第2の接合領域とが設けられ、かつ、前記第2の接合領域に隣接して第1の接合領域が配置され、前記第2の接合領域同士が連続して配置されず、
前記複数の圧電素子柱は、交互に駆動される駆動圧電素子柱と駆動されない非駆動圧電素子柱となり、前記第1の接合領域は前記駆動圧電素子柱の外部電極に、前記第2の接合領域は前記非駆動圧電素子柱の外部電極に、それぞれ接合されている
ことを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記複数の圧電素子柱が形成された圧電素子部材が複数個並べて配列され、隣り合う圧電素子部材の隣り合う側の圧電素子柱の一方の外部電極に前記第2の接合領域が接合されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の圧電アクチュエータ。
- 液滴を吐出するノズルが連通する液室の壁面を形成する振動板を圧電アクチュエータで変位させることで前記ノズルから液滴が吐出される液体吐出ヘッドにおいて、前記圧電アクチュエータが請求項1ないし3のいずれかに記載の圧電アクチュエータであることを特徴とする液体吐出ヘッド。
- 液滴を吐出する液体吐出ヘッドを備えて画像を形成する画像形成装置において、前記液体吐出ヘッドが請求項4に記載の液体吐出ヘッドであることを特徴とする画像形成装置。
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