JPH09295403A - インクジェットヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 安定した高速記録ができない。 【解決手段】 第１〜第５感光性樹脂層５１〜５５を積
層して、加圧液室１８、共通液室１９及びインク供給路
２０を形成し、インク供給路２０は、インクの流れが共
通液室１９と加圧液室１８の位置に対して実質的に直交
する向きになる流路２０ａ，２０ｂと、インクの流れが
共通液室１９と加圧液室１８の位置に対して実質的に平
行する向きになる流路２０ｃとからなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はインクジェットヘッ
ドに関し、特にインクジェットヘッドの液室構造に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット記録装置は、記録時の振
動、騒音が殆どなく、カラー化が容易なことから、コン
ピュータ等のデジタル処理装置のデータを出力するプリ
ンタの他、ファクシミリやコピー等にも用いられるよう
になっている。このようなインクジェット記録装置は、
インク滴を吐出するためのノズルと、ノズルに対応して
設けた電気機械変換素子や電気熱変換体などのアクチュ
エータ素子と、このアクチュエータ素子でインクが加圧
されるインク流路（以下、「加圧液室」と称する。）を
備えたインクジェットヘッドを記録ヘッドに用いて、記
録信号に応じてノズルからインク滴を記録媒体（インク
滴が付着するもの）に吐出することによって、高速、高
解像度、高品質の記録を行なうものである。

【０００３】ところで、インクジェット記録装置に対す
る高速記録、高画質化の要求に伴ってインクジェットヘ
ッドのノズル数の増加、ノズルの集積度の高密度化やノ
ズル径の微細化が必要になっていると共に、インク滴の
吐出特性とインク供給能力のバランスが重要になってい
る。

【０００４】従来のインクジェットヘッドとしては、特
開平６−２１８９１９号公報に記載されているように、
ノズル、圧力室（加圧液室）と供給口を形成する流路及
びリザーバ室（共通液室）を構成する溝を形成した第１
の基板に、第２の基板を積層し、第２の基板に設けた突
起を第１の基板に設けた流路に挿入して前記供給口を形
成するようにしたものがある。

【０００５】また、特開平６−２９７７１１号公報に記
載されているように、１層の感光性樹脂部材を用いて、
この感光性樹脂部材の圧力室とリザーバ室とを連通する
位置にインク流動方向が感光性樹脂部材の厚み方向に一
致する供給路を設けたものもある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たようなインク液室構造を有するインクジェットヘッド
にあっては、インク吐出特性とインク供給能力のバラン
スを考慮していないため、インク滴吐出後に共通液室か
ら加圧液室にインクを充填するインクリフィルの制御が
困難であり、安定して高速記録を行なうことができな
い。

【０００７】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、安定した高速記録を可能にすることを目的とす
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項１のインクジェットヘッドは、複数のノズル
と、各ノズルが連通する複数の加圧液室と、各加圧液室
にインクを供給する共通液室と、前記加圧液室と共通液
室とを連通するインク供給路とからなるインク液室を有
するインクジェットヘッドにおいて、前記インク液室は
複数のインク液室形成部材で形成し、前記インク供給路
はインクの流れが前記共通液室と各加圧液室の位置に対
して実質的に直交する向きになる流路及び実質的に平行
する向きになる流路を有する構成とした。

【０００９】請求項２のインクジェットヘッドは、上記
請求項１のインクジェットヘッドにおいて、前記インク
液室は複数のインク液室形成部材を積層してなり、各イ
ンク液室形成部材はそれぞれ閉じた液室形成パターンを
有し、積層されたときに前記共通液室からノズルからま
でを連通する前記インク液室を形成する構成とした。

【００１０】請求項３のインクジェットヘッドは、上記
請求項２のインクジェットヘッドにおいて、前記インク
供給路のインクの流れが前記共通液室と加圧液室の位置
に対して実質的に直交する向きになる流路に流体抵抗部
を設けた構成とした。

【００１１】請求項４のインクジェットヘッドは、上記
請求項３のインクジェットヘッドにおいて、前記流体抵
抗部を形成するインク液室形成部材には、前記流体抵抗
部に連続して流体抵抗部より断面積の大きな流路を形成
した構成とした。

【００１２】請求項５のインクジェットヘッドは、上記
請求項４のインクジェットヘッドにおいて、前記インク
液室形成部材に形成した前記流体抵抗部より断面積の大
きな流路を前記加圧液室に連通した構成とした。

【００１３】請求項６のインクジェットヘッドは、上記
請求項１乃至５のいずれかのインクジェットヘッドにお
いて、前記インク供給路は各加圧液室に対して複数設け
た構成とした。

【００１４】請求項７のインクジェットヘッドは、上記
請求項１乃至６のいずれかのインクジェットヘッドにお
いて、前記インク液室形成部材が感光性樹脂層からな
り、この感光性樹脂層の積層構造で前記インク液室を形
成した構成とした。

【００１５】請求項８のインクジェットヘッドは、上記
請求項１乃至７のいずれかのインクジェットヘッドにお
いて、前記インク供給路は、インクの流れが前記共通液
室と各加圧液室の位置に対して実質的に直交する向きに
なる流路及び実質的に平行する向きになる流路の少なく
とも一方を複数有する構成とした。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。図１は本発明を適用するイン
クジェットヘッドの一例を示す外観斜視図、図２は同イ
ンクジェットヘッドの分解斜視図、図３は図１のＡ−Ａ
線に沿う要部拡大断面図、図４は図１のＢ−Ｂ線に沿う
要部拡大断面図である。

【００１７】このインクジェットヘッドは、アクチュエ
ータユニット１と、このアクチュエータユニット１上に
接合した液室ユニット２とからなる。アクチュエータユ
ニット１は、絶縁性の基板３上に２つの積層型圧電素子
４，４と、これら２列の圧電素子４，４の周囲を取り囲
む絶縁性材料からなるフレーム５を接着剤６によって接
合している。圧電素子４は、インクを液滴化して飛翔さ
せるための駆動パルスが与えられる複数のアクチュエー
タ素子となる駆動部７，７…と、これらの駆動部７，７
間に位置して、駆動パルスが与えられない支柱部となる
複数の非駆動部８，８…とを交互に配置してなる。

【００１８】液室ユニット２は、ダイアフラム部１１を
有する振動板１２上に感光性樹脂フィルム（ドライフィ
ルムレジスト）で形成した流路形成部となる第１感光性
樹脂層１３、第２感光性樹脂層１４、第３感光性樹脂層
１５及びノズル孔１６を有するノズル形成部材であるノ
ズルプレート１７を順次積層して各駆動部７，７…に対
応するインク流路である複数の加圧液室１８，１８…、
各加圧液室１８，１８…にインクを供給する複数の共通
液室（共通インク流路）１９，１９、共通液室１９と加
圧液室１８を連通するインク供給路をなすインク流路で
ある流体抵抗部を兼ねたインク供給路２０，２０をそれ
ぞれ形成している。この液室ユニット２はアクチュエー
タユニット１に接合剤２１で強固に接合している。

【００１９】ここで、アクチュエータユニット１の基板
３は、厚さ０．５〜５mm程度で、しかも圧電素子に似た
材質のものからなり、圧電素子と共に例えばダイヤモン
ド砥石による切削が可能なものであることが好ましく、
この実施例ではセラミックス基板を用いている。また、
基板３の圧電素子４，４間には駆動部７の配列方向に沿
って溝２５を形成している。

【００２０】圧電素子４は、図３及び図４に示すように
積層型圧電素子からなり、厚さ２０〜５０μｍ／１層の
ＰＺＴ（＝Ｐb（Ｚr・Ｔi）Ｏ₃）２７と、厚さ数μｍ／
１層の銀・パラジューム（ＡgＰd）からなる内部電極２
８とを交互に積層したものである。圧電素子を、厚さ２
０〜５０μｍ／１層の積層型とすることによって駆動電
圧の低電圧化を図れ、例えば２０〜５０Ｖのパルス電圧
で圧電素子の電界強度１０００Ｖ／mmを得ることができ
る。なお、圧電素子として用いる材料は上記に限られる
ものでなく、一般に圧電素子材料として用いられるＢa
ＴiＯ₃、ＰbＴiＯ₃、（ＮaＫ）ＮbＯ₃等の強誘電体など
を用いることもできる。

【００２１】この圧電素子４の各内部電極２８は１層お
きにＡgＰdからなる左右の外部電極３０，３１に接続し
ている。一方、基板３上には、積層型圧電素子４，４間
に位置して駆動部７に対して駆動波形を印加するための
共通電極パターン３２を形成すると共に、駆動部７に対
して選択信号を与えるための個別電極パターン３３を設
けている。

【００２２】そして、各駆動部７の外部電極３０を銀ペ
ースト等の導電性接着剤３４を介して共通電極パターン
３２に接続し、外部電極３１を同じく導電性接着剤３４
を介して個別電極パターン３３に接続している。なお、
共通電極パターン３２は基板３の中央部に形成した前記
溝部２５表面に形成することで各駆動部７と導通を取る
ようにしている。そして、共通電極パターン３２及び個
別電極パターン３３にはそれぞれＦＰＣケーブル３５を
接続する。

【００２３】一方、液室ユニット２の振動板１２は、圧
電素子４の駆動部７に対応する独立した島状凸部１２ａ
と、この島状凸部１２ａの周囲に位置して圧電素子４の
駆動部７の変位で変形する前記ダイヤフラム部１１と、
このダイヤフラム部１１の周囲に位置する厚肉剛体部１
２ｂが形成されている。ダイアフラム部１１は、最も厚
みの薄い領域（薄肉部）であって、厚さを３〜１０μｍ
程度にしている。また、島状凸部１２ａは、厚みの厚い
領域であり、駆動部７との接合領域であると共に、チャ
ンネル方向（図４に示す方向）では厚肉剛体部となる。
厚肉剛体部１２ｂは液室ユニット２をフレーム５に接合
するための領域である。ここでは、島状凸部１２ａと厚
肉剛体部１２ｂとは同じ第２層で形成し、例えば２０μ
ｍ以上の厚みにしている。

【００２４】また、ノズルプレート１７にはインク滴を
飛翔させるための微細孔である多数のノズル１６を形成
しており、このノズル１６の径はインク滴出口側の直径
で３５μｍ以下に形成している。このノズルプレート１
７はエレクトロンフォーミング工法（電鋳）によって製
造したＮi（ニッケル）の金属プレートを用いている
が、Ｓi、その他の金属材料を用いることもできる。な
お、実際には、１列３２〜６４個以上のノズル１６を２
列配列した６４〜１２８個以上の構成で１つのインクジ
ェットヘッドを製作するが、この多数のノズル１６を有
するノズルプレート１７の品質は、インクの滴形状、飛
翔特性を決定し、画像品質に大きな影響を与えるもので
あり、より高品位の画像品質を得る上で表面の均一化処
理が不可欠であるので、インク吐出側面に撥水層１７ａ
を成膜している。

【００２５】さらに、基板３、フレーム５及び振動板１
２には、外部から供給されるインクを共通液室２０に供
給するためのインク供給孔３７，３８，３９をそれぞれ
形成し、基板３のインク供給孔３７に接続したインク供
給パイプ４０を介してインクが供給される。

【００２６】このようなインクジェットにおいては、共
通電極パターン３２を介して駆動部７に駆動波形を印加
し、個別電極パターン３３を介して記録画像に応じた選
択信号を駆動部７に印加することによって、選択された
駆動部７に積層方向の変位が生起して対応する加圧液室
１８が振動板１２のダイヤフラム１１を介して加圧さ
れ、この加圧液室１８の圧力上昇によってインクが加圧
されてノズル１６からインク滴となって吐出される。

【００２７】そして、インク滴の吐出に伴って加圧液室
１８内のインク圧力が低下し、このときのインク流れの
慣性によって加圧液室１８内には若干の負圧が発生す
る。この状態の下において、駆動部７への駆動波形の印
加をオフ状態にすることによって、振動板１２のダイア
フラム部１１が元の位置に戻って加圧液室１８が元の形
状になるため、さらに負圧が発生し、図示しないインク
タンクに通じるインク供給パイプ４０から入ったインク
は、共通液室１９を通ってインク供給路２０から加圧液
室１８内に充填される。

【００２８】一方、インク滴吐出後のインクメニスカス
はノズル１６の内側に引き込まれた後、表面張力によっ
てノズル１６の吐出面側に戻され（リフィル）、ノズル
１６の吐出面（ノズルエッジ部）より若干内側の位置で
安定する。

【００２９】ここで、インク滴吐出とリフィルのバラン
スが非常に重要になる。特にアクチュエータ素子（ここ
では、圧電素子）の駆動周波数が高くなると、その重要
性が顕著になる。つまり、駆動周波数を高くするに従っ
て、圧電素子の変位による加圧液室の圧力上昇からイン
ク滴吐出、そしてリフィルによってメニスカスを安定状
態に戻すという一連の動作をより短時間で完結させて次
のインク滴吐出に備える状態にしなければならない。駆
動周期内でメニスカスを安定状態に戻すことができなけ
れば、インク滴の吐出速度（Ｖｊ）やインク吐出量（Ｍ
ｊ）が変動するだけでなく、最悪の場合にはノズルから
の気泡の引き込みよってインク滴吐出ができなくなるこ
ともある。

【００３０】このインク滴吐出とリフィルのバランスに
ついて、図５を参照して説明する。同図（ａ）はメニス
カス４１が安定している状態を示しており、この状態か
ら同図（ｂ）に示すようにインク滴４２の吐出を行なう
ことによって、インク滴吐出直後のメニスカス４１はノ
ズル１６内に引き込まれ状態になる。その後のリフィル
によって、メニスカス４１が復帰する。

【００３１】このとき、リフィルが遅すぎる（少なすぎ
る）と、同図（ｃ）に示すようにメニスカス４２はノズ
ル１６の内側にかなり引き込まれた状態にあり、この状
態で次の駆動波形によるインク滴吐出が行われると、イ
ンク吐出量Ｍｊが小さくなり、また気泡を引き込みやす
くなって非常に不安定である。また、リフィルが速すぎ
る（多すぎる）と、同図（ｄ）に示すようにメニスカス
４２はノズル１６のエッジ部４３に対して盛り上がった
状態にあり、この状態で次の駆動波形によるインク滴吐
出が行われると、インク吐出量Ｍｊが大きく、インク滴
速度Ｖｊも速くなってしまう。

【００３２】このように、リフィルを制御することが非
常に重要になるが、このリフィルを制御する因子の最も
大きいものとしては、共通液室と加圧液室とを連通する
インク供給路であり、このインク供給路に抵抗（流体抵
抗）を持たせることによってリフィルインク量を制御す
ることができる。例えば、大きなインク滴を吐出する場
合には、流体抵抗値を小さくすることでリフィルインク
は流れやすくなり、短い周期でメニスカスを安定状態に
することができて、小さなインク滴を吐出する場合に
は、流体抵抗値を大きくすることで過剰なリフィルイン
クによる悪影響を低減することができる。

【００３３】そこで、本発明に係るインク液室構造を適
用した具体的な実施の形態について説明する。図６は本
発明の第１実施例を示す要部拡大断面図、図７は図６の
各感光性樹脂層を分解した状態のパターニング形状を示
す平面図である。この第１実施例のインク液室構造は、
振動板１２とノズルプレート１７との間に振動板１２側
から見て第１〜第５感光性樹脂層５１〜５５を積層し
て、加圧液室１８（領域Ｒｃの部分）、共通液室１９
（領域Ｒａの部分）、加圧液室１８と共通液室１９とを
連通するインク供給路２０（領域Ｒｂの部分）及びノズ
ル１６へのインク導入口１６ａを形成している。

【００３４】すなわち、振動板１２上に図７（ａ）に示
すように加圧液室１８及び共通液室１９を形成するため
の第１感光性樹脂層５１を形成し、この第１感光性樹脂
層５１上に同図（ｂ）に示すように加圧液室１８、共通
液室１９及びインク供給路２０の一部を形成するための
第２感光性樹脂層５２を積層し、この第２感光性樹脂層
５２上に同図（ｃ）に示すように加圧液室１８、共通液
室１９及びインク供給路２０の一部を形成するための第
３感光性樹脂層５３を積層している。

【００３５】さらに、この第３感光性樹脂層５３上に同
図（ｄ）に示すように加圧液室１８、共通液室１９及び
インク導入口１６ａを形成するための第４，第５感光性
樹脂層５４，５５を順次積層し、この第５感光性樹脂層
５５上にノズルプレート１７を積層している。

【００３６】ここで、これらの各第１〜第５感光性樹脂
層５１〜５５のパターニング形状（液室形成パターン）
は、すべて単独層では共通液室１９と加圧液室１８とを
連通する形状をなしておらず、積層構造をとることによ
ってはじめてインク供給路２０が形成されて共通液室１
９から加圧液室１８へのインクの供給（連通）が可能に
なる。したがって、各層では複雑なパターニングを形成
しなくてもよくなり、接合時の形状つぶれを防止するこ
とができる。

【００３７】また、インク供給路２０は、インクの流れ
が共通液室１９と加圧液室１８の位置に対して実質的に
直交する向き、つまり、共通液室１９と加圧液室１８を
つなぐ方向にインクの流れがあるような向きになる流路
２０ａ，２０ｂと、インクの流れが共通液室１９と加圧
液室１８の位置に対して実質的に平行する向きになる流
路２０ｃとからなる。

【００３８】これによって、インク滴吐出に利用する圧
力波を第１感光性樹脂層５１で形成している壁部５１ａ
で反射させてインク吐出効率を向上することができる。
それと共に、圧力波がインク供給路２０を通って共通液
室１９に伝わり、周りのチャンネルに影響を及ぼすこと
も防止できる。

【００３９】実験によれば、インク滴吐出特性として、
この第１実施例のインク液室構造をとることで、インク
滴速度Ｖｊが図３に示したインク液室構造と比較した場
合、６．０ｍ／ｓであったものが７．０ｍ／ｓに向上し
た。また、単独チャンネルのインク滴吐出時のインク的
速度Ｖｊを１００％としたとき両側３０チャンネルを駆
動するとインク滴速度Ｖｊが共通液室を介した圧力波の
影響（相互干渉）によって、図３に示すインク液室構造
では単独チャンネル駆動時の約７０％に低下したのに比
べて、上記第１実施例のインク液室構造では約９０％の
低下に止まることを確認した。

【００４０】さらに、インク供給路を各加圧液室に対し
て双方向に設けることによって、インク供給をよりスム
ーズに行うことができる。

【００４１】次に、図８は本発明の第２実施例における
各感光性樹脂層を分解した状態のパターニング形状を示
す平面図である。この第２実施例においては、振動板１
２上に同図（ａ）に示すように加圧液室１８及び共通液
室１９を形成するための第１感光性樹脂層６１を設け、
この第１感光性樹脂層６１上に同図（ｂ）に示すように
加圧液室１８、共通液室１９及びインク供給路２０を形
成するための第２感光性樹脂層６２を積層する。この第
１，第２感光性樹脂層６１，６２を積層した状態が同図
（ｃ）に示す状態である。

【００４２】そして、インク供給路２０の内のインクの
流れが共通液室と加圧液室の位置に対して実質的に直交
する向きになる流路２０ａを流体抵抗部とし、この流体
抵抗部（流路２０ａ）に連続して流路２０ａよりも断面
積の大きな流路２０ｃを設け、この流路２０ｃを加圧液
室１８に臨ませている。

【００４３】このように構成したので、第１感光性樹脂
層６１と第２感光性樹脂層６２とを接合する際に接合位
置ずれが生じても流路２０ｃの領域Ｒｊの範囲内であれ
ば、流路２０ａの流体抵抗値の変動を来さないので、接
合位置ずれのマージンを大きくすることができて、イン
ク液室形成の歩留りが向上する。それと共に、流体抵抗
値のばらつきによるインク滴吐出特性のばらつきも低減
する。

【００４４】なお、加圧液室１８に連通するインク供給
路２０の流路２０ｃは図９に示すように流体抵抗部とな
る流路２０ａ対して折曲した形状に形成しても、同様の
作用効果が得られる。

【００４５】次に、図１０は本発明の第３実施例を示す
要部拡大断面図である。この第３実施例においては、イ
ンク供給路２０は、インクの流れが共通液室１９と加圧
液室１８の位置に対して実質的に直交する向きになる流
路２０ａ，２０ｂ，２０ｅと、インクの流れが共通液室
１９と加圧液室１８の位置に対して実質的に平行する向
きになる流路２０ｃ，２０ｄとを交互に複数回繰り返し
た形状に形成している。

【００４６】このように構成したので、断面積の非常に
小さな流体抵抗部を形成できないような場合であって
も、インク供給路の長さ或いは形状の効果によって、流
体抵抗部を別に設けたのと同様な作用効果が得られる。

【００４７】なお、上記実施例においては、積層型圧電
素子のｄ３３方向の変位を用いて加圧液室を加圧するイ
ンクジェットヘッドについて説明したが、圧電素子のｄ
３１方向の変位を用いて加圧液室を加圧するインクジェ
ットヘッド、その他のバイモルフ型圧電素子を用いるイ
ンクジェットヘッド、発熱抵抗体を用いる所謂バブルジ
ェット型のインクジェットヘッドなどにも同様に適用す
ることができる。

【００４８】また、上記実施例においては、インク液室
形成部材として感光性樹脂を用いた例で説明したが、こ
れに限られるものではなく、金属、その他の樹脂等を用
いることもできる。

【００４９】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１のインク
ジェットヘッドによれば、インク液室は複数のインク液
室形成部材で形成し、インク供給路はインクの流れが共
通液室と各加圧液室の位置に対して実質的に直交する向
きになる流路及び実質的に平行する向きになる流路を有
する構成としたので、インクリフィルの制御性を向上す
ることができると共に、インク供給路を介して共通液室
に圧力波が逃げるのを防止することができて、インク滴
吐出応答性が向上し、安定した高速記録を行うことがで
きる。

【００５０】請求項２のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１のインクジェットヘッドにおいて、イ
ンク液室は複数のインク液室形成部材を積層してなり、
各インク液室形成部材はそれぞれ閉じた液室形成パター
ンを有し、積層されたときに共通液室からノズルからま
でを連通するインク液室を形成する構成としたので、形
成容易な簡単な液室形成パターンを積層することによっ
て複雑な形状のインク液室を簡単に構成することができ
ると共に、接合時の形状潰れを防止することができ、形
状のばらつきがなく、非常に安定したインク吐出特性を
得ることができる。

【００５１】請求項３のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項２のインクジェットヘッドにおいて、イ
ンク供給路のインクの流れが共通液室と加圧液室の位置
に対して実質的に直交する向きになる流路に流体抵抗部
を設けた構成としたので、インク滴吐出特性とインクリ
フィルのバランスを保つことができ、より高い駆動周波
数での駆動が可能となり、記録速度を更に向上すること
ができる。

【００５２】請求項４のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項３のインクジェットヘッドにおいて、流
体抵抗部を形成するインク液室形成部材には、流体抵抗
部に連続して流体抵抗部より断面積の大きな流路を形成
した構成としたので、組立て時の位置ずれによるインク
吐出特性のばらつきを低減することができ、組立工程の
歩留りも向上する。

【００５３】請求項５のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項４のインクジェットヘッドにおいて、イ
ンク液室形成部材に形成した流体抵抗部より断面積の大
きな流路を加圧液室に連通した構成としたので、組立て
時の位置ずれによるインク吐出特性のばらつきを低減す
ることができ、組立工程の歩留りも向上する。

【００５４】請求項６のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１乃至５のいずれかのインクジェットヘ
ッドにおいて、インク供給路は各加圧液室に対して複数
設けた構成としたので、より効率的にインクを供給する
ことができ、安定したインク吐出特性を保って高速記録
を行うことができる。

【００５５】請求項７のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１乃至６のいずれかのインクジェットヘ
ッドにおいて、インク液室形成部材が感光性樹脂層から
なり、この感光性樹脂層の積層構造でインク液室を形成
した構成としたので、組立て加工性やコストの低減を図
ることができる。

【００５６】請求項８のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１乃至７のいずれかのインクジェットヘ
ッドにおいて、インク供給路は、インクの流れが共通液
室と各加圧液室の位置に対して実質的に直交する向きに
なる流路及び実質的に平行する向きになる流路の少なく
とも一方を複数有する構成としたので、微細な流体抵抗
部の形成が困難な場合でも実質的に微細な流体抵抗部を
設けたのと同等の効果が得られて、インク滴吐出特性と
インクリフィルのバランスを保つことができ、組立て性
が向上し、材料の選択の幅が広がる。

【図面の簡単な説明】

【図１】発明を適用するインクジェットヘッドの一例を
示す外観斜視図

【図２】同インクジェットヘッドの分解斜視図

【図３】図１のＡ−Ａ線に沿う要部拡大断面図

【図４】図１のＢ−Ｂ線に沿う要部拡大断面図

【図５】メニスカスとインクリフィルの関係の説明に供
する説明図

【図６】本発明の第１実施例を示す要部拡大断面図

【図７】図６の各感光性樹脂層を分解した状態のパター
ニング形状を示す平面図

【図８】本発明の第２実施例の各感光性樹脂層を分解し
た状態のパターニング形状を示す平面図

【図９】図８の変形例を説明する平面図

【図１０】本発明の第３実施例を示す要部拡大断面図

【符号の説明】

１…アクチュエータユニット、２…液室ユニット、３…
フレーム、４…積層型圧電素子、７…駆動部、８…非駆
動部、１１…ダイヤフラム部、１２…振動板、１２ａ…
島状凸部、１２ｂ…厚肉部、１３，１４，１５…感光性
樹脂層、１６…ノズル、１７…ノズルプレート、１８…
加圧液室、１９…共通液室、２０…インク供給路、５１
…第１感光性樹脂層、５２…感光性樹脂層、５３…第３
感光性樹脂層、５４…第４感光性樹脂層、５５…第５感
光性樹脂層。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 牧田 秀行 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 太田 善久 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数のノズルと、各ノズルが連通する複
   数の加圧液室と、各加圧液室にインクを供給する共通液
   室と、前記加圧液室と共通液室とを連通するインク供給
   路とからなるインク液室を有するインクジェットヘッド
   において、前記インク液室は複数のインク液室形成部材
   で形成し、前記インク供給路はインクの流れが前記共通
   液室と各加圧液室の位置に対して実質的に直交する向き
   になる流路及び実質的に平行する向きになる流路を有す
   ることを特徴とするインクジェットヘッド。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のインクジェットヘッド
   において、前記インク液室は複数のインク液室形成部材
   を積層してなり、各インク液室形成部材はそれぞれ閉じ
   た液室形成パターンを有し、積層されたときに前記共通
   液室からノズルからまでを連通する前記インク液室を形
   成することを特徴とするインクジェットヘッド。
3. 【請求項３】 請求項２に記載のインクジェットヘッド
   において、前記インク供給路のインクの流れが前記共通
   液室と加圧液室の位置に対して実質的に直交する向きに
   なる流路に流体抵抗部を設けたことを特徴とするインク
   ジェットヘッド。
4. 【請求項４】 請求項３に記載のインクジェットヘッド
   において、前記流体抵抗部を形成するインク液室形成部
   材には、前記流体抵抗部に連続して流体抵抗部より断面
   積の大きな流路を形成したことを特徴とするインクジェ
   ットヘッド。
5. 【請求項５】 請求項４に記載のインクジェットヘッド
   において、前記インク液室形成部材に形成した前記流体
   抵抗部より断面積の大きな流路を前記加圧液室に連通し
   たことを特徴とするインクジェットヘッド。
6. 【請求項６】 請求項１乃至５のいずれかに記載のイン
   クジェットヘッドにおいて、前記インク供給路は各加圧
   液室に対して複数設けたことを特徴とするインクジェッ
   トヘッド。
7. 【請求項７】 請求項１乃至６のいずれかに記載のイン
   クジェットヘッドにおいて、前記インク液室形成部材が
   感光性樹脂層からなり、この感光性樹脂層の積層構造で
   前記インク液室を形成したことを特徴とするインクジェ
   ットヘッド。
8. 【請求項８】 請求項１乃至７のいずれかに記載のイン
   クジェットヘッドにおいて、前記インク供給路は、イン
   クの流れが前記共通液室と各加圧液室の位置に対して実
   質的に直交する向きになる流路及び実質的に平行する向
   きになる流路の少なくとも一方を複数有することを特徴
   とするインクジェットヘッド。