JPH07323545A - インクジェットヘッド及びその製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッド及びその製造方法Info
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- JPH07323545A JPH07323545A JP11993594A JP11993594A JPH07323545A JP H07323545 A JPH07323545 A JP H07323545A JP 11993594 A JP11993594 A JP 11993594A JP 11993594 A JP11993594 A JP 11993594A JP H07323545 A JPH07323545 A JP H07323545A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 透光性材のノズル板及び振動板を耐光性紫外
線硬化型接着剤で接着、或いは少なくともノズル面に遮
光被膜を設けてノズル板及び振動板を紫外線硬化型接着
剤で接着したインクジェットヘッド及びその製造方法に
関し、コストが低減し、長寿命化するインクジェットヘ
ッド及びその製造方法を提供する。 【構成】 ノズル孔９を有し透光性材で成る第１の基板
12と、ノズル孔９に対応する圧電体８と、圧電体８の接
触面及びインク供給口15を有し透光性材で成る第２の基
板14と、第1,2 の基板12,14 の間に位置し、少なくとも
ノズル孔９、インク供給口15及び圧電体８に対応する空
間部を有し透光性材で成る間隔板16と、第１の基板12、
間隔板16及び第２の基板14を耐光性紫外線硬化型接着剤
17で接着して空間部が形成した圧力室13とを備え、圧電
体８に電圧を印加して電歪の変位で圧力室13内のインク
６をノズル孔９から噴射する構成とする。
線硬化型接着剤で接着、或いは少なくともノズル面に遮
光被膜を設けてノズル板及び振動板を紫外線硬化型接着
剤で接着したインクジェットヘッド及びその製造方法に
関し、コストが低減し、長寿命化するインクジェットヘ
ッド及びその製造方法を提供する。 【構成】 ノズル孔９を有し透光性材で成る第１の基板
12と、ノズル孔９に対応する圧電体８と、圧電体８の接
触面及びインク供給口15を有し透光性材で成る第２の基
板14と、第1,2 の基板12,14 の間に位置し、少なくとも
ノズル孔９、インク供給口15及び圧電体８に対応する空
間部を有し透光性材で成る間隔板16と、第１の基板12、
間隔板16及び第２の基板14を耐光性紫外線硬化型接着剤
17で接着して空間部が形成した圧力室13とを備え、圧電
体８に電圧を印加して電歪の変位で圧力室13内のインク
６をノズル孔９から噴射する構成とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットプリン
タのインクジェットヘッド及びその製造方法に係り、特
に透光性材料で形成されたノズル板及び振動板を硬化後
に紫外線を吸収しない紫外線硬化型接着剤で接着、或い
は少なくともノズル面に遮光被膜を形成してノズル板及
び振動板を紫外線硬化型接着剤で接着したインクジェッ
トプリンタのインクジェットヘッド及びその製造方法に
関するものである。
タのインクジェットヘッド及びその製造方法に係り、特
に透光性材料で形成されたノズル板及び振動板を硬化後
に紫外線を吸収しない紫外線硬化型接着剤で接着、或い
は少なくともノズル面に遮光被膜を形成してノズル板及
び振動板を紫外線硬化型接着剤で接着したインクジェッ
トプリンタのインクジェットヘッド及びその製造方法に
関するものである。
【０００２】近来、印字媒体にインクの微小粒子を直接
吹きつけて記録するインクジェットプリンタが、印字媒
体に対する制限がなく、且つ高速印字ができて、低騒音
であり、カラー化が容易であることから急速に普及しつ
つある。
吹きつけて記録するインクジェットプリンタが、印字媒
体に対する制限がなく、且つ高速印字ができて、低騒音
であり、カラー化が容易であることから急速に普及しつ
つある。
【０００３】このインクジェットプリンタのインクジェ
ットヘッドは、インクを満たした圧力室に振動板を介し
て圧電素子の電気歪みによる変位によって圧力を与えて
ノズルからインクを噴射してドット印字を形成するもの
である。
ットヘッドは、インクを満たした圧力室に振動板を介し
て圧電素子の電気歪みによる変位によって圧力を与えて
ノズルからインクを噴射してドット印字を形成するもの
である。
【０００４】インクジェットヘッドは、例えば、振動板
及び圧力室を形成する窪みを有する基板とノズルを有す
るノズル板を接合した構成で、従来、接合方法として、
静電結合や拡散接合、或いは接着剤による接着が行われ
ているが、静電結合で接合表面に要求される平滑度が厳
しいのでコストが掛り、拡散接合では高温に晒されるた
めに変形し易く、例えば、ノズルの変形でインクの飛翔
方向が条件を満足しなくなる可能性がある。
及び圧力室を形成する窪みを有する基板とノズルを有す
るノズル板を接合した構成で、従来、接合方法として、
静電結合や拡散接合、或いは接着剤による接着が行われ
ているが、静電結合で接合表面に要求される平滑度が厳
しいのでコストが掛り、拡散接合では高温に晒されるた
めに変形し易く、例えば、ノズルの変形でインクの飛翔
方向が条件を満足しなくなる可能性がある。
【０００５】また、接着する方法では、紫外線硬化型接
着剤を用いて接着しており、硬化後に接着剤が太陽光線
等に含まれる紫外線によって酸化、分解して、クラック
や剥がれが発生してインク漏れの原因になっている。そ
こでコストが掛からず変形の発生がなく、且つインク漏
れが防止できる方法が望まれている。
着剤を用いて接着しており、硬化後に接着剤が太陽光線
等に含まれる紫外線によって酸化、分解して、クラック
や剥がれが発生してインク漏れの原因になっている。そ
こでコストが掛からず変形の発生がなく、且つインク漏
れが防止できる方法が望まれている。
【０００６】
【従来の技術】図11にインクジェットプリンタの概要を
示す。図に示すように、インクジェットヘッド(以下印
字ヘッドという)１を搭載したキャリア２にガイドシャ
フト３が嵌合し、又キャリア２に送りねじ４が螺合し、
送りねじ４は図示省略したモータに連結されている。キ
ャリア２はプラテン５の前面に配置され、モータの正逆
回転により送りねじ４によってプラテン５に平行に矢印
Ａ，Ｂ方向に移動する。
示す。図に示すように、インクジェットヘッド(以下印
字ヘッドという)１を搭載したキャリア２にガイドシャ
フト３が嵌合し、又キャリア２に送りねじ４が螺合し、
送りねじ４は図示省略したモータに連結されている。キ
ャリア２はプラテン５の前面に配置され、モータの正逆
回転により送りねじ４によってプラテン５に平行に矢印
Ａ，Ｂ方向に移動する。
【０００７】印字ヘッド１は、ヘッド部10及び加圧回路
部11から成り、ヘッド部10は、プラテン５に所定の間隙
を介して対向し、先端に後述する複数のノズル孔91〜9n
(例えば４列×12行で48個) を備えている。加圧回路部
11は、印字データに基づいて選択的に駆動信号をヘッド
部10に送信する回路で、図示していないフレキシブルケ
ーブルにより制御部に接続されている。
部11から成り、ヘッド部10は、プラテン５に所定の間隙
を介して対向し、先端に後述する複数のノズル孔91〜9n
(例えば４列×12行で48個) を備えている。加圧回路部
11は、印字データに基づいて選択的に駆動信号をヘッド
部10に送信する回路で、図示していないフレキシブルケ
ーブルにより制御部に接続されている。
【０００８】従って、キャリア２が移動しながら、印字
ヘッド１はノズル孔91〜9nからインク6aを噴射して印字
用紙７にマトリックスドットによって印字を形成する。
印字用紙７は図示していない移動機構の駆動及びプラテ
ン５の回転によって矢印Ｃ方向に行送りされる。
ヘッド１はノズル孔91〜9nからインク6aを噴射して印字
用紙７にマトリックスドットによって印字を形成する。
印字用紙７は図示していない移動機構の駆動及びプラテ
ン５の回転によって矢印Ｃ方向に行送りされる。
【０００９】次に図12及び図13によりヘッド部10を説明
する。図12及び図13に示すように、ヘッド部10は、圧電
素子81〜8n、ノズル孔91〜9n(例えば、孔径30〜50μｍ)
が設けられたノズル板12ａ、圧力室131〜13n、振動板14
ａ及びインク供給口151〜15nで構成されている。
する。図12及び図13に示すように、ヘッド部10は、圧電
素子81〜8n、ノズル孔91〜9n(例えば、孔径30〜50μｍ)
が設けられたノズル板12ａ、圧力室131〜13n、振動板14
ａ及びインク供給口151〜15nで構成されている。
【００１０】圧電素子81〜8nは、例えば、１×0.9 ｍｍ
程度の矩形板状で、板面が振動板14ａの外側に接触して
いる。またノズル板12ａと振動板14ａの間に間隔板16ａ
が配置されて、間隔板16ａに設けられた空間部により圧
力室131〜13nが形成され、ノズル板12ａ、間隔板16ａ及
び振動板14ａが静電接合(或いは拡散接合)或いは接着剤
等によって接合されている。また、振動板14ａは、ニッ
ケル(Ｎｉ)で電鋳法によって形成したものである。
程度の矩形板状で、板面が振動板14ａの外側に接触して
いる。またノズル板12ａと振動板14ａの間に間隔板16ａ
が配置されて、間隔板16ａに設けられた空間部により圧
力室131〜13nが形成され、ノズル板12ａ、間隔板16ａ及
び振動板14ａが静電接合(或いは拡散接合)或いは接着剤
等によって接合されている。また、振動板14ａは、ニッ
ケル(Ｎｉ)で電鋳法によって形成したものである。
【００１１】従って、圧電素子81〜8nに選択的に電圧を
印加して、その電気歪みの変位量により振動板14ａの対
応する位置を振動させることによって、圧力室131〜13n
に圧力を加えて、インク供給口151〜15nから供給された
インク6aが上記のようにノズル孔91〜9nから噴射する。
印加して、その電気歪みの変位量により振動板14ａの対
応する位置を振動させることによって、圧力室131〜13n
に圧力を加えて、インク供給口151〜15nから供給された
インク6aが上記のようにノズル孔91〜9nから噴射する。
【００１２】なお、振動板14ａと間隔板16ａ、或いはノ
ズル板12ａと間隔板16ａを一体として、例えば電鋳法で
形成したヘッド部もある。また、ステンレス鋼板或いは
感光ガラスをエッチングして形成したノズル板、間隔板
及び振動板を使用したヘッド部もある。
ズル板12ａと間隔板16ａを一体として、例えば電鋳法で
形成したヘッド部もある。また、ステンレス鋼板或いは
感光ガラスをエッチングして形成したノズル板、間隔板
及び振動板を使用したヘッド部もある。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来方法によれ
ば、振動板、間隔板及びノズル板の接合を、静電接合、
拡散接合、或いは接着剤によって結合しているが、安定
した接合状態を得るためには、静電接合では、接合面の
表面平滑度の条件が厳しく、鏡面仕上げによりフラット
な表面状態を確保する必要がありコストが掛かる。また
拡散接合では、Ｎｉ或いはステンレス鋼板で形成された
振動板、間隔板及びノズル板に、例えば、銅メッキを施
してその銅層を鑞として800 ℃程度の高温に晒して拡散
させるために、振動板、間隔板及びノズル板に変形を生
じ、例えば、ノズル孔の形状が変形してインクの飛翔方
向が条件を満足しなくなる可能性が高い。
ば、振動板、間隔板及びノズル板の接合を、静電接合、
拡散接合、或いは接着剤によって結合しているが、安定
した接合状態を得るためには、静電接合では、接合面の
表面平滑度の条件が厳しく、鏡面仕上げによりフラット
な表面状態を確保する必要がありコストが掛かる。また
拡散接合では、Ｎｉ或いはステンレス鋼板で形成された
振動板、間隔板及びノズル板に、例えば、銅メッキを施
してその銅層を鑞として800 ℃程度の高温に晒して拡散
させるために、振動板、間隔板及びノズル板に変形を生
じ、例えば、ノズル孔の形状が変形してインクの飛翔方
向が条件を満足しなくなる可能性が高い。
【００１４】接着剤を使用する方法では、特開平４−１
６３１５４号公報「インクジエツト記録ヘツド及びその
製造方法」、特開平３−２８６８７２号公報「インクジ
エツトヘツド」、特開昭５７−１０７８５０号公報「イ
ンクジエツトヘツドの製造方法」等に、振動板、間隔板
及びノズル板を透光性を有する材料で形成し、紫外線硬
化型接着剤を使用して接着する方法が提案されている
が、硬化後に太陽光線等の紫外線を含む光線によって、
接着剤が酸化や分解して、クラックや剥がれが発生して
インク漏れの原因になる。という問題点がある。
６３１５４号公報「インクジエツト記録ヘツド及びその
製造方法」、特開平３−２８６８７２号公報「インクジ
エツトヘツド」、特開昭５７−１０７８５０号公報「イ
ンクジエツトヘツドの製造方法」等に、振動板、間隔板
及びノズル板を透光性を有する材料で形成し、紫外線硬
化型接着剤を使用して接着する方法が提案されている
が、硬化後に太陽光線等の紫外線を含む光線によって、
接着剤が酸化や分解して、クラックや剥がれが発生して
インク漏れの原因になる。という問題点がある。
【００１５】本発明は、インクジェットヘッドの部品精
度を緩和することができてコストを低減することがで
き、且つ接着部の劣化を防止して長寿命化を図ることが
できるインクジェットヘッド及びその製造方法を提供す
ることを目的としている。
度を緩和することができてコストを低減することがで
き、且つ接着部の劣化を防止して長寿命化を図ることが
できるインクジェットヘッド及びその製造方法を提供す
ることを目的としている。
【００１６】
【課題を解決するための手段】図１〜図４は本発明の原
理図で、図１は請求項１に対応する原理図、図２は請求
項２に対応する原理図、図３は請求項３に対応する原理
図、図４は請求項４に対応する原理図である。
理図で、図１は請求項１に対応する原理図、図２は請求
項２に対応する原理図、図３は請求項３に対応する原理
図、図４は請求項４に対応する原理図である。
【００１７】１）請求項１に対応する手段 図１において、６はインク、15はインク供給口、９はイ
ンク６の粒子を噴射するノズル孔、12は少なくとも１つ
のノズル孔９を有し、透光性を有する材料で形成された
第１の基板、８はノズル孔９に夫々対応する圧電体、14
はインク供給口15及び圧電体８の一側面が接触する面を
有し、透光性を有する材料で形成された第２の基板、17
は硬化後に紫外線を吸収しない耐光性紫外線硬化型接着
剤、16は第１の基板12及び第２の基板14の間に位置し、
少なくともノズル孔９、インク供給口15及び圧電体８に
対応する空間部を有し、透光性を有する材料で所定厚さ
に形成された間隔板、13は第１の基板12、間隔板16及び
第２の基板14を耐光性紫外線硬化型接着剤17で接着して
空間部により形成され、インク供給口15からインク６が
供給される圧力室13である。
ンク６の粒子を噴射するノズル孔、12は少なくとも１つ
のノズル孔９を有し、透光性を有する材料で形成された
第１の基板、８はノズル孔９に夫々対応する圧電体、14
はインク供給口15及び圧電体８の一側面が接触する面を
有し、透光性を有する材料で形成された第２の基板、17
は硬化後に紫外線を吸収しない耐光性紫外線硬化型接着
剤、16は第１の基板12及び第２の基板14の間に位置し、
少なくともノズル孔９、インク供給口15及び圧電体８に
対応する空間部を有し、透光性を有する材料で所定厚さ
に形成された間隔板、13は第１の基板12、間隔板16及び
第２の基板14を耐光性紫外線硬化型接着剤17で接着して
空間部により形成され、インク供給口15からインク６が
供給される圧力室13である。
【００１８】従って、圧電体８に電圧を印加して圧電体
８の電気歪みによる変位により第２の基板14を振動させ
て、圧力室13内に発生した圧力によってノズル孔９から
インク６の粒子を噴射するように構成されている。
８の電気歪みによる変位により第２の基板14を振動させ
て、圧力室13内に発生した圧力によってノズル孔９から
インク６の粒子を噴射するように構成されている。
【００１９】また、ノズル孔９及び圧電体８を高密度で
配列する場合には、接着面積が小さく、接着幅も狭いた
めに、インク６の漏れを防ぐためには、接着剤の粘度が
低いことが必要であり、実験の結果では粘度１０ｃＰ以
下であることが必要である。１０ｃＰを越えた粘度で
は、接着剤が接着部全面に行き渡らない。
配列する場合には、接着面積が小さく、接着幅も狭いた
めに、インク６の漏れを防ぐためには、接着剤の粘度が
低いことが必要であり、実験の結果では粘度１０ｃＰ以
下であることが必要である。１０ｃＰを越えた粘度で
は、接着剤が接着部全面に行き渡らない。
【００２０】従って、接着剤は、硬化後に紫外線を受光
しても吸収しないこと (請求項１）、即ち、酸化、分解
しないこと、粘度１０ｃＰ以下であること（請求項７）
が必要となる。
しても吸収しないこと (請求項１）、即ち、酸化、分解
しないこと、粘度１０ｃＰ以下であること（請求項７）
が必要となる。
【００２１】２）請求項２に対応する手段 図２において、６はインク、15はインク供給口、17A は
紫外線硬化型接着剤、20は遮光被膜、９はインク６の粒
子を噴射するノズル孔、12は透光性を有する材料で形成
され、少なくとも１つのノズル孔９を有し、少なくとも
ノズル孔９の面に遮光被膜20を有する第１の基板、８は
ノズル孔９に夫々対応する圧電体、14はインク供給口15
及び圧電体８の一側面が接触する面を有し、透光性を有
する材料で形成された第２の基板、16は第１の基板12及
び第２の基板14の間に位置し、少なくともノズル孔９、
インク供給口15及び圧電体８に対応する空間部を有し、
透光性を有する材料で所定厚さに形成された間隔板、13
は第１の基板12、間隔板16及び第２の基板14を紫外線硬
化型接着剤17A で接着して空間部により形成され、イン
ク供給口15からインク６が供給される圧力室である。
紫外線硬化型接着剤、20は遮光被膜、９はインク６の粒
子を噴射するノズル孔、12は透光性を有する材料で形成
され、少なくとも１つのノズル孔９を有し、少なくとも
ノズル孔９の面に遮光被膜20を有する第１の基板、８は
ノズル孔９に夫々対応する圧電体、14はインク供給口15
及び圧電体８の一側面が接触する面を有し、透光性を有
する材料で形成された第２の基板、16は第１の基板12及
び第２の基板14の間に位置し、少なくともノズル孔９、
インク供給口15及び圧電体８に対応する空間部を有し、
透光性を有する材料で所定厚さに形成された間隔板、13
は第１の基板12、間隔板16及び第２の基板14を紫外線硬
化型接着剤17A で接着して空間部により形成され、イン
ク供給口15からインク６が供給される圧力室である。
【００２２】従って、圧電体８に電圧を印加して圧電体
８の電気歪みによる変位により第２の基板14を振動させ
て圧力室13内に発生した圧力によってノズル孔９からイ
ンク６の粒子を噴射するように構成されている。
８の電気歪みによる変位により第２の基板14を振動させ
て圧力室13内に発生した圧力によってノズル孔９からイ
ンク６の粒子を噴射するように構成されている。
【００２３】３）請求項３に対応する手段 図３(a) のインクジェットヘッドの構成図及び(b) の製
造工程図において、６はインク、15はインク供給口、９
はインク６の粒子を噴射するノズル孔、12は少なくとも
１つのノズル孔９を有する第１の基板、８はノズル孔９
に夫々対応する圧電体、14はインク供給口15及び圧電体
８の一側面が接触する面を有する第２の基板、16は第１
の基板12及び第２の基板14の間に位置し、少なくともノ
ズル孔９、インク供給口15及び圧電体８に対応する空間
部を有する所定厚さの間隔板、13は第１の基板12、間隔
板16及び第２の基板14を接着して空間部により形成さ
れ、インク供給口15からインク６が供給される圧力室、
17は硬化後に紫外線を吸収しない耐光性紫外線硬化型接
着剤である。
造工程図において、６はインク、15はインク供給口、９
はインク６の粒子を噴射するノズル孔、12は少なくとも
１つのノズル孔９を有する第１の基板、８はノズル孔９
に夫々対応する圧電体、14はインク供給口15及び圧電体
８の一側面が接触する面を有する第２の基板、16は第１
の基板12及び第２の基板14の間に位置し、少なくともノ
ズル孔９、インク供給口15及び圧電体８に対応する空間
部を有する所定厚さの間隔板、13は第１の基板12、間隔
板16及び第２の基板14を接着して空間部により形成さ
れ、インク供給口15からインク６が供給される圧力室、
17は硬化後に紫外線を吸収しない耐光性紫外線硬化型接
着剤である。
【００２４】従って、圧電体８に電圧を印加して圧電体
８の電気歪みによる変位により第２の基板14を振動させ
て圧力室13内に発生した圧力によってノズル孔９からイ
ンク６の粒子を噴出するインクジェットヘッドの製造方
法であって、第１の基板12、間隔板16及び第２の基板14
を透光性を有する材料で形成し、第１の基板12、間隔板
16及び第２の基板14を耐光性紫外線硬化型接着剤17で接
着するように構成されている。
８の電気歪みによる変位により第２の基板14を振動させ
て圧力室13内に発生した圧力によってノズル孔９からイ
ンク６の粒子を噴出するインクジェットヘッドの製造方
法であって、第１の基板12、間隔板16及び第２の基板14
を透光性を有する材料で形成し、第１の基板12、間隔板
16及び第２の基板14を耐光性紫外線硬化型接着剤17で接
着するように構成されている。
【００２５】４）請求項４に対応する手段 図４(a) のインクジェットヘッドの構成図及び(b) の製
造工程図において、６はインク、15はインク供給口、17
A は紫外線硬化型接着剤、20は遮光被膜、９はインク６
の粒子を噴射するノズル孔、12は少なくとも１つのノズ
ル孔９を有する第１の基板、８はノズル孔９に夫々対応
する圧電体、14はインク供給口15及び圧電体８の一側面
が接触する面を有する第２の基板、16は第１の基板12及
び第２の基板14の間に位置し、少なくともノズル孔９、
インク供給口15及び圧電体８に対応する空間部を有し、
所定厚さの間隔板、13は第１の基板12、間隔板16及び第
２の基板14を接着して空間部により形成され、インク供
給口15からインク６が供給される圧力室である。
造工程図において、６はインク、15はインク供給口、17
A は紫外線硬化型接着剤、20は遮光被膜、９はインク６
の粒子を噴射するノズル孔、12は少なくとも１つのノズ
ル孔９を有する第１の基板、８はノズル孔９に夫々対応
する圧電体、14はインク供給口15及び圧電体８の一側面
が接触する面を有する第２の基板、16は第１の基板12及
び第２の基板14の間に位置し、少なくともノズル孔９、
インク供給口15及び圧電体８に対応する空間部を有し、
所定厚さの間隔板、13は第１の基板12、間隔板16及び第
２の基板14を接着して空間部により形成され、インク供
給口15からインク６が供給される圧力室である。
【００２６】従って、圧電体８に電圧を印加して圧電体
８の電気歪みによる変位により第２の基板14を振動させ
て圧力室13内に発生した圧力によってノズル孔９からイ
ンク６の粒子を噴出するインクジェットヘッドの製造方
法であって、第１の基板12、間隔板16及び第２の基板14
を透光性を有する材料で形成し、第１の基板12の少なく
ともノズル孔６に直交する１つの面に遮光被膜20を形成
し、第１の基板12、間隔板16及び第２の基板14を紫外線
硬化型接着剤17A で接着するように構成されている。
８の電気歪みによる変位により第２の基板14を振動させ
て圧力室13内に発生した圧力によってノズル孔９からイ
ンク６の粒子を噴出するインクジェットヘッドの製造方
法であって、第１の基板12、間隔板16及び第２の基板14
を透光性を有する材料で形成し、第１の基板12の少なく
ともノズル孔６に直交する１つの面に遮光被膜20を形成
し、第１の基板12、間隔板16及び第２の基板14を紫外線
硬化型接着剤17A で接着するように構成されている。
【００２７】
１）請求項１に対応する作用 透光性を有する材料で夫々形成された第１の基板12、間
隔板16及び第２の基板14を、耐光性紫外線硬化型接着剤
17で接着したことにより、硬化後に耐光性紫外線硬化型
接着剤17が太陽光線等の紫外線を含む光に晒されても、
紫外線を吸収せず、酸化や分解することがないので、ク
ラックや剥がれの発生が防止できてインク漏れがなくな
り、長寿命化を図ることができる。
隔板16及び第２の基板14を、耐光性紫外線硬化型接着剤
17で接着したことにより、硬化後に耐光性紫外線硬化型
接着剤17が太陽光線等の紫外線を含む光に晒されても、
紫外線を吸収せず、酸化や分解することがないので、ク
ラックや剥がれの発生が防止できてインク漏れがなくな
り、長寿命化を図ることができる。
【００２８】２）請求項２に対応する作用 少なくともノズル孔９に直交する１つの面に遮光被膜20
を有する第１の基板12、第２の基板及び間隔板16を紫外
線硬化型接着剤17A で接着することにより、硬化後に紫
外線硬化型接着剤17A が、第１の基板12の前方から太陽
光線等の紫外線を含む光に晒されても、第１の基板12の
遮光被膜20によって紫外線が遮られて、酸化や分解する
ことがないので、クラックや剥がれの発生が防止できて
インク漏れがなくなり、長寿命化を図ることができる。
を有する第１の基板12、第２の基板及び間隔板16を紫外
線硬化型接着剤17A で接着することにより、硬化後に紫
外線硬化型接着剤17A が、第１の基板12の前方から太陽
光線等の紫外線を含む光に晒されても、第１の基板12の
遮光被膜20によって紫外線が遮られて、酸化や分解する
ことがないので、クラックや剥がれの発生が防止できて
インク漏れがなくなり、長寿命化を図ることができる。
【００２９】３）請求項３に対応する作用 第１の基板12、間隔板16及び第２の基板14を透光性を有
する材料で形成し、第１の基板12、間隔板16及び第２の
基板14を、耐光性紫外線硬化型接着剤17で接着したこと
により、硬化後に耐光性紫外線硬化型接着剤17が、太陽
光線等の紫外線を含む光に晒されても、紫外線を吸収せ
ず、酸化や分解することがないので、クラックや剥がれ
の発生が防止できてインク漏れがなくなり、長寿命化を
図ることができる。
する材料で形成し、第１の基板12、間隔板16及び第２の
基板14を、耐光性紫外線硬化型接着剤17で接着したこと
により、硬化後に耐光性紫外線硬化型接着剤17が、太陽
光線等の紫外線を含む光に晒されても、紫外線を吸収せ
ず、酸化や分解することがないので、クラックや剥がれ
の発生が防止できてインク漏れがなくなり、長寿命化を
図ることができる。
【００３０】４）請求項４に対応する作用 第１の基板12、間隔板16及び第２の基板14を透光性を有
する材料で形成し、第１の基板12の少なくともノズル孔
９に直交する１つの面に遮光被膜20を形成し、第１の基
板12、間隔板16及び第２の基板14を紫外線硬化型接着剤
17A で接着することにより、硬化後に紫外線硬化型接着
剤17A が、第１の基板12の前方から太陽光線等の紫外線
を含む光に晒されても、第１の基板12の遮光被膜20によ
って紫外線が遮られて、酸化や分解することがないの
で、クラックや剥がれの発生が防止できてインク漏れが
なくなり、長寿命化を図ることができる。
する材料で形成し、第１の基板12の少なくともノズル孔
９に直交する１つの面に遮光被膜20を形成し、第１の基
板12、間隔板16及び第２の基板14を紫外線硬化型接着剤
17A で接着することにより、硬化後に紫外線硬化型接着
剤17A が、第１の基板12の前方から太陽光線等の紫外線
を含む光に晒されても、第１の基板12の遮光被膜20によ
って紫外線が遮られて、酸化や分解することがないの
で、クラックや剥がれの発生が防止できてインク漏れが
なくなり、長寿命化を図ることができる。
【００３１】
【実施例】以下、図５〜図10により本発明の実施例１〜
実施例３を説明する。 １）実施例１の説明 図５〜図７により実施例１（請求項１、請求項３、請求
項５及び請求項７に対応している）を説明する。図５は
本発明の実施例１を示す側断面図、図６は実施例１の製
造工程図、図７は接着剤の耐光性の比較を示す図であ
る。全図を通じて同一符号は同一対象物を示す。
実施例３を説明する。 １）実施例１の説明 図５〜図７により実施例１（請求項１、請求項３、請求
項５及び請求項７に対応している）を説明する。図５は
本発明の実施例１を示す側断面図、図６は実施例１の製
造工程図、図７は接着剤の耐光性の比較を示す図であ
る。全図を通じて同一符号は同一対象物を示す。
【００３２】図５の圧電素子81〜8n及びノズル板12ｂ
は、図１及び図３の圧電体８及び第１の基板12に夫々対
応している。図５の流路板14ｂは、図１及び図３の第２
の基板14及び間隔板16に対応している。
は、図１及び図３の圧電体８及び第１の基板12に夫々対
応している。図５の流路板14ｂは、図１及び図３の第２
の基板14及び間隔板16に対応している。
【００３３】図５に示すように、ヘッド部10ａのノズル
板12ｂ及び流路板14ｂが耐光性紫外線硬化型接着剤17ａ
によって接着されている。ノズル板12ｂは、例えば、板
厚 200μｍの感光性ガラス（例えば、商品名：ＰＥＧ
３、ホーヤ株式会社製）をエッチングして、例えば、孔
径50μｍのノズル孔91〜9nを形成したものである。
板12ｂ及び流路板14ｂが耐光性紫外線硬化型接着剤17ａ
によって接着されている。ノズル板12ｂは、例えば、板
厚 200μｍの感光性ガラス（例えば、商品名：ＰＥＧ
３、ホーヤ株式会社製）をエッチングして、例えば、孔
径50μｍのノズル孔91〜9nを形成したものである。
【００３４】流路板14ｂは、従来例で説明した振動板14
ａと間隔板16ａを一体に形成したもので、例えば、板厚
150μｍの感光性ガラスをエッチングしてインク供給口
151(〜15n)及び50μｍの窪み部140 が形成されている。
ａと間隔板16ａを一体に形成したもので、例えば、板厚
150μｍの感光性ガラスをエッチングしてインク供給口
151(〜15n)及び50μｍの窪み部140 が形成されている。
【００３５】耐光性紫外線硬化型接着剤17ａは、粘度が
10ｃｐ以下で、耐水性を有し、且つ硬化後に紫外線を吸
収しない紫外線硬化型接着剤である。次に図６によりヘ
ッド部10ａの製造工程を説明する。
10ｃｐ以下で、耐水性を有し、且つ硬化後に紫外線を吸
収しない紫外線硬化型接着剤である。次に図６によりヘ
ッド部10ａの製造工程を説明する。
【００３６】(1)まず、図６(a) に示すように、ノズル
板12ｂ及び流路板14ｂを製作する。 (2)次に、図６(b) に示すように、ノズル板12ａ及び流
路板14ｂを接着する。即ち、まず、ノズル板12ｂ及び
流路板14ｂをアセトン等の有機溶媒で超音波洗浄する。
板12ｂ及び流路板14ｂを製作する。 (2)次に、図６(b) に示すように、ノズル板12ａ及び流
路板14ｂを接着する。即ち、まず、ノズル板12ｂ及び
流路板14ｂをアセトン等の有機溶媒で超音波洗浄する。
【００３７】更にシランカップリング剤(例えば、商
品名：KBM503,403)に浸漬し、110 ℃で30分ベーキング
する。 流路板14ａの接着面に耐光性紫外線硬化型接着剤（例
えば、商品名：OPTOKLEBＵＴ−２０、粘度８ｃＰ、株式
会社アーデル製) 17ａをディスペンサにより複数箇所落
として塗布する。
品名：KBM503,403)に浸漬し、110 ℃で30分ベーキング
する。 流路板14ａの接着面に耐光性紫外線硬化型接着剤（例
えば、商品名：OPTOKLEBＵＴ−２０、粘度８ｃＰ、株式
会社アーデル製) 17ａをディスペンサにより複数箇所落
として塗布する。
【００３８】耐光性紫外線硬化型接着剤17ａを塗布し
た流路板14ｂの接着面にノズル板12ｂの接着面を重ね
て、紫外線を接着部に照射して接着層を硬化させる。こ
の場合、紫外線の照射方向はノズル板12ｂ側及び流路板
14ｂ側のいずれからでも良い。
た流路板14ｂの接着面にノズル板12ｂの接着面を重ね
て、紫外線を接着部に照射して接着層を硬化させる。こ
の場合、紫外線の照射方向はノズル板12ｂ側及び流路板
14ｂ側のいずれからでも良い。
【００３９】(3)図６(c) に示すように、流路板14ｂの
インク供給口151(〜15n)の部分を除いた面に、銀ペース
ト（例えば、商品名：シルベスト、PS707 、徳力化学研
究所製）を塗布し、160 ℃、１時間で焼付けて電極18を
形成する。
インク供給口151(〜15n)の部分を除いた面に、銀ペース
ト（例えば、商品名：シルベスト、PS707 、徳力化学研
究所製）を塗布し、160 ℃、１時間で焼付けて電極18を
形成する。
【００４０】(4)図６(d) に示すように、電極18上に圧
電素子81 (〜8n) をエポキシ接着剤（例えば、商品名AW
106 、HV953U、チバガイギー製) により80℃、３時間で
硬化し接着する。なお、圧電素子81 (〜8n) は大きいも
のを接着後、ダイシングソー (商品名：DAD2SP/6T,
(株) ディスコ製) により切断して製作しても良い。
電素子81 (〜8n) をエポキシ接着剤（例えば、商品名AW
106 、HV953U、チバガイギー製) により80℃、３時間で
硬化し接着する。なお、圧電素子81 (〜8n) は大きいも
のを接着後、ダイシングソー (商品名：DAD2SP/6T,
(株) ディスコ製) により切断して製作しても良い。
【００４１】(5)図６(e) に示すように、インク供給口1
51(〜15n)にジョイント150 を取り付け、図示していな
いインクカートリッジに接続し、圧電素子81 (〜8n) 及
び電極18を従来例で説明した加圧回路部11にワイヤボン
ディングによって接続する。
51(〜15n)にジョイント150 を取り付け、図示していな
いインクカートリッジに接続し、圧電素子81 (〜8n) 及
び電極18を従来例で説明した加圧回路部11にワイヤボン
ディングによって接続する。
【００４２】このようにして製作されたヘッド部10ａ
は、装置に搭載して使用された時に、硬化した耐光性紫
外線硬化型接着剤17ａが太陽光線等の紫外線を含む光に
晒されても紫外線を吸収しないので、酸化や分解するこ
とがなく、従って、クラックや剥がれの発生がなく、イ
ンク漏れを防止することができ、長寿命化を図ることが
できる。
は、装置に搭載して使用された時に、硬化した耐光性紫
外線硬化型接着剤17ａが太陽光線等の紫外線を含む光に
晒されても紫外線を吸収しないので、酸化や分解するこ
とがなく、従って、クラックや剥がれの発生がなく、イ
ンク漏れを防止することができ、長寿命化を図ることが
できる。
【００４３】また、耐光性紫外線硬化型接着剤17ａの粘
度が10ｃｐ以下であるので、接着面に塗布した時に、容
易に全面に行き渡り、均一な接着層を形成し、インク漏
れなく接着することができる。しかも耐光性紫外線硬化
型接着剤17ａは必要とする耐水性を満足し、インク6aに
接しても変質することがない。
度が10ｃｐ以下であるので、接着面に塗布した時に、容
易に全面に行き渡り、均一な接着層を形成し、インク漏
れなく接着することができる。しかも耐光性紫外線硬化
型接着剤17ａは必要とする耐水性を満足し、インク6aに
接しても変質することがない。
【００４４】図７に耐光性紫外線硬化型接着剤17ａと紫
外線硬化型接着剤(２例)の耐光性を同一条件（紫外線光
源：メタルハライトランプ、フィルタ−：なし、紫外線
の放射照度：25ｍＷ／ｃｍ）で紫外線を照射して光線透
過率の変化を測定した比較例を示しており、図中曲線１
に示すように、耐光性紫外線硬化型接着剤17ａでは、1
8,000Ｊ／cm2 以上の強力な紫外線の照射時間 200時間
でも透明性に殆ど変化がなく、これに対して紫外線硬化
型接着剤のサンプル２例の場合は、曲線２のように照射
時間 100時間或いは曲線３のように照射時間が僅か27時
間の紫外線照射でも光線透過率の低下が起こっている。
しかも硬化した接着剤は黄色或いは茶褐色に変色する。
外線硬化型接着剤(２例)の耐光性を同一条件（紫外線光
源：メタルハライトランプ、フィルタ−：なし、紫外線
の放射照度：25ｍＷ／ｃｍ）で紫外線を照射して光線透
過率の変化を測定した比較例を示しており、図中曲線１
に示すように、耐光性紫外線硬化型接着剤17ａでは、1
8,000Ｊ／cm2 以上の強力な紫外線の照射時間 200時間
でも透明性に殆ど変化がなく、これに対して紫外線硬化
型接着剤のサンプル２例の場合は、曲線２のように照射
時間 100時間或いは曲線３のように照射時間が僅か27時
間の紫外線照射でも光線透過率の低下が起こっている。
しかも硬化した接着剤は黄色或いは茶褐色に変色する。
【００４５】２）実施例２の説明 図８及び図９により実施例２（請求項２、請求項４、請
求項５、及び請求項７に対応している）を説明する。図
８は本発明の実施例２を示す側面図、図９は実施例２の
製造工程図である。全図を通じて同一符号は同一対象物
を示す。
求項５、及び請求項７に対応している）を説明する。図
８は本発明の実施例２を示す側面図、図９は実施例２の
製造工程図である。全図を通じて同一符号は同一対象物
を示す。
【００４６】図８の圧電素子81〜8n及びノズル板12ｃ
は、図２及び図４の圧電体８及び第１の基板12に夫々対
応し、図８の流路板14ｂは、図２及び図４の第２の基板
14及び間隔板16に対応している。
は、図２及び図４の圧電体８及び第１の基板12に夫々対
応し、図８の流路板14ｂは、図２及び図４の第２の基板
14及び間隔板16に対応している。
【００４７】図８の実施例２が上記実施例１と異なるの
は、実施例１が接着剤に耐光性紫外線硬化型接着剤を使
用したのに代えて紫外線硬化型接着剤を使用し、ノズル
板の前面に遮光被膜を形成したことである。
は、実施例１が接着剤に耐光性紫外線硬化型接着剤を使
用したのに代えて紫外線硬化型接着剤を使用し、ノズル
板の前面に遮光被膜を形成したことである。
【００４８】即ち、図８に示すように、ヘッド部10ｂの
ノズル板12ｃ及び流路板14ｂが紫外線硬化型接着剤17ｂ
によって接着されている。紫外線硬化型接着剤17ｂは、
10ｃＰ以下の粘度のものが使用される。
ノズル板12ｃ及び流路板14ｂが紫外線硬化型接着剤17ｂ
によって接着されている。紫外線硬化型接着剤17ｂは、
10ｃＰ以下の粘度のものが使用される。
【００４９】ノズル板12ｃは、実施例１で説明したノズ
ル板12ｂと同様に感光性ガラスにより形成されている
が、ノズル孔91〜9nに直交する面、即ち、ノズル板12ｂ
の前面に遮光被膜20ａが形成されている。
ル板12ｂと同様に感光性ガラスにより形成されている
が、ノズル孔91〜9nに直交する面、即ち、ノズル板12ｂ
の前面に遮光被膜20ａが形成されている。
【００５０】次に図９によりヘッド部10ｂの製造工程を
説明する。 (1)まず、図９(a) に示すように、ノズル板12ｃ及び流
路板14ｂを製作する。ノズル板12ｃは実施例１で説明し
たノズル板12ｂを形成後、ノズル孔91〜9n及びその周辺
をレジストでカバーし、スパッタリングにより前面に金
属薄膜（例えば、５μｍ以下のアルミニウム薄膜）、即
ち、遮光被膜20ａを形成する。スパッタリング後にレジ
ストを除去してノズル板12ｃとする。
説明する。 (1)まず、図９(a) に示すように、ノズル板12ｃ及び流
路板14ｂを製作する。ノズル板12ｃは実施例１で説明し
たノズル板12ｂを形成後、ノズル孔91〜9n及びその周辺
をレジストでカバーし、スパッタリングにより前面に金
属薄膜（例えば、５μｍ以下のアルミニウム薄膜）、即
ち、遮光被膜20ａを形成する。スパッタリング後にレジ
ストを除去してノズル板12ｃとする。
【００５１】(2)次に、図９(b) に示すように、ノズル
板12ｃ及び流路板14ｂを接着する。即ち、まず、ノズ
ル板12ｃ及び流路板14ｂをアセトン等の有機溶媒で超音
波洗浄する。
板12ｃ及び流路板14ｂを接着する。即ち、まず、ノズ
ル板12ｃ及び流路板14ｂをアセトン等の有機溶媒で超音
波洗浄する。
【００５２】更にシランカップリング剤に浸漬し、11
0 ℃で30分ベーキングする。 流路板14ｂの接着面に紫外線硬化型接着剤17ｂをディ
スペンサにより塗布する。
0 ℃で30分ベーキングする。 流路板14ｂの接着面に紫外線硬化型接着剤17ｂをディ
スペンサにより塗布する。
【００５３】紫外線硬化型接着剤17ｂを塗布した流路
板14ｂの接着面にノズル板12ｃの接着面を重ねて、紫外
線を流路板14ｂ側から接着部に照射し接着層を硬化させ
る。 (3)図９(c) に示すように、流路板14ｂのインク供給口1
51(〜15n)の部分を除いた面に、銀ペーストを塗布し、
焼付けて電極18を形成する。
板14ｂの接着面にノズル板12ｃの接着面を重ねて、紫外
線を流路板14ｂ側から接着部に照射し接着層を硬化させ
る。 (3)図９(c) に示すように、流路板14ｂのインク供給口1
51(〜15n)の部分を除いた面に、銀ペーストを塗布し、
焼付けて電極18を形成する。
【００５４】(4)図９(d) に示すように、電極18上に圧
電素子81 (〜8n) をエポキシ接着剤（により接着する。 (5)図９(e) に示すように、インク供給口151(〜15n)に
ジョイント150 を取り付け、図示していないインクカー
トリッジに接続し、圧電素子81 (〜8n) 及び電極18を従
来例で説明した加圧回路部11にワイヤボンディングによ
って接続する。
電素子81 (〜8n) をエポキシ接着剤（により接着する。 (5)図９(e) に示すように、インク供給口151(〜15n)に
ジョイント150 を取り付け、図示していないインクカー
トリッジに接続し、圧電素子81 (〜8n) 及び電極18を従
来例で説明した加圧回路部11にワイヤボンディングによ
って接続する。
【００５５】このようにして製作されたヘッド部10ｂ
は、装置に搭載して使用された時に、太陽光線等の紫外
線を含む光がノズル板12ｃの遮光被膜20ａに遮られて、
接着部に到達せず、硬化した紫外線硬化型接着剤17ｂが
紫外線に晒されないので、酸化や分解することがなく、
従って、クラックや剥がれの発生がなく、インク漏れを
防止することができ、長寿命化を図ることができる。
は、装置に搭載して使用された時に、太陽光線等の紫外
線を含む光がノズル板12ｃの遮光被膜20ａに遮られて、
接着部に到達せず、硬化した紫外線硬化型接着剤17ｂが
紫外線に晒されないので、酸化や分解することがなく、
従って、クラックや剥がれの発生がなく、インク漏れを
防止することができ、長寿命化を図ることができる。
【００５６】３）実施例３の説明 図10により実施例３（請求項１、請求項３、請求項５、
請求項６及び請求項７に対応している）を説明する。図
10は本発明の実施例３を示す平面断面図である。図５と
同一符号は同一対象物を示す。
請求項６及び請求項７に対応している）を説明する。図
10は本発明の実施例３を示す平面断面図である。図５と
同一符号は同一対象物を示す。
【００５７】図10の圧電素子81〜8n及びノズル板12ｂ
は、図１及び図３の圧電体８及び第１の基板12に夫々対
応している。図10の流路板14ｂは、図１及び図３の第２
の基板14及び間隔板16に対応している。
は、図１及び図３の圧電体８及び第１の基板12に夫々対
応している。図10の流路板14ｂは、図１及び図３の第２
の基板14及び間隔板16に対応している。
【００５８】図10に示すように、ヘッド部10ｃのノズル
板12ｂ及び流路板14ｃが耐光性紫外線硬化型接着剤17ａ
によって接着されている。流路板14ｃは、ステンレス鋼
板をエッチングして形成されたものである。
板12ｂ及び流路板14ｃが耐光性紫外線硬化型接着剤17ａ
によって接着されている。流路板14ｃは、ステンレス鋼
板をエッチングして形成されたものである。
【００５９】ヘッド部10ｃの製造工程は、実施例１とほ
ぼ同様である。異なるのはノズル板12ｂ及び流路板14ｃ
の接着時に、紫外線を照射する方向がノズル板12ｂ側か
らだけに限られ、また、電極形成の必要がない。
ぼ同様である。異なるのはノズル板12ｂ及び流路板14ｃ
の接着時に、紫外線を照射する方向がノズル板12ｂ側か
らだけに限られ、また、電極形成の必要がない。
【００６０】従って、実施例１と同様の効果が得られ、
且つ電極形成の必要がないので、製造工程が短縮され
る。上記実施例１〜実施例３では、第２の基板と間隔板
を一体とした流路板を使用した場合を説明したが、従来
例で説明した振動板と間隔板に分けて形成して、各実施
例において使用した接着剤で接着する方法としても良い
ことは勿論である。
且つ電極形成の必要がないので、製造工程が短縮され
る。上記実施例１〜実施例３では、第２の基板と間隔板
を一体とした流路板を使用した場合を説明したが、従来
例で説明した振動板と間隔板に分けて形成して、各実施
例において使用した接着剤で接着する方法としても良い
ことは勿論である。
【００６１】上記実施例２では、金属の遮光被膜をスパ
ッタリングにより形成したノズル板12ｂの場合を説明し
たが、紫外線を遮る被膜をコーティングにより形成する
方法としても良い。また上記実施例２では、紫外線硬化
型接着剤17ｂを使用した場合を説明したが、耐光性紫外
線硬化型接着剤17ａを使用しても良いことは勿論であ
る。
ッタリングにより形成したノズル板12ｂの場合を説明し
たが、紫外線を遮る被膜をコーティングにより形成する
方法としても良い。また上記実施例２では、紫外線硬化
型接着剤17ｂを使用した場合を説明したが、耐光性紫外
線硬化型接着剤17ａを使用しても良いことは勿論であ
る。
【００６２】上記実施例３では、流路板14ｃを非透光性
材料で形成した場合を説明したが、ノズル板だけを非透
光性材料で形成する方法としても良く、この場合には、
実施例２と同様に紫外線硬化型接着剤17ｂを使用するこ
とができ、接着時に流路板側から紫外線を照射する。
材料で形成した場合を説明したが、ノズル板だけを非透
光性材料で形成する方法としても良く、この場合には、
実施例２と同様に紫外線硬化型接着剤17ｂを使用するこ
とができ、接着時に流路板側から紫外線を照射する。
【００６３】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、請
求項１及び請求項３では、透光性を有する材料で夫々形
成された第１の基板、間隔板及び第２の基板を、耐光性
紫外線硬化型接着剤で接着したことにより、硬化後に耐
光性紫外線硬化型接着剤が、太陽光線等の紫外線を含む
光に晒されても、紫外線を吸収せず、酸化や分解するこ
とがないので、クラックや剥がれの発生が防止できてイ
ンク漏れがなくなり、長寿命化を図ることができる。
求項１及び請求項３では、透光性を有する材料で夫々形
成された第１の基板、間隔板及び第２の基板を、耐光性
紫外線硬化型接着剤で接着したことにより、硬化後に耐
光性紫外線硬化型接着剤が、太陽光線等の紫外線を含む
光に晒されても、紫外線を吸収せず、酸化や分解するこ
とがないので、クラックや剥がれの発生が防止できてイ
ンク漏れがなくなり、長寿命化を図ることができる。
【００６４】請求項２及び請求項４では、少なくともノ
ズル孔に直交する１つの面に遮光被膜を形成した第１の
基板、第２の基板及び間隔板を紫外線硬化型接着剤で接
着することにより、紫外線硬化型接着剤の硬化後に、第
１の基板の遮光被膜によって太陽光線等に含まれる紫外
線が遮られて、硬化した紫外線硬化型接着剤が酸化や分
解することがないので、クラックや剥がれの発生が防止
できてインク漏れがなくなり、長寿命化を図ることがで
きる。
ズル孔に直交する１つの面に遮光被膜を形成した第１の
基板、第２の基板及び間隔板を紫外線硬化型接着剤で接
着することにより、紫外線硬化型接着剤の硬化後に、第
１の基板の遮光被膜によって太陽光線等に含まれる紫外
線が遮られて、硬化した紫外線硬化型接着剤が酸化や分
解することがないので、クラックや剥がれの発生が防止
できてインク漏れがなくなり、長寿命化を図ることがで
きる。
【００６５】請求項５では、間隔板を第１の基板或いは
第２の基板のいずれか一方と一体に成形したことによ
り、部品点数が減少し、接着の一部が省略できてコスト
を改善することができる。
第２の基板のいずれか一方と一体に成形したことによ
り、部品点数が減少し、接着の一部が省略できてコスト
を改善することができる。
【００６６】請求項６では、第１の基板を非透光性材料
で形成した時は、接着剤として紫外線硬化型接着剤を使
用しても、硬化後の紫外線硬化型接着剤が、第１の基板
によって紫外線が遮られて酸化や分解することがなく、
また、第２の基板を非透光性材料で形成した時は、接着
剤として耐光性紫外線硬化型接着剤を使用することによ
り酸化、分解することがないので、いずれもクラックや
剥がれの発生が防止できてインク漏れがなくなり、長寿
命化を図ることができる。
で形成した時は、接着剤として紫外線硬化型接着剤を使
用しても、硬化後の紫外線硬化型接着剤が、第１の基板
によって紫外線が遮られて酸化や分解することがなく、
また、第２の基板を非透光性材料で形成した時は、接着
剤として耐光性紫外線硬化型接着剤を使用することによ
り酸化、分解することがないので、いずれもクラックや
剥がれの発生が防止できてインク漏れがなくなり、長寿
命化を図ることができる。
【００６７】請求項７では、硬化後に紫外線を吸収しな
い耐光性紫外線硬化型接着剤或いは紫外線硬化型接着剤
の粘度が１０ｃｐ以下であることにより、接着面の平滑
度を緩和しても接着剤が接着面の間に隈無く行き渡り、
安定した接合を行うことができるので、コストの改善を
図ることができる。という効果がある。
い耐光性紫外線硬化型接着剤或いは紫外線硬化型接着剤
の粘度が１０ｃｐ以下であることにより、接着面の平滑
度を緩和しても接着剤が接着面の間に隈無く行き渡り、
安定した接合を行うことができるので、コストの改善を
図ることができる。という効果がある。
【図１】 本発明の請求項１に対応する原理図
【図２】 本発明の請求項２に対応する原理図
【図３】 本発明の請求項３に対応する原理図
【図４】 本発明の請求項４に対応する原理図
【図５】 本発明の実施例１を示す側断面図
【図６】 実施例１の製造工程図
【図７】 接着剤の耐光性の比較を示す図
【図８】 本発明の実施例２を示す側断面図
【図９】 実施例２の製造工程図
【図１０】 本発明の実施例３を示す側断面図
【図１１】 インクジェットプリンタの概要を示す斜視
図
図
【図１２】 ヘッド部の内部を示す正面図
【図１３】 ヘッド部を示す側断面図
６,6a はインク、 ８は圧電体、 81
〜8nは圧電素子、９,91 〜9nはノズル孔、 10,10a〜10
c はヘッド部、12は第１の基板、12ａ〜12ｃはノズル
板、 13,131〜13n は圧力室、 14は第２の基板、14ａ
は振動板、 14b,14c は流路板、15,151〜15n
はインク供給口、 16,16aは間隔
板、17,17aは耐光性紫外線硬化型接着剤、17A,17b は紫
外線硬化型接着剤、 20,20aは遮光被
膜
〜8nは圧電素子、９,91 〜9nはノズル孔、 10,10a〜10
c はヘッド部、12は第１の基板、12ａ〜12ｃはノズル
板、 13,131〜13n は圧力室、 14は第２の基板、14ａ
は振動板、 14b,14c は流路板、15,151〜15n
はインク供給口、 16,16aは間隔
板、17,17aは耐光性紫外線硬化型接着剤、17A,17b は紫
外線硬化型接着剤、 20,20aは遮光被
膜
Claims (7)
- 【請求項１】 インク(6) の粒子を噴射する少なくとも
１つのノズル孔(9)を有し、透光性を有する材料で形成
された第１の基板(12)と、 該ノズル孔(9) に夫々対応する圧電体(8) と、 インク供給口(15)及び該圧電体(8) の一側面が接触する
面を有し、透光性を有する材料で形成された第２の基板
(14)と、 該第１の基板(12)及び該第２の基板(14)の間に位置し、
少なくとも該ノズル孔(9) 、該インク供給口(15)及び該
圧電体(8) に対応する空間部を有し、透光性を有する材
料で所定厚さに形成された間隔板(16)と、 該第１の基板(12)、該間隔板(16)及び該第２の基板(14)
を、硬化後に紫外線を吸収しない耐光性紫外線硬化型接
着剤(17)で接着して該空間部により形成され、該インク
供給口(15)からインク(6) が供給される圧力室(13)とを
備え、 該圧電体(8) に電圧を印加して該圧電体(8) の電気歪み
による変位により該第２の基板(14)を振動させて該圧力
室(13)内に発生した圧力によって該ノズル孔(9) からイ
ンク(6) の粒子を噴射するインクジェットヘッド。 - 【請求項２】 透光性を有する材料で形成され、インク
(6) の粒子を噴射する少なくとも１つのノズル孔(9) を
有し、少なくとも該ノズル孔(9) に直交する１つの面に
遮光被膜(20)を有する第１の基板(12)と、 該ノズル孔(9) に夫々対応する圧電体(8) と、 インク供給口(15)及び該圧電体(8) の一側面が接触する
面を有し、透光性を有する材料で形成された第２の基板
(14)と、 該第１の基板(12)及び該第２の基板(14)の間に位置し、
少なくとも該ノズル孔(9) 、該インク供給孔(15)及び該
圧電体(8) に対応する空間部を有し、透光性を有する材
料で所定厚さに形成された間隔板(16)と、 該第１の基板(12)、該間隔板(16)及び該第２の基板(14)
を、紫外線硬化型接着剤(17A) で接着して該空間部によ
り形成され、該インク供給口(15)からインク(6) が供給
される圧力室(13)とを備え、 該圧電体(8) に電圧を印加して該圧電体(8) の電気歪み
による変位により該第２の基板(14)を振動させて該圧力
室(13)内に発生した圧力によって該ノズル孔(9) からイ
ンク(6) の粒子を噴射するインクジェットヘッド。 - 【請求項３】 インク(6) の粒子を噴射する少なくとも
１つのノズル孔(9)を有する第１の基板(12)と、 該ノズル孔(9) に夫々対応する圧電体(8) と、 インク供給口(15)及び該圧電体(8) の一側面が接触する
面を有する第２の基板(14)と、 該第１の基板(12)及び該第２の基板(14)の間に位置し、
少なくとも該ノズル孔(9) 、該インク供給口(15)及び該
圧電体(8) に対応する空間部を有する所定厚さの間隔板
(16)と、 該第１の基板(12)、該間隔板(16)及び該第２の基板(14)
を接着して該空間部により形成され、該インク供給口(1
5)から該インク(6) が供給される圧力室(13)とを備え、 該圧電体(8) に電圧を印加して該圧電体(8) の電気歪み
による変位により該第２の基板(14)を振動させて該圧力
室(13)内に発生した圧力によって該ノズル孔(9) からイ
ンク(6) の粒子を噴出するインクジェットヘッドの製造
方法であって、 前記第１の基板(12)、前記間隔板(16)及び前記第２の基
板(14)を透光性を有する材料で形成し、 該第１の基板(12)、該間隔板(16)及び該第２の基板(14)
を、硬化後に紫外線を吸収しない耐光性紫外線硬化型接
着剤(17)で接着することを特徴とするインクジェットヘ
ッドの製造方法。 - 【請求項４】 インク(6) の粒子を噴射する少なくとも
１つのノズル孔(9)を有する第１の基板(12)と、 該ノズル孔(9) に夫々対応する圧電体(8) と、 インク供給口(15)及び該圧電体(8) の一側面が接触する
面を有する第２の基板(14)と、 該第１の基板(12)及び該第２の基板(14)の間に位置し、
少なくとも該ノズル孔(9) 、該インク供給口(15)及び該
圧電体(8) に対応する空間部を有する所定厚さの間隔板
(16)と、 該第１の基板(12)、該間隔板(16)及び該第２の基板(14)
を接着して該空間部により形成され、該インク供給口(1
5)から該インク(6) が供給される圧力室(13)とを備え、 該圧電体(8) に電圧を印加して該圧電体(8) の電気歪み
による変位により該第２の基板(14)を振動させて該圧力
室(13)内に発生した圧力によって該ノズル孔(9) からイ
ンク(6) の粒子を噴出するインクジェットヘッドの製造
方法であって、 前記第１の基板(12)、前記間隔板(16)及び前記第２の基
板(14)を透光性を有する材料で形成し、 該第１の基板(12)の少なくとも前記ノズル孔(6) に直交
する１つの面に遮光被膜(20)を形成し、 該第１の基板(12)、該間隔板(16)及び該第２の基板(14)
を紫外線硬化型接着剤(17A) で接着することを特徴とす
るインクジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項５】 前記間隔板(16)は、前記第１の基板(12)
或いは前記第２の基板(14)のいずれか一方と一体に形成
されることを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３
或いは請求項４のインクジェットヘッド及びその製造方
法。 - 【請求項６】 前記第１の基板(12)或いは前記第２の基
板(14)のいずれか一方が非透光性材料で形成されること
を特徴とする請求項１、請求項２、請求項３請求項４或
いは請求項５のインクジェットヘッド及びその製造方
法。 - 【請求項７】 前記耐光性紫外線硬化型接着剤(17)或い
は前記紫外線硬化型接着剤(17A) は、粘度が１０ｃｐ以
下であることを特徴とする請求項１、請求項２、請求項
３、請求項４、請求項５或いは請求項６のインクジェッ
トヘッド及びその製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11993594A JPH07323545A (ja) | 1994-06-01 | 1994-06-01 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11993594A JPH07323545A (ja) | 1994-06-01 | 1994-06-01 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07323545A true JPH07323545A (ja) | 1995-12-12 |
Family
ID=14773816
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11993594A Withdrawn JPH07323545A (ja) | 1994-06-01 | 1994-06-01 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07323545A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10278260A (ja) * | 1997-04-03 | 1998-10-20 | Ricoh Co Ltd | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
| JP2005324557A (ja) * | 2005-06-27 | 2005-11-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
| WO2009002178A2 (en) * | 2007-06-28 | 2008-12-31 | Medspray Xmems B.V. | Atomising device, atomising body and method of manufacturing the same |
| US7480994B2 (en) | 2004-01-30 | 2009-01-27 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method of making a fluid ejection head for a fluid ejection device |
| JP2012241319A (ja) * | 2011-05-16 | 2012-12-10 | Asire Inc | 金属パネルの改修方法 |
-
1994
- 1994-06-01 JP JP11993594A patent/JPH07323545A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10278260A (ja) * | 1997-04-03 | 1998-10-20 | Ricoh Co Ltd | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
| US7480994B2 (en) | 2004-01-30 | 2009-01-27 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method of making a fluid ejection head for a fluid ejection device |
| JP2005324557A (ja) * | 2005-06-27 | 2005-11-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
| WO2009002178A2 (en) * | 2007-06-28 | 2008-12-31 | Medspray Xmems B.V. | Atomising device, atomising body and method of manufacturing the same |
| WO2009002178A3 (en) * | 2007-06-28 | 2009-05-14 | Medspray Xmems Bv | Atomising device, atomising body and method of manufacturing the same |
| US8814059B2 (en) | 2007-06-28 | 2014-08-26 | Medspray Xmems B.V. | Atomising device, atomising body and method of manufacturing the same |
| JP2012241319A (ja) * | 2011-05-16 | 2012-12-10 | Asire Inc | 金属パネルの改修方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010904 |