JP3105649B2 - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents

インクジェットヘッドの製造方法

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明 中澤
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プリンタ用のインクジ
ェットヘッドの製造方法に関する。ノンインパクト記録
法は、記録時に於ける騒音の発生が小さいという利点が
あり、最近活発に研究が行われている。その中で、高速
記録が可能であり、しかもいわゆる普通紙に特別の定着
処理を必要とせずに記録が行えるインクジェット記録法
は、極めて有力な記録法であって、これ迄にも様々な方
法が考案され、改良が加えられて商品化されたものもあ
れば、現在もなお実用化への努力が続けられているもの
もある。
【０００２】このようなインクジェット記録法は、いわ
ゆるインクと称される記録液の液滴（ｄｒｏｐｌｅｔ）
を飛翔させ、これを被記録材に付着させて記録を行うも
のである。このインクジェット記録法において、記録液
を噴射する手段としてインクジェットヘッドが用いられ
る。
【０００３】したがって、印字品位が優れた記録を得る
ためには、高品質のインクジェットヘッドを製造するこ
とが必要となる。
【０００４】
【従来の技術】従来のインクジェットヘッドの製造方法
としては、例えばガラス基板を用いたホトエッチング法
がある。振動板は厚さが０．１５ｍｍのガラス薄片で片
面が導電性のネサ膜が施されたものを用いる。
【０００５】インクジェット基板はインク流路およびノ
ズルの形成はガラス基板を用いてホトエッチング法で作
る。まず、厚さ１．５ｍｍのガラス板にＣｒとＡｕをス
パッタ法でガラス基板全面に皮膜形成する。次に、ホト
レジストを用いて一般に行なわれているホトエッチング
技術でインク流路とノズルとなる部分のＣｒとＡｕ皮膜
を取り除き、露出されたガラス面を沸酸でエッチングし
てインク流路及びノズルを形成する。
【０００６】次に、振動板とインク流路及びノズルが形
成されたガラス基板を重ね合わせ、６００℃の雰囲気で
加圧・加熱して振動板とインクジェット基板を接合す
る。次に、ネサ膜が施されている振動板側に圧電素子を
張り付けるとインクジェットヘッドが完成される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のインクジェットヘッドの製造方法にあって
は、工程数が非常にかかるため、コストが上昇するとい
う問題点があった。また、振動板のガラスが薄いため割
れ易く、耐久性に欠けるという問題点もあった。本発明
は、このような従来の問題点に鑑みてなされたものであ
って、耐久性に優れたインクジェットヘッドを工程数が
かからず低コストで製造することができるインクジェッ
トヘッドの製造方法を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】図１は本発明の原理説明
図である。図１において、（ａ）はインク流路を形成す
るための型に光硬化樹脂を流す工程、（ｂ）はカップリ
ング処理した光透過性の振動板を前記光硬化樹脂上に接
着する工程、（ｃ）は露光して前記光硬化樹脂を硬化さ
せる工程、（ｄ）は前記型を取りはずして洗浄後ノズル
を形成したノズル板を光硬化性接着剤で前記光硬化樹脂
に接着する工程である。
【０００９】
【作用】インク流路を形成するための凹凸がエッチング
されている型に光硬化樹脂を流し、カップリング処理し
た光透過性の振動板を光硬化樹脂上に接着し、露光して
光硬化樹脂を硬化させ、型を取りはずして洗浄後ノズル
を形成したノズル板を光硬化性接着剤で光硬化樹脂に接
着するようにしたため、工程数がかからず、また、工程
が簡単となり、コストを低減することができる。
【００１０】また、振動板とインク流路を形成した光硬
化樹脂を一体的に構成するため、振動板が割れにくく、
耐久性を高めることができる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図２〜図１０は本発明の一実施例を示す図であ
る。まず、図２に示すように、インク流路を形成するた
め凹凸部１がエッチングされている型（３５×３５ｍ
ｍ）２に、注射器３で光硬化樹脂（ＳＡ１００２：三菱
油化）４を流す。
【００１２】光硬化樹脂４としては、型２に精細なパタ
ーンが形成されているため、低粘度のものを用いる。型
２としては、感光性ガラスが良い。次に、図３に示すよ
うに、光透過性のガラスの振動板（３５×３５ｍｍ）５
に注射器６でシランカップリング剤（ＫＢＭ５０３：信
越化学）をスピンコート塗布後に、恒温槽に１２０℃で
１０分間入れる。
【００１３】次に、図４に示すように、シランカップリ
ング処理した振動板５を光硬化樹脂４上に若干押し込み
ながら乗せる。こうして、余分な光硬化樹脂４を掃き出
す。次に、図５に示すように、紫外線を振動板５側から
３０ｗ／ｃｍ2 で１０秒間照射し、光硬化樹脂４を硬化
させる。次に、図６に示すように、照射後、型２をピン
セットで静かに取り除き、アセトンで３０秒間軽く洗浄
する。こうして、インク流路７を形成する。
【００１４】次に、図７に示すように、ノズルを形成し
たノズル板８上に嫌気性の光硬化性接着剤（ロックタイ
ト３６３：ロックタイト）を注射器９で数ｍｇ塗布す
る。次に、図８に示すように、ノズル板８とインク流路
７を形成した光硬化樹脂４を顕微鏡でみながら位置決め
して重ね、紫外線を３０ｍｗ／ｃｍ2 で３００秒照射
し、ノズル板８と光硬化樹脂４を接着する。
【００１５】次に、図９に示すように、振動板５に圧電
素子の電極を形成するため、銀ペースト１０を塗布す
る。なお、１１は貫通孔である。最後に、図１０に示す
ように、圧電素子１２をエポキシ系接着剤（アラルダイ
ト）で振動板５に接着する。このように、本実施例にお
いては、工程数がかからず、また、簡単な工程であるた
め、コストを低減することができる。
【００１６】また、振動板５とインク流路７を形成した
光硬化樹脂４を一体的に構成することができるため、振
動板５が割れにくく、耐久性を向上させることができ
る。なお、本実施例で得られたインクジェットヘッド
を、シアン、マゼンタ、イエロ、ブラックの各色用とし
てそれぞれ用い、４個のヘッドを１個にまとめることに
より、カラー印字を行うことが可能になる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明によれ
ば、振動板とインク流路を形成した光硬化樹脂を一体的
に構成するようにしたため、工程数がかからず、工程も
簡単でコストを低減することができ、また、振動板が割
れにくいので、耐久性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の原理説明図
【図２】本発明の一実施例に係る工程１を示す図
【図３】工程２を示す図
【図４】工程３を示す図
【図５】工程４を示す図
【図６】工程５を示す図
【図７】工程６を示す図
【図８】工程７を示す図
【図９】工程８を示す図
【図１０】工程９を示す図
【符号の説明】
１：凹凸部 ２：型 ３，６，９：注射器 ４：光硬化樹脂 ５：振動板 ７：インク流路 ８：ノズル板 １０：銀ペースト １１：貫通孔 １２：圧電素子
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−255868（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−135756（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−45950（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B41J 2/16

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】インク流路を形成するための型に光硬化樹
    脂を流し（ａ）、次にカップリング処理した光透過性の
    振動板を前記光硬化樹脂上に接着し（ｂ）、次に露光し
    て前記光硬化樹脂を硬化させ（ｃ）、次に前記型を取り
    はずして洗浄後ノズルを形成したノズル板を光硬化性接
    着剤で前記光硬化樹脂に接着する（ｄ）ことを特徴とす
    るインクジェットヘッドの製造方法。
JP17875592A 1992-07-07 1992-07-07 インクジェットヘッドの製造方法 Expired - Lifetime JP3105649B2 (ja)

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