JPH0623992A - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドの製造方法Info
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- JPH0623992A JPH0623992A JP17875592A JP17875592A JPH0623992A JP H0623992 A JPH0623992 A JP H0623992A JP 17875592 A JP17875592 A JP 17875592A JP 17875592 A JP17875592 A JP 17875592A JP H0623992 A JPH0623992 A JP H0623992A
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- photosetting resin
- mold
- ink passage
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Abstract
久性に優れたインクジェットヘッドを工程数がかからず
低コストで製造することを目的とする。 【構成】 インク流路を形成するための型に光硬化樹脂
を流し(a)、次にカップリング処理した光透過性の振
動板を前記光硬化樹脂上に接着し(b)、次に露光して
前記光硬化樹脂を硬化させ(c)、次に前記型を取りは
ずして洗浄後ノズルを形成したノズル板を光硬化性接着
剤で前記光硬化樹脂に接着する(d)ようにした。
Description
ェットヘッドの製造方法に関する。ノンインパクト記録
法は、記録時に於ける騒音の発生が小さいという利点が
あり、最近活発に研究が行われている。その中で、高速
記録が可能であり、しかもいわゆる普通紙に特別の定着
処理を必要とせずに記録が行えるインクジェット記録法
は、極めて有力な記録法であって、これ迄にも様々な方
法が考案され、改良が加えられて商品化されたものもあ
れば、現在もなお実用化への努力が続けられているもの
もある。
ゆるインクと称される記録液の液滴(droplet)
を飛翔させ、これを被記録材に付着させて記録を行うも
のである。このインクジェット記録法において、記録液
を噴射する手段としてインクジェットヘッドが用いられ
る。
ためには、高品質のインクジェットヘッドを製造するこ
とが必要となる。
としては、例えばガラス基板を用いたホトエッチング法
がある。振動板は厚さが0.15mmのガラス薄片で片
面が導電性のネサ膜が施されたものを用いる。
ズルの形成はガラス基板を用いてホトエッチング法で作
る。まず、厚さ1.5mmのガラス板にCrとAuをス
パッタ法でガラス基板全面に皮膜形成する。次に、ホト
レジストを用いて一般に行なわれているホトエッチング
技術でインク流路とノズルとなる部分のCrとAu皮膜
を取り除き、露出されたガラス面を沸酸でエッチングし
てインク流路及びノズルを形成する。
成されたガラス基板を重ね合わせ、600℃の雰囲気で
加圧・加熱して振動板とインクジェット基板を接合す
る。次に、ネサ膜が施されている振動板側に圧電素子を
張り付けるとインクジェットヘッドが完成される。
うな従来のインクジェットヘッドの製造方法にあって
は、工程数が非常にかかるため、コストが上昇するとい
う問題点があった。また、振動板のガラスが薄いため割
れ易く、耐久性に欠けるという問題点もあった。本発明
は、このような従来の問題点に鑑みてなされたものであ
って、耐久性に優れたインクジェットヘッドを工程数が
かからず低コストで製造することができるインクジェッ
トヘッドの製造方法を提供することを目的としている。
図である。図1において、(a)はインク流路を形成す
るための型に光硬化樹脂を流す工程、(b)はカップリ
ング処理した光透過性の振動板を前記光硬化樹脂上に接
着する工程、(c)は露光して前記光硬化樹脂を硬化さ
せる工程、(d)は前記型を取りはずして洗浄後ノズル
を形成したノズル板を光硬化性接着剤で前記光硬化樹脂
に接着する工程である。
されている型に光硬化樹脂を流し、カップリング処理し
た光透過性の振動板を光硬化樹脂上に接着し、露光して
光硬化樹脂を硬化させ、型を取りはずして洗浄後ノズル
を形成したノズル板を光硬化性接着剤で光硬化樹脂に接
着するようにしたため、工程数がかからず、また、工程
が簡単となり、コストを低減することができる。
化樹脂を一体的に構成するため、振動板が割れにくく、
耐久性を高めることができる。
する。図2〜図10は本発明の一実施例を示す図であ
る。まず、図2に示すように、インク流路を形成するた
め凹凸部1がエッチングされている型(35×35m
m)2に、注射器3で光硬化樹脂(SA1002:三菱
油化)4を流す。
ーンが形成されているため、低粘度のものを用いる。型
2としては、感光性ガラスが良い。次に、図3に示すよ
うに、光透過性のガラスの振動板(35×35mm)5
に注射器6でシランカップリング剤(KBM503:信
越化学)をスピンコート塗布後に、恒温槽に120℃で
10分間入れる。
ング処理した振動板5を光硬化樹脂4上に若干押し込み
ながら乗せる。こうして、余分な光硬化樹脂4を掃き出
す。次に、図5に示すように、紫外線を振動板5側から
30w/cm2 で10秒間照射し、光硬化樹脂4を硬化
させる。次に、図6に示すように、照射後、型2をピン
セットで静かに取り除き、アセトンで30秒間軽く洗浄
する。こうして、インク流路7を形成する。
たノズル板8上に嫌気性の光硬化性接着剤(ロックタイ
ト363:ロックタイト)を注射器9で数mg塗布す
る。次に、図8に示すように、ノズル板8とインク流路
7を形成した光硬化樹脂4を顕微鏡でみながら位置決め
して重ね、紫外線を30mw/cm2 で300秒照射
し、ノズル板8と光硬化樹脂4を接着する。
素子の電極を形成するため、銀ペースト10を塗布す
る。なお、11は貫通孔である。最後に、図10に示す
ように、圧電素子12をエポキシ系接着剤(アラルダイ
ト)で振動板5に接着する。このように、本実施例にお
いては、工程数がかからず、また、簡単な工程であるた
め、コストを低減することができる。
光硬化樹脂4を一体的に構成することができるため、振
動板5が割れにくく、耐久性を向上させることができ
る。なお、本実施例で得られたインクジェットヘッド
を、シアン、マゼンタ、イエロ、ブラックの各色用とし
てそれぞれ用い、4個のヘッドを1個にまとめることに
より、カラー印字を行うことが可能になる。
ば、振動板とインク流路を形成した光硬化樹脂を一体的
に構成するようにしたため、工程数がかからず、工程も
簡単でコストを低減することができ、また、振動板が割
れにくいので、耐久性を向上させることができる。
Claims (1)
- 【請求項1】インク流路を形成するための型に光硬化樹
脂を流し(a)、次にカップリング処理した光透過性の
振動板を前記光硬化樹脂上に接着し(b)、次に露光し
て前記光硬化樹脂を硬化させ(c)、次に前記型を取り
はずして洗浄後ノズルを形成したノズル板を光硬化性接
着剤で前記光硬化樹脂に接着する(d)ことを特徴とす
るインクジェットヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17875592A JP3105649B2 (ja) | 1992-07-07 | 1992-07-07 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17875592A JP3105649B2 (ja) | 1992-07-07 | 1992-07-07 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0623992A true JPH0623992A (ja) | 1994-02-01 |
JP3105649B2 JP3105649B2 (ja) | 2000-11-06 |
Family
ID=16054034
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17875592A Expired - Lifetime JP3105649B2 (ja) | 1992-07-07 | 1992-07-07 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3105649B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005006344A (ja) * | 2004-07-06 | 2005-01-06 | Sony Corp | 画像表示装置 |
-
1992
- 1992-07-07 JP JP17875592A patent/JP3105649B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005006344A (ja) * | 2004-07-06 | 2005-01-06 | Sony Corp | 画像表示装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3105649B2 (ja) | 2000-11-06 |
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