JPH1078508A - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】平坦性に優れた、安価で、カラー濃度にむらの
ない、高精細のカラーフィルタの製造方法を提供するこ
とを目的とする。 【解決手段】原盤上に所定のパターンに応じて画素間仕
切り部位を形成する第１工程と、前記画素間仕切り部位
に仕切られた、それぞれのインク充填用凹部に、予め設
定された色のインクを充填してインク層を形成する第２
工程と、前記インクの充填された原盤上に樹脂を塗布
し、光透過性を有する樹脂層を形成する第３工程と、前
記画素間仕切り部位、インク層及び樹脂層を、固化後に
一体的に前記原盤から剥離する第４工程と、を含むこと
を特徴とするカラーフィルタの製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネル等
に用いられるカラーフィルタの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示パネル等のカラーフィルタを製
造する方法として、染色法、顔料分散法、印刷法、電着
法などがある。

【０００３】染色法は、染色用材料である水溶性高分子
材料に感光剤を添加して感光化し、これをリソグラフィ
工程でパターニングした後、染色液に浸漬し着色パター
ンを得る方法である。

【０００４】例えば、まず、ガラス基板の上に遮光性部
位（一般に黒色でブラックマトリクスと称され、以下、
ＢＭという）を形成する。そして、水溶性高分子材料に
感光剤を添加して光が当たれば溶媒に溶解しにくくなる
ようにした染色用材料を、ＢＭの形成された基板に塗布
する。次に、マスクを通して染色用材料の一部のみを露
光し現像することで、第１のカラー領域のみ染色用材料
が残るようパターニングする。そして、この染色用材料
を染色液に浸漬して染色し、固着させることで第１の着
色層が形成される。この工程を３回繰り返すことで３色
のカラーフィルタが形成される。

【０００５】この染色法で製造されたカラーフィルタ
は、透過率が高くて色が鮮やかな反面、耐光性、耐熱性
及び吸湿性において劣るという特性がある。

【０００６】次に、顔料分散法は、顔料を分散した感光
性樹脂を基板に塗布し、これをパターニングすることに
より単色のパターンを得る、という工程を繰り返す方法
である。上記染色法が、染色用材料をパターニングして
から染色する方法であったのに対して、顔料分散法は、
予め着色された感光性樹脂を基板に塗布するものでる。
そして、顔料分散法にて製造されたカラーフィルタは、
耐性が高いものの透過率が多少低いというとう特性をも
っている。

【０００７】さらに、上記感光性樹脂層は、少なくとも
塗布された７０％以上が除去・廃棄され材料の利用効率
で大きな課題を有する。

【０００８】印刷法は、熱硬化性樹脂に顔料を分散させ
た塗料を繰り返し印刷によって３色を塗り分け、樹脂を
熱硬化させて着色層を形成する方法である。この印刷法
は、工程が簡易であるものの、平坦性に劣るものであ
る。

【０００９】電着法は、パターニングされた透明電極を
基板に設けておき、これを顔料・樹脂・電解液等の入っ
た電着塗装液に浸漬して第１色を電着させる。そして、
この工程を３回繰り返して最後に焼成する方法である。
この電着法は平坦性に優れているが、ストライプパター
ンのカラー配列であれば有効であるが、モザイクパター
ンのようなカラー配列を形成することは困難である。

【００１０】以上の製造方法のうち、印刷法は精度の点
で欠点があり、電着法はパターンが限定されるという欠
点があったので、従来、染色法及び顔料分散法が主とし
て用いられてきた。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前述の染色法
及び顔料分散法は、第１色、第２色、第３色の各画素領
域を形成する際に毎回リソグラフィの工程が必要であ
り、カラーフィルターの量産性向上の大きな妨げとなっ
てきた。このように一色毎にリソグラフィ工程を繰り返
すことなく画素を形成する方法として、特開昭５９−７
５２０５号公報、特開昭６１−２４５１０６号公報、特
開平７−１４６４０６号公報等には、インクジェット方
式によりカラーフィルタを製造する方法が開示されてい
るが、インク層の形状の制御性が悪い、エッジ部分がダ
レる、同一画素内での着色濃度が不均一である等、いま
だ十分満足できるものは得られていない。

【００１２】そこで、上述した欠点を補うべく、所定配
列の複数のインク充填用凹部を有する原盤を製造し、こ
のインク充填用凹部に、予め設定された色のインクを充
填してインク層を形成し、このインクの充填された原盤
上に樹脂を塗布し、光透過性を有する樹脂層を形成し、
次いで、前述のインク層および樹脂層を固化後に一体的
に前述の原盤から剥離することによりカラーフィルタを
製造する方法が提案されている。要するに、原盤を型と
してインク層を形成し、それを樹脂層により一体的に固
めてカラーフィルタとする方法である。この方法により
得られるカラーフィルタでは、インク層の形状を高精度
にかつ自由に制御することが可能であり、インク層の厚
みも均一となる。したがって、カラー濃度にむらのな
い、高精細のカラーフィルタを得ることができる。

【００１３】しかし、インクジェット方式によりカラー
フィルタを製造する方法では、インクに溶剤成分を含有
させることは必須である。一方、充填するインク量は、
インク充填用凹部の体積とほぼ等しくするか、より大き
くする方が、インク充填用凹部へのインク充填の際の隣
接画素との混色を防ぎやすい。そのため、インク充填用
凹部にインクを充填して溶剤を除去した後のインク層の
厚みは、除去された溶剤分だけ体積が目減りし、その結
果、得られるカラーフィルタでは、図３に示すように、
インク層の厚みａに加えて前述の樹脂層の厚みｂも段差
として加わり、カラーフィルタ上に透明電極を形成する
際の平坦化処理が困難になるという問題点を有する。

【００１４】そこで本発明はこのような問題点を解決す
るもので、その目的とするところは、安価で、平坦性に
優れた、カラー濃度にむらのない、高精細のカラーフィ
ルタの製造方法を提供するところにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明に係るカラーフィ
ルタの製造方法は、原盤上に所定のパターンに応じて画
素間仕切り部位を形成する第１工程と、前記画素間仕切
り部位に仕切られた、それぞれのインク充填用凹部に、
予め設定された色のインクを充填してインク層を形成す
る第２工程と、前記インクの充填された原盤上に樹脂を
塗布し、光透過性を有する樹脂層を形成する第３工程
と、前記画素間仕切り部位、インク層および樹脂層を、
固化後に一体的に前記原盤から剥離する第４工程と、を
含むことを特徴とする。

【００１６】本発明は、要するに、平坦な原盤を土台と
して用い、その上に画素間仕切り部位とインク層を形成
し、これらを一体的に固めて前記原盤から剥離してカラ
ーフィルタとする方法である。このような方法によれ
ば、画素間に段差がなく、画素（インク層）および画素
間仕切り部位がなす面は平坦性に優れ、カラー濃度にむ
らのない、高精細のカラーフィルタを得ることができ
る。

【００１７】また、画素間仕切り部位に用いる部材に遮
光性を有する物質を用いると、カラーフィルタ形成の際
に、ＢＭも一括して形成することが可能となる。

【００１８】遮光性を有する物質としては、具体的には
例えば次の物質がある。

【００１９】（１）クロムまたはその化合物 このクロムまたはその化合物は、従来技術によるカラー
フィルタにおいてすでに実用化されており、スパッタリ
ング、ＣＶＤ、蒸着等の乾式成膜法で、容易に制御性良
く形成することができる。酸化クロムとクロムを積層構
造とし、光干渉効果で低反射化させることも可能であ
る。

【００２０】（２）黒色顔料または染料の少なくとも一
方を含有する樹脂 このような樹脂系遮光性材料は、種々の感光剤、硬化剤
と組み合わせることで、そのもの自体にパターニング特
性を持たせることができ、レジストを用いることなく省
コストでパターニングを行うことができる。さらには、
前記インク層および樹脂層の組成物と同じもしくは類似
の成分を用いることでことで、前記インク層あるいは画
素間仕切り部位を形成する材料との間での熱膨張率や原
盤との密着性等の物性を考慮しての、材料選定あるいは
材料設計の自由度が増す。そして、前記インク層あるい
は画素間仕切り部位との界面での剥離やクラックの発生
の防止や、原盤から剥離の際の転写不良の低減が容易と
なる。

【００２１】また、画素間仕切り部位に用いる部材に導
電性を有する物質を用いると、カラーフィルタ上に透明
電極を形成する場合においてシート抵抗が低減し、透明
電極を薄膜化させることが可能となる。

【００２２】次に、前記第２工程では、前記インクをイ
ンクジェット方式によって充填することが好ましい。

【００２３】インクジェット方式によれば、インクジェ
ットプリンタ用に実用化された技術を応用することで、
インクの充填を高速化できるとともに、インクの利用効
率をほぼ１００％にすることができ、インクを無駄にす
ることがない。

【００２４】なお、前記原盤、インク層、画素間仕切り
部位、樹脂層の材質によっては、原盤とインク層、画素
間仕切り部位および樹脂層との密着性が高くなる場合が
あり、前記第４工程での剥離の際に、部分的にインク
層、画素間仕切り部位あるいは樹脂層が欠落したり、ク
ラックが発生するというような転写不良が発生する。

【００２５】そこで、前記第１工程では、前記インク層
を形成する前記原盤の表面に、離型剤を付けてから前記
画素間仕切り部位を形成することが好ましい。こうする
ことで、前記第４工程での、前記インク層、画素間仕切
り部位、樹脂層を一体的に原盤から剥離することを良好
に行うことができる。

【００２６】あるいは、前記インク層、前記画素間仕切
り部位、または樹脂層を形成する部材のいずれかに、あ
るいは全てに離型剤を添加しておいても同様の効果が得
られる。

【００２７】あるいは、前記第１工程で用いる前記原盤
の前記インク層を形成する表面に、前記インク層、画素
間仕切り部位、樹脂層に対して密着性が低く、剥離の際
に離型性が向上する材質からなる離型層を形成すること
でも同様の効果が得られる。前記離型層を形成する部材
としては、具体的には例えば、前記画素間仕切り部位を
形成する部材が樹脂を主体とする場合、さらに具体的に
は、アクリル系樹脂やエポキシ系樹脂等の場合には、ニ
ッケルあるいはクロムおよびそれらの化合物が好適に用
いられる。これらの物質は、スパッタリング、ＣＶＤ、
蒸着等の乾式成膜法で、容易に制御性良く形成すること
ができ、前述の樹脂系に対する密着性もあまり高くない
からである。

【００２８】さらに、第２工程では、前記インク充填用
凹部に充填された前記インクを熱処理することにより、
溶剤成分を揮発させて色材を残す工程を含むことが好ま
しい。こうして、インク中の溶剤成分を揮発させてか
ら、前記第３工程で前記樹脂層を形成することで、イン
ク層は強化され、また、残存する溶剤によるカラーフィ
ルタの信頼性の低下の防止等に効果がある。

【００２９】また、前記第２工程で充填されるインク
は、エネルギーの付与による硬化性を有する物質を含む
ことが好ましい。こうすることで、前記インク層にクラ
ックが生じたり、破断するというような転写不良を防止
することができる。前記エネルギーの具体的な例として
は、光、熱あるいは光と熱の双方のいずれかであること
が好ましい。また、それに対する材料としては、具体的
には、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂等が、市販品で
様々な感光剤、硬化剤等を利用できるため好適に用いら
れる。

【００３０】特に、前記インクおよび樹脂の双方が同一
のエネルギーによる硬化性を有するように選定した場合
には、インクを硬化させる前に樹脂を塗布し、双方同時
にエネルギーを付与して同時に硬化させることで強固に
一体化し、剥離の際の転写不良を防ぐことが可能であ
る。

【００３１】また、前記第３工程で、樹脂層の上に光透
過性の補強板を載せる工程を含むようにすれば、カラー
フィルタの強度を向上させることができる。

【００３２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
について図面を参照にして説明する。

【００３３】図２は、本発明の実施形態における画素間
仕切り部位１１を形成する工程の一例を示す図である。

【００３４】具体的には、原盤１０上に画素間仕切り部
位１１を形成する物質の層１７と、さらにその上にレジ
スト層１８を形成する工程（図２（ａ））、パターン露
光を行う工程（図２（ｂ））、現像を行う工程（図２
（ｃ））、エッチングを行う工程（図２（ｄ））、そし
て、レジストを除去する工程（図２（ｅ））、という手
順で形成される。

【００３５】原盤１０は、平坦性を有し、その上に画素
間仕切り部位１１およびインク層１３を形成して、それ
らのなす面を平坦化させるためのもので、ここではシリ
コンウェーハが用いられる。なお、原盤１０は、平坦性
を有するものであれば、シリコンウェーハに限らず、ガ
ラス、石英、樹脂、金属、セラミックなどの基板あるい
はフィルムであってもよい。

【００３６】画素間仕切り部位１１は、製造しようとす
るカラーフィルタの各色の形状または配列に応じて画素
を分割するためのものであり、それによって仕切られた
インク充填用凹部１２に、インクを充填してインク層を
形成する際の混色を防ぎ、かつ、インク層１２の形状を
成形するためのものである。画素間仕切り部位１１を形
成する物質としては、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂
等が好適に用いられる。なお、画素間仕切り部位１１を
形成する物質は、充填するインクの組成物に対してある
程度の耐性を有する物質であれば、上記物質に限らず、
例えば、ポリイミド系樹脂、メラミン系樹脂、ポリオレ
フィン系樹脂、ポリカーボネイト樹脂、ポリエチレンテ
レフタレート系樹脂、シリコン系樹脂、フッ素系樹脂等
の他の樹脂、あるいは、ガラス系、金属系、セラミック
系の材料であってもよい。

【００３７】また、レジスト層１８を形成する物質とし
ては、半導体製造において一般的に用いられるポジ型レ
ジストがある。このポジ型レジストは、例えば、クレゾ
ールノボラック系樹脂と感光剤としてジアゾナフトキノ
ン誘導体を配合したものであり、市販のレジストをその
まま利用できる。ここで、ポジ型のレジストとは、所定
のパターンに応じて露光することにより、露光された領
域が現像液により選択的に除去可能となる物質のことで
ある。本発明では、露光されない領域が現像液により選
択的に除去可能となるネガ型のレジストを利用すること
も可能である。

【００３８】また、エッチングの方法としてはウエット
方式またはドライ方式があるが、画素間仕切り部位に用
いる部材によって、エッチング断面形状、エッチングレ
ート等の観点から最適な方式を選べばよい。制御性の点
からいうとドライ方式の方が優れており、例えば、平行
平板型リアクティブエッチング（ＲＩＥ）方式、誘導結
合型（ＩＣＰ）方式、エレクトロンサイクロトロン共鳴
（ＥＣＲ）方式、ヘリコン波励起方式、マグネトロン方
式、ダウンフロー方式等の装置が利用できる。

【００３９】また、図４に示すように、画素間仕切り部
位に遮光性をもたせて、ＢＭ２３としてしまうことも可
能である。この場合の物質としては、カーボン、黒色顔
料または黒色染料を樹脂に分散させた物質、クロムある
いはその化合物等が好適に用いられる。また、酸化クロ
ムとクロムを積層構造とし、光干渉効果で低反射化させ
ることも可能であるまた、エネルギーを所定のパターン
に応じて付与してやることで、ウエット方式またはドラ
イ方式の現像あるいはエッチングを行うことにより、直
接パターニング可能な物質であれば、図２に示すような
レジスト１８を用いる必要がなく、工程の短縮、低コス
ト化に有利である。

【００４０】また、画素間仕切り部位１１に用いる部材
に導電性を有する物質を用いると、カラーフィルタ上に
透明電極を形成する場合においてシート抵抗が低減し、
透明電極を薄膜化させることが可能となる。

【００４１】画素間仕切り部位１１のパターンは、製造
しようとするカラーフィルタの各色の形状または配列に
応じて形成されるもので、例えば、１０型のＶＧＡ仕様
の液晶表示パネルでは、約１００μｍピッチで、６４０
×４８０×３（色）で９０万画素、つまり約９０万個の
画素間仕切り部位１１で仕切られたインク充填用凹部１
２が形成される。

【００４２】こうして、原盤１０上に画素間仕切り部位
１１を形成した後の工程を図１に示す。図１（ａ）にお
いて、原盤１０の画素間仕切り部位１１により仕切られ
たインク充填用凹部１２に対向させて、インクジェット
方式によりインクを吐出するヘッド１４を配置してあ
る。

【００４３】ヘッド１４は、例えばインクジェットプリ
ンタ用に実用化されたもので、圧電素子を用いたピエゾ
ジェットタイプ、あるいはエネルギー発生素子として電
気熱変換体を用いたバブルジェットタイプ等が使用可能
であり、着色面積および着色パターンは任意に設定する
ことが可能である。

【００４４】例えば、このヘッド１４を、駆動周波数１
４．４ｋＨｚ（１秒間に１４４００回の吐出）で、イン
クを吐出する吐出口を各色２０個ずつ配列し、一つのイ
ンク充填用凹部１２にインクを３滴ずつ吐出するとすれ
ば、約９０万画素の１０型ＶＧＡ仕様のカラーフィルタ
ー用のインク充填用凹部１２にインクを充填するのに要
する時間は、９０万×３滴／（１４４００回×２０個×
３色）＝約３秒となる。ここで、ヘッド１４がインク充
填用凹部１２間を移動する時間を考慮しても、２〜３分
程度で基板にインクを充填することができる。

【００４５】なお、顔料分散法によれば、フォトリソグ
ラフィ法による一色毎の形成時間が最低でも１０分はか
かるため、一枚のカラーフィルター基板において赤イン
クＲ、緑インクＧ、青インクＢ、３色で約３０分以上の
の時間が最低でも必要となる。これと比較すると、本実
施の形態では、インクの充填に２〜３分、その後の樹脂
塗布から剥離までの工程で１〜２分程度の時間で形成可
能であり、従来と比べて短時間でカラーフィルタが形成
できる。

【００４６】図１（ａ）では、ヘッド１４によって、例
えば、Ｒ、Ｇ、Ｂを画素間仕切り部位１１により仕切ら
れたインク充填用凹部１２に吐出して、インク層１３を
形成する様子を示してある。これらに用いるインクは、
色材を含有するエネルギー付与による硬化性を有するも
のでもよい。

【００４７】そして、全てのインク充填用凹部１２にイ
ンクを充填する。インクに溶剤成分を含むものは、熱処
理を行ってインクの溶剤を揮発させる。この熱処理の条
件は、インクに含まれる溶剤成分の沸点等を考慮して決
定される。インクに用いる溶剤成分としては、特に限定
されるものではなく、水あるいは種々の有機溶剤が使用
可能であるが、インク使用中に溶剤が揮発することによ
り、ヘッド１４のインク吐出口やインク流路においてイ
ンクが固化して詰まってしまう。そのため、インクに用
いる溶剤は高沸点のものが望ましい。しかし、一方で
は、溶剤除去の際の妨げにならないよう、高沸点のもの
は望ましくない。溶剤の沸点の範囲としては、望ましく
は８０〜２００℃である。この場合の熱処理条件は、５
０〜２００℃で、ホットプレートを用いた場合は２〜５
分、ベイク炉を用いた場合は２０〜３０分程度行うこと
が望ましい。

【００４８】また、インク層１３は、溶剤を除去すると
収縮するが、収縮後の厚みで必要なカラー濃度が確保で
きるだけのインク量を充填しておくことが必要である。

【００４９】次に、図１（ｂ）に示すように、インク層
１３および画素間仕切り部位１１の上に樹脂層１５を形
成し、さらにその上にガラス基板１６を載せる。

【００５０】樹脂層１５を形成する物質としては、例え
ば、エネルギーを付与することによって硬化し、硬化後
にその樹脂層１５が透明性を有するものであることが必
要である。このような成分としては、例えば、光硬化あ
るいは熱硬化あるいは光及び熱の双方のいずれかにより
硬化可能な成分を含有する樹脂があげられる。具体的に
は、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂等が、市販品で様
々な感光剤、硬化剤等を利用できるため、好適に用いら
れる。

【００５１】このようなエネルギー硬化性を有する樹脂
を、インク層１３および画素間仕切り部位１１の上に塗
布して樹脂層１５を形成する。そして、補強のためのガ
ラス板１６を載せてエネルギーを付与し、ガラス基板１
６に接着するように樹脂層１５を硬化させる。なお、用
途によっては、ガラス基板１６の代わりにフィルムを基
板として用いてもよい。

【００５２】なお、インクおよび樹脂の双方が同一のエ
ネルギーによる硬化性を有するように設定した場合に
は、インクを硬化させる前に樹脂を塗布し、双方同時に
エネルギーを付与して同時に硬化させることで、強固に
一体化させることが可能である。

【００５３】また、前記第３工程で、樹脂層の上に光透
過性の補強板を載せる工程を含むようにすれば、カラー
フィルタの強度を向上させることができる。

【００５４】こうして、前記画素間仕切り部位１１、イ
ンク層１３、樹脂層１５およびガラス基板１６が一体化
すると、これらを原盤１０から剥離して、図１（ｃ）に
示すカラーフィルタの完成品を得ることができる。

【００５５】剥離の際に、前記原盤１０、画素間仕切り
部位１１、インク層１３、樹脂層１５の材質によって
は、原盤１０と画素間仕切り部位１１、インク層１３、
樹脂層１５との密着性が高くなる場合があり、前記第４
工程での剥離の際に、部分的に画素間仕切り部位１１、
インク層１３あるいは樹脂層１５が欠落したり、クラッ
クが発生するというような転写不良が発生することが考
えられる。

【００５６】そこで、原盤１０上に各カラーフィルター
形成部材である画素間仕切り部位１１、インク層１３、
樹脂層１５を形成する前に、予め原盤１０上に離型剤を
塗布することが好ましい。離型剤を塗布する方法として
は、スピンコート法、ディッピング法、スプレーコート
法、ロールコート法、バーコート法等の方法を用いるこ
とが可能である。

【００５７】また、画素間仕切り部位１１、インク層１
３、樹脂層１５を形成する材料に、予め離型剤を添加す
ることが好ましい。

【００５８】また、図５に示すように、各カラーフィル
ター形成部材との密着性が低い材料で離型層２４を形成
することが好ましい。離型層２４を形成する部材として
は、具体的には例えば、前記画素間仕切り部位１１を形
成する部材が樹脂を主体とする場合、さらに具体的に
は、アクリル系樹脂やエポキシ系樹脂等の場合には、ニ
ッケルあるいはクロムおよびそれらの合金、化合物が好
適に用いられる。これらの物質は、スパッタリング、Ｃ
ＶＤ、蒸着等の乾式成膜法で、容易に制御性良く形成す
ることができ、前述の樹脂系に対する密着性があまり高
くないからである。

【００５９】このようなカラーフィルタの製造方法によ
れば、従来のようにカラーフィルタの画素が形成された
面上に段差が生じないため、平坦性に優れた、カラー濃
度にむらのない、高精細のカラーフィルタが安価で得ら
れる。

【００６０】さらに、必要に応じてインク層１３が形成
されている面上にオーバーコート層を形成し、透明電極
及び配向膜を付けて、アレイに装着することになる。

【００６１】

【発明の効果】本発明のカラーフィルタの製造方法によ
れば、従来のようにカラーフィルタの画素が形成された
面上に段差が生じないため、平坦性に優れた、カラー濃
度にむらのない、高精細のカラーフィルタが安価で得ら
れる。

【００６２】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態における画素間仕切り部位
が形成された後の工程を示す図。

【図２】本発明の実施の形態における原盤上に画素間仕
切り部位を形成する工程の一例を示す図。

【図３】従来方法により得られたカラーフィルタの説明
図。

【図４】本発明の実施の形態における遮光性の画素間仕
切り部位を形成した原盤上を示す図。

【図５】本発明の実施の形態における離型層を形成した
原盤を示す図。

【符号の説明】

１０ 原盤 １１ 画素間仕切り部位 １２ インク充填用凹部 １３ インク層 １４ ヘッド １５ 樹脂層 １６ ガラス基板 １７ 画素間仕切り部位を形成する材料により形成され
た層 １８ レジスト １９ 露光領域 ２０ マスク ２１ 放射線 ２２ エッチャント ２３ ブラックマトリクス ２４ 離型層

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小島 勝 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイコ ーエプソン株式会社内

Claims (17)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】原盤上に所定のパターンに応じて画素間仕
   切り部位を形成する第１工程と、 前記画素間仕切り部位に仕切られた、それぞれのインク
   充填用凹部に、予め設定された色のインクを充填してイ
   ンク層を形成する第２工程と、 前記インクの充填された原盤上に樹脂を塗布し、光透過
   性を有する樹脂層を形成する第３工程と、 前記インク層、画素間仕切り部位及び樹脂層を、固化後
   に一体的に前記原盤から剥離する第４工程と、 を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
2. 【請求項２】請求項１に記載のカラーフィルタの製造方
   法において、 前記画素間仕切り部位は、遮光性を有することを特徴と
   するカラーフィルタの製造方法。
3. 【請求項３】請求項２に記載のカラーフィルタの製造方
   法において、 前記遮光性を有する画素間仕切り部位は、クロムあるい
   はその化合物からなることを特徴とするカラーフィルタ
   の製造方法。
4. 【請求項４】請求項２に記載のカラーフィルタの製造方
   法において、 前記遮光性を有する画素間仕切り部位は、カーボン、黒
   色顔料または染料の少なくとも一方を含む樹脂からなる
   ことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
5. 【請求項５】請求項１に記載のカラーフィルタの製造方
   法において、 前記画素間仕切り部位は、導電性を有することを特徴と
   するカラーフィルタの製造方法。
6. 【請求項６】請求項１から請求項５のいずれかに記載の
   カラーフィルタの製造方法において、 前記第２工程で、前記インクをインクジェット方式によ
   って充填することを特徴とするカラーフィルタの製造方
   法。
7. 【請求項７】請求項１から請求項６のいずれかに記載の
   カラーフィルタの製造方法において、 前記第１工程で、前記原盤の前記インク層を形成する面
   に、離型剤を付けてから前記画素間仕切り部位を形成す
   ることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
8. 【請求項８】請求項１から請求項６のいずれかに記載の
   カラーフィルタの製造方法において、 前記第１工程で形成される画素間仕切り部位を形成する
   部材は、離型剤が添加されていることを特徴とするカラ
   ーフィルタの製造方法。
9. 【請求項９】請求項１から請求項６のいずれかに記載の
   カラーフィルタの製造方法において、 前記第２工程で充填されるインクは、離型剤が添加され
   ていることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
10. 【請求項１０】請求項１から請求項６のいずれかに記載
    のカラーフィルタの製造方法において、 前記第３で塗布する樹脂は、離型剤が添加されているこ
    とを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
11. 【請求項１１】請求項１から請求項６５のいずれかに記
    載のカラーフィルタの製造方法において、 前記原盤の前記インク層を形成する面に、前記インク
    層、画素間仕切り部位および樹脂層との密着性の低い材
    質からなる離型層が形成されていることを特徴とするカ
    ラーフィルタの製造方法。
12. 【請求項１２】請求項１から請求項１１のいずれかに記
    載のカラーフィルタの製造方法において、 前記第２工程で、前記インク充填用凹部に充填された前
    記インクを熱処理して溶剤成分を揮発させて色材を残す
    工程を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方
    法。
13. 【請求項１３】請求項１から請求項１２のいずれかに記
    載のカラーフィルタの製造方法において、 前記第２工程で充填されるインクは、エネルギーの付与
    による硬化性を有する物質を含むことを特徴とするカラ
    ーフィルタの製造方法。
14. 【請求項１４】前記エネルギーは、光、熱あるいは光と
    熱の双方のいずれかであることを特徴とする請求項１３
    に記載のカラーフィルタの製造方法。
15. 【請求項１５】請求項１から請求項１４のいずれかに記
    載のカラーフィルタの製造方法において、 前記第３で塗布する樹脂は、エネルギーの付与による硬
    化性を有する物質であることを特徴とするカラーフィル
    タの製造方法。
16. 【請求項１６】前記エネルギーは、光、熱あるいは光と
    熱の双方のいずれかであることを特徴とする請求項１５
    に記載のカラーフィルタの製造方法。
17. 【請求項１７】請求項１から請求項１６のいずれかに記
    載のカラーフィルタの製造方法において、 前記第３工程で、樹脂層上に光透過性を有する補強板を
    載せる工程を含むことを特徴とするカラーフィルタの製
    造方法。