JPH0926508A - カラーフィルターおよびその製造方法ならびに液晶パネル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高信頼性のカラーフィルターを短い工程で低
コストにて製造し、高信頼性の液晶パネルを得る。 【解決手段】 基板上に樹脂組成物層を形成し、その樹
脂組成物層の所定の部分をパターン露光して、インクヌ
レ性および／またはインク吸収性が相対的に高い着色部
となるべき部分を形成し、その部分にインクジェット方
式でＲＧＢの着色を行って、カラーフィルターの着色部
を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はカラーテレビ、パー
ソナルコンピューター等に使用されるカラー液晶ディス
プレイに好適なカラーフィルターの製造方法に関し、特
にインクジェット記録技術を利用したカラーフィルター
の製造方法に関する。また本発明は、インクジェット記
録技術を利用して製造されたカラーフィルターおよびそ
のカラーフィルターを具備する液晶パネルに関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、パーソナルコンピューターの発
達、特に携帯用パーソナルコンピューターの発達に伴
い、液晶ディスプレイ、特にカラー液晶ディスプレイの
需要が増加する傾向にある。しかしながら、さらなる普
及のためにはコストダウンが必要であり、特にコスト的
に比重の大きいカラーフィルターのコストダウンに対す
る要求が高まっている。

【０００３】従来から、カラーフィルターの要求特性を
満足しつつ上記の要求に応えるべく種々の方法が試みら
れているが、いまだすべての要求特性を満足する方法は
確立されていない。以下にそれぞれの方法について説明
する。

【０００４】第一の方法は染色法である。染色法は、ま
ずガラス基板上に染色用の材料である水溶性高分子材料
の層を形成し、これをフォトリソグラフィー工程により
所望の形状にパターニングした後、得られたパターンを
染色浴に浸漬して着色されたパターンを得る。これを３
回繰り返すことによりＲ、Ｇ、Ｂのカラーフィルター層
を形成する。

【０００５】第二の方法は顔料分散法であり、近年染色
法に取って変わりつつある。この方法は、まず基板上に
顔料を分散した感光性樹脂層を形成し、これをパターニ
ングすることにより単色のパターンを得る。さらにこの
工程を３回繰り返すことによりＲ、Ｇ、Ｂのカラーフィ
ルター層を形成する。

【０００６】第三の方法としては電着法がある。この方
法は、まず基板上に透明電極をパターニングし、顔料、
樹脂、電解液等の入った電着塗装液に浸漬して第一の色
を電着する。この工程を３回繰り返してＲ、Ｇ、Ｂのカ
ラーフィルター層を形成し．最後に焼成するものであ
る。

【０００７】第四の方法としては、熱硬化型の樹脂に顔
料を分散させ、印刷を３回繰り返すことによりＲ、Ｇ、
Ｂを塗り分けた後、樹脂を熱硬化させることにより着色
層を形成するものである。また、いずれの方法において
も着色層上に保護層を形成するのが一般的である。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の方法に共通している点は、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色を着色す
るために同一の工程を３回繰り返す必要があり、コスト
高になることである。また、工程が多いほど歩留りが低
下するという問題を有している。さらに、電着法におい
ては、形成可能なパターン形状が限定されるため、現状
の技術ではストライプパターン以外には適用困難であ
る。また、印刷法は、解像性が悪いためファインピッチ
のパターンの形成には不向きである。

【０００９】これらの欠点を補うべくインクジェットを
用いたカラーフィルターの製造方法として、特開昭５９
−７５２０５、特開昭６３−２３５９０１、特開平１−
２１７３２０等に提案があるが、いまだ不十分である。

【００１０】また、カラーフィルターに用いられている
ブラックマトリクスとしては、従来１０００Å程度のク
ロム等の金属薄膜を格子状にパターニングしたものが用
いられている。しかしながら、近年コストダウン、ある
いは液晶パネル表面における反射率を低下させ、より見
やすくする目的で、黒色の着色剤を用いる樹脂性ブラッ
クマトリクスの使用が検討されている。

【００１１】ここで用いられる樹脂性ブラックマトリク
スは、十分な遮光性を得るためには１μｍ程度の膜厚を
必要とする。そのため、インクジェット方式を用いたカ
ラーフィルターの製造に適用した場合、図２に示すよう
にブラックマトリクスによって生じた段差により、イン
ク受容層に膜厚ムラが生じ、画素内において着色ムラが
生じるという問題がある。

【００１２】従って本発明の目的は、これら従来法の有
する問題を解決し、耐熱性、耐溶剤性、解像性等におけ
る必要特性を満足する高信頼性のカラーフィルターを短
い工程で低コストにて製造する製造方法ならびに高信頼
性のカラーフィルターおよび液晶パネルを提供すること
にある。特に、従来用いられている金属製ブラックマト
リクスに代る樹脂製ブラックマトリクスを、インクジェ
ットによるカラーフィルターの製造に適用する際に有効
なカラーフィルターの製造方法を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は、透光性基板上
に、分光特性の異なる複数の着色部材と、遮光部材とを
選択的に配して構成するカラーフィルターの製造方法で
あって、前記基板上に樹脂組成物層を形成する工程、前
記樹脂組成物層を選択的に改質させて第１の領域と第２
の領域を形成する工程、前記第１の領域上にインクジェ
ット法を用いてインク吐出させ前記着色部材を配した
後、前記樹脂組成物層を硬化させる工程、および前記第
２の領域上に前記遮光部材を配する工程、を有すること
を特徴とするカラーフィルターの製造方法；その方法で
製造されるカラーフィルター；ならびに、そのカラーフ
ィルターと該フィルターに対向する基板を有し、両基板
間に液晶化合物が封入されている液晶パネルを提供す
る。

【００１４】なお、前記樹脂組成物層の改質は、インク
ヌレ性および／またはインク吸収性を変化させることで
行うことが可能であり、前記樹脂組成物層の硬化は、光
照射および／または熱処理によって行うことができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下の本発明を図面を用いて説明
する。

【００１６】図１は、本発明のカラーフィルターの製造
方法の１実施態様を示す工程図である。

【００１７】本発明のカラーフィルターの製造方法にお
いては、透光性基板として一般にガラス基板が用いられ
るが、カラーフィルターとしての透明性、機械的強度等
の必要特性を有するものであればガラス基板に限定され
るものではない。

【００１８】最初に、基板上に部分的に改質可能な樹脂
組成物層を形成する（図１（ａ））。このような樹脂組
成物の例としては、光照射または光照射と熱処理により
光照射部分のインクヌレ性および／またはインク吸収性
が高くなるものが挙げられる。樹脂組成物層を形成した
ら、必要に応じてプリベークを行うこともできる。なお
ここでは、樹脂組成物層を反応させるのに光照射のみに
よるものについて説明するが、光照射と熱処理の併用に
よって反応する樹脂組成物であっても問題はない。ま
た、樹脂層の形成にはスピンコート、ロールコート、バ
ーコート、スプレーコート、ディップコート等の塗布方
法を用いることができ、特に限定されるものではない。
また、基板上に形成される樹脂組成物の膜厚は任意に設
定することができるが、インクジェット方式を用いて均
一に着色するためには、０．４μｍ〜２μｍとすること
が好ましい。

【００１９】次いで、着色されるべき部分の樹脂組成物
層をあらかじめパターン露光を行うことにより反応させ
た後（図１（ｂ））、インクジェット法を用いて、分光
特性の異なる複数の着色部材、例えばＲ、Ｇ、Ｂの各色
のインクを吐出させて着色し（図１（ｃ））、必要に応
じてインク乾燥を行う。パターン露光の際のフォトマス
クとしては、着色部の樹脂組成物層を露光するための開
口部を有するものを使用することができる。この際、遮
光部材、例えばブラックマトリクスと着色部の境界部に
おける色抜けを防止するために多めのインクを吐出する
必要があることを考慮すると、ブラックマトリクスの遮
光幅よりも狭い遮光部を有するマスクを用いることが好
ましい。

【００２０】また、着色に用いるインクとしては、色素
系、顔料系共に用いることが可能である。さらにインク
ジェット装置としては、エネルギー発生素子として電気
熱変換体を用いたいわゆるバブルジェットタイプ、ある
いは圧電素子を用いたピエゾジェットタイプ等が使用可
能であり、着色面積および着色パタ−ンは任意に設定す
ることができる。

【００２１】次いで、着色された樹脂組成物を硬化させ
る（図１（ｄ））。これには、光照射および／または熱
処理を採用することができる。その後、非着色領域上に
ブラックマトリクス等の遮光部材を配する。これは、例
えば次の工程により行うことができる。着色された樹脂
組成物上に黒色レジスト層を形成し（図１（ｅ））、ブ
ラックマトリクス形成用のフォトマスクを介して露光し
た後（図１（ｆ））、現像処理を行ってブラックマトリ
クスを形成する（図１（ｇ））。黒色レジスト層の形成
には、スピンコート、ロールコート、バーコート、スプ
レーコート、ディップコート等の塗布方法を用いること
ができ、特に限定されるものではない。また、黒色レジ
ストとしては、染料あるいは顔料を溶解あるいは分散し
たネガ型のレジストを用いることが好ましいが、これら
に限定されるものではない。また、ここでは黒色レジス
トを用いたブラックマトリクスの形成方法を示している
が、ブラックマトリクスは、通常のレジストをパターニ
ングした後、黒色の着色剤を含有する組成物層をレジス
トパターン上に形成し、リフトオフを行って形成しても
よい。

【００２２】また、遮光性と段差を考慮した場合、好適
なカラーフィルターを得るには、形成される遮光部材の
厚さは、樹脂組成物層の膜厚をｄ₁、遮光部材の厚さを
ｄ₂とすると、下記式の関係が成立することが好まし
い。

【００２３】

【数２】０．５＜ｄ₂／ｄ₁＜５ 次いで、必要に応じて熱処理または光照射等を行って遮
光部材を硬化させた後、遮光部材上に保護層を形成し、
遮光部材により生じた差を平坦化する（図１（ｈ））。
なお、ここでは保護層のみにより段差を平坦化する例を
示すが、段差の平坦化には、平坦性に優れた平坦化層を
使用し、その上に保護層を形成したものであっても問題
はない。保護層および平坦化層としては、光硬化タイ
プ、熱硬化タイプあるいは光熱併用タイプの樹脂材料、
蒸着、スパッタ等によって形成された無機膜等を用いる
ことができ、カラーフィルターとした場合の透明性を有
し、その後のＩＴＯ形成プロセス等に耐え得るものであ
れば使用可能である。

【００２４】図３は、本発明のカラーフィルターの製造
方法の別の実施態様を示す工程図である。

【００２５】ここで示した例は、選択的に改質される樹
脂組成物層が、光照射または光照射と熱処理により光照
射部分のインクヌレ性および／またはインク吸収性が低
下するものである点が、図１に示した例とは異なる。こ
のような樹脂組成物を塗布し、必要に応じてプリベーク
を行って樹脂組成物層を形成する（図３（ａ））。

【００２６】基板上に形成される樹脂組成物の膜厚は、
任意に設定することができるが、インクジェット方式を
用いて均一に着色するためには、０．４μｍ〜２μｍと
することが好ましい。

【００２７】次いで、後述のように形成されるブラック
マトリクス等の遮光部材によって遮光されるべき部分の
樹脂組成物層をあらかじめパターン露光を行うことによ
り反応させた後（図３（ｂ））、インクジェット法を用
いて例えばＲ、Ｇ、Ｂの各色を着色し（図３（ｃ））、
必要に応じてインク乾燥を行う。

【００２８】次いで、光照射および／または熱処理を行
って着色された樹脂組成物を硬化させる（図３
（ｄ））。その後、着色された樹脂組成物上に黒色レジ
スト層を形成し（図３（ｅ））、ブラックマトリクス形
成用のフォトマスクを介して露光した後（図３
（ｆ））、現像処理を行ってブラックマトリクスを形成
する（図３（ｇ））。

【００２９】次いで、必要に応じて熱処理または光照射
等を行ってブラックマトリクスを硬化した後、ブラック
マトリクス上に保護層を形成し、ブラックマトリクスに
より生じた差を平坦化する（図３（ｈ））。

【００３０】

【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。

【００３１】（実施例１）ガラス基板上に、メチルフェ
ニルポリシランを膜厚１μｍとなるようスピンコート
し、９０℃で２０分間のプリベークを行って樹脂組成物
層を形成した。

【００３２】次いで、後で形成するブラックマトリクス
の幅よりも狭い遮光部を有するフォトマスクを介して着
色されるべき部分の樹脂組成物層をパターン露光し、露
光部に対してインクジェットプリンターを用いてＲ、
Ｇ、Ｂの染料インクにより着色した後、９０℃で１０分
間のインク乾燥を行った。引き続き２３０℃で３０分間
の熱処理を行って、着色された樹脂組成物層を硬化させ
た。

【００３３】次に、樹脂組成物層上にネガ型の黒色レジ
ストＶ−２５９ＢＫ（商品名：新日鉄化学製）を膜厚１
μｍとなるようにスピンコートし、９０℃で２０分間の
プリベークを行って、黒色レジスト層を形成した。次い
で、ブラックマトリクス用のフォトマスクを介して露光
し、現像処理を行った後、２００℃で３０分間の熱処理
を行ってパターニングされた黒色レジストを硬化させ、
ブラックマトリクスを形成した。引き続き、ブラックマ
トリクス上に、二液型の熱硬化型樹脂組成物オプトマー
ＳＳ６５００（商品名；日本合成ゴム製）を膜厚２μｍ
となるようスピンコートし、９０℃で３０分間のプリベ
ークを行って保護層を形成した。次いで、２３０℃で６
０分間の熱処理を行って保護層を硬化させることによっ
て、カラーフィルターを作製した。

【００３４】このようにして作製されたカラーフィルタ
ーの保護層面の凹凸は０．３μｍであった。また、光学
顕微鏡によって観察したところ、混色、色ムラ、色抜け
等の障害は認められなかった。

【００３５】さらに、そのカラーフィルターを用いてＴ
ＦＴ液晶パネルを作製し、駆動したところ、高精細なカ
ラー表示が可能であった。

【００３６】（実施例２）実施例１と同様にして得た着
色された樹脂組成物層上に、ポジ型フォトレジストＯＦ
ＰＲ−８００（商品名：東京応化工業製）を膜厚１μｍ
となるよう形成し、実施例１で用いたものと同様のブラ
ックマトリクス用フォトマスクを用いて露光し、現像処
理を行った後、９０℃で２０分間の乾燥を行ってレジス
トパターンを形成した。引き続き、レジストパターン上
に黒色塗料ヒタゾルＬＣＤ−ＢＭ（商品名：日立粉末冶
金製）を膜厚１μｍとなるよう塗布し、水酸化ナトリウ
ム水溶液中に浸漬して、レジストパターンを剥離するこ
とにより、ブラックマトリクスを形成した。

【００３７】次いで、二液型の熱硬化型樹脂組成物オプ
トマーＳＳ−６６８８（商品名；日本合成ゴム製）を膜
厚２μｍとなるようスピンコートし、９０℃で３０分間
のプリベークを行って保護層を形成した。次いで、２３
０℃で３０分間の熱処理を行って保護層を硬化させるこ
とによって、カラーフィルターを作製した。

【００３８】このようにして作製されたカラーフィルタ
ーの保護層面の凹凸は０．３μｍであった。また、光学
顕微鏡によって観察したところ、混色、色ムラ、色抜け
等の障害は認められなかった。

【００３９】さらに、そのカラーフィルターを用いてＴ
ＦＴ液晶パネルを作製し、駆動したところ、高精細なカ
ラー表示が可能であった。

【００４０】（実施例３）実施例１と同様にして形成し
たブラックマトリクス上に、平坦化層として熱硬化性樹
脂組成物Ｖ−２５９ＰＨ（商品名：新日鉄化学製）を膜
厚１μｍとなるようスピンコートし、９０℃で２０分
間、１５０℃で３０分間、２３０℃で６０分間の連続し
た熱処理を施して、平坦化層を硬化させた。

【００４１】次いで、二液型の熱硬化型樹脂組成物オプ
トマーＳＳ６５００（商品名；日本合成ゴム製）を膜厚
１μｍとなるよう塗布し、実施例１と同様にして硬化さ
せた。

【００４２】このようにして作製されたカラーフィルタ
ーの保護層面の凹凸は０．１μｍであった。また、光学
顕微鏡によって観察したところ、混色、色ムラ、色抜け
等の障害は認められなかった。

【００４３】さらに、そのカラーフィルターを用いてＴ
ＦＴ液晶パネルを作製し、駆動したところ、高精細なカ
ラー表示が可能であった。

【００４４】（比較例１）ガラス基板上に、実施例１で
用いたものと同じ黒色レジストを膜厚１μｍとなるよう
に塗布し、ブラックマトリクス用のフォトマスクを介し
て、露光、現像し、ブラックマトリクスを形成した。

【００４５】次いで、ブラックマトリクス上に、実施例
１で用いたものと同じメチルフェニルポリシランを膜厚
１μｍとなるようスピンコートし、９０℃で２０分間の
プリベークを行って樹脂組成物層を形成した。この時の
樹脂組成物層表面における凹凸は、０．６μｍであっ
た。

【００４６】次いで、実施例１に用いたものと同じフォ
トマスクを介してブラックマトリクス上の樹脂層の一部
をパターン露光し、露光部に対してインクジェットプリ
ンターを用いてＲ、Ｇ、Ｂの染料インクにより着色した
後、９０℃で１０分間のインク乾燥を行った。引き続き
２３０℃で３０分間の熱処理を行って、着色された樹脂
組成物層を硬化させた。

【００４７】次に、二液型の熱硬化型樹脂組成物オプト
マーＳＳ−６６８８（商品名；日本合成ゴム製）を膜厚
２μｍとなるようスピンコートし、９０℃で３０分間の
プリベークを行って保護層を形成した。次いで、２３０
℃で６０分間の熱処理を行って保護層を硬化させること
によって、カラーフィルターを作製した。この時の保護
層表面における凹凸は０．３μｍであった。

【００４８】このようにして作製されたカラーフィルタ
ーを光学顕微鏡によって観察したところ、各着色画素内
の中心部付近が色が薄く、周辺部が色が濃くなる色ムラ
が認められた。

【００４９】（実施例３）ガラス基板上に、表１に示す
組成からなるアクリル系共重合体９７重量部およびトリ
フェニルスルフォニウムトリフラート３重量部をエチル
セロソルブに溶解してなる樹脂組成物を、膜厚１μｍと
なるようスピンコートし、５０℃で１０分間のプリベー
クを行って樹脂組成物層を形成した。

【００５０】

【表１】 次いで、後に形成するブラックマトリクスの幅よりも狭
い開口部を有するフォトマスクを介してブラックマトリ
クスの形成されるべき部分の樹脂層の一部をパターン露
光し、さらに１２０℃のホットプレート上で１分間の熱
処理を施した。次いで、未露光部に対して、インクジェ
ットプリンターを用いてＲ、Ｇ、Ｂの染料インクにより
着色した後、９０℃で１０分間のインク乾燥を行った。
引き続き２３０℃で３０分間の熱処理を行って樹脂組成
物層を硬化させた。

【００５１】次に、硬化した樹脂組成物層上にネガ型の
黒色レジストＶ−２５９ＢＫ（商品名：新日鉄化学製）
を膜厚１μｍとなるようにスピンコートし、９０℃で２
０分間のプリベークを行って、黒色レジスト層を形成し
た。次いで、ブラックマトリクス用のフォトマスクを介
して露光し、現像処理を行った後、２００℃で３０分間
の熱処理を行ってパターニングされた黒色レジストを硬
化させ、ブラックマトリクスを形成した。引き続き、ブ
ラックマトリクス上に、二液型の熱硬化型樹脂組成物オ
プトマーＳＳ６５００（商品名；日本合成ゴム製）を膜
厚２μｍとなるようスピンコートし、９０℃で３０分間
のプリベークを行って保護層を形成した。次いで、２３
０℃で６０分間の熱処理を行って保護層を硬化させるこ
とによって、カラーフィルターを作製した。

【００５２】このようにして作製されたカラーフィルタ
ーの保護層面の凹凸は０．３μｍであった。また、光学
顕微鏡によって観察したところ、混色、色ムラ、色抜け
等の障害は認められなかった。

【００５３】さらに、そのカラーフィルターを用いてＴ
ＦＴ液晶パネルを作製し、駆動したところ、高精細なカ
ラー表示が可能であった。

【００５４】（実施例４）ガラス基板上に、表２に示す
組成からなるアクリル系共重合体９７重量部およびトリ
フェニルスルフォニウムトリフラート３重量部をエチル
セロソルブに溶解してなる樹脂組成物を、膜厚１μｍと
なるようスピンコートし、５０℃で１０分間のプリベー
クを行って樹脂組成物層を形成した。

【００５５】

【表２】 次いで、実施例３と同じフォトマスクを介してブラック
マトリクスの形成されるべき部分の樹脂層の一部をパタ
ーン露光し、さらに１２０℃のホットプレート上で１分
間の熱処理を施した。次いで、未露光部に対して、イン
クジェットプリンターを用いてＲ、Ｇ、Ｂの染料インク
により着色した後、９０℃で１０分間のインク乾燥を行
った。引き続き２３０℃で３０分間の熱処理を行って樹
脂組成物層を硬化させた。

【００５６】次に、硬化した樹脂組成物層上にポジ型フ
ォトレジストＯＦＰＲ−８００（商品名：東京応化工業
製）を膜厚１μｍとなるように形成し、実施例３で用い
たものと同様のブラックマトリクス用フォトマスクを介
して露光し、現像処理を行った後、９０℃で２０分間の
乾燥を行って、レジストパターンを形成した。引き続
き、レジストパターン上に黒色塗料ヒタゾルＬＣＤ−Ｂ
Ｍ（商品名：日立粉末冶金製）を膜厚１μｍとなるよう
塗布し、１００℃で２０分間の乾燥を行った後、水酸化
ナトリウム水溶液中に浸漬して、レジストパターンを剥
離することにより、ブラックマトリクスを形成した。

【００５７】次いで、二液型の熱硬化型樹脂組成物オプ
トマーＳＳ−６６８８（商品名；日本合成ゴム製）を膜
厚２μｍとなるようスピンコートし、９０℃で３０分間
のプリベークを行って保護層を形成した。次いで、２３
０℃で６０分間の熱処理を行って保護層を硬化させるこ
とによって、カラーフィルターを作製した。

【００５８】このようにして作製されたカラーフィルタ
ーの保護層面の凹凸は０．３μｍであった。また、光学
顕微鏡によって観察したところ、混色、色ムラ、色抜け
等の障害は認められなかった。

【００５９】さらに、そのカラーフィルターを用いてＴ
ＦＴ液晶パネルを作製し、駆動したところ、高精細なカ
ラー表示が可能であった。

【００６０】（実施例５）実施例３と同様にして形成さ
れたブラックマトリクス上に、平坦化層として熱硬化性
樹脂組成物Ｖ−２５９ＰＨ（商品名：新日鉄化学製）を
膜厚１μｍとなるようスピンコートし、９０℃で２０分
間、１５０℃で３０分間、２３０℃で６０分間の連続し
た熱処理を施して平坦化層を硬化させた。次いで、二液
型の熱硬化性樹脂組成物オプトマーＳＳ６５００（商品
名；日本合成ゴム製）を膜厚１μｍとなるよう塗布し、
実施例３と同様に硬化させた。

【００６１】このようにして作製されたカラーフィルタ
ーの保護層面の凹凸は０．１μｍであった。また、光学
顕微鏡によって観察したところ、混色、色ムラ、色抜け
等の障害は認められなかった。

【００６２】さらに、そのカラーフィルターを用いてＴ
ＦＴ液晶パネルを作製し、駆動したところ、高精細なカ
ラー表示が可能であった。

【００６３】（比較例２）ガラス基板上に、実施例３で
用いたものと同じ黒色レジストを膜厚１μｍとなるよう
に塗布し、ブラックマトリクス用のフォトマスクを介し
て、露光、現像し、ブラックマトリクスを形成した。

【００６４】次いで、ブラックマトリクス上に、実施例
３で用いたものと同じ樹脂組成物を膜厚１μｍとなるよ
うスピンコートし、５０℃で１０分間のプリベークを行
って樹脂組成物層を形成した。

【００６５】次いで、実施例３に用いたものと同じフォ
トマスクを介してブラックマトリクス上の樹脂層の一部
をパターン露光し、さらに１２０℃のホットプレート上
で１分間の熱処理を施した。次いで、未露光部に対して
インクジェットプリンターを用いてＲ、Ｇ、Ｂの染料イ
ンクにより着色した後、９０℃で１０分間のインク乾燥
を行った。引き続き２３０℃で３０分間の熱処理を行っ
て、着色された樹脂組成物層を硬化させた。

【００６６】次に、二液型の熱硬化型樹脂組成物オプト
マーＳＳ−６６８８（商品名；日本合成ゴム製）を膜厚
２μｍとなるようスピンコートし、９０℃で３０分間の
プリベークを行って保護層を形成した。次いで、２３０
℃で６０分間の熱処理を行って保護層を硬化させること
によって、カラーフィルターを作製した。

【００６７】このようにして作製されたカラーフィルタ
ーを光学顕微鏡によって観察したところ、各着色画素内
の中心部付近が色が薄く、周辺部が色が濃くなる色ムラ
が認められた。

【００６８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明により、樹
脂性ブラックマトリクスをインクジェット方式で形成し
てカラーフィルターを製造する場合に、混色、色ムラ、
色抜け等の障害のない高信頼性のカラーフィルターを安
価に製造することができ、高信頼性の液晶パネルを得る
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のカラーフィルター製造方法の１実施態
様を示す工程図である。

【図２】樹脂性ブラックマトリクスを用いて製造される
カラーフィルターにおける障害の例を示す模式的断面図
である。

【図３】本発明のカラーフィルター製造方法の別の実施
態様を示す工程図である。

【符号の説明】

１ 基板 ２ 樹脂組成物層 ３ フォトマスク ４ インクジェットヘッド ５ 黒色レジスト ６ フォトマスク ７ ブラックマトリクス ８ 保護層

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 塩田 昭教 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内

Claims (15)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 透光性基板上に、分光特性の異なる複数
   の着色部材と、遮光部材とを選択的に配して構成するカ
   ラーフィルターの製造方法であって、 前記基板上に樹脂組成物層を形成する工程、 前記樹脂組成物層を選択的に改質させて第１の領域と第
   ２の領域を形成する工程、 前記第１の領域上にインクジェット法を用いてインクを
   吐出させ前記着色部材を配した後、前記樹脂組成物層を
   硬化させる工程、および前記第２の領域上に前記遮光部
   材を配する工程、を有することを特徴とするカラーフィ
   ルターの製造方法。
2. 【請求項２】 前記樹脂組成物層の改質は、インクヌレ
   性および／またはインク吸収性を変化させるものである
   請求項１記載のカラーフィルターの製造方法。
3. 【請求項３】 前記樹脂組成物層の硬化は、光照射およ
   び／または熱処理によりなされる請求項１記載のカラー
   フィルターの製造方法。
4. 【請求項４】 前記遮光部材は、ブラックマトリクスを
   構成する請求項１記載のカラーフィルターの製造方法。
5. 【請求項５】 前記ブラックマトリクスは、黒色レジス
   トを用いて構成される請求項４記載のカラーフィルター
   の製造方法。
6. 【請求項６】 前記ブラックマトリクスの形成にフォト
   リソグラフィーを用いる請求項４記載のカラーフィルタ
   ーの製造方法。
7. 【請求項７】 前記ブラックマトリクスの形成に、リフ
   トオフを用いる請求項４記載のカラーフィルターの製造
   方法。
8. 【請求項８】 前記樹脂組成物層の層厚を０．４μｍ〜
   ２．０μｍとする請求項１記載のカラーフィルターの製
   造方法。
9. 【請求項９】 前記樹脂組成物層の層厚をｄ₁、前記遮
   光部材の厚さをｄ₂としたとき、下記式の関係が成り立
   つ請求項１記載のカラーフィルターの製造方法。 【数１】０．５＜ｄ₂／ｄ₁＜５
10. 【請求項１０】 前記第２の領域の幅が前記遮光部材の
    幅より狭い請求項１記載のカラーフィルターの製造方
    法。
11. 【請求項１１】 前記遮光部材が形成された基板上に保
    護層を形成する請求項１記載のカラーフィルターの製造
    方法。
12. 【請求項１２】 前記遮光部材が形成された基板上に平
    坦化層を形成する請求項１記載のカラーフィルターの製
    造方法。
13. 【請求項１３】 前記遮光部材が形成された基板上に保
    護層および平坦化層を形成する請求項１１または１２記
    載のカラーフィルターの製造方法。
14. 【請求項１４】 請求項１ないし１３のいずれかに記載
    の方法により製造されたカラーフィルター。
15. 【請求項１５】 請求項１４記載のカラーフィルターと
    該フィルターに対向する基板を有し、両基板間に液晶化
    合物が封入されている液晶パネル。