JPH11348261A - 液体噴射記録ヘッドにおける液体吐出状態検査方法および液体吐出状態検査装置 - Google Patents
液体噴射記録ヘッドにおける液体吐出状態検査方法および液体吐出状態検査装置Info
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- JPH11348261A JPH11348261A JP10178070A JP17807098A JPH11348261A JP H11348261 A JPH11348261 A JP H11348261A JP 10178070 A JP10178070 A JP 10178070A JP 17807098 A JP17807098 A JP 17807098A JP H11348261 A JPH11348261 A JP H11348261A
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- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/17—Ink jet characterised by ink handling
- B41J2/195—Ink jet characterised by ink handling for monitoring ink quality
Abstract
(57)【要約】
【課題】 天板に吐出口を加工形成した直後に、該天板
から吐出される液体の吐出方向を短時間で検査し、その
検査結果に応じて吐出口加工工程に直ちに補正値をフィ
ードバックすることができるようにした液体噴射記録ヘ
ッドにおける液体吐出状態検査検査方法および検査装置
を提供する。 【解決手段】 移動ステージ９に搭載された液体槽１内
に吐出口１２が形成された天板１０を天板固定機構２０
により固定するとともに液体槽１内に液体７を注入し、
その後、圧縮空気を供給して吐出口のメニスカスを打ち
破って連続した流出状態を形成する圧力を液体７にか
け、吐出口１２から液体を連続的に流出させ、その流水
束１３を観察測定系３０により観察測定し、液体の吐出
方向および吐出角度を検査し測定する。その検査結果に
応じて吐出口加工工程に直ちにフィードバックし、吐出
口形成角度が正規値となるように調整して加工する。
から吐出される液体の吐出方向を短時間で検査し、その
検査結果に応じて吐出口加工工程に直ちに補正値をフィ
ードバックすることができるようにした液体噴射記録ヘ
ッドにおける液体吐出状態検査検査方法および検査装置
を提供する。 【解決手段】 移動ステージ９に搭載された液体槽１内
に吐出口１２が形成された天板１０を天板固定機構２０
により固定するとともに液体槽１内に液体７を注入し、
その後、圧縮空気を供給して吐出口のメニスカスを打ち
破って連続した流出状態を形成する圧力を液体７にか
け、吐出口１２から液体を連続的に流出させ、その流水
束１３を観察測定系３０により観察測定し、液体の吐出
方向および吐出角度を検査し測定する。その検査結果に
応じて吐出口加工工程に直ちにフィードバックし、吐出
口形成角度が正規値となるように調整して加工する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被記録媒体に対し
て液体を飛翔させて記録を行なうプリンター、複写機、
ファクシミリ、ワードプロセッサ等の装置に搭載される
液体噴射記録ヘッドにおける液体吐出状態を検査する液
体吐出状態検査方法およびその検査に用いられる液体吐
出状態検査装置に関するものである。
て液体を飛翔させて記録を行なうプリンター、複写機、
ファクシミリ、ワードプロセッサ等の装置に搭載される
液体噴射記録ヘッドにおける液体吐出状態を検査する液
体吐出状態検査方法およびその検査に用いられる液体吐
出状態検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の液体噴射記録装置に使用される液
体噴射記録ヘッドは、インク等の記録液を吐出する微細
な吐出口（オリフィス）、吐出口に連通した液流路およ
びこの液流路内に位置付けられた吐出エネルギー発生素
子を備え、吐出エネルギー発生素子に記録情報に対応し
た駆動信号を印加し、吐出エネルギー発生素子に対応す
る液流路内の記録液に吐出エネルギーを付与することに
よって、吐出口から記録液を液滴として吐出させて記録
を行なうように構成されており、熱エネルギーを利用し
て微小液滴を吐出させるもの、あるいは電気機械変換体
を利用したもの、またこれらの複合体を利用して記録液
を吐出させるもの等が知られている。これらの中でも、
熱エネルギーを利用して記録液を吐出させる液体噴射記
録ヘッドは、記録用の液滴を吐出して飛翔用液滴を形成
するための記録液吐出口を高密度に配列することができ
るために、高解像度の記録をすることが可能であるほ
か、全体的にコンパクト化も容易であるなどの利点があ
り、既に実用化されている。
体噴射記録ヘッドは、インク等の記録液を吐出する微細
な吐出口（オリフィス）、吐出口に連通した液流路およ
びこの液流路内に位置付けられた吐出エネルギー発生素
子を備え、吐出エネルギー発生素子に記録情報に対応し
た駆動信号を印加し、吐出エネルギー発生素子に対応す
る液流路内の記録液に吐出エネルギーを付与することに
よって、吐出口から記録液を液滴として吐出させて記録
を行なうように構成されており、熱エネルギーを利用し
て微小液滴を吐出させるもの、あるいは電気機械変換体
を利用したもの、またこれらの複合体を利用して記録液
を吐出させるもの等が知られている。これらの中でも、
熱エネルギーを利用して記録液を吐出させる液体噴射記
録ヘッドは、記録用の液滴を吐出して飛翔用液滴を形成
するための記録液吐出口を高密度に配列することができ
るために、高解像度の記録をすることが可能であるほ
か、全体的にコンパクト化も容易であるなどの利点があ
り、既に実用化されている。
【０００３】ところで、印字密度として約６００ｄｐｉ
（dotts per inch）の高密度を達成するためには、約
５．４ｍｍの範囲に１２８個の液流路溝および吐出口を
等間隔に配設しなければならず、この際の配設ピッチは
約４２μｍと微細な値となる。そこで、このような微小
な間隔の液流路溝および吐出口の形成には、レーザ加工
装置等の超精密加工装置が用いられ、所定の高精度で加
工されている。
（dotts per inch）の高密度を達成するためには、約
５．４ｍｍの範囲に１２８個の液流路溝および吐出口を
等間隔に配設しなければならず、この際の配設ピッチは
約４２μｍと微細な値となる。そこで、このような微小
な間隔の液流路溝および吐出口の形成には、レーザ加工
装置等の超精密加工装置が用いられ、所定の高精度で加
工されている。
【０００４】射出成形等によって成形された樹脂製の天
板にレーザ光を照射して溝加工や穴あけ加工を施すため
のレーザ加工装置としては、エキシマレーザ加工が適し
ており、この種のレーザ加工装置は、一般的に、図６に
示すように、レーザ光Ｌを出力するレーザ発振器１１
１、レーザ発振器１１１から照射されるレーザ光Ｌを均
一に整形するビーム整形光学系１１２、レーザ光Ｌをマ
スク１１４に照射するための照明光学系１１３、被加工
物Ｗの加工形状に対応して透過領域からなる開口パター
ン１１４ａが形成されたレーザマスク１１４、および該
レーザマスク１１４を透過した開口パターン像を被加工
物Ｗの被加工面に投影する投影光学系１１５、さらに、
被加工物Ｗである天板を保持するための治具（図示しな
い）およびこの治具を移動させるための移動ステージ１
１６から構成され、これらの各部材を制御するための制
御装置を備えている。
板にレーザ光を照射して溝加工や穴あけ加工を施すため
のレーザ加工装置としては、エキシマレーザ加工が適し
ており、この種のレーザ加工装置は、一般的に、図６に
示すように、レーザ光Ｌを出力するレーザ発振器１１
１、レーザ発振器１１１から照射されるレーザ光Ｌを均
一に整形するビーム整形光学系１１２、レーザ光Ｌをマ
スク１１４に照射するための照明光学系１１３、被加工
物Ｗの加工形状に対応して透過領域からなる開口パター
ン１１４ａが形成されたレーザマスク１１４、および該
レーザマスク１１４を透過した開口パターン像を被加工
物Ｗの被加工面に投影する投影光学系１１５、さらに、
被加工物Ｗである天板を保持するための治具（図示しな
い）およびこの治具を移動させるための移動ステージ１
１６から構成され、これらの各部材を制御するための制
御装置を備えている。
【０００５】液流路溝や吐出口を加工形成する天板は、
被加工物Ｗとして治具を介して移動ステージ１１６に取
り付けられてその被加工面をレーザ光Ｌの光軸上に位置
決めされ、レーザ発振器１１１から発振されるレーザ光
Ｌをレーザマスク１１４を介して天板の被加工面に対し
て照射することによって、液流路溝や吐出口を加工して
いる。
被加工物Ｗとして治具を介して移動ステージ１１６に取
り付けられてその被加工面をレーザ光Ｌの光軸上に位置
決めされ、レーザ発振器１１１から発振されるレーザ光
Ｌをレーザマスク１１４を介して天板の被加工面に対し
て照射することによって、液流路溝や吐出口を加工して
いる。
【０００６】このように液流路溝や吐出口が加工形成さ
れた天板を用いた液体噴射記録ヘッドは図７に図示する
ように構成される。図７において、吐出口１０２や液流
路１０３が加工形成され、そして液室１０４を有する天
板１００は、超精密エッチング技術等により複数の吐出
エネルギー発生素子（例えば、ヒーター）１０６を所定
の間隔をおいて高精度に配設した素子基板（吐出エネル
ギー発生手段）１０７に対して、天板１００の液流路１
０３を素子基板１０７の吐出エネルギー発生素子１０６
にそれぞれ正確に対応するように位置決めした状態で接
合あるいは接着されることにより液体噴射記録ヘッドＨ
を作製している。
れた天板を用いた液体噴射記録ヘッドは図７に図示する
ように構成される。図７において、吐出口１０２や液流
路１０３が加工形成され、そして液室１０４を有する天
板１００は、超精密エッチング技術等により複数の吐出
エネルギー発生素子（例えば、ヒーター）１０６を所定
の間隔をおいて高精度に配設した素子基板（吐出エネル
ギー発生手段）１０７に対して、天板１００の液流路１
０３を素子基板１０７の吐出エネルギー発生素子１０６
にそれぞれ正確に対応するように位置決めした状態で接
合あるいは接着されることにより液体噴射記録ヘッドＨ
を作製している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】液体噴射記録ヘッドか
ら吐出される液体の吐出方向は、通常、加工形成された
吐出口の向きに支配されるが、レーザ加工装置における
レーザ発振器や照明光学系をクリーニング等メンテナン
スした場合に、レーザ光軸に微小なずれが生じてしま
い、前記吐出口の向きも微小に変化してしまうことがあ
った。その結果、前記液体の吐出方向が変化し、サテラ
イト（画像を形成する主たる液滴の吐出に遅れて吐出さ
れる主たる液滴よりも小さい液滴）が発生するなど印字
品位が悪くなってしまうという事態が発生していた。
ら吐出される液体の吐出方向は、通常、加工形成された
吐出口の向きに支配されるが、レーザ加工装置における
レーザ発振器や照明光学系をクリーニング等メンテナン
スした場合に、レーザ光軸に微小なずれが生じてしま
い、前記吐出口の向きも微小に変化してしまうことがあ
った。その結果、前記液体の吐出方向が変化し、サテラ
イト（画像を形成する主たる液滴の吐出に遅れて吐出さ
れる主たる液滴よりも小さい液滴）が発生するなど印字
品位が悪くなってしまうという事態が発生していた。
【０００８】ところで、液体噴射記録ヘッドにおける液
体の吐出方向や印字品位に関する検査は、通常、吐出口
を加工形成した天板を素子基板（吐出エネルギー発生手
段）に接合して記録ヘッドを作製した後に行なわれてお
り、その検査結果により液体の吐出方向やサテライトの
発生など印字品位に不適合が生じている場合、記録ヘッ
ドや天板の製造工程に吐出口形成角度を補正すべくフィ
ードバックすることが好ましいところであるけれども、
従来の検査方法では、液体の吐出方向のずれ等の検査結
果を製造工程に直ちに反映させることができず、歩留ま
りを向上させることができなかった。
体の吐出方向や印字品位に関する検査は、通常、吐出口
を加工形成した天板を素子基板（吐出エネルギー発生手
段）に接合して記録ヘッドを作製した後に行なわれてお
り、その検査結果により液体の吐出方向やサテライトの
発生など印字品位に不適合が生じている場合、記録ヘッ
ドや天板の製造工程に吐出口形成角度を補正すべくフィ
ードバックすることが好ましいところであるけれども、
従来の検査方法では、液体の吐出方向のずれ等の検査結
果を製造工程に直ちに反映させることができず、歩留ま
りを向上させることができなかった。
【０００９】そこで、本発明は、上記の従来技術の有す
る未解決の課題に鑑みてなされたものであって、天板に
吐出口を加工形成した直後に、該天板から吐出される液
体の吐出方向を短時間で検査し、液体吐出角度が予め設
定されている正規値からずれている場合には直ちに補正
値をフィードバックして正規の角度に加工形成すること
ができるようにした液体噴射記録ヘッドにおける液体吐
出状態検査方法およびその検査に用いられる液体吐出状
態検査装置を提供することを目的とするものである。
る未解決の課題に鑑みてなされたものであって、天板に
吐出口を加工形成した直後に、該天板から吐出される液
体の吐出方向を短時間で検査し、液体吐出角度が予め設
定されている正規値からずれている場合には直ちに補正
値をフィードバックして正規の角度に加工形成すること
ができるようにした液体噴射記録ヘッドにおける液体吐
出状態検査方法およびその検査に用いられる液体吐出状
態検査装置を提供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の液体噴射記録ヘッドにおける液体吐出状態
検査方法は、液体を吐出するための吐出口が形成された
天板と前記吐出口から液体を吐出するためのエネルギー
を発生するエネルギー発生手段とを組み付けて構成する
液体噴射記録ヘッドにおける液体吐出状態を検査する検
査方法において、前記天板に吐出口を加工形成した直後
に、前記天板の吐出口から液体を強制流出させ、その液
体の流出状態を観察測定して、液体吐出角度を算出する
ことを特徴とする。
め、本発明の液体噴射記録ヘッドにおける液体吐出状態
検査方法は、液体を吐出するための吐出口が形成された
天板と前記吐出口から液体を吐出するためのエネルギー
を発生するエネルギー発生手段とを組み付けて構成する
液体噴射記録ヘッドにおける液体吐出状態を検査する検
査方法において、前記天板に吐出口を加工形成した直後
に、前記天板の吐出口から液体を強制流出させ、その液
体の流出状態を観察測定して、液体吐出角度を算出する
ことを特徴とする。
【００１１】本発明の液体噴射記録ヘッドにおける液体
吐出状態検査方法においては、液体吐出角度の算出結果
を天板の吐出口加工工程にフィードバックしうるように
構成することが好ましい。
吐出状態検査方法においては、液体吐出角度の算出結果
を天板の吐出口加工工程にフィードバックしうるように
構成することが好ましい。
【００１２】本発明の液体噴射記録ヘッドにおける液体
吐出状態検査方法において、吐出口からの液体の強制流
出は、吐出口を加工形成した直後の天板を液体槽の中に
固定し、該液体槽内に液体を注入して該液体に圧力をか
けることにより行なうことが好ましく、さらに、使用す
る液体は、水あるいは実際に画像を記録する際の記録液
と同種の液体であることが好適である。
吐出状態検査方法において、吐出口からの液体の強制流
出は、吐出口を加工形成した直後の天板を液体槽の中に
固定し、該液体槽内に液体を注入して該液体に圧力をか
けることにより行なうことが好ましく、さらに、使用す
る液体は、水あるいは実際に画像を記録する際の記録液
と同種の液体であることが好適である。
【００１３】本発明の液体噴射記録ヘッドにおける液体
吐出状態検査方法において、液体にかける圧力は、天板
の吐出口のメニスカスを打ち破って連続した流出状態を
形成する圧力であって、その加圧は、圧縮空気を用いて
行なうことができ、あるいは、ピエゾ素子等を備えた振
動板を用いて行なうこともできる。
吐出状態検査方法において、液体にかける圧力は、天板
の吐出口のメニスカスを打ち破って連続した流出状態を
形成する圧力であって、その加圧は、圧縮空気を用いて
行なうことができ、あるいは、ピエゾ素子等を備えた振
動板を用いて行なうこともできる。
【００１４】そして、本発明の液体噴射記録ヘッドの液
体吐出状態検査装置は、吐出口を加工形成した直後の天
板の吐出口から液体を強制流出させる手段と、前記吐出
口から流出される液体の流出状態を観察測定して液体吐
出角度を算出する観察測定系とを備えていることを特徴
とする。
体吐出状態検査装置は、吐出口を加工形成した直後の天
板の吐出口から液体を強制流出させる手段と、前記吐出
口から流出される液体の流出状態を観察測定して液体吐
出角度を算出する観察測定系とを備えていることを特徴
とする。
【００１５】本発明の液体噴射記録ヘッドの液体吐出状
態検査装置においては、観察測定系による液体吐出角度
の算出結果を吐出口加工工程へフィードバックする制御
手段をさらに備えていることが好ましい。
態検査装置においては、観察測定系による液体吐出角度
の算出結果を吐出口加工工程へフィードバックする制御
手段をさらに備えていることが好ましい。
【００１６】本発明の液体噴射記録ヘッドの液体吐出状
態検査装置において、天板の吐出口から液体を強制流出
させる手段は、液体を収容しかつ該液体に所定の圧力を
かけるための加圧手段を有する液体槽と、該液体槽内に
天板を固定するための天板固定機構とを有していること
が好ましい。
態検査装置において、天板の吐出口から液体を強制流出
させる手段は、液体を収容しかつ該液体に所定の圧力を
かけるための加圧手段を有する液体槽と、該液体槽内に
天板を固定するための天板固定機構とを有していること
が好ましい。
【００１７】本発明の液体噴射記録ヘッドの液体吐出状
態検査装置において、液体槽は、移動ステージ上に設置
され、底板に天板の吐出口を下方に露出させるための開
口部を有し、天板固定機構は前記天板の吐出口を前記開
口部に位置付けして前記天板を固定するように配設され
ていることが好ましい。
態検査装置において、液体槽は、移動ステージ上に設置
され、底板に天板の吐出口を下方に露出させるための開
口部を有し、天板固定機構は前記天板の吐出口を前記開
口部に位置付けして前記天板を固定するように配設され
ていることが好ましい。
【００１８】本発明の液体噴射記録ヘッドの液体吐出状
態検査装置において、液体槽の加圧手段は、前記液体槽
に設けられた圧縮空気供給口を介して前記液体槽内に圧
縮空気を供給して前記液体槽内の液体に圧力をかけるよ
うに構成することができ、あるいは前記液体槽上部にピ
エゾ素子を備えた振動板を配設して、前記ピエゾ素子を
駆動して断続的に加圧するように構成することもでき
る。
態検査装置において、液体槽の加圧手段は、前記液体槽
に設けられた圧縮空気供給口を介して前記液体槽内に圧
縮空気を供給して前記液体槽内の液体に圧力をかけるよ
うに構成することができ、あるいは前記液体槽上部にピ
エゾ素子を備えた振動板を配設して、前記ピエゾ素子を
駆動して断続的に加圧するように構成することもでき
る。
【００１９】
【作用】本発明の液体噴射記録ヘッドにおける液体吐出
状態検査方法によれば、吐出口が加工形成された直後の
天板、すなわち、吐出エネルギー発生手段を取り付けて
いない状態の天板を用いて、該天板の吐出口から液体を
強制流出させ、その流出状態を観察測定して、その液体
吐出角度を測定することにより、天板のみの状態で液体
の吐出方向および液体吐出角度を検査することができ、
そして、その検査結果により液体吐出方向や角度が正規
の方向や値から外れている場合には、迅速に補正値を吐
出口加工工程にフィードバックして、吐出口の形成角度
が正規の角度となるように調整して加工することがで
き、歩留まりを向上させることができる。
状態検査方法によれば、吐出口が加工形成された直後の
天板、すなわち、吐出エネルギー発生手段を取り付けて
いない状態の天板を用いて、該天板の吐出口から液体を
強制流出させ、その流出状態を観察測定して、その液体
吐出角度を測定することにより、天板のみの状態で液体
の吐出方向および液体吐出角度を検査することができ、
そして、その検査結果により液体吐出方向や角度が正規
の方向や値から外れている場合には、迅速に補正値を吐
出口加工工程にフィードバックして、吐出口の形成角度
が正規の角度となるように調整して加工することがで
き、歩留まりを向上させることができる。
【００２０】また、本発明の液体噴射記録ヘッドの液体
吐出状態検査装置によれば、液体を収容しかつ該液体に
所定の圧力をかけるための加圧手段を有する液体槽およ
び該液体槽内に天板を固定するための天板固定機構から
なる液体を強制流出させる手段と、前記天板に形成され
た吐出口から流出される液体の流出状態を観察測定して
液体吐出角度を算出する観察測定系とを備えた簡単な構
造にて吐出口からの液体の吐出方向や吐出角度を迅速に
かつ確実に検査することができる。さらに、観察測定系
による液体吐出角度の算出結果を吐出口加工工程へフィ
ードバックする制御手段をさらに備えることにより、迅
速に吐出口加工工程にフィードバックさせることがで
き、記録ヘッドの歩留まりを向上させることができる。
吐出状態検査装置によれば、液体を収容しかつ該液体に
所定の圧力をかけるための加圧手段を有する液体槽およ
び該液体槽内に天板を固定するための天板固定機構から
なる液体を強制流出させる手段と、前記天板に形成され
た吐出口から流出される液体の流出状態を観察測定して
液体吐出角度を算出する観察測定系とを備えた簡単な構
造にて吐出口からの液体の吐出方向や吐出角度を迅速に
かつ確実に検査することができる。さらに、観察測定系
による液体吐出角度の算出結果を吐出口加工工程へフィ
ードバックする制御手段をさらに備えることにより、迅
速に吐出口加工工程にフィードバックさせることがで
き、記録ヘッドの歩留まりを向上させることができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。
いて説明する。
【００２２】図１は、液体噴射記録ヘッドを構成する天
板の吐出口から液体を吐出させてその吐出方向を測定す
るための液体吐出状態検査装置の全体構成を側壁の一部
を破断して示す模式的斜視図であり、図２は、図１に示
した液体槽の底面を裏から見た底面図であり、図３は、
液体吐出状態検査装置を部分的に破断して示す模式的断
面図であり、吐出口から液体を連続的に流出させている
状態を図示する。
板の吐出口から液体を吐出させてその吐出方向を測定す
るための液体吐出状態検査装置の全体構成を側壁の一部
を破断して示す模式的斜視図であり、図２は、図１に示
した液体槽の底面を裏から見た底面図であり、図３は、
液体吐出状態検査装置を部分的に破断して示す模式的断
面図であり、吐出口から液体を連続的に流出させている
状態を図示する。
【００２３】本発明の液体吐出状態検査装置は、図１に
図示するように、液体を収容しかつ該液体に所定の圧力
をかけるための加圧手段を有する液体槽１および該液体
槽１内に液体噴射記録ヘッドを構成する天板１０を固定
するための天板固定機構２０からなる天板の吐出口から
液体を強制流出させる手段と、液体槽１の近隣に設置さ
れて、天板１０に形成された吐出口から流出される液体
の流出状態を観察測定して液体吐出方向や吐出角度を算
出する観察測定系３０とを備えており、さらに、観察測
定系３０による液体吐出角度の算出結果を吐出口加工工
程へフィードバックさせる制御手段（不図示）を備えて
いる。
図示するように、液体を収容しかつ該液体に所定の圧力
をかけるための加圧手段を有する液体槽１および該液体
槽１内に液体噴射記録ヘッドを構成する天板１０を固定
するための天板固定機構２０からなる天板の吐出口から
液体を強制流出させる手段と、液体槽１の近隣に設置さ
れて、天板１０に形成された吐出口から流出される液体
の流出状態を観察測定して液体吐出方向や吐出角度を算
出する観察測定系３０とを備えており、さらに、観察測
定系３０による液体吐出角度の算出結果を吐出口加工工
程へフィードバックさせる制御手段（不図示）を備えて
いる。
【００２４】液体槽１は、上下方向および左右方向に移
動しうるように構成された移動ステージ９上に台座２を
介して設置され、液体槽１の内部に設けられた天板固定
機構２０は、天板１０を固定するための天板固定治具２
０ａと、液体槽１の相対向する両側壁に取り付けられた
支持部材２０ｄに上下方向に移動可能に支持されかつ天
板固定治具２０ａを保持する軸部２０ｂと、天板固定治
具２０ａを下方に付勢するように軸部２０ｂの周りに巻
装された押さえばね２０ｃから構成されている。また、
液体槽１の底板１ａには、図２および図３に図示するよ
うに、天板固定機構２０により天板１０が固定されると
きに天板１０の吐出口１２が下方に露出されるように切
り取られた開口部１ｂが設けられ、その開口部１ｂの周
辺にはシール部材６を配置してあり、このシール部材６
は天板１０の吐出口プレート１１に当接して液体槽１内
の液体が漏れないように封止する作用をする。液体槽１
の側壁には、液体を注入するための液体注入口４が設け
られ、液体槽１を密封する蓋体３には圧縮空気供給口５
が設けられ、この圧縮空気供給口５を介して圧縮空気が
外部から供給され、液体槽１内の液体を加圧するように
構成されている。そして、液体槽１は、内部に固定され
る天板１０を観察測定系３０にて観察できるように、ア
クリル樹脂等の透明な部材で形成され、さらに、後述す
るように圧力が加えられるのでその圧力により破壊され
ることがないような強度をもって構成されている。
動しうるように構成された移動ステージ９上に台座２を
介して設置され、液体槽１の内部に設けられた天板固定
機構２０は、天板１０を固定するための天板固定治具２
０ａと、液体槽１の相対向する両側壁に取り付けられた
支持部材２０ｄに上下方向に移動可能に支持されかつ天
板固定治具２０ａを保持する軸部２０ｂと、天板固定治
具２０ａを下方に付勢するように軸部２０ｂの周りに巻
装された押さえばね２０ｃから構成されている。また、
液体槽１の底板１ａには、図２および図３に図示するよ
うに、天板固定機構２０により天板１０が固定されると
きに天板１０の吐出口１２が下方に露出されるように切
り取られた開口部１ｂが設けられ、その開口部１ｂの周
辺にはシール部材６を配置してあり、このシール部材６
は天板１０の吐出口プレート１１に当接して液体槽１内
の液体が漏れないように封止する作用をする。液体槽１
の側壁には、液体を注入するための液体注入口４が設け
られ、液体槽１を密封する蓋体３には圧縮空気供給口５
が設けられ、この圧縮空気供給口５を介して圧縮空気が
外部から供給され、液体槽１内の液体を加圧するように
構成されている。そして、液体槽１は、内部に固定され
る天板１０を観察測定系３０にて観察できるように、ア
クリル樹脂等の透明な部材で形成され、さらに、後述す
るように圧力が加えられるのでその圧力により破壊され
ることがないような強度をもって構成されている。
【００２５】以上のように構成された液体吐出状態検査
装置における検査手順を説明する。図１ないし図３に図
示するように、吐出口１２が加工形成された天板１０
は、その吐出口プレート１１を下向きにし吐出口１２が
液体槽１の底板１ａの開口部１ｂに臨むように、シール
部材６の上に載置され、天板固定機構２０の下方にばね
付勢された天板固定治具２０ａにより固定される。その
後、液体槽１内に液体注入口４から液体７を注入し、そ
の水位が天板１０よりも高くなるまで注入する。なお、
液体７としては水あるいは実際に画像を記録する際の記
録液と同種の液体を用いることが好ましく、本実施例に
おいて使用する液体は、アニオン性基を含有する水溶性
染料と水、水溶性有機溶剤およびその他の成分（例え
ば、粘度調整剤、ｐＨ調整剤、防腐剤、界面活性剤、酸
化防止剤）を必要に応じて含ませたものであり、具体的
には、以下の組成の液体を使用した。 Ｃ．Ｉフードブラック−２： ３％ グリセリン ：１５％ 水 ：８２％ そして、蓋体３で液体槽１を密封した後に、液体槽１内
に圧縮空気供給口５を介して圧縮空気を供給し、液体槽
１内の液体７を加圧する。吐出口におけるメニスカスを
打ち破って連続した流出状態を形成する圧力が液体槽１
内の液体７にかかると、図３に図示するように、液体７
は吐出口１２から流水束１３となって連続的に流出され
る。
装置における検査手順を説明する。図１ないし図３に図
示するように、吐出口１２が加工形成された天板１０
は、その吐出口プレート１１を下向きにし吐出口１２が
液体槽１の底板１ａの開口部１ｂに臨むように、シール
部材６の上に載置され、天板固定機構２０の下方にばね
付勢された天板固定治具２０ａにより固定される。その
後、液体槽１内に液体注入口４から液体７を注入し、そ
の水位が天板１０よりも高くなるまで注入する。なお、
液体７としては水あるいは実際に画像を記録する際の記
録液と同種の液体を用いることが好ましく、本実施例に
おいて使用する液体は、アニオン性基を含有する水溶性
染料と水、水溶性有機溶剤およびその他の成分（例え
ば、粘度調整剤、ｐＨ調整剤、防腐剤、界面活性剤、酸
化防止剤）を必要に応じて含ませたものであり、具体的
には、以下の組成の液体を使用した。 Ｃ．Ｉフードブラック−２： ３％ グリセリン ：１５％ 水 ：８２％ そして、蓋体３で液体槽１を密封した後に、液体槽１内
に圧縮空気供給口５を介して圧縮空気を供給し、液体槽
１内の液体７を加圧する。吐出口におけるメニスカスを
打ち破って連続した流出状態を形成する圧力が液体槽１
内の液体７にかかると、図３に図示するように、液体７
は吐出口１２から流水束１３となって連続的に流出され
る。
【００２６】次に、吐出口から流出している流水束の流
出角度を測定するアルゴリズムについて、図４を参照し
て説明する。図４の（ａ）は液体槽１の内部に固定され
た天板１０の状態を示す模式図である。液体の吐出角度
は、吐出口を加工形成する際に基準にしている面（例え
ば、図４の（ａ）においては、天板１０の両角部Ａ、Ｂ
間の辺ＡＢ）を基に管理するため、吐出液の測定に先立
って基準合わせを行なう。すなわち、液体槽１の内部に
液体を供給する前に、天板１０の基準となる辺ＡＢの両
角部ＡおよびＢをそれぞれ測定する。先ず、図４の
（ｂ）に示すように天板１０のＡ点が図１に図示する観
察測定系３０の観察可能領域に入るように移動ステージ
９を調整し、観察測定系３０でＡ点を観察する。観察測
定系３０にて上端からＡ点までの画素数ＹＡを記録す
る。次いで、図４の（ｃ）に示すようにＢ点が観察でき
るように移動ステージ９を水平移動させ、同様に画素数
ＹＢを記録する。ここで、観察測定系の上下方向分解能
（１画素あたりの実際の長さ）をｄＹとすると、Ａ点と
Ｂ点の上下方向のずれ量δは次の（１）式により計算さ
れる。 δ＝（ＹＢ−ＹＡ）×ｄＹ （１） また、図４の（ａ）に示すように天板１０の基準面の幅
（辺ＡＢ）ｍより、天板１０の傾き角θT は、次の
（２）式で求められる。 θT ＝ｓｉｎ-1（δ／ｍ） （２） 次に、液体槽１内に注入した液体７に吐出口のメニスカ
スを打ち破って連続した流出状態を形成する圧力をかけ
ることにより、液体７は、図３に図示するように、吐出
口１２から流水束１３となって連続的に吐出し流出され
る。この流水束１３を観察測定系３０により観察測定す
る。図４の（ｄ）は流水束１３を観察測定系で観察して
いる状態を示す模式図である。図４の（ｄ）において、
観察領域の流水束１３の上下両端部における左右方向画
素数の差から左右方向のずれ量ΔＸを求め、上下軸に対
するずれ角θE を以下の順で計算する。
出角度を測定するアルゴリズムについて、図４を参照し
て説明する。図４の（ａ）は液体槽１の内部に固定され
た天板１０の状態を示す模式図である。液体の吐出角度
は、吐出口を加工形成する際に基準にしている面（例え
ば、図４の（ａ）においては、天板１０の両角部Ａ、Ｂ
間の辺ＡＢ）を基に管理するため、吐出液の測定に先立
って基準合わせを行なう。すなわち、液体槽１の内部に
液体を供給する前に、天板１０の基準となる辺ＡＢの両
角部ＡおよびＢをそれぞれ測定する。先ず、図４の
（ｂ）に示すように天板１０のＡ点が図１に図示する観
察測定系３０の観察可能領域に入るように移動ステージ
９を調整し、観察測定系３０でＡ点を観察する。観察測
定系３０にて上端からＡ点までの画素数ＹＡを記録す
る。次いで、図４の（ｃ）に示すようにＢ点が観察でき
るように移動ステージ９を水平移動させ、同様に画素数
ＹＢを記録する。ここで、観察測定系の上下方向分解能
（１画素あたりの実際の長さ）をｄＹとすると、Ａ点と
Ｂ点の上下方向のずれ量δは次の（１）式により計算さ
れる。 δ＝（ＹＢ−ＹＡ）×ｄＹ （１） また、図４の（ａ）に示すように天板１０の基準面の幅
（辺ＡＢ）ｍより、天板１０の傾き角θT は、次の
（２）式で求められる。 θT ＝ｓｉｎ-1（δ／ｍ） （２） 次に、液体槽１内に注入した液体７に吐出口のメニスカ
スを打ち破って連続した流出状態を形成する圧力をかけ
ることにより、液体７は、図３に図示するように、吐出
口１２から流水束１３となって連続的に吐出し流出され
る。この流水束１３を観察測定系３０により観察測定す
る。図４の（ｄ）は流水束１３を観察測定系で観察して
いる状態を示す模式図である。図４の（ｄ）において、
観察領域の流水束１３の上下両端部における左右方向画
素数の差から左右方向のずれ量ΔＸを求め、上下軸に対
するずれ角θE を以下の順で計算する。
【００２７】観察測定系の左右方向分解能（１画素あた
りの実際の長さ）をｄＸとすると、ΔＸは（３）式によ
り計算される。 ΔＸ＝（ＸＵ−ＸＤ）×ｄＸ （３） ΔＹは、観察測定系の上下方向の総画素数ＮＹと上下方
向分解能ｄＹから（４）式により計算される。 ΔＹ＝ＮＹ×ｄＹ （４） よって、吐出液の流水束１３の上下軸に対するずれ角θ
E は次の（５）式となる。 θE ＝ｔａｎ-1（ΔＹ／ΔＸ） （５） そして、θE から（２）式で計算した天板１０の傾き角
θT を引いた値が、天板１０の基準面（図４の（ａ）に
おける辺ＡＢ）に垂直な軸を０°とした吐出角度θとし
て求められる。 θ＝θE −θT （６） このように算出された吐出角度θが、天板１０に加工形
成された吐出口１２の液体吐出角度であり、この吐出角
度θが、予め設定されている規定値から外れている場合
には、吐出角度θを吐出口レーザ加工工程へフィードバ
ックして、正規の吐出角度となるように補正することが
可能となる。
りの実際の長さ）をｄＸとすると、ΔＸは（３）式によ
り計算される。 ΔＸ＝（ＸＵ−ＸＤ）×ｄＸ （３） ΔＹは、観察測定系の上下方向の総画素数ＮＹと上下方
向分解能ｄＹから（４）式により計算される。 ΔＹ＝ＮＹ×ｄＹ （４） よって、吐出液の流水束１３の上下軸に対するずれ角θ
E は次の（５）式となる。 θE ＝ｔａｎ-1（ΔＹ／ΔＸ） （５） そして、θE から（２）式で計算した天板１０の傾き角
θT を引いた値が、天板１０の基準面（図４の（ａ）に
おける辺ＡＢ）に垂直な軸を０°とした吐出角度θとし
て求められる。 θ＝θE −θT （６） このように算出された吐出角度θが、天板１０に加工形
成された吐出口１２の液体吐出角度であり、この吐出角
度θが、予め設定されている規定値から外れている場合
には、吐出角度θを吐出口レーザ加工工程へフィードバ
ックして、正規の吐出角度となるように補正することが
可能となる。
【００２８】次に、液体噴射記録ヘッドの製造工程へ測
定した吐出角度をフィードバックして吐出口形成角度を
補正するフローを図５に図示する。図５において、適宜
の天板構成材料を用いて射出成形にて液室等を備えた天
板を作製し（Ｓ１）、この天板に対して図６に図示する
レーザ加工装置を用いて先ず液流路をレーザ加工し（Ｓ
２）、次いで、同じくレーザ加工装置を用いて天板の吐
出口プレートに吐出口をレーザ加工する（Ｓ３）。吐出
口がレーザ加工された天板は直ちに上述した液体吐出状
態検査装置に投入され、上述した測定アルゴリズムに沿
って天板の吐出口から吐出される液体を観察して液体吐
出角度を測定する（Ｓ４）。すなわち、吐出口が加工形
成された天板を、吐出エネルギー発生手段に取り付けて
いない状態で、液体吐出状態検査装置の液体槽内に固定
し、そして液体槽内に液体を供給した後に、吐出口のメ
ニスカスを打ち破って連続した流出状態を形成する圧力
を液体にかけ、吐出口から流出した液体の吐出方向を測
定し、液体吐出角度を算出する。その測定結果に基づく
液体吐出角度を予め設定されている正規の吐出角度と比
較し（Ｓ５）、正規の吐出角度から外れている場合に
は、そのずれ量に基づいてレーザ加工装置の吐出口加工
工程（Ｓ３）へフィードバックし、正規の吐出角度とな
るように補正する。また、測定された液体吐出角度が正
規の角度であれば、液体吐出口のレーザ加工をそのまま
続行する。
定した吐出角度をフィードバックして吐出口形成角度を
補正するフローを図５に図示する。図５において、適宜
の天板構成材料を用いて射出成形にて液室等を備えた天
板を作製し（Ｓ１）、この天板に対して図６に図示する
レーザ加工装置を用いて先ず液流路をレーザ加工し（Ｓ
２）、次いで、同じくレーザ加工装置を用いて天板の吐
出口プレートに吐出口をレーザ加工する（Ｓ３）。吐出
口がレーザ加工された天板は直ちに上述した液体吐出状
態検査装置に投入され、上述した測定アルゴリズムに沿
って天板の吐出口から吐出される液体を観察して液体吐
出角度を測定する（Ｓ４）。すなわち、吐出口が加工形
成された天板を、吐出エネルギー発生手段に取り付けて
いない状態で、液体吐出状態検査装置の液体槽内に固定
し、そして液体槽内に液体を供給した後に、吐出口のメ
ニスカスを打ち破って連続した流出状態を形成する圧力
を液体にかけ、吐出口から流出した液体の吐出方向を測
定し、液体吐出角度を算出する。その測定結果に基づく
液体吐出角度を予め設定されている正規の吐出角度と比
較し（Ｓ５）、正規の吐出角度から外れている場合に
は、そのずれ量に基づいてレーザ加工装置の吐出口加工
工程（Ｓ３）へフィードバックし、正規の吐出角度とな
るように補正する。また、測定された液体吐出角度が正
規の角度であれば、液体吐出口のレーザ加工をそのまま
続行する。
【００２９】以上のように、液体噴射記録ヘッドを構成
する天板に吐出口を加工形成した直後、すなわち、液体
噴射記録ヘッドの完成を待つことなく、吐出エネルギー
発生手段に取り付けていない状態の部品レベルで、液体
の吐出方向および吐出角度を検査することができ、その
吐出方向が正規値から外れていても直ちに補正値を吐出
口の加工工程にフィードバックすることができ、検査結
果に基づいて吐出口形成角度を調整して吐出方向を正規
方向となるように加工形成することができる。
する天板に吐出口を加工形成した直後、すなわち、液体
噴射記録ヘッドの完成を待つことなく、吐出エネルギー
発生手段に取り付けていない状態の部品レベルで、液体
の吐出方向および吐出角度を検査することができ、その
吐出方向が正規値から外れていても直ちに補正値を吐出
口の加工工程にフィードバックすることができ、検査結
果に基づいて吐出口形成角度を調整して吐出方向を正規
方向となるように加工形成することができる。
【００３０】なお、本実施例では、吐出口の加工をレー
ザ加工により行なっているが、プレスなどの他の手段に
よって吐出口を加工する場合においても、本発明の液体
吐出状態検査方法および検査装置を適用することが可能
である。
ザ加工により行なっているが、プレスなどの他の手段に
よって吐出口を加工する場合においても、本発明の液体
吐出状態検査方法および検査装置を適用することが可能
である。
【００３１】また、以上に説明した実施例においては、
液体槽に圧縮空気供給口を介して圧縮空気を供給して液
体槽内部の液体に圧力をかけ、天板の吐出口から液体を
強制流出させるようにしているけれども、液体槽に圧縮
空気供給口を設ける代わりに、液体槽の上部に振動板を
配設し、この振動板をピエゾ素子の駆動によって液体槽
内部に圧力をかけるように構成しても良い。このピエゾ
素子の駆動周波数は液体噴射記録ヘッドによって画像を
記録する際と同じ周波数とし、断続的に駆動させて液体
を強制流出させるようにすることができる。なお、流出
された流水束の角度を測定するアルゴリズムについては
前述した実施例と同様であるので説明は省略する。
液体槽に圧縮空気供給口を介して圧縮空気を供給して液
体槽内部の液体に圧力をかけ、天板の吐出口から液体を
強制流出させるようにしているけれども、液体槽に圧縮
空気供給口を設ける代わりに、液体槽の上部に振動板を
配設し、この振動板をピエゾ素子の駆動によって液体槽
内部に圧力をかけるように構成しても良い。このピエゾ
素子の駆動周波数は液体噴射記録ヘッドによって画像を
記録する際と同じ周波数とし、断続的に駆動させて液体
を強制流出させるようにすることができる。なお、流出
された流水束の角度を測定するアルゴリズムについては
前述した実施例と同様であるので説明は省略する。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
以下のような効果が得られる。
以下のような効果が得られる。
【００３３】液体噴射記録ヘッドの完成を待たずに、吐
出口を加工形成した直後、すなわち部品レベルで、吐出
口の液体吐出方向を検査することにより、液体吐出角度
が正規値から外れている場合には、直ちに補正値をフィ
ードバックして、吐出形成角度が正規値となるように調
整して加工形成することができ、液体の吐出方向の検査
結果を迅速に製造工程に反映させることができて、歩留
まりを向上させることができる。また、簡単な構造で吐
出口からの液体の吐出方向や吐出角度を迅速に短時間で
かつ確実に検査することが可能となる。
出口を加工形成した直後、すなわち部品レベルで、吐出
口の液体吐出方向を検査することにより、液体吐出角度
が正規値から外れている場合には、直ちに補正値をフィ
ードバックして、吐出形成角度が正規値となるように調
整して加工形成することができ、液体の吐出方向の検査
結果を迅速に製造工程に反映させることができて、歩留
まりを向上させることができる。また、簡単な構造で吐
出口からの液体の吐出方向や吐出角度を迅速に短時間で
かつ確実に検査することが可能となる。
【図１】本発明の液体噴射記録ヘッドの天板の吐出口か
ら液体を吐出させてその吐出方向を測定するための液体
吐出状態検査装置の全体構成を側壁の一部を破断して示
す模式的斜視図である。
ら液体を吐出させてその吐出方向を測定するための液体
吐出状態検査装置の全体構成を側壁の一部を破断して示
す模式的斜視図である。
【図２】図１に示す液体吐出状態検査装置の液体槽の底
板を裏から見た底面図である。
板を裏から見た底面図である。
【図３】液体吐出状態検査装置を部分的に破断して示す
模式的断面図であり、天板の吐出口から液体を連続的に
流出させている状態を図示する。
模式的断面図であり、天板の吐出口から液体を連続的に
流出させている状態を図示する。
【図４】天板から吐出する液体の吐出角度を測定するプ
ロセスを説明する模式図である。
ロセスを説明する模式図である。
【図５】液体噴射記録ヘッドの製造工程へ測定した液体
吐出角度をフィードバックして吐出口加工角度を補正す
る態様を図示するフロー図である。
吐出角度をフィードバックして吐出口加工角度を補正す
る態様を図示するフロー図である。
【図６】液体噴射記録ヘッドの天板に吐出口を加工する
際に使用するレーザ加工装置の概略的な構成図である。
際に使用するレーザ加工装置の概略的な構成図である。
【図７】液体噴射記録ヘッドを一部を破断して示す概略
的な構成図である。
的な構成図である。
１ 液体槽 １ａ 底板 １ｂ 開口部 ２ 台座 ３ 蓋体 ４ 液体注入口 ５ 圧縮空気供給口 ６ シール部材 ７ 液体 ９ 移動ステージ １０ 天板 １１ 吐出口プレート １２ 吐出口 １３ 流水束 ２０ 天板固定機構 ２０ａ 天板固定治具 ２０ｂ 軸部 ２０ｃ 押さえばね ２０ｄ 支持部材 ３０ 観察測定系 １１０ レーザ加工装置
Claims (13)
- 【請求項１】 液体を吐出するための吐出口が形成され
た天板と前記吐出口から液体を吐出するためのエネルギ
ーを発生するエネルギー発生手段とを組み付けて構成す
る液体噴射記録ヘッドにおける液体吐出状態を検査する
検査方法において、 前記天板に吐出口を加工形成した直後に、前記天板の吐
出口から液体を強制流出させ、その液体の流出状態を観
察測定して、液体吐出角度を算出することを特徴とする
液体噴射記録ヘッドにおける液体吐出状態検査方法。 - 【請求項２】 液体吐出角度の算出結果を天板の吐出口
加工工程にフィードバックしうるようにしたことを特徴
とする請求項１記載の液体噴射記録ヘッドにおける液体
吐出状態検査方法。 - 【請求項３】 吐出口からの液体の強制流出は、吐出口
を加工形成した直後の天板を液体槽の中に固定し、該液
体槽内に液体を注入して該液体に圧力をかけることによ
り行なうことを特徴とする請求項１または２記載の液体
噴射記録ヘッドにおける液体吐出状態検査方法。 - 【請求項４】 使用する液体は、水あるいは実際に画像
を記録する際の記録液と同種の液体であることを特徴と
する請求項１ないし３のいずれか１項記載の液体噴射記
録ヘッドにおける液体吐出状態検査方法。 - 【請求項５】 液体にかける圧力は、天板の吐出口のメ
ニスカスを打ち破って連続した流出状態を形成する圧力
であることを特徴とする請求項３記載の液体噴射記録ヘ
ッドにおける液体吐出状態検査方法。 - 【請求項６】 液体への加圧は、圧縮空気を用いて行な
うことを特徴とする請求項３または５記載の液体噴射記
録ヘッドにおける液体吐出状態検査方法。 - 【請求項７】 液体への加圧は、ピエゾ素子等を備えた
振動板を用いて行なうことを特徴とする請求項３または
５記載の液体噴射記録ヘッドにおける液体吐出状態検査
方法。 - 【請求項８】 吐出口を加工形成した直後の天板の吐出
口から液体を強制流出させる手段と、前記吐出口から流
出される液体の流出状態を観察測定して液体吐出角度を
算出する観察測定系とを備えていることを特徴とする液
体噴射記録ヘッドの液体吐出状態検査装置。 - 【請求項９】 観察測定系による液体吐出角度の算出結
果を吐出口加工工程へフィードバックする制御手段をさ
らに備えていることを特徴とする請求項８記載の液体噴
射記録ヘッドの液体吐出状態検査装置。 - 【請求項１０】 天板の吐出口から液体を強制流出させ
る手段は、液体を収容しかつ該液体に所定の圧力をかけ
るための加圧手段を有する液体槽および該液体槽内に天
板を固定するための天板固定機構を有することを特徴と
する請求項８または９記載の液体噴射記録ヘッドの液体
吐出状態検査装置。 - 【請求項１１】 液体槽は、移動ステージ上に設置さ
れ、底板に天板の吐出口を下方に露出させるための開口
部を有し、天板固定機構は前記天板の吐出口を前記開口
部に位置付けして前記天板を固定するように配設されて
いることを特徴とする請求項１０記載の液体噴射記録ヘ
ッドの液体吐出状態検査装置。 - 【請求項１２】 液体槽の加圧手段は、液体槽内に圧縮
空気を供給して前記液体槽内の液体に圧力をかけるよう
に構成されていることを特徴とする請求項１０または１
１記載の液体噴射記録ヘッドの液体吐出状態検査装置。 - 【請求項１３】 液体槽の加圧手段は、液体槽上部にピ
エゾ素子を備えた振動板を配設して、前記ピエゾ素子を
駆動して断続的に加圧するように構成されていることを
特徴とする請求項１０または１１記載の液体噴射記録ヘ
ッドの液体吐出状態検査装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10178070A JPH11348261A (ja) | 1998-06-10 | 1998-06-10 | 液体噴射記録ヘッドにおける液体吐出状態検査方法および液体吐出状態検査装置 |
| US09/324,503 US6421623B1 (en) | 1998-06-10 | 1999-06-03 | Method for inspecting the liquid discharge condition of liquid jet head, and apparatus for inspecting liquid discharge condition |
| EP99110772A EP0963849A3 (en) | 1998-06-10 | 1999-06-04 | Method for inspecting the liquid discharge condition of liquid jet head, and apparatus for inspecting liquid discharge condition |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10178070A JPH11348261A (ja) | 1998-06-10 | 1998-06-10 | 液体噴射記録ヘッドにおける液体吐出状態検査方法および液体吐出状態検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11348261A true JPH11348261A (ja) | 1999-12-21 |
Family
ID=16042100
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10178070A Pending JPH11348261A (ja) | 1998-06-10 | 1998-06-10 | 液体噴射記録ヘッドにおける液体吐出状態検査方法および液体吐出状態検査装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6421623B1 (ja) |
| EP (1) | EP0963849A3 (ja) |
| JP (1) | JPH11348261A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113720277A (zh) * | 2021-08-25 | 2021-11-30 | 北京科荣达航空科技股份有限公司 | 一种燃油喷嘴雾化角度自动测量机构及自动测量方法 |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5596954B2 (ja) * | 2009-10-08 | 2014-09-24 | キヤノン株式会社 | 液体供給部材、液体供給部材の製造方法及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
| JP6308989B2 (ja) | 2015-09-30 | 2018-04-11 | キヤノン株式会社 | 液体収納容器及び液体吐出装置 |
| JP6602160B2 (ja) | 2015-10-30 | 2019-11-06 | キヤノン株式会社 | 液体吐出装置及びヘッド |
| JP2017081083A (ja) | 2015-10-30 | 2017-05-18 | キヤノン株式会社 | 液体吐出装置、ヘッド及び液体充填方法 |
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