JP2006297893A - 液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】 部品点数が少なく、安価で大型装置に対応可能な液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出ヘッドを得る。
【解決手段】 隣接する圧電素子４２間及び圧電素子４２とダミー部４４の間に、溝部４０を設け、この溝部４０の形状に沿って圧電部材群１１０、１１１、１１２、１１３を互いに接合させることで、互いの境界が入り組んだ状態で配置された圧電素子４２であっても、圧電部材群同士のクリアランスをなくすこともできる。これにより、１つのインクジェット記録ヘッドの大面積化を可能にすることができる。このため、ヘッドサイズに限界が無くなり、自由に設計できるほか、部品点数も少なくなり、コストダウンを図ることができる。
【選択図】 図１１

Description

本発明は、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの製造方法及びこの製造方法で製造された液滴吐出ヘッドに関する。

主走査方向に往復移動するインクジェット記録ヘッド（以下、単に「記録ヘッド」という場合がある）の複数のノズルから選択的にインク滴を吐出し、副走査方向へ搬送される記録紙等の記録媒体に文字や画像等を印刷するインクジェット記録装置は従来から知られている。

記録ヘッドは、インク滴を吐出するノズルと、ノズルと連通しインクが充填されるチャンバ（いわゆる圧力室）と、チャンバの一部を構成する振動板と、振動板を介して圧力室を加減圧する単板ピエゾアクチュエータ（いわゆる圧電部材）と、で構成されている。

例えば、特許文献１では、記録ヘッドの製造方法として、図２７に示すように、図示しない基板に剥離可能に接着した圧電プレート２０２に、長方形状を成す複数の圧電素子２０４が二次元的に配列された圧電素子ユニット２０６をパターニングした後、圧電プレート２０２の基板と反対側の面に振動板に接着し、基板を各圧電素子２０４から剥離するという方法が採られている。

ところで、厚さ３５μｍのチタン酸ジルコン酸鉛製の圧電プレート２０２に圧電素子２０４を配設するには、圧電プレート２０２の面積に限界があり、高速印字可能な大型記録装置に適用させる場合、図２６（Ａ）に示すように、最大面積の圧電プレート２０２で作ったヘッド２１６を千鳥状に配置し、記録媒体の幅よりも若干大きい幅にする必要がある。

しかしながら、この場合、複数のヘッド２１６を必要とするため、該ヘッド２１６に対応するハウジング２１８も必要となり、部品点数が多くなってしまう。このため、工数も大幅に掛かってしまい、大幅なコストアップとなってしまう。
特開２００３−４８３２３号公報

本発明は上記事実を考慮し、部品点数が少なく、安価で大型装置に対応可能な液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出ヘッドを得ることを目的とする。

上記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、液滴吐出ヘッドの製造方法において、液滴を吐出するノズルと、前記ノズルと連通し、液滴が充填される圧力室と、前記圧力室の一部を構成する振動板と、圧電プレートをマトリックス状に個別化加工して、前記振動板の表面に接合され、電圧が印加されて振動板を変位させる圧電素子から構成されている圧電部材群と、を備え、複数の前記圧電プレートで個別化加工された各圧電部材群を、互いの境界が入り組んだ状態で、かつ所定の隙間を設けて前記振動板へ互いに接合させることを特徴とする。

請求項１に記載の発明では、液滴を吐出するノズルには液滴が充填される圧力室が連通しており、圧力室の一部を構成する振動板の表面には、圧電プレートをマトリックス状に個別化加工した圧電部材群を設けている。この圧電部材群に電圧が印加されると振動板が変位する。

この圧電部材群を、互いの境界が入り組んだ状態で、かつ所定の隙間を設けて振動板へ互いに接合させることで、ノズルを高密度に配置することができ、高解像度化を実現することができる。

また、圧電部材群同士で所定の隙間を設けることで、互いの境界が入り組んだ状態で配置された圧電部材群であっても、圧電部材群を構成する圧電素子が切断されないようにしている。

さらに、複数の圧電プレートで個別化加工された各圧電部材群を互いに振動板へ接合し、つなぎ合わせることで、１つのヘッドの大面積化を可能にすることができる。これにより、ヘッドサイズに限界が無くなり、自由に設計できるほか、部品点数も少なくなり、コストダウンを図ることができる。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、複数の圧電プレートで個別化加工された前記圧電部材群を分級して前記振動板に接合する接合することを特徴とする。

請求項２に記載の発明では、複数の圧電プレートで個別化加工される圧電部材群を分級して、圧電プレート同士でバラツキの少ないものを互いに接合させることで、圧電部材群の接合部において境界を持たない（バラツキを小さくする）ような分布にすることができ、ノズルからの液滴吐出特性のヘッド内バラツキにおいて、画像においてグラデーション不良が発生しづらくなるという効果が得られる。

請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記圧電部材群を前記圧電プレートの厚さで分級することを特徴とする。

請求項４に記載の発明は、請求項１〜３の何れか１項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記振動板を含む流路プレートユニット側に形成された位置決め基準に対して前記圧電部材群を位置決めさせる位置決め用マークが、圧電部材群を仮固定する固定基板に、圧電部材群と一緒にパターニングされたことを特徴とする。

請求項４に記載の発明では、位置決め基準に対して圧電部材群を位置決めさせる位置決め用マークを、圧電部材群と一緒に固定基板にパターニングすることで、圧電部材群と位置決め用マークとの相対位置関係は常に一致するため、振動板を含む流路プレートユニット側に対する圧電部材群の位置決め精度が向上する。

請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、複数の前記固定基板にパターニングされた各圧電部材群をそれぞれ前記振動板へ接合するとき、二回目以降に接合する圧電部材群の位置決め用マークは、直前に接合された圧電部材群の位置決め用マークに対して略相似形状を成し、前記位置決め用マークに対して位置決めされることを特徴とする。

合同形状の位置決め用マークを用いて互いに重ね合わせて位置決めする場合、先に接合されている位置決め用マークと干渉し、二回目以降の接合が不可能となってしまうが、請求項５に記載の発明では、位置決め用マークを互いに略相似形状とすることで、位置決め用マークの外形（或いは内形）に対して位置決め用マークの内形（或いは外形）を位置合わせすることとなり、位置決め用マークが干渉することなく二回目以降複数回の接合が可能となる。

請求項６に記載の発明は、請求項４又は５に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記位置決め基準に対して位置決めされた前記位置決め用マークの位置ズレ量を測定し、該位置ズレ量分の補正を行った後、次に接合する圧電部材群を該位置決め用マークに対して位置決めさせることを特徴とする。

請求項６に記載の発明では、位置決め基準に対して位置決めされた位置決め用マークの位置ズレ量を測定し、該位置ズレ量分の補正を行った後、次に接合する圧電部材群を該位置決め用マークに対して位置決めさせることで、各圧電部材群は実質的に振動板を含む流路プレートユニット側の位置決め基準に対して位置決めされることとなる。

請求項７に記載の発明は、液滴吐出ヘッドにおいて、請求項１〜６の何れか１項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法で製造されたことを特徴とする。

請求項７に記載の発明では、請求項１〜６の何れか１項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法で液滴吐出ヘッドを製造することで、請求項１〜６の何れか１項に記載の効果を得ることができる。

請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、隣接する前記圧電部材群の接合面の高さが異なることを特徴とする。

請求項８に記載の発明では、隣接する圧電部材群の接合面の高さを変えることで、すでに振動板に接合された圧電部材群の隣に圧電素子群を接合させるとき、該圧電素子群を配置している基板の接着テープなどが、振動板に接合された圧電部材群に干渉しないようにすることができる。

これにより、圧電部材群同士の間隔を狭くすることができ、ノズルを高密度に配置することができる。また、圧電部材群をさらに小ピース化することができ、ハンドリングが容易になる。また、圧電部材群を小ピース化することで、圧電部材群のサイズをさらに薄層化でき、品質向上及び歩留り向上を実現することができる。

請求項９に記載の発明は、請求項８に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板が上部振動板と下部振動板の２枚で構成され、前記上部振動板と前記下部振動板に貫通孔が形成され、前記貫通孔同士が連通しないように重ねられた状態で配置されて、前記接合面が、前記上部振動板の上面と、前記上部振動板の貫通孔を通じて露出する下部振動板の上面であることを特徴とする。

請求項９に記載の発明では、振動板を上部振動板と下部振動板の２枚で構成し、上部振動板と下部振動板に貫通孔を形成する。そして、該貫通孔同士が連通しないように重ねた状態で、上部振動板の上面と、上部振動板の貫通孔を通じて露出する下部振動板の上面を、圧電部材群の接合面とすることで、該接合面の高さを振動板の肉厚分変えることができる。

請求項１０に記載の発明は、請求項８に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板の上面に凹部が形成され、前記接合面が、振動板の上面と該上面に形成された凹部の底面であることを特徴とする。

請求項１０に記載の発明では、振動板の上面に凹部を形成し、振動板の上面と該上面に形成された凹部の底面を接合面とすることで、該接合面の高さを凹部の深さ分変えることができる。

請求項１１に記載の発明は、請求項１０に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記接合面とされた振動板の上面に対応する振動板の下面に凹部が形成されたことを特徴とする。

請求項１１に記載の発明では、接合面とされた振動板の上面に対応する振動板の下面に凹部を形成することで、隣接する圧電部材群で振動板への接合面の高さが異なるにも拘わらず、振動板の肉厚を同じにすることができ、振動板の変形量を略同一とすることができる。

請求項１２に記載の発明は、請求項９〜１１の何れか１項に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記接合面の高さによって変わる前記圧力室の容積を略同一にする補助プレートを圧力室内に設けたことを特徴とする。

接合面の高さを変え、かつ振動板の肉厚を同じにするため、振動板の下面側には凹部が設けられるが、凹部が設けられた箇所では、凹部が設けられていない箇所と比較して圧力室の容量が大きくなってしまう。請求項１２に記載の発明では、補助プレートを設け、接合面の高さによって変わる圧力室の容積を略同一にするようにしている。

本発明は、上記構成としたので、請求項１及び７に記載の発明では、圧電部材を、互いの境界が入り組んだ状態で、マトリックス状に配設することで、ノズルを高密度に配置することができ、高解像度化を実現することができる。また、圧電部材群同士で所定の隙間を設けることで、互いの境界が入り組んだ状態で配置された圧電部材群であっても、圧電部材群を構成する圧電素子が切断されないようにしている。さらに、複数の圧電プレートで個別化加工された各圧電部材群を互いに振動板へ接合し、つなぎ合わせることで、１つのヘッドの大面積化を可能にすることができる。これにより、ヘッドサイズに限界が無くなり、自由に設計できるほか、部品点数も少なくなり、コストダウンを図ることができる。

請求項２及び３に記載の発明では、圧電プレート同士でバラツキの少ないものを互いに接合させることで、圧電部材群の接合部において境界を持たない（バラツキを小さくする）ような分布にすることができ、ノズルからの液滴吐出特性のヘッド内バラツキにおいて、画像においてグラデーション不良が発生しづらくなるという効果が得られる。

請求項４に記載の発明では、圧電部材群と位置決め用マークとの相対位置関係は常に一致するため、振動板を含む流路プレートユニットに対する圧電部材群の位置決め精度が向上する。請求項５に記載の発明では、位置決め用マークを互いに略相似形状とすることで、位置決め用マークが干渉することなく二回目以降複数回の接合が可能となる。請求項６に記載の発明では、各圧電部材群は実質的に振動板を含む流路プレートユニット側の位置決め基準に対して位置決めされることとなる。

請求項８〜１０に記載の発明では、隣接する圧電部材群の接合面の高さを変えることで、すでに振動板に接合された圧電部材群の隣に圧電素子群を接合させるとき、該圧電素子群を配置している基板の接着テープなどが、振動板に接合された圧電部材群に干渉しないようにすることができるため、圧電部材群同士の間隔を狭くすることができ、ノズルを高密度に配置することができる。また、圧電部材群をさらに小ピース化することができ、ハンドリングが容易になる。また、圧電部材群を小ピース化することで、圧電部材群のサイズをさらに薄層化でき、品質向上及び歩留り向上を実現することができる。

請求項１１に記載の発明では、隣接する圧電部材群で振動板への接合面の高さが異なるにも拘わらず、振動板の肉厚を同じにすることができ、振動板の変形量を略同一とすることができる。請求項１２に記載の発明では、補助プレートを設け、接合面の高さによって変わる圧力室の容積を略同一にするようにしている。

以下、本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドについての説明を行う。まず、最初に図１に示すインクジェット記録装置７０の概要を説明する。

なお、記録媒体は記録紙Ｐとし、記録紙Ｐのインクジェット記録装置７０における搬送方向を副走査方向として矢印Ｓで表し、その搬送方向と直交する方向を主走査方向として矢印Ｍで表す。

インクジェット記録装置７０は、ブラック、イエロー、マゼンタ、シアンの各インクジェット記録ユニット７２を搭載するキャリッジ７６を備えている。このキャリッジ７６の記録紙Ｐの搬送方向上流側には、一対のブラケット７８が突設されており、そのブラケット７８には円形状の開孔７８Ａが穿設されている。そして、この開孔７８Ａに、主走査方向に架設されたシャフト８０が挿通されている。

また、主走査方向の両端側には、主走査機構８２を構成する駆動プーリー８４と従動プーリー８６が配設されている。この駆動プーリー８４と従動プーリー８６にはタイミングベルト８８が巻回されており、タイミングベルト８８の一部にキャリッジ７６に固定され、キャリッジ７６が主走査方向に往復移動可能となっている。

また、このインクジェット記録装置７０には、搬送ローラー９０及び排出ローラー９２からなる副走査機構９４が設けられており、画像印刷前の記録紙Ｐを束にして載置する給紙トレイ９６から１枚ずつ給紙された記録紙Ｐを所定のピッチで副走査方向へ搬送する。

さらに、図２に示すように、各色のインクジェット記録ユニット７２は、インクジェット記録ヘッド７４と、それにインクを供給するインクタンク９８とが一体に構成されたものであり、インクジェット記録ヘッド７４の下面に形成された複数のノズル１０（図４（Ｂ）参照）が、記録紙Ｐと対向するようにキャリッジ７６上に搭載されている。

したがって、インクジェット記録ヘッド７４が主走査機構８２（図１参照）によって主走査方向に移動しながら、記録紙Ｐに対してノズル１０から選択的にインク滴を吐出することにより、所定のバンド領域ＢＥに対して画像データに基づく画像の一部が記録される。

そして、主走査方向への１回の移動が終了すると、記録紙Ｐは、副走査機構９４（図１参照）によって副走査方向に所定ピッチ搬送され、再びインクジェット記録ヘッド７４（インクジェット記録ユニット７２）が主走査方向（前述とは反対方向）に移動しながら、次のバンド領域に対して画像データに基づく画像の一部が記録されるようになっており、このような動作を複数回繰り返すことによって、記録紙Ｐに画像データに基づく全体画像がフルカラーで記録される。

次に、本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの構成について説明する。

図３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、インクジェット記録ヘッド７４には、インクタンク９８（図２参照）からインクが供給される共通インク室２０が備えられている。この共通インク室２０には開口部１８が設けられており、インク供給路１６を介して圧力室１４が連通し、共通インク室２０内のインクが供給されるようになっている。

また、インクジェット記録ヘッド７４には、マトリックス状に配置された複数のノズル１０が備えられており、ノズル連通室１２を介して圧力室１４と連通している。この圧力室１４の上面には上下方向に弾性を有する振動板３０が設けられており、圧力室１４に対応する振動板３０の上面には、図５に示すように、圧電素子４２がマトリックス状に配置されている。

この圧電素子４２は、全て略同一形状を成しており、図４（Ａ）に示すように、略楕円状を成し略六角形状の圧力室１４よりも一回り小さく形成され、圧力室１４の上方に位置する楕円部４２Ａと、楕円部４２Ａと繋がり楕円部４２Ａの端部から楕円部４２Ａの同一平面状で屈曲して形成され楕円部４２Ａよりも小さい略五角形状を成す多角部（ハッチング領域）４２Ｂと、で構成されている。そして、この圧電素子４２は互いの境界が入り組んだ状態で、マトリックス状に配設されている。

また、図５に示すように、列方向で隣接する圧電素子４２の楕円部４２Ａと楕円部４２Ａの間には、圧電素子４２と同一平面上にダミー部４４を設けており、隣接する圧電素子４２間及び圧電素子４２とダミー部４４の間には、溝部４０を設けている。

一方、図４（Ａ）、（Ｂ）に示すように、多角部４２Ｂは電気接続を行う電気パット部となり、ボール半田３４を介して電気基板３６が接合され、多角部４２Ｂに電圧が印加されると、圧力室１４の上方に位置する楕円部４２Ａは電歪作用によって変形し、圧力室１４内のインクを加圧する駆動部となる。このように、圧力室１４内のインクが加圧されると、ノズル１０からインク滴が吐出する。

ここで、振動板３０の上面にマトリックス状に配置された圧電素子４２を略同一形状とすることで、圧電素子４２によって変位する振動板３０の変位量を各ノズル１０で同一にすることができ、インク滴の吐出特性を均一化することができる。

また、ダミー部４４の形状を略同一とすることで、圧電素子４２を支持する支持条件を各ノズル１０で略同一にすることができ、インク滴の吐出特性をさらに均一化することができる。

さらに、ダミー部４４と圧電素子４２との間に、溝部４０を設けることで、ダミー部４４は圧電素子４２から完全に独立した状態となり、ダミー部４４は圧電素子４２の電圧の印加による影響を全く受けない。

次に、本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法について説明する。

このインクジェット記録ヘッド７４は、図６（Ａ）に示すように、ノズル１０（図６（Ｂ）参照）が形成されるノズルプレート２１と、ノズル連通室１２と共通インク室２０とを形成するインクプールプレート２２、インクプールプレート２３と、共通インク室２０の開口部１８とノズル連通室１２とを形成するスループレート２４と、インク供給路１６が形成されたインク供給路プレート２６と、圧力室１４が形成された圧力室プレート２８と、を順番に積層し接合して形成される。

ノズルプレート２１の表面には、撥水コート膜を被覆すると共に、図６（Ｂ）に示すように、エキシマレーザ５０によってノズル１０を形成し、図６（Ｃ）に示すように、ノズル１０の形成後に圧力室プレート２８に振動板３０を接着する。

尚、ノズルプレート２１の材質はポリイミドであり、インクプールプレート２２、インクプールプレート２３、スループレート２４、インク供給路プレート２６、圧力室プレート２８、振動板３０の材質はＳＵＳである。

また、これら、ノズルプレート２１、インクプールプレート２２、インクプールプレート２３、スループレート２４、インク供給路プレート２６、圧力室プレート２８、振動板３０が接着されたものを、流路プレートユニット５２という。

ここで、別途、図６（Ｄ）に示すように、電圧が印加される圧電素子４２と、電圧が印加されないダミー部４４と、を備えた圧電ユニット５４（以下、「ＰＡ基板５４」という）を作成する。

先ず、図８（Ａ）に示すように、圧電材料ブロック（図示省略）にラップ加工を施し、圧電プレート５８を作成する。圧電プレート５８の厚さは、圧電素子４２に必要な、たわみ変形量や駆動電圧を基に決められる。本実施の形態では、約φ１５ｍｍ、肉厚約４０±６μｍとしている。

次に、この圧電プレート５８を、短冊状にダイシング（切削加工）する。なお、ここでは、一つの圧電プレート５８から一つの短冊チップ１１６を形成したが、一つの短冊チップ１１６の面積を小さくして複数の短冊チップ１１６を形成しても良い。

そして、ダイシングされた短冊チップ１１６を、図８（Ｂ）に示すように、剥離可能な接着剤、例えば熱発泡性接着フィルム５７（接着後に所定の温度で加熱すると発泡して接着力が大幅に低下する性質を有する）を介して固定基板５６に仮接着する。

ここで、固定基板５６には、流路プレートユニット５２（図６（Ｄ）参照）との接合位置のアライメント（位置合わせ）を行うため、振動板３０を含む流路プレートユニット５２側に形成されたマーク１２２を基準とするマーク１２４が予め形成されている。

短冊チップ１１６を固定基板５６に接着固定後、後述するサンドブラスト加工を用いて、短冊チップ１１６に一定幅の溝部４０を形成する（いわゆる個別化加工）ことで、図５及び図８（Ｃ）に示すように、圧電素子４２、ダミー部４４及び溝部４０が形成されたＰＡ基板５４が作成される。

ここで、サンドブラスト加工について以下に説明する。

図８（Ｂ）に示すように、短冊チップ１１６を固定基板５６に仮接着する際、隣り合う短冊チップ１１６同士の隙間をなくすように配置すると、短冊チップ１１６の端面と短冊チップ１１６の端面とが接触し、この衝撃により短冊チップ１１６が割れてしまったりする場合がある。このため、短冊チップ１１６と短冊チップ１１６の間には、短冊チップ配列用のクリアランスｔ₁を設けた状態で短冊チップ１１６を固定基板５６に仮接着する。

そして、図７に示すように（図８（Ｃ）では説明の都合上短冊チップ１１６を４つにしているが、図７では分かりやすくするため１つの短冊チップ１１６としている）、仮接着した短冊チップ１１６の上に、感光性を有するフィルムレジスト６０を貼り付ける。本実施の形態では、厚さ５０μｍのウレタン系フィルムレジストを使用した。その後、圧電素子４２及びダミー部４４にのみ紫外線（ＵＶ）が透過するパターンを有する露光マスク６２を別途作成し、上記のフィルムレジスト６０に貼り付ける。

露光マスク６２は、固定基板５６のマーク１２４を基準にしてパターニングされている。この露光マスク６２を介してフィルムレジスト６０で被覆した短冊チップ１１６へＵＶ照射を行い、その後エッチングを行う。エッチング液には、ＵＶ照射された部分を除去せず、かつ、それ以外の部分を確実に除去できる特性を有するもの、例えば、炭酸ナトリウム水溶液を用いる。

以上のプロセスによって、図５に示す圧電素子４２及びダミー部４４にのみフィルムレジスト６０が被覆され、それ以外の部分はフィルムレジスト６０が除去される。つまり、除去された部分が一定幅の溝部４０となる。

続いて、サンドブラスト加工を行う。このサンドブラスト加工では、短冊チップ１１６のフィルムレジスト６０が除去されて露出した部分（溝部４０）は確実に研削除去され、かつ、フィルムレジスト６０が残った部分（圧電素子４２とダミー部４４）には研削が行われないような条件下で行う。

一般にサンドブラスト加工では、ブラスト砥粒が圧電プレート５８の側面に対しても衝突する為、短冊チップ１１６の厚さ方向に対する加工（垂直加工）の進行と平行して、短冊チップ１１６の幅方向への加工（水平加工）も進行する。この水平加工の加工速度は、短冊チップ１１６に形成する溝部４０の幅に依存する。つまり、溝部４０の幅が大きいほど、ブラスト砥粒が短冊チップ１１６の側面に衝突しやすくなるため、水平加工の加工速度が大きくなる。

しかし、本実施の形態では、溝部４０は一定幅であるので水平加工量が同一となる。このため、圧電素子４２は均一な寸法とすることができ、高精度の加工が可能となる。そしてサンドブラスト加工後、圧電プレート５８の表面に残ったフィルムレジスト６０を除去し洗浄を施す。

このようにサンドブラスト加工によれば、本実施の形態のような複雑な形状の圧電素子４２及びダミー部４４であっても、簡易的かつ短時間で精密に加工を行うことができ、また、そのため低コスト化することができる。

そして、サンドブラスト加工によって、マトリックス状に配列された圧電素子４２とダミー部４４とが形成された面を、図６（Ｄ）に示すように、流路プレートユニット５２の振動板３０に接着させる（以下、「ＰＡ接合」といい、詳しくは後述する）。

ここで、圧電素子４２の周辺にダミー部４４を設けることで、ＰＡ基板５４を振動板３０に接合する時、接合時の応力がダミー部４４にも分散され、圧電素子４２への応力集中が回避される。

このため、圧電素子４２に応力が集中することによる楕円部４２Ａのクラックや割れのような、インク滴の吐出特性低下原因の発生を防止することができる。また、圧電素子４２の周囲に溝部４０を設けることで、ＰＡ接合時に、ＰＡ基板５４と振動板３０との線膨張係数の差を吸収することができる。

また、圧電プレート５８の両面には、図示はしないが、電極層として第１電極層（下面）及び第２電極層（上面）がスパッタリングなどで予め形成されており、共通電極として兼用する振動板３０と接着剤で接着することで、第１電極層を介して圧電素子４２と振動板３０とが電気的にも接続される。尚、本実施の形態では、電極層材料としてクロム、ニッケル、金を用いている。

そして、図６（Ｅ）では、固定基板５６を加熱し、熱発泡性接着フィルムの接着力を低減させて固定基板５６を剥離する。

ところで、図８（Ｃ）に示すように、各短冊チップ１１６上に、複数の圧電素子４２、ダミー部４４及び溝部４０（図５参照）をパターニングすると、圧電素子４２の形状が直線的でないため、各短冊チップ１１６の端部では、圧電素子４２が分断されてしまうこととなる。このため、各短冊チップ１１６の端部においては、予めパターニングされない領域が生じる（パターンのクリアランスｔ₂）。

従って、図９に示すように、各短冊チップ１１６によって形成された圧電部材群１１０と圧電部材群１１２の間には、クリアランスｔ₂（左側の短冊チップ１１６）、クリアランスｔ₁及びクリアランスｔ₂（右側の短冊チップ１１６）を合わせた無駄な領域が生じることとなり、この領域には、ノズル１０を配置することができない。

このため、本発明では、ＰＡ接合において、図１０に示すように、固定基板５６上の圧電部材群１１０、１１１、１１２、１１３を各グループに分け、各グループ別に固定基板５６Ａ、５６Ｂ、５６Ｃ、５６Ｄにそれぞれ接着した後、各固定基板５６Ａ、５６Ｂ、５６Ｃ、５６Ｄの圧電部材群１１０、１１１、１１２、１１３を順番に振動板３０へ接合させる。

また、ここでは、４つの圧電部材群１１０、１１１、１１２、１１３で説明したが、複数の圧電部材群であればいくつでも良い。さらに、一つの固定基板に対して一つの圧電部材群を仮接着させたが、一つの固定基板に複数の圧電部材群を仮接着させても良い。

一方、各固定基板５６Ａ、５６Ｂ、５６Ｃ、５６Ｄには、固定基板５６に形成されたマーク１２４に対する位置合わせのマーク１２０（１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃ、１２０Ｄ）がそれぞれ形成されている。

このマーク１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃ、１２０Ｄは、振動板３０へ各圧電部材群１１０、１１１、１１２、１１３を接合させる際、振動板３０を含む流路プレートユニット５２側に対する位置決め基準として、それぞれ形成されたものであり、これにより、各圧電部材群１１０、１１１、１１２、１１３が振動板３０の所定の位置に位置合わせされることとなる。

ここで、図１１及び図１２に示すように、各マーク１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃ、１２０Ｄで構成されたマーク１２０は、図８（Ｃ）に示すように、複数の圧電素子４２、ダミー部４４及び溝部４０が各短冊チップ１１６上にパターニングされる際に、一緒に形成され、固定基板５６上の圧電部材群１１０、１１１、１１２、１１３がそれぞれ固定基板５６Ａ、５６Ｂ、５６Ｃ、５６Ｄに仮接着されるとき、各マーク１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃ、１２０Ｄも固定基板５６Ａ、５６Ｂ、５６Ｃ、５６Ｄにそれぞれ仮接着される。

図１０及び図１２に示すように、振動板３０を含む流路プレートユニット５２側に形成されたマーク１２２は十字形状を成しており、圧電部材群の接合順に、固定基板５６Ｄにはマーク１２２の外縁を僅かに大きくした白抜きの十字形を成すマーク１２０Ｄが形成され、固定基板５６Ｃにはマーク１２０Ｄを僅かに大きくした略相似形状のマーク１２０Ｃが形成されている。

そして、固定基板５６Ｂにはマーク１２０Ｃを僅かに大きくした略相似形状のマーク１２０Ｂが形成され、固定基板５６Ａにはマーク１２０Ｂを僅かに大きくした略相似形状のマーク１２０Ａが形成されており、各圧電部材群１１０、１１１、１１２、１１３の接合時には、直前に接合されたマークに対してアライメント（位置合わせ）を実施する。

つまり、固定基板５６Ｄは振動板３０を含む流路プレートユニット５２側のマーク１２２に対してアライメントを実施するが、固定基板５６Ｃは固定基板５６Ｄのマーク１２０Ｄに対してアライメントを行い、固定基板５６Ｂはマーク１２０Ｃ、固定基板５６Ａはマーク１２０Ｂに対してそれぞれアライメントを行う。

一方、直前に接合された圧電部材群のマークに対してアライメントを行うとなると、位置ズレが積算されてしまうことになる。圧電素子４２は、圧力室１４に対する位置が重要となるので、流路プレートユニット５２側のマーク１２２と、マーク１２０Ｄとの位置ズレ量を図示しない顕微鏡で測定する。そして、この測定結果を基に、位置ズレ量をキャンセルする方向に補正をかける。

なお、ここでは、各固定基板５６Ａ、５６Ｂ、５６Ｃ、５６Ｄにそれぞれ一つのマーク１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃ、１２０Ｄを形成したが、振動板３０を含む流路プレートユニット５２に対して固定基板５６Ａ、５６Ｂ、５６Ｃ、５６Ｄを精度良く位置決めすることができれば良いため、これに限るものではない。

例えば、図１３（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、固定基板５６Ａ、５６Ｂにそれぞれ二つずつマーク１２６Ａ、１２８Ａ及びマーク１２６Ｂ、１２８Ｂを形成しても良い。この場合、図１４（Ａ）に示すように、マーク１２６Ａは流路プレートユニット５２（図１３（Ａ）参照）のマーク１２２に対してアライメントを行うためのマークであり、図１４（Ａ）、（Ｂ）に示すように、マーク１２８Ａは次に接合を行う圧電部材群のマーク１２６Ｂに対して基準となるマークである。

また、ここでは、マーク１２６Ａ、１２８Ａ、１２６Ｂ、１２８Ｂの形状を略十字形状としたが、アライメント用の基準点となれば良いため、これに限るものではなく、略相似形状であれば円状でも三角状でも良い。

ところで、圧電プレート５８は各々肉厚にバラツキがあるため、複数の圧電プレート５８を使用する場合、圧電プレート５８の肉厚によって圧電部材群１１０、１１１、１１２、１１３を分級し、各圧電プレート５８でバラツキの少ないものが隣同士となるように接合させる。肉厚は直接測定する以外にも、圧電チップ（図示省略）を同じ面積に加工し、該圧電チップの重量を計測し、圧電チップの比重から肉厚を換算する方法もある。

そして、複数の圧電部材群１１０、１１１、１１２、１１３を互いに接合させることで形成された圧電体１０４において、各圧電素子４２の多角部４２Ｂは電気接続を行う電気パット部となり、図６（Ｆ）に示すように、各圧電素子４２毎にボール半田３４を形成して、ボール半田３４を介して電気基板３６が接合される。

尚、圧電プレート５８の上面には、第２電極層が形成されているため、第２電極層を介して圧電素子４２と電気基板３６とが電気的に接続される。また、電気基板３６と振動板３０とは図示しない接点にて接続される。

最後に図示しないインク供給部材等を取り付けることにより、本実施の形態のインクジェット記録ヘッド７４が完成する。

このようにして完成したインクジェット記録ヘッド７４には、インクタンク９８（図２参照）からインクが導入され、図３（Ｂ）及び図４（Ｂ）に示すように、矢印Ｙに沿って流動し、共通インク室２０、インク供給路１６、圧力室１４、ノズル連通室１２に充填される。

次に、本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの作用について説明する。

図５に示すように、圧電部材群１１０、１１１、１１２、１１３を構成する圧電素子４２は互いの境界が入り組んだ状態で、マトリックス状に配設され、列方向で隣接する圧電素子４２の楕円部４２Ａと楕円部４２Ａの間に、圧電素子４２と同一平面上にダミー部４４を設けている。このように、圧電素子４２を、互いの境界が入り組んだ状態でマトリックス状に配設することで、ノズル１０を高密度に配置することができ、高解像度化を実現することができる。

また、本発明では、図１０に示すように、固定基板５６上の圧電部材群１１０、１１１、１１２、１１３を各グループに分け、各グループ別に固定基板５６Ａ、５６Ｂ、５６Ｃ、５６Ｄにそれぞれ接着した後、各固定基板５６Ａ、５６Ｂ、５６Ｃ、５６Ｄの圧電部材群１１０、１１１、１１２、１１３を順番に振動板３０へ接合させる。

これにより、少なくとも短冊チップ配列用のクリアランスｔ₁は不要となり、隣り合う圧電部材群同士（例えば、圧電部材群１１０と圧電部材群１１１）のクリアランスを小さくすることができる。

また、隣接する圧電素子４２間及び圧電素子４２とダミー部４４の間に、溝部４０を設け、この溝部４０の形状に沿って圧電部材群１１０、１１１、１１２、１１３を互いに接合させることで、互いの境界が入り組んだ状態で配置された圧電素子４２であっても、図１１に示すように、圧電部材群同士のクリアランスをなくすこともできる。

これにより、図１６及び図１８（Ｂ）に示すように、１つのインクジェット記録ヘッド７４の大面積化を可能にすることができる。このため、ヘッドサイズに限界が無くなり、自由に設計できるほか、部品点数も少なくなり、コストダウンを図ることができる。

また、図１０及び図１２に示すように、振動板３０を含む流路プレートユニット５２側に形成されたマーク１２２に対して、圧電部材群の接合順に、マーク１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃ、１２０Ｄが互いに略相似形状となるようにしている。

例えば、合同形状のマークを用いて互いに重ね合わせて位置決めを行う場合、先に接合されている位置決め用マークと干渉し、二回目以降の接合が不可能となってしまうが、位置決め用マークを互いに略相似形状とすることで、位置決め用マークの外形（或いは内形）に対して位置決め用マークの内形（或いは外形）を位置合わせすることとなり、位置決め用マークが干渉することなく二回目以降複数回の接合が可能となる。

さらに、流路プレートユニット５２のマーク１２２と、マーク１２０Ｄとの位置ズレ量を顕微鏡で測定し、この測定結果を基に、位置ズレ量をキャンセルする方向に補正をかけることで、直前に接合された圧電部材群のマークに対して各固定基板をアライメントするにも拘わらず、実質的には流路プレートユニット５２のマーク１２２に対してアライメントが成されることとなり、圧力室１４に対する各圧電部材群の位置ズレ量を小さくすることができる。

一方、図１５（Ａ）に示す圧電部材群１１０、１１１をそれぞれ異なる圧電プレート５８Ａ、圧電プレート５８Ｂで形成し、振動板３０に接合させた場合、大面積の圧電部材群１１０と圧電部材群１１１との接合部１１４において、圧電プレート５８Ａと圧電プレート５８Ｂの肉厚の差が顕著になってしまう。

つまり、図１７（Ａ）に示すように、圧電部材群１１０と圧電部材群１１１の接合部１１４において境界が顕著となり、ノズル１０からのインク滴吐出特性（例えば、滴体積）のインクジェット記録ヘッド７４内のバラツキが大きく見られ、画像においてグラデーション不良が発生する。

このように、各圧電プレートでは、肉厚にバラツキがあるため、圧電プレートの肉厚によって圧電部材群を分級し、各圧電プレートで肉厚の差が小さいもの同士を隣接させることで、圧電部材群の接合部におけるバラツキを小さくすることができる。

さらに、図１５（Ｂ）及び図１６に示すように、小面積で構成された複数の圧電部材群１１０、１１１（ここでは、図１５（Ａ）との比較のため、圧電部材群１１０、１１１のみとする）を互いに接合させて大面積の圧電体１０４を形成することで、各圧電プレート５８Ａ、５８Ｂ毎のバラツキを目立たなくすることができ、図１７（Ｂ）に示すように、吐出特性のインクジェット記録ヘッド７４内バラツキにおいて、接合部１０８における境界を持たないような分布にすることができる。このため、画像においてグラデーション不良が発生しづらくなるという効果が得られる。

つまり、圧電プレート５８Ａと圧電プレート５８Ｂの吐出特性において、図１５（Ａ）の場合、圧電部材群１１０と圧電部材群１１１との接合部１１４において、境界が顕著となるため、吐出特性のバラツキが５％以上になると、画像にグラデーションが鮮明に表れてしまう。

しかし、図１５（Ｂ）の場合、圧電部材群１１０と圧電部材群１１１との接合部１０８において、境界を持たないような分布にすることができるため、吐出特性のバラツキが８％以下（圧電素子の肉厚のバラツキが±０．６μｍ以内）であれば、画像のグラデーションは目立たない。このため、インクジェット記録ヘッド７４の歩留まりを上げることができ、コストダウンに繋がる。

なお、ここでは、圧電プレート５８の肉厚によって、圧電部材群１１０、１１１を分級したが、複数の圧電部材群１１０、１１１を接合させた後、吐出特性のヘッド内バラツキが、接合部１０８において境界を持たないようにすることができれば良いため、これに限るものではない。例えば、圧電素子４２の静電容量を測定し、この測定結果により圧電部材群１１０、１１１を分級しても良い。

ところで、各圧電部材群１１０、１１１、１１２、１１３は、仮接着テープ１３０を介して各固定基板５６Ａ、５６Ｂ、５６Ｃ、５６Ｄに仮接着されているが、例えば、図１８に示すように、圧電部材群１１１の後に圧電部材群１１０を接合させるとき、仮接着テープ１３０の端面が、直接或いは、クリーンルーム中に存在するミクロンオーダーの微粒子の介在によって、すでに振動板３０に接合された圧電部材群１１１の一部と干渉してしまう恐れがある。

この場合、脆弱な圧電素子４２がクラック等、機能を損なうダメージを受ける可能性があるため仮接着テープ１３０の端面が干渉しないよう、隣接する圧電部材群間で所定の隙間を設けなければならない。

このため、例えば、図１９及び図２０に示すように、互いに隣接する圧電部材群１１０の接合面Ｐの高さと、圧電部材群１１１の接合面Ｑの高さを変えるようにする（便宜上、圧電部材群１１０と圧電部材群１１１で説明する）。

具体的には、図２１に示すように、振動板３０を振動板３０Ａ、３０Ｂの２枚で構成する。この振動板３０Ａ、３０Ｂには、圧電部材群１１０又は圧電部材群１１０を構成する圧電素子４２のピッチに合わせて、貫通孔１３２、貫通孔１３４がそれぞれ形成されている。

貫通孔１３２と貫通孔１３４が互いに連通しないように、振動板３０Ａと振動板３０Ｂを重ね合わせた状態が図１９に示す状態である。この状態で、図２２（Ａ）に示すように、貫通孔１３２を通じて、振動板３０Ｂの上面（接合面Ｑ）に圧電素子４２を接合させ、圧電部材群１１１を構成する。次に、図２２（Ｂ）に示すように、振動板３０Ａの上面（接合面Ｐ）に圧電素子４２を接合させ、圧電部材群１１０を構成する。

このように、互いに隣接する圧電部材群１１０の接合面Ｐの高さと圧電部材群１１１の接合面Ｑの高さを変えることで、すでに振動板３０Ｂの上面に接合された圧電部材群１１１の隣に圧電部材群１１０を接合させるときに、仮接着テープ１３０の端面が圧電部材群１１１の一部と干渉する恐れはなくなり、隣接する圧電部材群１１０、１１１間の隙間を小さくすることができ、ノズルを高密度に配置することができる。

また、圧電部材群１１０、１１１をさらに小ピース化することができ、ハンドリングが容易になる。また、圧電部材群１１０、１１１を小ピース化することで、圧電部材群１１０、１１１のサイズをさらに薄層化でき、品質向上及び歩留り向上を実現することができる。

また、２枚の振動板３０Ａ、３０Ｂを用い、圧電素子４２のピッチに合わせて形成された貫通孔１３２と貫通孔１３４が互いに連通しないように、振動板３０Ａと振動板３０Ｂを重ね合わせて、接合面Ｐ、Ｑを設けることで、隣接する圧電部材群１１０、１１１で、振動板３０への接合面の高さが異なるにも拘わらず、振動板３０の肉厚を同じにすることができ、振動板３０の変形量を略同一とすることができる。

なお、ここでは、振動板３０を振動板３０Ａ、３０Ｂの２枚で構成し、振動板３０Ａ、３０Ｂに貫通孔１３２、貫通孔１３４をそれぞれ形成したが、圧電部材群１１０、１１１の振動板３０への接合面Ｐ、Ｑの高さを変えることができればよいため、これに限るものではない。

例えば、図２３に示すように、１枚の振動板１２５で、図１９に示す貫通孔１３２、貫通孔１３４に対応して、振動板１２５の上面に凹部１２５Ａ、振動板１２５の下面に凹部１２５Ｂをそれぞれ凹設しても良い。

また、図２４に示すように、１枚の振動板１２７をプレス加工により塑性変形させて、高さの異なる接合面Ｐ、Ｑを設けるようにしても良いが、この場合、圧力室プレート２８（図４参照）の形状も振動板１２７の形状に合わせて変える必要が生じる。さらに、図１９及び図２３では、各圧電素子４２に対応して貫通孔１３２、又は凹部１２５Ａを設けたが、圧電部材群単位で一つの凹部１２７Ａとしても良い。

ところで、以上のように、圧電部材群１１０の接合面Ｐの高さと、圧電部材群１１１の接合面Ｑの高さを変えた場合、圧力室１４の容積が異なってしまう。このため、図２５に示すように、ノズルプレート２１とインクプールプレート２２（図４（Ｂ）参照）の間に振動板３０Ａ、３０Ｂと略同一の肉厚を有する補助圧力室板１３６を設けて、圧力室１４の容積を同じにするようにしても良い。この補助圧力室板１３６に、圧力室１４からノズル１０へ通じる大きさの異なる貫通孔１３６Ａ、１３６Ｂを設け、圧力室１４の容積を同じにする。

具体的には、圧電部材群１１０側は、振動板３０Ｂに形成された貫通孔１３４によって圧電部材群１１１側と比較して圧力室１４の容量が大きくなっている。このため、貫通孔１３６Ｂの大きさを貫通孔１３６Ａよりも小さくして、貫通孔１３４による圧力室１４の容量の差を相殺する。

このように、圧電部材群１１０と圧電部材群１１１とで、圧力室１４の容積を略同一にすることで、ノズル１０から吐出するインク滴の吐出特性に影響を与えなくて済む。

なお、上記実施例のインクジェット記録装置７０では、ブラック、イエロー、マゼンタ、シアンの各色のインクジェット記録ユニット７２がそれぞれキャリッジ７６に搭載され、それら各色のインクジェット記録ヘッド７４から画像データに基づいて選択的にインク滴が吐出されてフルカラーの画像が記録紙Ｐに記録されるようになっているが、本発明におけるインクジェット記録は、記録紙Ｐ上への文字や画像の記録に限定されるものではない。

すなわち、記録媒体は紙に限定されるものでなく、また、吐出する液体もインクに限定されるものではない。例えば、高分子フィルムやガラス上にインク滴を吐出してディスプレイ用カラーフィルターを作成したり、溶接状態の半田を基板上に吐出して部品実装用のバンプを形成するなど、工業的に用いられる液滴噴射装置全般に対して、本発明に係るインクジェット記録ヘッド７４を適用することができる。

また、上記実施例のインクジェット記録装置７０では、主走査機構８２と副走査機構９４を有するＰａｒｔｉａｌ Ｗｉｄｔｈ Ａｒｒａｙ（ＰＷＡ）の例で説明したが、本発明におけるインクジェット記録は、これに限定されず、紙幅対応のいわゆるＦｕｌｌ Ｗｉｄｔｈ Ａｒｒａｙ（ＦＷＡ）であってもよい。むしろ、本発明は、高密度ノズル配列を実現するのに有効なものであるため、１パス印字を必要とするＦＷＡには好適である。

本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドが適用されたインクジェット記録装置を示す斜視図である。 本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドが適用されたインクジェット記録ユニット示す斜視図である。 （Ａ）は、本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの構成を示す斜視図であり、（Ｂ）は（Ａ）の部分拡大図である。 （Ａ）は、本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの圧電素子を示す拡大図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＡ−Ａ断面図である。 本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの圧電素子を示す平面図である。 （Ａ）〜（Ｆ）は、本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造工程を模式的に表す工程図である。 本実施の形態のインクジェット記録ヘッドの圧電プレートへのサンドブラスト加工の工程を模式的に表す工程図である。 （Ａ）〜（Ｃ）は、本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を示す説明図である。 図８（Ｃ）の部分拡大図である。 本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を示す斜視図である。 本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法の圧電体を示す平面図である。 本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造時に使用する位置決めマークを示す平面図である。 （Ａ）〜（Ｃ）は、本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造時に使用する位置決めマークの他の例を示す平面図である。 （Ａ）、（Ｂ）は図１３の作用を説明する説明図である。 （Ａ）は、２枚の圧電プレートを接合させる方法を示し、（Ｂ）は圧電プレートを分割し接合させた方法を示す説明図である。 本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの圧電体を示す平面図である。 （Ａ）は図１５の（Ａ）に対応するインク滴の吐出特性を示し、（Ｂ）は図１５の（Ｂ）に対応するインク滴の吐出特性を示すグラフである。 インクジェット記録ヘッドの圧電素子を振動板に接合するときの問題を説明する断面図である。 本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの流路プレートユニットの変形例を示す断面図である。 図１９の流路プレートユニットに圧電素子を接合した状態を示す断面図である。 図１９の流路プレートユニットの一部分解断面図である。 （Ａ）、（Ｂ）は、本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの圧電部材群を振動板に接合するときの断面図である。 本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの流路プレートユニットの他の変形例を示す断面図である。 本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの流路プレートユニットのその他の変形例を示す断面図である。 本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの流路プレートユニットに補助圧力室板を設けた状態を示す断面図である。 （Ａ）は従来のインクジェット記録ヘッドを示す平面図であり、（Ｂ）は本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドを示す平面図である。 従来のインクジェット記録ヘッドを示す平面図である。

符号の説明

１０ ノズル
１４ 圧力室
３０ 振動板
４０ 溝部（隙間）
４２ 圧電素子
５８ 圧電プレート
７０ インクジェット記録装置
７２ インクジェット記録ユニット
７４ インクジェット記録ヘッド（液滴吐出ヘッド）
１１０ 圧電部材群
１１１ 圧電部材群
１１２ 圧電部材群
１１３ 圧電部材群
１０４ 圧電体
１０８ 接合部
１２０Ｄ マーク（位置決め用マーク）
１２０Ｃ マーク（位置決め用マーク）
１２０Ｂ マーク（位置決め用マーク）
１２０Ａ マーク（位置決め用マーク）
１２２ マーク（位置決め基準）
１２６Ａ マーク（位置決め用マーク）
１２６Ｂ マーク（位置決め用マーク）
１２８Ａ マーク（位置決め用マーク）
１２８Ｂ マーク（位置決め用マーク）
１２５ 振動板
１２５Ａ 凹部
１２７ 振動板
１２７Ａ 凹部
１３２ 貫通孔
１３４ 貫通孔
１３６ 補助圧力室板（補助プレート）
１３６Ａ 貫通孔
１３６Ｂ 貫通孔
Ｐ 接合面
Ｑ 接合面

Claims (12)

1. 液滴を吐出するノズルと、
   前記ノズルと連通し、液滴が充填される圧力室と、
   前記圧力室の一部を構成する振動板と、
   圧電プレートをマトリックス状に個別化加工して、前記振動板の表面に接合され、電圧が印加されて振動板を変位させる圧電素子から構成されている圧電部材群と、
   を備え、
   複数の前記圧電プレートで個別化加工された各圧電部材群を、互いの境界が入り組んだ状態で、かつ所定の隙間を設けて前記振動板へ互いに接合させることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
2. 複数の前記圧電プレートで個別化加工された前記圧電部材群を分級して前記振動板に接合することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
3. 前記圧電部材群を前記圧電プレートの厚さで分級することを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
4. 前記振動板を含む流路プレートユニット側に形成された位置決め基準に対して前記圧電部材群を位置決めさせる位置決め用マークが、圧電部材群を仮固定する固定基板に、圧電部材群と一緒にパターニングされたことを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
5. 複数の前記固定基板にパターニングされた各圧電部材群をそれぞれ前記振動板へ接合するとき、二回目以降に接合する圧電部材群の位置決め用マークは、直前に接合された圧電部材群の位置決め用マークに対して略相似形状を成し、前記位置決め用マークに対して位置決めされることを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
6. 前記位置決め基準に対して位置決めされた前記位置決め用マークの位置ズレ量を測定し、該位置ズレ量分の補正を行った後、次に接合する圧電部材群を該位置決め用マークに対して位置決めさせることを特徴とする請求項４又は５に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
7. 請求項１〜６の何れか１項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法で製造されたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
8. 隣接する前記圧電部材群の接合面の高さが異なることを特徴とする請求項７に記載の液滴吐出ヘッド。
9. 前記振動板が上部振動板と下部振動板の２枚で構成され、前記上部振動板と前記下部振動板に貫通孔が形成され、前記貫通孔同士が連通しないように重ねられた状態で配置されて、前記接合面が、前記上部振動板の上面と、前記上部振動板の貫通孔を通じて露出する下部振動板の上面であることを特徴とする請求項８に記載の液滴吐出ヘッド。
10. 前記振動板の上面に凹部が形成され、前記接合面が、振動板の上面と該上面に形成された凹部の底面であることを特徴とする請求項８に記載の液滴吐出ヘッド。
11. 前記接合面とされた振動板の上面に対応する振動板の下面に凹部が形成されたことを特徴とする請求項１０に記載の液滴吐出ヘッド。
12. 前記接合面の高さによって変わる前記圧力室の容積を略同一にする補助プレートを圧力室内に設けたことを特徴とする請求項９〜１１の何れか１項に記載の液滴吐出ヘッド。

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