JP2008062390A - 液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】各ノズルにおいてインクの吐出特性を安定化させることができる液滴吐出ヘッド及び液滴吐出ヘッドの製造方法を得る。
【解決手段】流路プレートユニット５２を、圧力室プレート２８（第１流路プレート２８）と、ノズルプレート２１、インクプールプレート２２、２３、スループレート２４、インク供給路プレート２６で構成された第２流路プレート５６と、に分け、圧力室プレート２８と振動板３０を接合した状態で、振動板３０の表面に圧電素子から構成されている圧電プレートを接合する。そして、圧力室１４の位置に合わせて該圧電プレートを個々の圧電部材群４２に個別化することで、圧電部材４２と圧力室１４は正確に位置決めされる。また、振動板３０をハーフエッチングすることで、振動板３０の肉厚を薄くして振動板３０の変形量を増大させ、インクの吐出特性を安定化させると共に、向上させることができる。
【選択図】図６−２

Description

本発明は、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの製造方法及びこの製造方法で製造された液滴吐出ヘッドに関する。

主走査方向に往復移動するインクジェット記録ヘッド（以下、単に「記録ヘッド」という場合がある）の複数のノズルから選択的にインク滴を吐出し、副走査方向へ搬送される記録紙等の記録媒体に文字や画像等を印刷するインクジェット記録装置は従来から知られている。

記録ヘッドは、インク滴を吐出するノズルと、ノズルと連通しインクが充填されるチャンバ（いわゆる圧力室）と、チャンバの一部を構成する振動板と、振動板を介して圧力室を加減圧する単板ピエゾアクチュエータ（いわゆる圧電部材）と、で構成されている。

圧電部材を用いたインクジェット装置では、圧電素子の上下に電極を形成し、プラス側からマイナス側に駆動電圧を印加し、圧電部材の電歪を利用して、圧電部材が設けられた振動板を振動させ、流路内のインクをノズルから吐出することで用紙にインクを付着させて、画像を形成する。

このような圧電部材の製造方法として、特許文献１、２では、基板上にプレート状の圧電部材を貼り付け、サンドブラスト加工等で圧電プレートを個別化した後に圧電部材群を振動板に接合している（ＰＺＴ接合）。

このＰＺＴ接合では、圧電部材群の接合の均一化を図ることが大変困難である。圧電部材群と振動板との間で位置ズレが生じると、各ノズルにおいてインクの吐出特性が不均一になる。また、圧電部材群を振動板に接合する際の接着剤が圧電部材の外縁部にはみ出してしまうと、圧電部材の変位を拘束され、インクの吐出特性悪化に影響を及ぼしてしまう。
特開２０００−１１７９８９号公報 特開平１１−２０７９７０号公報

本発明は上記事実を考慮し、各ノズルにおいてインクの吐出特性を安定化させることができる液滴吐出ヘッド及び液滴吐出ヘッドの製造方法を得ることを目的とする。

上記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、液滴が充填される圧力室の一部を構成する振動板と、前記振動板の表面に個別化され、電圧が印加されて振動板を変位させる圧電素子から構成されている圧電部材群と、前記圧力室の一部を構成し前記振動板に接合された第１流路プレートと、液滴を吐出するノズルが設けられ、前記第１流路プレートに接合され、第１流路プレートと連続して流路を構成する第２流路プレートと、を有する液滴吐出ヘッドにおいて、前記圧電部材群の下面にある振動板の肉厚よりも圧電部材の間にある振動板の肉厚の方が薄肉となっていることを特徴とする。

請求項１に記載の発明では、圧力室の一部を構成する流路プレートと振動板が接合される第１流路プレートとノズルが設けられた第２流路プレートに分けて、該第１プレートと振動板を接合した状態で、振動板の表面に圧電プレートを接合し、第１流路プレートに形成された圧力室の位置に合わせて該圧電プレートを個々の圧電部材群に個別化することで、圧電部材と圧力室は正確に位置決めされることとなる。これにより、各ノズルにおいて、液滴の吐出特性を均一化、安定化させることができる。

また、液滴の吐出特性は振動板の変形量に起因するところが大きいため、圧電部材群の下面にある振動板の肉厚よりも圧電部材の間にある振動板の肉厚の方を薄肉とすることで振動板の変形量を増大させ、液滴の吐出特性を安定化させると共に、向上させることができる。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記圧電部材と前記振動板の境界部が曲面になっていることを特徴とする。

請求項２に記載の発明では、圧電部材と振動板の境界部を曲面にすることで、該境界部を角状にする場合に比べて振動板の変形時の応力集中が発生しにくい。

請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板はＳＵＳ部材であることを特徴とする。

請求項４に記載の発明は、液滴吐出ヘッドの製造方法において、液滴が充填される圧力室の一部を構成する第１流路プレートと前記第１流路プレートに形成された貫通孔内に嵌る凸部が形成された凸部プレートとを接合する第１接合工程と、前記第１流路プレートと液滴が充填される圧力室の一部を構成する振動板とを接合する第２接合工程と、前記振動板の表面に、電圧が印加されると前記振動板を変位させる圧電素子から構成されている圧電プレートを接合する第３接合工程と、前記第１流路プレートに設けられた第１位置決め手段を利用し、前記圧電プレートを前記圧力室毎に対応させる圧電部材群として個別化する個別化工程と、前記凸部プレートを取り除く除去工程と、液滴を吐出するノズルが設けられた第２流路プレートに設けられた第２位置決め手段に前記第１位置決め手段を位置合わせして前記第２流路プレートと前記第１流路プレートとを位置決めする位置決め工程と、前記第２流路プレートと前記第１流路プレートとを接合する第４接合工程と、を有することを特徴とする。

請求項４に記載の発明では、液滴が充填される圧力室の一部を構成する第１流路プレートに形成された貫通孔内に嵌る凸部が形成された凸部プレートを用い、第１接合工程で該第１流路プレートと凸部プレートを接合し、第２接合工程で第１流路プレートと振動板とを接合する。そして、第３接合工程によって振動板の表面に圧電プレートを接合させ、個別化工程で振動板の表面に形成された第１位置決め手段を利用して、該圧電プレートを圧力室毎に個別化する。

次に、除去工程によって凸部プレートを取り除いた後、位置決め工程で、ノズルが設けられた第２流路プレートに設けられた第２位置決め手段に第１位置決め手段を位置合わせして第２流路プレートと第１流路プレートとを位置決めし、第４接合工程で、第２流路プレートと第１流路プレートを接合する。

以上のような工程により、圧電部材と圧力室は正確に位置決めされることとなる。つまり、個別化された圧電部材と圧力室とを位置合わせする必要が無く、各ノズルにおいて、液滴の吐出特性を均一化、安定化を図ることができる。

また、第１流路プレートと凸部プレートを接合し、第１流路プレートと振動板とを接合した（これらを以下、「プレート積層体」という）後に、圧電膜を成膜する。つまり、圧電プレートは振動板のみの場合と比較して剛性が高くなったプレート積層体に、接合されるため、圧電プレートの接合圧力を上げることができ、かつ圧電プレートの接合時に生じるクラックも防止することができるため、良好な接合が可能になる。

請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記個別化工程が、前記圧電プレートをエッチング加工した後、前記振動板をハーフエッチング加工することを特徴とする。

請求項５に記載の発明では、サンドブラスト加工等で、圧電プレートをエッチング加工した後、振動板をハーフエッチング加工するため、圧電部材群の下面にある振動板と圧電部材の外縁部の振動板の寸法は同寸法となる。つまり、各圧力室に伝達する変位が均一であるため、液滴の吐出特性を均一化、安定化させることができる。

請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記凸部の上面と対面する前記振動板の裏面側に接合力を低下させる処理が施されたことを特徴とする。

第１接合工程で第１流路プレートと凸部プレートを接合した状態で凸部プレートの凸部の上面は露出した状態となっているため、第２接合工程で第１流路プレートと振動板とを接合する際、凸部の上面と振動板とが接合されてしまうと、除去工程で第１流路プレートから凸部プレートを取り除けなくなってしまう恐れが生じる。このため、請求項６に記載の発明では、凸部の上面と対面する振動板の裏面側に接合力を低下させる処理を施こすことで、第２接合工程で凸部の上面と振動板とが接合されないようにする。

本発明は、上記構成としたので、各ノズルにおいて液滴の吐出特性の均一化を図ることができる。

以下、本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドについての説明を行う。まず、最初に図１に示すインクジェット記録装置７０の概要を説明する。

なお、記録媒体は記録紙Ｐとし、記録紙Ｐのインクジェット記録装置７０における搬送方向を副走査方向として矢印Ｓで表し、その搬送方向と直交する方向を主走査方向として矢印Ｍで表す。

インクジェット記録装置７０は、ブラック、イエロー、マゼンタ、シアンの各インクジェット記録ユニット７２を搭載するキャリッジ７６を備えている。このキャリッジ７６の記録紙Ｐの搬送方向上流側には、一対のブラケット７８が突設されており、そのブラケット７８には円形状の開孔７８Ａが穿設されている。そして、この開孔７８Ａに、主走査方向に架設されたシャフト８０が挿通されている。

また、主走査方向の両端側には、主走査機構８２を構成する駆動プーリー８４と従動プーリー８６が配設されている。この駆動プーリー８４と従動プーリー８６にはタイミングベルト８８が巻回されており、タイミングベルト８８の一部にキャリッジ７６に固定され、キャリッジ７６が主走査方向に往復移動可能となっている。

また、このインクジェット記録装置７０には、搬送ローラー９０及び排出ローラー９２からなる副走査機構９４が設けられており、画像印刷前の記録紙Ｐを束にして載置する給紙トレイ９６から１枚ずつ給紙された記録紙Ｐを所定のピッチで副走査方向へ搬送する。

さらに、図２に示すように、各色のインクジェット記録ユニット７２は、インクジェット記録ヘッド７４と、それにインクを供給するインクタンク９８とが一体に構成されたものであり、インクジェット記録ヘッド７４の下面に形成された複数のノズル１０（図４（Ｂ）参照）が、記録紙Ｐと対向するようにキャリッジ７６上に搭載されている。

したがって、インクジェット記録ヘッド７４が主走査機構８２（図１参照）によって主走査方向に移動しながら、記録紙Ｐに対してノズル１０から選択的にインク滴を吐出することにより、所定のバンド領域ＢＥに対して画像データに基づく画像の一部が記録される。

そして、主走査方向への１回の移動が終了すると、記録紙Ｐは、副走査機構９４（図１参照）によって副走査方向に所定ピッチ搬送され、再びインクジェット記録ヘッド７４（インクジェット記録ユニット７２）が主走査方向（前述とは反対方向）に移動しながら、次のバンド領域に対して画像データに基づく画像の一部が記録されるようになっており、このような動作を複数回繰り返すことによって、記録紙Ｐに画像データに基づく全体画像がフルカラーで記録される。

次に、本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの構成について説明する。

インクジェット記録ヘッド７４は、図４に示すように、ノズル１０が形成されるノズルプレート２１と、ノズル連通室１２と共通インク室２０とを形成するインクプールプレート２２と、共通インク室２０の開口部１８とノズル連通室１２とを形成するスループレート２４と、インク供給路１６が形成されたインク供給路プレート２６と、圧力室１４を形成する圧力室プレート２８と、振動板３０と、を備えており、ノズルプレート２１には、エキシマレーザ等によってノズル１０が形成され、表面には、撥水コート膜が被覆されている。

このように、ノズルプレート２１、インクプールプレート２２、スループレート２４、インク供給路プレート２６、圧力室プレート２８、振動板３０が積層され接着されたものを、流路プレートユニット５２という。

尚、ノズルプレート２１の材質はポリイミドであり、インクプールプレート２２、２３、スループレート２４、インク供給路プレート２６、圧力室プレート２８、振動板３０の材質はＳＵＳである。

インクタンク９８（図２参照）から供給されたインクは、図３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、共通インク室２０へ案内される。この共通インク室２０には開口部１８が設けられており、インク供給路１６を介して圧力室１４と連通し、共通インク室２０内のインクは、圧力室１４へ供給されるようになっている。

また、インクジェット記録ヘッド７４には、マトリックス状に配置された複数のノズル１０が備えられており、ノズル連通室１２を介して圧力室１４と連通している。この圧力室１４の上面には上下方向に弾性を有する振動板３０が設けられており、圧力室１４に対応する振動板３０の上面には、圧電素子から構成されている圧電部材４２がマトリックス状に配置されている。

この圧電部材４２は、全て略同一形状を成しており、圧力室１４よりも一回り小さく形成され圧力室１４の上方に位置する変形部４２Ａと、該変形部４２Ａの外縁部から延出し、圧力室１４と圧力室１４を区画する区画壁１５の上方に位置する非変形部４２Ｂと、で構成されている。そして、この圧電部材４２は互いの境界が入り組んだ状態で、マトリックス状に配設されている。

一方、図４に示すように、非変形部４２Ｂは電気接続を行う電気パット部となり、ボール半田３４を介して電気基板３６が接合され、非変形部４２Ｂに電圧が印加されると、圧力室１４の上方に位置する変形部４２Ａは電歪作用によって変形し、圧力室１４内のインクを加圧する駆動部となる。このように、圧力室１４内のインクが加圧されると、ノズル１０からインク滴が吐出する。

ここで、振動板３０の上面にマトリックス状に配置された圧電部材４２を略同一形状とすることで、圧電部材４２によって変位する振動板３０の変位量を各ノズル１０で同一にすることができ、インク滴の吐出特性を均一化することができる。

次に、本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法について説明する。

本形態では、図５に示すように、この流路プレートユニット（流路プレート）５２を、圧力室プレート２８（以下、「第１流路プレート２８」という）と、ノズルプレート２１、インクプールプレート２２、２３、スループレート２４、インク供給路プレート２６と、で構成された第２流路プレート５６とに分けている。

ここで、図５は模式図であり、便宜上、各プレートの肉厚は略同一となるように図示しており、インクプールプレート２２、２３は一枚のプレートとして図示している。図６及び図７についても同様である。

まず、図６（Ａ）に示すように、凸部プレート５８を作製する。この凸部プレート５８には、図６（Ｂ）に示す第１流路プレート２８に形成された圧力室１４を構成する貫通孔２８Ｂ内に挿通可能な凸部５８Ａを複数形成している。そして、図６（Ｂ）に示すように、凸部プレート５８の凸部５８Ａを第１流路プレート２８の貫通孔２８Ｂ内に挿通した状態で凸部プレート５８を第１流路プレート２８の下部に接着する（第１接合工程）。

次に、図６（Ｃ）に示すように、第１流路プレート２８の上部に振動板３０を配置するが、振動板３０には位置決め孔３０Ａを設けており、第１流路プレート２８に形成された位置決め孔２８Ｂ（第１位置決め手段）と位置合わせした状態で第１流路プレート２８の上部に位置決めし、接着する（第２接合工程）。

ここで、振動板３０の凸部プレート５８の凸部５８Ａと対面する位置には、例えば、表面粗さを粗くするなど、凸部５８Ａとの接着力を低下させる処理を施している。第１接合工程で第１流路プレート２８と凸部プレート５８を接合した状態で凸部プレート５８の凸部５８Ａの上面は露出した状態となっているため、第２接合工程で第１流路プレート２８と振動板３０とを接合する際、凸部５８Ａの上面と振動板３０とが接合されてしまうと、後述する除去工程で第１流路プレート２８から凸部プレート５８を取り除けなくなってしまう恐れが生じるからである。

次に、図６（Ｄ）に示すように、振動板３０上に圧電プレート６０を接合（第３接合工程）させた後、図６（Ｅ）に示すように、感光性を有するフィルムレジスト６２を貼り付ける。そして、圧電部材４２を設ける箇所にのみ紫外線（ＵＶ）が透過するパターンを有する露光マスク（図示省略）を別途作成し、上記のフィルムレジスト６２上に配置する。

露光マスクは、圧力室プレート２８に形成された位置決め孔２８Ｂを基準にしてパターニングされており、この露光マスクを介して、フィルムレジスト６２で被覆した圧電プレート６０へＵＶ照射を行い、図６（Ｆ）に示すように、ブラスト加工により圧電プレート６０の表面をエッチングして、各圧力室１４毎に圧電部材４２が配置されるよう個別化する（個別化工程）。

このとき、圧電プレート６０をエッチングした後、振動板３０をいわゆるハーフエッチングして振動板３０の肉厚を約１／２にして、振動板３０の厚肉部３０Ｂと薄肉部３０Ｃの境界部３０Ｄが曲面となるようにする（図８（Ａ）参照）。

次に、図６（Ｇ）に示すように、圧電部材４２上のフィルムレジスト６２を除去し洗浄を施すと共に、凸部プレート５８を第１流路プレート２８から取り外した後、図６（Ｈ）に示すように、第１流路プレート２８と、ノズルプレート２１、インクプールプレート２２、２３、スループレート２４、インク供給路プレート２６で構成された第２流路プレート５６との接合を行う（第４接合工程）。

このとき、第１流路プレート２８に形成された位置決め孔２８Ｂと第２流路プレート５６を構成するインク供給路プレート２６に形成された位置決め孔２６Ａ（第２位置決め手段）とを位置合わせした状態で第１流路プレート２８とインク供給路プレート２６とを位置決めし（位置決め工程）し、接合させる。これにより、図６（Ｉ）に示すように、流路プレートユニット５２が形成される。

次に、本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの作用について説明する。

図５に示すように、本形態では、この流路プレートユニット（流路プレート）５２を、第１流路プレート２８と、ノズルプレート２１、インクプールプレート２２、２３、スループレート２４、インク供給路プレート２６で構成された第２流路プレート５６と、に分け、図６（Ｃ）、（Ｄ）に示すように、第１流路プレート２８と振動板３０を接合した状態で、振動板３０の表面に圧電プレート６０を形成する。

そして、図６（Ｇ）に示すように、圧力室１４の位置に合わせて該圧電プレート６０を個々の圧電部材４２に個別化することで、圧電部材４２と圧力室１４は正確に位置決めされることとなる。つまり、個別化された圧電部材４２と圧力室１４とを位置合わせする必要が無く、各ノズル１０において、インクの吐出特性を均一化、安定化させることができる。

また、本形態では、図６（Ｂ）に示すように、第１流路プレート２８に設けられた貫通孔２８Ｂ内に挿通可能な凸部５８Ａが形成された凸部プレート５８を第１流路プレート２８の下部に接着し、該第１流路プレート２８の上部に振動板３０を接着した状態で振動板３０上に圧電プレート６０を接合している。

このため、該凸部プレート５８がない状態で振動板３０上に圧電プレート６０を接合した場合と比較して、振動板３０の剛性が高くなり、圧電プレート６０を接合させるときの圧力を上げることができ、かつ圧電プレート６０の接合時に生じるクラックも防止することができるため、良好な接合が可能になる。

さらに、本形態では、図６（Ｆ）に示すように、ブラスト加工により圧電プレート６０の表面をエッチングして圧電部材４２に個別化する際、圧電プレート６０をエッチングした後、振動板３０をエッチングして振動板３０の肉厚を約１／２にしている（ハーフエッチング）。インクの吐出特性は振動板３０の変形量に起因するところが大きいため、このように、振動板３０をハーフエッチングすることで、振動板３０の肉厚を薄くして振動板３０の変形量を増大させ、インクの吐出特性を安定化させると共に、向上させることができる。

また、同じ工程で、圧電プレート６０をエッチングした後、振動板３０をハーフエッチング加工するため、振動板３０の厚肉部３０Ｂと圧電部材４２の外縁部の振動板の寸法は同寸法となる。つまり、各圧力室１４に伝達する変位が均一になるため、インクの吐出特性を均一化、安定化させることができる。

ここで、振動板３０の厚肉部３０Ｂと薄肉部３０Ｃの境界部３０Ｄを、曲面とすることで、該境界部３０Ｄを角状にする場合に比べて振動板３０の変形時の応力集中が発生しにくくなる。

ところで、本形態では、図５に示すように、各圧力室１４毎に圧電部材４２が配置されるよう圧電プレート６０を個別化したが、図７に示すように、圧電部材４２と圧電部材４２の間に、隣接する圧電部材４２同士の干渉（いわゆるクロストーク）を防止するダミー部６４を設けるようにしても良い。

この場合、ダミー部６４が振動板３０の変形を阻害しないよう、圧力室１４と圧力室１４を区画する区画壁１５の投影上に該ダミー部６４を設ける。このように、ダミー部６４を設けることで、隣接する圧電部材４２の動きに拘束されず、各圧電部材４２の動きの安定化を図ることができる。

なお、圧電部材４２と圧電部材４２の間にダミー部６４を設けることで、圧電部材４２とダミー部６４との間隔は狭くなるが、図８（Ｂ）に示すように、振動板３０をハーフエッチングすることで、圧電部材４２とダミー部６４との間に設けられる隙間にも薄肉部３０Ｃが生じることとなり、また、境界部３０Ｄは曲面とすることができる。

また、このダミー部６４を設けた流路プレートユニット６６は、図６（Ａ）〜（Ｉ）と略同一の手順で製造されるため説明を省略する。該流路プレートユニット６６では、露光マスク（図示省略）において、圧電部材４２及びダミー部６４にのみ紫外線が透過するパターンが形成されている点が図６と異なる。

なお、上記実施例のインクジェット記録装置７０では、ブラック、イエロー、マゼンタ、シアンの各色のインクジェット記録ユニット７２がそれぞれキャリッジ７６に搭載され、それら各色のインクジェット記録ヘッド７４から画像データに基づいて選択的にインク滴が吐出されてフルカラーの画像が記録紙Ｐに記録されるようになっているが、本発明におけるインクジェット記録は、記録紙Ｐ上への文字や画像の記録に限定されるものではない。

すなわち、記録媒体は紙に限定されるものでなく、また、吐出する液体もインクに限定されるものではない。例えば、高分子フィルムやガラス上にインク滴を吐出してディスプレイ用カラーフィルターを作成したり、溶接状態の半田を基板上に吐出して部品実装用のバンプを形成するなど、工業的に用いられる液滴噴射装置全般に対して、本発明に係るインクジェット記録ヘッド７４を適用することができる。

また、上記実施例のインクジェット記録装置７０では、主走査機構８２と副走査機構９４を有するＰａｒｔｉａｌ Ｗｉｄｔｈ Ａｒｒａｙ（ＰＷＡ）の例で説明したが、本発明におけるインクジェット記録は、これに限定されず、紙幅対応のいわゆるＦｕｌｌ Ｗｉｄｔｈ Ａｒｒａｙ（ＦＷＡ）であってもよい。むしろ、本発明は、高密度ノズル配列を実現するのに有効なものであるため、１パス印字を必要とするＦＷＡには好適である。

本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドが適用されたインクジェット記録装置を示す斜視図である。 本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドが適用されたインクジェット記録ユニット示す斜視図である。 （Ａ）は、本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの構成を示す斜視図であり、（Ｂ）は（Ａ）の部分拡大図である。 （Ａ）は、本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの構成を示す断面図である。 本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの圧電素子と流路ユニットとの配置を示す模式的な断面図である。 （Ａ）〜（Ｅ）は、本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造工程を模式的に表す工程図である。 （Ｆ）〜（Ｉ）は、本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造工程を模式的に表す工程図である。 本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの圧電素子と流路ユニットとの配置を示す模式的な断面図であり、変形例である。 （Ａ）は、図６の部分拡大図であり、（Ｂ）は、図７の部分拡大図である。

符号の説明

１４ 圧力室
２１ ノズルプレート（第２流路プレート）
２２ インクプールプレート（第２流路プレート）
２３ インクプールプレート（第２流路プレート）
２４ スループレート（第２流路プレート）
２６ インク供給路プレート（第２流路プレート）
２６Ａ 位置決め孔（第２位置決め手段）
２８ 圧力室プレート（第１流路プレート）
２８Ｂ 位置決め孔（第１位置決め手段）
３０Ｄ 境界部
３０Ｂ 厚肉部
３０Ａ 位置決め孔
３０ 振動板
３０Ｃ 薄肉部
４２ 圧電部材
５２ 流路プレートユニット（流路プレート）
５６ 第２流路プレート
５８ 凸部プレート
６６ 流路プレートユニット（流路プレート）
７４ インクジェット記録ヘッド（液滴吐出ヘッド）

Claims (6)

1. 液滴が充填される圧力室の一部を構成する振動板と、
   前記振動板の表面に個別化され、電圧が印加されて振動板を変位させる圧電素子から構成されている圧電部材群と、
   前記圧力室の一部を構成し前記振動板に接合された第１流路プレートと、
   液滴を吐出するノズルが設けられ、前記第１流路プレートに接合され、第１流路プレートと連続して流路を構成する第２流路プレートと、
   を有する液滴吐出ヘッドにおいて、
   前記圧電部材群の下面にある振動板の肉厚よりも圧電部材の間にある振動板の肉厚の方が薄肉となっていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
2. 前記圧電部材と前記振動板の境界部が曲面になっていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
3. 前記振動板はＳＵＳ部材であることを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴吐出ヘッド。
4. 液滴が充填される圧力室の一部を構成する第１流路プレートと前記第１流路プレートに形成された貫通孔内に嵌る凸部が形成された凸部プレートとを接合する第１接合工程と、
   前記第１流路プレートと液滴が充填される圧力室の一部を構成する振動板とを接合する第２接合工程と、
   前記振動板の表面に、電圧が印加されると振動板を変位させる圧電素子から構成されている圧電プレートを接合する第３接合工程と、
   前記第１流路プレートに設けられた第１位置決め手段を利用し、前記圧電プレートを前記圧力室毎に個別化する個別化工程と、
   前記凸部プレートを取り除く除去工程と、
   液滴を吐出するノズルが設けられた第２流路プレートに設けられた第２位置決め手段に前記第１位置決め手段を位置合わせして第２流路プレートと第１流路プレートとを位置決めする位置決め工程と、
   前記第２流路プレートと前記第１流路プレートとを接合する第４接合工程と、
   を有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
5. 前記個別化工程が、前記圧電プレートをエッチング加工した後、前記振動板をハーフエッチング加工することを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
6. 前記凸部の上面と対面する前記振動板の裏面側に接合力を低下させる処理が施されたことを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。

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