JP2016120601A - 圧電素子転写体、及びそれを用いたインクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】製造工程が簡易であり、インクジェットヘッドの圧力室と圧電素子の接着を精度良くおこなうことができる圧電素子転写体、及びそれを用いたインクジェットヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】基材に粘着シート、圧電素子が順に積層されている圧電素子転写体であって、前記圧電素子は略等間隔で複数配設されており、インクの吐出に寄与しないダミー圧電素子を有する圧電素子転写体である。さらには、この圧電素子転写体を用い、振動板の特定の位置に設けられた目印と前記ダミー圧電素子によりインクジェットヘッドの圧力室と前記圧電素子の位置合わせをおこない、前記圧電素子と前記振動板を接着した後、前記粘着シートの粘着力を消失させて前記基材及び前記粘着シートを前記振動板より除去するインクジェットヘッドの製造方法である。【選択図】図1
Description
本発明は、圧電素子転写体に関し、更に詳しくはインクジェットヘッドを製造するために使用される圧電素子の転写体、及びそれを用いたインクジェットヘッドの製造方法に関する。
インクジェットヘッドの製造方法に関する技術が提案されている。例えば、特許文献1には、圧電膜と振動板構造体とが接合された圧電膜型アクチュエータの製造方法において、圧電膜を中間転写体上に形成する工程と、中間転写体上の圧電膜と振動板構造体を接合する工程と、中間転写体を圧電膜から剥離する工程を含む圧電膜型アクチュエータの製造方法が提案されている。
また、特許文献2には、原材料から薄厚可能なサイズの圧電プレートを作製する第1工程と、圧電プレートに電極を形成する第2工程と、圧電プレートを所定のサイズにカットする第3工程と、カットされた圧電プレートを、縦横2列以上並べて中間保持部材に剥離可能に接合する第4工程と、中間保持部材に接合された各圧電プレートを、圧力室に対応させて分断し、複数の圧電素子とする第5工程と、分割された圧電素子を、圧力室が形成された流路プレートに接合された振動板に、各圧力室に対応するように接合する第6工程と、中間保持部材を剥離する第7工程と、を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法が提案されている。
しかしながら、特許文献1や特許文献2等の方法は工程が複雑であり、また、インクジェットヘッドの圧力室と圧電素子の位置合わせが難しく、精度良く接着することが困難となるおそれもある。
本発明は、上記問題を解決すべくなされたもので、製造工程が簡易であり、インクジェットヘッドの圧力室と圧電素子の接着を精度良くおこなうことができる圧電素子転写体、及びそれを用いたインクジェットヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
本発明の一側面は、基材に粘着シート、圧電素子が順に積層されている圧電素子転写体であって、前記圧電素子は略等間隔で複数配設されており、インクの吐出に寄与しないダミー圧電素子を有する圧電素子転写体である。
この圧電素子転写体において、ダミー圧電素子は2つ以上であってもよい。また、基材を透明もしくは半透明のガラスとしてもよい。また、粘着シートを90〜120℃で粘着性を失う熱発泡性シートとしてもよい。
さらには、この圧電素子転写体を用いたインクジェットヘッドの製造方法であって、振動板の特定の位置に設けられた目印と前記ダミー圧電素子によりインクジェットヘッドの圧力室と前記圧電素子の位置合わせをおこない、前記圧電素子と前記振動板を接着した後、前記粘着シートの粘着力を消失させて前記基材及び前記粘着シートを前記振動板より除去するインクジェットヘッドの製造方法である。
本発明によれば、製造工程が簡易であり、インクジェットヘッドの圧力室と圧電素子の接着を精度良くおこなうことができる圧電素子転写体、及びそれを用いたインクジェットヘッドの製造方法を得ることができる。
本発明を実施するための実施形態について、図面を用いて説明する。本発明は、以下に記載の構成に限定されるものではなく、同一の技術的思想において種々の構成を採用することができる。例えば、以下に示す構成の一部は、省略し又は他の構成等に置換してもよい。他の構成を含むようにしてもよい。
<圧電素子転写体>
圧電素子転写体1について、図1を参照して説明する。圧電素子転写体1は、図1に示すように、基材10上に粘着シート20が積層され、さらに粘着シート20上に複数の圧電素子30が積層されてなる。
圧電素子転写体1について、図1を参照して説明する。圧電素子転写体1は、図1に示すように、基材10上に粘着シート20が積層され、さらに粘着シート20上に複数の圧電素子30が積層されてなる。
基材10としては、耐熱性があり、透明もしくは半透明である材料が好ましく、そのような材料として透明もしくは半透明のガラスが挙げられる。
粘着シート20としては、後述する圧電素子30と振動板40の接着工程にて使用する接着剤の硬化温度以上で、かつ圧電素子30の分極が消失しないようキュリー温度の2分の1以下の温度で、粘着性を失う熱発泡性シートが好ましい。具体的には、90〜120℃程度で粘着性を失う熱発泡性シートが好ましい。また、熱発泡性シートの他、粘着シート20として、紫外線の照射により粘着性が低下するUV硬化型の粘着シートを使用することもできる。
複数の圧電素子30は、インクジェットヘッドの圧力室52(図2参照)間のピッチ(P)で略等間隔に並べられる。図1の複数の圧電素子30の内、他の圧電素子とは大きさの異なる左右両端の圧電素子は、インクジェットヘッドの実際のインクの吐出には寄与しないダミーの圧電素子(ダミー圧電素子32)であり、インクジェットヘッドの圧力室52と圧電素子30の位置合わせを目的として設けられる。なお、図1では、複数の圧電素子30の左右端の両端にダミー圧電素子32を一つずつ配設しているが、この配置に限定されるものではなく、ダミー圧電素子32は最低1つあれば、圧力室52と圧電素子30の位置合わせは可能である。しかしながら、ダミー圧電素子32は2つ以上あると、位置合わせがより容易となり、位置合わせの精度もより良くなる為、より好ましい。また、ダミー圧電素子32の大きさが他の圧電素子30と比べ小さくなっているが、ダミー圧電素子32の大きさについては、特に限定されず、他の圧電素子30と同じであっても、大きくてもかまわない。
圧電素子転写体1の製造については、まず、基材10に粘着シート20を介して粘着シート20と略同じ大きさの圧電プレートを接着し、ダイサー等を用いた機械的加工により、圧電プレートを予め定められた圧力室52間のピッチ(P)でカットする。カットする方法については、前述の機械的方法ではなく、エッチング等の化学的方法であってもよい。また、圧電プレートの厚みに関しては、厚みが薄すぎると破損しやすく加工が難しくなる為、少なくとも150μm以上の厚みを有することが好ましい。圧電プレートをカットして作製される圧電素子30の数は、対応する圧力室52の数よりもダミー圧電素子32の数の分だけ多くなり、図1では、対応する圧力室52の数が6個で、ダミー圧電素子32の数が2個で、圧電素子30の数は8個となっている。
<インクジェットヘッドの製造方法>
圧電素子転写体1を用いたインクジェットヘッドの製造方法について、図2を参照して説明する。まず、圧電素子転写体1の圧電素子30が存在する面側と圧力室プレート50の振動板40が存在する面側を向かい合わせ、位置合わせをおこなう。このとき、振動板40の特定の位置(図2では振動板40の両端)にエッチング加工等で作製した目印42にダミー圧電素子32を合わせることにより、簡単で精度良くインクジェットヘッドの圧力室52と圧電素子30の位置合わせをおこなうことができる。仮に位置がずれていた場合には、この工程にてそのずれを調整し、位置合わせを完了する。
圧電素子転写体1を用いたインクジェットヘッドの製造方法について、図2を参照して説明する。まず、圧電素子転写体1の圧電素子30が存在する面側と圧力室プレート50の振動板40が存在する面側を向かい合わせ、位置合わせをおこなう。このとき、振動板40の特定の位置(図2では振動板40の両端)にエッチング加工等で作製した目印42にダミー圧電素子32を合わせることにより、簡単で精度良くインクジェットヘッドの圧力室52と圧電素子30の位置合わせをおこなうことができる。仮に位置がずれていた場合には、この工程にてそのずれを調整し、位置合わせを完了する。
位置合わせが完了すると、次に、圧電素子30と振動板40を接着剤にて接着する(図2a)。使用する接着剤については、粘着シート20が粘着力を失う温度以下で硬化するような低温硬化の接着剤が好ましい。例えば、低温硬化の接着剤としてはエポキシ接着剤等がある。
圧電素子30と振動板40の接着が完了すると、次に、粘着シート20が粘着力を失う温度(具体的には90〜120℃程度)にて加熱をおこなって、粘着シート20の粘着力を低下させる。そして、粘着力が低下した粘着シート20及び基材10を振動板40から除去する(図2b)ことで、圧力室52に対応する位置に精度良く圧電素子30が接着されたインクジェットヘッドを製造することができる。なお、粘着シート20がUV硬化型の粘着シートである場合には、加熱工程に代えて、紫外線を照射して粘着性を低下させればよい。
1 圧電素子転写体
10 基材
20 粘着シート
30 圧電素子
32 ダミー圧電素子
40 振動板
42 目印
50 圧力室プレート
52 圧力室
P 圧力室間のピッチ
10 基材
20 粘着シート
30 圧電素子
32 ダミー圧電素子
40 振動板
42 目印
50 圧力室プレート
52 圧力室
P 圧力室間のピッチ
Claims (5)
- 基材に粘着シート、圧電素子が順に積層されている圧電素子転写体であって、前記圧電素子は略等間隔で複数配設されており、インクの吐出に寄与しないダミー圧電素子を有することを特徴とする圧電素子転写体。
- 前記ダミー圧電素子を2つ以上有することを特徴とする請求項1記載の圧電素子転写体。
- 前記基材が透明もしくは半透明のガラスであることを特徴とする請求項1または2記載の圧電素子転写体。
- 前記粘着シートが90〜120℃で粘着性を失う熱発泡性シートであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の圧電素子転写体。
- 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の圧電素子転写体を用いたインクジェットヘッドの製造方法であって、振動板の特定の位置に設けられた目印と前記ダミー圧電素子によりインクジェットヘッドの圧力室と前記圧電素子の位置合わせをおこない、前記圧電素子と前記振動板を接着した後、前記粘着シートの粘着力を消失させて前記基材及び前記粘着シートを前記振動板より除去することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2014260243A JP2016120601A (ja) | 2014-12-24 | 2014-12-24 | 圧電素子転写体、及びそれを用いたインクジェットヘッドの製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11869880B2 (en) | 2019-11-05 | 2024-01-09 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method of transferring micro-light emitting diode for LED display |
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-
2014
- 2014-12-24 JP JP2014260243A patent/JP2016120601A/ja active Pending
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