JPH11992A - インクジェットヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ヘッド特性が不安定で、歩留りが悪い。 【解決手段】 シリコン単結晶材からなる液室部材２を
エッチングして加圧液室１を形成し、この加圧液室１の
壁面を形成する変形可能なダイアフラム部３にこのダイ
アフラム部３を変形させる電気機械変換素子５を一体的
に形成し、更に液室部材２を基板部材６を接合した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はインクジェットヘッ
ドに関し、特に電気機械変換素子をエネルギー発生手段
に用いるインクジェットヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】プリンタ、ファクシミリ、コピー機等の
画像形成装置として用いられるインクジェット記録装置
の記録ヘッドを構成するインクジェットヘッドとして、
加圧液室の壁面を構成するダイアフラム部を電気機械変
換素子で変形させて加圧液室内のインクを加圧すること
によって、加圧液室に連通するノズル（インク吐出口）
からインク滴を吐出するようにしたものが知られてい
る。

【０００３】このようなインクジェットヘッドとして、
例えば特開平５−２９６７５号公報に記載されているよ
うに酸化ジルコニアからなるセラミック材で加圧液室や
ダイアフラム部を形成したもの、或いは特開平６−１４
３５９０号公報に記載されているようにシリコン基板に
金属部材の薄膜をスパッタ等によって形成した後キャビ
ティーをエッチングにより形成し、圧電素子を接着接合
したものなどがある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、液室内イン
クを加圧するためのエネルギー発生手段として電気機械
変換素子を用いるインクジェットヘッドにあっては、部
材同士の接合が多くなり、接合面の平面度が悪い部材を
用いると、接合品質の不均一性、接合強度の不足などか
らヘッドのインク滴噴射特性であるインク滴吐出速度、
インク滴吐出量がばらついて画像品質が低下する。

【０００５】また、部材の接合に接着剤を用いると、加
熱或いは加圧の条件によってインク滴噴射特性にばらつ
きが生じ易くなり、更に接着剤のはみ出しによってヘッ
ドの微細流路であるインク滴吐出口、或いは共通インク
流路から加圧液室へインクを供給するインク供給路を塞
いでしまうことがある。

【０００６】さらに、上述した従来のインクジェットヘ
ッドの内、酸化ジルコニアからなるセラミック材で加圧
液室及びダイアフラム部を一体に焼成するものにあって
は、薄いダイアフラム部の変形等が発生して安定したヘ
ッド特性が得られ難い。また、シリコン基板に金属部材
の薄膜をスパッタ等によって形成した後キャビティーを
エッチングにより形成するものにあっては、ノズル数が
多くなるとヘッド寸法が大きくなると共に、一様なヘッ
ド特性を得ることが困難になり、歩留りが低下する。

【０００７】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、安定したヘッド特性が得られるインクジェットヘ
ッドを提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項１のインクジェットヘッドは、加圧液室内の
インクを加圧してインク吐出口からインク滴を吐出する
インクジェットヘッドにおいて、シリコン単結晶材をエ
ッチングして前記加圧液室又はその一部を形成した液室
部材と、前記加圧液室の壁面を形成する変形可能なダイ
アフラム部と、このダイアフラム部に一体的に形成した
電気機械変換素子とを有し、前記液室部材を基板部材に
接合した構成とした。

【０００９】請求項２のインクジェットヘッドは、加圧
液室内のインクを加圧してインク吐出口からインク滴を
吐出するインクジェットヘッドにおいて、このインクジ
ェットヘッドは１つの基板部材に接合配置した複数のヘ
ッドユニットを備え、各ヘッドユニットはシリコン単結
晶材をエッチングして前記加圧液室又はその一部を形成
した液室部材と、前記加圧液室の壁面を形成する変形可
能なダイアフラム部と、このダイアフラム部に一体的に
形成した電気機械変換素子とを有し、これら各ヘッドユ
ニットの前記液室部材を前記基板部材に接合してなる構
成とした。

【００１０】請求項３のインクジェットヘッドは、上記
請求項２のインクジェットヘッドにおいて、前記複数の
ヘッドユニットは前記基板部材の両面に千鳥状に接合さ
れている構成とした。

【００１１】請求項４のインクジェットヘッドは、上記
請求項２のインクジェットヘッドにおいて、前記複数の
ヘッドユニットは前記基板部材の両面にノズル間隔の１
／２だけずらして接合されている構成とした。

【００１２】請求項５のインクジェットヘッドは、上記
請求項１乃至４のいずれかのインクジェットヘッドにお
いて、前記液室部材又は基板部材にインク吐出口を形成
した構成とした。

【００１３】請求項６のインクジェットヘッドは、上記
請求項１乃至４のいずれかのインクジェットヘッドにお
いて、前記液室部材又は基板部材の端面にインク吐出口
を形成した吐出口形成部材を接合した構成とした。

【００１４】請求項７のインクジェットヘッドは、上記
請求項１乃至６のいずれかのインクジェットヘッドにお
いて、前記液室部材を形成するシリコン単結晶材と基板
部材とは陽極接合によって接合されている構成とした。

【００１５】請求項８のインクジェットヘッドは、上記
請求項１乃至７のいずれかのインクジェットヘッドにお
いて、前記液室部材はダイアフラム部を一体に形成して
いる構成とした。

【００１６】請求項９のインクジェットヘッドは、上記
請求項１乃至８のいずれかのインクジェットヘッドにお
いて、前記基板部材がガラス部材である構成とした。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。図１は本発明の第１実施例に
係るインクジェットヘッドの模式的断面図である。この
インクジェットヘッドは、シリコン単結晶材をエッチン
グして加圧液室１等のインク流路を形成した液室部材２
と、この液室部材２と一体に形成した加圧液室１の壁面
を形成する変形可能なダイアフラム部３と、このダイア
フラム部３に一体的に形成した電気機械変換素子４を含
むアクチュエータ部５と、前記液室部材２を接合したガ
ラス基板などからなる基板部材６とを備えている。

【００１８】ここで、液室部材２は、例えば（１１０）
結晶方位のシリコン（Ｓi）単結晶基板を異方性エッチ
ングすることで、複数の加圧液室１と、各加圧液室１に
インクを供給するための共通インク流路からインクを供
給するインク供給路７を形成している。この他、液室部
材２には各加圧液室１に連通してインク滴を吐出する複
数のインク吐出口（ノズル）を形成できる。

【００１９】そして、このシリコン単結晶基板からなる
液室部材２によってダイアフラム部３も一体形成してい
る。このダイアフラム部３は、上述した（１１０）結晶
方位のシリコン（Ｓi）単結晶基板上に電気機械変換素
子４を焼成する前、又は焼成した後、異方性エッチング
によって形成する。すなわち、図１のシリコン単結晶基
板にＳiＯ₂によるマスキングを形成して、エッチング領
域のみＳiＯ₂を除去してＫＯＨによってエッチングを行
い、時間管理によって３〜１０μｍのＳi単結晶基板を
残すことで加圧液室１と共にダイアフラム部３を形成す
ることができる。

【００２０】また、ダイアフラム部３上のアクチュエー
タ部５は、Ｓi単結晶基板にＳiＯ₂を形成し、その上に
ジルコニア、マグネシア等の電気機械変換素子材料の焼
成温度よりも高い融点のセラミック材からなるバリアー
層を形成し、次いで、Ｐｔ等からなる下部電極８を形成
し、この下部電極８上に電気機械変換素子材料をスクリ
ーン印刷等の手段でパターニングし、これを焼成して電
気機械変換素子４を形成した後、この電気機械変換素子
４上に上部電極９を薄膜或いは印刷等によって形成す
る。

【００２１】さらに、基板部材６としては、ガラス基
板、液室部材２と同じＳi単結晶基板、ＳＵＳ基板、剛
性の高い樹脂基板等を使用することができる。剛性の高
い樹脂基板としては、液晶ポリマー、ポリフェニレンサ
ルファイド（ＰＰＳ）、ポリエーテルスルホン（ＰＥ
Ｓ）、またはこれらにガラス繊維等を含ませた複合樹脂
などが適している。

【００２２】そして、液室部材２を基板部材６に接合す
る。これによって加圧液室１の壁面の一部が基板部材６
で形成されることになる。この液室部材２と基板部材６
との接合は、基板部材６にガラス基板を用いたときに
は、加熱と電界によって接合を行う陽極接合法が適して
いる。この陽極接合法は、基板部材６の表面とシリコン
単結晶基板である液室部材２との間に、０．２〜０．３
ＫＶ／ｍｍの電界と３００〜４００℃の熱を加えること
によって接合を行うことができる。特に平面性の良い部
材同士の接合の場合には容易に高い接合品質を得ること
ができる。

【００２３】また、基板部材６に平面度の良いＳi単結
晶基板を用いたときには、エポキシ系樹脂接着剤による
薄膜塗布接着法、或いは５μｍ以下のポリイミド等のフ
ィルム接着材を用いる方法、または液室部材２と基板部
材６そのものの熱溶着接合などが適している。

【００２４】この場合、Ｓi単結晶基板からなる液室部
材２の厚さとしては、０．２〜０．６ｍｍ程度の通常使
用される範囲のもの、基板部材６としては、０．５〜２
ｍｍ程度の厚みのものを使用することによって、基板部
材がヘッドの支持部材を兼ねることができる。

【００２５】このように、シリコン単結晶材をエッチン
グして加圧液室を形成した液室部材と、加圧液室の壁面
を形成する変形可能なダイアフラム部と、このダイアフ
ラム部に一体的に形成したダイアフラム部を変形させる
電気機械変換素子とを有し、更に液室部材を基板部材に
接合してインクジェットヘッドを構成することによっ
て、平面度を得られやすいシリコン単結晶材及び基板部
材を構成部材として接着剤を用いることなくヘッドを構
成することができるので、非常に安定したヘッド特性を
得ることができ、ヘッドの歩留りも向上する。

【００２６】また、この場合、液室部材と基板部材とを
陽極接合によって接合することで、接着剤のはみ出しと
いう問題を伴うことなく接合品質を確保することがで
き、安定したヘッド特性の維持、ヘッドの歩留り向上が
可能になり、更に量産性に優れ、ヘッドの生産コストを
低減することができる。

【００２７】さらに、液室部材でダイヤフラム部を形成
することによって、ダイヤフラム部をシリコン単結晶材
のエッチングによって容易に形成することができて、生
産性が向上する。

【００２８】次に、図２は本発明の第２実施例に係るイ
ンクジェットヘッドの模式的断面図である。この実施例
においては、液室部材１２とダイヤフラム部材１３とを
別部材としている。すなわち、液室部材１２はＳｉ単結
晶基板として、その上にＳiＯ₂を熱酸化処理によって形
成し、その上にジルコニア、マグネシア等のセラミック
材をスパッタ法で３〜１０μｍ厚で形成し、或いは、同
様のセラミック材の薄板を加熱、拡散接合によって接合
した後、上記第１実施例と同様に異方性エッチングによ
って加圧液室１を形成している。

【００２９】この場合、ダイヤフラム部材１３上に形成
する電気機械変換素子４は加圧液室１をエッチングで形
成する前に焼成してよく、或いは加圧液室１をエッチン
グで形成した後の焼成してもよく、いずれでも可能であ
る。

【００３０】このように液室部材１２とダイヤフラム部
材１３とを別部材として、ダイヤフラム部材１３上に電
気機械変換素子４を一体的に形成し、液室部材１２を基
板部材６に接合したインクジェットヘッドにおいても、
上記第１実施例と同様の効果（但し、液室部材とダイヤ
フラム部を一体にする効果を除く。）を得ることができ
る。

【００３１】次に、図３は本発明の第３実施例に係るイ
ンクジェットヘッドの模式的正面図である。この実施例
においては、基板部材１４の両面に複数のヘッドユニッ
ト１５を千鳥状に配置接合している。各ヘッドユニット
１５は、上記第１実施例（或いは第２実施例）のインク
ジェットヘッドと同様に、Ｓｉ単結晶材をエッチングし
て加圧液室を形成した液室部材、この液室部材と一体の
（又は接合した）ダイヤフラム部、このダイヤフラム部
を変形させる電気機械変換素子等を有し、加圧液室に連
通するインク吐出口（ノズル）１６を有する液室部材を
基板部材１４に接合している。

【００３２】この場合、１つのヘッドユニット１５の液
室部材２におけるインク吐出チャンネル数（ノズル数）
を例えば３２〜２５６チャンネル単位として形成してお
き、これを平行度が確保された基板部材１４の両面に千
鳥状に配置接合する。基板部材１４は、両面を必要に応
じて研磨仕上しておき、十分な平面度と平行度を出して
おけばよい。ヘッドユニット１５の液室部材側は電気機
械変換素子の焼成等によってわずかの反り、変形等が発
生し得るが、１個のヘッドユニット当たりのチャンネル
数を上記のように設定することによって基板部材との接
合上は問題にならない。

【００３３】このように基板部材の両面にシリコン単結
晶材をエッチングして加圧液室を形成した液室部材と、
加圧液室の壁面を形成する変形可能なダイアフラム部に
このダイアフラム部を変形させる電気機械変換素子を一
体的に形成し、各液室部材を基板部材に接合して形成し
たヘッドユニットを複数個備えているので、シリコン単
結晶側のヘッドユニットを１単位として１ヘッド当たり
のノズル数を容易に増やすことができ、しかも、ノズル
数が増えても接合品質を確保することができるので、安
定したヘッド特性を維持することができ、ヘッドの歩留
りも向上する。

【００３４】そして、この場合、基板部材の両面にヘッ
ドユニットを千鳥状に配置接合することによって例えば
Ａ４サイズのフルラインのインクジェットヘッドを容易
に得ることができるようになる。

【００３５】次に、図４は本発明の第４実施例に係るイ
ンクジェットヘッドの模式的正面図である。この実施例
においても、基板部材１４の両面にヘッドユニット１５
の液室部材を接合している。そして、このとき基板部材
１４の一面に接合するヘッドユニット１５と他面に接合
するヘッドユニット１５とをノズル間隔の１／２だけず
らし、一方のヘッドユニット１５の個々のインク吐出口
１６と他方のヘッドユニット１５の個々のインク吐出口
１６とが千鳥状になるように接合している。

【００３６】このように基板部材１４の両側にヘッドユ
ニット１５をノズルピッチの１／２だけずらして配置す
ることで、１つのヘッドユニット１５のインク吐出チャ
ンネルの集積度が例えば１５０ｄｐｉの場合であれば、
両側のヘッドユニット１５，１５を組合わせることで３
００ｄｐｉの密度のヘッドを得ることができる。したが
って、ヘッド寸法をあまり大きくすることなく高集積度
の高ノズル数のインクジェットヘッドを容易に得られ
る。

【００３７】そして、平行度、平面度の精度が得られ易
い基板部材とシリコン単結晶材とを用い、更にその接合
において接着剤等を使用しない陽極接合による２個のヘ
ッド間隔、平行度が得られるなど、数μｍが要求される
ヘッドの各寸法精度を容易に得ることができる。

【００３８】次に、図５は本発明の第５実施例に係るイ
ンクジェットヘッドの液室部材を基板部材側から見た平
面図、図６は図５の側面図である。このインクジェット
ヘッドにおいては、液室部材２０に、複数の加圧液室２
１と、各加圧液室２１にインクを供給するための共通イ
ンク流路２２と、各加圧液室２１と共通インク流路２２
とを連通するインク供給路２４と、各加圧液室２１に連
通してインク滴を吐出するインク吐出口（ノズル）２５
とを形成している。

【００３９】例えば、シリコン単結晶基板の厚さを０．
５ｍｍを用いて、共通インク流路２２及び加圧液室２１
の深さを０．２ｍｍ、インク供給路２４及びノズル２５
の深さを０．０３ｍｍ程度が通常の寸法である。

【００４０】この場合、２種類の深さの異なるインク流
路をエッチングで形成することになる。そこで、先ず、
共通インク流路２２及び加圧液室２１の０．２ｍｍをエ
ッチングで形成する。これは、Ｓi単結晶基板表面にＳi
Ｏ₂膜を設け、レジストパターンの後Ｓiのエッチングに
対応した領域のＳiＯ₂を除き、次に、ＳiＯ₂をマスキン
グとしてＫＯＨによってエッチングを行い、０．２ｍｍ
深さの流路を形成する。

【００４１】続いて、０．０３ｍｍ深さのインク供給路
２４及びノズル２５のエッチングは、再度上述したと同
様に、レジストをコーティングした後、インク供給路２
４とノズル２５に対応した領域のマスク露光によってレ
ジストを取り除き、ＳiＯ₂を除去した後、残りのＳiＯ₂
をマスキングしてＫＯＨによってエッチングで０．０３
ｍｍの流路を形成する。このとき、先の共通インク流路
２２及び加圧液室２１も０．０３ｍｍのエッチングが進
むが全く問題にならない。

【００４２】そして、この液室部材２０を基板部材と陽
極接合した後、ノズル２５の長さを例えば０．０３〜
０．０５ｍｍ程度残して先端側をダイサーによって切断
することでインクジェットヘッドを得る。

【００４３】このように液室部材にノズル（インク吐出
口）を形成することによって少ない部品点数でマルチノ
ズルヘッドを容易に得ることができる。そして、この場
合、接合部材（液室部材と基板部材）の端面にノズルを
設けた構成とすることによって、ヘッドを複数個配列し
てカラー印写を行うときのヘッドの配列方向のサイズを
小さくすることができて、コンパクトなインクジェット
記録装置を構成することができる。また、配列したヘッ
ド間のピッチ精度が容易に得られ、各ヘッドで印写する
各色のドット位置精度が高くなり、カラー画像の品質が
向上する。なお、ここでは液室部材にノズルを形成して
いるが、基板部材側にノズルを形成することもできる。

【００４４】次に、図７は本発明の第６実施例に係るイ
ンクジェットヘッドの概略斜視図である。この実施例で
は、上記第５実施例と同様な液室部材２０と基板部材２
６とを接合した後、端面にノズル（インク吐出口）２７
を形成した吐出口形成部材であるノズル形成部材２８を
接合している。なお、各チャンネルの電気機械変換素子
を含むアクチュエータ部の図示は省略している。

【００４５】この場合、例えば液室部材２０のノズル流
路を０．０５〜０．０８ｍｍ角程度の流路として基板部
材２６と接合し、端面をダイサー等で仕上げた後、ノズ
ル形成部材２８を接着剤で接合する。ノズル形成部材２
８としては、樹脂プレートにエキシマレーザーによって
０．０３ｍｍ程度の孔を加工したもの、或いは、ＳＵＳ
等の基板上にレジストパターンを形成してＮi電鋳を行
って形成した電鋳ノズルプレートなどを用いることがで
きる。

【００４６】このようにノズル形成部材を基板部材及び
液室部材の端面に接合した構成とすることによって上記
第５実施例と同様にヘッドを複数個配列してカラー印写
を行うときのヘッドの配列方向のサイズを小さくするこ
とができて、コンパクトなインクジェット記録装置を構
成することができる。また、配列したヘッド間のピッチ
精度が容易に得られ、各ヘッドで印写する各色のドット
位置精度が高くなり、カラー画像の品質が向上する。

【００４７】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１のインク
ジェットヘッドによれば、シリコン単結晶材からなる液
室部材をエッチングして加圧液室を形成し、この加圧液
室の壁面を形成する変形可能なダイアフラム部にこのダ
イアフラム部を変形させる電気機械変換素子を一体的に
形成し、更に液室部材を基板部材に接合した構成とした
ので、非常に安定したヘッド特性を有するインクジェッ
トヘッドが得られ、またヘッドの歩留りも向上する。

【００４８】請求項２のインクジェットヘッドによれ
ば、基板部材の両面に複数のヘッドユニットを接合配置
し、各ヘッドユニットはシリコン単結晶材からなる液室
部材をエッチングして加圧液室を形成し、この加圧液室
の壁面を形成する変形可能なダイアフラム部にこのダイ
アフラム部を変形させる電気機械変換素子を一体的に形
成してなり、更にこれら各ヘッドユニットの液室部材を
基板部材に接合してなる構成としたので、１ヘッド当た
りのノズル数を増加することができ、しかもノズル数を
増加しても安定したヘッド特性、接合品質を維持するこ
とができるインクジェットヘッドを提供することがで
き、更にヘッドの歩留りも向上する。

【００４９】請求項３のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項２のインクジェットヘッドにおいて、複
数のヘッドユニットは基板部材の両面に千鳥状に接合さ
れている構成としたので、フルラインヘッドを容易に得
ることができる。

【００５０】請求項４のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項２のインクジェットヘッドにおいて、複
数のヘッドユニットは基板部材の両面に各ヘッドユニッ
トをノズル間隔の１／２ずらしてインク吐出口が千鳥状
になるように接合した構成としたので、集積密度を向上
することができ、高密度印写が可能のインクジェットヘ
ッドを容易に得ることができる。

【００５１】請求項５のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１乃至４のいずれかのインクジェットヘ
ッドにおいて、液室部材又は基板部材にインク吐出口を
形成した構成としたので、部品点数が少なくなるとと共
に、高画質のカラー印写が可能なコンパンクトなインク
ジェット記録装置を得ることができる。

【００５２】請求項６のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１乃至４のいずれかのインクジェットヘ
ッドにおいて、液室部材又は基板部材の端面にインク吐
出口を形成した吐出口形成部材を接合した構成としたの
で、高画質のカラー印写が可能なコンパンクトなインク
ジェット記録装置を得ることができる。

【００５３】請求項７のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１乃至６のいずれかのインクジェットヘ
ッドにおいて、液室部材を形成するシリコン単結晶材と
基板部材とは陽極接合によって接合されている構成とし
たので、接合品質を確保して安定したヘッド特性を得ら
れ、ヘッドの歩留りも向上する。

【００５４】請求項８のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１乃至７のいずれかのインクジェットヘ
ッドにおいて、液室部材はダイアフラム部を一体に形成
している構成としたので、部品点数を削減することがで
き、ダイアフラム部を容易に形成することができる。

【００５５】請求項９のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１乃至８のいずれかのインクジェットヘ
ッドにおいて、基板部材がガラス部材である構成とした
ので、基板部材の平面度を容易に得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係るインクジェットヘッ
ドの模式的断面図

【図２】本発明の第２実施例に係るインクジェットヘッ
ドの模式的断面図

【図３】本発明の第３実施例に係るインクジェットヘッ
ドの概略正面図

【図４】本発明の第４実施例に係るインクジェットヘッ
ドの概略正面図

【図５】本発明の第５実施例に係るインクジェットヘッ
ドの液室部材を基板部材側から見た平面図

【図６】図５の側面図

【図７】本発明の第６実施例に係るインクジェットヘッ
ドの概略斜視図

【符号の説明】

１，２１…加圧液室、２，２０…液室部材、３…ダイア
フラム部、４…アクチュエータ部、５…電気機械変換素
子、６…基板部材、１３…ダイアフラム部材、１４…基
板部材、１５…ヘッドユニット、１６，２５…ノズル
（インク吐出口）、２２…共通インク流路、２４…イン
ク供給路、２６…基板部材、２７…ノズル、２８…ノズ
ル形成部材。

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 加圧液室内のインクを加圧してインク吐
   出口からインク滴を吐出するインクジェットヘッドにお
   いて、シリコン単結晶材をエッチングして前記加圧液室
   又はその一部を形成した液室部材と、前記加圧液室の壁
   面を形成する変形可能なダイアフラム部と、このダイア
   フラム部に一体的に形成した電気機械変換素子とを有
   し、前記液室部材を基板部材に接合したことを特徴とす
   るインクジェットヘッド。
2. 【請求項２】 加圧液室内のインクを加圧してインク吐
   出口からインク滴を吐出するインクジェットヘッドにお
   いて、このインクジェットヘッドは１つの基板部材に接
   合配置した複数のヘッドユニットを備え、各ヘッドユニ
   ットはシリコン単結晶材をエッチングして前記加圧液室
   又はその一部を形成した液室部材と、前記加圧液室の壁
   面を形成する変形可能なダイアフラム部と、このダイア
   フラム部に一体的に形成した電気機械変換素子とを有
   し、これら各ヘッドユニットの前記液室部材を前記基板
   部材に接合してなることを特徴とするインクジェットヘ
   ッド。
3. 【請求項３】 請求項２に記載のインクジェットヘッド
   において、前記複数のヘッドユニットは前記基板部材の
   両面に千鳥状に接合されていることを特徴とするインク
   ジェットヘッド。
4. 【請求項４】 請求項２に記載のインクジェットヘッド
   において、前記複数のヘッドユニットは前記基板部材の
   両面にノズル間隔の１／２だけずらして接合されている
   ことを特徴とするインクジェットヘッド。
5. 【請求項５】 請求項１乃至４のいずれかに記載のイン
   クジェットヘッドにおいて、前記液室部材又は基板部材
   にインク吐出口を形成したことを特徴とするインクジェ
   ットヘッド。
6. 【請求項６】 請求項１乃至４のいずれかに記載のイン
   クジェットヘッドにおいて、前記液室部材又は基板部材
   の端面にインク吐出口を形成した吐出口形成部材を接合
   したことを特徴とするインクジェットヘッド。
7. 【請求項７】 請求項１乃至６のいずれかに記載のイン
   クジェットヘッドにおいて、前記液室部材を形成するシ
   リコン単結晶材と基板部材とは陽極接合によって接合さ
   れていることを特徴とするインクジェットヘッド。
8. 【請求項８】 請求項１乃至７のいずれかに記載のイン
   クジェットヘッドにおいて、前記液室部材はダイアフラ
   ム部を一体に形成していることを特徴とするインクジェ
   ットヘッド。
9. 【請求項９】 請求項１乃至８のいずれかに記載のイン
   クジェットヘッドにおいて、前記基板部材がガラス部材
   であることを特徴とするインクジェットヘッド。