JP4462777B2 - インクジェットヘッド - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明はインクジェットヘッドに関し、特にインクジェットヘッドの振動板の構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ等の画像記録装置或いは画像形成装置として用いるインクジェット記録装置において使用するインクジェットヘッドとしては、インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する加圧液室(液室、吐出室、圧力室、インク流路等とも称される。)と、加圧液室内のインクを加圧する圧力を発生する圧力発生手段とを備えて、圧力発生手段で発生した圧力で加圧液室内のインクを加圧することによってノズルからインク滴を吐出させる。
【0003】
このようなインクジェットヘッドとしては、圧電素子などの電気機械変換素子を用いて加圧液室の壁面を形成している振動板を変形変位させることでインク滴を吐出させるピエゾ型のもの、加圧液室内に配設した発熱抵抗体を用いてインクの膜沸騰でバブルを発生させてインク滴を吐出させるバブル型のもの、加圧液室の壁面を形成する振動板(又はこれと一体の電極)と電極を用いて静電力で振動板を変形変位させることでインク滴を吐出させる静電型のものなどがある。
【0004】
上述したピエゾ型や静電型のように圧力発生手段として振動板と駆動手段(圧電素子或いは電極)を用いる場合、振動板は駆動エネルギーを効率良く加圧液室内のインクに伝達するため、厚さが数μm〜数十μmと極めて薄く、それ単体では取り扱いがかなり難しいため、厚肉部と一体に形成されることが多い。
【0005】
特に、ピエゾ型インクジェットヘッドにおいては、この振動板の厚肉部は、上記のように振動板全体の剛性を保つ機能の他にも、薄肉振動部の中央に形成され駆動素子(圧電素子)と接合される凸部としてエネルギー伝達を効率的に行う機能などを併せ持ち、高い位置精度や形状精度を要求される場合が多い。
【0006】
一方でこうして形成された振動板は加圧液室を構成する部材と接合されて初めてその本来の役割を担うのであるが、ここでの振動板―液室接合の際の位置ズレや接着剤を用いた際のはみ出しが生じると、駆動チャンネル間の噴射特性がばらついてインクジェットヘッドの画像品質の低下につながる。
【0007】
そこで、例えば特開平7−156399号公報に記載されているように、結晶面方位(110)のシリコン基板を用いて液室及び振動板を形成し、この振動板を耐エッチング部材(材料)、例えば金属、樹脂、ボロンドープ層などから形成し、圧電素子に連結するための凸部はその耐エッチング部材を加工して形成するようにしたものが知られている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したインクジェットヘッドのように、結晶面方位(110)のシリコン基板と金属、樹脂、ボロンドープ層などの耐エッチング部材とを組み合わせて液室及び振動板を形成するとともに耐エッチング部材を加工して厚肉部(凸部)を形成する工法は、工程が複雑になり、振動板部品のコストアップによるヘッドの高コスト化を招くという課題がある。
【0009】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、簡単な工程で低コスト化を図れる振動板を備えたインクジェットヘッドを提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、本発明に係るインクジェットヘッドは、振動板を形成する振動板部材は、少なくとも振動板となる耐エッチング部材と、この耐エッチング部材の両側を同一のエッチング液でエッチング可能な2つの部材で挟んだ3層以上の構造をなし、耐エッチング部材の両側の各エッチング可能部材の一方が加圧液室の側壁部を形成し、他方が駆動手段と連結されて振動板に駆動手段の変形を伝達する凸部を形成している構成としたものである。
【0011】
ここで、耐エッチング部材の両側の各エッチング可能部材はエッチング速度が異なる材料であることが好ましい。
【0012】
さらに、振動板となる耐エッチング部材として樹脂部材或いは金属部材を用いることができる。また、エッチング可能部材として感光性樹脂部材、感光性ガラス部材を用いることができる。
【0013】
また、エッチング可能部材としてシリコン部材を用いることができ、この場合、シリコン部材は結晶面方位(110)の単結晶シリコン基板であり加圧液室間及び駆動素子間を区画する壁面が表面に対して垂直な面として形成されていることが好ましい。また、この場合、耐エッチング部材が酸化シリコン或いはシリコン基板に形成した高濃度p型不純物拡散層であることが好ましい。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。図1は本発明を適用したピエゾ型インクジェットヘッドの振動板長手方向に沿う断面説明図、図2は同ヘッドの振動板短手方向に沿う断面説明図である。
【0015】
このインクジェットヘッドは、基板1上に設けた駆動手段(駆動素子)である積層型圧電素子2と、基板1上に設けたフレーム3及び圧電素子2上に設けた振動板部材4と、この振動板部材4上に設けたノズル板5とを備え、インク滴を吐出するノズル6、このノズル6が連通する加圧液室7、加圧液室7に流体抵抗部8を介してインクを供給する共通インク室9を設けている。
【0016】
振動板部材4は、加圧液室7の底部壁面を形成する耐エッチング部材(材料)からなる振動板10と、この振動板10の上側に積層したエッチング可能部材(材料)からなる構造体である液室隔壁部11と、振動板10の下側に積層したエッチング可能部材(材料)からなる構造体であって圧電素子2と接合する島状凸部(厚肉部)12と、同じくこの凸部12を形成するエッチング可能部材(材料)からなる構造体であってフレーム3と接合する厚肉部13とを形成している。
【0017】
また、ノズル板5には加圧液室7に連通するノズル6と流体抵抗部7を形成する溝部を形成している。このノズル板5のインク吐出面(ノズル表面側)は、PTFE−Ni共析メッキやフッ素樹脂の電着塗装、蒸発性のあるフッ素樹脂(例えばフッ化ピッチなど)を蒸着コートしたもの、シリコン系樹脂・フッ素系樹脂の溶剤塗布後の焼き付け等、インク物性に応じて選定した撥水処理膜を設けて、インクの滴形状、飛翔特性を安定化し、高品位の画像品質を得られるようにしている。
【0018】
このように構成したインクジェットヘッドにおいては、圧電素子2に駆動電圧を印加することによって、圧電素子2に積層方向の変位が生じて振動板10が加圧液室7側に変形変位して加圧液室7の内容積が減少し、加圧液室7内圧力が上昇してノズル6からインク滴が吐出される。このとき、加圧液室7内のインクは流体抵抗部8を通じて共通インク室9側にも流入しようとするが、流体抵抗部8によって共通インク室9側へのインク流入が抑制されるので、効率的なインク滴吐出を行なうことができる。
【0019】
そして、インク滴吐出の終了に伴い、加圧液室7内のインク圧力が低減し、インクの流れの慣性と駆動電圧の放電過程によって加圧液室7に負圧が発生してインク充填行程へ移行し、共通インク室9から流体抵抗部8を通じて加圧液室7にインクが充填される。そして、ノズル6の出口付近のインクメニスカス面の振動が減衰し、ある程度定常状態に戻れば次のインク滴吐出動作に移行する。
【0020】
そこで、このインクジェットヘッドにおける振動板部材4の詳細について説明する。なお、以下では振動板部材4の異なる例を説明するため、上述した図1及び図2とはかならずしも図示の形状は一致しない。
【0021】
先ず、振動板部材4の第1例についてその製造工程ともに図3を参照して説明する。同図(a)に示すように、耐エッチング部材21の両側をエッチング可能部材22、23で挟んだ3層の積層部材20を用いて、同図(b)に示すように、全面にレジストを塗布してこれをパターニングすることで、エッチング可能部材22側に加圧液室7に対応する部分が開口したレジストパターン24を、エッチング可能部材23側に凸部12及び厚肉部13以外の部分に対応する部分が開口したレジストパターン25を形成する。
【0022】
そして、同図(c)に示すように、エッチングを行うことによってエッチングは耐エッチング部材21でストップするので、エッチング可能部材22及びエッチング可能部材23が彫り込まれ、同図(d)に示すように、レジストを除去することにより、エッチング可能部材22で加圧液室7となる凹部及び構造体である加圧液室間隔壁11を形成し、エッチング可能部材23で構造体である凸部12及び厚肉部13を形成するとともに、耐エッチング部材21からなる振動板10を形成した振動板部材4を得る。
【0023】
なお、3層の積層部材20としては、例えば、あらかじめ市販されている3層積層品(銅−ポリイミド−銅など)を用いても良いし、あらかじめ3層を接合した後、一括エッチングをしても良い。この場合、接合とエッチング工程の前後については、接合後のエッチングではパターンエッジ部に接着層のはみ出しがほとんど生じないため、容易に判断できる。また、耐エッチング部材(層)とエッチング可能部材(層)の接合に関して、接着層や接合力増強のための表面改質層を形成する場合もあり、見かけ上3層以上の構造になることもあるが、本発明の本質からはずれるものではない。
【0024】
このように、耐エッチング材料で振動板を形成し、その両側をエッチング可能材料で挟んだ3層構造として、エッチング可能材料で構造体が形成されていることにより、振動板の両面の構造体を同時に一括で位置ずれなく形成でき、しかも工程が簡略で安価に形成できるため、組み付け精度の良い安価なインクジェットヘッドを得ることができる。
【0025】
次に、振動板部材4の第2例についてその製造工程ともに図4を参照して説明する。ここでは、同図(a)に示すように、耐エッチング部材31の両側を、エッチング速度が速く厚みの厚いエッチング可能部材32とエッチング速度が遅く厚みの薄いエッチング可能部材33で挟んだ3層の積層部材30を用いる。
【0026】
そして、同図(b)に示すように、全面にレジストを塗布してこれをパターニングすることで、エッチング可能部材32側に加圧液室7に対応する部分が開口したレジストパターン34を、エッチング可能部材33側に凸部12及び厚肉部13以外の部分に対応する部分が開口したレジストパターン35を形成する。
【0027】
次いで、同図(c)に示すように、エッチングを行うことによってエッチングは耐エッチング部材31でストップする。このとき、エッチング可能部材32の方がエッチング速度が速く、エッチング可能部材33の方がエッチング速度が遅いので、略同じタイミングでエッチストップし、エッチング可能部材33のオーバーエッチングは少なくなる。
【0028】
その後、同図(d)に示すように、レジストを除去することにより、厚肉のエッチング可能部材32で加圧液室7となる凹部及び構造体である液室間隔壁11を形成し、薄肉のエッチング可能部材33で構造体である凸部12及び厚肉部13を形成するとともに、耐エッチング部材21からなる振動板10を形成した振動板部材4を得る。
【0029】
すなわち、加圧液室間隔壁11側を厚肉に、凸部12側を液室間隔壁11よりも薄肉に形成する場合、耐エッチング部材の両面のエッチング可能部材のエッチング速度が同じであるとすると、通常通りエッチングした場合、厚肉層側(隔壁11側)にエッチング条件を併せると、薄肉層側(凸部12側)がオーバーエッチとなり、図5に示すように凸部12の細りが発生してしまうことになる。特に、振動板10と接合している面積が極めて小さくなってしまうことで、ヘッドの噴射特性等に大きな影響を与える。
【0030】
一方、薄肉層側にエッチング条件をあわせると、当然ながら図6に示すように加圧液室7側にエッチング残りが生じてしまう。この解決手段の一つとしては、図7のようにレジストパターン35の開口を小さくすることで補正する手段もあるが、この場合、薄肉層側においてサイドエッチの量が多くなり、形状精度を維持することが難しくなる。
【0031】
そこで、振動板両側の構造体の要求厚みが異なる場合、両側のエッチング可能部材の材質を異ならせてエッチングスピードをコントロールすることで両面とも適正条件でのエッチングとなるようにする。つまり、上述したように厚肉層側をエッチングスピードの速い材料、薄肉層側を遅い材料とすることで、エッチング時間を両面とも均等に近く設定することが可能となる。
【0032】
これらの各例においては、振動板10と液室間隔壁11とを一体化した部材を形成することができ、こうして形成された部材は接合後にパターン形成されているため、位置ずれは両面のマスク位置精度でのみ決まり、凸部12と加圧液室7を高精度で位置合わせできる。また、接合部へのはみ出しも少なく、形状精度も高い部材が形成できる。なお、このようにして形成する液室隔壁部材は、インクに接液するため、耐インク性が求められるが、耐インク性が低い材料でも表面を有機ないし無機材料で被覆することで耐インク性を確保することは可能であり、そのような層構成であっても、本発明の本質からはずれることはない。
【0033】
また、振動板部材で液室隔壁を形成する場合、隔壁高さが低いと流体抵抗が大きくなってしまうため、隔壁形成側の厚さは50〜1000μm程度が好ましく、一方、凸部12形成側は逆にあまり高く形成すると、凸部12のアスペクト比が大きくなり、振動の際に倒れる方向へ力が生じてしまうため、5〜300μm程度で形成することが好ましい。
【0034】
振動板部材4の振動板10を形成する耐エッチング部材としては樹脂部材とすることができる。振動板を形成する耐エッチング部材は駆動素子2の変形を効率よく伝え、かつその周辺の構造体に振動を伝搬させないため、剛性の低い樹脂部材(材料)で形成することが好ましい。振動が周辺の液室隔壁などの構造体に伝搬すると、液室7及びノズル6も振動し、極めて吐出が不安定になる。これに対して、樹脂部材の振動板10であれば、金属などの材料に比べヤング率が約2桁低く、軟らかいため、周辺に振動を伝えにくいという効果がある。
【0035】
樹脂部材(材料)としては、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、アラミド樹脂など各種あるが、振動板部はインクに接液するため、耐インク性の高いポリイミド樹脂、アラミド樹脂などが好ましい。もちろんこれ以外の樹脂であっても、表面を有機ないし無機材料で被覆することで耐インク性を確保することは可能であり、そのような層構成であっても、本発明の本質からはずれることはない。樹脂振動板は、ヤング率が低いため、厚みを5〜100μmと厚く形成することができ、取り扱いやピンホール欠陥が生じ難く、歩留まりも向上する。
【0036】
また、振動板部材4の構造体(隔壁11、凸部12など)を形成するエッチング可能部材は、ニッケル、ステンレスなどの金属部材で形成することが好ましい。すなわち、駆動素子の振動が周辺の液室隔壁11などの構造体に伝搬すると、液室7及びノズル6も振動し、極めて吐出が不安定になる。そのため、上述したように振動板10を軟らかく形成すると共に、構造体の剛性を高くして、振動が伝搬しても変形しないように形成することが好ましい。
【0037】
金属部材(材料)としては、エッチング加工のしやすさ、コスト的な面から、ニッケル、ステンレスなどの金属材料が好ましい。特に、この構造体部を液室隔壁部材として使用する場合、この構造体部はインクに接液するため、耐インク性の高い材料で形成することが好ましい。また、そのままではインクに溶出してしまうニッケルなどであっても、表面に熱酸化膜等を形成し、耐インク層を設けることにより使用が可能となる。
【0038】
次に、振動板部材4の第3例についてその製造工程とともに図8を参照して説明する。先ず、同図(a)に示すような耐エッチング部材41の両面に同図(b)に示すように例えばエッチング可能部材であるネガ型ドライフィルム(感光性樹脂)42、43を熱ラミネートして、3層構造の積層部材(基板)40を形成する。
【0039】
そして、同図(c)に示すように、液室間隔壁11に対応する開口を有するマスク44を用いてドライフィルム42に紫外線を照射してパターニングし、次いで、同図(d)に示すように、凸部12及び厚肉部13に対応する開口を有するマスク45を用いてドライフィルム43に紫外線を照射してパターニングする。
【0040】
その後、同図(e)に示すように、両面のドライフィルム42、43の未露光部を現像液でエッチングすることで、ドライフィルム42で加圧液室7となる凹部及び構造体である加圧液室間隔壁11を形成し、ドライフィルム43で構造体である凸部12及び厚肉部13を形成するとともに、耐エッチング部材41からなる振動板10を形成した振動板部材4を得る。
【0041】
なお、ここではドライフィルム型の紫外線感光樹脂を用いているが、液状の感光性樹脂でもよく、また、感光波長域も紫外領域に限定されるものではない。さらに、ここでは紫外線露光は片面ずつ行っているが、両面同時に実施することもできる。また、ネガ型の感光性樹脂に代えてポジ型を用いることもでき、この場合には紫外線露光部が現像液でエッチングされる。また、感光性樹脂として液状の物を使用した場合は、熱ラミネートの代わりにスピンコート、ロールコートなどの塗布工程が必要となる。ただし、液状感光性樹脂でも形成は可能だが、一般的にドライフィルムの方が液状の感光性樹脂よりも厚く形成することができる。また、露光により両面異なるパターンを形成するため、中央の耐エッチング部材41は透光性のない材質であることが好ましい。
【0042】
このようにして形成された感光性樹脂からなる構造体部(隔壁11、凸部12、厚肉部13)は、露光によりエッチングのエッジが規定されているため、エッジが直線的で、図3に示すような通常の金属などの等方的エッチングに比べて、形状精度を向上することができる。
【0043】
次に、振動板部材4の第4例についてその製造工程とともに図9を参照して説明する。先ず、同図(a)に示すような耐エッチング部材51の両面に同図(b)に示すように例えばエッチング可能部材であるポジ型感光性ガラス52、53を貼り合わせて3層構造の積層部材(基板)50を形成する。
【0044】
そして、同図(c)に示すように、液室7などの液室部分に対応する開口を有するマスク54を用いて感光性ガラス52に紫外線を照射してパターニングし、次いで、同図(d)に示すように、凸部12及び厚肉部13以外の部分に対応する開口を有するマスク55を用いて感光性ガラス53に紫外線を照射してパターニングする。
【0045】
その後、同図(e)に示すように、両面の感光性ガラス52、53の未露光部を現像液でエッチングすることで、感光性ガラス52で加圧液室7となる凹部及び構造体である加圧液室間隔壁11を形成し、感光性ガラス53で構造体である凸部12及び厚肉部13を形成するとともに、耐エッチング部材51からなる振動板10を形成した振動板部材4を得る。
【0046】
なお、感光性ガラスに関してはペースト状のものを耐エッチング部材上に塗布し、焼結してからパターニングする手法も考えられるが、実際には、焼結時の体積収縮が極めて大きく、変形などを引き起こし易いため、工法としてはあまり適さない。また、露光により両面異なるパターンを形成するため、中央の耐エッチング部材51は光を透過しない材質であることが好ましい。
【0047】
このようにして形成された感光性ガラスの構造体部(隔壁11、凸部12、厚肉部13)は、露光によりエッチングのエッジが規定されているため、エッジが直線的で、図3に示すような通常の金属などの等方的エッチングに比べ、形状精度を向上することができる。また、あわせて剛性も高く形成できるため、振動の伝搬による変形を抑えることもできる。
【0048】
次に、振動板部材4の第5例についてその製造工程とともに図10を参照して説明する。先ず、同図(a)に示すような耐エッチング部材61の両面に同図(b)に示すように例えばエッチング可能部材である結晶面方位(100)のシリコン基板62、63を接合した3層構造の積層部材(基板)60を形成する。
【0049】
そして、同図(b)に示すように、積層部材60の全面に窒化膜64を成膜し、同図(c)に示すように、レジストを塗布してパターニングすることでレジストパターン65、66を形成し、これをマスクとしてドライエッチングを行って露出している窒化膜64を除去することで、同図(d)に示すように、加圧液室7などの液室形状に対応する開口部を有する窒化膜マスクパターン67を形成するとともに、凸部12及び厚肉部13以外の部分に対応する開口を有する窒化膜マスクパターン68を形成する。
【0050】
その後、同図(e)に示すように、水酸化カリウム水溶液にてシリコン基板61、62をエッチングする。シリコン基板には異方性にエッチングされる特徴があり、一定の角度でエッチングが進行する。ここでは、結晶面方位(100)の単結晶シリコン基板を用いているのでエッチング角は45度となる。
【0051】
次いで、同図(f)に示すように、マスクとなる窒化膜マスクパターン67、68をフッ酸、熱燐酸などを用い除去して、シリコン基板62で加圧液室7となる凹部及び構造体である加圧液室間隔壁11を形成し、シリコン基板63で構造体である凸部12及び厚肉部13を形成するとともに、耐エッチング部材61からなる振動板10を形成した振動板部材4を得る。なお、窒化膜マスクパターン67、68はそのまま残存させてもよい。
【0052】
このようにして形成されたシリコンの構造体部は、異方性エッチングに形成されたため形状制御性も高く、かつ剛性も高く形成できるため、振動の伝搬による変形を抑えることもできる。
【0053】
次に、振動板部材4の第6例についてその製造工程とともに図11を参照して説明する。先ず、同図(a)に示すような耐エッチング部材71の両面に同図(b)に示すように例えばエッチング可能部材である結晶面方位(110)のシリコン基板72、73を接合した3層構造の積層部材(基板)70を形成する。
【0054】
そして、同図(b)に示すように、積層部材70の全面に窒化膜74を成膜し、同図(c)に示すように、レジストを塗布してパターニングすることでレジストパターン75、76を形成し、これをマスクとしてドライエッチングを行って露出している窒化膜74を除去することで、同図(d)に示すように、加圧液室7などの液室形状に対応する開口部を有する窒化膜マスクパターン77を形成するとともに、凸部12及び厚肉部13以外の部分に対応する開口を有する窒化膜マスクパターン78を形成する。
【0055】
その後、同図(e)に示すように、水酸化カリウム水溶液にてシリコン基板71、72をエッチングする。シリコン基板には異方性にエッチングされる特徴があり、一定の角度でエッチングが進行する。ここでは、結晶面方位(110)の単結晶シリコン基板を用いているので垂直壁を形成することができる。
【0056】
次いで、同図(f)に示すように、マスクとなる窒化膜マスクパターン77、78をフッ酸、熱燐酸などを用い除去して、シリコン基板72で加圧液室7となる凹部及び構造体である加圧液室間隔壁11を形成し、シリコン基板73で構造体である凸部12及び厚肉部13を形成するとともに、耐エッチング部材71からなる振動板10を形成した振動板部材4を得る。なお、窒化膜マスクパターン77、78はそのまま残存させてもよい。
【0057】
このように結晶面方位(110)の単結晶シリコン基板は異方性エッチングにより、表面に対して垂直な面を形成できるので、この垂直な面を加圧液室間及び駆動素子間を区画する壁面として形成することにより、加圧液室を密に配置することが可能となり、集積度の高いヘッドを形成することができる。また、シリコンの異方性により、アスペクト比の高い液室形状の形成が可能となる。この場合、液室間隔壁と垂直な方向に関してはエッチングによりテーパ面が形成される。
【0058】
次に、振動板部材4の第7例について参照する。この第7例は、上記第6例における耐エッチング部材71を酸化シリコンで形成したものである。酸化シリコンはシリコンの異方性エッチング液である水酸化カリウム水溶液に対して、難溶性を示し、シリコンに対する耐エッチング層として機能する。この酸化シリコンは単結晶シリコン基板表面を熱酸化することで形成され、その後、別の単結晶シリコン基板と接合することにより積層部材が形成される。この接合は、通常の接着剤を用いてもかまわないが、シリコンと酸化シリコンの間の直接接合にて、接合剤を用いずに接合することも可能である。こうして形成された貼り合わせ基板は、いわゆるSOI(Silicon on Insulator)基板として市販されており、これらの材料をそのまま用いてもかまわない。これにより、接着層不要で、かつ工程の短縮できる振動板構成が可能となる。
【0059】
次に、振動板部材4の第8例について図12及び図13を参照して説明する。
この例は、シリコン基板に高濃度p型不純物層を形成して、この高濃度p型不純物層を振動板を形成する耐エッチング部材としたものである。高濃度p型不純物としてはボロンが好ましい。高濃度p型不純物層は、シリコンの異方性エッチング液である水酸化カリウム水溶液に対して、難溶性を示し、シリコンに対する耐エッチング層として機能するので、この高濃度p型不純物層をエッチストップ層とすることで高精度の振動板を形成できる。
【0060】
この高濃度p型不純物層の形成方法としては、固体拡散法や塗布拡散法を用いることができる。固体拡散法では、例えば図12(a)に示すように、ホルダ80上でp型不純物を含む拡散源81を挟んで単結晶シリコン基板82を配置し、これを1000℃以上に加熱することで、同図(b)に示すように、シリコン基板82の近接表面に不純物を拡散させた高濃度p型不純物層83を形成する。
【0061】
また、塗布拡散法では、例えば図13(a)に示すようなシリコン基板82の表面に同図(b)に示すように不純物を含有する有機溶液85を塗布し、同図(c)に示すようにこれを乾燥させた後、同図(d)に示すように加熱拡散して高濃度p型不純物層83を形成する。
【0062】
この際、不純物の量と、拡散条件をコントロールすることにより、耐エッチング層、すなわち振動板の厚みをコントロールすることが可能である。その他の形成方法としては、イオン注入等も可能である。
【0063】
こうして得られた片面にp型不純物層を形成した単結晶シリコン基板を別の単結晶シリコン基板と接合することにより振動板部材となる積層部材が形成される。この接合は、通常の接着剤を用いてもかまわないが、シリコンとp型不純物層の間の直接接合にて、接合剤を用いずに接合することも可能である。一般に酸化シリコンとシリコンの接合に比べ、p型不純物層とシリコンの方が低温での直接接合が可能である。これにより、接着層不要で、かつ工程が短く、振動板厚のコントロールの容易な振動板構成が可能となる。
【0064】
なお、上記実施形態においては、ピエゾ型インクジェットヘッドで説明しているが、静電型インクジェットヘッドにも同様に適用できる。また、ノズルを振動板の変位方向にインク滴が吐出するように形成したサイドシュータ方式のインクジェットヘッドで説明したが、ノズルを振動板の変位方向と交差する方向にインク滴が吐出するように形成したエッジシュータ方式のインクジェットヘッドにも同様に適用できる。
【0065】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るインクジェットヘッドによれば、振動板を形成する振動板部材は、少なくとも振動板となる耐エッチング部材と、この耐エッチング部材の両側を同一のエッチング液でエッチング可能な2つの部材で挟んだ3層以上の構造をなし、耐エッチング部材の両側の各エッチング可能部材の一方が加圧液室の側壁部を形成し、他方が駆動手段と連結されて振動板に駆動手段の変形を伝達する凸部を形成している構成としたので、振動板の両面の構造体を同時に一括で位置ずれなく形成でき、しかも工程が簡略化し、組み付け精度も良い低コストのインクジェットヘッドを得ることができる。
【0066】
ここで、耐エッチング部材の両側の各エッチング可能部材はエッチング速度が異なる材料とすることにより、両側の構造体の要求厚みが異なる場合でも両面とも形状精度良く、容易に形成することができる。
【0068】
さらに、振動板となる耐エッチング部材として樹脂部材を用いることで、振動板の剛性を低く形成することが可能となり、振動が構造体部に伝搬することなく、チャンネル間のクロストークによる噴射特性の不安定化を抑えることが可能となり、また振動板の厚膜化が可能となり、ピンホールができにくく、歩留まりを向上させることもできる。
【0069】
また、振動板となる耐エッチング部材として金属部材を用いることで、形成される構造体部の剛性を高くすることが可能となり、振動板の振動が伝搬しても構造体部が変形することなく、チャンネル間のクロストークによる噴射特性の不安定化を抑えることができ、また、液室隔壁の剛性が上がるため、噴射効率も改善することができる。
【0070】
さらに、エッチング可能部材として感光性樹脂部材を用いることで、構造体部の壁面形状をストレートにバラツキを抑えて形成することができ、形状のバラツキに起因する噴射特性バラツキを低減できる。
【0071】
また、エッチング可能部材として感光性ガラス部材を用いることで、構造体部の壁面形状をストレートにバラツキを抑えて形成できるため、あわせて構造体部の剛性を高く保つこともできるため、噴射特性のバラツキが少なく、高効率で安定したヘッドが得られる。
【0072】
また、エッチング可能部材としてシリコン部材を用いることで、構造体部の壁面形状を精度よく剛性を高く保って形成できるため、噴射特性のバラツキが少なく、高効率で安定したインクジェットヘッドを得ることができる。
【0073】
この場合、加圧液室間及び駆動素子間を区画する壁面が表面に対して垂直な面として形成されていることで、構造体部の壁面形状を精剛性を高く保って精度良く、アスペクト比1以上の高集積で形成することができ、小型化、多ノズル化が可能で、高解像度の画像形成を実現できるインクジェットヘッドを得られる。
【0074】
この場合、耐エッチング部材が酸化シリコンであることで、接着層が不要な積層部材を形成でき、工程を短縮することができ、噴射特性バラツキの少ない高効率で安価なインクジェットヘッドを得ることができる。
【0075】
また、耐エッチング部材をシリコン基板に形成した高濃度p型不純物拡散層とすることにより、接着層が不要で、かつ工程を短縮することができ、噴射特性バラツキの少ない高効率で安価なインクジェットヘッドを得られ、また、不純物量、拡散条件により、振動板の厚みをコントロールすることができ、ヘッドの噴射効率のコントロールが容易になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用したピエゾ型インクジェットヘッドの振動板長手方向に沿う断面説明図
【図2】同ヘッドの振動板短手方向に沿う断面説明図
【図3】同ヘッドの振動板部材の第1例をその製造工程ともに説明する説明図
【図4】同ヘッドの振動板部材の第2例をその製造工程ともに説明する説明図
【図5】同第2例の作用効果の説明に供する比較例を説明する説明図
【図6】同第2例の作用効果の説明に供する他の比較例を説明する説明図
【図7】同第2例の作用効果の説明に供する更に他の比較例を説明する説明図
【図8】同ヘッドの振動板部材の第3例をその製造工程ともに説明する説明図
【図9】同ヘッドの振動板部材の第4例をその製造工程ともに説明する説明図
【図10】同ヘッドの振動板部材の第5例をその製造工程ともに説明する説明図
【図11】同ヘッドの振動板部材の第6例をその製造工程ともに説明する説明図
【図12】同ヘッドの振動板部材の第8例の説明に供する固体拡散法による高濃度p型不純物層の形成工程を説明する説明図
【図13】同ヘッドの振動板部材の第8例の説明に供する塗布拡散法による高濃度p型不純物層の形成工程を説明する説明図
【符号の説明】
1…基板、2…圧電素子、3…フレーム、4…振動板部材、5…ノズル板、6…ノズル、7…加圧液室、8…流体抵抗部、9…共通インク室、11…隔壁、12…凸部、13…厚肉部、20…積層部材、21、31、41、51、61、71…耐エッチング部材、22、23、32、33…エッチング可能部材、42、43…ドライフィルム、52、53…感光性ガラス、61、62、71、72…シリコン基板、83…高濃度p型不純物層。
Claims (10)
- インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する加圧液室と、この加圧液室の壁面を形成する振動板と、この振動板を変形変位させる駆動手段とを備えたインクジェットヘッドにおいて、
前記振動板を形成する振動板部材は、少なくとも前記振動板となる耐エッチング部材と、この耐エッチング部材の両側を同一のエッチング液でエッチング可能な2つの部材で挟んだ3層以上の構造をなし、
前記耐エッチング部材の両側の各エッチング可能部材の一方が前記加圧液室の側壁部を形成し、他方が駆動手段と連結されて前記振動板に前記駆動手段の変形を伝達する凸部を形成している
ことを特徴とするインクジェットヘッド。 - 請求項1に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記耐エッチング部材の両側の各エッチング可能部材はエッチング速度が異なる材料であることを特徴とするインクジェットヘッド。
- 請求項1又は2に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記振動板となる耐エッチング部材が樹脂部材であることを特徴とするインクジェットヘッド。
- 請求項1又は2に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記振動板となる耐エッチング部材が金属部材であることを特徴とするインクジェットヘッド。
- 請求項1乃至4のいずれかに記載のインクジェットヘッドにおいて、前記エッチング可能部材が感光性樹脂部材であることを特徴とするインクジェットヘッド。
- 請求項1乃至4のいずれかに記載のインクジェットヘッドにおいて、前記エッチング可能部材が感光性ガラス部材であることを特徴とするインクジェットヘッド。
- 請求項1乃至4のいずれかに記載のインクジェットヘッドにおいて、前記エッチング可能部材がシリコン部材であることを特徴とするインクジェットヘッド。
- 請求項7に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記シリコン部材は結晶面方位(110)の単結晶シリコン基板であり前記加圧液室間及び駆動素子間を区画する壁面が表面に対して垂直な面として形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
- 請求項7又は8に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記耐エッチング部材が酸化シリコンであることを特徴とするインクジェットヘッド。
- 請求項7又は8に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記耐エッチング部材がシリコン基板に形成した高濃度p型不純物拡散層であることを特徴とするインクジェットヘッド。
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