JP4194538B2 - 液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
図2に示した参考の実施の形態による液体吐出ヘッドの製造方法の具体例を説明する。
エポキシ樹脂(o−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂) 100部
光カチオン重合開始剤(4,4−ジ−t−ブチルフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート) 1部
シランカップリング剤(日本ユニカー社製A−187) 10部
からなる樹脂組成物をメチルイソブチルケトン/キシレン混合液に50wt%の濃度で溶解し、スピンコートにて膜厚5μmの感光性をもつ樹脂層を分離層102上に塗工し、硬化のため露光を行った。
エポキシ樹脂(o−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂) 100部
光カチオン重合開始剤(4,4−ジ−t−ブチルフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート) 1部
シランカップリング剤(日本ユニカー社製A−187) 10部
からなる樹脂組成物をメチルイソブチルケトン/キシレン混合液に50wt%の濃度で溶解し、スピンコートにて、液流路パターン103上における膜厚5μmの感光性をもつ樹脂層を形成し、そして、硬化のため露光を行った。図1に示す被覆樹脂層1は、このようにして形成された第1、第2の被覆樹脂1a、1bからなるものである。
エポキシ樹脂(o−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂) 100部
光カチオン重合開始剤(4,4−ジ−t−ブチルフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート) 1部
シランカップリング剤(日本ユニカー社製A−187) 10部
からなる樹脂組成物をメチルイソブチルケトン/キシレン混合液に50wt%の濃度で溶解し、スピンコートにて、第2の被覆樹脂1b上における膜厚5μmの感光性をもつ感光性樹脂材料層105を形成し、図2の(g)に示すように、マスク106を用いて、硬化のため露光を行い孤立したアイランド部6の潜像105aを形成した。
図3を参照して、参考の実施の形態による液体吐出ヘッドの製造方法の別の具体例を説明する。
図4は、参考の実施の形態による液体吐出ヘッドの製造方法のさらに別の具体例の主要工程を断面で示す概略的な工程図である。
エポキシ樹脂(o−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂) 100部
光カチオン重合開始剤(4,4−ジ−t−ブチルフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート) 1部
シランカップリング剤(日本ユニカー社製A−187) 10部
からなる樹脂組成物をメチルイソブチルケトン/キシレン混合液に50wt%の濃度で溶解し、スピンコートにて膜厚5μmの感光性をもつ樹脂層を分離層102上に塗工した。そして、硬化と液吐出口32を確保するための潜像32aを作成するために、マスク109を用いてキヤノン製マスクアライナーPLA520(コールドミラーCM290)にてパターン露光を行った。
エポキシ樹脂(o−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂) 100部
光カチオン重合開始剤(4,4−ジ−t−ブチルフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート) 1部
シランカップリング剤(日本ユニカー社製A−187) 10部
からなる樹脂組成物をメチルイソブチルケトン/キシレン混合液に50wt%の濃度で溶解し、スピンコートにて、液流路パターン103上における膜厚5μmの感光性をもつ樹脂層を形成し、そして、硬化のため露光を行った。
エポキシ樹脂(o−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂) 100部
光カチオン重合開始剤(4,4−ジ−t−ブチルフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート) 1部
シランカップリング剤(日本ユニカー社製A−187) 10部
からなる樹脂組成物をメチルイソブチルケトン/キシレン混合液に50wt%の濃度で溶解し、スピンコートにて、第2の被覆樹脂1b上における膜厚5μmの感光性をもつ感光性樹脂材料層105を形成し、図4の(g)に示すように、マスク106を介して硬化のため露光を行い孤立したアイランド部6の潜像105aを形成した。
2、22、32、42 液吐出口
3、43 液体供給室
4、44 圧力室
5、45 振動板
6、46 アイランド部
10、50 振動子ユニット
11、51 圧電振動子
60 ヘッド函体
61 収容部
62 液供給口
73、105 感光性樹脂材料層
74、103 液流路パターン
Claims (4)
- 複数の液吐出口と、該複数の液吐出口にそれぞれ連通する複数の圧力室を有する液流路と、孤立圧力伝達部を介して前記複数の圧力室にそれぞれ対応する櫛歯状の複数の圧電振動子と、を備えた液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記複数の圧電振動子の間の櫛歯溝に充填材を充填する工程と、
充填材が充填された前記複数の圧電振動子の端面を含む平面上に前記孤立圧力伝達部となる伝達層を形成する工程と、
前記伝達層の上に振動板を介して前記充填材と同じ材料からなる液流路パターンを形成する工程と、
該液流路パターンの上に被覆層を形成する工程と、
前記液流路パターンを除去することによる前記複数の圧力室の形成と、前記複数の圧力室に対応する個所を除いて前記伝達層を除去することによる前記孤立圧力伝達部の形成と、前記充填材の除去と、を一括して行う工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 充填材が充填された前記複数の圧電振動子の端面を研磨して平滑な平面を形成することを特徴とする請求項1記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記液流路パターンが光透過性を有し、該液流路パターンを形成する際に、前記複数の圧電振動子の位置合わせのためのアライメント手段を透視することで、前記液流路パターンの位置決めを行うことを特徴とする請求項1記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 充填材を充填する工程において前記液流路へ液体を供給する液供給口にまで充填材を充填し、前記充填材を除去する工程において前記液供給口からも充填材を除去することを特徴とする請求項2記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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