JP6238760B2 - 構造物の製造方法及び液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
(1)貫通口を有する基板の上に、第一の支持体の上に形成された第一の樹脂層を該第一の樹脂層が前記基板を向くように配置し、前記第一の支持体を前記第一の樹脂層から剥離する工程と、
(2)前記第一の支持体が剥離された前記第一の樹脂層の上に、第二の支持体の上に形成された第二の樹脂層を該第二の樹脂層が前記第一の樹脂層を向くように配置し、前記第二の支持体を前記第二の樹脂層から剥離する工程と、
を含み、
前記第一の支持体を剥離する前に又は剥離すると同時に、前記貫通口の上にある、前記第一の樹脂層の部分を除去することを特徴とする構造物の製造方法である。
液体を吐出する吐出口及び該吐出口に連通する流路を形成する流路形成部材と、前記流路に前記液体を供給する供給口を有する基板と、を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、
上記構造物の製造方法を用いて、前記流路形成部材の少なくとも一部を形成することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。
図3(A)〜(E)を用いて、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法について説明する。図3(A)〜(E)は、図1に記載の点線A−A’により基板面の垂直方向に基板を切断した際の断面における模式的な断面工程図である。
本実施例では、貫通口及び凹凸構造を有する基板上にドライフィルムを配置する。これにより、前記凹凸構造の上に平坦面を形成する。その後、支持体を剥離する時に貫通口の上にあるドライフィルム部分を同時に除去する。これにより貫通口の上にたわんだ樹脂部分が形成されないため、その後に別のドライフィルムを載せても、フィルムの間に空隙が形成されない。そのため、所望の高さの流路を容易に形成することが可能となる。
本実施例は実施例1に対し、供給口の上にある第一の樹脂層部分の除去方法が異なり、第一の樹脂層を基板上に配置した後に、基板の表面(第一の面)と反対側の面である第二の面(裏面)よりドライエッチングを行い、第一の樹脂層部分を除去する。そして、第一の支持体を第一の樹脂層から剥離する。その後、第一の樹脂層上に第二の樹脂層を形成する。それ以外は、実施例1と同様であるため、以下の説明では詳細な説明は省略する。
図5は、従来技術の液体吐出ヘッドの製造方法の一例を断面工程図である。
2 吐出エネルギー発生素子
3 中間層
11 供給口
12 流路
13 吐出口
14 第三の樹脂層
21 第一の樹脂層
22 第二の樹脂層
Claims (14)
- (1)貫通口を有する基板の上に、第一の支持体の上に形成された第一の樹脂層を該第一の樹脂層が前記基板を向くように配置し、前記第一の支持体を前記第一の樹脂層から剥離する工程と、
(2)前記第一の支持体が剥離された前記第一の樹脂層の上に、第二の支持体の上に形成された第二の樹脂層を該第二の樹脂層が前記第一の樹脂層を向くように配置し、前記第二の支持体を前記第二の樹脂層から剥離する工程と、
を含み、
前記第一の支持体を剥離する前に又は剥離すると同時に、前記貫通口の上にある、前記第一の樹脂層の部分を除去することを特徴とする構造物の製造方法。 - 前記第一の樹脂層部分を前記第一の支持体に貼り付けた状態で前記第一の支持体を剥離することにより、前記第一の支持体を剥離すると同時に前記第一の樹脂層部分を除去する請求項1に記載の構造物の製造方法。
- 前記第一の支持体には離型処理を施さず、前記第二の支持体には離型処理を施す請求項2に記載の構造物の製造方法。
- 前記第一の支持体を剥離する際に、剥離速度を20mm/s以上とする請求項2又は3に記載の構造物の製造方法。
- 前記貫通口のうち前記第一の樹脂層側の開口形状は複数の辺から構成され、
前記第一の樹脂層から前記第一の支持体を剥離する際に、剥離される箇所の進行方向が前記複数の辺の伸長方向以外の方向となるように、前記第一の支持体を剥離する請求項2乃至4のいずれかに記載の構造物の製造方法。 - 前記貫通口を通してエッチングを行うことにより、前記第一の樹脂層部分を除去する請求項1に記載の構造物の製造方法。
- 前記エッチングがドライエッチングである請求項6に記載の構造物の製造方法。
- 前記第一の樹脂層がネガ型感光性樹脂である請求項1乃至7のいずれかに記載の構造物の製造方法。
- 前記第二の樹脂層がネガ型感光性樹脂である請求項1乃至8のいずれかに記載の構造物の製造方法。
- 前記工程(2)の後に、加熱処理を行う請求項1乃至9のいずれかに記載の構造物の製造方法。
- 液体を吐出する吐出口及び該吐出口に連通する流路を形成する流路形成部材と、前記流路に前記液体を供給する供給口を有する基板と、を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、
請求項1乃至10のいずれかに記載の構造物の製造方法を用いて、前記流路形成部材の少なくとも一部を形成することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記流路形成部材は、前記吐出口を形成する吐出口形成部材と、前記流路の側壁を形成する流路側壁形成部材と、を含み、
前記第一の樹脂層を用いて、前記流路側壁形成部材の少なくとも一部を形成する請求項11に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記第一の樹脂層及び前記第二の樹脂層を用いて、前記流路側壁形成部材を形成する請求項12に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記流路形成部材は、前記吐出口を形成する吐出口形成部材と、前記流路の側壁を形成する流路側壁形成部材と、を含み、
前記第一の樹脂層を用いて、前記流路側壁形成部材を形成し、
前記第二の樹脂層を用いて、前記吐出口形成部材を形成する請求項11に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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