JP5546504B2 - 記録ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は、インク等の液体を用いて記録を行う記録ヘッドの製造方法に関する。
従来、積層するフォトレジストに感度比を設け、下層の光学的に決定した流路を崩さずにフォトレジストを積層し、上層を露光した後、下層及び上層を一括現像することにより流路や吐出口を形成する記録ヘッドの製造方法が特許文献１に開示されている。また、上層と下層の間に紫外線を遮断するフォトレジストからなる露光停止層を設け、下層の光学的に決定した流路を崩さずにフォトレジストを積層させ、上層を露光した後、下層及び上層を現像することにより流路や吐出口を形成する記録ヘッドの製造方法が特許文献２に開示されている。
しかしながら、特許文献１及び特許文献２に記載の記録ヘッドの製造方法では、光学的に決定した流路となる未露光部に下層の重合を開始させる重合開始剤を含むフォトレジストが積層し接している。このため、積層したフォトレジストに含まれる光重合開始剤により発生した重合開始種が、前記下層の流路となる未露光部分に拡散し、重合反応が起こってしまう懸念があった。つまり、所望の流路高さに対して低くなってしまう懸念があった。具体的には、図４に示すように、前記下層の未露光部を重合させる物質が未露光部へ侵入してしまい、硬化部１５が形成されるため、所望の流路高さに対して低くなってしまう懸念があった。
本発明の目的は、所望の高さに流路を歩留まり良く形成でき、吐出液体のリフィル性に優れた記録ヘッドの製造方法を提供することである。
本発明に係る記録ヘッドの製造方法は、
（１）基板の上に、感光性樹脂を含有する流路側壁形成層を形成する工程と、
（２）前記流路側壁形成層を一部露光することで、該流路側壁形成層に露光された露光部と露光されていない未露光部を形成し、該流路側壁形成層に光学的に流路を決定する工程と、
（３）前記流路側壁形成層の上に、感光性樹脂を含有し、前記未露光部を硬化させる重合開始剤を含有しないドライフィルムで形成された層を形成する工程と、
（４）前記ドライフィルムで形成された層の上に、光重合開始剤及びネガ型感光性樹脂を含有する吐出口形成層を形成する工程と、
（５）前記吐出口形成層を露光し、光学的に吐出口を決定する工程と、
（６）前記吐出口形成層、前記ドライフィルムで形成された層、及び前記流路側壁形成層を現像する工程と、
を前記工程（１）〜（６）の順で含み、
前記ドライフィルムで形成された層が含有する前記感光性樹脂は、前記吐出口形成層の露光によって生じ、前記光重合開始剤に由来する成分により硬化する材料であることを特徴とする。
（１）基板の上に、感光性樹脂を含有する流路側壁形成層を形成する工程と、
（２）前記流路側壁形成層を一部露光することで、該流路側壁形成層に露光された露光部と露光されていない未露光部を形成し、該流路側壁形成層に光学的に流路を決定する工程と、
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（４）前記ドライフィルムで形成された層の上に、光重合開始剤及びネガ型感光性樹脂を含有する吐出口形成層を形成する工程と、
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（６）前記吐出口形成層、前記ドライフィルムで形成された層、及び前記流路側壁形成層を現像する工程と、
を前記工程（１）〜（６）の順で含み、
前記ドライフィルムで形成された層が含有する前記感光性樹脂は、前記吐出口形成層の露光によって生じ、前記光重合開始剤に由来する成分により硬化する材料であることを特徴とする。
本発明の構成によれば、所望の高さに流路を形成でき、吐出液体のリフィル性に優れた高速吐出可能な記録ヘッドを歩留まり良く製造することが可能となる。
図３は、本実施形態の記録ヘッドの一例を示す斜視模式図である。図３に示すインクジェット記録ヘッドは、インク吐出圧エネルギー発生素子２が所定のピッチで２列に並んで配置されているシリコン基板１を有する。シリコン基板１上には、密着層としてポリエーテルアミド層（不図示）が形成されている。更に、シリコン基板１上には、流路側壁と、インク吐出圧エネルギー発生素子２の上方に位置する吐出口１３を備える吐出口形成層１４と、が形成されている。また、不図示であるが、流路側壁と吐出口形成層１４との間には形状安定層が配置されている。また、シリコン基板１には、インク供給口１１が、インク吐出圧エネルギー発生素子２の列の間に形成されている。さらに、インク供給口１１から各吐出口１３に連通するインク流路１２が形成されている。インク供給口１１からインク流路内に充填されたインク（液体）に、インク吐出圧エネルギー発生素子２によって圧力が加えられると、吐出口１３からインク液滴が吐出する。このインク液滴を記録媒体に付着することによって、記録を行う。
また、図３の説明をはじめ、本明細書では、本発明の適用例としてインクジェット記録ヘッドを例に挙げて説明するが、本発明の適用範囲はこれに限定されるものではなく、バイオッチップ作製や電子回路印刷用途の記録ヘッド等にも適用できる。記録ヘッドとしては、インクジェット記録ヘッドの他にも、例えばカラーフィルター製造用ヘッド等も挙げられる。
図１を用いて、本発明の形状安定層を用いた記録ヘッドの製造方法を説明する。
図１（Ａ）〜（Ｄ）、図２（Ｅ）〜（Ｈ）は、図３に記載の切断線Ａ−Ａ’に沿った記録ヘッドの断面模式図である。
図１（Ａ）に示される基板１上には、吐出エネルギー発生素子２が複数個配置され、その上から絶縁保護膜４が成膜されている。まず、絶縁保護膜４上に感光性樹脂からなる流路側壁形成層６をスピンコート法などにより形成する。
ここで、流路側壁形成層は、感光性樹脂を含有する。感光性樹脂としては、ネガ型感光性樹脂を用いることが好ましい。さらに、光重合開始剤を含むことが好ましい。本明細書において、光重合開始剤は、重合反応を促進する材料のみならず、架橋反応を促進する材料も含む概念である。流路側壁形成層に用いるネガ型感光性樹脂としては、特に制限されるものではないが、例えば、ビスアジド化合物を含有する環化ポリイソプレンやアジドピレンを含有するクレゾールノボラック樹脂、あるいはジアゾニウム塩やオニウム塩を含有するエポキシ樹脂等が挙げられる。
また、流路側壁形成層に用いるネガ型感光性樹脂としては、特に制限されるものではないが、例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂等が使用できる。
なお、別の方法として、感光性樹脂であるネガ型の感光性ドライフィルムを用い、ラミネート法により、流路側壁形成層６を形成しても良い。
流路側壁形成層は、ネガ型感光性樹脂を含有する。例えば、エポキシ樹脂が挙げられる。他にも、光カチオン重合開始剤、及びキシレン等の溶媒等を含有する。
また、流路側壁形成層６を形成する前に、密着向上層としてポリエーテルアミド系の樹脂を絶縁保護膜４の上に形成してもよい。
次に、図１（Ｂ）に示されるように、流路側壁形成層６のうち流路側壁となる部分を露光し、硬化部６ａと未露光部６ｂとを光学的に決定する。
図１（Ｂ）では、ネガ型感光性樹脂を用いた形態を示しているため、露光した部分が硬化部６ａとなる。該硬化部６ａは流路側壁に相当する。
次に、図１（Ｃ）に示すように、流路側壁と流路を光学的に決定した流路側壁形成層６の上に、感光性樹脂を含有する形状安定層７を形成する。
形状安定層７が含有する感光性樹脂は、後工程の吐出口形成層が含有する光重合開始剤に由来し、吐出口形成層の露光によって生じる成分により硬化する材料である。
形状安定層７についてより詳細に説明する。形状安定層７は感光性樹脂を含有し、流路側壁形成層の未露光部を硬化させる重合開始剤を含まない。より具体的には、形状安定層７は、オニウム塩やジアゾニウム塩などの光酸発生剤、またはチタノセン化合物やｐ−ニトロベンジル芳香族スルホネート等のラジカル重合開始剤等、流路側壁形成層の未露光部６ｂに反応する重合開始剤を含まない。したがって、流路側壁形成層の未露光部に重合開始剤が拡散することがないため、流路を所望の高さに形成することができる。また、形状安定層７単層ではフォトリソグラフィによるパターニングはできないが、上述のように、吐出口形成層に用いる光重合開始剤に由来する成分により硬化する。
また、形状安定層７は、隣接する流路側壁形成層６と相溶性がより低い材料で構成されていることが好ましい。
また、吐出口形成層が含有する光重合開始剤に由来し、吐出口形成層の露光によって生じる成分としては、例えばカチオン種やラジカル種が挙げられる。吐出口形成層の露光部分では該カチオン種やラジカル種が発生し、該露光部分に相当する領域の形状安定層７部分に拡散する。形状安定層７に拡散した前記成分が形状安定層の感光性樹脂を硬化させる。形状安定層に用いる感光性樹脂としては、特に制限されるものではないが、例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂等が使用できる。形状安定層に用いる感光性樹脂は、吐出口形成層に用いるネガ型感光性樹脂に含まれる光重合開始剤を考慮して適宜選択されることが望ましい。
形状安定層７の膜厚は、吐出口形成層に用いる光重合開始剤に由来するカチオン種やラジカル種の拡散長を考慮して選択されることが好ましく、例えば、０．５μｍ〜３μｍ程度であることが好ましい。
形状安定層は、ドライフィルムを用いて形成されることが好ましい。ドライフィルムにより形状安定層を形成すれば、流路側壁形成層の硬化部及び未露光部のパターンを崩し難いためである。
次に、図１（Ｄ）に示すように、図１（Ｃ）で形成した形状安定層７上に光重合開始剤及びネガ型感光性樹脂を含有する吐出口形成層１４を形成する。
上述のように、吐出口形成層に用いる光重合開始剤から生じる成分が形状安定層に拡散し、形状安定層のレジストを硬化する。
吐出口形成層に用いるネガ型感光性樹脂としては、例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂等が挙げられる。また、吐出口形成層に用いる光重合開始剤としては、例えば、ジアゾニウム塩やオニウム塩等が挙げられる。
ここで、吐出口形成層１４はドライフィルムレジストを用いて形成されることが好ましいが、流路側壁形成層６に形成した硬化部６ａ及び未露光部６ｂのパターンを崩さなければ、スピンコート法などにより形成しても良い。
また、吐出口形成層１４の感度は、吐出口のパターニングの際に流路側壁形成層６の未露光部６ｂを硬化させない感度比を持つことが好ましい。
また、形状安定層７に吐出口形成層１４の露光波長の光（露光光）を吸収する光吸収剤を添加すれば、流路側壁形成層が吐出口形成層の露光量で感光する光感度を有していたとしても、流路側壁形成層の未露光部を硬化させないで吐出口形成層の露光処理を行うことができる。形状安定層に含有させる光吸収剤としては、吐出口形成層の露光波長を考慮して適宜選択することができる。また、光吸収剤の含有量は、吐出口形成層のネガ型感光性樹脂中、例えば１〜１０質量％であり、１〜５質量％であることが好ましい。
次に、図２（Ｅ）に示すように、吐出口形成層１４のうち吐出口となる領域以外の部分を露光し、硬化部１４ａと未露光部１４ｂを光学的に決定する。
また、吐出口形成層の露光により、吐出口形成層に用いる光重合開始剤からカチオン種やラジカル種等が生じ、これらの成分が吐出口形成層の露光部分を硬化させる。また、これらの発生した成分は形状安定層にも拡散し、吐出口形成層の露光領域に対応する形状安定層のレジスト部分を硬化させる。
なお、この工程の前に、吐出口形成層１４の上面に撥水膜を成膜し、その後露光してもよい。この工程において、流路側壁形成層６の未露光部６ｂは硬化反応を起こさない。
次に、図２（Ｆ）に示すように、硬化のための熱処理（ＰＥＢ）を行う。この熱処理は任意だが、解像性等の観点から実施することが好ましい。この熱処理により、図２（Ｅ）で形成した硬化部１４ａにて発生した重合反応開始成分が形状安定層７内部により有効に拡散し、硬化部７ａと未硬化部７ｂを形成する。
熱処理の温度は、特に制限されるものではないが、流路側壁形成層７の未露光部７ｂ及び吐出口形成層１４の未露光部１４ｂが液状化しない温度とすることが望ましく、７０〜１００℃であることが好ましい。
次に、図２（Ｇ）に示すように、吐出口形成層１４と、形状安定層７と、流路側壁形成層６と、を現像する。
ここで、吐出口形成層１４と形状安定層７と流路側壁形成層６とは、一括で現像されることが好ましい。なお、一括で現像するということは、１種の溶剤を用いて１回の処理ですべての層を現像することを言う。
この工程において、流路側壁形成層６の未露光部と、形状安定層７の未硬化部と、吐出口形成層１４の未露光部とが現像され、流路１２及び吐出口１３が形成される。
次に、図２（Ｈ）に示すように、インク供給口１１を形成し、インク供給口上層の絶縁保護膜４を除去する。
以上の工程を経て、インク供給口１１から流入したインクを吐出口１３から吐出させるノズル部が形成された記録ヘッド用基板が完成する。そして、この記録ヘッド用基板をダイシングソー等によって切断分離してチップ化し、各チップにインク吐出圧エネルギー発生素子２を駆動させる電気配線の接合を行った後、インク供給用のチップタンク部材を接合する。これにより、記録ヘッドとしてのインクジェット記録ヘッドが完成する。
なお、吐出口形成層に用いるネガ型感光性樹脂は、流路側壁形成層を硬化させず選択的に吐出口を形成できる光感度を持つ材料を用いることが好ましい。例えば、流路側壁形成層が含有する光重合開始剤としてスルホニウム塩を用い、吐出口形成層が含有する光重合開始剤としてオニウム塩を用いる。これにより、流路側壁形成層と吐出口形成層の光感度比を１：６以上となるように大きくすることができ、流路側壁形成層の感光性樹脂は、吐出口形成層の露光により硬化しない光感度比を有することとなる。この場合、例えば、流路側壁を形成するための露光量を６０００〜１００００Ｊ／ｍ２とし、吐出口を形成するための露光量を５００〜１０００Ｊ／ｍ２とすることができる。
また、上述のように、形状安定層に、吐出口形成層の露光時に照射する露光波長の光を吸収する光吸収剤を含有させることにより、流路側壁形成層と吐出口形成層の光感度を規定しなくてもよくなり、材料の選択幅が広がる。
また、本実施形態において、流路側壁形成層及び吐出口形成層の感光性樹脂が形状安定層の感光性樹脂と同じ種類であることが好ましい。例えば、形状安定層に用いる感光性樹脂がエポキシ樹脂である場合は、流路側壁形成層及び吐出口形成層の感光性樹脂もエポキシ樹脂であることが好ましい。エポキシ樹脂としては、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂やクレゾールノボラック型エポキシ樹脂が好ましく挙げられる。同じ種の材料であれば、各層の密着性が向上するとともに、各層を一括に現像処理することができる。
（実施例１）
図１を用いて、本発明の形状安定層を用いた記録ヘッドの製造方法の実施例について説明する。
図１を用いて、本発明の形状安定層を用いた記録ヘッドの製造方法の実施例について説明する。
図１（Ａ）〜（Ｄ）、図２（Ｅ）〜（Ｈ）は、図３に記載の切断線Ａ−Ａ’に沿った記録ヘッドの断面模式図である。
図１（Ａ）に示される基板１の表面には、吐出エネルギー発生素子２として発熱抵抗体が複数個配置されている。基板としてはシリコン基板を用い、発熱抵抗体としてはＴａＳｉＮを用いた。絶縁保護膜４は、ＳｉＯ、ＳｉＮをプラズマＣＶＤで成膜した。このＳｉＯ、ＳｉＮは、インクやその他の液体から電気配線を守る役割を担っている。まず、絶縁保護膜４上にネガ型感光性樹脂を用いて流路側壁形成層６をスピンコート法により厚さ１４μｍで形成した。ネガ型感光性樹脂としては、エポキシ樹脂ＥＨＰＥ３１５０（商品名、ダイセル化学工業製）１００質量部と光カチオン重合触媒ＳＰ−１７２（商品名、旭電化工業製）６質量部との混合物を用いた。
次に、図１（Ｂ）に示されるように、流路側壁形成層６のうち流路側壁となる部分をキヤノン製のＦＰＡ−３０００ｉ５＋を用いてｉ線（波長３６５ｎｍ）により露光し、流路側壁となる硬化部６ａと、流路となる未露光部６ｂとを光学的に決定した。露光量は３０００Ｊ／ｍ２とした。
次に、図１（Ｃ）に示すように、流路側壁を光学的に決定した流路側壁形成層６上に、ドライフィルムレジストを用いて形状安定層７を真空中で載置した。載置後の形状安定層７の厚さは２μｍであった。
形状安定層に用いたドライフィルムレジストは、エポキシ樹脂、溶媒としてのキシレン、及びｉ線吸収剤を含む材料である。エポキシ樹脂としては、ＥＨＰＥ３１５０（商品名、ダイセル化学工業製）を用い、ｉ線吸収剤としてはＳＰ−１００（商品名、ＡＤＥＫＡ社製）を用いた。エポキシ樹脂の含有量はドライフィルムレジスト中９６質量％であり、ｉ線吸収剤の含有量はドライフィルムレジスト中４質量％である。
なお、形状安定層７は光カチオン重合開始剤等の光重合開始剤を含まないため、感光性を有しない。
次に、図１（Ｄ）に示すように、形状安定層７上にネガ型の感光性ドライフィルムである吐出口形成層１４を真空中で載置した。載置後の吐出口形成層１４の厚さは１０μｍであった。
感光性ドライフィルムは、エポキシ樹脂および光カチオン重合開始剤を含むネガ型の感光性樹脂である。吐出口形成層の感光性樹脂としては、形状安定層のレジスト及び流路側壁形成層の感光性樹脂と同じ材料を用い、エポキシ樹脂ＥＨＰＥ３１５０（商品名、ダイセル化学工業製）を用いた。感光性ドライフィルムは、エポキシ樹脂「ＥＨＰＥ３１５０」を９４質量％と光カチオン重合触媒ＳＰ−１７２（商品名、旭電化工業製）を６質量％含む。
また、吐出口形成層の材料としては、この材料以外にも、例えば、ＴＭＭＦ（商品名、東京応化工業製）、ＸＰ ＳＵ−８ ３０００（商品名、化薬マイクロケム製）の永久膜ドライフィルムを用いても良い。その場合、流路側壁形成層の材料も合わせてＴＭＭＲ（商品名、東京応化工業製）、ＳＵ−８ ３０００（商品名、化薬マイクロケム製）を使用することが密着性の観点から好ましい。
また、ベースフィルム材としてはＰＥＴを用いた。ドライフィルム載置後ベースフィルムを剥離した。
次に、図２（Ｅ）に示すように、吐出口形成層１４のうち吐出口となる部分以外の領域をキヤノン製のＦＰＡ−３０００ｉ５＋を用いてｉ線（波長３６５ｎｍ）により露光し、硬化部１４ａと未露光部１４ｂを光学的に決定した。露光量は３０００Ｊ／ｍ２で露光した。
この工程において、形状安定層に含まれるｉ線吸収剤が流路側壁形成層に光が到達するのを防ぐため、流路側壁形成層６の未露光部６ｂは重合反応を起こさない。
次に、図２（Ｆ）に示すように、硬化のための熱処理（ＰＥＢ）として、ホットプレートで９０℃５分間ベークを行った。隣接する流路側壁形成層６の硬化部６ａと吐出口形成層１４の硬化部１４ａで発生したカチオンが、形状安定層７に拡散することで重合反応し、硬化部７ａと未硬化部７ｂを形成した。
次に、図２（Ｇ）に示すように、流路側壁形成層６の未露光部６ｂと、形状安定層７の未硬化部７ｂと、吐出口形成層１４の未露光部１４ｂを現像処理によって一括除去し、インク流路１２と吐出口１３を形成した。
次に、図２（Ｈ）に示すように、インク供給口１１をアルカリエッチング液で異方性エッチングにより形成した。その後、絶縁保護膜４をドライエッチングにより除去し、インク供給口１１を流路１２と連通させた。
以上の工程を経て、インク供給口１１から流入したインクを吐出口１３から吐出させるノズル部が形成された記録ヘッド用基板が完成する。そして、この基板をダイシングソー等によって切断分離してチップ化し、各チップにインク吐出圧エネルギー発生素子２を駆動させる電気配線の接合を行った後、インク供給用のチップタンク部材を接合する。これにより、記録ヘッドが完成する。
この記録ヘッドで印字を行った結果、流路高さが所望の高さに対し低くなりにくいため、リフィル性が向上し高速吐出が可能となったことを確認した。
本実施例では後述の実施例２と異なり、形状安定層にｉ線吸収剤を含ませることにより、流路側壁形成層および吐出口形成層の感度調整をしなくても良い利点がある。そのため、流路側壁形成層や吐出口形成層に用いる材料の自由度が向上する。
また、本実施例では、流路側壁形成層と吐出口形成層の間に、光吸収剤を含み、光重合開始剤を含まない形状安定層を形成した。そのため、本発明により、流路を所望の高さに形成でき、吐出液体のリフィル性に優れた記録ヘッドを歩留まり良く製造することが可能となる。
（実施例２）
本実施例は図１（Ａ）で形成する流路側壁形成層６、図１（Ｃ）で形成する形状安定層７、及び図１（Ｄ）で形成する吐出口形成層１４の材料のみが実施例１と異なる。工程は全て実施例１と同様であるため説明を省略する。なお、実施例１で説明した記録ヘッドと同様な構成については同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
本実施例は図１（Ａ）で形成する流路側壁形成層６、図１（Ｃ）で形成する形状安定層７、及び図１（Ｄ）で形成する吐出口形成層１４の材料のみが実施例１と異なる。工程は全て実施例１と同様であるため説明を省略する。なお、実施例１で説明した記録ヘッドと同様な構成については同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
本実施例では吐出口形成層１４の光酸発生剤として、流路側壁形成層６に含まれる光重合開始剤よりも高感度な光重合開始剤を選択し、形状安定層７にｉ線吸収剤を添加しない構成とした。そのため、吐出口形成のための露光により流路側壁形成層７の未露光部７ｂを硬化させない。
流路側壁形成層６の材料としては、エポキシ樹脂、光カチオン重合開始剤、及び溶媒であるキシレンと、を含むネガ型感光性樹脂と用いた。エポキシ樹脂としてはＥＨＰＥ３１５０（商品名、ダイセル化学工業製）を用い、光カチオン重合開始剤としてはトリアリールスルホニウム塩を用いた。ネガ型感光性樹脂中、エポキシ樹脂の含有量は９９質量％であり、光カチオン重合開始剤の含有量は１質量％であった。
形状安定層７の材料としては、エポキシ樹脂および溶媒であるキシレンを含む材料を用いた。エポキシ樹脂としては、ＥＨＰＥ３１５０（商品名、ダイセル化学工業製）を用いた。
吐出口形成層１４の材料としては、エポキシ樹脂および光カチオン重合開始剤を含むネガ型感光性樹脂を用いた。エポキシ樹脂としては、ＥＨＰＥ３１５０（商品名、ダイセル化学工業製）を用い、光カチオン重合開始剤としてはオニウム塩を用いた。ネガ型感光性樹脂中、エポキシ樹脂の含有量は９９質量％であり、光カチオン重合開始剤の含有量は１質量％であった。
流路側壁を形成するための露光は実施例１と同様の装置で、露光量６０００Ｊ／ｍ２で露光した。
吐出口を形成するための露光は実施例１と同様の装置で、露光量１０００Ｊ／ｍ２で露光した。
得られた記録ヘッドで印字を行った結果、流路高さが所望の高さに対し低くなりにくいため、リフィル性が向上し高速吐出が可能となったことを確認した。
本実施例では、流路側壁形成層と吐出口形成層の間に、光重合開始剤を含まない形状安定層を形成した。そのため、流路を所望の高さに形成でき、吐出液体のリフィル性に優れた記録ヘッドを歩留まり良く製造することが可能となる。
１ 基板
２ エネルギー発生素子
４ 絶縁保護膜
６ 流路側壁形成層
６ａ 流路側壁形成層硬化部
６ｂ 流路側壁形成層未露光部
７ 形状安定層
７ａ 形状安定層硬化部
７ｂ 形状安定層未露光部
１１ インク供給口
１２ 流路
１３ 吐出口
１４ 吐出口形成層
１４ａ 吐出口形成層硬化部
１４ｂ 吐出口形成層未露光部
２ エネルギー発生素子
４ 絶縁保護膜
６ 流路側壁形成層
６ａ 流路側壁形成層硬化部
６ｂ 流路側壁形成層未露光部
７ 形状安定層
７ａ 形状安定層硬化部
７ｂ 形状安定層未露光部
１１ インク供給口
１２ 流路
１３ 吐出口
１４ 吐出口形成層
１４ａ 吐出口形成層硬化部
１４ｂ 吐出口形成層未露光部
Claims (10)
- （１）基板の上に、感光性樹脂を含有する流路側壁形成層を形成する工程と、
（２）前記流路側壁形成層を一部露光することで、該流路側壁形成層に露光された露光部と露光されていない未露光部を形成し、該流路側壁形成層に光学的に流路を決定する工程と、
（３）前記流路側壁形成層の上に、感光性樹脂を含有し、前記未露光部を硬化させる重合開始剤を含有しないドライフィルムで形成された層を形成する工程と、
（４）前記ドライフィルムで形成された層の上に、光重合開始剤及びネガ型感光性樹脂を含有する吐出口形成層を形成する工程と、
（５）前記吐出口形成層を露光し、光学的に吐出口を決定する工程と、
（６）前記吐出口形成層、前記ドライフィルムで形成された層、及び前記流路側壁形成層を現像する工程と、
を前記工程（１）〜（６）の順で含み、
前記ドライフィルムで形成された層が含有する前記感光性樹脂は、前記吐出口形成層の露光によって生じ、前記光重合開始剤に由来する成分により硬化する材料であることを特徴とする記録ヘッドの製造方法。 - 前記工程（５）の後であって前記工程（６）の前に、前記吐出口形成層、前記ドライフィルムで形成された層、及び前記流路側壁形成層に熱処理を行う請求項１に記載の記録ヘッドの製造方法。
- 前記ドライフィルムで形成された層は、前記吐出口形成層の露光光を吸収する光吸収剤を含む請求項１又は２に記載の記録ヘッドの製造方法。
- 前記流路側壁形成層が含有する感光性樹脂は、前記ドライフィルムで形成された層が含有する感光性樹脂と同じ種類である請求項１乃至３のいずれかに記載の記録ヘッドの製造方法。
- 前記吐出口形成層が含有する感光性樹脂は、前記ドライフィルムで形成された層が含有する感光性樹脂と同じ種類である請求項１乃至４のいずれかに記載の記録ヘッドの製造方法。
- 前記工程（６）において、前記ドライフィルムで形成された層は、前記流路側壁形成層及び前記吐出口形成層と一括で現像される請求項１乃至５のいずれかに記載の記録ヘッドの製造方法。
- 前記未露光部を硬化させる重合開始剤は、オニウム塩、ジアゾニウム塩、チタノセン化合物、ｐ−ニトロベンジル芳香族スルホネートの少なくとも１つである請求項１乃至６のいずれかに記載の記録ヘッドの製造方法。
- 前記工程（５）の前に、前記吐出口形成層の上面に撥水膜を形成する請求項１乃至７のいずれかに記載の記録ヘッドの製造方法。
- 前記ドライフィルムで形成された層が含有するネガ型感光性樹脂は、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂またはクレゾールノボラック型エポキシ樹脂である請求項１乃至８のいずれかに記載の記録ヘッドの製造方法。
- 前記ドライフィルムで形成された層の厚みは、０．５μｍ〜３μｍである請求項１乃至９のいずれかに記載の記録ヘッドの製造方法。
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