JP2008100514A - インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】エネルギー発生素子を有する基板と、インクを吐出する吐出口と、前記吐出口と連通するインクの流路を形成する流路形成部材と、を有するインクジェット記録へッドを、前記基板上に、ポジ型感光性樹脂にて前記流路のパターンを設ける工程;前記基板上に、前記パターンを被覆するように前記流路形成部材となるネガ型感光性樹脂の被覆樹脂層を設ける工程;300nm以上の波長の光のみで前記被覆樹脂層を露光して、前記吐出口を形成する工程;および前記パターンを除去して前記流路を形成する工程;を有する方法で製造する。ただし、前記パターンは、300nmより短い波長の光には感度を有し、前記被覆樹脂層を露光するために用いられる光に対しては、感度をもたない。
【選択図】図1
Description
ポリメチルイソプロペニルケトン、ポリビニルケトン等のビニルケトン系高分子化合物;ポリメタクリル酸、ポリメチルメタクリレート、ポリエチルメタクリレート、ポリn−ブチルメタクリレート、ポリフェニルメタクリレート、ポリメタクリルアミド、ポリメタクリロニトリル等のメタクリル系高分子化合物;ポリブデン−1−スルフォン、ポリメチルペンテン−1−スルフォン等のオレフィンスルフォン系高分子化合物;等。
これらのモノマー単位を複数有する共重合体でもよい。
2,4−ジ−ヒドロキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−n−オクトキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−n−ドデシルオキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−ベンジルオキシベンゾフェノン、2,2’−ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、フェニルサリシレート、4−t−ブチルフェニルサリシレート、2−ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、2,4−ジ−t−ブチルフェニル−3’,5’−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンゾエート等。
本実施例では、前述した操作手順(図2(a)〜(g))に準じて、インクジェット記録ヘッドを作製した。
実施例1及び2と異なる点として、被覆樹脂層形成材料として、表1及び表2に記載する組成物から増感剤除いた組成物を用い、吐出口形成の露光時に波長300nm以下をカットするフィルターを用いず、300nm以上の光も照射した。それ以外は、それぞれ実施例1及び2と同様にしてインクジェット記録ヘッドを作製した。
2 エネルギー発生素子(インク吐出エネルギー発生素子)
3 供給口
4 パターン
5 被覆樹脂層
6 マスク
7 吐出口
8 流路
9 供給部材
10 密着向上層
11 流路形成部材(流路壁)
11a 側壁部分
11b 吐出口形成樹脂
12 ポジ型レジスト
Claims (10)
- インクを吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を有する基板と、インクを吐出する吐出口と、前記吐出口と連通するインクの流路を形成する流路形成部材と、を有するインクジェット記録へッドの製造方法であって、
前記基板上に、ポジ型感光性樹脂にて、前記流路のパターンを設ける工程;
前記基板上に、前記パターンを被覆するように前記流路形成部材となるネガ型感光性樹脂の被覆樹脂層を設ける工程;
300nm以上の波長の光のみで前記被覆樹脂層を露光して、前記吐出口を形成する工程;および
前記パターンを除去して前記流路を形成する工程;
を有し、前記パターンは、300nmより短い波長の光には感度を有し、前記被覆樹脂層を露光するために用いられる光に対しては、感度をもたないインクジェット記録へッドの製造方法。 - 前記ポジ型感光性樹脂が、MMA(メチルメタクリレート)単位を有する重合体を含有する請求項1に記載のインクジェット記録へッドの製造方法。
- 前記パターンが、波長300nm以上の光を吸収する紫外線吸収剤を含む請求項1または2に記載のインクジェット記録へッドの製造方法。
- 被覆樹脂層が、光カチオン重合開始剤として芳香族スルホニウム塩を含み、かつ300nm以上の波長の光に対する増感剤としてアントラセン誘導体を含む光カチオン重合性樹脂により形成される請求項1乃至3のいずれかに記載のインクジェット記録へッドの製造方法。
- 前記被覆樹脂層を露光するために用いられる光はi線である請求項1乃至4のいずれかに記載のインクジェット記録へッドの製造方法。
- 前記パターンを形成する前に、前記基板上に、紫外線吸収剤と熱可塑性の樹脂とで形成される密着向上層を形成する工程を有する請求項1乃至5のいずれかに記載のインクジェット記録へッドの製造方法。
- 前記密着向上層における前記紫外線吸収剤の含有量は前記熱可塑性の樹脂に対して1重量%以上10重量%以下である請求項6に記載のインクジェット記録へッドの製造方法。
- 前記熱可塑性の樹脂は、ポリエーテルアミド樹脂である請求項6または7に記載のインクジェット記録へッドの製造方法。
- インクを吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を有する基板と、インクを吐出する吐出口と、前記吐出口と連通するインクの流路を形成する流路形成部材と、を有するインクジェット記録へッドの製造方法であって、
前記基板上に、前記流路の側壁を設ける工程;
前記基板上に、前記側壁を被覆するように、ポジ型感光性樹脂を設ける工程;
前記ポジ型感光性樹脂を前記基板に向かって研磨して、前記側壁と前記ポジ型レジストとを平坦化する工程;
平坦化された前記側壁と前記ポジ型感光性樹脂との上に吐出口形成用樹脂層を設ける工程;
前記吐出口形成用樹脂層を露光して、前記吐出口を形成する工程;および
前記ポジ型感光性樹脂を除去して前記流路を形成する工程;
を有し、前記ポジ型感光性樹脂は、300nmより短い波長の光には感度を有し、前記吐出口形成用樹脂層を露光するために用いられる光に対しては感度をもたないインクジェット記録へッドの製造方法。 - 前記吐出口形成用樹脂層を露光するために用いられる光はi線である請求項9に記載のインクジェット記録へッドの製造方法。
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