JP2009023342A - 液体吐出ヘッドおよびその製造方法、構造体およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】流路形成部材が、光重合開始剤を含むネガ型感光性樹脂組成物の硬化物で形成されており、少なくとも流路形成部材の基板付近の領域は光重合開始剤の増感剤を含んでいて、流路形成部材における増感剤の濃度は、基板付近の領域の方が吐出口付近の領域よりも高い。
【選択図】図1
Description
基板上に前記流路の形状のパターンを設ける工程と、
光重合開始剤を含み、かつ少なくとも前記基板付近の領域は前記光重合開始剤の増感剤を含んでいて、前記増感剤の濃度は、前記領域の方が前記吐出口が設けられる部分の付近の領域よりも高いネガ型感光性樹脂組成物の層を、前記基板上に前記パターンを被覆するように設ける工程と、
前記層に露光を行って前記層をパターニングして前記吐出口を形成する工程と、
前記パターンを除去して前記流路を形成する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。
前記基板上に設けられた、前記エネルギー発生素子に対向する位置に設けられた吐出口と該吐出口に液体を供給するための流路とを形成するための部材と、
を有し、該部材は光重合開始剤を含む該ネガ型感光性樹脂組成物の硬化物で形成されており、少なくとも前記部材の前記基板付近の領域は前記光重合開始剤の増感剤を含んでいて、前記部材における増感剤の濃度は、前記領域の方が前記吐出口付近の領域よりも高いことを特徴とする液体吐出ヘッドである。
前記層に露光を行って前記層をパターニングする工程と、
を有することを特徴とする構造体の製造方法である。
一方の面と、
前記一方の面の裏面である他方の面と,
を有し、前記一方の面の方が前記基板に近く、前記構造体は光重合開始剤を含むネガ型感光性樹脂組成物の硬化物を含み、少なくとも前記構造体の前記一方の面付近の領域は前記光重合開始剤の増感剤を含んでいて、前記構造体における前記増感剤の濃度は、前記構造体の前記領域の方が前記他方の面付近の領域よりも高いことを特徴とする構造体である。
図3を用いて説明した方法と同様にして、以下のように、液体吐出ヘッドを作製した。
〔第1の層〕
エポキシ樹脂(商品名:EHPE3150、ダイセル化学社製) [100重量部]
光酸発生剤(商品名:SP−172、アデカ社製) [6重量部]
光増感剤:アントラセン系誘導体(商品名:SP−100、アデカ社製)[2重量部]
〔第2の層〕
エポキシ樹脂(商品名:EHPE3150、ダイセル化学社製) [100重量部]
光酸発生剤(商品名:SP−172、アデカ社製) [6重量部]
このとき各実施例に応じて、第1および第2の層の厚さを異ならせた。なお暑さ(μm)は、ソルベントコート後、塗布溶媒を乾燥させた後のもので、硬化後の膜厚もほぼ同等のものとなる。
流路形成部材4と基板1との密着性を評価した。
◎:密着性良好。
○:僅かに密着性不良の箇所があるが、問題にならない程度。
△:密着性不良の箇所有。
完成した液体吐出ヘッドにおいて、吐出口の形状を評価した。
◎:吐出口形状良好。
○:僅かに吐出口形状不良と思われる箇所があるが、問題にならない程度。
△:吐出口形状不良の箇所有。
また、作成した液体吐出ヘッドを装置に搭載し、エチレングリコール/尿素/イソプロピルアルコール/黒色染料/水=5/3/2/3/87からなるインクを用いて50000枚のテストプリントを行った。
◎:画像良好。
○:僅かに画像の乱れた箇所があるが、問題にならない程度。
△:画像の乱れた箇所有。
各実施例では、表面処理した基材上に、所定のパターンを有する光硬化性樹脂層の硬化物である微細構造体を作製し、光硬化性樹脂層の密着性を評価した。
実施例7の処理溶液に対して、EHPE3150(商品名、ダイセル化学工業製)を125部加えた。それ以外は実施例9と同様にしてパターンを形成した。実施例7と同様に、基板との密着性は十分なパターンが得られた。
2 エネルギー発生素子
3 供給口
4 流路形成部材
5 吐出口
6 領域
6a 第1の層
7 領域
7a 第2の層
8 流路
9 パターン
10 マスク
11 処理用溶液
12 ネガ型感光性樹脂組成物
13 ネガ型感光性樹脂組成物
13a 構造体
13b 未露光部
Claims (24)
- 液体を吐出する吐出口と連通する液体の流路を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
基板上に前記流路の形状のパターンを設ける工程と、
光重合開始剤を含み、かつ少なくとも前記基板付近の領域は前記光重合開始剤の増感剤を含んでいて、前記増感剤の濃度は、前記領域の方が前記吐出口が設けられる部分の付近の領域よりも高いネガ型感光性樹脂組成物の層を、前記基板上に前記パターンを被覆するように設ける工程と、
前記層に露光を行って前記層をパターニングして前記吐出口を形成する工程と、
前記パターンを除去して前記流路を形成する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記層は、前記層の全体に前記増感剤を有している請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記ネガ型感光性樹脂組成物の層を設ける工程は、
前記パターンが設けられた前記基板上に、前記光重合開始剤と前記増感剤と光重合可能な樹脂とを含む第1の層を設ける工程と、
前記基板上に、前記第1の層を被覆するように、少なくとも前記光重合開始剤と光重合可能な樹脂とを含む第2の層を設ける工程と、
を有する請求項1または2に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記第2の層は前記増感剤を含み、前記第1の層中での前記増感剤の濃度は、前記第2の層中での前記増感剤の濃度よりも高い請求項3に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第2の層は、前記第1の層よりも厚さが大きい請求項3または4に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記ネガ型感光性樹脂組成物の層を設ける工程は、
前記パターンが設けられた前記基板上に、前記増感剤とシランカップリング剤とを含む溶液を塗布した後に、前記基板上に、前記パターンを被覆するように前記光重合開始剤と光重合可能な樹脂を含む層を設ける工程、
を有する請求項1または2に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記光重合開始剤は、芳香族スルホニウム塩であり、前記増感剤はアントラセンまたはその誘導体である請求項1乃至6のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記ネガ型感光性樹脂組成物は、エポキシ樹脂を含んでいる請求項1乃至7のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子が設けられた基板と、
前記基板上に設けられた、前記エネルギー発生素子に対向する位置に設けられた吐出口と該吐出口に液体を供給するための流路とを形成するための部材と、
を有し、該部材は光重合開始剤を含む該ネガ型感光性樹脂組成物の硬化物で形成されており、少なくとも前記部材の前記基板付近の領域は前記光重合開始剤の増感剤を含んでいて、前記部材における増感剤の濃度は、前記領域の方が前記吐出口付近の領域よりも高いことを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記層は、前記部材の全体に前記増感剤を有している請求項9に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記層は、その全体の厚さのうち50%以下の厚さの部分に前記増感剤を有している請求項9または10に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記光重合開始剤は芳香族スルホニウム塩であり、前記増感剤はアントラセンまたはその誘導体である請求項9乃至11のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
- 前記ネガ型感光性樹脂組成物は、エポキシ樹脂を含んでいる請求項9乃至12のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
- 光重合開始剤を含み、かつ少なくとも基板付近の領域は光重合開始剤の増感剤を含んでいて、前記増感剤の濃度は、前記領域の方が前記基板側とは反対側の表面付近の領域よりも高いネガ型感光性樹脂組成物の層を、前記基板上に設ける工程と、
前記層に露光を行って前記層をパターニングする工程と、
を有することを特徴とする構造体の製造方法。 - 前記層は、前記基板側とは反対側の表面付近の領域にも前記増感剤を有している請求項14に記載の構造体の製造方法。
- 前記ネガ型感光性樹脂組成物の層を設ける工程は、
前記基板上に前記光重合開始剤と該光重合開始剤の増感剤と重合可能な樹脂とを含む第1の層を設ける工程と、
前記基板上に、前記パターンを被覆するように、少なくとも前記光重合開始剤と光重合可能な樹脂とを含む第2の層を設ける工程と、
を有する請求項14または15に記載の構造体の製造方法。 - 前記第2の層は前記増感剤を含み、前記第1の層中の前記増感剤の濃度は、前記第2の層中の前記増感剤の濃度よりも高い請求項16に記載の構造体の製造方法。
- 前記第2の層は、前記第1の層よりも厚さが大きい請求項16または17に記載の構造体の製造方法。
- 前記ネガ型感光性樹脂組成物の層を設ける工程は、
前記パターンが設けられた前記基板上に、前記増感剤とシランカップリング剤とを含む溶液を塗布した後に、前記基板上に、前記パターンを被覆するように前記光重合開始剤と光重合可能な樹脂を含む層を設ける工程、
を有する請求項14または15に記載の構造体の製造方法。 - 基板上に形成された構造体であって、
一方の面と、
前記一方の面の裏面である他方の面と、
を有し、前記一方の面の方が前記基板に近く、前記構造体は光重合開始剤を含むネガ型感光性樹脂組成物の硬化物を含み、少なくとも前記構造体の前記一方の面付近の領域は前記光重合開始剤の増感剤を含んでいて、前記構造体における前記増感剤の濃度は、前記構造体の前記領域の方が前記他方の面付近の領域よりも高いことを特徴とする構造体。 - 前記構造体は、前記構造体の全体に前記増感剤を有している請求項20に記載の構造体。
- 前記構造体は、その全体の厚さのうち50%以下の厚さの部分に前記増感剤を有している請求項20または21に記載の構造体。
- 前記光重合開始剤は、芳香族スルホニウム塩であり、前記増感剤はアントラセンまたはその誘導体である請求項20乃至22のいずれかに記載の構造体。
- 前記ネガ型感光性樹脂組成物は、エポキシ樹脂を含んでいる請求項20乃至23のいずれかに記載の構造体。
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