JP2006159762A - パターン形成方法及びインクジェット記録ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基体上に、光重合可能な樹脂を含有する被覆樹脂層を形成する工程と、前記被覆樹脂層上に光重合開始剤を含有する溶液を塗布し、該被覆樹脂層の膜厚方向に光重合開始剤濃度の分布を形成する工程と、パターンが描かれたマスクを介して、前記被覆樹脂層上方から光を照射する工程と、光が照射された前記被覆樹脂層を現像処理して、前記パターンを有する被覆樹脂層とする工程と、を有することを特徴とするパターン形成方法とし、この方法をインクジェット記録ヘッドの製造に応用する。
【選択図】図1
Description
a)前記基体上に光重合可能な樹脂を含有する被覆樹脂層を形成する工程と、
b)前記被覆樹脂層上に光重合開始剤を含有する溶液を塗布し、該被覆樹脂層の膜厚方向に光重合開始剤濃度の分布を形成する工程と、
c)パターンが描かれたマスクを介して、前記被覆樹脂層上方から光を照射する工程と、
d)光が照射された前記被覆樹脂層を現像処理して、前記パターンを有する被覆樹脂層とする工程と、
を有することを特徴とするパターン形成方法である。
A)インク吐出圧力発生素子が形成された基体上に、インク流路となるパターンを有する、溶解可能な樹脂層を形成する工程と、
B)該溶解可能な樹脂層を形成した基体上に光重合可能な樹脂(i)を含有する被覆樹脂層を形成する工程と、
C)前記被覆樹脂層上に光重合可能な樹脂(ii)及び光重合開始剤を含有する撥液層を形成し、該被覆樹脂層の膜厚方向に光重合開始剤濃度の分布を形成する工程と、
D)インク吐出口を形成するためのパターンが描かれたマスクを介して、前記撥液層上方から光を照射する工程と、
E)光が照射された前記撥液層及び前記被覆樹脂層を現像処理して、前記インク吐出圧力発生素子の上方の位置にインク吐出口を有する撥液層及び被覆樹脂層とする工程と、
F)前記溶解可能な樹脂層を形成する樹脂を溶出して除去し、インク流路とする工程と、
を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法である。
2 溶解可能な樹脂層
3 被覆樹脂層
4 撥液層
5 光重合開始剤を含有する溶液
10 インク吐出圧力発生素子
11 インク吐出口
12 エッジ
13 インク流路
14 パターン凹部
20 光
21 マスク
22 結像光学系
Claims (12)
- 基体上に、パターンを有する層を形成するパターン形成方法であって、
a)前記基体上に光重合可能な樹脂を含有する被覆樹脂層を形成する工程と、
b)前記被覆樹脂層上に光重合開始剤を含有する溶液を塗布し、該被覆樹脂層の膜厚方向に光重合開始剤濃度の分布を形成する工程と、
c)パターンが描かれたマスクを介して、前記被覆樹脂層上方から光を照射する工程と、
d)光が照射された前記被覆樹脂層を現像処理して、前記パターンを有する被覆樹脂層とする工程と、
を有することを特徴とするパターン形成方法。 - 前記工程b)における塗布を、ダイレクトコート法で行うことを特徴とする請求項1記載のパターン形成方法。
- 前記光重合可能な樹脂として、常温で固体状の化合物を含有することを特徴とする前記請求項1または2記載のパターン形成方法。
- 前記被覆樹脂層がカチオン重合可能な化合物を含有し、かつ前記光重合開始剤が光カチオン重合開始剤であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のパターン形成方法。
- A)インク吐出圧力発生素子が形成された基体上に、インク流路となるパターンを有する、溶解可能な樹脂層を形成する工程と、
B)該溶解可能な樹脂層を形成した基体上に光重合可能な樹脂(i)を含有する被覆樹脂層を形成する工程と、
C)前記被覆樹脂層上に光重合可能な樹脂(ii)及び光重合開始剤を含有する撥液層を形成し、該被覆樹脂層の膜厚方向に光重合開始剤濃度の分布を形成する工程と、
D)インク吐出口を形成するためのパターンが描かれたマスクを介して、前記撥液層上方から光を照射する工程と、
E)光が照射された前記撥液層及び前記被覆樹脂層を現像処理して、前記インク吐出圧力発生素子の上方の位置にインク吐出口を有する撥液層及び被覆樹脂層とする工程と、
F)前記溶解可能な樹脂層を形成する樹脂を溶出して除去し、インク流路とする工程と、
を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 前記被覆樹脂層及び前記撥液層がいずれもカチオン重合可能な化合物を含有し、かつ前記光重合開始剤が光カチオン重合開始剤であることを特徴とする請求項5記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記光重合可能な樹脂(i)として、常温で固体状のエポキシ化合物を含有することを特徴とする前記請求項5または6記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記撥液層が、フッ素含有基を有する加水分解性シラン化合物、及び、カチオン重合可能な基を有する加水分解性シラン化合物、の縮合物を含むことを特徴とする請求項5〜7のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記工程C)における撥液層の形成を、ダイレクトコート法で行うことを特徴とする請求項5〜8のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記撥液層中に、前記光重合開始剤が極性溶媒に溶解させた状態で存在することを特徴とする請求項5〜9のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記極性溶媒が、プロピレンカーボナート、エチレンカーボナート、及びγ−ブチロラクトンからなる群より選ばれることを特徴とする請求項10記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 請求項5〜11のいずれかに記載の方法で製造されたインクジェット記録ヘッド。
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100837409B1 (ko) * | 2006-11-30 | 2008-06-12 | 삼성전자주식회사 | 옥세탄-함유 화합물, 이를 포함한 포토레지스트 조성물,상기 포토레지스트 조성물을 이용한 패턴 형성 방법 및잉크젯 프린트 헤드 |
JP2008173971A (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-31 | Canon Inc | 光カチオン重合性エポキシ樹脂組成物、液体吐出ヘッド、およびその製造方法 |
JP2009023342A (ja) * | 2007-06-18 | 2009-02-05 | Canon Inc | 液体吐出ヘッドおよびその製造方法、構造体およびその製造方法 |
US7665827B2 (en) | 2005-08-08 | 2010-02-23 | Sony Corporation | Liquid discharge recording head having an improved oxetane resin covering layer as part of a liquid flow path and liquid discharge apparatus |
JP2010253936A (ja) * | 2009-04-02 | 2010-11-11 | Canon Inc | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
JP2013022940A (ja) * | 2011-07-26 | 2013-02-04 | Canon Inc | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
JP2013248804A (ja) * | 2012-05-31 | 2013-12-12 | Canon Inc | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ATE551195T1 (de) * | 2003-07-22 | 2012-04-15 | Canon Kk | Tintenstrahlkopf und dazugehöriges herstellungsverfahren |
WO2006001531A1 (en) * | 2004-06-28 | 2006-01-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge head manufacturing method, and liquid discharge head obtained using this method |
EP1768847B1 (en) * | 2004-06-28 | 2009-08-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge head manufacturing method, and liquid discharge head obtained using this method |
JP4614383B2 (ja) * | 2004-12-09 | 2011-01-19 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法、及びインクジェット記録ヘッド |
JP4702784B2 (ja) * | 2005-08-08 | 2011-06-15 | ソニー株式会社 | 液体吐出型記録ヘッドの流路構成材料 |
US7523553B2 (en) * | 2006-02-02 | 2009-04-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing ink jet recording head |
JP2008149519A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド及びその製造方法 |
JP2009119650A (ja) * | 2007-11-13 | 2009-06-04 | Canon Inc | インクジェットヘッドの製造方法 |
US20090136875A1 (en) * | 2007-11-15 | 2009-05-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Manufacturing method of liquid ejection head |
JP2009220286A (ja) * | 2008-03-13 | 2009-10-01 | Canon Inc | 液体吐出記録ヘッド及その製造方法 |
US8499453B2 (en) * | 2009-11-26 | 2013-08-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing liquid discharge head, and method of manufacturing discharge port member |
JP5393423B2 (ja) * | 2009-12-10 | 2014-01-22 | キヤノン株式会社 | インク吐出ヘッド及びその製造方法 |
US8434229B2 (en) * | 2010-11-24 | 2013-05-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid ejection head manufacturing method |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001179979A (ja) * | 1999-12-22 | 2001-07-03 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘッド及びその製造方法 |
JP2003311975A (ja) * | 2002-02-20 | 2003-11-06 | Canon Inc | インクジェットヘッドおよびその製造方法および記録方法 |
JP2004258521A (ja) * | 2003-02-27 | 2004-09-16 | Fuji Photo Film Co Ltd | パターン形成方法及び画像形成方法 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ATE196199T1 (de) | 1992-06-01 | 2000-09-15 | Canon Kk | Verfahren zur herstellung eines tintenstrahlaufzeichnungskopfes |
JP3143307B2 (ja) | 1993-02-03 | 2001-03-07 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
JP3143308B2 (ja) | 1994-01-31 | 2001-03-07 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
JP3343875B2 (ja) | 1995-06-30 | 2002-11-11 | キヤノン株式会社 | インクジェットヘッドの製造方法 |
JP3408130B2 (ja) | 1997-12-19 | 2003-05-19 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
JP4497633B2 (ja) | 1999-03-15 | 2010-07-07 | キヤノン株式会社 | 撥液体層の形成方法及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
JP2002079674A (ja) | 2000-09-04 | 2002-03-19 | Canon Inc | 液体吐出ヘッドユニット、ヘッドカートリッジおよび液体吐出ヘッドユニットの製造方法 |
JP2003300323A (ja) | 2002-04-11 | 2003-10-21 | Canon Inc | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
JP4217434B2 (ja) | 2002-07-04 | 2009-02-04 | キヤノン株式会社 | スルーホールの形成方法及びこれを用いたインクジェットヘッド |
ATE551195T1 (de) | 2003-07-22 | 2012-04-15 | Canon Kk | Tintenstrahlkopf und dazugehöriges herstellungsverfahren |
WO2006001531A1 (en) | 2004-06-28 | 2006-01-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge head manufacturing method, and liquid discharge head obtained using this method |
JP4614383B2 (ja) | 2004-12-09 | 2011-01-19 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法、及びインクジェット記録ヘッド |
US7425057B2 (en) | 2005-04-04 | 2008-09-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge head and method for manufacturing the same |
US7931352B2 (en) | 2005-04-04 | 2011-04-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge head and method for manufacturing the same |
JP4881081B2 (ja) | 2005-07-25 | 2012-02-22 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
-
2004
- 2004-12-09 JP JP2004356784A patent/JP4667028B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-12-07 US US11/295,553 patent/US7282243B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001179979A (ja) * | 1999-12-22 | 2001-07-03 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘッド及びその製造方法 |
JP2003311975A (ja) * | 2002-02-20 | 2003-11-06 | Canon Inc | インクジェットヘッドおよびその製造方法および記録方法 |
JP2004258521A (ja) * | 2003-02-27 | 2004-09-16 | Fuji Photo Film Co Ltd | パターン形成方法及び画像形成方法 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7665827B2 (en) | 2005-08-08 | 2010-02-23 | Sony Corporation | Liquid discharge recording head having an improved oxetane resin covering layer as part of a liquid flow path and liquid discharge apparatus |
KR100837409B1 (ko) * | 2006-11-30 | 2008-06-12 | 삼성전자주식회사 | 옥세탄-함유 화합물, 이를 포함한 포토레지스트 조성물,상기 포토레지스트 조성물을 이용한 패턴 형성 방법 및잉크젯 프린트 헤드 |
US7524610B2 (en) | 2006-11-30 | 2009-04-28 | Samsung Electronics Co., Ltd | Oxetane-containing compound, photoresist composition having the same, method of preparing pattern using the photoresist composition, and inkjet print head including polymerization products of the oxetane-containing compound |
JP2008173971A (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-31 | Canon Inc | 光カチオン重合性エポキシ樹脂組成物、液体吐出ヘッド、およびその製造方法 |
JP2009023342A (ja) * | 2007-06-18 | 2009-02-05 | Canon Inc | 液体吐出ヘッドおよびその製造方法、構造体およびその製造方法 |
JP2010253936A (ja) * | 2009-04-02 | 2010-11-11 | Canon Inc | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
JP2013022940A (ja) * | 2011-07-26 | 2013-02-04 | Canon Inc | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
JP2013248804A (ja) * | 2012-05-31 | 2013-12-12 | Canon Inc | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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