JP2013022940A - 液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】明細書中に定義される構造を有する液体吐出ヘッドの製造方法であり、1)エネルギー発生素子2が設けられた基板1上に工程6において溶解可能な樹脂からなる液体流路型4を形成する工程と、2)液体流路型4を工程4の露光波長に対する屈折率がnの感光性樹脂層5aで被覆する工程と、3)感光性樹脂層5aの上に工程4の露光波長に対する屈折率が√n−0.2以上√n+0.2以下の反射防止膜8を形成する工程と、4)感光性樹脂層5a及び反射防止膜8を露光及び現像して、吐出口7を形成する工程と、5)基板1に液体供給口9を形成する工程と、6)液体流路型4を溶解して液体供給口9から除去する工程とを含む液体吐出ヘッドの製造方法。
【選択図】図1
Description
次いで、液体流路型上に感光性樹脂層を形成し、フォトリソグラフィーにてインク吐出口を形成する。このとき、露光の際に起きる基板からの反射を反射防止膜で抑制することで吐出口を精度良くパターニングできる。最後に、溶剤によって液体流路型を溶出し、インクジェット記録ヘッドを作製する。
前記液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子、および前記液体流路に連通する液体供給口を有する基板と、を少なくとも含む液体吐出ヘッドの製造方法であって、
(1)前記エネルギー発生素子が設けられた基板上に、工程6において溶解可能な樹脂からなる液体流路型を形成する工程と、
(2)前記液体流路型を、工程4の露光波長に対する屈折率がnの感光性樹脂層で被覆する工程と、
(3)前記感光性樹脂層の上に、工程4の露光波長に対する屈折率が√n−0.2以上√n+0.2以下の反射防止膜を形成する工程と、
(4)前記感光性樹脂層および前記反射防止膜を露光および現像して、吐出口を形成する工程と、
(5)前記基板に液体供給口を形成する工程と、
(6)前記液体流路型を溶解して前記液体供給口から除去する工程と、
を含む。
前記液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子、および前記液体流路に連通する液体供給口を有する基板と、を少なくとも含む液体吐出ヘッドの製造方法であって、
(i)前記エネルギー発生素子が設けられた基板上に、液体流路壁を形成する工程と、
(ii)前記液体流路壁の上に、工程ivの露光波長に対する屈折率がn’の感光性樹脂層を形成し、液体流路を形成する工程と、
(iii)前記感光性樹脂層の上に、工程ivの露光波長に対する屈折率が√n’−0.2以上√n’+0.2以下の反射防止膜を形成する工程と、
(iv)前記感光性樹脂層および前記反射防止膜を露光および現像して、吐出口を形成する工程と、
(v)前記基板に液体供給口を形成する工程と、
を含む。
なお、以下の説明では、同一の機能を有する構成には図面中同一の番号を付与し、その説明を省略する場合がある。
・工程1
まず、図1(A)に示すように、エネルギー発生素子が設けられた基板上に、液体流路の型となり、後述する工程6において溶解可能な樹脂からなる液体流路型を形成する。具体的には、例えば、エネルギー発生素子2が設けられた基板1上に、溶解可能な樹脂を堆積し、この溶解可能な樹脂をパターニングすることで、液体流路を形成するための型となる液体流路型4を形成することができる。
エネルギー発生素子としては、例えば電気熱変換素子や圧電素子を用いることができる。例えば、電気熱変換素子を用いる場合は、この素子が近傍の液体(例えば、インク)を加熱することにより、液体に状態変化を起こさせ吐出エネルギーを発生させることができる。溶解可能な樹脂は、工程6において溶解し、液体供給口から除去できる樹脂であれば必要に応じて選択することができるが、エネルギー発生素子2との位置関係を精度良くパターニングする観点から、感光性樹脂を用いることが望ましい。溶解可能な樹脂としては、例えばポリメチルイソプロペニルケトン(PMIPK)(ポジ型感光性樹脂)を使用できる。なお、PMIPKは、工程6において、例えば、溶剤(酢酸メチル)を用いて溶解させることができる。
次いで、図1(B)に示すように、液体流路型4を、工程4の露光波長に対する屈折率がnの感光性樹脂層5aで被覆する。なお、この屈折率nは、工程2より得られる露光前の感光性樹脂層5aの屈折率である。一般的によく用いられる感光性樹脂の工程4における露光波長に対する屈折率nは、1.5以上1.7以下である。
さらに、感光性樹脂層5aの上に、工程4の露光波長に対する屈折率が√n−0.2以上√n+0.2以下の反射防止膜8を、例えば、カーテンコート法で形成する。なお、この屈折率は、工程3より得られる露光前の反射防止膜8の屈折率である。屈折率nの感光性樹脂層5aに対して、反射防止膜8の屈折率を√n±0.2の範囲内とすることで、反射防止膜における反射率係数を小さくすることができ、多重干渉を弱めることができる。なお、例えば、工程4の露光波長が365nmの場合、層5aおよび膜8の屈折率は、波長365nmに対する屈折率を意味する。層5aおよび膜8の屈折率は、分光エリプソメトリーにより特定することができる。
次いで、感光性樹脂層5aおよび反射防止膜8を露光および現像して吐出口を形成する(工程4)。具体的には、図1(C)のように、マスク10を介してパターン露光を行うことにより、感光性樹脂層5a及び反射防止膜8に吐出口7となる潜像11を形成する。なお、図1では、層5aと膜8にネガ型レジスト(例えば、化薬マイクロケム社の商品名:SU−8や東京応化工業社の商品名:TMMR)を用いた場合のマスク10が記載されており、未露光部に潜像11が形成されている。
図4(A)に示すように、従来、基板1からの反射光がレジスト6と空気との界面で再び反射してレジスト内に向かう反射光が、新たに露光機から照射される光と互いに干渉し合う多重干渉効果が起こり、レジストパターンが安定的に形成されない場合があった。
次いで、図1(G)に示すように、液体供給のための開口部である液体供給口9を基板1に、例えば、ドライエッチングやウエットエッチングなどの異方性エッチングにより形成する。シリコン基板のエッチング液としては例えば水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)を用いることができる。
最後に、図1(H)に示すように、溶剤によって溶解可能な液体流路型4を溶解して、液体供給口9から除去、即ち溶出させる。溶出は、溶剤に浸漬したり、溶剤をスプレーにて拭きつけたりすることによって容易に行うことができる。また、超音波等を併用すれば、さらに溶出時間を短縮できる。また、溶解可能な樹脂の種類によっては光を照射させるとより溶解されやすくなる。また、液体流路型4を溶出した後、感光性樹脂層5aを液体流路壁の構造材料としてプリンタの使用環境に容易に耐えうるため、更に光又は熱で硬化させることができる。
本発明の実施形態2では、実施形態1と異なり液体流路型4を用いずに、基板1、液体流路壁13及び感光性樹脂層5bによって液体流路3を作製する。以下、詳しく説明する。
まず、図2(A)に示すように、エネルギー発生素子2が設けられた基板上に、液体流路壁13を形成する。具体的には、例えば、エネルギー発生素子2を含むシリコン製の基板1上に、液体流路壁となる樹脂を堆積し、パターニングすることで、液体流路壁13を形成することができる。液体流路壁に用いる樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂を挙げることができる。なお、感光性樹脂層5bと液体流路壁13とは異なる材料を用いても良いし、同一材料を用いても良い。
次いで、図2(B)に示すように、液体流路壁の上に、工程ivの露光波長に対する屈折率がn’の感光性樹脂層5bを例えばラミネート法にて形成し、液体流路3を形成する。一般的な感光性樹脂5の屈折率は1.5以上1.7以下の範囲であることが多い。感光性樹脂層5bの材料としては、例えば東京応化工業社製TMMF(商品名)のドライフィルムを挙げることができる。
図1に従ってインクジェット記録ヘッドを作製した。
図2に従ってインクジェット記録ヘッドを作製した。
反射防止膜の波長365nmに対する屈折率を1.40に変更した以外は、実施例1及び2とそれぞれ同様にしてインクジェット記録ヘッドを作製した。
反射防止膜8の波長365nmに対する屈折率を1.49に変更した以外は、実施例1及び2とそれぞれ同様にしてインクジェット記録ヘッドを作製した。比較例1及び2では、図5(B)に示すように、基板からの反射光による吐出口パターンへの影響が見られた。
2 エネルギー発生素子
3 液体流路
4 液体流路型
5a、5b 感光性樹脂層
7 吐出口
8 反射防止膜
9 液体供給口
13 液体流路壁
21 エネルギー発生素子及び液体供給口を有する基板
22 オリフィスプレート
Claims (10)
- 液体を吐出する吐出口、および前記吐出口に連通する液体流路を有するオリフィスプレートと、
前記液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子、および前記液体流路に連通する液体供給口を有する基板と、を少なくとも含む液体吐出ヘッドの製造方法であって、
(1)前記エネルギー発生素子が設けられた基板上に、工程6において溶解可能な樹脂からなる液体流路型を形成する工程と、
(2)前記液体流路型を、工程4の露光波長に対する屈折率がnの感光性樹脂層で被覆する工程と、
(3)前記感光性樹脂層の上に、工程4の露光波長に対する屈折率が√n−0.2以上√n+0.2以下の反射防止膜を形成する工程と、
(4)前記感光性樹脂層および前記反射防止膜を露光および現像して、吐出口を形成する工程と、
(5)前記基板に液体供給口を形成する工程と、
(6)前記液体流路型を溶解して前記液体供給口から除去する工程と、
を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記反射防止膜が、パーフルオロアルキル化合物を含むことを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 工程4が、前記反射防止膜および前記感光性樹脂層を、露光後の潜像状態時に凹凸構造を有する型版でプレスする工程を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記凹凸構造を有する型版が、50nm以上500nm以下の幅を有する柱状突起を少なくとも5個/μm2以上の密度で配列した型版であることを特徴とする請求項3に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記柱状突起の高さが、前記反射防止膜の厚みよりも大きいことを特徴とする請求項4に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 液体を吐出する吐出口、および前記吐出口に連通する液体流路を有するオリフィスプレートと、
前記液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子、および前記液体流路に連通する液体供給口を有する基板と、を少なくとも含む液体吐出ヘッドの製造方法であって、
(i)前記エネルギー発生素子が設けられた基板上に、液体流路壁を形成する工程と、
(ii)前記液体流路壁の上に、工程ivの露光波長に対する屈折率がn’の感光性樹脂層を形成し、液体流路を形成する工程と、
(iii)前記感光性樹脂層の上に、工程ivの露光波長に対する屈折率が√n’−0.2以上√n’+0.2以下の反射防止膜を形成する工程と、
(iv)前記感光性樹脂層および前記反射防止膜を露光および現像して、吐出口を形成する工程と、
(v)前記基板に液体供給口を形成する工程と、
を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記反射防止膜が、パーフルオロアルキル化合物を含むことを特徴とする請求項6に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 工程ivが、前記反射防止膜および前記感光性樹脂層を、露光後の潜像状態時に凹凸構造を有する型版でプレスする工程を含むことを特徴とする請求項6または7に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記凹凸構造を有する型版が、50nm以上500nm以下の幅を有する柱状突起を少なくとも5個/μm2以上の密度で配列した型版であることを特徴とする請求項8に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記柱状突起の高さが、前記反射防止膜の厚みよりも大きいことを特徴とする請求項9に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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