JP2009172900A - インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板の、その上方からみて吐出口が形成される領域を被覆するように、第一の溶解可能な樹脂と光吸収剤とを含む第一のインク流路パターンを形成し、その第一のインク流路パターンを被覆するように、第二の溶解可能な樹脂を含み光吸収剤を含まない第二のインク流路パターンを形成する。そして、第二のインク流路パターンを被覆するように、ノズル形成材料層を形成して、吐出口を形成した上で、第一のインク流路パターン及び第二のインク流路パターンを溶解除去して、前記インク流路を形成する。
【選択図】図1
Description
(a)前記基板の、その上方からみて前記吐出口が形成される領域を被覆するように、第一の溶解可能な樹脂と光吸収剤とを含む第一のインク流路パターンを形成する工程と、
(b)前記第一のインク流路パターンを被覆するように、第二の溶解可能な樹脂を含み光吸収剤を含まない第二のインク流路パターンを形成する工程と、
(c)前記第二のインク流路パターンを被覆するように、ノズル形成材料層を形成する工程と、
(d)前記ノズル形成材料層に前記吐出口を形成する工程と、
(e)前記第一のインク流路パターンおよび前記第二のインク流路パターンを溶解除去して、前記インク流路を形成する工程と
を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法である。
実施例1では、第一および第二の溶解可能な樹脂としてポリメチルイソプロペニルケトン、光吸収剤として2−ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノンを用いて、インクジェット記録ヘッドを製造した。具体的な製造方法は以下のとおりである。
実施例2〜4では、光吸収剤の使用量を調整して、第一のインク流路パターンとなる層6’の吸光度を表2の値にしたこと以外は、実施例1と同様に実施した。なお、光吸収剤の添加量は、ポリメチルイソブチルケトン100質量部に対して1.3質量部(実施例2)、7.5質量部(実施例3)、18.8質量部(実施例4)とした。
比較例1では、光吸収剤を用いなかったこと以外は、実施例1と同様に実施した。得られたインクジェット記録ヘッドをプリンタに搭載し、吐出および記録評価を行ったところ、画像が乱れてしまった。
2 電熱変換素子
3 インク供給口形成用マスク
4 保護膜
5 キャビテーション保護膜
6’ 第一のインク流路パターンとなる層
6 第一のインク流路パターン
7 第二のインク流路パターン
8 ノズル形成材料層
9 吐出口
10 インク供給口
Claims (4)
- エネルギー発生素子が形成された基板の上に、インク流路及び吐出口が形成されたノズル形成材料層を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
(a)前記基板の、その上方からみて前記吐出口が形成される領域を被覆するように、第一の溶解可能な樹脂と光吸収剤とを含む第一のインク流路パターンを形成する工程と、
(b)前記第一のインク流路パターンを被覆するように、第二の溶解可能な樹脂を含み光吸収剤を含まない第二のインク流路パターンを形成する工程と、
(c)前記第二のインク流路パターンを被覆するように、ノズル形成材料層を形成する工程と、
(d)前記ノズル形成材料層に前記吐出口を形成する工程と、
(e)前記第一のインク流路パターンおよび前記第二のインク流路パターンを溶解除去して、前記インク流路を形成する工程と
を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 前記第一の溶解可能な樹脂および前記第二の溶解可能な樹脂が、ポジ型感光性樹脂であることを特徴とする請求項1に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記第一のインク流路パターンを構成する材料が、波長365nmにおいて0.1以上2.0以下の吸光度を有することを特徴とする請求項1または2に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載の製造方法により製造されることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
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