JPH09300635A - インクジェット記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高速駆動可能で安価な高信頼性のインクジェ
ットヘッドを提供する。 【解決手段】 ＳＵＳ基板１にパターン溝２を作り、こ
れを電鋳基板としてＰＺＴと接合する凸形状４ｂを有す
る振動板３をＮｉ電鋳により形成する。振動板３のイン
ク液室１０側には、ノズル孔９ａに対向する凹形状４ａ
にオーバーハング部６ａを有する上面が凹形状６ｂの突
起部６を設け、同時に、オーバーハング部７ａを有する
電鋳隔壁７を設けてインク液室１０を形成する。突起部
６の凹部６ｂ及びオーバーハング部６ａにより振動板３
の駆動時に圧力をノズル孔９ａに集中させる。またイン
ク噴射時にオーバーハング部６ａが変位することによ
り、該オーバーハング部６ａの下側に負圧を作りインク
液室１０へのインク導入を早め、高速印写を可能とす
る。また液室構成材料をＮｉとして結晶格子面をＮｉ
（１１１）≧Ｎｉ（１００）としてインク溶出を防ぐ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット記
録装置に関し、より詳細には、インクジェットヘッドの
インク液室および該インク液室の一部を構成する振動板
の構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】ラインヘッド型インクジェット記録装置
は、高速、高分解度の印字を行うことができる記録装置
で、多数個のノズルが微少ピッチでライン状に配列され
たノズル板と、該ノズル板と対向した振動板を有し、振
動板とノズル板とは該ノズル板の、各々のノズルに対応
し、隔壁で区画された多数個のインク液室を形成してい
る。各々の区画されたインク液室は振動板を部分的に弾
性変形してインク液室に体積変化を与えてノズルよりイ
ンク滴を噴射させる。振動板は、画像情報に基づいて駆
動される振動ユニットにより駆動される。

【０００３】図３は、以上の構成を有する従来のインク
ジェットヘッドの詳細構造を説明するための図で、同図
は、ノズル列方向の部分断面を示し、図中、２１はノズ
ル板、２２，２６は隔壁、２３はインク液室、２４は振
動板、２５は突起部、２７は基板、２８はＰＺＴ（チタ
ン酸ジルコン酸鉛の圧電素子）、２９はフレーム、３０
はインク滴、３１は接着剤である。

【０００４】図３に示した従来のインクジェットヘッド
は、ノズル板２１と振動板２４のダイヤフラム部２４ａ
とを隔壁２２で区画して、ノズル２１ａに対応したイン
ク液室２３を設けている。なお、インク液室２３はイン
ク共通液室（図示せず）に連通しており、インク液室２
３と共通液室との間のインク流路は流体抵抗部となって
いる。

【０００５】ダイヤフラム部２４ａにはノズル２１ａと
対向した位置に突起部２５が設けられ、一方、隔壁２２
と対向した位置に突起部２５と同一材料の隔壁２６が設
けられている。突起部２５には、該突起部２５を介して
ダイヤフラム部２４ａに弾性変形を与え、インク室２３
に体積変化を生じさせインク滴３０を噴射する駆動源で
あるＰＺＴ２８が接着剤３１で接着され、同時に隔壁２
６もフレーム２９と接着され、ＰＺＴ２８およびフレー
ム２９の他端は基板２７に接合されている。なお、振動
板２４と突起部２５とは、例えば、Ｎｉ電鋳による２層
をなして作成され、２層電鋳構成となっている。

【０００６】図３に示したインクジェット記録装置は、
画像信号による電圧パルスをＰＺＴ２８に印加すると該
ＰＺＴ２８が伸長して突起部２５を介してインク液室２
３に体積変化を与えノズル２１ａからインク滴３０を噴
射する。

【０００７】このように、振動板２４は、ＰＺＴ２８の
駆動によりインク液室２３に体積変化を与えてインク滴
３０を噴射させる要部となるもので、突起部２５はＰＺ
Ｔ２８の変位を振動板２４に効率的に伝達させ、隔壁２
２，２６に隣接するインク液室への変位伝達を抑える効
果を与える。従来、突起部を有する振動板の構造に関し
ては多くの提案がなされ、特開昭６１−２４１１５８号
公報、実開昭６２−１９４２号公報、特開平３−１８７
７５５号公報、特開平６−１４３５７３号号公報が開示
されている。

【０００８】特開昭６１−２４１１５８号公報に記載さ
れたカンチレバー式オンデマンドインクジェットヘッド
の振動基板には、該振動基板を駆動するカンチレバーの
力伝達部分に段差を有する振動伝達機構を設けており、
該振動伝達機構は振動基板のダイヤフラム部と一体に形
成している。

【０００９】実開昭６２−１９４２号公報に記載のイン
クジェットヘッドに用いられる振動板は、該振動板を駆
動する駆動手段の振動伝達部に該振動板と一体に突起を
設けている。

【００１０】特開平３−１８７７５６号公報に記載の液
滴噴出装置の振動板は、流路ブロックと一体に形成され
ており、流路ブロックの凹溝の底壁部が振動板となって
いる。

【００１１】特開平６−１４３５７３号公報に記載のイ
ンクジェット記録ヘッドの振動板は、圧電素子が当接す
る領域に、振動板の薄肉部より分離して突出するアイラ
ンド部を設けて圧電素子の先端がアイランド部に固定す
るようにしたものである。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】図３に示した従来の振
動板２４は、圧電素子ＰＺＴ２８の駆動部と接合する部
分のダイヤフラム部２４ａに突起部２５を形成してい
る。突起部２５は振動板２４にホトリソグラフ法により
形成され、しかも振動板２４の肉厚が一定に保持される
ようにしている。振動板２４に突起部２５を形成する方
法はホトリソグラフ法により行われるが、この工程が冗
長となり、コスト高を招ねいた。このような問題点は、
上述した特許公報に記載された従来技術にも共通したも
のである。

【００１３】また、振動板２４がＰＺＴ２８で押圧され
インク液室２３に容積変化を与えて該インク液室２３内
の圧力を高め、ノズル２１ａよりインク滴３０を噴射さ
せるとき、インクは高圧側のインク液室２３から低圧側
の共通液室へ逆流するので、インク液室２３内にインク
が充たされるまでの時間、いわゆるインクリフィルが長
くなり高速駆動に不向きである。

【００１４】更にまた、インク液室２３および該インク
液室２３の一部を構成する振動板２４は、常にインクと
接しているので、これら液室構成材料がインクに溶出す
ると、ノズル２１ａの目詰りやインク滴３０の噴射方向
が不安定となり、インクジェットヘッドの信頼性が損わ
れるが、従来技術では、液室構成材料の上記信頼性の面
からの解明がなされていなかった。

【００１５】本発明は、上述した実情に鑑みなされたも
ので、突起部を有する振動板を電鋳により作成して振動
板製作工程を短縮するとともに、振動板のインク液室側
に、駆動に関する機能パターンを設けて高速記録を可能
とし、信頼性の高いインク液室構成材料とし長期安定に
記録可能とすることを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、イン
ク液室の一部を構成する振動板と、該振動板が駆動され
たときに、前記インク液室内のインクを加圧して該イン
ク液室よりインクを噴射するノズルを有し、前記振動板
を印写信号に応じて駆動して前記ノズルよりインク滴を
噴射して記録を行うインクジェット記録装置において、
前記振動板を、電鋳にて作成し、かつ、前記インク液室
側を表面として一部を凹形状に形成し、該凹形状に対応
する裏面を凸形状に形成したことを特徴とし、もって、
電鋳基板に設けた凹形状に従った凸形状を有する振動板
を電鋳により簡易かつ安価に形成するようにしたもので
ある。

【００１７】請求項２の発明は、請求項１に記載のイン
クジェット記録装置において、振動板裏側の凸形状部
を、前記振動板を駆動する駆動部と接合する接合部とし
たことを特徴とし、もって、従来、２層電鋳構成とした
とき生じた振動板からの突起部の剥離が一切生じない高
信頼性の振動板としたものである。

【００１８】請求項３の発明は、請求項１に記載のイン
クジェット記録装置において、前記振動板表面の凹形状
を、インクを噴射するノズル孔の中心位置と整合する位
置となるように配置したことを特徴とし、もって、振動
板の凹形状から生じた圧力波をノズル孔中心部に集中さ
せ高効率のインク噴射を可能としたものである。

【００１９】請求項４の発明は、請求項１に記載のイン
クジェット記録装証置において、前記振動板表面の前記
凹形状部に上面が凹形状の突起部材を有し、前記突起部
材および又はインク液室の隔壁にオーバーハング部を有
することを特徴とし、もって、駆動圧力をノズル孔に集
中させること、および前記突起部のオーバハング部より
下方の液圧を負圧にしてインク液室内へのインクリフィ
ルを速やかにして高速駆動を可能としたものである。

【００２０】請求項５の発明は、請求項１乃至４の何れ
かに記載のインクジェット記録装置において、電鋳材料
をＮｉとし、Ｎｉ結晶体中の結晶格子面Ｎｉ（１１１）
およびＮｉ（１００）をＮｉ（１１１）≧Ｎｉ（１０
０）にしたことを特徴とし、もって、電鋳部をＮｉ（１
１１）の面格子を主成分として酸化膜を形成し特別の保
護膜無でインク不溶性を与え、高信頼性のインクジェッ
ト記録装置にしたものである。

【００２１】

【発明の実施の形態】本発明によるインクジェット記録
装置は、インク液室の一部をなす振動板を電鋳により形
成し、該振動板は、インク液室側の表面の一部が凹形状
で、該凹形状に対応する裏面側が駆動部と接する凸形状
で、インク液室側に機能パターンを形成したものであ
る。更には、電鋳材料をＮｉとしてＮｉ結晶体中の結晶
格子面をＮｉ（１１１）≧Ｎｉ（１００）としてインク
不溶性を与えている。まず、機能パターン及び裏面側に
凸形状を有する振動板を、加工工程に従って説明する。

【００２２】図１は、本発明によるインクジェット記録
装置および振動板作成の工程を説明するための部分断面
図で、図１（Ａ）は振動板作成の第１工程、図１（Ｂ）
は振動板作成の第２工程、図１（Ｃ）は振動板作成の第
３工程、図１（Ｄ）は振動板作成の第４工程、図１
（Ｅ）は本発明によるインクジェット記録装置の構造を
示す断面図で、図中、１はステンレス鋼（ＳＵＳ）基板
（以下、ＳＵＳ基板と記す）、２はＳＵＳ基板１に設け
たパターン溝、３は電鋳振動板材料（以下、振動板と記
す）、４は振動板３の凹凸形状部（４ａは凹形状部、４
ｂは凸形状部）、５はレジストパターン、６は上面が凹
形状の突起部（以後、突起部と記す）、７は電鋳隔壁
部、８はドライフィルム隔壁部、９はノズル板、１０は
インク液室、１１は基板、１２はＰＺＴ、１３は接着剤
である。

【００２３】以下、図１に示した各工程について説明す
る。 （１）振動板作成の第１工程（ＳＵＳ基板に、ＰＺＴ接
合部のパターン溝を有する電鋳板を作成する）…（図１
（Ａ）） ＳＵＳ基板１に、凹形状のパターン溝２を形成する。こ
のパターン溝２は、振動板のダイヤフラム部がＰＺＴと
接合する凸形状部４ｂに対応し、ＳＵＳ基板１をエッチ
ングし或いは切削して作成する。このＳＵＳ基板１を電
鋳用基板とする。 （２）振動板作成の第２工程（振動板材料を電鋳する）
…（図（Ｂ）） パターン溝２を有するＳＵＳ基板１上に、例えば、Ｎｉ
電鋳により、厚さ３〜１０μｍをもったＮｉ金属の振動
板３を形成する。 （３）振動板作成の第３工程（振動板材料上にレジスト
パターンを形成する）…（図１（Ｃ）） 振動板３のインク液室側を表面として上面が凹形状６ｂ
の突起部６を形成し、該突起部６の両側に電鋳隔壁部７
を電鋳で形成するためのレジストパターン５を、フォト
レジストや液状レジストあるいはドライフィルムレジス
トによりパターン形成する。 （４）振動板作成の第４工程（機能パターンを形成す
る）…（図１（Ｄ）） 工程（３）で形成したレジストパターン５を有する振動
板３の材料上にＮｉ電鋳等により機能パターンを形成す
る。電鋳の厚さをレジストパターン５の高さより高い２
０〜５０μｍの厚さとすることにより、電鋳がレジスト
パターン５の上面で面方向に拡がりオーバーハング部６
ａ，７ａを形成する。振動板３の上面に形成する機能パ
ターンは、表面の凹形状部４ａ上に上部面が凹形状６ｂ
でオーバーハング部６ａを有する突起部６、および、イ
ンク液室の隔壁部に対応する位置にオーバーハング部７
ａを有する電鋳隔壁部７である。その後、ＳＵＳ基板
１、レジストパターン５を取り除く。

【００２４】以上の工程により、振動板３には、駆動部
（ＰＺＴ）１２と接する側に凸形状４ｂが形成され、イ
ンク液室１０側に、オーバーハング部６ａを有し上面が
凹形状６ｂの突起部６と、該突起部６の両側に位置し、
オーバーハング部７ａを有する電鋳隔壁部７の機能パタ
ーンが形成される。

【００２５】（５）インクジェットヘッド構造…（図１
（Ｅ）） ノズル板９と振動板３とは、突起部６がノズル９ａと対
向する位置となるように位置が定められ、電鋳隔壁部７
とドライフィルム隔壁部８とで接合される。振動板３の
裏面側の凸形状４ｂは、基板１１上に該基板１１と一体
形成されたＰＺＴ１２と接着剤１３で接合される。な
お、基板１１はα−ＡＬ₂Ｏ₃、Ｓｉウェハー、ステアタ
イト、ＢａＴｉＯ₃、セラミック系等で、ＰＺＴ１２
は、例えば、本出願人が先に提案したホトレジストパタ
ーン工法で基板１１と一体形成された高密度ＰＺＴの圧
電アクチュエータが用いられる。次に、図１（Ｅ）のよ
うに組立てられたインクジェットヘッドの構成を図２に
基づいて詳細に説明する。

【００２６】図２は、本発明によるインクジェット記録
装置の実施形態を説明するための部分断面図で、図２
（Ａ）は、図１（Ｅ）の矢視Ｘ−Ｘ線断面図、図２
（Ｂ）は図２（Ａ）の矢視Ｂ−Ｂ線断面図であり、図
中、１４は共通液室、１５は流体抵抗部、１６はＰＺＴ
１２を駆動するＩＣで、図１と同様の作用をする部分に
は図１の場合と同じ参照番号を付してある。

【００２７】図２に示すように、本発明によるインクジ
ェット記録装置は、振動板３を電鋳により作成し、従
来、振動板と突起部とが２層電鋳法で形成していたもの
を振動板３自体の凸形状４ｂとして電鋳形成している。
また、前記振動板形成の第４工程（図１（Ｄ））に示す
ように、ノズル孔９ａに対向したインク液室１０側の凹
形状４ａにオーバーハング部６ａを有する上面が凹形状
６ｂの突起部６と、オーバーハング部７ａを有する電鋳
隔壁部７を設け、電鋳隔壁部７は突起部６を囲んでイン
ク液室１０を形成している。ここで、インク液室１０と
共通液室１４との間にインク流体抵抗部１５を形成して
いる。

【００２８】振動板３の裏面に形成された凸形状４ａに
は基板１１と一体に形成された高密度のＰＺＴ１２が接
着剤１３で接合され、該ＰＺＴ１２はＩＣ１６で駆動さ
れる。ＰＺＴ１２は振動板３を駆動し、インク液室１０
を加圧し、このとき発生した圧力波を突起部６の上面凹
形状６ｂでノズル孔９ｂに集中させ、インク滴１０ａを
噴射する。

【００２９】請求項１の発明では、図１（Ａ）、図１
（Ｂ）の第１、第２振動板作成工程に示したように、Ｓ
ＵＳ基板１にパターン溝２を形成し、電鋳により、この
パターン溝２の形状に従った形状の電鋳部品、すなわち
凹形状４ａを表面側に凸形状４ｂを裏面側に有する振動
板３を作成するものであり、凸形状４ｂはＳＵＳ基板１
に形成したパターン溝２の形状に依存する。ＳＵＳ基板
１のパターン溝２の形状はエッチングにより容易に得ら
れるので、パターン溝２の形状に合致した凹形状４ａ，
凸形状４ｂを有する振動板３を簡易、安価に得ることが
できる。

【００３０】請求項２の発明では、図１（Ａ）、図２
（Ｂ）の第１、第２振動板作成工程においてＳＵＳ基板
１等の電鋳用基板のパターン溝２に従って、電鋳で形成
された振動板３の凸形状４ｂに、図２に示したように、
駆動手段であるＰＺＴ１２を接合したものである。具体
的にはＳＵＳ基板１にエッチング等により徴細加工され
たパターン溝２と対応する高密度の凸形状４ｂと、前述
したホトレジストパターン工法で基板１１と一体に形成
した高密度のＰＺＴ１２を接合する。すなわち、振動板
３とＰＺＴ１２とはＩＣプロセスの精度で形成した高密
度駆動素子アレイと同様の整合された精度で接合でき
る。また、振動板３と凸形状４ｂとは電鋳用基板に従っ
て電鋳により同時に形成したので従来技術のように２層
電鋳による突起部のように剥離することはない。

【００３１】請求項３の発明では、振動板３の凸形状４
ｂはインク液室側からみると凹形状４ａであり、該凹形
状４ａの形状が振動板３を駆動したときに発生する衝撃
波がインク滴形成するための重要な要素である。振動板
３の凹形状４ａの底部中心部から凹形状４ａの開口周辺
部に向けての傾斜は、ＳＵＳ基板１のパターン溝２の形
状と電鋳膜厚に依存するのでパターン溝２の中心をノズ
ル孔９ａ中心と整合させることで、振動板３の凹形状４
ａの底部からの傾斜面に従って発生したインク液圧がノ
ズル孔９ａ集中させることができ効率よくインク滴１０
ａを噴射することができる。

【００３２】本出願人の実験では、凹形状４ａ中心とノ
ズル孔９ａの中心との位置を整合させることにより、２
〜１０μｓの立ち上り波動（衝撃波）のインク液圧力を
ノズル孔９ａに集中させるという結果が判明した。すな
わち、駆動電圧の立ち上げ波形によりノズル孔９ａの径
φ２５〜３０μｍで２５〜３５ｐｌ／Ｐｕｌｓ（ピコ・
リットル／パルス）の範囲でインク滴１０ａの大きさを
加減することが可能で、多値化画素の描画が可能となっ
た。

【００３３】請求項４の発明では、インク液室１０に体
積変化を与えるために振動板３の凹形状４ａに設けた、
上面が凹形状６ｂの突起部６のオーバーハング部６ａと
同一面を有するオーバーハング部７ａを有する電鋳隔壁
部７を設けるものである。機能パターンを有しない振動
板を備えた従来のインクジェット記録装置では、インク
を噴射するときに生ずる衝撃波により、インク液室１０
のインクがインク流体抵抗部１５を通り共通液室１４に
流れ、インク噴射後のインク液室１０へのインクリフィ
ルが遅れ高速な印字ができない。

【００３４】これに対し、図２（Ｂ）に示すように、オ
ーバーハング部６ａを有する突起部６とオーバーハング
部７ａを有する電鋳隔壁部７を設けることによりインク
噴射時の衝撃波によるインク液圧がインク流体抵抗部１
５に向かわずにオーバーハング部６ａで遮られる。一
方、オーバーハング部６ａの下方部分１０ｂのインク圧
が負圧となり、矢印Ｆで示すように共通液室１４からイ
ンク液室１０にインクが順流し、インク噴射後のノズル
部のインクリフィルが速やかに行われる。本出願人の実
験によれば、従来、駆動速度が８ｋＨｚであったのが、
オーバーハング部を設けることにより安定して１２〜１
５ｋＨｚの高速駆動が可能となることが確認された。

【００３５】請求項５の発明では、上述したインク液室
１０等の液室を構成する電鋳部品の材料がＮｉである場
合、Ｎｉの結晶格子は格子面としてＮｉ（１１１）とＮ
ｉ（１００）で構成されるが、電鋳部品中の結晶格子面
をＮｉ（１１１）をＮｉ（１００）より多くすることに
より液室構成材がインクに溶出することをなくし、イン
クジェットヘッドの信頼性を向上させるものである。

【００３６】すなわち、液室構成材料が、インクに溶出
すると、ノズル９ａの目詰りやインク滴１０ａの噴射方
向がづれる等の不安定要因となりインクジェットヘッド
の信頼性が損われる。本出願人の実験の結果、電鋳部品
がＮｉの場合、これをＸ線分析したところ、電鋳条件と
熱処理条件とを選ぶことにより結晶格子面の数がＮｉ
（１１１）≧Ｎｉ（１００）の多結晶体とすることがで
きることが確認された。この条件では、Ｎｉの表面の酸
化皮膜はＮｉ₂Ｏ₃＜ＮｉＯとなることが判明した。例え
ば、大気の酸化雰囲気中で２５０°〜３５０℃の温度に
おいて１時間以上熱処理することにより２００〜３５０
Ａ°の酸化膜が生成し、これをインクジェット記録装置
用インクに浸した結果５×１０⁴ＭＴＢＦ（平均故障時
間間隔）を確保することができた。

【００３７】

【発明の効果】

請求項１に対応する効果：インク液室の一部を構成する
振動板と、該振動板が駆動されたときに、前記インク液
室内のインクを加圧して該インク液室よりインクを噴射
するノズルを有し、前記振動板を印写信号に応じて駆動
して前記ノズルよりインク滴を噴射して記録を行うイン
クジェット記録装置において、前記振動板は、電鋳にて
作成され、かつ、前記インク液室側を表面として一部が
凹形状に形成され、該凹形状に対応する裏面が凸形状に
形成されているので、電鋳により振動板と凸形状を同時
に形成することができ、簡易、安価に部品形成が可能と
なる。

【００３８】請求項２に対応する効果：請求項１に記載
のインクジェット記録装置において、振動板裏側の凸形
状部を、前記振動板を駆動する駆動部と接合したので、
従来のように振動板と突起部を２層電鋳構成したときに
発生した突起部の剥離は一切発生せず、信頼度の高いイ
ンクジェットヘッドの構造とすることができる。

【００３９】請求項３に対応する効果：請求項１又は２
に記載のインクジェット記録装置において、前記振動板
表側の凹形状は、インクを噴射するノズル孔の中心位置
と整合する位置となるように配置されているので、振動
板を駆動したとき表面の凹形状で生じた圧力をインク液
室のノズル孔中心部に集中させることが可能となり、効
率よく、インク液噴射が可能となった。

【００４０】請求項４に対応する効果：請求項１又は２
又は３に記載のインクジェットにおいて、前記振動板表
面の前記凹形状部に上面が凹形状の突起部材を有し、前
記突起部材および又はインク液室の隔壁部にオーバーハ
ング部を有するので、駆動圧力をノズル孔に集中させ、
且つ、上面が凹形状の突起部のオーバーハング面より下
方の圧力を負圧にすることができ、効率よくインク噴射
が可能で、しかも、共通液室からインク液室へのインク
リフィルが速かに行われ、高速駆動が可能となり、イン
ク加圧の効率が高くなることによる多値化画像の作図も
可能となる。

【００４１】請求項５に対応する効果：請求項１乃至４
の何れかに記載のインクジェット記録装置において、電
鋳材料をＮｉとし、Ｎｉ結晶体中の結晶格子面Ｎｉ（１
１１）およびＮｉ（１００）をＮｉ（１１１）≧Ｎｉ
（１００）にしたので、該電鋳部品のインク中での耐蝕
信頼性が向上し、オーバーコートやアンダーコート等の
保護膜を不要とし、その結果、インクジェットヘッドの
信頼性が向上した。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明によるインクジェットヘッド構造およ
び振動板の工程を説明するための部分断面図である。

【図２】 本発明によるインクジェットヘッド構成の実
施形態を説明するための部分断面図である。

【図３】 従来のインクジェッシヘッドの構造を説明す
るためのノズル列方向の部分断面図である。

【符号の説明】

１…ステンレス鋼（ＳＵＳ）基板、２…ＳＵＳ基板１に
設けたパターン溝、３…Ｎｉ電鋳振動板（振動板）、４
…振動板３の凹凸形状部（４ａ…凹形状部、４ｂ…凸形
状部）、５…レジストパターン、６…上面が凹形状の突
起部、７…電鋳隔壁部、８…ドライフィルム隔壁部、９
…ノズル板、１０…インク液室、１１…基板、１２…Ｐ
ＺＴ、１３…接着剤、１４…共通液室、１５…流体抵抗
部、１６…ＰＺＴ。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インク液室の一部を構成する振動板と、
   該振動板が駆動されたときに、前記インク液室内のイン
   クを加圧して該インク液室よりインクを噴射するノズル
   を有し、前記振動板を印写信号に応じて駆動して前記ノ
   ズルよりインク滴を噴射して記録を行うインクジェット
   記録装置において、前記振動板は、電鋳にて作成され、
   かつ、前記インク液室側を表面として一部が凹形状に形
   成され、該凹形状に対応する裏面が凸形状に形成されて
   いることを特徴とするインクジェット記録装置。
2. 【請求項２】 振動板裏側の凸形状部は、前記振動板を
   駆動する駆動部と接合する接合部であることを特徴とす
   る請求項１に記載のインクジェット記録装置。
3. 【請求項３】 前記振動板表面の凹形状は、インクを噴
   射するノズル孔の中心位置と整合する位置となるように
   配置されていることを特徴とする請求項２に記載のイン
   クジェット記録装置。
4. 【請求項４】 前記振動板表面の前記凹形状部に上面が
   凹形状の突起部材を有し、該突起部材および又はインク
   液室の隔壁にオーバーハング部を有することを特徴とす
   る請求項１乃至４の何れかに記載のインクジェット記録
   装置。
5. 【請求項５】 電鋳材料をＮｉとし、Ｎｉ結晶体中の結
   晶格子面（１１１）および（１００）を（１１１）≧
   （１００）にしたことを特徴とする請求項１乃至４項の
   何れかに記載のインクジェット記録装置。